JP3594073B2 - 超砥粒ラップ定盤 - Google Patents
超砥粒ラップ定盤 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3594073B2 JP3594073B2 JP19940899A JP19940899A JP3594073B2 JP 3594073 B2 JP3594073 B2 JP 3594073B2 JP 19940899 A JP19940899 A JP 19940899A JP 19940899 A JP19940899 A JP 19940899A JP 3594073 B2 JP3594073 B2 JP 3594073B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface plate
- superabrasive
- pellets
- platen
- concave portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、超硬合金、サーメット、アルチック、ガラス、サファイヤ、セラミックス、水晶、シリコン、フェライト、ネオジュウム磁石、サマリュウムコバルトなどの各種材料を高精度かつ高能率に平面加工できる高性能な超砥粒ラップ定盤に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
超硬合金、サーメット、アルチック、ガラス、サファイヤ、セラミックス、水晶、シリコン、フェライト、ネオジュウム磁石、サマリュウムコバルトなどの各種材料を両面平面加工する超砥粒ラップ定盤としては、ダイヤモンド、CBN等の超砥粒を結合材で結合し、円柱状に成形したペレットと呼ばれるものを定盤に固着したものが知られている。
また、この定盤は重量物で重さが100Kgを超えるものが多いため、定盤を扇型に等分割して、一個当たりの重量を軽くして、取り扱い易くしたものが知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の扇形に分割された定盤では、分割された境界が直線であり、線上にはペレットが存在しないように配置しなければならないため、ペレット配列に制限が加えられ、境界線では設計配列とは異なる配列にしなければならない場合があった。
また、上側定盤においては、定盤の給水孔と研削機の給水孔を一致させる必要があり、取り付けに制限されることがあった。
【0004】
【課題を解決するための手段】
そこで本発明は、自転しながら公転するワークキャリヤで工作物を保持し、両面平面加工を行う機構を有する研削機用の超砥粒ラップ定盤であって、 該定盤には、ダイヤモンド又はCBN等の超砥粒を結合材で結合したペレットが全面に固着されていることと、該定盤が超砥粒ペレットの配列に合わせて分割されることにより、定盤の継ぎ目における超砥粒ペレットの分布密度が変化しないことを特徴とする超砥粒ラップ定盤である。
ここでペレット1とは、すでに説明したようにダイヤモンド又はCBN等の超砥粒を結合材で結合し、円柱状に成形したものである。その寸法は外径Φ5mm〜Φ50mm、厚み3mm〜20mm程度のものである。よく用いられる寸法としては、外径Φ8mm〜30mm、厚み5mm〜15mmの範囲のものである。
ペレット用の結合材としては、Cu、Sn、Fe、Co、Ni等の金属粉末又は合金粉末を主成分としたメタルボンドがある。また、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂等の熱硬化性樹脂を主成分としたレジンボンドがある。またガラス、セラミックス等の無機物を主成分としたビトリファイドボンドがある。さらにレジンボンド、メタルボンド、ビトリファイドボンドのうち、2種類以上のボンドを混在させたハイブリッドボンドと呼ばれる複合ボンドがある。どのボンドを適用するかは主として、工作物の種類および寸法、取り代、要求される表面粗さ等によって決定する。
本発明の最も大きな特長は、定盤Pがペレット1の配列に合わせて分割されることにより、定盤Pの継ぎ目におけるペレット1の分布密度が変化しないことである。従来は、定盤の回転中心から放射線状に延びた線で等分割された扇形の定盤が存在するが、この場合は、分割された定盤に合わせてペレットを固着しなければならず、目的とする配列を実現するためには分割線に合わせてペレットを切断しなければならないおそれがでてくる。
そこで本発明の分割された超砥粒ラップ定盤Wを図1に示す。ペレット1の配列に合わせて分割してあるので、分割線が直線ではなく、曲線と直線の組み合わせとなっている。こうすることにより、ペレット1の偏磨耗を防止できるので研削抵抗が安定し、高精度を維持できる。、また特に下側の定盤の回転により生じる遠心力で排水される水流が均一となり、工作物への給水が安定する。これにより、小径工作物、薄板状工作物の破損を防止できる。なお以上述べたように、ペレット1の配列に関しては、一切の制約を受けない。たとえペレット同士が接触していても構わない。
【0005】
そして、超砥粒ラップ定盤Wの取り付け面には、研削液をプールできる凹部2が形成され、超砥粒ラップ定盤Wの表面には凹部2に通じる給水孔3が複数設けられていることを特徴とするものである。この凹部2は、例えば、定盤の中心に対して同心円状に複数個設け、定盤をすべて両面平面研削機に取り付けたときには、凹部2が連なってリング状の溝となることが好ましい。
従来品では、両面平面研削機の研削液給水孔5と定盤の給水孔3を一致させて定盤を取り付けなければならず、取り付け作業がめんどうであった。ところが本発明品では、研削液給水孔から出た研削液を一旦、凹部2にプールすることができ、しかも定盤表面に通じた複数の給水孔3により、定盤全体にまんべんなく、安定した研削液の供給が可能である。したがって、定盤の取り付け作業が容易なだけでなく、研削機の種類が変わっても少しの改造で定盤を取り付けられる特長がある。
【0006】
そして、分割された定盤のひとつ当たりの重量が、10Kg以内であることを特徴とするものである。凹部2は定盤の肉抜き効果もあり、軽量化に貢献している。分割による軽量化と、凹部2の肉抜き効果とが相まって分割した定盤ひとつ当たりの重量を10Kg以内とし、取り扱いを容易にしたものである。より良い作業性と定盤取り付け作業の安全性を考慮すると、定盤ひとつ当たりの重量は5Kg以内の設計とすることが好ましい。
【発明の実施の形態】
発明実施の形態は実施例の項で述べる。
【0007】
【実施例】
スピードファム社製9B型両面平面研削機にて使用する本発明の超砥粒ラップ定盤を製作した。材料は市販のSS41プレシジョンプレートを用いて、機械加工、レーザー加工して分割定盤を仕上げた。その定盤の表面にΦ14mmのペレット、仕様SD800−55−Mを面積比率55%で均一に接着し、実施例のダイヤモンドラップ定盤を完成させた。実施例と従来例の寸法、重量、取り付けに必要な時間の比較を表1に示す。
分割することにより、実施例では厚みを薄くでき、一個当たりの重量は僅か3Kgで取り扱いが容易で、研削機への取り付け作業も安全にできる。特に上面の取り付け作業が楽にでき、チェーンブロック、ホイスト等の設備無しで可能である。しかも取り付けに必要な時間は従来例の約50%であり、作業能率の向上に効果的である。
【0008】
【表1】
【0009】
表2に加工テスト条件の詳細を示す。結晶化ガラスをワークキャリヤに入れて回転させながら、上下の2枚のダイヤモンドラップ定盤を一定の圧力で押しつけて同一の条件で加工テストを行い、両者の性能を比較した。
【0010】
【表2】
【0011】
その加工テストの結果を表3に示す。実施例は従来例に比較して、切れ味が良く、目づまりの発生も認められなっかった。そして、加工速度が約16%高い値で、また平面度も7%低い値となっており良好な結果が得られた。
【0012】
【表3】
【0019】
【発明の効果】
以上説明したように、ペレットの配列に合わせて定盤を分割することにより、ペレットの偏磨耗を防止し研削抵抗が安定する。そして定盤の取り付け面に研削液をプールできる凹部を形成し、定盤の表面に凹部と通じる孔を複数設けることにより、定盤全体にまんべんなく、安定した研削液を供給できる。その結果、ペレットの目づまりが発生せず、安定した切れ味が持続し、高能率で高精度な両面平面加工を可能にする。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)一実施例のダイヤモンドラップ定盤の平面図である。
(b)その側面図である。
【図2】(a)一実施例の定盤である。
(b)その側面図である。
【図3】(a)一実施例の研削機への取り付け状態を示す。
(b)その断面図である。
【符号の説明】
W 超砥粒ラップ定盤
P 定盤
M 研削機の取り付け面
1 ペレット
2 凹部
3 給水孔
4 取り付け孔
5 研削機の給水孔
Claims (3)
- 自転しながら公転するワークキャリヤで工作物を保持し、両面平面加工を行う機構を有する研削機用の超砥粒ラップ定盤であって、
該定盤には、ダイヤモンド又はCBN等の超砥粒を結合材で結合したペレットが全面に固着されていることと、
ペレットの偏摩耗を防止するために、該定盤が超砥粒ペレットの配列に合わせて分割されることにより、分割線が曲線と直線の組合せからなり、定盤の継ぎ目における超砥粒ペレットの分布密度が変化しないことを特徴とする超砥粒ラップ定盤。 - 上記定盤の取り付け面には、研削液をプールできる凹部が形成され、凹部に通じる給水孔が定盤に複数設けられていることを特徴とする請求項1記載の超砥粒ラップ定盤。
- 上記の分割された定盤のひとつ当たりの重量は、10Kg以内であることを特徴とする請求項1又は2記載の超砥粒ラップ定盤。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19940899A JP3594073B2 (ja) | 1999-06-08 | 1999-06-08 | 超砥粒ラップ定盤 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19940899A JP3594073B2 (ja) | 1999-06-08 | 1999-06-08 | 超砥粒ラップ定盤 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000343420A JP2000343420A (ja) | 2000-12-12 |
JP3594073B2 true JP3594073B2 (ja) | 2004-11-24 |
Family
ID=16407311
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19940899A Expired - Lifetime JP3594073B2 (ja) | 1999-06-08 | 1999-06-08 | 超砥粒ラップ定盤 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3594073B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005238413A (ja) * | 2004-02-27 | 2005-09-08 | Yachiyo Microscience Inc | ラップ盤用回転定盤 |
-
1999
- 1999-06-08 JP JP19940899A patent/JP3594073B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000343420A (ja) | 2000-12-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2002537136A (ja) | 砥石車 | |
TWI513548B (zh) | 磨石及使用其之研削研磨裝置 | |
CN102049737A (zh) | 抛光垫修整器 | |
JP2000354969A (ja) | 超砥粒研削砥石 | |
JP2024024111A (ja) | 三層砥石車 | |
JP2017170554A (ja) | ラップ盤用低圧加工ビトリファイド砥石とそれを用いた研磨加工方法 | |
TWI623382B (zh) | Hybrid chemical mechanical polishing dresser | |
JP3050379B2 (ja) | ダイヤモンドラップ定盤 | |
JP3594073B2 (ja) | 超砥粒ラップ定盤 | |
JP2005088153A (ja) | ダイヤモンドラップ定盤による硬脆材料の平面研削加工法 | |
JP4746788B2 (ja) | 平面ホーニング加工用超砥粒ホイール及びそのドレス方法ならびに同ホイールを使用する研削装置 | |
JPH0957614A (ja) | 両面砥石ラッピング装置 | |
JPH11156729A (ja) | チップ交換可能な砥石車 | |
JP2004243465A (ja) | ダイヤモンドラップ定盤 | |
JPH0771789B2 (ja) | 砥 石 | |
KR20010049889A (ko) | 휠 커터의 얇은 블레이드 | |
JP2002160166A (ja) | 超砥粒工具 | |
JP2010115768A (ja) | Cbn砥石 | |
JP2003225866A (ja) | 薄板加工用メタルボンドダイヤモンドラップ定盤 | |
JP2007167997A (ja) | ツルーイング工具 | |
JPH11165254A (ja) | 超砥粒ラップ定盤 | |
JP6286196B2 (ja) | 砥石およびそれを用いる研削装置 | |
JP2015202542A (ja) | ラップ加工用砥石 | |
JP2000308971A (ja) | 超砥粒切断ホイール | |
JP2003071723A (ja) | ビトリファイド砥石 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040119 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040824 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040824 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 3594073 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080910 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090910 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100910 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100910 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110910 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120910 Year of fee payment: 8 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120910 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130910 Year of fee payment: 9 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |