JP3560517B2 - 強誘電性記憶読み書きメモリ素子 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、メモリ素子およびメモリ素子を形成するための方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
シリコン・チップ上の能動素子の寸法の収縮は、フォトリソグラフィ技法によって設定された制約のために限界に近づきつつある。たとえば、干渉および回折などの放射光の波動特性は素子のサイズおよび密度を制限する可能性がある。フォトリソグラフィ技法の限界を克服するため、相当な研究が行われてきた。
【０００３】
この研究は、位相シフト・リソグラフィなどの問題の矯正ならびに他の新規の手法の開発に向けられていた。付随して、この研究では、少量の電子の閉込めを使用する素子設計の開発が行われていた。このような素子設計の３通りの基本カテゴリは、量子ドット（ＱＤ）、共振トンネル素子（ＲＴＤ）、単一電子トランジスタ（ＳＥＴ）である。量子ドットについてはＲ． ＴｕｒｔｏｎのＴｈｅ Ｑｕａｎｔｕｍ Ｄｏｔ（Ｏｘｆｏｒｄ， Ｕ．Ｋ．， Ｏｘｆｏｒｄ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ Ｐｒｅｓｓ， １９９５）に詳しく記載され、共振トンネル素子についてはＡ．Ｃ． Ｓｅａｂａｕｇｈ他のＦｕｔｕｒｅ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｄｅｖｉｃｅｓ （ＦＥＤ）（Ｊ．， Ｖｏｌ． ３， Ｓｕｐｐｌ． １， ｐｐ． ９−２０， １９９３）に詳しく記載され、単一電子トランジスタについてはＭ．Ａ． ＫａｓｔｎｅｒのＲｅｖ． Ｍｏｄ． Ｐｈｙｓ．（Ｖｏｌ． ６４， ｐｐ． ８４９−８５８， １９９２）に詳しく記載されており、そのいずれについても参照により開示内容全体が本明細書に組み込まれる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、少なくとも１対の分離導体を含むメモリ素子を提供するものである。導体間には強誘電物質が配置される。導体同士は、その間のトンネル電流を可能にするのに十分な距離だけ分離されている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の他の態様は、メモリ素子を形成するための方法を提供する。この方法は、少なくとも１対の分離導体を基板上に設けることを含む。１対の導体間には強誘電物質が設けられる。１対の導体は、その間のトンネル電流を可能にするのに十分な距離だけ分離されている。
【０００６】
本発明の他の目的および利点は、当業者には以下の詳細な説明から容易に明らかになるだろうが、そこには本発明を実施するために企図された最良の形態を単に例示するために本発明の好ましい実施形態のみが示され説明される。やがて分かるだろうが、本発明は他の様々な実施形態が可能であり、そのいくつかの詳細は本発明から逸脱せずに様々な明白な点で変更が可能である。したがって、図面および説明は、限定的なものではなく、性質上、例示的なものと見なすべきである。
【０００７】
【発明の実施の形態】
本発明は強誘電性記憶読み書きメモリを提供するものである。一般に、本発明による記憶素子は２つの電極間の薄い強誘電層を含む。通常、強誘電層の厚さはトンネル効果を可能にするほど十分なものである。
【０００８】
本発明による記憶素子では、強誘電層の電気双極子をアライメントすることにより、データを記憶することができる。双極子の異なるアライメント状態は「アップ・クローズ」または「ダウン」のいずれかであると見なすことができる。強誘電層の電気双極子を制御することによりトンネル電流を調整することができる。
【０００９】
本発明による強誘電性記憶素子では、十分高い電圧を印加してしきい電界Ｅ_ｃより高い電界を発生することにより、データを書き込むことができる。少なくともＥ_ｃと同じ大きさの電圧は、強誘電物質の内部双極子を反転することになる。双極子の異なる状態には異なる値を割り当てることができる。一方の状態には「０」という値を割り当て、もう一方の状態には「１」という値を割り当てることができる。したがって、この記憶素子は情報の記憶を可能にする。
【００１０】
本発明による記憶素子の読取りは、強誘電物質で発生する電界がＥ_ｃ未満になるように、Ｅ_ｃまたはそれ以上の電界を発生するのに必要な電圧より十分低い電圧で行われる。したがって、この低電圧では、読取り中に強誘電物質の双極子が反転することはない。
【００１１】
本発明のメモリ素子による記憶用の一般的な方法では、強誘電物質の誘電率が高いという特性を使用して電荷を記憶し、電界トランジスタ・タイプ構造によって記憶電荷を「読み取る」。本発明のこの態様に関する詳細については、米国特許第５４８７０２９号を参照するが、その開示内容の内容全体は参照により本明細書に組み込まれる。
【００１２】
本発明はメモリ素子を形成する方法も含む。大まかに言えば、この方法は、少なくとも１対の分離導体を設けることと、１対の導体間に強誘電物質を設けることとして記述することができる。１対の導体は、その間のトンネル電流を可能にするのに十分な距離だけ分離されている。
【００１３】
図１は本発明による強誘電性記憶読み書きメモリ素子の一例を示している。図１に示す実施形態は、高密度記憶のための本発明による方式を包括的に示している。このような線に沿っていくと、図１に示す実施形態は、本発明による単一「記憶セル」の本質的な特徴を示す。このため、図１に示す素子は、１ビットのデータ、すなわち、０か１のいずれかを記憶できる単一記憶セルである。
【００１４】
本発明による記憶素子は、強誘電物質の領域３によって相互接続された図１に示す実施形態の２つの分離電極１および２として記述することができる。本発明による記憶素子の正確な構造は非常に様々なものになる可能性がある。しかし、強誘電物質内の電極は通常、その構造の一部として識別可能なものになるだろう。
【００１５】
本発明による構造は誘電層に埋め込むことができる。通常、本発明による記憶素子を取り囲む誘電体は約１〜約１０の誘電率を有する可能性がある。このような誘電体の例としては、１という誘電率を有する空気、７という誘電率を有する窒化珪素、約９．２〜約９．４の誘電率を有するアルミナ、３．９という誘電率を有する二酸化珪素があり、これらは誘電率の例である。誘電体が空気であってもよいということを考慮すると、基板上に本発明による記憶素子のみを形成することができ、素子の上に重なるかまたは素子の両側に隣接する物質はまったくないことは明らかである。
【００１６】
図１に示す実施形態の電極１および２は、通常、本明細書では導体と呼ぶが、様々な材料で作ることができる。このような線に沿っていくと、導体または電極１および２は、通常、導電材料で作られる。たとえば、電極は金属性またはドーピング済み半導体にすることができる。この電極で使用可能な金属の例としては、アルミニウム、金、銀、銅、またはこれらの金属のうちの１つまたは複数を含む合金のうちの１つまたは複数を含む。半導体の例としては、シリコンおよびシリコンゲルマニウムを含む。
【００１７】
本発明によるメモリ・セルの物理的寸法は様々になる可能性があるが、通常、電極１および２は、約１ｎｍ〜約５００ｎｍの線幅と、約１００ｎｍ〜約１０００ｎｍの厚さを有する。さらに、強誘電物質は、約１０ｎｍ未満の厚さを有するフィルムにすることができる。
【００１８】
本発明により使用する強誘電物質３の組成は様々になる可能性がある。強誘電物質の組成に影響しうる要因の１つは、素子の所望の読取りおよび書込み電圧である。読取りおよび書込み電圧を制御する方法の１つは、強誘電物質のキュリー温度を制御することによるものである。このような線に沿っていくと、キュリー温度が高い強誘電物質は、読取りおよび書込み電圧Ｖ_ｒおよびＶ_ｗの両方を増大する可能性がある。本発明により使用可能な強誘電物質の例としては、１２０℃のキュリー温度Ｔ_ｃを有するチタン酸バリウム、４９０℃のキュリー温度を有するチタン酸鉛、４１５℃のキュリー温度を有するニオブ酸カリウム、４９℃のキュリー温度を有する硫酸トリグリシン、２３℃のキュリー温度を有するロッシェル塩（酒石酸カリウムナトリウム）、１１２℃のキュリー温度を有するニオブ酸鉛鉄がある。
【００１９】
上記のように、本発明による記憶素子への書込みは、通常、強誘電物質の内部双極子を制御するための電界Ｅ_ｃを発生するのに十分な値を有する書込み電圧Ｖ_ｗを印加することを含む。強誘電物質で発生した電界は強誘電物質の電界のコースＥ_ｃと少なくとも同じ大きさでなければならない。Ｖ_ｗの値は強誘電物質の組成によって決まる可能性がある。また、Ｖ_ｗの値は、強誘電物質のキュリー温度と動作温度との温度差にもよる可能性がある。
【００２０】
たとえば、通常、温度差が小さければ小さいほど、書込みを行うかまたは双極子を切り替えるためのしきい電圧が低くなる。たとえば、強誘電物質がチタン酸バリウムを含む場合、室温でこの物質の双極子を反転するための典型的な電界は１００００Ｖ／Ｃｍ以下である。この電界は、ここに記載する厚さの場合、約１０００Ｖ／ｃｍから約１００００Ｖ／ｃｍまで変動する可能性がある。一例によれば、強誘電物質の厚さが約１００ｎｍの場合、双極子を変転するために必要な電圧は約１００ｍＶより高くなる。
【００２１】
本発明による記憶素子に書き込む場合、強誘電物質の各双極子モーメントに値を割り当てることができる。たとえば、一方の状態には値「０」を割り当て、もう一方の状態には値「１」を割り当てることができる。図３は、強誘電物質３の双極子μが図３の向きで下を指している状態を示している。この状態には値「０」を割り当てることができる。双極子モーメントを状態「１」に反転するために、図４に示すように、電極１と２の間にＶ_ｗより大きい電圧に対応する上向き電界を印加することができる。
【００２２】
図５に示すように、書込み電圧を印加した結果として、強電圧物質の双極子モーメントが逆転されている。この状態には値「１」を割り当てることができる。
【００２３】
本発明による記憶素子の読取りは、本発明による記憶素子への書込みと同様に行うことができる。読取り方法と書込み方法との違いの１つは、メモリを読み取るために印加する電圧Ｖ_ｒが書込み電圧Ｖ_ｗより非常に小さいことである。本発明によるメモリ素子を読み取るために、２つの電極１と２の間に読取り電圧を印加し、トンネル電流を測定する。一例によれば、読取り電圧Ｖ_ｒは電極１では正であり、電極２では負である。この例によれば、トンネル電流Ｉは、所与のＶ_ｒの場合、図５に示す状態１ではハイになり、図３に示す状態０ではローになる。測定したトンネル電流は、メモリ素子の２通りの状態に対応するように電子機器により電圧に変換することができる。
【００２４】
上記の説明から分かるように、本発明による記憶素子の読取りと書込みは同じ回路を使用して実施することができる。これは、本発明の利点の１つである。本発明のもう１つの利点は、記憶が永続的なものになりうることである。
【００２５】
通常、読取り電圧は、電圧の読取りによってメモリ素子の状態が変化しないようにするために双極子を反転するのに必要なしきい電圧よりかなり低い。たとえば、強誘電物質としてのチタン酸バリウムの場合、双極子モーメントを反転せずにメモリ素子を読み取るために、読取り電圧は約１００ｍＶより低くなる可能性がある。読取り電圧は約１ｍＶから約１００ｍＶまで変動する可能性がある。
【００２６】
双極子モーメントまたはレムナント分極は、導体間に書込み電圧またはバイアス電圧を印加することによって誘導することができる。バイアス電圧が強誘電物質の電界のコースより高い強誘電物質内の電界を発生するのに十分である場合、このバイアス電圧は書込み電圧と見なすことができる。強誘電物質のレムナント分極は、導体間のバイアス電圧を符号を変更することによって逆転、すなわち、反転することができる。
【００２７】
一方、バイアス電圧が強誘電物質の電界のコースより低い電界を発生する場合、強誘電物質のレムナント分極は変更されないだろう。このバイアス電圧は、読取りバイアス電圧であると見なすことができる。この読取りバイアス電圧によって発生したトンネル電流を検出し分析すると、強誘電物質のレムナント分極と、その結果、メモリ素子の状態を判定することができる。
【００２８】
換言すれば、トンネル電流を決定することにより、メモリ素子が「０」状態を有するかまたは「１」状態を有するかを判定することができる。このような線に沿っていくと、トンネル電流がハイである場合、それは約０．１ｍＡ〜約１０ｍＡの範囲の上半分に入る値を有することができる。読取りバイアス電圧、すなわち、書込みバイアス電圧の半分未満がレムナント分極に対して逆平行である場合、トンネル電流はハイになる。通常、読取りバイアス電圧は書込み電圧の約半分未満になる。
【００２９】
一方、「読取り」バイアス電圧、すなわち、書込みバイアス電圧の半分未満が強誘電物質のレムナント分極に対して平行である場合、トンネル電流は「ロー」になる。このような場合、トンネル電流は約０．１ｍＡ〜約１０ｍＡの下半分に入る値を有することができる。
【００３０】
読取りバイアス電圧の印加と同時に、強誘電物質に局部的に熱を加えることができる。強誘電物質の温度が高くなると、保持磁界が低下する可能性があり、そのキュリー温度のときに０または約０まで達する場合がある。一例によれば、耐光性加熱を使用して、強誘電物質に熱を局部的に加える。一例によれば、この耐光性加熱はレーザを使用して加える。温度は、室温より高く、特定の物質のキュリー温度程度までのどの温度でもよい。
【００３１】
本発明は、少なくとも２つの分離導体を含む、本発明の上記の一般的な構成を取り入れた複数の構造を含む。導体は同じ平面内に配置することができる。あるいは、導体は別々の平面に配置することができる。導体が同じ平面内に配置されていない場合、１対の導体は約１０ｎｍまでの距離だけ垂直方向に分離することができる。
【００３２】
導体間には強誘電物質が配置される。この強誘電物質は約１０ｎｍまでの厚さを有することができる。この強誘電物質は前述の材料のいずれかで作られた少なくとも１つの強誘電性結晶を含むことができる。強誘電物質は約２３℃〜約４９０℃のキュリー温度を有することができる。さらにまたはあるいは、強誘電物質は、強誘電物質の双極子を切り替えるために必要な電圧が約１００ｍＶから約１００００ｍＶになるような性質を有することができる。メモリ素子を読み取るために必要なバイアス電圧は約１０ｍＶ未満にすることができる。
【００３３】
導体および強誘電物質は誘電体で取り囲むことができる。この誘電体は約１〜約１０の誘電率を有することができる。
【００３４】
図１は本発明によるメモリ素子の一般的な単純な図を示しているが、図９および図１０は、図１に示すような複数の構造を含むより大きいデバイスを示している。このような線に沿っていくと、図９および図１０に示す本発明の実施形態は複数の第１の平行導体５と複数の第２の平行導体９を含む。図９および図１０に示す実施形態では、第２の平行導体９は第１の平行導体５に対して垂直であり、第１の平行導体５の上に重なっている。強誘電物質８は、少なくとも第１の平行導体５と第２の平行導体９との間に付着している。
【００３５】
上記の説明ならびに図９および図１０から分かるように、本発明は複数の第１の導体５と唯一の第２の導体９を含むことができる。あるいは、本発明は１つの第１の導体５と、第１の導体５の上に配置された複数の第２の導体９を含むことができるだろう。図９および図１０に示す実施形態では、第２の組の導体９のうちの１つの導体が第１の導体５のうちの１つの導体の上に重なる各接合部が記憶セルになる。このため、導体がその間の強誘電物質にオーバラップする各位置は、図１が示すような１対の導体を表す。各記憶セルのサイズは少なくとも一部は導体の幅および間隔によって制御されるだろう。
【００３６】
図９および図１０に示す実施形態から明らかなように、基板上に複数の分離導体を設け、導体間に強誘電物質を設けることができる。図９および図１０に示すような実施形態では、複数の導体５および複数の導体９を含むが、これらの導体グループの一方は導体を１つだけ含んでいてもよい。
【００３７】
図９および図１０に示すような実施形態を形成する場合、まず基板上に粘着層を設けることができる。粘着層６の上に第１の金属層を設けることができる。第１の金属層の上に第１のフォトレジスト層を設けることができる。
【００３８】
フォトレジスト層を感光して所望のパターンを形成することができる。次にこのフォトレジストを現像することができる。フォトレジストの現像によって、第１の導電層の上にマスクが形成される。このフォトレジスト・マスクを使用して、第１の導電層５にエッチングすることができる。次に、現像後に残っているフォトレジストを除去または剥離することができる。
【００３９】
次に、エッチングした第１の導電層の残存部分の少なくとも一部分の上に強誘電物質の層を設けることができる。その強誘電物質は、エッチングした第１の導電層の複数の部分の上に付着させることができる。また、この強誘電物質は、第１の導電層にエッチングすることによって露出した基板上に設けることもできる。第１の導電層のエッチングは、粘着層のうちフォトレジストの下に位置していない部分および第１の導電層のうちフォトレジストの下に位置する部分を除去することもできる。
【００４０】
次に、強誘電物質の層および基板のうち第１の導電材料の層の残存部分間にある部分の上、ならびに第１の導電材料の層の残存部分間にある領域の上に第２の導電層を設けることができるが、これらの領域が基板の上にあるか定着剤の上にあるかは無関係である。第２の導電材料の層の上に第２のフォトレジストの層を設ける。第２のフォトレジストの層を感光して現像し、第２の導電材料の層にエッチングする。次に、第２のフォトレジストの層を剥離することができる。
【００４１】
本発明の他の実施形態によれば、導体のセットのうちの少なくとも１つの導体が有機分子を含む。有機分子の一例は、図１１ないし図１３に示す実施形態のようにＤＮＡである。図１３は、本発明のこの態様による実施形態の一例の断面図を示している。図１１は、図１３に示す最終的な実施形態を形成するために追加処理を行う前の図１３に示す実施形態のより広範囲の図を示している。図１１に示すように、図１３に示すメモリ・セルは、複数の導体１０および１１を含むことができる。図１１ないし図１３に示す実施形態では、ＤＮＡ鎖または他の有機分子が１つの導体として機能する。導体１１は、図１に一般的に表した１対の分離導体中のもう一方の導体として機能する。
【００４２】
図１に示す本発明の実施形態では、本発明によるメモリ素子のトンネル接合部／ギャップを形成するのは、図２に示す強誘電物質および導体の一部である。図１３に示す本発明の実施形態では、電極１１と導電材料１８との間のトンネル・ギャップ１９は、ナノ粒子およびナノ粒子と導体または電極１１との間の分子によってもたらされる。このような実施形態によれば、記憶セルは、ＤＮＡとゲート電極１１との間のトンネル電流が強誘電性ナノ粒子の分極状態によって変調されるスイッチを含む。この実施形態が記憶するビットは静的なものである。セルの読取りおよび書込みは同じ回路によって行われる。セル・サイズは、ゲート電極の寸法によって制限される可能性がある。
【００４３】
図１１ないし図１３に示す実施形態を図１０に示す実施形態と比較すると、導体５のうちの少なくとも１つまたは導体９のうちの少なくとも１つあるいはその両方を少なくとも１つの有機分子で置き換えることができる。換言すれば、図１に示す１対の電極中の電極のうちの少なくとも一方を少なくとも１つの有機分子で置き換えることができる。その有機分子ともう一方の電極との間には依然として強誘電物質を付着させることになる。この強誘電物質は、有機分子ともう一方の電極との間に配置されるだろう。
【００４４】
強誘電物質は、少なくとも１つの有機分子上に配置することができる。このような線に沿っていくと、強誘電物質は少なくとも１つの有機分子に結合するかまたはその他の方法などにより付着することができる。また、少なくとも１つの有機分子に導電材料も付着して、たとえば、図１０に示す実施形態の導体９としての機能をもたらすために有機分子に導電性を導電性を付与することができる。
【００４５】
少なくとも１つの有機分子は、少なくとも１つの有機分子の少なくとも１つの位置に付着された少なくとも１つのオリゴマーを含むことができる。この少なくとも１つのオリゴマーは、少なくとも１つの有機分子の少なくとも一部分に付着されたオリゴマーの単層に含めることができる。
【００４６】
少なくとも１つの有機分子がＤＮＡ分子である場合、ＤＮＡ分子は一本鎖または二本鎖にすることができる。図１１ないし図１３に示す実施形態は二本鎖ＤＮＡ分子を含む。一例によれば、このＤＮＡはλ−ＤＮＡである。しかし、本発明によれば、任意の配列の塩基を有するどのようなＤＮＡ分子でも使用することができる。換言すれば、ＤＮＡは主観的に選択することができる。
【００４７】
少なくとも１つのＤＮＡ分子は少なくとも１つのＲループを含むことができる。通常、少なくとも１つのＲループは、少なくとも１つのＤＮＡ分子がその上に配置されている導体１１などの導体のうちの少なくとも１つの上に形成される。
【００４８】
上記のように、本発明による構造に含めることができるＤＮＡ分子はＲループを含むことができる。Ｒループの説明については、ＡｓａｉおよびＫｏｇｏｍａによるＤ−Ｌｏｏｐｓ ａｎｄ Ｒ−Ｌｏｏｐｓ： Ａｌｔｅｒｎａｔｉｖｅ Ｍｅｃｈａｎｉｓｍｓ ｆｏｒ ｔｈｅ Ｉｎｉｔｉａｔｉｏｎ ｏｆ ＣｈｒｏｍｏｓｏｍｅＲｅｐｌｉｃａｔｉｏｎ ｉｎ Ｅｓｃｈｅｒｉｃｈｉａ ｃｏｌｉ（ＪＯＵＲＮＡＬ ＯＦ ＢＡＣＴＥＲＩＯＬＯＧＹ， Ａｐｒ． １９９４ ｐｐ．１８０７−１８１２）、Ｌａｎｄｇｒａｆ他によるＲ−ｌｏｏｐ ｓｔａｂｉｌｉｔｙ ａｓ ａ ｆｕｎｃｔｉｏｎ ｏｆ ＲＮＡ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ ａｎｄ ｓｉｚｅ（ＮＵＣＬＥＩＣ ＡＣＩＤＳ ＲＥＳＥＡＲＣＨ， １９９５， Ｖｏｌ ２３， Ｎｏ． ７， ｐｐ． ３５１６−３５２３）、Ｌａｎｄｇｒａｆ他によるＤｏｕｂｌｅ ｓｔｒａｎｄｅｄ ｓｃｉｓｓｉｏｎ ｏｆ ＤＮＡ ｄｉｒｅｃｔｅｄ ｔｈｒｏｕｇｈ ｓｅｑｕｅｎｃｅ−ｓｐｅｃｉｆｉｃ Ｒ−ｌｏｏｐ ｆｏｒｍａｔｉｏｎ（ＮＵＣＬＥＩＣ ＡＣＩＤＳ ＲＥＳＥＡＲＣＨ， １９９５， Ｖｏｌ ２３，Ｎｏ． ７， ｐｐ． ３５２４−３５３０）、ＭａｓａｉおよびＡｒａｉによるＭｅｃｈａｎｉｓｍｓ ｏｆ ｐｒｉｍｅｒ ＲＮＡ ｓｙｎｔｈｅｓｉｓ ａｎｄ Ｄ−ｌｏｏｐ／Ｒ−ｌｏｏｐ ｄｅｐｅｎｄｅｎｔ ＤＮＡ ｒｅｐｌｉｃａｔｉｏｎ ｉｎ Ｅｓｃｈｅｒｉｃｈｉａ ｃｏｌｉ（ＢＩＯＣＨＥＭＩＥ （１９９６） ７８， ｐｐ． １１０９−１１１７）に記載されているが、そのいずれについても参照により内容全体が本明細書に組み込まれる。
【００４９】
以下に詳述するように、Ｒループは、ＤＮＡ分子にナノ粒子（複数も可）を付着するための部位を提供するように機能することができる。各Ｒループは、Ｒループ内のＤＮＡの一部分に結合された少なくとも１つのナノ粒子を含むことができる。複数のＲループを含むことに加え、各Ｒループ内のＤＮＡ分子の一部分には複数のナノ粒子を付着することができるだろう。Ｒループにナノ粒子（複数も可）を付着するためのステップについては以下に詳述する。
【００５０】
このＲループは、上記で参照した科学文献の論文に開示されているようなＲループを形成するための既知の技法により形成することができる。Ｒループの形成では、ＤＮＡ分子の少なくとも一部分に対して補足的な配列を有する少なくとも１つのＲＮＡ分子を使用することができる。上記のように、ＤＮＡ分子は複数のＲループを含むことができる。したがって、複数のＲＮＡ分子を使用してＤＮＡ分子内のＲループを形成することができる。各ＲＮＡ分子は、ＤＮＡ分子の異なる配列に対して補足的な配列を有することができる。
【００５１】
Ｒループ（複数も可）が生成される場所を制御するためにＲＮＡ分子の配列を制御することができる。たとえば、ＤＮＡ分子が１つのＲループを含み、そのＲループがＤＮＡ分子内の中心に配置される場合、ＲＮＡ分子は、Ｒループを形成したときにＲＮＡ分子がＤＮＡ分子の両端から等距離で実質的にＤＮＡ分子上の中心になるように、ＤＮＡ分子の配列に対して補足的な配列を有することができる。ＤＮＡ分子は、所望の位置（複数も可）に所望の数のＲループを形成できるような配列であればどのような配列でも有することができる。
【００５２】
Ｒループ（複数も可）を形成する際に使用可能なＲＮＡ分子の配列は、ＤＮＡ分子の下に位置することができる電極に対するＤＮＡ分子の位置決めに応じて様々になる可能性がある。このような線に沿っていくと、ＲＮＡ分子は、Ｒループが下にある電極の上に位置決めされるような配列を有することができる。本発明が複数のＲループを含み、それぞれのＲループが１つの電極の上に重なる場合、Ｒループを形成する際に使用するＲＮＡ分子は、図１１ないし図１３に示す実施形態の電極１１など下にある電極の上にＲループが位置決めされるような配列を有することができる。
【００５３】
Ｒループの長さは、実施形態に応じて様々になる可能性がある。一例によれば、Ｒループの長さ、すなわち、少なくとも１つのＲループが占めるＤＮＡ分子上のヌクレオチド塩基の数は、Ｒループが形成されるＤＮＡ分子の下に配置された導体または電極１１の幅によって決まる可能性がある。一例によれば、Ｒループを形成するＲＮＡ１５は約１０〜約１５００個の塩基分の長さになる可能性がある。これは約３〜約５００ｎｍの長さに対応する。通常、ＲＮＡを形成するＲループは、約１０〜約１００ｎｍの長さに対応する約３０〜約３００個の塩基分の長さを有する。
【００５４】
Ｒループ内のＤＮＡ分子には強誘電物質を付着することができる。このような実施形態によれば、強誘電物質は通常、ＤＮＡ分子のうち、ＲＮＡ１５を形成するＲループに結合されていない部分に付着される。
【００５５】
少なくとも１つのＲループ内の少なくとも１つのヌクレオチドには少なくとも１つの化学成分を付着することができる。この少なくとも１つの化学成分は強誘電物質を含むことができる。少なくとも１つの化学成分は、少なくとも１つの水素結合または少なくとも１つの共有結合あるいはその両方によってＲループ内のＤＮＡ分子に付着することができる。
【００５６】
有機分子に付着された少なくとも１つの化学成分の性質は実施形態によって様々になる可能性がある。一実施形態によれば、少なくとも１つの化学成分は少なくとも１つのヌクレオチドを含む。実施形態によっては、少なくとも１つの化学成分が複数の化学成分を含むことができる。その成分のうちの少なくとも１つは通常、少なくとも１つのＲループ内の少なくとも１つのヌクレオチドに結合可能である。また、実施形態によっては、少なくとも１つの化学成分は、少なくとも１つの酸性基と少なくとも１つのアルコール性基とを含む。
【００５７】
少なくとも１つの化学成分は、さらにまたはあるいは、Ｒグループ内の少なくとも１つのＤＮＡ分子上の少なくとも１つのアミド基に付着することができる。少なくとも１つの化学成分は、Ｒループ内のＤＮＡ分子上の２つのヌクレオチドに結合された２つのヌクレオチドを含むことができる。化学成分に含まれるこの２つの分子としては、グアニンとシトシンまたはチミンとアデニンがある。
【００５８】
上記のように、この化学成分はナノ粒子を含むことができる。このナノ粒子は強誘電物質を含むことができる。ナノ粒子は約１０ｎｍ未満の最大幅を有することができる。
【００５９】
少なくとも１つの化学成分は少なくとも１つのナノ粒子を含むことができる。ナノ粒子と有機構造との結合を促進するために、ナノ粒子は、ナノ粒子に付着された１つまたは複数の原子または化学基を含むことができる。１つまたは複数のこのような原子または基を付着することにより、ナノ粒子を「官能化する」ことができる。
【００６０】
有機構造がＤＮＡ分子を含む場合、少なくとも１つのヌクレオチドをナノ粒子に付着することができる。ナノ粒子に付着されれる少なくとも１つのヌクレオチドは通常、ＲループのうちＲＮＡ分子に付着されていない部分上のＤＮＡ分子のＲループ内の少なくとも１つのヌクレオチドに対して補足的なものである。したがって、ナノ粒子に付着されるヌクレオチドはＤＮＡ分子の配列によって決まり、ナノ粒子がＤＮＡ分子に付着することが望ましい。ナノ粒子ならびにＤＮＡ分子へのナノ粒子の付着については上記で詳述している。
【００６１】
ナノ粒子は、Ｒループ内のどこかにあるＤＮＡ分子の一部分に付着することができる。一実施形態によれば、ナノ粒子は、Ｒループ内に位置する部分の中心付近でＤＮＡに付着する。したがって、Ｒループの位置はＲループの位置によって決まる可能性がある。たとえば、ナノ粒子は、ＤＮＡ分子がＤＮＡ分子の実質的に中心に１つのＲループを含む場合、ＤＮＡ分子の両端間の途中のＤＮＡ分子に付着することができる。
【００６２】
本発明が図１１ないし図１３に示す実施形態のように有機分子を含むか、図９および図１０に示す実施形態のように典型的なリソグラフィで画定した導体を含むかにかかわらず、本発明は通常、基板上に形成される。その上に本発明を形成可能な基板の例としては、ガラスまたはセラミックあるいはその両方がある。このような材料の例としては、石英、アルミナ、パイレックス（ＰＹＲＥＸ）などがある。
【００６３】
また、本発明が図１１ないし図１３に示す実施形態のようにＤＮＡ分子を含むか、図９および図１０に示す実施形態のように典型的なリソグラフィで画定した導体を含むかにかかわらず、本発明は導体と基板の間に配置された粘着層を含むことができる。図９は粘着層の一例を示している。導体と基板の間の粘着層は少なくとも１つの導電材料を含むことができる。たとえば、粘着層はクロムまたはチタンあるいはその両方を含むことができる。また、粘着層は、第２の導体９が第１の導体５の上に配置されるのではなく基板に隣接するような、第２の導体９と基板との間に配置することもできる。図１１ないし図１３に示す実施形態では、導体１１の上にＤＮＡ分子を配置する前に、導体１１の表面上に定着剤１４を設けることができる。
【００６４】
本発明によるメモリ素子の導体は、図９および図１０に示す導体５および９などの導体であるか、図１１ないし図１３に示すような導体１０および１１ならびに有機分子ベースの導体であるかにかかわらず、約５０ｎｍ〜約５０００ｎｍの距離だけ互いに分離することができる。さらに、それぞれのタイプの導体は約５０ｎｍ〜約５０００ｎｍの幅を有することができる。
【００６５】
さらに、各タイプの導体は互いに平行にすることができる。たとえば、導体５のすべてが互いに平行になるかまたは導体９のすべてが互いに平行になる可能性がある。また、あるタイプの導体を互いに等距離に配置することもできる。あるいは、あるタイプの導体のすべてが同じタイプの他の導体から同じ距離になくてもよい。
【００６６】
有機分子あるいは有機構造は、図１１に示す実施形態の電極１０など、基板の表面上の電極に接続することができる。この電極については上記で詳述している。この接続は様々な方法で行うことができる。たとえば、この接続は、電極上に有機構造を付着可能な部位を設けることによって実施することができる。
【００６７】
この付着部位は様々な構造によって設けることができる。たとえば、１つまたは複数の電極上に１つまたは複数の原子または分子を設けることができる。一例によれば、電極のうちの少なくとも１つの上に少なくとも１つの有機分子を設ける。この有機分子は電極（複数も可）の表面に結合できるだろう。
【００６８】
有機構造が電極１０間に延びるＤＮＡ分子を含むような一例によれば、少なくとも１つのＤＮＡ分子またはＲＮＡ分子あるいはその両方を図１１に示す電極１０に付着することができる。有機構造がＤＮＡを含む場合、通常、ＤＮＡは電極１０上に設けられる。ＤＮＡは様々な方法で電極上に設けることができる。
【００６９】
一例によれば、ＤＮＡは、電極へのその接続を促進するような原子または分子に結合される。たとえば、ＤＮＡは硫黄を末端基とすることが可能である。硫黄を末端基とする両端は金製電極の表面に付着することができる。Ｓ⁻を末端基とする化合物が金の表面に付着することは周知のことである。
【００７０】
電極１０間に延びるＤＮＡ分子は、電極上のＤＮＡまたはＲＮＡあるいはその両方に結合することができる。たとえば、２つの電極間に延びるＤＮＡ分子と、上記の例のように電極に付着したＤＮＡ分子（複数も可）はどちらも一本鎖部分を有することができるだろう。電極間に延びるＤＮＡ分子上および電極に付着したＤＮＡ分子（複数も可）上の一本鎖部分は、相互の結合を促進するために補足的な端部を有することができる。
【００７１】
一実施形態によれば、電極に付着するＤＮＡは一本鎖で硫黄を末端基とするＤＮＡである。電極に結合されるＤＮＡまたはＲＮＡが一本鎖であるか二本鎖であるかにかかわらず、ＤＮＡまたはＲＮＡあるいはその両方は約３０〜約３００００個の塩基を含むことができる。しかし、このＤＮＡは約１００００個の塩基対と同じ長さにすることができ、ＲＮＡ分子は約４０個の塩基を含むことができるだろう。
【００７２】
さらに、電極に結合されるＤＮＡまたはＲＮＡ分子が一本鎖であるか二本鎖であるかにかかわらず、一方の電極１０に付着されるＤＮＡまたはＲＮＡあるいはその両方の分子は、電極１０のうちのもう一方の電極に付着されたＤＮＡまたはＲＮＡあるいはその両方の分子とは異なる配列の塩基を有することができる。あるいは、ＤＮＡまたはＲＮＡあるいはその両方の分子のうち電極間に延びる部分は、ＤＮＡまたはＲＮＡあるいはその両方の分子全体とは異なる配列を有することができる。
【００７３】
ＤＮＡ分子が電極に付着され、電極１０間から延びるＤＮＡ分子に結合するための塩基の配列をＤＮＡ分子が含むような一実施形態によれば、電極間に延びるＤＮＡ分子は、電極に付着したＤＮＡに対して補足的な塩基の配列を有する「接着末端」を有することができる。
【００７４】
図１４は、電極１０間に延びるＤＮＡ分子２１の一実施形態を示している。図１４は、本発明のこの態様を理解しやすくするために電極１０間の１つの電極１１のみを示している。ＤＮＡ分子２１は線形構成として示されている。ＤＮＡ分子の両端には接着末端２３および２５が設けられている。
【００７５】
電極１０に付着すべきＤＮＡ分子を構築するかまたはその他の方法で入手した後、そのＤＮＡ分子を電極に付着することができる。ＤＮＡ分子を加えるべき溶液を形成することができる。まず、塩の水溶液を形成する。塩の一例は塩化ナトリウムである。次に、異なる分子が各電極１０に付着される各ＤＮＡ分子を溶液に加えることができる。
【００７６】
複数の溶液の形成後、一方の溶液のある量４３を一方の電極１０上に置き、もう一方の溶液のある量４５をもう一方の電極１０上に置くことができる。どちらの溶液をどちらの電極上に置くかは、電極間に延びるＤＮＡ分子を配向することがどの程度望ましいかによって決まる可能性がある。各電極に付着される溶液の量は、溶液中のＤＮＡ、ＲＮＡ、その他の分子の濃度によって決まる可能性がある。
【００７７】
上記の要因を決定する場合、結果として得られる最終構造は重要である。すなわち、電極１０間の１つのＤＮＡブリッジが形成されなければならない。体積濃度は二次的なものである。流動溶液も使用することができるだろう。
【００７８】
電極上に所望の分子を付着するために電極に溶液を塗布した後、溶液を除去することができる。通常、溶液は、電極に付着すべき数の分子が２つの電極間の有機構造の付着を促進できるように十分な時間の間、電極上に残存していることができる。通常、溶液は、約１０分〜約２０分の時間の間、残存する。
【００７９】
溶液の除去は、いくつかの方法で行うことができる。たとえば、溶液を洗い落とすことができる。たとえば、水を使用して溶液を洗い落とすことができるだろう。通常、溶液は、−Ｓ−Ａｕ結合に付着する成分を含まない液体によって洗い落とされる。あるいは、熱を加えてまたは熱を加えずに溶液を乾燥させることもできるだろう。一例によれば、エア・ガンを使用できるだろう。
【００８０】
図１６は、溶液が除去された後の電極１０を示している。分子４７および４９は電極に付着したままになる。
【００８１】
電極に固着分子を付着した後、電極１０間に延びる構造を図１６に示すような構造に付着することができる。有機構造がＤＮＡを含む場合、ＤＮＡは、電極の上にある基板に付着し、電極間の間隔をあけることができる。有機構造は溶液内で付着することができるだろう。電極間のＤＮＡブリッジを作成するための方法の１つは、Ｂｒａｕｎ他によるＤＮＡ−ｔｅｍｐｌａｔｅｄ ａｓｓｅｍｂｌｙ ａｎｄ ｅｌｅｃｔｒｏｄｅ ａｔｔａｃｈｍｅｎｔ ｏｆ ａ ｃｏｎｄｕｃｔｉｎｇ ｓｉｌｖｅｒ ｗｉｒｅ（Ｎａｔｕｒｅ， Ｖｏｌ． ３９１， ｐｐ． ７７５−７７７， Ｆｅｂｒｕａｒｙ １９， １９９８）に開示されているが、その内容全体は参照により本明細書に組み込まれる。
【００８２】
電極間に延びるＤＮＡ分子（複数も可）を基板および電極に付着した後、このＤＮＡ分子は、電極に付着された固着分子などの有機構造に結合することができる。前述のＤＮＡなどの固着分子および電極に対するＤＮＡ分子の所望の配向を促進するため、電極間に延びるＤＮＡは、それらをアライメントする傾向がある条件にさらすことができる。この条件としては、ＤＮＡ分子をＥ電界または流れ場にさらすことを含むことができるだろう。Ｅ電界を使用する場合、それは約１０^４ないし約１０^６Ｖ／ｃｍになる可能性がある。一方、流れ場を使用する場合、Ｖは約１ないし約１００ｃｍ／秒になる可能性がある。
【００８３】
特定の方法でアライメントするようにＤＮＡに奨励すると、ＤＮＡ分子のうちの少なくとも１つが電極間に延びることを保証するのに役に立つ。通常、「ＤＮＡブリッジ」だけが電極間に形成される。さらに、通常、図１７でＤＮＡブリッジが示されている領域の外側に延びるＤＮＡブリッジはまったくないだろう。
【００８４】
ＤＮＡブリッジ（複数も可）の形成を促進するため、蛍光染料を使用してＤＮＡにタグを付けることができる。実験は顕微鏡下で行われる。１つのブリッジが形成されると、直ちにＤＮＡを含む溶液を電極のそのエリアからパージすることができる。
【００８５】
導体１１の上にある図１１ないし図１３に示すＤＮＡ分子など有機分子の不動化は、ＤＮＡ分子と導体との間に定着剤を配置することによって実施することができる。この定着剤は、導体上で不動化するようにＤＮＡ分子に奨励するものであればどのような物質でもよい。一例によれば、この定着剤は、一方の端部に硫黄原子を含み、もう一方の端部にＯＨ基を含む分子である。硫黄原子は、導体１１に接触し、これに結合することができる。一方、ＯＨ基はＤＮＡ分子の一部分に接触することができる。硫黄分子と定着剤を含むことは、導体／電極１１が金または金含有合金を含む場合に特に有用である。
【００８６】
ＤＮＡ分子（複数も可）を電極に結合した後、電極間の「ブリッジ」を形成する各ＤＮＡ分子内に少なくとも１つのＲループを形成することができる。通常、Ｒループは、電極１０間のＤＮＡ分子のうち、前述の電極（複数も可）１１などの他の電極の上に配置された領域内に形成される。Ｒループの形成については上記でも説明している。図１１は電極１０間に延びるＤＮＡ分子１３を示し、ＤＮＡ分子は各電極１１の上にあるＤＮＡ分子の領域内にＲループ２０を含んでいる。
【００８７】
Ｒループ（複数も可）を形成した後、少なくとも１つのナノ粒子をＤＮＡ分子に結合することができる。少なくとも１つのナノ粒子は、ＤＮＡ分子のうち、各Ｒループ内に位置し、ＲＮＡ分子に付着していない部分に結合することができる。このナノ粒子のＤＮＡ分子への付着を実施するため、ナノ粒子の懸濁液を形成することができる。この懸濁液は、前述のように改質した表面を備えたナノ粒子を含むことができる。ナノ粒子は、約０．１％〜約１０％の濃度で水中に懸濁することができる。
【００８８】
溶液の形成後、それはＲループの上にある領域内に分配することができる。次に、ナノ粒子に付着した定着剤１７はＲループ内のＤＮＡに結合することができる。通常、約１〜約１００００個のヌクレオチドがナノ粒子に付着し、ＤＮＡ分子へのナノ粒子の接着を促進する。ナノ粒子に付着したヌクレオチド（複数も可）は、上記に詳述したようにＲループ内の１つまたは複数のヌクレオチドに対して補足的なものになる可能性がある。
【００８９】
ナノ粒子上のヌクレオチドがＤＮＡ分子に結合する場合、ナノ粒子上のヌクレオチドはＤＮＡ分子（複数も可）のヌクレオチドに水素結合することができる。
【００９０】
電極１０間に延びるＤＮＡ分子にナノ粒子（複数も可）を付着した後、ＤＮＡ分子上に導電材料を設けることができる。この導電材料はどのような導電材料も含むことができる。一例によれば、銀はこの有機構造を備えた塩を形成することができる。また、金属銀も有機構造上に設けることができる。
【００９１】
図１３は、ＤＮＡ分子が導体／電極１１に付着されるＲループを含むＤＮＡ分子の一部分を除くＤＮＡ分子の両側に導電材料１８が配置されている本発明の一例を示している。ＤＮＡ分子上の導電材料は、ＤＮＡ分子の燐酸基に結合された銀イオンを含むことができる。あるいはまたはさらに、導電材料はＤＮＡ分子に結合された金属銀を含むことができる。電極１０間に延びるＤＮＡ分子上に銀を付着すると、銀イオンの方が密度が低いために、Ｒループ上では銀の重大なシーディングまたは付着はいっさい行われない可能性がある。
【００９２】
Ａｇ^＋イオンは、ＤＮＡ主鎖内に燐酸イオンを備えた塩を形成する。この二重螺旋では、燐酸イオンのＯ⁻は二重螺旋の周りに均等に分配される。しかし、密度はＲループを形成する鎖中の方が約５０％低い。また、熱振動のため、ＡｇイオンがＲループ上のＡｇに還元されるので、それは高密度領域、すなわち、二重螺旋領域に移動することになる。
【００９３】
有機構造上の導電材料は有機構造上の導体をもたらす。有機構造がＤＮＡ、ＤＮＡ内のＲループ、およびＲループ内のＤＮＡ分子に付着したナノ粒子を含む場合、有機構造上の導電材料はＤＮＡ分子上のＲループの２つの側面に導体を設けることができる。
【００９４】
銀イオンを含む溶液中にこの有機構造を浸すことにより、導電コーティングを有機構造に塗布することができる。溶液中の銀イオンは、この有機構造を備えた銀塩を形成することができる。有機構造がＤＮＡを含む場合、銀はＤＮＡ分子の燐酸基を備えた塩を形成することができる。塩の形成後、塩中の銀は、還元剤によって金属銀に還元することができる。使用可能な還元剤の例としては、ヒドロキノン／ＯＨ⁻とそれに続くヒドロキノン／ＯＨ^＋がある。
【００９５】
図９および図１０に示す実施形態の強誘電物質の付着は、レーザ後付着（ＰＬＤ）によって実施することができる。レーザ後付着とは、各要素の様々な化学成分の層ごとの付着を実行できる方法である。レーザ後付着の化学量論は、各要素の目標から較正量の物質を切除することによって制御することができる。図６ないし図９に示す方法は本発明による構造を形成するための方法の１つであるが、代替方法では、フォトレジストが金属線を直接付着するためのマスクとして機能する、標準的な「リフトオフ」方法を使用することができる。リフトオフでは、より高い解像度を達成することができる。しかし、リフトオフ方法を使用すると、図６ないし図９に示す標準的なフォトリソグラフィ方法より複雑になる可能性がある。
【００９６】
本発明の上記の説明は本発明を例示し説明するものである。さらに、この開示では、本発明の好ましい実施形態のみを示し説明しているが、前述のように、本発明は様々な他の組合せ、変更形態、および環境で使用することができ、ここに記載した本発明の概念の範囲内で変更または修正することができ、上記の教示および／または関連技術分野の技能または知識と釣り合っていることを理解されたい。上記の実施形態は、本発明を実施するための既知の最良の態様を説明し、他の当業者が本発明の特定の応用例または使用法が必要とする様々な変更形態とともにこのような実施形態または他の実施形態で本発明を使用できるようにすることをさらに意図するものである。したがって、この説明は、ここに開示した形式に本発明を限定するためのものではない。また、特許請求の範囲は代替実施形態を含むものと解釈することが意図されている。
【００９７】
まとめとして、本発明の構成に関して以下の事項を開示する。
【００９８】
（１）少なくとも１対の分離導体と、
前記１対の導体間の強誘電物質とを含み、前記１対の導体がその間のトンネル電流を可能にするのに十分な距離だけ分離される、メモリ素子。
（２）前記１対の導体のそれぞれが、Ａｌ、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、およびその合金からなるグループから選択される少なくとも１つの金属を含む金属電極である、上記（１）に記載のメモリ素子。
（３）前記１対の導体が約１ｎｍ〜約１００ｎｍの距離だけ水平方向に分離される、上記（１）に記載のメモリ素子。
（４）前記１対の導体が約３ｎｍ〜約３０ｎｍの距離だけ水平方向に分離される、上記（１）に記載のメモリ素子。
（５）前記１対の導体が同じ平面内に配置される、上記（１）に記載のメモリ素子。
（６）前記１対の導体が約１０ｎｍまでの距離だけ垂直方向に分離される、上記（１）に記載のメモリ素子。
（７）前記強誘電物質が前記１対の導体間の少なくとも１つの強誘電性結晶を含む、上記（１）に記載のメモリ素子。
（８）前記強誘電物質が、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ニオブ酸カリウム、硫酸トリグリシン、ロッシェル塩、ニオブ酸鉛鉄からなるグループから選択される少なくとも１つの物質を含む、上記（１）に記載のメモリ素子。
（９）前記強誘電物質が約２３℃〜約４９０℃のキュリー温度を有する、上記（１）に記載のメモリ素子。
（１０）前記強誘電物質の双極子を切り替えるために必要な電圧が約１００ｍＶ〜約１００００ｍＶである、上記（１）に記載のメモリ素子。
（１１）前記１対の導体間に読取り電圧を印加した結果発生するトンネル電流を測定することにより前記メモリ素子を読み取るために必要な電圧が、前記強誘電物質の双極子を切り替えるために必要な電圧より小さい、上記（１）に記載のメモリ素子。
（１２）前記１対の導体間に読取り電圧を印加した結果発生するトンネル電流を測定することにより前記メモリ素子を読み取るために必要な電圧が、前記強誘電物質の双極子を切り替えるために必要な電圧の約半分より小さい、上記（１）に記載のメモリ素子。
（１３）前記１対の導体間に読取り電圧を印加した結果発生するトンネル電流を測定することにより前記メモリ素子を読み取るために必要な電圧が、約１０ｍＶより小さい、上記（１）に記載のメモリ素子。
（１４）前記１対の導体および前記強誘電物質を取り囲み、約１〜約１０の誘電率を有する誘電体をさらに含む、上記（１）に記載のメモリ素子。
（１５）前記誘電体が、空気、Ｓｉ_３Ｎ_４、アルミナ、ＳｉＯ_２からなるグループから選択される少なくとも１つの物質を含む、上記（１４）に記載のメモリ素子。
（１６）前記強誘電物質が約１０ｎｍ未満の厚さを有する、上記（１）に記載のメモリ素子。
（１７）前記１対の導体間にバイアス電圧を印加することにより前記強誘電物質にレムナント分極を誘導することができ、前記バイアス電圧が前記強誘電物質の保持磁界より高い電界を発生するのに十分なものである、上記（１）に記載のメモリ素子。
（１８）前記バイアス電圧の印加中に加える局部加熱によりレムナント分極を誘導することもできる、上記（１）に記載のメモリ素子。
（１９）前記導体間の前記バイアス電圧の符号を変更することによって前記レムナント分極を逆転することができる、上記（１７）に記載のメモリ素子。
（２０）前記レムナント分極を逆転する電圧が書込みバイアス電圧を表す、上記（１７）に記載のメモリ素子。
（２１）前記読取り電圧が、前記１対の導体間にバイアス電圧を印加することにより前記強誘電物質に誘導されたレムナント分極に対して逆平行である場合に、前記トンネル電流がハイになる、上記（１１）に記載のメモリ素子。
（２２）前記読取り電圧が、前記１対の導体間にバイアス電圧を印加することにより前記強誘電物質に誘導されたレムナント分極に対して平行である場合に、前記トンネル電流がローになる、上記（１１）に記載のメモリ素子。
（２３）前記１対の導体間に延び、前記強誘電物質がそれに付着された少なくとも１つの有機分子をさらに含む、上記（１）に記載のメモリ素子。
（２４）前記有機分子が少なくとも１つのＤＮＡ分子を含む、上記（２３）に記載のメモリ素子。
（２５）前記有機分子が、前記少なくとも１つのＤＮＡ分子上の少なくとも１つの位置に付着された少なくとも１つのオリゴマーを含む、上記（２４）に記載のメモリ素子。
（２６）前記有機分子が、前記少なくとも１つのＤＮＡ分子の少なくとも一部分に付着されたオリゴマーの単層をさらに含む、上記（２４）に記載のメモリ素子。
（２７）前記少なくとも１つのＤＮＡ分子が二本鎖のものであり、少なくとも１つのＲループを含み、前記メモリ素子が、
前記少なくとも１つのＲループ内の少なくとも１つのヌクレオチドに付着された少なくとも１つの化学成分であって、前記強誘電物質を含む少なくとも１つの化学成分をさらに含む、上記（２３）に記載のメモリ素子。
（２８）前記少なくとも１つの化学成分が、前記少なくとも１つのＲループ内の少なくとも１つの選択されたヌクレオチドに付着される、上記（２７）に記載のメモリ素子。
（２９）前記少なくとも１つの化学成分が、少なくとも１つの水素結合によって前記少なくとも１つのＲループ内の前記少なくとも１つのヌクレオチドに付着される、上記（２７）に記載のメモリ素子。
（３０）前記少なくとも１つの化学成分が、少なくとも１つの共有結合によって前記少なくとも１つのＲループ内の前記少なくとも１つのヌクレオチドに付着される、上記（２８）に記載のメモリ素子。
（３１）前記少なくとも１つの化学成分が、少なくとも１つの水素結合または少なくとも１つの共有結合によって前記少なくとも１つのＲループ内の前記少なくとも１つのヌクレオチドに付着される、上記（２７）に記載のメモリ素子。
（３２）前記少なくとも１つの化学成分が少なくとも１つのヌクレオチドを含む、上記（２７）に記載のメモリ素子。
（３３）前記少なくとも１つの化学成分が少なくとも２通りの成分を含む、上記（２７）に記載のメモリ素子。
（３４）前記成分のうちの少なくとも一方が前記少なくとも１つのＲループ内の前記少なくとも１つのヌクレオチドに結合可能である、上記（３３）に記載のメモリ素子。
（３５）前記少なくとも１つの化学成分が少なくとも１つの酸と少なくとも１つのアルコールとを含む、上記（２７）に記載のメモリ素子。
（３６）前記少なくとも１つの化学成分が、前記Ｒループ内の前記少なくとも１つのＤＮＡ分子上の少なくとも１つのアミド基に付着される、上記（２７）に記載のメモリ素子。
（３７）前記少なくとも１つの化学成分が２つのヌクレオチドを含む、上記（３２）に記載のメモリ素子。
（３８）前記少なくとも１つの化学成分がグアニンとシトシンまたはチミンとアデニンを含む、上記（３２）に記載のメモリ素子。
（３９）前記少なくとも１つの化学成分が、前記Ｒループ内の前記少なくとも１つのヌクレオチドに付着された少なくとも１つのナノ粒子を含み、前記ナノ粒子が前記強誘電物質を提供する、上記（２７）に記載のメモリ素子。
（４０）前記少なくとも１つのナノ粒子が約１０ｎｍ未満の最大幅を有する、上記（３９）に記載のメモリ素子。
（４１）前記ＤＮＡがλ−ＤＮＡである、上記（２７）に記載のメモリ素子。
（４２）前記Ｒループを形成するＲＮＡが約１０〜約１５００個の塩基分の長さを有する、上記（２７）に記載のメモリ素子。
（４３）前記Ｒループを形成するＲＮＡが約３０〜約３００個の塩基分の長さを有する、上記（２７）に記載のメモリ素子。
（４４）前記Ｒループを形成するＲＮＡが約３ｎｍ〜約５００ｎｍの長さを有する、上記（２７）に記載のメモリ素子。
（４５）前記Ｒループを形成するＲＮＡが約１０ｎｍ〜約１００ｎｍの長さを有する、上記（２７）に記載のメモリ素子。
（４６）基板上で第１の方向に延びる複数の第１の平行導体をさらに含む、上記（１）に記載のメモリ素子。
（４７）前記第１の平行導体に対して垂直な第２の方向に前記基板および前記第１の平行導体上で延び、前記第１の平行導体にオーバラップする複数の第２の平行導体をさらに含み、前記強誘電物質が前記第１の平行導体と前記第２の平行導体との間に配置される、上記（１）に記載のメモリ素子。
（４８）前記第１の平行導体と前記第２の平行導体が前記基板にオーバラップする場合に前記基板と前記第１の平行導体および前記第２の平行導体との間にある粘着層をさらに含む、上記（４７）に記載のメモリ素子。
（４９）前記粘着層が、ＣｒとＴｉからなるグループから選択される少なくとも１つの金属を含む、上記（４７）に記載のメモリ素子。
（５０）前記基板がガラスまたはセラミックである、上記（４７）に記載のメモリ素子。
（５１）前記第１の平行導体および前記第２の平行導体が約５０ｎｍ〜約５０００ｎｍの幅を有する、上記（４７）に記載のメモリ素子。
（５２）前記第１の平行導体が約５０ｎｍ〜約５０００ｎｍの距離だけ互いに分離され、前記第２の平行導体が約５０ｎｍ〜約５０００ｎｍの距離だけ互いに分離される、上記（４７）に記載のメモリ素子。
（５３）前記第１の平行導体が互いに等距離にある、上記（４６）に記載のメモリ素子。
（５４）前記第２の平行導体が互いに等距離にある、上記（４７）に記載のメモリ素子。
（５５）複数の第１の導体を横切って延び、前記複数の第１の導体上にＲループを含む二本鎖ＤＮＡ分子と、
複数のＲループ内の少なくとも１つのヌクレオチドに付着された少なくとも１つの化学成分とをさらに含む、上記（４６）に記載のメモリ素子。
（５６）前記化学成分が前記Ｒループ内の少なくとも１つの選択されたヌクレオチドに付着される、上記（５５）に記載のメモリ素子。
（５７）前記化学成分が、水素結合と共有結合からなるグループから選択される少なくとも１つの結合によって前記Ｒループ内の前記少なくとも１つのヌクレオチドに付着される、上記（５５）に記載のメモリ素子。
（５８）前記化学成分が少なくとも１つのヌクレオチドを含む、上記（５５）に記載のメモリ素子。
（５９）前記化学成分が少なくとも２通りの成分を含む、上記（５５）に記載のメモリ素子。
（６０）前記成分のうちの少なくとも一方が前記Ｒループ内の前記少なくとも１つのヌクレオチドに結合可能である、上記（５９）に記載のメモリ素子。
（６１）前記化学成分が少なくとも１つの酸と少なくとも１つのアルコールとを含む、上記（５９）に記載のメモリ素子。
（６２）前記化学成分が、前記Ｒループ内の前記少なくとも１つのＤＮＡ分子上の少なくとも１つのアミド基に付着される、上記（５５）に記載のメモリ素子。
（６３）前記化学成分のそれぞれが２つのヌクレオチドを含む、上記（５５）に記載のメモリ素子。
（６４）前記化学成分のそれぞれがグアニンとシトシンまたはチミンとアデニンを含む、上記（５５）に記載のメモリ素子。
（６５）前記化学成分が、前記Ｒループ内の少なくとも１つのヌクレオチドに付着された少なくとも１つのナノ粒子を含み、前記ナノ粒子が前記強誘電物質を提供する、上記（５５）に記載のメモリ素子。
（６６）前記少なくとも１つのナノ粒子が約１０ｎｍ未満の最大幅を有する、上記（６５）に記載のメモリ素子。
（６７）前記ＤＮＡがλ−ＤＮＡである、上記（５５）に記載のメモリ素子。
（６８）前記Ｒループを形成するＲＮＡが約１０〜約１５００個の塩基分の長さを有する、上記（５５）に記載のメモリ素子。
（６９）前記Ｒループを形成するＲＮＡが約３０〜約３００個の塩基分の長さを有する、上記（５５）に記載のメモリ素子。
（７０）前記Ｒループを形成するＲＮＡが約３ｎｍ〜約５００ｎｍの長さを有する、上記（５５）に記載のメモリ素子。
（７１）前記Ｒループを形成するＲＮＡが約１０ｎｍ〜約１００ｎｍの長さを有する、上記（５５）に記載のメモリ素子。
（７２）前記ＤＮＡ分子が前記導体のうちの２つに固定された端部を含み、
前記ＤＮＡ分子が固定される前記導体の表面に結合された有機分子をさらに含む、上記（５５）に記載のメモリ素子。
（７３）前記ＤＮＡ分子が、前記固定導体に固定された接着末端を含む、上記（７２）に記載のメモリ素子。
（７４）前記ＤＮＡ分子が固定される前記導体の表面に結合される前記有機分子がＤＮＡである、上記（７３）に記載のメモリ素子。
（７５）前記ＤＮＡ分子が固定される前記導体の表面に結合される前記ＤＮＡ分子が硫黄を末端基とし、一本鎖のものである、上記（７４）に記載のメモリ素子。
（７６）前記固定導体のうちの第１の導体に結合される前記ＤＮＡ分子が、前記導体のうちの第２の導体に結合される前記ＤＮＡ分子とは異なる配列を有する、上記（７４）に記載のメモリ素子。
（７７）前記固定導体に結合される前記ＤＮＡ分子が約５〜約２０の塩基対を含む、上記（７４）に記載のメモリ素子。
（７８）前記固定導体間に延びる前記ＤＮＡ分子が、前記固定導体の表面に結合される前記ＤＮＡ分子と交雑する接着末端を含む、上記（７４）に記載のメモリ素子。
（７９）前記Ｒループと前記導体との間に配置される定着剤をさらに含む、上記（５５）に記載のメモリ素子。
（８０）前記定着剤が、第１の端部で前記導体と接触するための硫黄原子と、第２の端部で前記ＤＮＡ分子と接触するためのＯＨ基とを含む分子である、上記（７９）に記載のメモリ素子。
（８１）前記固定導体が金または金含有合金で作られる、上記（７２）に記載のメモリ素子。
（８２）第１の電極と第２の電極との間に延びる前記有機分子上の導電材料をさらに含む、上記（２３）に記載のメモリ素子。
（８３）前記ＤＮＡ分子上の導電材料をさらに含む、上記（２４）に記載のメモリ素子。
（８４）前記ＤＮＡ分子上の導電材料をさらに含む、上記（２７）に記載のメモリ素子。
（８５）前記導電材料が、前記ＤＮＡ分子の燐酸基に結合される銀イオンを含む、上記（８４）に記載のメモリ素子。
（８６）前記導電材料が前記ＤＮＡ分子上の金属銀を含む、上記（８４）に記載のメモリ素子。
（８７）前記ナノ粒子を前記ＤＮＡ分子に結合するために前記ナノ粒子に付着された少なくとも１つの化学成分であって、前記定着剤と前記ナノ粒子を前記ＤＮＡに付着するための少なくとも１つの化学成分がトンネル・ギャップを形成する少なくとも１つの化学成分をさらに含む、上記（７９）に記載のメモリ素子。
（８８）前記ＤＮＡ分子上の導電材料をさらに含む、上記（５５）に記載のメモリ素子。
（８９）前記導電材料が、前記ＤＮＡ分子の燐酸基に結合される銀イオンを含む、上記（８８）に記載のメモリ素子。
（９０）前記導電材料が前記ＤＮＡ分子上の金属銀を含む、上記（８８）に記載のメモリ素子。
（９１）前記第１の平行導体が互いに等距離にある、上記（５５）に記載のメモリ素子。
（９２）前記ＤＮＡ分子が前記第１の平行導体に対して垂直である、上記（５５）に記載のメモリ素子。
（９３）メモリ素子を形成するための方法であって、
少なくとも１対の分離導体を基板上に設けるステップと、
前記１対の導体間に強誘電物質を設けるステップであって、前記１対の導体がその間のトンネル電流を可能にするのに十分な距離だけ分離されるステップとを含む方法。
（９４）複数の分離導体を前記基板上に設けるステップと、
前記分離導体間に強誘電物質を設けるステップとをさらに含む、上記（９３）に記載の方法。
（９５）前記複数の分離導体が、複数の第１の平行導体と、前記第１の平行導体に対して垂直な複数の第２の平行導体とを含む、上記（９４）に記載の方法。
（９６）前記第２の導体の一部分が前記第１の導体の一部分にオーバラップする、上記（９５）に記載の方法。
（９７）前記第１の導体が前記第２の導体にオーバラップする領域内に前記強誘電物質が付着される、上記（９６）に記載の方法。
（９８）前記方法が、
基板上に粘着層を設けるステップと、
前記粘着層上に第１の金属層を設けるステップと、
前記第１の金属層上に第１のフォトレジストの層を形成するステップと、
前記第１のフォトレジスト層を露光するステップと、
前記第１のフォトレジスト層を現像するステップと、
前記第１の金属層と前記粘着層にエッチングして、前記第１の平行導体を形成するステップと、
前記第１のフォトレジスト層を剥離するステップと、
前記第１の金属層および前記粘着層のエッチングによって露出した前記エッチング済みの第１の金属層と前記基板の残存部分上に強誘電物質の層を設けるステップと、
前記強誘電物質の層上に第２の金属層を設けるステップと、
第２のフォトレジストの層を設けるステップと、
前記第２のフォトレジスト層を露光するステップと、
前記第２のフォトレジスト層を現像するステップと、
前記第２の金属層にエッチングするステップと、
前記第２のフォトレジスト層を剥離するステップとにより前記導体を設けることを含む、上記（９５）に記載の方法。
（９９）第１の導体同士が等距離で分離される、上記（９５）に記載の方法。
（１００）第２の導体同士が等距離で分離される、上記（９５）に記載の方法。
（１０１）前記基板がガラスまたはセラミックである、上記（９５）に記載の方法。
（１０２）前記粘着層がＣｒまたはＴｉである、上記（９８）に記載の方法。
（１０３）前記導体が、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｌ、Ａｕ、およびその合金からなるグループから選択される少なくとも１つの金属から作られる、上記（９３）に記載の方法。
（１０４）前記第１の平行導体と前記第２の平行導体が約５０ｎｍ〜約５０００ｎｍの幅に形成される、上記（９５）に記載の方法。
（１０５）前記第１の平行導体が約５０ｎｍ〜約５０００ｎｍの距離だけ互いに離れて形成され、前記第２の平行導体が約５０ｎｍ〜約５０００ｎｍの距離だけ互いに離れて形成される、上記（９５）に記載の方法。
（１０６）前記導体が約１ｎｍ〜約１００ｎｍの距離だけ水平方向に離れて形成される、上記（９３）に記載の方法。
（１０７）前記導体が約３ｎｍ〜約３０ｎｍの距離だけ水平方向に離れて形成される、上記（９３）に記載の方法。
（１０８）前記導体が１つの平面内に形成される、上記（９３）に記載の方法。
（１０９）前記導体が約０ｎｍ〜約１０ｎｍの距離だけ垂直方向に離れて形成される、上記（９３）に記載の方法。
（１１０）前記強誘電物質を設けるステップが、前記１対の導体間に少なくとも１つの強誘電性結晶を設けるステップを含む、上記（９３）に記載の方法。
（１１１）前記強誘電物質を設けるステップが、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ニオブ酸カリウム、硫酸トリグリシン、ロッシェル塩、ニオブ酸鉛鉄からなるグループから選択される少なくとも１つの物質を設けるステップを含む、上記（９３）に記載の方法。
（１１２）前記強誘電物質が約２３℃〜約４９０℃のキュリー温度を有する、上記（９３）に記載の方法。
（１１３）前記強誘電物質の双極子を切り替えるために必要な電圧が約１００ｍＶ〜約１００００ｍＶである、上記（９３）に記載の方法。
（１１４）前記１対の導体間に読取り電圧を印加した結果発生するトンネル電流を測定することにより前記メモリ素子を読み取るために必要な電圧が、前記強誘電物質の双極子を切り替えるために必要な電圧より小さい、上記（９３）に記載の方法。
（１１５）前記１対の導体間に読取り電圧を印加した結果発生するトンネル電流を測定することにより前記メモリ素子を読み取るために必要な電圧が、前記強誘電物質の双極子を切り替えるために必要な電圧の約半分より小さい、上記（９３）に記載の方法。
（１１６）前記１対の導体間に読取り電圧を印加した結果発生するトンネル電流を測定することにより前記メモリ素子を読み取るために必要な電圧が、約１０ｍＶより小さい、上記（９３）に記載の方法。
（１１７）前記１対の導体および前記強誘電物質を取り囲み、約１〜約１０の誘電率を有する誘電体を設けるステップをさらに含む、上記（９３）に記載の方法。
（１１８）前記誘電体が、空気、ＳｉＮ、アルミナ、ＳｉＯ_２からなるグループから選択される少なくとも１つの物質を含む、上記（１１７）に記載の方法。
（１１９）前記強誘電物質が約１０ｎｍ未満の厚さを有する、上記（９３）に記載の方法。
（１２０）前記１対の導体間にバイアス電圧を印加することにより前記強誘電物質にレムナント分極を誘導することができ、前記バイアス電圧が前記強誘電物質の保持磁界より高い電界を発生するのに十分なものである、上記（９３）に記載の方法。
（１２１）前記バイアス電圧の印加中に加える局部加熱によりレムナント分極を誘導することもできる、上記（９３）に記載の方法。
（１２２）前記導体間の前記バイアス電圧の符号を変更することによって前記レムナント分極を逆転することができる、上記（１２０）に記載の方法。
（１２３）前記レムナント分極を逆転する電圧が書込みバイアス電圧を表す、上記（１２０）に記載の方法。
（１２４）前記読取り電圧が、前記１対の導体間にバイアス電圧を印加することにより前記強誘電物質に誘導されたレムナント分極に対して逆平行である場合に、前記トンネル電流がハイになる、上記（１１４）に記載の方法。
（１２５）前記読取り電圧が、前記１対の導体間にバイアス電圧を印加することにより前記強誘電物質に誘導されたレムナント分極に対して平行である場合に、前記トンネル電流がローになる、上記（１１４）に記載の方法。
（１２６）前記１対の導体間に延びる少なくとも１つの有機分子を設けるステップであって、前記強誘電物質が前記有機分子に付着されるステップをさらに含む、上記（９３）に記載の方法。
（１２７）前記有機分子を設けるステップが、前記導体間に少なくとも１つのＤＮＡ分子を延ばすステップを含む、上記（１２６）に記載の方法。
（１２８）前記有機分子を設けるステップが、前記少なくとも１つのＤＮＡ分子上の少なくとも１つの位置に少なくとも１つのオリゴマーを付着するステップをさらに含む、上記（１２７）に記載の方法。
（１２９）前記有機分子を設けるステップが、前記少なくとも１つのＤＮＡ分子の少なくとも一部分にオリゴマーの単層を付着するステップをさらに含む、上記（１２７）に記載の方法。
（１３０）前記少なくとも１つのＤＮＡ分子が二本鎖のものであり、
前記ＤＮＡ分子内に少なくとも１つのＲループを形成するステップと、
前記少なくとも１つのＲループ内の少なくとも１つのヌクレオチドに少なくとも１つの化学成分を付着するステップであって、前記少なくとも１つの化学成分が前記強誘電物質を含むステップをさらに含む、上記（１２６）に記載の方法。
（１３１）前記少なくとも１つの化学成分が、前記少なくとも１つのＲループ内の少なくとも１つの選択されたヌクレオチドに付着される、上記（１３０）に記載の方法。
（１３２）前記少なくとも１つの化学成分が、水素結合と共有結合からなるグループから選択される少なくとも１つの結合によって前記少なくとも１つのＲループ内の前記少なくとも１つのヌクレオチドに付着される、上記（１３０）に記載の方法。
（１３３）前記少なくとも１つの化学成分が少なくとも１つのヌクレオチドを含む、上記（１３０）に記載の方法。
（１３４）前記少なくとも１つの化学成分が少なくとも２通りの成分を含む、上記（１３０）に記載の方法。
（１３５）前記成分のうちの少なくとも一方が前記少なくとも１つのＲループ内の前記少なくとも１つのヌクレオチドに結合可能である、上記（１３４）に記載の方法。
（１３６）前記少なくとも１つの化学成分が少なくとも１つの酸と少なくとも１つのアルコールとを含む、上記（１３０）に記載の方法。
（１３７）前記少なくとも１つの化学成分が、前記Ｒループ内の前記少なくとも１つのＤＮＡ分子上の少なくとも１つのアミド基に付着される、上記（１３０）に記載の方法。
（１３８）前記少なくとも１つの化学成分が２つのヌクレオチドを含む、上記（１３３）に記載の方法。
（１３９）前記少なくとも１つの化学成分がグアニンとシトシンまたはチミンとアデニンを含む、上記（１３３）に記載の方法。
（１４０）前記少なくとも１つの化学成分が、前記Ｒループ内の前記少なくとも１つのヌクレオチドに付着された少なくとも１つのナノ粒子を含み、前記ナノ粒子が前記強誘電物質を提供する、上記（１３０）に記載の方法。
（１４１）前記少なくとも１つのナノ粒子が約１０ｎｍ未満の最大幅を有する、上記（１４０）に記載の方法。
（１４２）前記ＤＮＡがλ−ＤＮＡである、上記（１３０）に記載の方法。
（１４３）前記Ｒループを形成するＲＮＡが約１０〜約１５００個の塩基分の長さを有する、上記（１３０）に記載の方法。
（１４４）前記Ｒループを形成するＲＮＡが約３０〜約３００個の塩基分の長さを有する、上記（１３０）に記載の方法。
（１４５）前記Ｒループを形成するＲＮＡが約３ｎｍ〜約５００ｎｍの長さを有する、上記（１３０）に記載の方法。
（１４６）前記Ｒループを形成するＲＮＡが約１０ｎｍ〜約１００ｎｍの長さを有する、上記（１３０）に記載の方法。
（１４７）基板上で第１の方向に延びる複数の第１の平行導体を設けるステップをさらに含む、上記（９３）に記載の方法。
（１４８）前記第１の平行導体に対して垂直な第２の方向に前記基板および前記第１の平行導体上で延び、前記第１の平行導体にオーバラップする複数の第２の平行導体を設けるステップであって、前記強誘電物質が前記第１の平行導体と前記第２の平行導体との間に配置されるステップをさらに含む、上記（９３）に記載の方法。
（１４９）前記第１の平行導体と前記第２の平行導体が前記基板にオーバラップする場合に前記基板と前記第１の平行導体および前記第２の平行導体との間に粘着層を設けるステップをさらに含む、上記（１４８）に記載の方法。
（１５０）前記粘着層が、ＣｒとＴｉからなるグループから選択される少なくとも１つの金属を含む、上記（１４９）に記載の方法。
（１５１）前記基板がガラスまたはセラミックである、上記（１４７）に記載の方法。
（１５２）前記第１の平行導体および前記第２の平行導体が約５０ｎｍ〜約５０００ｎｍの幅を有する、上記（１４８）に記載の方法。
（１５３）前記第１の平行導体が約５０ｎｍ〜約５０００ｎｍの距離だけ互いに分離され、前記第２の平行導体が約５０ｎｍ〜約５０００ｎｍの距離だけ互いに分離される、上記（１４８）に記載の方法。
（１５４）前記第１の平行導体が互いに等距離にある、上記（１４７）に記載の方法。
（１５５）前記第２の平行導体が互いに等距離にある、上記（１４８）に記載の方法。
（１５６）複数の第１の導体を横切って二本鎖ＤＮＡ分子を延ばすステップと、前記複数の第１の導体上の前記ＤＮＡ分子内にＲループを形成するステップと、
複数のＲループ内の少なくとも１つのヌクレオチドに少なくとも１つの化学成分を付着するステップとをさらに含む、上記（１４７）に記載の方法。
（１５７）前記化学成分が前記Ｒループ内の少なくとも１つの選択されたヌクレオチドに付着される、上記（１５６）に記載の方法。
（１５８）前記化学成分が、水素結合と共有結合からなるグループから選択される少なくとも１つの結合によって前記Ｒループ内の前記少なくとも１つのヌクレオチドに付着される、上記（１５６）に記載の方法。
（１５９）前記化学成分が少なくとも１つのヌクレオチドを含む、上記（１５６）に記載の方法。
（１６０）前記化学成分が少なくとも２通りの成分を含む、上記（１５６）に記載の方法。
（１６１）前記成分のうちの少なくとも一方が前記Ｒループ内の前記少なくとも１つのヌクレオチドに結合可能である、上記（１６０）に記載の方法。
（１６２）前記化学成分が少なくとも１つの酸と少なくとも１つのアルコールとを含む、上記（１６０）に記載の方法。
（１６３）前記化学成分が、前記Ｒループ内の前記少なくとも１つのＤＮＡ分子上の少なくとも１つのアミド基に付着される、上記（１５６）に記載の方法。
（１６４）前記化学成分のそれぞれが２つのヌクレオチドを含む、上記（１５６）に記載の方法。
（１６５）前記化学成分のそれぞれがグアニンとシトシンまたはチミンとアデニンを含む、上記（１５６）に記載の方法。
（１６６）前記化学成分が、前記Ｒループ内の少なくとも１つのヌクレオチドに付着された少なくとも１つのナノ粒子を含み、前記ナノ粒子が前記強誘電物質を提供する、上記（１５６）に記載の方法。
（１６７）前記少なくとも１つのナノ粒子が約１０ｎｍ未満の最大幅を有する、上記（１６６）に記載の方法。
（１６８）前記ＤＮＡがλ−ＤＮＡである、上記（１５６）に記載の方法。
（１６９）前記Ｒループを形成するＲＮＡが約１０〜約１５００個の塩基分の長さを有する、上記（１５６）に記載の方法。
（１７０）前記Ｒループを形成するＲＮＡが約３０〜約３００個の塩基分の長さを有する、上記（１５６）に記載の方法。
（１７１）前記Ｒループを形成するＲＮＡが約３ｎｍ〜約５００ｎｍの長さを有する、上記（１５６）に記載の方法。
（１７２）前記Ｒループを形成するＲＮＡが約１０ｎｍ〜約１００ｎｍの長さを有する、上記（１５６）に記載の方法。
（１７３）前記ＤＮＡ分子が前記導体のうちの２つに固定された端部を含み、
前記ＤＮＡ分子が固定される前記導体の表面に有機分子を付着するステップをさらに含む、上記（１５６）に記載の方法。
（１７４）前記ＤＮＡ分子が、前記固定導体に固定された接着末端を含む、上記（１７３）に記載の方法。
（１７５）前記ＤＮＡ分子が固定される前記導体の表面に結合される前記有機分子がＤＮＡである、上記（１７４）に記載の方法。
（１７６）前記ＤＮＡ分子が固定される前記導体の表面に結合される前記ＤＮＡ分子が硫黄を末端基とし、一本鎖のものである、上記（１７５）に記載の方法。
（１７７）前記固定導体のうちの第１の導体に結合される前記ＤＮＡ分子が、前記導体のうちの第２の導体に結合される前記ＤＮＡ分子とは異なる配列を有する、上記（１７５）に記載の方法。
（１７８）前記固定導体に結合される前記ＤＮＡ分子が約５〜約２０の塩基対を含む、上記（１７５）に記載の方法。
（１７９）前記固定導体間に延びる前記ＤＮＡ分子が、前記固定導体の表面に結合される前記ＤＮＡ分子と交雑する接着末端を含む、上記（１７５）に記載の方法。
（１８０）前記Ｒループと前記導体との間に定着剤を配置するステップをさらに含む、上記（１５６）に記載の方法。
（１８１）前記定着剤が、第１の端部で前記導体と接触するための硫黄原子と、第２の端部で前記ＤＮＡ分子と接触するためのＯＨ基とを含む分子である、上記（１８０）に記載の方法。
（１８２）前記固定導体が金または金含有合金で作られる、上記（１７３）に記載の方法。
（１８３）第１の電極と第２の電極との間に延びる前記有機分子上に導電材料を設けるステップをさらに含む、上記（１２６）に記載の方法。
（１８４）前記ＤＮＡ分子上に導電材料を設けるステップをさらに含む、上記（１２７）に記載の方法。
（１８５）前記ＤＮＡ分子上に導電材料を設けるステップをさらに含む、上記（１３０）に記載の方法。
（１８６）前記導電材料が、前記ＤＮＡ分子の燐酸基に結合される銀イオンを含む、上記（１８５）に記載の方法。
（１８７）前記導電材料が前記ＤＮＡ分子上の金属銀を含む、上記（１８５）に記載の方法。
（１８８）前記ナノ粒子を前記ＤＮＡ分子に結合するために前記ナノ粒子に少なくとも１つの化学成分を付着するステップであって、前記定着剤と前記ナノ粒子を前記ＤＮＡに付着するための少なくとも１つの化学成分がトンネル・ギャップを形成するステップをさらに含む、上記（１８０）に記載の方法。
（１８９）前記ＤＮＡ分子上に導電材料を設けるステップをさらに含む、上記（１５６）に記載の方法。
（１９０）前記導電材料が、前記ＤＮＡ分子の燐酸基に結合される銀イオンを含む、上記（１８９）に記載の方法。
（１９１）前記導電材料が前記ＤＮＡ分子上の金属銀を含む、上記（１８９）に記載の方法。
（１９２）前記第１の平行導体が互いに等距離にある、上記（１５６）に記載の方法。
（１９３）前記ＤＮＡ分子が前記第１の平行導体に対して垂直である、上記（１５６）に記載の方法。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による強誘電性記憶素子の一実施形態の断面図である。
【図２】本発明による強誘電性記憶素子の一実施形態の断面図である。
【図３】本発明による強誘電性記憶素子の一実施形態の断面図であり、その実施形態の動作を示す図である。
【図４】本発明による強誘電性記憶素子の一実施形態の断面図であり、その実施形態の動作を示す図である。
【図５】本発明による強誘電性記憶素子の一実施形態の断面図であり、その実施形態の動作を示す図である。
【図６】本発明による強誘電性記憶素子を形成するためのプロセスの一実施形態の様々な段階を示す断面図である。
【図７】本発明による強誘電性記憶素子を形成するためのプロセスの一実施形態の様々な段階を示す断面図である。
【図８】本発明による強誘電性記憶素子を形成するためのプロセスの一実施形態の様々な段階を示す断面図である。
【図９】本発明による強誘電性記憶素子を形成するためのプロセスの一実施形態の様々な段階を示す断面図である。
【図１０】本発明による強誘電性記憶素子の一実施形態の平面図である。
【図１１】本発明による強誘電性記憶素子の他の実施形態の断面図である。
【図１２】図１１に示す本発明の実施形態の一部分をより大きい縮尺で示す断面図である。
【図１３】追加処理後の図１２に示す本発明の実施形態の断面図である。
【図１４】本発明により使用可能なＤＮＡ分子の一実施形態を示す図である。
【図１５】本発明によるプロセスの一実施形態の様々な段階における本発明による素子の一実施形態の断面図である。
【図１６】本発明によるプロセスの一実施形態の様々な段階における本発明による素子の一実施形態の断面図である。
【図１７】本発明によるプロセスの一実施形態の様々な段階における本発明による素子の一実施形態の断面図である。
【符号の説明】
１ 電極
２ 電極
３ 強誘電物質の領域

Claims (81)

1. トンネル電流を可能にするのに十分な距離だけ分離されている少なくとも１対の導体と、
   該少なくとも１対の導体の間に延び、少なくとも１つのＤＮＡ分子と、少なくとも１つのＲループを形成するように前記ＤＮＡ分子に結合された少なくとも１つのＲＮＡ分子とを含む少なくとも１つの有機分子と、
   前記少なくとも１対の導体の間で前記少なくとも１つのＲループに結合された強誘電ナノ粒子とを含むメモリ素子。
2. 前記１対の導体のそれぞれが、Ａｌ、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、およびその合金からなるグループから選択される少なくとも１つの金属を含む金属電極である、請求項１に記載のメモリ素子。
3. 前記１対の導体が１ｎｍ〜１００ｎｍの距離だけ水平方向に分離される、請求項１に記載のメモリ素子。
4. 前記１対の導体が３ｎｍ〜３０ｎｍの距離だけ水平方向に分離される、請求項１に記載のメモリ素子。
5. 前記１対の導体が同じ平面内に配置される、請求項１に記載のメモリ素子。
6. 前記１対の導体が１０ｎｍまでの距離だけ垂直方向に分離される、請求項１に記載のメモリ素子。
7. 前記強誘電ナノ粒子が前記１対の導体間の少なくとも１つの強誘電性結晶を含む、請求項１に記載のメモリ素子。
8. 前記強誘電ナノ粒子が、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ニオブ酸カリウム、硫酸トリグリシン、ロッシェル塩、ニオブ酸鉛鉄からなるグループから選択される少なくとも１つの強誘電物質を含む、請求項１に記載のメモリ素子。
9. 前記強誘電ナノ粒子が２３℃〜４９０℃のキュリー温度を有する、請求項１に記載のメモリ素子。
10. 前記強誘電ナノ粒子の双極子を切り替えるために必要な電圧が１００ｍＶ〜１００００ｍＶである、請求項１に記載のメモリ素子。
11. 前記１対の導体間に読取り電圧を印加した結果発生するトンネル電流を測定することにより前記メモリ素子を読み取るために必要な電圧が、前記強誘電ナノ粒子の双極子を切り替えるために必要な電圧より小さい、請求項１に記載のメモリ素子。
12. 前記読取り電圧が、前記１対の導体間にバイアス電圧を印加することにより前記強誘電ナノ粒子に誘導されたレムナント分極に対して逆平行である場合に、前記トンネル電流がハイになる、請求項１１に記載のメモリ素子。
13. 前記読取り電圧が、前記１対の導体間にバイアス電圧を印加することにより前記強誘電ナノ粒子に誘導されたレムナント分極に対して平行である場合に、前記トンネル電流がローになる、請求項１１に記載のメモリ素子。
14. 前記１対の導体間に読取り電圧を印加した結果発生するトンネル電流を測定することにより前記メモリ素子を読み取るために必要な電圧が、前記強誘電ナノ粒子の双極子を切り替えるために必要な電圧の半分より小さい、請求項１に記載のメモリ素子。
15. 前記１対の導体間に読取り電圧を印加した結果発生するトンネル電流を測定することにより前記メモリ素子を読み取るために必要な電圧が、１０ｍＶより小さい、請求項１に記載のメモリ素子。
16. 前記１対の導体および前記強誘電ナノ粒子を取り囲み、１〜１０の誘電率を有する誘電体をさらに含む、請求項１に記載のメモリ素子。
17. 前記誘電体が、空気、Ｓｉ_３Ｎ_４、アルミナ、ＳｉＯ_２からなるグループから選択される少なくとも１つの物質を含む、請求項１６に記載のメモリ素子。
18. 前記強誘電ナノ粒子が１０ｎｍ未満の最大幅を有する、請求項１に記載のメモリ素子。
19. 前記１対の導体間にバイアス電圧を印加することにより前記強誘電ナノ粒子にレムナント分極を誘導することができる電界を発生する、請求項１に記載のメモリ素子。
20. 前記１対の導体間の前記バイアス電圧の符号を変更することによって前記レムナント分極を逆転することができる、請求項１９に記載のメモリ素子。
21. 前記レムナント分極を逆転する電圧が書込みバイアス電圧を表す、請求項１９に記載のメモリ素子。
22. 前記バイアス電圧の印加中に加える局部加熱によりレムナント分極を誘導することもできる、請求項１９に記載のメモリ素子。
23. 前記有機分子が、前記少なくとも１つのＤＮＡ分子上の少なくとも１つの位置に付着された少なくとも１つのオリゴマーを含む、請求項１に記載のメモリ素子。
24. 前記ＤＮＡ分子上の導電材料をさらに含む、請求項２３に記載のメモリ素子。
25. 前記有機分子が、前記少なくとも１つのＤＮＡ分子の少なくとも一部分に付着されたオリゴマーの単層をさらに含む、請求項２３に記載のメモリ素子。
26. 前記少なくとも１つのＤＮＡ分子が二本鎖のものであり、少なくとも１つのＲループを含み、前記メモリ素子が、
    前記少なくとも１つのＲループ内の少なくとも１つのヌクレオチドに付着された少なくとも１つの化学成分であって、前記強誘電ナノ粒子を含む少なくとも１つの化学成分をさらに含む、請求項１に記載のメモリ素子。
27. 前記少なくとも１つの化学成分が、前記少なくとも１つのＲループ内の少なくとも１つの選択されたヌクレオチドに付着される、請求項２６に記載のメモリ素子。
28. 前記少なくとも１つの化学成分が、少なくとも１つの共有結合によって前記少なくとも１つのＲループ内の前記少なくとも１つのヌクレオチドに付着される、請求項２７に記載のメモリ素子。
29. 前記少なくとも１つの化学成分が、少なくとも１つの水素結合によって前記少なくとも１つのＲループ内の前記少なくとも１つのヌクレオチドに付着される、請求項２６に記載のメモリ素子。
30. 前記少なくとも１つの化学成分が、少なくとも１つの水素結合または少なくとも１つの共有結合によって前記少なくとも１つのＲループ内の前記少なくとも１つのヌクレオチドに付着される、請求項２６に記載のメモリ素子。
31. 前記少なくとも１つの化学成分が少なくとも１つのヌクレオチドを含む、請求項２６に記載のメモリ素子。
32. 前記少なくとも１つの化学成分が２つのヌクレオチドを含む、請求項３１に記載のメモリ素子。
33. 前記少なくとも１つの化学成分がグアニンとシトシンまたはチミンとアデニンを含む、請求項３１に記載のメモリ素子。
34. 前記少なくとも１つの化学成分が少なくとも２通りの成分を含む、請求項２６に記載のメモリ素子。
35. 前記成分のうちの少なくとも一方が前記少なくとも１つのＲループ内の前記少なくとも１つのヌクレオチドに結合可能である、請求項３４に記載のメモリ素子。
36. 前記少なくとも１つの化学成分が少なくとも１つの酸と少なくとも１つのアルコールとを含む、請求項２６に記載のメモリ素子。
37. 前記少なくとも１つの化学成分が、前記Ｒループ内の前記少なくとも１つのＤＮＡ分子上の少なくとも１つのアミド基に付着される、請求項２６に記載のメモリ素子。
38. 前記少なくとも１つの化学成分が、前記Ｒループ内の前記少なくとも１つのヌクレオチドに付着された少なくとも１つの強誘電ナノ粒子を含む、請求項２６に記載のメモリ素子。
39. 前記ＤＮＡがλ−ＤＮＡである、請求項２６に記載のメモリ素子。
40. 前記Ｒループを形成するＲＮＡが１０〜１５００個の塩基分の長さを有する、請求項２６に記載のメモリ素子。
41. 前記Ｒループを形成するＲＮＡが３０〜３００個の塩基分の長さを有する、請求項２６に記載のメモリ素子。
42. 前記Ｒループを形成するＲＮＡが３ｎｍ〜５００ｎｍの長さを有する、請求項２６に記載のメモリ素子。
43. 前記Ｒループを形成するＲＮＡが１０ｎｍ〜１００ｎｍの長さを有する、請求項２６に記載のメモリ素子。
44. 前記ＤＮＡ分子上の導電材料をさらに含む、請求項２６に記載のメモリ素子。
45. 前記導電材料が、前記ＤＮＡ分子の燐酸基に結合される銀イオンを含む、請求項４４に記載のメモリ素子。
46. 前記導電材料が前記ＤＮＡ分子上の金属銀を含む、請求項４４に記載のメモリ素子。
47. 基板上で第１の方向に延びる複数の第１の平行導体をさらに含む、請求項１に記載のメモリ素子。
48. 前記第１の平行導体が互いに等距離にある、請求項４７に記載のメモリ素子。
49. 複数の第１の導体を横切って延び、前記複数の第１の導体上にＲループを含む二本鎖ＤＮＡ分子と、
    複数のＲループ内の少なくとも１つのヌクレオチドに付着された少なくとも１つの化学成分とをさらに含む、請求項４７に記載のメモリ素子。
50. 前記化学成分が前記Ｒループ内の少なくとも１つの選択されたヌクレオチドに付着される、請求項４９に記載のメモリ素子。
51. 前記化学成分が、水素結合と共有結合からなるグループから選択される少なくとも１つの結合によって前記Ｒループ内の前記少なくとも１つのヌクレオチドに付着される、請求項４９に記載のメモリ素子。
52. 前記化学成分が少なくとも１つのヌクレオチドを含む、請求項４９に記載のメモリ素子。
53. 前記化学成分が少なくとも２通りの成分を含む、請求項４９に記載のメモリ素子。
54. 前記成分のうちの少なくとも一方が前記Ｒループ内の前記少なくとも１つのヌクレオチドに結合可能である、請求項５３に記載のメモリ素子。
55. 前記化学成分が少なくとも１つの酸と少なくとも１つのアルコールとを含む、請求項５３に記載のメモリ素子。
56. 前記化学成分が、前記Ｒループ内の前記少なくとも１つのＤＮＡ分子上の少なくとも１つのアミド基に付着される、請求項４９に記載のメモリ素子。
57. 前記化学成分のそれぞれが２つのヌクレオチドを含む、請求項４９に記載のメモリ素子。
58. 前記化学成分のそれぞれがグアニンとシトシンまたはチミンとアデニンを含む、請求項４９に記載のメモリ素子。
59. 前記化学成分が、前記Ｒループ内の少なくとも１つのヌクレオチドに付着された少なくとも１つの強誘電ナノ粒子を含む、請求項４９に記載のメモリ素子。
60. 前記少なくとも１つの強誘電ナノ粒子が１０ｎｍ未満の最大幅を有する、請求項５９に記載のメモリ素子。
61. 前記ＤＮＡがλ−ＤＮＡである、請求項４９に記載のメモリ素子。
62. 前記Ｒループを形成するＲＮＡが１０〜１５００個の塩基分の長さを有する、請求項４９に記載のメモリ素子。
63. 前記Ｒループを形成するＲＮＡが３０〜３００個の塩基分の長さを有する、請求項４９に記載のメモリ素子。
64. 前記Ｒループを形成するＲＮＡが３ｎｍ〜５００ｎｍの長さを有する、請求項４９に記載のメモリ素子。
65. 前記Ｒループを形成するＲＮＡが１０ｎｍ〜１００ｎｍの長さを有する、請求項４９に記載のメモリ素子。
66. 前記ＤＮＡ分子が前記導体のうちの２つに固定された端部を含み、
    前記ＤＮＡ分子が固定される前記導体の表面に結合された有機分子をさらに含む、請求項４９に記載のメモリ素子。
67. 前記ＤＮＡ分子が、前記固定導体に固定された接着末端を含む、請求項６６に記載のメモリ素子。
68. 前記ＤＮＡ分子が固定される前記導体の表面に結合される前記有機分子がＤＮＡである、請求項６７に記載のメモリ素子。
69. 前記ＤＮＡ分子が固定される前記導体の表面に結合される前記ＤＮＡ分子が硫黄を末端基とし、一本鎖のものである、請求項６８に記載のメモリ素子。
70. 前記固定導体のうちの第１の導体に結合される前記ＤＮＡ分子が、前記導体のうちの第２の導体に結合される前記ＤＮＡ分子とは異なる配列を有する、請求項６８に記載のメモリ素子。
71. 前記固定導体に結合される前記ＤＮＡ分子が５〜２０の塩基対を含む、請求項６８に記載のメモリ素子。
72. 前記固定導体間に延びる前記ＤＮＡ分子が、前記固定導体の表面に結合される前記ＤＮＡ分子と交雑する接着末端を含む、請求項６８に記載のメモリ素子。
73. 前記固定導体が金または金含有合金で作られる、請求項６６に記載のメモリ素子。
74. 前記Ｒループと前記導体との間に配置される定着剤をさらに含む、請求項４９に記載のメモリ素子。
75. 前記定着剤が、第１の端部で前記導体と接触するための硫黄原子と、第２の端部で前記ＤＮＡ分子と接触するためのＯＨ基とを含む分子である、請求項７４に記載のメモリ素子。
76. 前記強誘電ナノ粒子を前記ＤＮＡ分子に結合するために前記強誘電ナノ粒子に付着された少なくとも１つの化学成分であって、前記定着剤と前記強誘電ナノ粒子を前記ＤＮＡに付着するための少なくとも１つの化学成分がトンネル・ギャップを形成する少なくとも１つの化学成分をさらに含む、請求項７４に記載のメモリ素子。
77. 前記ＤＮＡ分子上の導電材料をさらに含む、請求項４９に記載のメモリ素子。
78. 前記導電材料が、前記ＤＮＡ分子の燐酸基に結合される銀イオンを含む、請求項７７に記載のメモリ素子。
79. 前記導電材料が前記ＤＮＡ分子上の金属銀を含む、請求項７７に記載のメモリ素子。
80. 前記第１の平行導体が互いに等距離にある、請求項４９に記載のメモリ素子。
81. 前記ＤＮＡ分子が前記第１の平行導体に対して垂直である、請求項４９に記載のメモリ素子。

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