JP3570581B2 - レーザ光源装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、周波数間隔一定の側帯波をもつレーザ光を発生する光周波数コム発生器を用いて構成した発振周波数が広範囲に亘って可変設定可能なレーザ光源装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、2つのレーザ光をヘテロダイン検波させてその差周波数を測定あるいは制御する場合、その帯域は受光素子の帯域で制限され、おおむね数十GHz程度であるので、光周波数コム発生器を用いて広帯域なヘテロダイン検波系を構築するようにしている。光周波数コム発生器は、入射したレーザ光の側帯波を等周波数間隔毎に数百本発生させるもので、発生される側帯波の周波数安定度はもとのレーザ光のそれとほぼ同等である。そこで、この側帯波と他のレーザ光をヘテレロダイン検波させれば、数THzに亘る広帯域なヘテロダイン検波系を構築することができる。
【0003】
例えば図8に示すように、周波数を安定化させたマスタレーザ光を出射するマスタレーザ光源21と、上記マスタレーザ光源21からのマスタレーザ光が入射される光周波数コム発生器22と、スレーブレーザ光を出射する発振周波数が可変可能なスレーブレーザ光源23と、上記スレーブレーザ光源23からのスレーブレーザ光を外部に取り出す光カプラ24と、上記光周波数コム発生器22による上記マスタレーザの各側帯波と上記スレーブレーザ光源23からのスレーブレーザ光を合波する光カプラ25と、合波により発生されたヘテロダイン検波信号を検出する光検出器6と、この光検出器26により検出されたヘテロダイン検波信号に基づいて上記スレーブレーザ光源23の発振周波数を帰還制御するヘテロダイン信号制御回路27とによって、発振周波数が広範囲に亘って可変設定可能なレーザ光源装置が構成される。
【0004】
このレーザ光源装置では、図9に示すように、マスタレーザ光の周波数をνM 、上記光周波数コム発生器23が出力する側帯波の次数をn、上記側帯波の間隔をfm 、上記側帯波とスレーブレーザ光間の差周波数をνh とすると、上記スレーブレーザ光の発振周波数νS は、
νS =νM +n×fm +νh
となる。従って、スレーブレーザ光の周波数νS は、原理的に、上記次数nと差周波数νh を任意に選択することにより、側帯波の発生範囲内で自由に設定することできる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述の如き構成の従来のレーザ光源装置では、次のような問題点がある。
【0006】
先ず、上記光検出器26により検出されるヘテロダイン検波信号は、側帯波とスレーブレーザ光の周波数が接近し過ぎると図10に示すように1/fノイズとレーザの発振線幅の影響を受ける。このため、上記差周波数νh は、約10MHz以下とするすることができない。また、図11に示すようにスレーブレーザ光の周波数νS を2本の側帯波νn ,νn+1 の中間付近に設定すると、図12に示すように低周波側の側帯波νn と高周波側の側帯波νn+1 からの2つのヘテロダイン検波信号が上記光検出器26により検出されてしまい、これらのヘテロダイン周波数|νS −νn |,|νS −νn+1 |が接近しているのでを分離することができず、上記スレーブレーザ光源23の発振周波数すなわちスレーブレーザ光の周波数νS を上記テロダイン信号制御回路27により正常に帰還制御することができない。すなわち、スレーブレーザ光の周波数νS は、原理的には任意に設定可能なのであるが、実際には上述の如き1/fノイズとレーザの発振線幅の影響などによって、設定できない周波数があった。
【0007】
そこで、本発明の目的は、1/fノイズなどの影響などを回避して、発振周波数を広範囲に可変設定可能としたレーザ光源装置を提供することにある。
【0008】
また、本発明の他の目的は、他の側帯波からのヘテロダイン信号の影響を回避して、発振周波数を広範囲に可変設定可能としたレーザ光源装置を提供することにある。
【0009】
さらに、本発明の目的は、スレーブレーザ光源が発振可能な全範囲に亘ってスレーブレーザ光の発振周波数を可変設定することができる光シンセサイザとして機能するレーザ光源装置を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るレーザ光源装置は、発振周波数が安定化されたマスタレーザ光源と、このマスタレーザ光源から入射されるマスタレーザ光に対して所定周波数間隔毎に側帯波を発生する光周波数コム発生器と、発振周波数が可変可能なスレーブレーザ光源と、上記スレーブレーザ光源から出射されたスレーブレーザ光と上記光周波数コム発生器により発生された側帯波とのヘデロダイン成分を検出するヘテロダイン検波手段と、上記ヘテロダイン検波手段により検出されたヘデロダイン検波信号に基づいて上記スレーブレーザ光源の発振周波数を帰還制御する周波数オフセットロック手段と、上記スレーブレーザ光源から出射されるスレーブレーザ光の周波数が上記光周波数コム発生器により発生された側帯波の周波数に近傍になったときに、上記マスタレーザ光源の発振周波数をシフトさせるマスタレーザ制御手段とを備えることを特徴とする。
【0011】
また、本発明に係るレーザ光源装置は、発振周波数が安定化されたマスタレーザ光源と、このマスタレーザ光源から入射されるマスタレーザ光に対して所定周波数間隔毎に側帯波を発生する光周波数コム発生器と、発振周波数が可変可能なスレーブレーザ光源と、上記スレーブレーザ光源から出射されたスレーブレーザ光と上記光周波数コム発生器により発生された側帯波とのヘデロダイン成分を検出するヘテロダイン検波手段と、上記ヘテロダイン検波手段により検出されたヘデロダイン検波信号に基づいて上記スレーブレーザ光源の発振周波数を帰還制御する周波数オフセットロック手段と、上記スレーブレーザ光源から出射されるスレーブレーザ光の周波数が上記光周波数コム発生器により発生された隣接する側帯波の中間付近の周波数に近傍になったときに、上記光周波数コム発生器により発生される側帯波の間隔を切り換える光周波数コム制御手段とを備えることを特徴とする。
【0012】
さらに、本発明に係るレーザ光源装置は、発振周波数が安定化されたマスタレーザ光源と、このマスタレーザ光源から入射されるマスタレーザ光に対して所定周波数間隔毎に側帯波を発生する光周波数コム発生器と、発振周波数が可変可能なスレーブレーザ光源と、上記スレーブレーザ光源から出射されたスレーブレーザ光と上記光周波数コム発生器により発生された側帯波とのヘデロダイン成分を検出するヘテロダイン検波手段と、上記ヘテロダイン検波手段により検出されたヘデロダイン検波信号に基づいて上記スレーブレーザ光源の発振周波数を帰還制御する周波数オフセットロック手段と、上記スレーブレーザ光源から出射されるスレーブレーザ光の周波数が上記光周波数コム発生器により発生された側帯波の周波数に近傍になったときに、上記マスタレーザ光源の発振周波数をシフトさせるマスタレーザ制御手段と、上記スレーブレーザ光源から出射されるスレーブレーザ光の周波数が上記光周波数コム発生器により発生された隣接する側帯波の中間付近の周波数に近傍になったときに、上記光周波数コム発生器により発生される側帯波の間隔を切り換える光周波数コム制御手段とを備えることを特徴とする。
【0013】
【発明に実施の形態】
以下、本発明の実施の形態に実施例について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【0014】
本発明に係るレーザ光源装置は、例えば図1に示すように構成される。
【0015】
この図1に示したレーザ光源装置は、マスタレーザ光を出射するマスタレーザ光源1と、上記マスタレーザ光源1からのマスタレーザ光が入射される光周波数コム発生器3と、スレーブレーザ光を出射する発振周波数が可変可能なスレーブレーザ光源3と、上記スレーブレーザ光源3からのスレーブレーザ光を外部に取り出す光カプラ4と、上記光周波数コム発生器2による上記マスタレーザの各側帯波と上記スレーブレーザ光源2からのスレーブレーザ光を合波する光カプラ5をと、合波により発生されたヘテロダイン検波信号を検出する光検出器6と、この光検出器6により検出されたヘテロダイン検波信号に基づいて上記スレーブレーザ光源3の発振周波数を帰還制御する周波数オフセットロッキング回路(FOLC:Frequency Offset Locking Circuit) 7と、これらを制御するコンピュータ8などから構成されている。
【0016】
上記マスタレーザ光源1は、気体原子や分子の吸収線によって発振周波数が安定化された第1のレーザ光源11と、この第1のレーザ光源11が出射している第1のレーザ光との差周波数を周波数オフセットロッキング回路(FOLC:Frequency Offset Locking Circuit) 17により安定化させた第2のレーザ光源12とを備える。すなわち、上記第1のレーザ光源11の発振周波数は、該第1のレーザ光源11からの第1のレーザ光が光吸収セル13を介して光検出器14により検出され、この光検出器12による検出出力で帰還制御されている。これにより、上記第1のレーザ光源11は、その発振周波数が気体原子や分子の吸収線によって安定化されている。また、上記第2のレーザ光源12の発振周波数は、該第2のレーザ光源12が出射している第2のレーザ光と上記第1のレーザ光源11が出射している第1のレーザ光とのヘテロダイン信号が光検出器16により検出され、この光検出器16による検出出力に基づいてFOLC17により帰還制御される殊によって、上記第1のレーザ光源11が出射している第1のレーザ光との差周波数が安定化されている。
【0017】
上記FOLC17には、上記コンピュータ8により発振周波数が切換設定される発振器18から周波数オフセットロッキング用の基準周波数信号が供給されている。そして、上記FOLC17は、この基準周波数信号と上記光検出器16による検出出力とを位相比較して、その比較出力で上記第2のレーザ光源12の駆動電流源を制御することにより、上記第1のレーザ光との差周波数が基準周波数信号の周波数と等しくなるように上記第2のレーザ光源12の発振周波数を制御する。
【0018】
このような構成のマスタレーザ光源1では、上記FOLC17に供給する周波数オフセットロッキング用の基準周波数信号の周波数すなわち上記発振器18の発振周波数が上記コンピュータ8により切換設定されることによって、上記第2のレーザ光源12の発振周波数が切換設定される。
【0019】
そして、このマスタレーザ光源1は、上記第2のレーザ光源12が出射する第2のレーザ光をマスタレーザ光として、上記光周波数コム発生器2に入射する。
【0020】
上記光周波数コム発生器2には、上記コンピュータ8により発振周波数が切換設定される発振器9から側帯波発生用の変調信号が供給されている。
【0021】
この光周波数コム発生器2は、上記マスタレーザ光源1から入射されたマスタレーザ光からの差周波数が、上記発振器9から入力された側帯波発生用の変調信号の周波数fμの整数倍となる側帯波を発生する。
【0022】
上記光周波数コム発生器2により発生される各側帯波の中心周波数は、上記側帯波発生用の変調信号の周波数fμすなわち上記発振器9の発振周波数が上記コンピュータ8により切換設定されることによって、シフトされる。
【0023】
そして、上記光検出器6では、上記光周波数コム発生器2により発生された各側帯波と上記スレーブレーザ光源3から出射されたスレーブレーザ光とのヘテロダイン検波信号を検出し、そのヘテロダイン検波信号を上記FOLC7に供給する。
【0024】
このFOLC7には、上記コンピュータ8により発振周波数が切換設定される発振器10から周波数オフセットロッキング用の基準周波数信号が供給されている。そして、上記FOLC7は、この基準周波数信号と上記光検出器6による検出出力とを位相比較して、その比較出力で上記スレーブレーザ光源3の駆動電流源を制御することにより、上記側帯波との差周波数が基準周波数信号の周波数と等しくなるように上記スレーブレーザ光源3の発振周波数を制御する。
【0025】
このような構成のレーザ光源装置では、マスタレーザ光の周波数をνM 、上記光周波数コム発生器2が出力する側帯波の次数をn、上記側帯波の間隔をfm 、上記側帯波とスレーブレーザ光間の差周波数をνh とすると、上記スレーブレーザ光の周波数νS は、
νS =νM +n×fm +νh
となり、上記次数nと差周波数νh を任意に選択することにより、側帯波の発生範囲内で自由に設定することできる。上記側帯波とスレーブレーザ光間の差周波数νh は、上記FOLC7に供給される基準周波数信号の周波数すなわち上記発振器10の発振周波数によって決定される。
【0026】
ここで、上記光周波数コム発生器2には、位相変調器及び光共振器にTi−LiNbO3 導波路を用いた導波路型光周波数コム発生器を採用した。この光周波数コム発生器2に採用した導波路型光周波数コム発生器の基本性能は、共振器長=38mm、フリースペクトルレンジ(FSR)=1.87GHz、フィネス=30、変調指数=2πである。上記光周波数コム発生器2により発生させ光周波数コムの包絡線を分解能が0.1nm(=13GHz)の光スペクトラムアナライザで観測した結果を図2に示す。光周波数コムの発生条件は、入射レーザ光量=10mW、変調周波数fμ=13.090GHz(=7FSR)であった。この図2により明らかなように、5.1THzの範囲に−80dBm以上のパワーを持つ側帯波を発生することができる。
【0027】
また、上記マスタレーザ光とスレーブレーザ光の間の差周波数|νS −νM |を0.65457THzに設定したときのスペクトルを図3に示す。図3の(a)は光スペクトルアナライザで測定した結果を示し、(b)は側帯波とのマスタレーザ光の関係を略図で示したものである。さらに、13.089GHz間隔で発生している側帯波の50番目とヘテロダイン検波を行った場合のヘテロダイン信号を図4に示す。ここでは、基準信号周波数を調整とすることにより、ヘテロダイン周波数を約120MHzに設定しており、上記マスタレーザ光とスレーブレーザ光の間の差周波数|νS −νM | は、13.089×50+0.12=654.57GHzに制御されている。
【0028】
また、上記50番目の側帯波とスレーブレーザ光の間のヘテロダイン信号の制御時とフリーランニング時における周波数揺らぎのアラン分散の平方根を図5に示す。この図5において、●は制御時におけるアラン分散の平方根を示し、また+はフリーランニング時におけるアラン分散の平方根を示している。この図5から明らかなように、フリーフリーランニング時にはσS =10−9であった差周波数変動が、周波数オフセットロック制御によってσS =3×10−12τ−1まで安定化されている。マスタレーザ光の周波数揺らぎσM 、変調周波数揺らぎをσμ、n番目の側帯波とスレーブレーザ光の間の差周波数揺らぎをσS とすれば、スレーブレーザの周波数揺らぎσslave は、
σslave 2 =σM 2+n× σμ2+σS 2
と表される。気体原子、分子の吸収線を周波数基準に用いたマスタレーザの周波数揺らぎσM は、σM=10−10(τ=1秒)程度であり、σM》σSといえる。また、レーザ光の周波数変動に対して変調周波数の変動は無視できる。従って、上記スレーブレーザ光の周波数揺らぎσslave は、
σslave=σM =10−10
とみることができる。
【0029】
そして、このレーザ光源装置では、側帯波とスレーブレーザ光の発振周波数νS が接近した場合に、1/fノイズの影響を回避するために、上記コンピュータ8により発振器18の発振周波数を切換制御してマスタレーザ光の発振周波数νM をシフトさせる。これにより、上記光周波数コム発生器2で発生する側帯波全体の周波数をシフトさせて、1/fノイズの影響を回避して、安定に周波数オフセットロックを行うことができる。すなわち、図6に示すA領域及びC領域のスレーブレーザ光の周波数νS を設定する場合には、側帯波をシフトさせずに周波数オフセットロックを行い、図6に示すB領域にスレーブレーザ光の周波数νS を設定する場合には、側帯波を−2×f1/f だけ周波数シフトさせて周波数オフセットロックを行う。これにより、スレーブレーザ光の周波数νS をどの領域に設定させた場合にも、ヘテロダイン周波数すなわち上記差周波数νh を常にf1/f 以上ととすることができる。すなわち、上記差周波数νh を10MHzよりも高い周波数に設定して、1/fノイズの影響を回避して、安定に周波数オフセットロックを行うことができる。
【0030】
また、スレーブレーザ光の周波数νS が2本の側帯波の中間付近に近づいた場合には、他の側帯波からのヘテロダイン信号の影響を回避するために、側帯波の間隔を変える。すなわち、側帯波の間隔fm は、光周波数コム発生器の光共振器のフリースペクトルレンジ(FSR)の整数倍で設定可能であるから、図7のA領域、C領域、D領域及びF領域にスレーブレーザ光の周波数νS を設定する場合には、変調周波数fμ=2×FSRとし、側帯波の中間付近であるB領域及びF領域にスレーブレーザ光の周波数νS を設定する場合には、変調周波数fμ=4×FSRに切り換える。これにより、最も低いヘテロダイン周波数をf1 、2番目に低いヘテロダイン周波数をf2 とすると、常にf1 <2f2 となり、フィルタによりf1 の信号のみを取り出して周波数オフセットロックを行うことができる。
【0031】
従って、上述の如き構成のレーザ光源装置は、上記スレーブレーザ光源3が発振可能な全範囲に亘ってスレーブレーザ光の周波数νS を可変設定することができ、光シンセサイザとして機能する。
【0032】
【発明の効果】
本発明に係るレーザ光源装置では、スレーブレーザ光源から出射されるスレーブレーザ光の周波数が光周波数コム発生器により発生された側帯波の周波数に近傍になったときに、マスタレーザ光源の発振周波数をシフトさせることによって、1/fノイズの影響を回避して、スレーブレーザ光源の発振周波数を安定に周波数オフセットロックを行うことができ、スレーブレーザ光の周波数を広範囲に可変設定することができる。
【0033】
また、本発明に係るレーザ光源装置では、スレーブレーザ光源から出射されるスレーブレーザ光の周波数が光周波数コム発生器により発生された隣接する側帯波の中間付近の周波数に近傍になったときに、上記光周波数コム発生器により発生される側帯波の間隔を切り換えることによって、他の側帯波からのヘテロダイン信号の影響を回避して、スレーブレーザ光源の発振周波数を安定に周波数オフセットロックを行うことができ、スレーブレーザ光の周波数を広範囲に可変設定することができる。
【0034】
さらに、本発明に係るレーザ光源装置では、スレーブレーザ光源から出射されるスレーブレーザ光の周波数が光周波数コム発生器により発生された側帯波の周波数に近傍になったときに、マスタレーザ光源の発振周波数をシフトさせるマスタレーザ制御手段と、上記スレーブレーザ光源から出射されるスレーブレーザ光の周波数が上記光周波数コム発生器により発生された隣接する側帯波の中間付近の周波数に近傍になったときに、上記光周波数コム発生器により発生される側帯波の間隔を切り換える光周波数コム制御手段とを備えることによって、1/fノイズ及び他の側帯波からのヘテロダイン信号の影響を回避して、スレーブレーザ光の周波数を広範囲に可変設定することができる。
【0035】
従って、本発明によれば、スレーブレーザ光と側帯波間のヘテロダイン信号検出可能な全範囲に亘ってスレーブレーザ光の発振周波数を可変設定することができる光シンセサイザとして機能するレーザ光源装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るレーザ光源装置の構成を示すブロックである。
【図2】上記レーザ光源装置の光周波数コム発生器に採用した導波路型光周波数コム発生器により発生した光周波数コムの包絡線の観測結果を示す図である。
【図3】上記レーザ光源装置における上記光周波数コム発生器が発生した側帯波とスレーブレーザ光の関係を示すスペクトル図である。
【図4】上記側帯波とスレーブレーザ光の間のヘテロダイン信号を示す図である。
【図5】上記側帯波とスレーブレーザ光の間の差周波数のアラン分散の平方根を示す図である。
【図6】上記スレーブレーザ光の周波数とヘテロダイン周波数の関係を示す図である。
【図7】上記スレーブレーザ光の設定周波数とヘテロダイン検波させる側帯波の関係を示す図である。
【図8】従来のレーザ光源装置の構成を示すブロックである。
【図9】従来のレーザ光源装置におけるマスタレーザ光の周波数νM 、側帯波の次数n及びスレーブレーザ光の周波数νS の関係を示す図である。
【図10】従来のレーザ光源装置において光検出器で検出されるヘテロダイン信号の周波数特性を示す図である。
【図11】従来のレーザ光源装置においてスレーブレーザ光の周波数νS を側帯波間の中央付近に設定した状態を示す図である。
【図12】従来のレーザ光源装置においてスレーブレーザ光の周波数νS を側帯波間の中央付近に設定した状態でのヘテロダイン信号を示す図である。
【符号の説明】
1 マスタレーザ光源
2 光周波数コム発生器
3 スレーブレーザ光源
4,5 光カップラ
6,14,16 光検出器
7,17 周波数オフセットロック回路
8 コンピュータ
9,10,18 発振器
11 第1のレーザ光源
12 第2のレーザ光源
13 光吸収セル
Claims (5)
- 発振周波数が安定化されたマスタレーザ光源と、
このマスタレーザ光源から入射されるマスタレーザ光に対して所定周波数間隔毎に側帯波を発生する光周波数コム発生器と、
発振周波数が可変可能なスレーブレーザ光源と、
上記スレーブレーザ光源から出射されたスレーブレーザ光と上記光周波数コム発生器により発生された側帯波とのヘデロダイン成分を検出するヘテロダイン検波手段と、
上記ヘテロダイン検波手段により検出されたヘデロダイン検波信号に基づいて上記スレーブレーザ光源の発振周波数を帰還制御する周波数オフセットロック手段と、
上記スレーブレーザ光源から出射されるスレーブレーザ光の周波数が上記光周波数コム発生器により発生された側帯波の周波数に近傍になったときに、上記マスタレーザ光源の発振周波数をシフトさせるマスタレーザ制御手段と
を備えることを特徴とするレーザ光源装置。 - 上記マスタレーザ光源は、気体原子又は分子の吸収線を周波数基準として発振周波数が安定化された第1のレーザ光源と、周波数オフセットロック手段により上記第1のレーザ光源から出射された第1のレーザ光との差周波数が安定化された第1のレーザ光をマスタレーザ光として出射する第2のレーザ光源とからなり、
上記マスタレーザ制御手段は、上記周波数オフセットロック手段により安定化される上記第1のレーザ光源から出射された第1のレーザ光との差周波数を切換設定することを特徴とする請求項1記載のレーザ光源装置。 - 発振周波数が安定化されたマスタレーザ光源と、
このマスタレーザ光源から入射されるマスタレーザ光に対して所定周波数fm間隔毎に側帯波を発生する光周波数コム発生器と、
発振周波数が可変可能なスレーブレーザ光源と、
上記スレーブレーザ光源から出射されたスレーブレーザ光と上記光周波数コム発生器により発生された側帯波とのヘデロダイン成分を検出するヘテロダイン検波手段と、
上記ヘテロダイン検波手段により検出されたヘデロダイン検波信号に基づいて上記スレーブレーザ光源の発振周波数を帰還制御する周波数オフセットロック手段と、
上記スレーブレーザ光源から出射されるスレーブレーザ光の周波数が上記光周波数コム発生器により発生された隣接する側帯波の中間付近の周波数に近傍になったときに、上記光周波数コム発生器により発生される側帯波の間隔を切り換える光周波数コム制御手段と
を備えることを特徴とするレーザ光源装置。 - 発振周波数が安定化されたマスタレーザ光源と、
このマスタレーザ光源から入射されるマスタレーザ光に対して所定周波数間隔毎に側帯波を発生する光周波数コム発生器と、
発振周波数が可変可能なスレーブレーザ光源と、
上記スレーブレーザ光源から出射されたスレーブレーザ光と上記光周波数コム発生器により発生された側帯波とのヘデロダイン成分を検出するヘテロダイン検波手段と、
上記ヘテロダイン検波手段により検出されたヘデロダイン検波信号に基づいて上記スレーブレーザ光源の発振周波数を帰還制御する周波数オフセットロック手段と、
上記スレーブレーザ光源から出射されるスレーブレーザ光の周波数が上記光周波数コム発生器により発生された側帯波の周波数に近傍になったときに、上記マスタレーザ光源の発振周波数をシフトさせるマスタレーザ制御手段と、
上記スレーブレーザ光源から出射されるスレーブレーザ光の周波数が上記光周波数コム発生器により発生された隣接する側帯波の中間付近の周波数に近傍になったときに、上記光周波数コム発生器により発生される側帯波の間隔を切り換える光周波数コム制御手段と
を備えることを特徴とするレーザ光源装置。 - 上記マスタレーザ光源は、気体原子又は分子の吸収線を周波数基準として発振周波数が安定化された第1のレーザ光源と、周波数オフセットロック手段により上記第1のレーザ光源から出射された第1のレーザ光との差周波数が安定化された第1のレーザ光をマスタレーザ光として出射する第2のレーザ光源とからなり、
上記マスタレーザ制御手段は、上記周波数オフセットロック手段により安定化される上記第1のレーザ光源から出射された第1のレーザ光との差周波数を切換設定することを特徴とする請求項4記載のレーザ光源装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21794195A JP3570581B2 (ja) | 1995-08-25 | 1995-08-25 | レーザ光源装置 |
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