JP3567923B2 - Ic試験装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、被試験対象、例えばIC、LSIなどを試験するIC試験装置に関し、信号線の数を増大せずにテストレートの高速化を図るIC試験装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
IC半導体試験装置は、試験パターンを被試験対象であるIC等に与え、IC等の出力と期待値パターンとを比較し、IC等の良否の判定を行う装置である。このような装置は、例えば「TS6000 20MHz ロジックLSIテストシステム」横河技報、Vol.42、1998、No.3、p.89−94等に記載されている。
【0003】
このような装置の一例を図6を用いて以下に説明する。
図6において、被試験対象(以下DUTと略す)10は、ICやLSI等である。本体MFはメインフレームで、キャプチャデータメモリ40、制御部41が設けられる。テストヘッドTHは、複数のピンエレクトロニクスカード21〜2N、この複数のピンエレクトロニクスカード21〜2Nを組とした複数のバックプレーン30〜32が設けられる。
【0004】
DUT10のICピンは、入力ピン、出力ピン、入出力ピンが設けられる。キャプチャデータメモリ40は、DUT10の各ICピンまたは複数のICピンの試験結果を格納する記憶部である。制御部41は、テストヘッドTH内の信号の流れを制御するための制御信号を出力する。
【0005】
テストヘッドTHは、一端が本体MFに接続され、他端がDUT10のICピンと接続され、本体MFとDUT10のICピンとの間に介在して信号の受け渡し、信号処理を行う。さらに、テストヘッドTHの試験結果伝送部の一部の詳細な構成を図7に示し、説明をする。
【0006】
図7において、N枚(Nは複数)のピンエレクトロニクスカード21〜2Nは、DUT10と信号の授受を行い、m本(mは複数)のピンPIN、このピンPINごとに設けられるコンパレータCMP、データセレクタDS、n本(nは1以上の整数)の信号線L1〜Ln、図示しないドライバ等が設けられる。バックプレーン30は、ピンエレクトロニクスカード21〜2Nに設けられる信号線L1〜Lnと同数のn本の信号線BL1〜BLnが設けられる。
【0007】
ピンPINは、一端がDUT10のICピンと電気的に接続され、各ピンは他のピンと重複しないようICピンに接続される。
【0008】
コンパレータCMPは、入力側がピンPINの他端とそれぞれ電気的に接続され、ピンPINを介して伝送されるDUT10からの出力レベルをアナログコンパレータにて”HIGH”または”LOW”かを比較し、さらにこの比較結果の信号パターンと期待値パターンとをデジタルコンパレータにて比較し、このアナログコンパレータの比較結果またはデジタルコンパレータの比較結果を出力する。
【0009】
データセレクタDSは、入力側がピンエレクトロニクスカード21〜2Nごとに設けられた複数のコンパレータCMPの出力側と電気的に接続される。データセレクタDSは、コンパレータCMPのアナログコンパレータからの出力を、nビットの信号であるキャプチャデータに変換し、制御部41の制御信号に従って所望ビットの信号を出力するものである。
【0010】
ここで、キャプチャデータとは、例えば、ADコンバータが搭載されたDUT10で、ADコンバータのリニアリティを測定するとき、最初にフルスケールにてAD変換をさせ、アナログコンパレータからのデータを取得し、その後演算を行うが、このフルスケールにて測定したデータのことである。このとき、リニアリティの測定に必要な出力はDUT10の任意の複数ピンのため、コンパレータCMPの後段のデータセレクタDSにて選択を行っている。
【0011】
信号線L1〜Lnは、一端がデータセレクタDSの各ビットの出力側とそれぞれ接続される。つまり、データセレクタDSの1ビット目の出力側と信号線L1の一端が接続され、nビット目の出力側と信号線Lnの一端が接続される。
【0012】
バックプレーン30は、複数のピンエレクトロニクスカード21〜2Nを組として、この組としたピンエレクトロニクスカード21〜2Nのそれぞれと電気的に接続される。信号線BL1〜BLnは、一端がキャプチャデータメモリ40と電気的に接続され、他端が複数のピンエレクトロニクスカード21〜2Nの信号線L1〜Lnの他端のそれぞれと電気的に接続され、複数のピンエレクトロニクスカード21〜2Nからの信号をキャプチャデータメモリ40に伝送する。このように、複数のピンエレクトロニクスカード21〜2Nの出力信号は、バックプレーン30上の信号線BL1〜BLnにてワイヤードOR接続される構成となる。
【0013】
このような装置において、DUT10のICピンからの信号がキャプチャデータメモリ40に格納される動作を以下に説明する。DUT10のICピンからの信号は、ピンエレクトロニクスカード21〜2NごとのピンPINを経由して各コンパレータCMPに入力される。コンパレータCMPはピンPINからの出力レベルをアナログコンパレータにて”HIGH”または”LOW”かを比較し、この比較結果をデータセレクタDSに出力する。データセレクタDSは、比較結果をnビットの信号に変換し、制御部41からの信号に従い所望ビットの出力を信号線L1〜Lnに出力する。
【0014】
制御部41の信号は、組にしたピンエレクトロニクスカード21〜2Nごとに設けられるデータセレクタDSの出力端の状態を制御する。例えばピンエレクトロニクスカード21に設けられたデータセレクタDSの1ビット目の出力端がイネーブルに設定された場合、複数のピンエレクトロニクスカード21〜2Nからの信号をバックプレーン30上でワイヤードORする場合を除き、他のピンエレクトロニクスカード22〜2Nに設けられたデータセレクタDSの1ビット目の出力端はディセーブルに設定される。そして、組にしたピンエレクトロニクスカード21〜2Nごとに出力された出力信号は、バックプレーン30上でビットごとにワイヤードORされ、キャプチャデータメモリ40に伝達され格納される。
【0015】
他のバックプレーン31、32の接続関係および動作は、バックプレーン30と同様なので説明を省略する。
【0016】
複数のバックプレーン30〜32からの出力信号はキャプチャデータメモリ40に格納される。そして、このキャプチャデータメモリ40は複数のバックプレーン30〜32からの出力を選択するためのデータセレクタ機能を含むこともある。
【0017】
【発明が解決しようとする課題】
このように、DUT10のICピンからの信号は、ピンエレクトロニクスカード21〜2NごとにデータセレクタDSにて試験に必要なキャプチャデータに変換され、これらのキャプチャデータはバックプレーン30〜32上の信号線BL1〜BLnでワイヤードORされる。ワイヤードOR接続では、配線長が長くなるために生ずる配線容量や配線抵抗、ピンエレクトロニクスカード21〜2Nごとに発生する容量、データセレクタDSの出力端にて発生する信号の反射などがある。これらの要因により、ピンエレクトロニクスカード21〜2Nからの出力信号であるキャプチャデータの信号波形がなまってしまい、テストレートを速くして信号伝送を高速にすると、信号を正確に伝送できないという問題があった。このような構成におけるテストレートは、例えば20MHz程度であった。
【0018】
テストレートを高速にして信号を伝送する方法として、データセレクタDSの出力側とキャプチャデータメモリ40の入力側を1対1に接続して伝送する方法がある。しかし、ピンエレクトロニクスカード21〜2Nごとに信号線(n本×ピンエレクトロニクスカードカード数)が必要となりバックプレーン30〜32上の信号線が増大する。
【0019】
また、バックプレーン30〜32でワイヤードORでなく、論理回路を設けて各ピンエレクトロニクスカード21〜2Nの出力をORする方法がある。しかし、バックプレーン30〜32にはピンエレクトロニクスカード21〜2Nとほぼ同数の能動回路を設けなければならず、部品数の増加やバックプレーン30〜32の実装面積の増加につながってしまう。
【0020】
そこで本発明の目的は、信号線の数を増大せずに試験結果データを高速に伝送できるIC試験装置を実現することにある。
【0021】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の発明は、
被試験対象を試験するIC試験装置において、
前記被試験対象と信号の授受を行う複数のピンエレクトロニクスカードと、
このピンエレクトロニクスカード間をディジチェーン接続するディジチェーン信号線と
を設け、データ伝送を行うことを特徴とするものである。
【0022】
請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明において、
少なくとも1つのピンエレクトロニクスカードは、
被試験対象の出力レベルを比較し、この出力レベルの比較結果と期待値パターンを比較する複数のコンパレータと、
ディジチェーン信号線からのデータを入力し、タイミングを調整して出力する第1のタイミング調整部と、
前記複数のコンパレータの出力レベルの比較結果または期待値パターンとの比較結果を入力し、タイミングを調整して出力する第2のタイミング調整部と、
前記第1のタイミング調整部の出力と前期第2のタイミング調整部の出力とを入力し、論理演算を行いディジチェーン信号線に出力する論理回路と
を有することを特徴とするものである。
【0023】
請求項3記載の発明は、請求項2記載の発明において、
第1、第2のタイミング調整部は、少なくともFIFOで構成したことを特徴とするものである。
【0024】
請求項4記載の発明は、請求項2または請求項3記載の発明において、
複数のコンパレータと第2のタイミング調整部との間に設けられ、複数のコンパレータからの出力レベルの比較結果または期待値パターンとの比較結果を選択し、第2のタイミング調整部に出力するデータセレクタを具備したことを特徴とするものである。
【0025】
請求項5記載の発明は、請求項2〜請求項4のいずれかに記載の発明において、
ディジチェーン信号線と第1のタイミング調整部との間に設けられ、ディジチェーン信号線のシリアルデータをパラレルデータに変換し、第1のタイミング調整部に出力するシリアル/パラレル変換器と、
第2のタイミング調整部とディジチェーン信号線との間に設けられ、第2のタイミング調整部のパラレルデータをシリアルデータに変換し、ディジチェーン信号線に出力するパラレル/シリアル変換器と
を具備したことを特徴とするものである。
【0026】
【発明の実施の形態】
以下図面を用いて本発明の実施の形態を説明する。
図1は本発明の第1の実施例を示した構成図である。ここで、図6と同一のものは同一符号を付し、説明を省略すると共に図示も省略する。
【0027】
図1において、組としたピンエレクトロニクスカード21〜2N同士は、バックプレーン30〜32を介してディジチェーン接続される。ディジチェーン接続とは、複数のピンエレクトロニクスカード21〜2N同士を接続する場合に、各ピンエレクトロニクスカード21〜2N間を個々のディジチェーン信号線で数珠つなぎに連結することである。
【0028】
つまり、ピンエレクトロニクスカード21は、出力側がバックプレーン30〜32を介しピンエレクトロニクスカード22の入力側と電気的に接続される。ピンエレクトロニクスカード22は、出力側がバックプレーン30〜32を介しピンエレクトロニクスカード23の入力側と電気的に接続される。このようにして、ピンエレクトロニクスカード2(N−1)は、出力側がバックプレーン30〜32を介しピンエレクトロニクスカード2Nの入力側と電気的に接続される。
【0029】
そして、ピンエレクトロニクスカード2Nは、出力側がバックプレーン30〜32を介して、キャプチャデータメモリ40と電気的に接続される。ここで、ピンエレクトロニクスカード21は、組にしたピンエレクトロニクスカード21〜2Nにおいて信号の流れの一番上流側とみなせ、ピンエレクトロニクスカード2Nは一番下流側とみなせる。
【0030】
次に、テストヘッドTHの本発明にかかわる具体的な要部構成を図2に示し、説明する。図7と同一のものは同一符号を付し、説明を省略すると共に図示も省略する。図2においてn本を組とした入力側信号線50、n本を組とした出力側信号線51、第1のFIFO(第1のタイミング調整部)52、第2のFIFO(第2のタイミング調整部)53、論理回路54はそれぞれピンエレクトロニクスカード21〜2Nごとに設けられる。FIFO(First−In First−Out)は、データを格納しまたそこからデータを取り出す方式の1つであり、データが格納された順に取り出されるようにする方法である。
【0031】
ただし、ディジチェーン接続の一番上流側であるピンエレクトロニクスカード21は、入力側信号線50、FIFO52、53のいずれかまたは全て設けなくともよい。図2においては、ピンエレクトロニクスカード21の入力側信号線50を設けない構成例を示している。また、n本を組としたディジチェーン信号線551〜55Nは、バックプレーン30に複数設けられる。
【0032】
入力側信号線50は、一端がピンエレクトロニクスカード22〜2Nの入力側となる。第1のFIFO52は、入力側が入力側信号線50の他端と電気的に接続される。第2のFIFO53は、入力側がデータセレクタDSの出力側と電気的に接続される。
【0033】
論理回路54は、入力側が第1のFIFO52の出力側と第2のFIFO53の出力側と電気的に接続され、FIFO52、53からの信号の各ビットの論理和をとり出力する。つまり、第1のFIFO52の1ビット目と第2のFIFO53の1ビット目の論理和、第1のFIFO52のnビット目と第2のFIFO53のnビット目の論理和をとる。出力側信号線51は、一端が論理回路54の出力側と接続され、他端がこのピンエレクトロニクスカード21〜2Nの出力側となる。
【0034】
バックプレーン30に設けられたディジチェーン信号線551〜55Nは、一端がピンエレクトロニクスカード21〜2Nの出力側に接続され、他端がこのピンエレクトロニクスカード21〜2(N−1)の一つ下流側のピンエレクトロニクスカード22〜2Nの入力側に接続される。ただし、ディジチェーン信号線55Nは、一端が一番下流側のピンエレクトロニクスカード2Nの出力側に接続され、他端がキャプチャデータメモリ40と電気的に接続される。
【0035】
このような装置において、DUT10のICピンからの信号がキャプチャデータメモリ40に格納される動作を以下に説明する。DUT10のICピンからの信号は、ピンエレクトロニクスカード21〜2NごとのピンPINを経由して各コンパレータCMPに入力される。コンパレータCMPはDUT10の出力レベルをアナログコンパレータにて”HIGH”または”LOW”かを比較し、この比較結果をデータセレクタDSに出力する。データセレクタDSは、複数のコンパレータCMPから出力された比較結果をnビットの信号に変換し、制御部41からの信号に従い所望ビットの出力をキャプチャデータとして第2のFIFO53に入力する。
【0036】
ここで、ピンエレクトロニクスカード21は、組にしたピンエレクトロニクスカード21〜2Nにおけるディジチェーン接続の一番上流側にあたる。第1のFIFO52には、DUT10からの信号が入力されないので、例えばLOWレベルの信号を入力しておく。そして、第1のFIFO52は、この信号を論理回路54に出力する。また、第2のFIFO53は、データセレクタDSからのキャプチャデータを論理回路54に出力する。そして、論理回路54は、第1のFIFO52の出力信号とキャプチャデータをORする。論理回路54にて論理演算された信号は、出力側信号線51、ディジチェーン信号線551、一つ下流側のピンエレクトロニクスカード22に設けられた入力側信号線50を経由して、第1のFIFO52に入力される。
【0037】
つづいて、ピンエレクトロニクスカード22は、第1のFIFO52の出力信号と第2のFIFO53の出力信号の時系列を合わせるように同期をとり、論理回路54へFIFO52、53の信号を出力する。論理回路54は、各ビットごとにORする。論理回路54にて論理演算された信号は、上述と同様に出力側信号線51、ディジチェーン信号線552、自カード22の下流側であるピンエレクトロニクスカード23に設けられた入力側信号線50を経由して、第1のFIFO52に入力される。
【0038】
同様に、ピンエレクトロニクスカード22より下流側のピンエレクトロニクスカード23〜2Nは動作を行い、ピンエレクトロニクスカード2Nに設けられた論理回路54が論理演算した信号を出力するまで行う。ピンエレクトロニクスカード2Nの論理回路54からの信号は出力側信号線51、ディジチェーン信号線55Nを経由して、キャプチャデータメモリ40へ伝送される。
【0039】
図3は、一部のピンエレクトロニクスカード21〜23(図3では、PEカードと略す)間でのデータのタイミングを表した図である。図3において、A)、C)、G)は、ピンエレクトロニクスカード21〜23のそれぞれのデータセレクタDSが出力するキャプチャデータの時系列データを表している。B)、F)は、ピンエレクトロニクスカード21、22のそれぞれの論理回路54にて論理演算された信号が出力側信号線51によって伝送されている時系列データを表している。D)、H)は、ピンエレクトロニクスカード22、23のそれぞれの第1のFIFO52が出力する信号の時系列データを表している。E)、I)は、ピンエレクトロニクスカード22、23のそれぞれの第2のFIFO53が出力する信号の時系列データを表している。
【0040】
A)、C)、G)に示すように、データセレクタDSから出力されたdat10〜、dat20〜、dat30〜は、同期がとれている。B)に示すようにdat10〜は論理回路54で論理演算され、A)の時刻よりある時間遅れてCD10〜としてピンエレクトロニクスカード21から出力され、下流側の第1のFIFO52に入力される。そのため、D)とE)に示すように第1のFIFO52と第2のFIFO53は、信号CD10とdat20の同期をとるように出力する。これにより、論理回路54では同期をとって論理演算を行える。そして、F)に示すようにD)およびE)の時刻よりある時間遅れてCD20〜としてピンエレクトロニクスカード22から出力され、下流側の第1のFIFO52に入力される。さらにH)、I)に示すようにFIFO52、53を介して時系列データは同期がとれる。このようにしてピンエレクトロニクスカード2Nまで同期をとることができる。
【0041】
他のバックプレーン31、32も接続関係および動作はバックプレーン30と同一なので説明を省略する。
【0042】
このように、組にしたピンエレクトロニクスカード21〜2Nをディジチェーン接続し、上流側のピンエレクトロニクスカード21〜2(N−1)の信号と自カード22〜2Nのキャプチャデータとの論理演算を一番下流側のピンエレクトロニクスカード2Nまでおこない、キャプチャデータメモリ40に信号を格納する。これにより、各ピンエレクトロニクスカード21〜2N間を接続する信号線は増大されることなくn本ですみ、さらに余分な容量や抵抗を除くことができるので伝送信号の劣化を防ぐことができる。従ってテストレートの高速化を図ることができ、高速デバイスのテストが可能となり、かつ試験時間の短縮を図ることができる。具体的には、テストレートを100MHz以上とすることができ、100HMz超の高速デバイスのテストが可能となり、かつ試験時間の短縮を図ることができる。
【0043】
図4は本発明の第2の実施例を示した具体的な要部構成図である。ここで図2と同一のものは、同一符号を付し説明を省略すると共に図示も省略する。図4において、シリアル/パラレル変換器56、パラレル/シリアル変換器57、n’本(n’本<n本)の入力側信号線50’、n’本の出力側信号線51’は、ピンエレクトロニクスカード21〜2Nごとに設けられる。n’本のディジチェーン信号線551’〜55N’は、バックプレーン30に複数設けられる。
【0044】
ここで、入力側信号線50’と出力側信号線51’は、入力側信号線50と出力側信号線51の代わりにそれぞれ設けられている。また、ディジチェーン信号線551’〜55N’は、ディジチェーン信号線551〜55Nの代わりに設けられている。
【0045】
シリアル/パラレル変換器56は、入力側が入力側信号線50’の他端と電気的に接続され、出力側が第1のFIFO52の入力側と電気的に接続され、シリアル信号をnビットのパラレル信号に変換し出力する。パラレル/シリアル変換器57は、入力側が論理回路54と電気的に接続され、出力側が出力側信号線51’の一端と電気的に接続され、nビットのパラレル信号をシリアル信号に変換し出力する。
【0046】
ただし、ディジチェーン接続の一番上流側であるピンエレクトロニクスカード21は、シリアル/パラレル変換器56を設けなくともよい。図4においては、ピンエレクトロニクスカード21のシリアル/パラレル変換器56を設けない構成例を示している。
【0047】
バックプレーン30のディジチェーン信号線551’〜55N’のそれぞれは、一端がピンエレクトロニクスカード21〜2Nの出力側信号線51’の他端と電気的に接続され、他端がこのピンエレクトロニクスカード21〜2(N−1)より下流側のピンエレクトロニクスカード22〜2Nの入力側信号線50’の一端と電気的に接続される。
【0048】
このような装置は、ピンエレクトロニクスカード21〜2Nの論理回路54から出力されるnビットのパラレル信号が、パラレル/シリアル変換器57によってシリアル信号に変換される。そして、変換された信号は、出力側信号線51’およびこの出力側信号線51’に接続されているバックプレーン30のディジチェーン信号線551’〜55N’を経由して、このピンエレクトロニクスカード21〜2(N−1)より下流側のピンエレクトロニクスカード22〜2Nに設けられたシリアル/パラレル変換器56で元のnビットのパラレル信号に変換され、第1のFIFO52に入力される。このような、ピンエレクトロニクス21〜2N間の信号の伝送以外の動作は、本発明の第1の実施例と同一なので説明を省略する。
【0049】
このように、シリアル/パラレル変換器56、パラレル/シリアル変換器57を用いて、ディジチェーン接続されたピンエレクトロニクスカード21〜2N間の信号伝送は、シリアル変換したデータを用いる。これにより、バックプレーン30〜32上のディジチェーン信号線551’〜55N’は、n本よりも更に少ないn’本で構成することができ、信号線の減少が図れる。従って、バックプレーン30〜32の小型化ができる。
【0050】
図5は本発明の第3の実施例を示した具体的な要部構成図である。ここで図7と同一のものは、同一符号を付し説明を省略すると共に図示も省略する。図5において、入力側信号線60、出力側信号線61、第1のFIFO(第1のタイミング調整部)62、第2のFIFO(第2のタイミング調整部)63、ORゲート64は、それぞれピンエレクトロニクスカード21〜2Nごとに設けられる。ただし、FIFO63は、コンパレータCMPごとに設けられる。
【0051】
ディジチェーン信号線631〜63Nは、バックプレーン30に複数設けられる。パス/フェイルメモリは、本体MFに設けられる。さらに、パス/フェイルメモリは、DUT10の合否を示すパス/フェイル信号を格納する記憶部としてキャプチャデータメモリ40の代わりに設けられている。
【0052】
ただし、ディジチェーン接続の一番上流側であるピンエレクトロニクスカード21は、入力側信号線60、FIFO62、63のいずれかまたは全て設けなくともよい。図5においては、ピンエレクトロニクスカード21の入力側信号線60を設けない構成例を示している。
【0053】
図5に示す構成は、例えばDUT10の各ICピンごとの情報が必要でなく、DUT10の合否のみを必要とする場合に用いられる。つまり、図2においては、コンパレータCMPのアナログコンパレータの比較結果をデータセレクタDSにて試験に必要なnビットのキャプチャデータに変換し論理回路54に出力する構成を示したが、図5においては、コンパレータCMPのデジタルコンパレータの比較結果をFIFO53を経てORゲート64に出力し、ORゲート64にてまとめてORする構成を示している。
【0054】
続いて、このような装置の構成を以下に説明する。入力側信号線60は、一端がピンエレクトロニクスカード22〜2Nの入力側となる。FIFO62は、入力側が入力側信号線60の他端と電気的に接続される。FIFO63は、入力側がコンパレータCMPの出力側と電気的に接続される。
【0055】
ORゲート64は、入力側がFIFO62の出力側および複数のFIFO63の出力側とそれぞれ電気的に接続され、出力側が出力側信号線61の一端と接続される。出力側信号線は、一端がORゲート64の出力側と接続され、他端がこのピンエレクトロニクスカード21〜2Nの出力側となる。
【0056】
バックプレーン30のディジチェーン信号線631〜63Nのそれぞれは、一端がピンエレクトロニクスカード21〜2Nの出力側と電気的に接続され、他端がこのピンエレクトロニクスカード21〜2(N−1)より下流側のピンエレクトロニクスカード22〜2Nの入力側と電気的に接続される。ただし、ディジチェーン信号線63Nは、一端がピンエレクトロニクスカード2Nの出力側と電気的に接続され、他端がパス/フェイルメモリと電気的に接続される。
【0057】
このような装置において、DUT10のICピンからの信号がパス/フェイルメモリに格納される動作を以下に説明する。DUT10のICピンからの信号は、ピンエレクトロニクスカード21〜2NごとのピンPINを経由して各コンパレータCMPに入力される。コンパレータCMPはDUT10の出力レベルをアナログコンパレータにて”HIGH”または”LOW”かを比較し、さらにこの比較結果の信号パターンと期待値パターンとをデジタルコンパレータにて比較を行い、このデジタルコンパレータの比較結果をFIFO63に出力する。
【0058】
ここで、ピンエレクトロニクスカード21は、組にしたピンエレクトロニクスカード21〜2Nにおけるディジチェーン接続の一番上流側にあたる。FIFO62には、DUT10からの信号が入力されないので、例えばLOWレベルの信号を入力しておく。そしてFIFO62は、この信号をORゲート64に出力する。またFIFO63は、デジタルコンパレータの比較結果をORゲート64に出力する。そして、ORゲート64は、FIFO62、63からの出力をまとめてORする。ORゲート64にて論理和された信号は、出力側信号線61、バックプレーン30のディジチェーン信号線631、一つ下流側のピンエレクトロニクスカード22に設けられた入力側信号線60を経由して、FIFO62に入力される。
【0059】
つづいて、ピンエレクトロニクスカード22は、FIFO62の出力信号と複数のFIFO63の出力信号の全ての時系列を合わせるように同期をとり、ORゲート64へFIFO62、63の信号を出力する。ORゲート64は、信号をまとめてORする。ORゲート64にて論理和された信号は、上述と同様に出力側信号線61、ディジチェーン信号線632、自カード22の下流側であるピンエレクトロニクスカード23に設けられた入力側信号線60を経由してFIFO62に入力される。
【0060】
同様に、ピンエレクトロニクスカード22より下流側のピンエレクトロニクスカード23〜2Nは動作を行い、ピンエレクトロニクスカード2Nに設けられたORゲート64が論理和した信号を出力するまで行う。ピンエレクトロニクスカード2NのORゲート64からの信号は、出力側信号線61、ディジチェーン信号線63Nを経由して、パス/フェイルメモリに格納される。
【0061】
他のバックプレーン31、32の接続関係および動作は、バックプレーン30と同様なので説明を省略する。
【0062】
このように、組にしたピンエレクトロニクスカード21〜2Nをディジチェーン接続し、上流側のピンエレクトロニクスカード21〜2(N−1)の信号と自カード22〜2NのFIFO63の出力信号との論理和を一番下流側のピンエレクトロニクスカード2Nまでおこない、パス/フェイルメモリに信号を格納する。これにより、各ピンエレクトロニクスカード21〜2N間を接続する信号線は増大されることなく、さらに余分な容量や抵抗を除くことができるので伝送信号の劣化を防ぐことができる。従ってテストレートの高速化を図ることができ、高速デバイスのテストが可能となり、かつ試験時間の短縮を図ることができる。
【0063】
なお、本発明はこれに限定されるものではなく、以下のようなものでもよい。IC試験装置の構成は各種有り、本実施例に限定されるものではない。例えば、複数の出力をワイヤードORで接続している構成を、ディジチェーン接続に置きかえるものは全て本発明に含まれる。
【0064】
また、第1のタイミング調整部および第2のタイミング調整部は、FIFO52、53、62、63を用いる例を示したが、FIFO52、53、62、63、の代わりにフリップ・フロップを用いてもよい。またFIFO52、53、62、63およびフリップ・フロップの両方を用いてもよい。
【0065】
そして、ORゲート64は、複数のFIFO63の出力結果をまとめてOR(論理和)しているが、AND(論理積)、NAND(否定積)等の論理演算を行う論理回路としてもよい。
【0066】
さらに、本実施例では、例としてDUT10は1個とし、バックプレーンを3枚とする例をあげたが、それぞれ何個(何枚)でもよい。
【0067】
また、ピンエレクトロニクスカード21〜2Nの必要数は、DUT10のピン数によって増減する。例えば、ピンエレクトロニクスカード22が不要となり、このピンエレクトロニクスカード22をディジーチェーン信号線551、552から切断した場合は、この切断されたディジチェーン信号線551、552のそれぞれを接続するスイッチ部を設け、このスイッチ部によりピンエレクトロニクスカード21、23を接続し、ディジチェーン接続となるようにしてもよい。
【0068】
また、図2、4において、コンパレータCMPは、アナログコンパレータの比較結果をデータセレクタDSに出力したが、デジタルコンパレータの比較結果をデータセレクタDSに出力し、DUT10の各ピンごとのパス/フェイル信号を格納するようにしてもよい。
【0069】
【発明の効果】
本発明によれば、以下のような効果がある。
請求項1によれば、ピンエレクトロニクスカード間をディジチェーン信号線でディジチェーン接続を行ったので、データ伝送の信号線の数を増大することなく、テストレートを高速にすることができる。これにより、高速デバイスのテストが可能となり、かつ試験時間の短縮を図ることができる。
【0070】
請求項2〜4によれば、コンパレータの比較結果を、ディジチェーン信号線によりデータ伝送するので、データ伝送の信号線の数を増大することなく、テストレートを高速にすることができる。これにより、高速デバイスのテストが可能となり、かつ試験時間の短縮を図ることができる。
【0071】
請求項5によれば、ディジチェーン信号線の伝送を、シリアル/パラレル変換器、パラレル/シリアル変換器により、シリアルデータ伝送にするので、ディジチェーン信号線の本数をさらに減らすことができる。
【0072】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示した構成図である。
【図2】本発明の第1の実施例を示した具体的な要部構成図である。
【図3】ディジチェーン接続の時系列データのタイミングを示した図である。
【図4】本発明の第2の実施例を示した具体的な要部構成図である。
【図5】本発明の第3の実施例を示した具体的な要部構成図である。
【図6】従来のIC試験装置の概略構成を示した図である。
【図7】従来のIC試験装置の一部の構成を詳細に示した図である。
【符号の説明】
50、50’、60 入力側信号線
51、51’、61 出力側信号線
52、62 第1のFIFO
53、63 第2のFIFO
54 論理回路
56 シリアル/パラレル変換器
57 パラレル/シリアル変換器
551〜55N、551’〜55N’、631〜63N ディジチェーン信号線64 ORゲート
Claims (5)
- 被試験対象を試験するIC試験装置において、
前記被試験対象と信号の授受を行う複数のピンエレクトロニクスカードと、
このピンエレクトロニクスカード間をディジチェーン接続するディジチェーン信号線と
を設け、データ伝送を行うことを特徴とするIC試験装置。 - 少なくとも1つのピンエレクトロニクスカードは、
被試験対象の出力レベルを比較し、この出力レベルの比較結果と期待値パターンを比較する複数のコンパレータと、
ディジチェーン信号線からのデータを入力し、タイミングを調整して出力する第1のタイミング調整部と、
前記複数のコンパレータの出力レベルの比較結果または期待値パターンとの比較結果を入力し、タイミングを調整して出力する第2のタイミング調整部と、
前記第1のタイミング調整部の出力と前期第2のタイミング調整部の出力とを入力し、論理演算を行いディジチェーン信号線に出力する論理回路と
を有することを特徴とする請求項1記載のIC試験装置。 - 第1、第2のタイミング調整部は、少なくともFIFOで構成したことを特徴とする請求項2に記載のIC試験装置。
- 複数のコンパレータと第2のタイミング調整部との間に設けられ、複数のコンパレータからの出力レベルの比較結果または期待値パターンとの比較結果を選択し、第2のタイミング調整部に出力するデータセレクタを具備したことを特徴とする請求項2または3記載のIC試験装置。
- ディジチェーン信号線と第1のタイミング調整部との間に設けられ、ディジチェーン信号線のシリアルデータをパラレルデータに変換し、第1のタイミング調整部に出力するシリアル/パラレル変換器と、
第2のタイミング調整部とディジチェーン信号線との間に設けられ、第2のタイミング調整部のパラレルデータをシリアルデータに変換し、ディジチェーン信号線に出力するパラレル/シリアル変換器と
を具備したことを特徴とする請求項2〜4のいずれかに記載のIC試験装置。
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