JP3581883B2 - 物理量センサ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、物理量センサに関し、特に、温度、力、歪み、質量、加速度、角加速度の如き物理量が加わっていないときの基準パルス幅を大きくとることができ、差動容量センサを構成する両時定数回路の対称性を満足して物理量の変化量および変化の向きを測定する物理量センサに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来例を図5を参照して説明する。
図5は物理量センサの検出部の基本構成を説明する図である。この物理量センサの検出部は円形固定基板10を具備し、その一方の面には円形固定電極11が形成されている。20は円形可撓性基板であり、その一方の面には円形変位電極26が形成されている。30は円形可撓性基板20の他方の面に形成され動作部材を示す。40は物理量センサの検出部の筐体であり、円形固定基板10はこの筐体40に固定されると共に円形可撓性基板20はその円形変位電極26を円形固定電極11に対向して円筒筐体40に収容固定されている。
【0003】
図6は円形可撓性基板20の一方の面に形成される円形変位電極26の正面図である。円形可撓性基板20も、図示される通り円板状の基板であり、周囲は筐体40に固定されている。この円形可撓性基板20に形成される円形変位電極26は、円周方向に相隣接して配列される扇状電極21ないし扇状電極24およびこれらの中心に相隣接して配置される円盤電極25より成る。動作部材30は図6に破線により示される如く断面円形の円柱であり、可撓性基板20の他方の面に同軸的に接合されている。
【0004】
ここで、可撓性基板20は可撓性を有しており、応力が加わると撓みを生じる材料により構成されている。図5に示される如く、動作部材30の重心を重心と定義し、重心を原点とする直角座標XYZを図の様に定義する。このセンサ全体を自動車に搭載したものとすると、動作部材30には自動車の走行に基づいて加速度が加わることになり、この加速度に起因して重心に外力が作用する。重心に外力が作用していない状態においては、円形固定電極11と円形変位電極26とは所定間隔をおいて平行な状態を保持している。ところが、動作部材30の重心にX軸方向の外力Fxが作用すると、この外力Fxは可撓性基板20に対して回転モーメントを生ぜしめ、可撓性基板20には図7に示される如き撓みが生ずる。この撓みにより、扇状電極21と円形固定電極11との間の間隔は増大するが、逆に扇状電極23と円形固定電極11との間の間隔は減少する。重心に作用した力が逆向きの−Fxであると、これと逆の関係の撓みが生ずることになる。この様に、外力Fx或は外力−Fxが作用したとき、扇状電極21および扇状電極23に関する静電容量に変化が生じ、この静電容量変化を電圧変化として検出することにより外力Fx或は外力−Fxを検出することができる。Y軸方向に外力Fy或は外力Fyが作用した場合も同様である。Z軸方向に外力Fz或は外力−Fzが加わった場合、この円盤電極25に関する静電容量の変化を検出することにより外力Fz或は外力−Fzを検出することができる。
【0005】
ところで、扇状電極21と円形固定電極11の組み合わせによりセンサ容量C1が構成され、扇状電極22と円形固定電極11の組み合わせによりセンサ容量C2が構成され、扇状電極23と円形固定電極11の組み合わせにより容量素C3が構成され、扇状電極24と円形固定電極11の組み合わせによりセンサ容量C4が構成され、扇状電極25と円形固定電極11の組み合わせによりセンサ容量C5が構成されるものとすると、これらを図8に示されるが如き信号処理回路に接続して物理量センサを形成し、X軸、Y軸、Z軸方向それぞれの加速度を検出することができる
この図8において、扇状電極21と円形固定電極11との間の間隔の静電容量をセンサ容量C1とし、扇状電極23と円形固定電極11との間の間隔の静電容量をセンサ容量C3とすることにより外力Fx或は外力−Fxを検出することができる。同様に、扇状電極22と円形固定電極11との間の間隔の静電容量をセンサ容量C2とし、扇状電極24と円形固定電極11との間の間隔の静電容量をセンサ容量C4とすることにより外力Fy或は外力−Fyを検出することができる。
【0006】
図8に示される物理量センサにおいては、センサ容量C1およびセンサ容量C3に、インバータ81或は82と抵抗素子83或は84を介して、単一のクロック電圧を印加する。点X6およびX7の信号は同じものになるが、それぞれのCR遅延回路を通った点X8およびX9の信号は、CR遅延回路を構成する抵抗素子R1および抵抗素子R2の抵抗値の相違による特有の遅延時間だけ遅れた信号となる。図9は、図8に示される物理量センサの各点における信号波形を示す図である。ここで、点X6、X7における信号X6、X7に対して、点X8、X9における信号X8、X9は図9に図示される関係にあるものとする。信号X8は遅延時間D1だけ遅れを生じており、信号X9は遅延時間D3だけ遅れを生じている。この場合、EX.OR素子85によって出力端子T6に出力される信号T6は、図9に示される期間Lだけハイレベルを示す信号になる。図5に示されるセンサに対して何らの外力も作用していない基準状態において、図9に図示される各信号が得られるものとする。従って、信号T6のハイレベル期間Lは、外力0に対応する値となる。
【0007】
以上の状態において、センサに加速度が作用し、重心にX軸正方向の外力Fxが作用すると、センサ容量C1の電極間隔は広がってセンサ容量C1の静電容量は減少する。逆に、センサ容量C3の電極間隔は狭くなってセンサ容量C3の静電容量は増加する。これは、図9において遅延時間D1が小さくなり、遅延時間D3が大きくなることに相当し、ハイレベル期間はL+ΔLとなる。
【0008】
逆に、センサにX軸負方向の外力−Fxが作用すると、ハイレベル期間はL−ΔLとなる(以上、詳細は特開平5−346357号公報参照)。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
以上の物理量センサは、上述した通り、加速度の如き物理量が加わっていないときのEx.OR回路85の出力パルス幅Lを基準として、加速度が加わったときの出力パルス幅がこの基準パルス幅Lより増大したか、或は減少したかを認識して印加された加速度の向きおよび大きさを知るものである。この様に、絶対値が小さい基準パルス幅は、信号処理回路を構成する各素子の特性の温度変化その他の種々の変化に対してより不安定なものとなる。
【0010】
しかし、この物理量センサは、設計の都合上、CR遅延回路を構成する抵抗素子R1および抵抗素子R2の抵抗値を大きく異なるものとすることはできない。CR遅延回路の双方は対称的である方が信号処理に好適であるからである。従って、動作部材30に加速度が加わっていないときのEx.OR回路85の出力パルス幅であるハイレベル期間Lは幅を大きくとることは困難である。そして、CR遅延回路の双方の対称性を満足すべく、抵抗素子R1および抵抗素子R2の抵抗値を等しく設定すると、基準パルス幅Lは極く狭いものとなって実質上0となるので、加速度その他の物理量の変化量は表現するが、物理量の初期値からの符号は検出することができない。
【0011】
以上の問題は、センサのセンサ容量C1或はセンサ容量C3の何れか一方に並列に容量Cxを加えることにより解消することができる。しかし、この場合も、加えられた容量Cxは温度変化その他の種々の変化に影響される。更に、容量Cxを加えた側の出力波形は、加えない側の出力波形に対して歪みを生じる。歪みが大きい場合、物理量の精密な検出測定を実施することができない。
【0012】
この発明は、加速度の如き物理量が加わっていないときの基準パルス幅を大きくとり、差動容量センサを構成する両時定数回路の対称性を満足せしめて物理量の変化量および変化の向きを測定する物理量センサを提供するものである。
【0013】
【課題を解決するための手段】
一方の面に円形固定電極11が形成される円形固定基板10を有し、円形固定電極11に対向する面に円形変位電極26が形成されると共に他方の面に動作部材が形成される円形可撓性基板20を有し、円形変位電極26は円周方向に相隣接して配列される扇状電極21ないし24より成り、これら扇状電極はそれぞれ円形固定電極11との間にセンサ容量C1およびC2を形成しており、径方向に配置されるセンサ容量対の扇状電極をセンサ容量電極A、Bとする差動容量センサを具備し、同一繰り返し周波数の位相差π/nの波形φ1およびφ2を発生出力する位相差発振器77を具備し、一方のセンサ容量C1のセンサ容量電極Aにインバータ81および抵抗素子R1を介して一方の波形φ1を印加すると共に他方のセンサ容量C2のセンサ容量電極Bにインバータ82および抵抗素子R2を介して他方の波形φ2を印加し、センサ容量C1、C2と抵抗素子R1、R2の共通接続点をそれぞれ排他的論理和回路85の入力に接続する物理量センサを構成した。
【0014】
そして、位相差発振器77の発生出力する波形は方形波、三角波或は正弦波である物理量センサを構成した。
【0015】
【発明の実施の形態】
この発明の実施の形態を図1および図2を参照して説明する。図1はこの発明のブロック図であり、図2はそのタイミングチャートである。
77は位相差発振器であり、図2(a)に示される同一の繰り返し周波数の位相差1/nπの方形波φ1および方形波φ2を発生する。位相差発振器77の発振出力波形としては、方形波の他に、三角波、正弦波とすることができる。
【0016】
ここで、差動容量センサの一方を構成するセンサ容量C1のセンサ容量電極Aにインバータ81および抵抗素子R1を介して方形波φ1を印加すると共に、差動容量センサの他方を構成するセンサ容量C2のセンサ容量電極Bにインバータ82および抵抗素子R2を介して方形波φ2を印加する。センサ容量電極Aおよびセンサ容量電極Bに対向する共通電極は共に接地している。センサ容量C1、C2と抵抗素子R1、R2の共通接続点をそれぞれ排他的論理和回路(Ex.OR)85の入力に接続する。差動容量センサの一方を構成するセンサ容量C1とこれに直列接続する抵抗R1より成る時定数回路、および差動容量センサの他方を構成するセンサ容量C2とこれに直列接続する抵抗R2より成る時定数回路により、図2(b)に示される充放電波形が得られる。実線は加速度の如き物理量が印加されていない場合の波形を示し、鎖線は物理量が印加されて位相変化した場合の波形を示している。この時のセンサ容量電極Aの電極電圧およびセンサ容量電極Bの電極電圧はほぼ等しく、これをVC とすると、これは式(1)により表わされる。
【0017】
VC =(V1 −V2 )lxp(−t/CR)+V2 (1)
ここで、V1 電極の初期電圧、V2 は電極の終止電圧を示す。tは充電或は放電時間を示す。センサ容量C1およびセンサ容量C2は等しく設定してこれをCとする。抵抗素子R1および抵抗素子R2は等しく設定してこれをRとする。初期電圧V1 および終止電圧V2 が後段の検出回路100に対して適切な電圧となる様にtおよびRを設定する。例えば、V1 =1.5V、V2 =3.5Vの場合に、t/CR=0.R27程度に設定すると好適である。ここで、方形波のデューティ比0.5の場合、その周波数f0 は式(2)の通りになる。
【0018】
f0 =1/2t (2)
ここで、この発明の物理量センサの動作を図2をも参照して更に詳細に説明する。
差動容量センサの一方を構成するセンサ容量C1の電極Aに抵抗素子R1を介して方形波φ1を印加すると共に、差動容量センサの他方を構成するセンサ容量C2の電極Bに抵抗素子R2を介して位相差θだけ進相した方形波φ2を印加する。
【0019】
図2(b)を参照するに、Aはセンサ容量C1および抵抗素子R1により構成される時定数回路のセンサ容量電極Aの充放電電圧特性を示し、Bはセンサ容量C2および抵抗素子R2により構成される時定数回路のセンサ容量電極Bの充放電電圧特性を示す。実線は物理量の定常状態にある時の充放電電圧特性を示す。なお、これら充放電電圧特性は何れも定常状態に到達したものを示している。
【0020】
ここで、センサ容量C1は正の物理量変化により容量が増加する一方、センサ容量C2は正の物理量変化により容量が減少するものとする。この場合、容量が増加するセンサ容量C1側の時定数回路の時定数RC2は物理量の定常状態にあるときの時定数RCと比較して増加し、容量が減少するセンサ容量C2側の時定数回路の時定数RC2は物理量の定常状態にあるときの時定数RCと比較して減少する。
【0021】
図2(b)Aの場合、鎖線により示される充放電電圧特性は、その時定数RC1が実線により示される充放電電圧特性の時定数RCと比較してより大であるのでその分だけ平坦化され、物理量の定常状態であるときと比較して最大電圧は低くなると共に零交差点は遅延方向にずれる。このずれの量はセンサ容量C1の増加、即ち物理量の増加に比例する。図2(b)Bの場合は、鎖線により示される充放電電圧特性の時定数RC2は実線により示される充放電電圧特性の時定数RCと比較して小となる。従って、今度は物理量の定常状態であるときの充放電電圧特性の方が逆に平坦であり、最大電圧はより低くなると共に零交差点は進相方向である左方にずれる。このずれの量はセンサ容量C2の減少、即ち物理量の負の方向の増加に比例する。
【0022】
検出回路100を図8と同様に構成すると、最終段Ex.OR回路に入力される電圧は図2(c)A’の鎖線により示される矩形波、およびB’の鎖線により示される矩形波となる。これらは、それぞれ、図2(b)の充放電波形Aおよび充放電波形Bを波形処理して得られたものである。
結局、図2(d)の鎖線により示される矩形波がEx.OR回路の出力であることになる。このEx.OR回路の矩形波出力のパルス幅は、実線により示される物理量の定常状態であるときの矩形波出力のパルス幅を左右に同様に拡大したものに相当する。このパルス幅の増大は物理量の変化量を反映すると共にその向きをも反映する。
【0023】
以上の動作説明はセンサ容量C1は正の物理量変化により容量が増加し、センサ容量C2は正の物理量変化により容量が減少した場合の動作説明であったが、今度は負の物理量変化によりセンサ容量C1の容量が減少し、センサ容量C2の容量が増大する場合の動作説明をする。
この場合、センサ容量C1および抵抗素子R1により構成される時定数回路において図2(c)B’の鎖線により示される矩形波が得られる一方、センサ容量C2および抵抗素子R2により構成される時定数回路において図2(c)A’の鎖線により示される矩形波が得られる。Ex.OR回路の矩形波出力は、図2(e)の鎖線により示されるものとなる。このEx.OR回路の矩形波出力のパルス幅は、実線により示される物理量の定常状態であるときの矩形波出力のパルス幅を左右に同様に縮小したものに相当する。このパルス幅の縮小は物理量の変化量を反映すると共にその向きをも反映する。
【0024】
位相差発振器77の発振出力する方形波φ1と方形波φ2との間の位相差θをθ=π/2とすると、物理量が定常状態であるときのEx.OR回路の出力矩形波のデューティ比は0.5となる。位相差θをこの様に設定することにより、デューティ比が0.5より増大したか、或は減少したかに対応して物理量の正負の極性を容易に判別することができる。
【0025】
以下、この発明において使用される位相差発振器の例を簡単に説明する。
図3はπ/2の位相差発振器の例を示す。この位相差発振器は、クロック発生器CKとこれによりクロックされるカスケード接続した2個のフリップフロップFF1およびFF2より成る。クロックパルスCKが入力されると、FF1のQ1バー出力であるD1入力はFF1のQ1出力に保持される。次のクロックパルスCKが入力されると、先のクロックパルス入力のときと同様にFF1のQ1バー出力であるD1入力はFF1のQ1出力に保持されると共に、先のクロックパルス入力のときにFF1のQ1出力に保持されたデータはFF2のQ2出力に保持されるに到る。即ち、FF2のQ2出力は、FF1がQ1出力に保持出力したタイミングより1発分だけ遅延して出力したものに相当する。
【0026】
図4は一般的なπ/nの位相差発振器の例を示すが、これに次いての具体的な説明は省略する。
【0027】
【発明の効果】
以上の通りであって、この発明の物理量センサは、物理量が加わっていないときの基準パルス幅を大きくとることができ、差動容量センサを構成する両時定数回路の対称性を満足して物理量の変化量および変化の向きの測定を精度よく実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例を説明するブロック図。
【図2】実施例のタイミングチャートである。
【図3】位相差発振器を説明する図。
【図4】位相差発振器を説明する図。
【図5】物理量センサの検出部の従来例の断面を示す図。
【図6】図5の円形変位電極の正面図。
【図7】図6の円形変位電極の変位したところを示す図。
【図8】物理量センサの従来例を示す図。
【図9】従来例のタイミングチャート。
【符号の説明】
11 円形固定電極
10 円形固定基板
20 円形可撓性基板
21ないし24 扇状電極
26 円形変位電極
81 インバータ
82 インバータ
85 排他的論理和回路
A、B センサ容量電極
C1、C2 センサ容量
R1 抵抗素子
R2 抵抗素子
77 位相差発振器
Claims (2)
- 一方の面に円形固定電極が形成される円形固定基板を有し、円形固定電極に対向する面に円形変位電極が形成されると共に他方の面に動作部材が形成される円形可撓性基板を有し、円形変位電極は円周方向に相隣接して配列される扇状電極より成り、これら扇状電極はそれぞれ円形固定電極との間にセンサ容量を形成しており、径方向に配置されるセンサ容量対の扇状電極をセンサ容量電極とする差動容量センサを具備し、
同一繰り返し周波数の位相差π/nの波形を発生出力する位相差発振器を具備し、
一方のセンサ容量のセンサ容量電極Aにインバータおよび抵抗素子を介して一方の波形を印加すると共に他方のセンサ容量のセンサ容量電極にインバータおよび抵抗素子を介して他方の波形を印加し、センサ容量と抵抗素子の共通接続点をそれぞれ排他的論理和回路の入力に接続することを特徴とする物理量センサ。 - 請求項1に記載される物理量センサにおいて、
位相差発振器の発生出力する波形は方形波、三角波或は正弦波であることを特徴とする物理量センサ。
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