JP3589482B2 - 圧電振動体 - Google Patents
圧電振動体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3589482B2 JP3589482B2 JP10165394A JP10165394A JP3589482B2 JP 3589482 B2 JP3589482 B2 JP 3589482B2 JP 10165394 A JP10165394 A JP 10165394A JP 10165394 A JP10165394 A JP 10165394A JP 3589482 B2 JP3589482 B2 JP 3589482B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric vibrator
- vibration
- composite material
- fiber
- piezoelectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Soundproofing, Sound Blocking, And Sound Damping (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、音響振動伝達方向が制御された圧電振動体に関する。本発明の圧電振動体は、各種の計測機、加工機、超音波モータ、自動車部品あるいは電気製品などの分野で用いることができる。
【0002】
【従来の技術】
機械振動子として、電磁効果による電磁式振動子と圧電効果による圧電振動子とが知られているが、電磁式振動子に比較して圧電振動子は小型化できるため、現在では圧電振動子が電磁式振動子に代わり広く用いられている。圧電振動子の応用分野は広く、水中ソナー、魚群探知機、探傷計、厚み計、流量計、液面計、粘度計、遅延線、メカニカルフィルター、洗浄機、霧化機、溶接機、切削加工機及び超音波モータなどに用いられている。
【0003】
従来の圧電振動子の一般的な構成を図4に示す。図4の圧電振動子10は、圧電セラミック1がリン青銅(弾性体)2に接着剤で接合された構成にある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の圧電振動子では、目的とする方向の振動モードだけを励起しようとしても、目的とする方向の振動モードに近い固有振動数を持つ別の方向の不要な振動も一緒に取り出されてしまうという問題がある。
【0005】
本発明は、目的の方向の振動モードに近い固有振動数を持つ不要な方向の振動を伴うこと無く、目的とする方向の振動モードのみを取り出すことのできる圧電振動体、そしてその圧電振動体の製造に有利に用いることのできる音響振動方向制御材料を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、平板状圧電素子に、樹脂もしくは樹脂の炭素化物からなる母材中に引張り弾性率が100GPa以上の複数の高弾性繊維のそれぞれが、層の平面および厚さ方向に沿って、もしくは層の平面に対して斜めの方向に、互いに同一の間隔にて、同一の方向に平行に配向配置された複合材料からなる音響振動伝達層が積層されてなる、曲げ振動を伴うことなく、圧電素子から音響振動伝達層に印加された音響振動の内の上記高弾性繊維の配向方向の音響振動を抑制しつつ、該高弾性繊維と直交する方向の音響振動を外部へ優先的に伝達する圧電振動体にある。
【0007】
本発明の圧電振動体の好ましい態様は次の通りである。
【0008】
(1)複合材料の繊維方向の引張弾性率が、繊維と直交する方向の引張弾性率の2倍以上である請求項1に記載の圧電振動体。
(2)高弾性繊維が、炭素繊維もしくは炭素含有繊維である。
【0009】
【実施例】
以下、本発明の実施例を添付図面により説明する。
【0010】
本発明に従う圧電振動体の第一実施例を図1に斜視図として示す。図1において、番号11は、分極された圧電セラミック素子(圧電振動子)を示しており、その分極方向は図中に矢印で示した方向である。圧電セラミック素子の両側には銀電極が焼き付けられている。番号12は、密度が1.8g/cm3、引張弾性率が240GPaである強化基材の炭素繊維を一方向に配向させた、ポリアミド樹脂を母材とした炭素繊維強化プラスチック成型体を示す。母材のプラスチックとしての密度は1.5g/cm3である。
【0011】
図1の炭素繊維強化プラスチック成型体(異方性複合材料)における繊維方向の引っ張り弾性率は120GPaであって、繊維と直角方向の引っ張り弾性率は10GPaである。番号11の圧電セラミック素子と番号12の炭素繊維強化プラスチック成型体とは、エポキシ系接着剤を用いて接着一体化され、圧電振動体10とされている。
【0012】
圧電振動体に、図1に示したように配線を施し、高周波電圧を印加する。この圧電振動体に高周波電圧を印加すると、炭素繊維強化プラスチック成型体の両側に配置した圧電セラミック素子は、同位相で伸縮振動する。この圧電振動体10は、X、Y、そしてZ方向に伸縮振動が可能であって、曲げ振動は励起されることが困難である。この図1の構造を持つ圧電振動体のアドミッタンス特性をインピーダンスアナライザーにより測定した。測定によると、ほぼ88.8KHzと1.5MHz付近に共振応答があった。この振動をインピーダンスアナライザーにより求めた固有振動数で振動変位を測定した結果、Y方向とZ方向との伸縮振動が確認された。
【0013】
次に有限要素法により振動解析したところ、X方向の一次の縦振動の共振周波数は約54.1KHzであり、Y方向の一次の縦振動の共振周波数は約81.2KHzであり、そしてZ方向は約1.4MHzであった。しかし、有限要素法で求めたX方向の一次縦振動の約54.1KHzの共振周波数は、インピーダンスアナライザーにより測定したアドミッタンス特性では共振応答がその付近では存在しなかった。また振動変位の測定でも共振応答はなかった。
【0014】
図1のように炭素繊維がX方向に配向した炭素繊維強化複合材料では、X方向の縦振動は抑制され、Y方向の振動が強く励起されている。また、より機械的損失の少ない圧電振動体10を製作するため炭素繊維複合材料の弾性率を向上させる必要がある場合には、炭素繊維複合材料を熱処理して樹脂部分を炭素化する方法もある。
【0015】
上記の第一実施例においては圧電セラミック振動子を振動源としたが、他の振動源を用いた場合においても、本発明の圧電振動体を用いれば、不要な方向の振動を抑制して、所望の方向の振動を外部へ伝達することができる。
【0016】
次に第二実施例について説明する。第二実施例の圧電振動体は第一実施例の圧電振動体と構造、寸法は同じであるが、炭素繊維複合材料の炭素繊維の配向方向をY方向とする。この圧電振動体のアドミッタンス特性をインピーダンスアナライザーにより求めた。測定結果によると、約53.5KHz、約1.5MHzに大きな共振応答があり、約86.5KHzに微小な共振応答がある。振動変位を測定した結果、約53.5KHzでX方向の振動が大きくなり、約1.5MHzでZ方向の振動が大きくなり、そしてY方向の振動は約86.5KHzでも、微小であった。このようにY方向に炭素繊維を配向させた炭素繊維複合材料では、Y方向の振動を大きく抑制できる。
【0017】
上記の第一実施例と第二実施例は、炭素繊維複合材料の炭素繊維の方向を揃えることにより振動を制御することが可能であることを明らかにしている。
【0018】
次に、第三実施例を図2により説明する。図2では、炭素繊維18の配向方向を水平に対して45度傾けた構成した炭素繊維複合材料14に、圧電セラミック板11をエポキシ系接着剤を用いて接着して圧電振動体10としている。この圧電振動体10に厚さ方向の共振周波数に近い高周波電圧を印加したところ、炭素繊維複合材料の上に置かれた物は左方向に移動した。この移動は炭素繊維の配向方向と直交する方向の矢印の方向に強く振動が励起されるためと考えられる。
【0019】
上記の第三実施例から、炭素繊維複合材料中の繊維の配向方向を揃えることにより、振動方向が制御でき、その炭素繊維複合材料の上に置いた物体を移動させることができることが分る。
【0020】
なお、本発明は前記実施例に限定されるものでなく、その要旨の範囲内において様々に変形実施が可能である。
【0021】
次に、第4実施例について、図3を用いて説明する。図3では、SiC繊維を強化基材として、母材をPZT粉末を含むエポキシ樹脂としたSiC繊維複合材料16で、SiC繊維は単一方向に配向させている。この弾性複合材料の繊維方向をそれぞれX方向とY方向とに揃え、交互に積み上げて10層にした。X方向に繊維を配向させたSiC繊維複合材料(弾性複合材料)を16Aとし、Y方向に繊維を配向させたSiC繊維複合材料を16Bとする。この10層の積層構造の複合材料の両面に金を蒸着して、その後直流向電圧を印加してポーリングを施した。
【0022】
このようにして、音響振動伝達材料と圧電セラミックを一体化した圧電振動体を製作した。この圧電振動体のアドミッタンス特性を測定したところ、Z方向の振動が強く励振されていることが確認された。このようにして、XY平面の振動を抑制し、Z方向の振動を強く励起することができる音響振動伝達材料を提供することができた。なお、本発明は前記実施例に限定されるものでなく、その要旨の範囲内で様々な変形による実施が可能である。
【0023】
【発明の効果】
本発明の圧電振動体を用いることにより、複合材料中の高弾性繊維の長さ方向では、音響振動が抑制され、高弾性繊維の長さ方向と直交する方向には音響振動が強く伝達される。従って、本発明の圧電振動体を利用して、所望の音響振動のみを効果的に取り出すことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第一実施例と第二実施例の圧電振動体を示す斜視図である。
【図2】第三実施例の圧電振動体を示す側面断面図である。
【図3】第四実施例の音響振動伝達材料の側面断面図である。
【図4】従来例の圧電振動子の概略構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
10 圧電振動体
11 炭素繊維強化複合材料(複合材料板)
12 圧電セラミック素子
14 炭素繊維強化複合材料
15 炭素繊維強化複合材料
16 SiC繊維複合材料
18 炭素繊維
【発明の属する技術分野】
本発明は、音響振動伝達方向が制御された圧電振動体に関する。本発明の圧電振動体は、各種の計測機、加工機、超音波モータ、自動車部品あるいは電気製品などの分野で用いることができる。
【0002】
【従来の技術】
機械振動子として、電磁効果による電磁式振動子と圧電効果による圧電振動子とが知られているが、電磁式振動子に比較して圧電振動子は小型化できるため、現在では圧電振動子が電磁式振動子に代わり広く用いられている。圧電振動子の応用分野は広く、水中ソナー、魚群探知機、探傷計、厚み計、流量計、液面計、粘度計、遅延線、メカニカルフィルター、洗浄機、霧化機、溶接機、切削加工機及び超音波モータなどに用いられている。
【0003】
従来の圧電振動子の一般的な構成を図4に示す。図4の圧電振動子10は、圧電セラミック1がリン青銅(弾性体)2に接着剤で接合された構成にある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の圧電振動子では、目的とする方向の振動モードだけを励起しようとしても、目的とする方向の振動モードに近い固有振動数を持つ別の方向の不要な振動も一緒に取り出されてしまうという問題がある。
【0005】
本発明は、目的の方向の振動モードに近い固有振動数を持つ不要な方向の振動を伴うこと無く、目的とする方向の振動モードのみを取り出すことのできる圧電振動体、そしてその圧電振動体の製造に有利に用いることのできる音響振動方向制御材料を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、平板状圧電素子に、樹脂もしくは樹脂の炭素化物からなる母材中に引張り弾性率が100GPa以上の複数の高弾性繊維のそれぞれが、層の平面および厚さ方向に沿って、もしくは層の平面に対して斜めの方向に、互いに同一の間隔にて、同一の方向に平行に配向配置された複合材料からなる音響振動伝達層が積層されてなる、曲げ振動を伴うことなく、圧電素子から音響振動伝達層に印加された音響振動の内の上記高弾性繊維の配向方向の音響振動を抑制しつつ、該高弾性繊維と直交する方向の音響振動を外部へ優先的に伝達する圧電振動体にある。
【0007】
本発明の圧電振動体の好ましい態様は次の通りである。
【0008】
(1)複合材料の繊維方向の引張弾性率が、繊維と直交する方向の引張弾性率の2倍以上である請求項1に記載の圧電振動体。
(2)高弾性繊維が、炭素繊維もしくは炭素含有繊維である。
【0009】
【実施例】
以下、本発明の実施例を添付図面により説明する。
【0010】
本発明に従う圧電振動体の第一実施例を図1に斜視図として示す。図1において、番号11は、分極された圧電セラミック素子(圧電振動子)を示しており、その分極方向は図中に矢印で示した方向である。圧電セラミック素子の両側には銀電極が焼き付けられている。番号12は、密度が1.8g/cm3、引張弾性率が240GPaである強化基材の炭素繊維を一方向に配向させた、ポリアミド樹脂を母材とした炭素繊維強化プラスチック成型体を示す。母材のプラスチックとしての密度は1.5g/cm3である。
【0011】
図1の炭素繊維強化プラスチック成型体(異方性複合材料)における繊維方向の引っ張り弾性率は120GPaであって、繊維と直角方向の引っ張り弾性率は10GPaである。番号11の圧電セラミック素子と番号12の炭素繊維強化プラスチック成型体とは、エポキシ系接着剤を用いて接着一体化され、圧電振動体10とされている。
【0012】
圧電振動体に、図1に示したように配線を施し、高周波電圧を印加する。この圧電振動体に高周波電圧を印加すると、炭素繊維強化プラスチック成型体の両側に配置した圧電セラミック素子は、同位相で伸縮振動する。この圧電振動体10は、X、Y、そしてZ方向に伸縮振動が可能であって、曲げ振動は励起されることが困難である。この図1の構造を持つ圧電振動体のアドミッタンス特性をインピーダンスアナライザーにより測定した。測定によると、ほぼ88.8KHzと1.5MHz付近に共振応答があった。この振動をインピーダンスアナライザーにより求めた固有振動数で振動変位を測定した結果、Y方向とZ方向との伸縮振動が確認された。
【0013】
次に有限要素法により振動解析したところ、X方向の一次の縦振動の共振周波数は約54.1KHzであり、Y方向の一次の縦振動の共振周波数は約81.2KHzであり、そしてZ方向は約1.4MHzであった。しかし、有限要素法で求めたX方向の一次縦振動の約54.1KHzの共振周波数は、インピーダンスアナライザーにより測定したアドミッタンス特性では共振応答がその付近では存在しなかった。また振動変位の測定でも共振応答はなかった。
【0014】
図1のように炭素繊維がX方向に配向した炭素繊維強化複合材料では、X方向の縦振動は抑制され、Y方向の振動が強く励起されている。また、より機械的損失の少ない圧電振動体10を製作するため炭素繊維複合材料の弾性率を向上させる必要がある場合には、炭素繊維複合材料を熱処理して樹脂部分を炭素化する方法もある。
【0015】
上記の第一実施例においては圧電セラミック振動子を振動源としたが、他の振動源を用いた場合においても、本発明の圧電振動体を用いれば、不要な方向の振動を抑制して、所望の方向の振動を外部へ伝達することができる。
【0016】
次に第二実施例について説明する。第二実施例の圧電振動体は第一実施例の圧電振動体と構造、寸法は同じであるが、炭素繊維複合材料の炭素繊維の配向方向をY方向とする。この圧電振動体のアドミッタンス特性をインピーダンスアナライザーにより求めた。測定結果によると、約53.5KHz、約1.5MHzに大きな共振応答があり、約86.5KHzに微小な共振応答がある。振動変位を測定した結果、約53.5KHzでX方向の振動が大きくなり、約1.5MHzでZ方向の振動が大きくなり、そしてY方向の振動は約86.5KHzでも、微小であった。このようにY方向に炭素繊維を配向させた炭素繊維複合材料では、Y方向の振動を大きく抑制できる。
【0017】
上記の第一実施例と第二実施例は、炭素繊維複合材料の炭素繊維の方向を揃えることにより振動を制御することが可能であることを明らかにしている。
【0018】
次に、第三実施例を図2により説明する。図2では、炭素繊維18の配向方向を水平に対して45度傾けた構成した炭素繊維複合材料14に、圧電セラミック板11をエポキシ系接着剤を用いて接着して圧電振動体10としている。この圧電振動体10に厚さ方向の共振周波数に近い高周波電圧を印加したところ、炭素繊維複合材料の上に置かれた物は左方向に移動した。この移動は炭素繊維の配向方向と直交する方向の矢印の方向に強く振動が励起されるためと考えられる。
【0019】
上記の第三実施例から、炭素繊維複合材料中の繊維の配向方向を揃えることにより、振動方向が制御でき、その炭素繊維複合材料の上に置いた物体を移動させることができることが分る。
【0020】
なお、本発明は前記実施例に限定されるものでなく、その要旨の範囲内において様々に変形実施が可能である。
【0021】
次に、第4実施例について、図3を用いて説明する。図3では、SiC繊維を強化基材として、母材をPZT粉末を含むエポキシ樹脂としたSiC繊維複合材料16で、SiC繊維は単一方向に配向させている。この弾性複合材料の繊維方向をそれぞれX方向とY方向とに揃え、交互に積み上げて10層にした。X方向に繊維を配向させたSiC繊維複合材料(弾性複合材料)を16Aとし、Y方向に繊維を配向させたSiC繊維複合材料を16Bとする。この10層の積層構造の複合材料の両面に金を蒸着して、その後直流向電圧を印加してポーリングを施した。
【0022】
このようにして、音響振動伝達材料と圧電セラミックを一体化した圧電振動体を製作した。この圧電振動体のアドミッタンス特性を測定したところ、Z方向の振動が強く励振されていることが確認された。このようにして、XY平面の振動を抑制し、Z方向の振動を強く励起することができる音響振動伝達材料を提供することができた。なお、本発明は前記実施例に限定されるものでなく、その要旨の範囲内で様々な変形による実施が可能である。
【0023】
【発明の効果】
本発明の圧電振動体を用いることにより、複合材料中の高弾性繊維の長さ方向では、音響振動が抑制され、高弾性繊維の長さ方向と直交する方向には音響振動が強く伝達される。従って、本発明の圧電振動体を利用して、所望の音響振動のみを効果的に取り出すことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第一実施例と第二実施例の圧電振動体を示す斜視図である。
【図2】第三実施例の圧電振動体を示す側面断面図である。
【図3】第四実施例の音響振動伝達材料の側面断面図である。
【図4】従来例の圧電振動子の概略構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
10 圧電振動体
11 炭素繊維強化複合材料(複合材料板)
12 圧電セラミック素子
14 炭素繊維強化複合材料
15 炭素繊維強化複合材料
16 SiC繊維複合材料
18 炭素繊維
Claims (3)
- 平板状圧電素子に、樹脂もしくは樹脂の炭素化物からなる母材中に引張り弾性率が100GPa以上の複数の高弾性繊維のそれぞれが、層の平面および厚さ方向に沿って、もしくは層の平面に対して斜めの方向に、互いに同一の間隔にて、同一の方向に平行に配向配置された複合材料からなる音響振動伝達層が積層されてなる、曲げ振動を伴うことなく、圧電素子から音響振動伝達層に印加された音響振動の内の上記高弾性繊維の配向方向の音響振動を抑制しつつ、該高弾性繊維と直交する方向の音響振動を外部へ優先的に伝達する圧電振動体。
- 複合材料の繊維方向の引張弾性率が、繊維と直交する方向の引張弾性率の2倍以上である請求項1に記載の圧電振動体。
- 高弾性繊維が、炭素繊維もしくは炭素含有繊維である請求項1もしくは2に記載の圧電振動体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10165394A JP3589482B2 (ja) | 1994-04-06 | 1994-04-06 | 圧電振動体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10165394A JP3589482B2 (ja) | 1994-04-06 | 1994-04-06 | 圧電振動体 |
Related Child Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001081493A Division JP2001327919A (ja) | 2001-03-21 | 2001-03-21 | 音響振動制御材料及び圧電振動体 |
JP2001081494A Division JP3343550B2 (ja) | 2001-03-21 | 2001-03-21 | 物品の移動を駆動する成型体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07284198A JPH07284198A (ja) | 1995-10-27 |
JP3589482B2 true JP3589482B2 (ja) | 2004-11-17 |
Family
ID=14306350
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10165394A Expired - Fee Related JP3589482B2 (ja) | 1994-04-06 | 1994-04-06 | 圧電振動体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3589482B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19732513C2 (de) * | 1997-07-29 | 2002-04-11 | Eurocopter Deutschland | Verfahren zur Herstellung einer Verbundstruktur |
JP2002205013A (ja) * | 2001-01-11 | 2002-07-23 | Seiko Instruments Inc | 複合型圧電振動部品とその製造方法 |
JP4782327B2 (ja) * | 2001-02-14 | 2011-09-28 | 一正 大西 | クランプオン型超音波流量計 |
JP3477188B2 (ja) * | 2001-10-12 | 2003-12-10 | 敏夫 谷本 | 積層用制振基材、及びこれを積層した制振構造体 |
JP3900918B2 (ja) * | 2001-12-10 | 2007-04-04 | 株式会社デンソー | 圧電アクチュエータ |
JP4349651B2 (ja) | 2003-02-27 | 2009-10-21 | 株式会社日立メディコ | 超音波探触子 |
TWI265121B (en) * | 2004-02-10 | 2006-11-01 | Honda Motor Co Ltd | Bicycle transmission case |
JP5810484B2 (ja) * | 2010-06-30 | 2015-11-11 | 日本電気株式会社 | 発振装置 |
KR101478683B1 (ko) * | 2013-05-15 | 2015-01-02 | 한국세라믹기술원 | 산화 그래핀을 이용한 압전 세라믹 복합체 |
JP6358795B2 (ja) * | 2013-11-11 | 2018-07-18 | 三菱鉛筆株式会社 | 複合板とその製造方法 |
CN110548877B (zh) * | 2019-08-23 | 2022-11-01 | 上海电气集团股份有限公司 | 一种用于气雾化制备金属粉末的复合隔热板 |
-
1994
- 1994-04-06 JP JP10165394A patent/JP3589482B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH07284198A (ja) | 1995-10-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Shuyu | Sandwiched piezoelectric ultrasonic transducers of longitudinal-torsional compound vibrational modes | |
JP3589482B2 (ja) | 圧電振動体 | |
JP3856380B2 (ja) | コンポジット圧電振動子およびその製造方法 | |
CN1864869B (zh) | 压电振动器和具有压电振动器的超声波电机 | |
WO2018145340A1 (zh) | 一种基于剪切振动的压电复合材料及其制备方法 | |
Yokoyama et al. | Single-phase drive ultrasonic linear motor using a linked twin square plate vibrator | |
US4117074A (en) | Monolithic mosaic piezoelectric transducer utilizing trapped energy modes | |
CN108493328B (zh) | 基于剪切振动和弯张振动的压电振子、换能器及制作方法 | |
US20090115290A1 (en) | Ultrawideband Ultrasonic Transducer | |
US7030542B2 (en) | Composite piezoelectric body | |
JP3343550B2 (ja) | 物品の移動を駆動する成型体 | |
Craciun et al. | A coupled-mode theory for periodic piezoelectric composites | |
JP2001327919A (ja) | 音響振動制御材料及び圧電振動体 | |
Sarangapani et al. | Improvement in the electromechanical properties of a partially diced piezoelectric disc transducer | |
JP2001102651A (ja) | 圧電素子・圧電素子の製造方法および超音波発振器 | |
JPS6222634A (ja) | 超音波探触子 | |
Sadiq et al. | Ultrasonic cutting with ad 31-mode PMN-PT-driven planar tool | |
JPH0787710B2 (ja) | 超音波リニアモータ | |
JP2529811Y2 (ja) | 超音波リニアモータ | |
JP2532332Y2 (ja) | 超音波プローブ | |
CN116295795A (zh) | 一种声学传感器声头及其制作方法 | |
JP2002239463A (ja) | 超音波振動子 | |
JPH07274554A (ja) | 超音波リニアモータ | |
Rozenberg | Torsional-Mode Transducers | |
JPH0235786A (ja) | ウレタンゴム−セラミックス複合圧電材料 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020709 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040817 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090827 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |