JP3582010B2 - 超格子蛍光体薄膜及びその製造方法 - Google Patents
超格子蛍光体薄膜及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3582010B2 JP3582010B2 JP2001190272A JP2001190272A JP3582010B2 JP 3582010 B2 JP3582010 B2 JP 3582010B2 JP 2001190272 A JP2001190272 A JP 2001190272A JP 2001190272 A JP2001190272 A JP 2001190272A JP 3582010 B2 JP3582010 B2 JP 3582010B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- phosphor
- superlattice
- thin film
- phosphor thin
- srhfo
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、超格子蛍光体薄膜及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のディスプレイ装置は、ブラウン管、プラズマディスプレイまたは液晶ディスプレイといったものが主流である。
しかしながら、撮像管がCCDなどの固体撮像素子に置き換わったようにディスプレイ装置においても、完全固体ディスプレイに置き換えることが求められている。
完全固体ディスプレイは様々な方式が提案されており、例えば、紫外線発光ダイオード上に非線形光学素子を配列して紫外線透過光強度を制御し、非線形光学素子上に積層した蛍光体を発光させるといった方式が提案されている。
また、Si基板上に量子サイズ効果を有する層、例えばポーラスSi層を積層して電子線源とし、量子サイズ効果層上に積層した蛍光体を光らせるといった方式も提案されている。
【0003】
ところで、従来の蛍光材料は、蛍光体の焼結体粉末をディスプレイ面に塗布するといった使い方がされている。例えば、電子線投写型CRT(CathodeRay Tube)においては、青色蛍光体材料である、ZnSにAgとClをドープした蛍光体焼結粉末をディスプレイ面に塗布して使用する。
しかしながら、上記のような完全固体ディスプレイの製造方法は半導体プレーナープロセスを使用して形成されており、従来の粉体を塗布すると言った工程は半導体プロセスに整合しない。
すなわち、今後の完全固体ディスプレイに対応するためには蛍光体の薄膜化技術が必要不可欠である。しかしながら、従来の蛍光体を単純に薄膜化した場合には、焼結粉体とは全く異なった特性を示す場合が多く、例えば、焼結粉体では発光しても薄膜化すると発光しなくなると言った現象もある。
しかしながら、従来、蛍光体の薄膜に関する研究はほとんどなされていないのが実情である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記課題に鑑み、MHfO3 :Tm+3(M=アルカリ土類金属元素)蛍光体薄膜において、蛍光体薄膜を原子レベルで制御して形成することにより、より輝度の高い、かつ、低コストの蛍光体薄膜と、その製造方法を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、MHfO3 :Tm+3(M=アルカリ土類金属元素)蛍光体薄膜において、単相では輝度が小さい、または、Mの異なる2種類の蛍光体からなる混合相にしても輝度が小さい、または全く発光しないといった蛍光物質であっても、Mの異なる2種類の蛍光体を超格子構造に積層することによって、高輝度に発光することを見いだし、本発明に到ったものである。
上記課題を解決するために、本発明の超格子蛍光体薄膜は、単結晶基板と単結晶基板上に種類の異なる蛍光体を超格子構造に積層したことを特徴とする。
この構成によれば、発光原子の空間位置が原子レベルで適切に制御されるから、極めて高輝度に発光する。
【0006】
また、本発明の超格子蛍光体薄膜は、SrTiO3 単結晶基板と、基板上にSrHfO3 :Tm+3蛍光体とCaHfO3 :Tm+3蛍光体とをm分子層毎に、交互に積層した超格子層とからなることを特徴としている。ここで、mは20以下とする。
この構成によれば、SrHfO3 :Tm+3蛍光体とCaHfO3 :Tm+3蛍光体の均一混合相に較べ、著しく大きな発光強度が得られる。
【0007】
また、本発明の超格子蛍光体薄膜は、SrTiO3 単結晶基板と、基板上にSrHfO3 :Tm+3蛍光体とBaHfO3 :Tm+3蛍光体とをm分子層毎、交互に積層した超格子層とからなることを特徴としている。ここで、mは20以下とする。
この構成によれば、SrHfO3 :Tm+3蛍光体とBaHfO3 :Tm+3蛍光体の均一混合相に較べ、著しく大きな発光強度が得られる。
【0008】
また、本発明の超格子蛍光体薄膜は、SrTiO3 単結晶基板と、基板上にCaHfO3 :Tm+3蛍光体とBaHfO3 :Tm+3蛍光体とをm分子層毎、交互に積層した超格子層とからなることを特徴としている。ここで、mは20以下とする。
この構成によれば、CaHfO3 :Tm+3蛍光体とBaHfO3 :Tm+3蛍光体の均一混合相と同等の発光強度が得られる。
【0009】
また本発明の超格子蛍光体薄膜の製造方法は、酸素雰囲気中で、成分組成、MHfO3 :Tm+3(ただし、Mはアルカリ土類金属元素)で表されるMの異なる2つのターゲットを交互にレーザー光でアブレーションして、所定の温度に加熱された基板上で、交互にm相づつ積層することを特徴とする。
また、Mの異なる2つのターゲットの成分組成は、
SrHfO3 :Tm+3とCaHfO3 :Tm+3、
SrHfO3 :Tm+3とBaHfO3 :Tm+3、または、
CaHfO3 :Tm+3とBaHfO3 :Tm+3、であることを特徴とする。
また、基板温度は800℃、酸素圧力は10−6Torr、レーザー光はKrFレーザー光であることを特徴とする。
これらの構成によれば、超格子構造式、
〔(SrHfO3 :Tm)m ,(CaHfO3 :Tm)m 〕n 、
〔(SrHfO3 :Tm)m ,(BaHfO3 :Tm)m 〕n 、及び
〔(CaHfO3 :Tm)m ,(BaHfO3 :Tm)m 〕n 、で表される輝度の高い超格子蛍光体薄膜が得られる。
【0010】
本発明によれば、発光原子の空間位置が原子レベルで制御されているから、発光原子間のエネルギー相互作用距離が最適に制御され、単相、または均一組成の蛍光体では得られない著しく発光輝度の高い超格子蛍光体薄膜が得られる。
本発明の超格子蛍光体薄膜は、超寿命、高輝度、色純度が高く、高電流密度下でも輝度が飽和しない、かつ低コストの優れた青色蛍光体薄膜である。
従って、本発明の超格子蛍光体薄膜を、完全固体ディスプレイ装置または表示装置に適用すれば極めて有用である。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づき本発明の実施の形態を詳細に説明する。
はじめに、本発明の超格子蛍光体薄膜の母体結晶であるMHfO3 について説明する。Mはアルカリ土類金属元素であり、例えばSr(ストロンチュウム),Ca(カルシュウム)、Ba(バリウム)であり、Hf(ハフニュウム)は遷移金属元素である。
図1はMHfO3 の結晶構造を示す図である。
MHfO3 の結晶構造はペロブスカイト型結晶構造を有しており、図1に示すように、2価の金属Mと酸素OからなるAサイト(例えばCaO、BaO、SrO)層と、4価の金属Hfと酸素OからなるBサイト(HfO2 )層とが交互に積層した構造を有している。
【0012】
Tm(ツリウム)は希土類元素であり、母体結晶MHfO3 の格子間に存在すると推定されている。
MHfO3 :Tm+3蛍光体の発光メカニズムは、母体結晶MHfO3 のバンドギャップエネルギー以上のエネルギーで励起された電子のエネルギーが、電荷移動準位を介してTmの発光準位にあたえられ、発光すると考えられている(Journal of Luminescence87−89(2000)1079−1082参照)。
従来のカラーブラウン管等に使用されているZnS:Ag、Cl青色蛍光体は電子線照射に弱く、分解しやすいため、導電性の酸化物を硫化物蛍光体にコーティングすることで分解防止を行っている。このため、分解防止のコーティング膜の影響で発光効率が低下してしまうこと及び投射電子線密度が高い領域で発光効率が低下する、すなわち励起電子線強度と発光強度との直線関係が悪くなるという課題がある。
一方、本発明に用いるMHfO3 :Tm+3系蛍光体は、電子線照射に対して最も安定である酸化物結晶を母体材料として、希土類元素イオンTm+3をドープした蛍光体であり、高輝度、高寿命、色純度が高く、かつ、高電流密度下でも輝度が飽和しない次世代の青色蛍光体材料である。
【0013】
図2は、Srx Ba1−x HfO3 :Tm、Cax Ba1−x HfO3 :Tm+3、及びCax Sr1−x HfO3 :Tm+3のそれぞれについて、均一組成比xを変化させてSrTiO3 基板上にエピタキシャル成長したエピタキシャル蛍光体薄膜のCL(Cathode Luminescense)発光強度を測定した図である。なお、均一組成比xを有するエピタキシャル蛍光体薄膜とは、各分子層が組成比xを有しているエピタキシャル蛍光体薄膜である。
図において横軸は、波長457nmのCL発光強度を示し、縦軸はそれぞれの母体結晶のSr、Ca及びCaの成分比(モル%)を示す。電子線励起電圧は5kVである。
【0014】
図から明らかなように、これらのエピタキシャル蛍光体薄膜の発光輝度は、アルカリ土類金属間の成分比xによって変化し、Srx Ba1−x HfO3 :Tm、及びCax Ba1−x HfO3 :Tm+3の場合には、成分比xが約50%ではほとんど発光しない、または、輝度が小さいことがわかる。
【0015】
本発明者らは、SrHfO3 :Tm+3、CaHfO3 :Tm+3、BaHfO3 :Tm+3の蛍光体のうちの任意の二つの蛍光体からなる超格子構造によって、発光強度が増大することを見いだした。以下、実施例に基づいて説明する。
コンビナトリアルレーザーMBE装置を用いて試料を作製した。基板にはSrTiO3 (100)基板を使用し、レーザーはKrFエキシマレーザー(波長=248nm)を用いた。ターゲットは、SrHfO3 :Tm+3、CaHfO3 :Tm+3、BaHfO3 :Tm+3組成の三種類の焼結体ターゲットを用いて、装置のマスク動作、レーザー照射、ターゲット選択を同期させることによって、超格子構造式、すなわち、
〔(SrHfO3 :Tm)m ,(CaHfO3 :Tm)m 〕n 、
〔(SrHfO3 :Tm)m ,(BaHfO3 :Tm)m 〕n 、及び
〔(CaHfO3 :Tm)m ,(BaHfO3 :Tm)m 〕n 、
で表される三種類の超格子蛍光体薄膜を作製した。なお、三種類の超格子蛍光体毎に層数mを変えた(m=2〜20)超格子蛍光体薄膜を1枚の基板上に作製した。
上式で、mは連続して積層する単相の分子層数を表し、またnは超格子の周期数を表す。例えば〔(SrHfO3 :Tm)m ,(CaHfO3 :Tm)m 〕n の場合には、SrHfO3 :Tmからなる分子層を連続してm層積層し、この上にCaHfO3 :Tmからなる分子層を連続してm層積層し、これらの層を1周期としてn周期積層することを示す。
また、本実施例では、二つの蛍光体の連続して積層する層数mが等しいので、均一組成比に換算すれば50%である。
なお、Tmのモル濃度は0.5%である。酸素圧力は1×10−6Torrであり、基板温度は約800℃である。
【0016】
図3は上記方法で作製した本発明の超格子蛍光体薄膜の結晶構造の測定結果を示す図である。
図3では、〔(SrHfO3 :Tm)m ,(BaHfO3 :Tm)m 〕n の場合を示している。
図3の(a)及び(b)は一括XRD(X・RAY Diffractionmeasurement)による測定結果であり、横軸は回折角2θを示し、縦軸は基板位置に対応し、図の上方から下方に向かって層数mが増大する。
図中の左側の線は超格子蛍光体薄膜のC軸方向に垂直な(001)面に基づく回折線であり、右側の垂直な線はSrTiO3 (001)基板面に基づく回折線である。
図3の(a)及び(b)から明らかなように、超格子の1周期中の層数mによらずに一定の格子定数を有していることがわかり、本発明の超格子蛍光体薄膜の結晶構造は、層数mの全範囲に亘って単結晶成長していることがわかる。
図3において、(a1)及び(b1)は、超格子蛍光体薄膜の粉末XRDによる測定結果を示す図であり、横軸は回折角2θを示し、縦軸は回折強度を示している。図中のかっこ内の数値は層数mを示している。
図3の(a1)及び(b1)において、一番右のピークは基板SrTiO3 からの回折ピークであり、その左側のピークは超格子蛍光体薄膜の回折ピークである。
図から明らかなように、超格子蛍光体薄膜の回折ピークは、層数mが大きくなるに従って副次ピーク数が増大している。このことから、超格子蛍光体薄膜は、層数mの全範囲に亘って、超格子構造を有していることがわかる。
【0017】
図4は、上記の製造方法で作製した本発明の超格子蛍光体薄膜のCL発光強度を測定した結果を示す図である。
図4の(a)、(b)及び(c)はそれぞれ、
〔(SrHfO3 :Tm)m ,(CaHfO3 :Tm)m 〕n 、
〔(SrHfO3 :Tm)m ,(BaHfO3 :Tm)m 〕n 、及び
〔(CaHfO3 :Tm)m ,(BaHfO3 :Tm)m 〕n 、の超格子蛍光体薄膜のCL発光特性を示す図である。
図において横軸は超格子の1周期中の層数mを示し、左側の縦軸は波長457nmのCL発光強度を示し、右側の縦軸はCL発光の半値全幅を示す。
【0018】
図から明らかなように、〔(SrHfO3 :Tm)m ,(CaHfO3 :Tm)m 〕n 超格子蛍光体薄膜は、層数mが約6層付近に発光強度の極大を有している。この結果は、組成比が50%であっても、超格子構造にすることによって発光輝度を大きくできることを示している。
また、〔(SrHfO3 :Tm)m ,(BaHfO3 :Tm)m 〕n 超格子蛍光体薄膜は、層数mが約8層付近から発光強度が急激に大きくなり、この結果は、図2に示したSrx Ba1−x HfO3 :Tmエピタキシャル蛍光体薄膜において、均一組成比xが約50%ではほとんど発光しない特性とは大きく異なる。
【0019】
このように、本発明の超格子蛍光体薄膜を用いれば、均一組成では発光しないかまたは発光強度が小さい蛍光体を、大きな発光強度で発光させることができ、例えば、完全固体ディスプレイ装置の蛍光体として使用することができる。
また、層数mを変えることによって発光強度を変えることができるから、発光強度が微妙に変化した表示装置として使用することができる。
【0020】
この現象は以下のように考えられる。
〔(SrHfO3 :Tm)m ,(BaHfO3 :Tm)m 〕n を例にとって説明すると、図4からわかるように、超格子の層数mが約10から急激に光り出し、一方、図2からわかるように、均一組成膜Sr0.5 Ba0.5 HfO3 :Tmではほとんど発光していない。超格子構造は、発光層(SrHfO3 :Tm)層と非発光層(BaHfO3 :Tm)を所定の距離離すことに相当するから、発光原子間の距離に最適距離が存在することを示している。m=10は約40Å離したことに相当し、この距離によって発光原子間のエネルギー相互作用距離が最適に制御されて、発光強度が高くなったと推定できる。
【0021】
【発明の効果】
上記説明から理解されるように、本発明の超格子構造式、
〔(SrHfO3 :Tm)m ,(CaHfO3 :Tm)m 〕n 、
〔(SrHfO3 :Tm)m ,(BaHfO3 :Tm)m 〕n 、及び
〔(CaHfO3 :Tm)m ,(BaHfO3 :Tm)m 〕n 、
で表される超格子蛍光体薄膜は、超寿命、高輝度、色純度が高く、高電流密度下でも輝度が飽和しない、かつ製造コストが廉価な優れた青色蛍光体である。
従って、本発明の超格子蛍光体薄膜を、今後発達が予測される種々の完全固体ディスプレイ装置または表示装置に適用すれば極めて有用である。
【図面の簡単な説明】
【図1】MHfO3 の結晶構造を示す図である。
【図2】Srx Ba1−x HfO3 :Tm、Cax Ba1−x HfO3 :Tm+3、Cax Sr1−x HfO3 :Tm+3のそれぞれについて均一組成比xを変化させてSrTiO3 基板上にエピタキシャル成長したエピタキシャル蛍光体薄膜のCL(Cathode Luminescence)発光強度を測定した図である。
【図3】本発明の超格子蛍光体薄膜の結晶構造の測定結果を示す図である。
【図4】本発明の超格子蛍光体薄膜のCL発光強度を測定した結果を示す図である。
Claims (8)
- 単結晶基板と、単結晶基板上に種類の異なる蛍光体を超格子構造に積層した蛍光体薄膜とからなり、
上記超格子構造の格子間隔は、上記蛍光体の発光原子間のエネルギー相互作用距離が最適になる間隔であることを特徴とする、超格子蛍光体薄膜。 - 前記単結晶基板はSrTiO 3 であり、前記種類の異なる蛍光体は、SrHfO 3 :Tm +3 蛍光体とCaHfO 3 :Tm +3 蛍光体であることを特徴とする、請求項1に記載の超格子蛍光体薄膜。
- 前記単結晶基板はSrTiO 3 であり、前記種類の異なる蛍光体は、SrHfO 3 :Tm +3 蛍光体とBaHfO 3 :Tm +3 蛍光体であることを特徴とする、請求項1に記載の超格子蛍光体薄膜。
- 前記単結晶基板はSrTiO 3 であり、前記種類の異なる蛍光体は、CaHfO 3 :Tm +3 蛍光体とBaHfO 3 :Tm +3 蛍光体であることを特徴とする、請求項1に記載の超格子蛍光体薄膜。
- 前記超格子蛍光体の超格子間隔は、20分子層以下であることを特徴とする、請求項2〜4の何れかに記載の超格子蛍光体薄膜。
- 酸素雰囲気中で、所定の温度に加熱された基板上にエピタキシャル成長する製造方法において、
成分組成MHfO 3 :Tm +3 (ただし、Mはアルカリ土類金属元素)で表されるMの異なる2つのターゲットのうちの一方のターゲットをレーザー光でアブレーションして所定の層数の分子層を積層する工程と、この積層された分子層上に他方のターゲットをレーザー光でアブレーションして所定の層数の分子層を積層する工程とを有し、上記2つの工程を繰り返して形成することを特徴とする、超格子蛍光体薄膜の製造方法。 - 前記Mの異なる2つのターゲットは、
SrHfO3 :Tm+3とCaHfO3 :Tm+3、
SrHfO3 :Tm+3とBaHfO3 :Tm+3、または、
CaHfO3 :Tm+3とBaHfO3 :Tm+3、であることを特徴とする、請求項6に記載の超格子蛍光体薄膜の製造方法。 - 前記基板温度は800℃、前記酸素雰囲気の圧力は10-6Torr、前記レーザー光はKrFレーザー光であることを特徴とする、請求項6に記載の超格子蛍光体薄膜の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001190272A JP3582010B2 (ja) | 2001-06-22 | 2001-06-22 | 超格子蛍光体薄膜及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001190272A JP3582010B2 (ja) | 2001-06-22 | 2001-06-22 | 超格子蛍光体薄膜及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003003160A JP2003003160A (ja) | 2003-01-08 |
JP3582010B2 true JP3582010B2 (ja) | 2004-10-27 |
Family
ID=19029071
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001190272A Expired - Fee Related JP3582010B2 (ja) | 2001-06-22 | 2001-06-22 | 超格子蛍光体薄膜及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3582010B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2021149670A1 (ja) * | 2020-01-20 | 2021-07-29 | ||
CN113834856B (zh) * | 2020-06-24 | 2023-07-21 | 中国科学院福建物质结构研究所 | 一种大尺寸超晶格薄膜及其制备方法和用途 |
-
2001
- 2001-06-22 JP JP2001190272A patent/JP3582010B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003003160A (ja) | 2003-01-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8193704B2 (en) | Perovskite oxide thin film EL element | |
US7771531B2 (en) | Manufacturing method and usage of crystallized metal oxide thin film | |
KR100355456B1 (ko) | 형광 디스플레이용 적색 형광체와 그것의 제조방법 | |
US20060183305A1 (en) | Sputter-deposited rare earth element-doped silicon oxide film with silicon nanocrystals for electroluminescence applications | |
CA2171020C (en) | Ternary compound film and manufacturing method therefor | |
JPH04229989A (ja) | エレクトロルミネセントディスプレイコンポーネントのけい光体層 | |
US7674399B2 (en) | Electroluminescent material and electroluminescent element using the same | |
JP3582010B2 (ja) | 超格子蛍光体薄膜及びその製造方法 | |
JP3608196B2 (ja) | エピタキシャル蛍光体薄膜及びその製造方法 | |
JP4047095B2 (ja) | 無機電界発光素子およびその製造方法 | |
JP4042895B2 (ja) | Pl、cl又はel用酸化物蛍光体及びエレクトロルミネッセンス素子並びにその製造方法 | |
US20040159903A1 (en) | Compounds and solid state apparatus having electroluminescent properties | |
JP4178271B2 (ja) | 酸化物電界発光材料及びそれを用いた電界発光素子 | |
JP2000173775A (ja) | 紫外発光エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法 | |
Maruska et al. | Challenges for flat panel display phosphors | |
CN112882284B (zh) | 光转换材料、其制造方法、包含其的发光装置及背光模组 | |
KR100319764B1 (ko) | 형광 디스플레이용 산화물계 적색 형광체 및 그 제조방법 | |
JP5192854B2 (ja) | 蛍光体及びこれを用いた表示パネル | |
JP2001081459A (ja) | 酸化物蛍光体 | |
JP2007045902A (ja) | 酸化物、発光素子及び表示装置 | |
JP2002201469A (ja) | エレクトロルミネッセンス素子用酸化物蛍光体及びエレクトロルミネッセンス素子 | |
JP2005076024A (ja) | エレクトロルミネッセンス素子用希土類添加酸化ガリウム−酸化錫多元系酸化物蛍光体薄膜の製造方法 | |
JPH07263147A (ja) | 薄膜発光素子 | |
JP2009035623A (ja) | 無機酸化物蛍光体及びそれを用いた光源 | |
JP2011057953A (ja) | 紫外線励起及び電子線励起蛍光体、及び衝突励起型el用青色蛍光体、衝突励起型el用青色蛍光体薄膜の製造方法、薄膜el素子、薄膜elディスプレイ及び薄膜elランプ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040706 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040715 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070806 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080806 Year of fee payment: 4 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080806 Year of fee payment: 4 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080806 Year of fee payment: 4 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090806 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100806 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |