JP3560182B2 - カラーフィルタ基板の検査装置 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、液晶ディスプレイ用カラーフィルタ、カラーテレビカメラ用カラーフィルタ等のカラー試料を検査する装置に係り、詳しくは赤(R),緑(G),青(B)の内の少なくとも1色以上の着色画素により光学フィルタを形成した状態のカラーフィルタ基板を検査する装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、この種の検査装置としては、ハロゲンランプや蛍光灯などの白色光を透過光光源として用い、カラーフィルタ基板を透過光で観察した際に欠陥のある部位の透過光強度が欠陥のない部位のそれと異なることを利用し、カメラによって撮影したカラーフィルタ基板の透過光画像における映像レベルの差を抽出して欠陥を検査するようにしたものが一般に使用されている。また、単色光の光源を用いてカラーフィルタを照射し、反射光もしくは透過光を光検出器で検出し、その出力を比較信号と比較して異常箇所を検出するようにしたものであって、比較カラーフィルタの試料カラーフィルタと同一箇所から得られる信号を比較信号として出力信号と比較したり、あるいは光検出器をラインセンサとし、現在の検出値と直前のラインの検出値とを比較して異常箇所を検出するようにしたものも知られている(特開平5−288640号公報参照)。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、カラーフィルタ基板ではゴミ付き欠陥、傷付き欠陥、着色材料が塗布されずに白く抜ける白抜け欠陥等がたまに発生する。しかしながら、従来の技術で述べたような検査装置では、これらの欠陥の種別が判断できないため、欠陥の種類に応じた製品の処理ができないという問題点があった。
【0004】
本発明は、上記のような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、欠陥の種類を判別できる検査装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記目的達成するため、本発明の検査装置は、少なくとも1色以上の着色画素により光学フィルタが形成されてなるカラーフィルタ基板の欠陥を検査する装置であって、各種検査を行う検査ステーションに隣接してカラーフィルタ基板の給排ステーションが設けてあり、その給排ステーションは、検査ステーションの基板給排場所にある方向転換部に対してカラーフィルタ基板の受渡しを行う給排ロボットを有しており、検査ステーションは、給排ステーションの給排ロボットから受け取ったカラーフィルタ基板を検査内容に応じて方向転換する方向転換部と、その方向転換部が保持したカラーフィルタ基板を載置して基板給排場所と検査場所との間を移動可能なステージヘッドと、基板給排場所と検査場所との間に設けられた除塵装置とを有し、さらに検査場所にて、被検査物であるカラーフィルタ基板の上方に配置され、そのカラーフィルタ基板の垂直軸に対して6〜9度の傾斜角でカラーフィルタ基板の状態を検出する検出用カメラと、カラーフィルタ基板を上方から照射し、その照射方向が前記垂直軸に対して検出用カメラと反対側に10〜13度の傾斜角である第1の反射光源部と、カラーフィルタ基板を上方から照射し、その照射方向が前記垂直軸に対して検出用カメラと反対側に6〜9度の傾斜角である第2の反射光源部と、カラーフィルタ基板を上方から照射し、その照射方向が前記垂直軸に対して検出用カメラと反対側に80〜87度の傾斜角である第3の反射光源部と、検出用カメラからの画像データを処理して欠陥の有無を判別する画像処理部とを備え、第1及び第3の反射光源部には光ファイバー方式の光源装置が用いられ、第2の反射光源部には蛍光アパーチャー管が用いられており、各反射光源部を切り替え可能としたことを特徴とする。そして、この構成の検査装置において、カラーフィルタ基板を下方から照射し、その照射方向が前記垂直軸に対して検出用カメラと反対側に6〜9度の傾斜角である第1の透過光源部と、カラーフィルタ基板を下方から照射し、その照射方向が第1の透過光源部の照射方向と同じである第2の透過光源部と、カラーフィルタ基板を下方から照射し、その照射方向が前記垂直軸に対して検出用カメラと反対側に80〜87度の傾斜角である第3の透過光源部とを付加し、第1及び第3の透過光源部には光ファイバー方式の光源装置が用いられ、第2の透過光源部には蛍光アパーチャー管が用いられており、各透過光源部を切り替え可能とした形態とすることが好ましい。
【0006】
また、本発明に係るもう一つの検査装置は、少なくとも1色以上の着色画素により光学フィルタが形成されてなるカラーフィルタ基板の欠陥を検査する装置であって、各種検査を行う検査ステーションに隣接してカラーフィルタ基板の給排ステーションが設けてあり、その給排ステーションは、検査ステーションの基板給排場所にある方向転換部に対してカラーフィルタ基板の受渡しを行う給排ロボットを有しており、検査ステーションは、給排ステーションの給排ロボットから受け取ったカラーフィルタ基板を検査内容に応じて方向転換する方向転換部と、その方向転換部が保持したカラーフィルタ基板を載置して基板給排場所と検査場所との間を移動可能なステージヘッドと、基板給排場所と検査場所との間に設けられた除塵装置とを有し、さらに検査場所にて、被検査物であるカラーフィルタ基板の上方に配置され、そのカラーフィルタ基板の概ね垂直軸上でカラーフィルタ基板の状態を検出する検出用カメラと、カラーフィルタ基板を下方から照射し、その照射方向が概ね前記垂直軸と重なる第1の透過光源部と、カラーフィルタ基板を下方から照射し、その照射方向が第1の透過光源部の照射方向と同じである第2の透過光源部と、カラーフィルタ基板を下方から照射し、その照射方向が前記垂直軸に対して80〜87度の傾斜角である第3の透過光源部とを備え、第1及び第3の透過光源部には光ファイバー方式の光源装置が用いられ、第2の透過光源部には蛍光アパーチャー管が用いられており、各透過光源部を切り替え可能としたことを特徴とする。
【0007】
【作用】
上述の構成からなる本発明の検査装置においては、複数の光源部を切り替えて欠陥検査を行うが、各光源部の照射により検出できる欠陥の種類が異なるので、種類別に欠陥を判別することができる。
【0008】
【実施例】
以下、図面を参照しながら本発明の実施例について説明する。
【0009】
図1は本発明に係る検査装置の全体構成を示す斜視図であり、同図に示されるように、検査装置はカラーフィルタ基板の給排ステーションA、各種検査を行う検査ステーションB、検査処理用のコントロールラックCの3部から構成される。なお、カラーフィルタ基板とは、赤(R),緑(G),青(B)の内の少なくとも1色以上の着色画素により光学フィルタを形成した状態のもので、最終的にカラーフィルタとして用いられるもののことである。
【0010】
給排ステーションAは、カラーフィルタ基板を格納したカセット1と、そのカセット1の昇降台2と、検査のためにカラーフィルタ基板をカセット1から取り出したり検査済みのカラーフィルタ基板をカセット1に戻したりする給排ロボット3とを備える。
【0011】
検査ステーションBは、検査場所にカラーフィルタ基板を移動させるX−Yステージ11と、X−Yステージ11の動作等を指示する操作コンソール12とを備え、X−Yステージ11上には、給排ロボット3からカラーフィルタ基板を受け取って検査内容等に応じて方向転換する方向転換部13と、方向転換部13が保持したカラーフィルタ基板を載置するステージヘッド14と、ステージヘッド14に保持されたカラーフィルタ基板の埃、塵等を除く除塵装置15とが設けられている。また、ステージヘッド14をX方向に移動するモータ16と、ステージヘッド14をY方向に移動するモータ17とが設けられている。さらに、次の構成からなる検出系を備える。
【0012】
〔検出系〕
(1)エリアセンサカメラ21と、エリアセンサカメラ用の平面光源部22と、エリアセンサカメラ用の反射ミラー23。
(2)2台のラインセンサカメラ31,32と、ラインセンサカメラ用の3種類の反射光源部La,Lb,Lcと、3種類の透過光源部Ta,Tb,Tc(図2及び図3参照)。
(3)欠陥部を目視する顕微鏡41。
【0013】
この検出系におけるラインセンサカメラ用の反射光源部と透過光源部について図2及び図3を参照して説明する。
【0014】
反射光源部La,Lcには光ファイバー方式の光源装置が用いられ、反射光源部Lbには蛍光アパーチャー管33が用いられている。また、透過光源部Ta,Tcには光ファイバー方式の光源装置が用いられ、透過光源部Tbには蛍光アパーチャー管33が用いられている。
【0015】
反射光源部La,Lcと透過光源部Tcに用いる光源装置は、光源34と、この光源34からカラーフィルタ基板CFに光を誘導する光ファイバー35と、先端部材36とで構成されており、光ファイバー35は光源側で円形状に束ねられ、照射側で1例(複数列でもよい)状態となるように且つカラーフィルタ基板CFの進行方向と直交するように配置されている。すなわち、先端部材36ではカラーフィルタ基板CFの幅方向に均一に光が照射されるように光ファイバー35を1本ずつ並べた状態になっている。光源34としては、全波長領域で光強度がほぼ均一になる白色光源を用いればよい。また、本実施例のように被検査物がカラーフィルタ基板CFである場合、R,G,Bの着色材料をパターン塗布(又は転写)して着色画素を形成しているため、R,G,Bにピークを持つ3波長光源を用いてもよい。
【0016】
透過光源部Taの光源装置は、光源37として3つの光源を備えており、各光源ともカラーフィルタにおけるR,G,Bの各単位パターンに対応して各々異なる分光強度特性をもっている。そして、各光源からの光は色選択機能と調光機能をもつ光学ボックス38を経由して光ファイバー35によって先端部材36に導かれ、均一に混合されて先端部材36の出射端から出射する。もちろん、1つの光源を用い、R,G,Bの光の波長を選択する光学フィルターを光学ボックス38に設けてもよい。
【0017】
先端部材36の出射端から出射した光は、その前面にある拡散板(図示せず)に拡散された後、被検査物(カラーフィルタ基板CF)に照射される。ラインセンサカメラ31,32は、拡散板に対してカラーフィルタ基板CFと反対側の位置からカラーフィルタ基板CF上の線状の領域を観察しており、カラーフィルタ基板CFに照射された光のうち、カラーフィルタ基板CFを透過してきた光のみがカメラレンズによってラインセンサカメラ31,32内のCCD上に結像される。CCD上に結像された単位パターンの大きさが、CCDの1画素と同程度の大きさになるように、レンズの焦点距離、カラーフィルタ基板CFとラインセンサカメラ31,32の距離が調整されている。ステージヘッド14によりカラーフィルタ基板CFを一方向へ移動させながら、カメラで線状領域を連続的に撮影することにより、カラーフィルタ全面を撮影することができる。
【0018】
ラインセンサカメラと各光源部のカラーフィルタ基板に対する位置関係は次のようである(図3参照)。
【0019】
(1)2台のラインセンサカメラ31,32はカラーフィルタ基板CFの上方にあり、カラーフィルタ基板CFの垂直軸に対して6〜9度の傾斜角θでカラーフィルタ基板の進行方向に傾斜している。
(2)反射光源部La(ファイバー光源)はカラーフィルタ基板CFの上方にあり、カラーフィルタ基板CFの垂直軸に対して10〜13度の傾斜角α1 でカラーフィルタ基板CFの進行方向反対側に傾斜している。これにより、ラインセンサカメラ31,32はカラーフィルタ基板CFの正反射光と少々異なる光を検出する。
(3)反射光源部Lb(蛍光アパーチャー管)はカラーフィルタ基板CFの上方にあり、カラーフィルタ基板CFの垂直軸に対して6〜9度の傾斜角α2 でカラーフィルタ基板CFの進行方向反対側に傾斜している。これにより、ラインセンサカメラ31,32はカラーフィルタ基板CFの正反射光を検出する。
(4)反射光源部Lc(ファイバー光源)はカラーフィルタ基板CFの上方後側にあり、カラーフィルタ基板CFの面に対して3〜10度の傾斜角α3 で傾斜している。これにより、ラインセンサカメラ31,32はカラーフィルタ基板CFの散乱光を検出する。
(5)透過光源部Ta(ファイバー光源)はカラーフィルタ基板CFの下方にあり、カラーフィルタ基板CFの垂直軸に対して6〜9度の傾斜角β1 でカラーフィルタ基板CFの進行方向反対側に傾斜している。これにより、ラインセンサカメラはカラーフィルタ基板CFの直進光を検出する。
(6)透過光源部Tb(蛍光アパーチャー管)は、透過光源部Taと切り替えられるようになっており、透過光源部Taと同様にラインセンサカメラ31,32はカラーフィルタ基板CFの直進光を検出する。
(7)透過光源部Tc(ファイバー光源)はカラーフィルタ基板CFの下方後側にあり、カラーフィルタ基板CFの面に対して3〜10度の傾斜角β2 で傾斜している。これにより、ラインセンサカメラ31,32はカラーフィルタ基板CFの散乱光を検出する。
【0020】
図4は上記検査装置のブロック図である。
【0021】
給排ステーションAのカセット1の昇降台2とカラーフィルタ基板の給排ロボット3は、検査ステーションBのシーケンスコントローラ50からの指示で動作する。検査ステーションBのシーケンスコントローラ50は、コントロールラックCに格納されているホストパーソナルコンピュータ70と連携して動作する。或いは、操作コンソール12からの人手による指示で動作する。そして、シーケンスコントローラ50は、以下のことを行い、当該コントローラ50により検査ステーションB内の構成要素は全てコントロールされる。
【0022】
(1)カセット1の昇降台2を上下動させる。
(2)給排ロボット3を動作させる。
(3)方向転換部13を動作させカラーフィルタ基板CFの向きを転換する。
(4)X−Yステージコントローラ51を介してX−Yステージ11のX方向のモータ16またはY方向のモータ17を駆動し、カラーフィルタ基板CFを保持したステージヘッド14を移動する。
(5)カメラ・レンズリモートコントローラ52を介して前後進モータ21aを駆動し、エリアセンサカメラ21をカラーフィルタ基板の大きさなどに従って当該基板に近づけたり遠ざけたりする(検査したい領域に合わせても良い)。
(6)カメラ・レンズリモートコントローラ52を介して焦点制御モータ21bを駆動し、エリアセンサカメラ21のレンズ焦点をカラーフィルタ基板上に合わせる。
(7)カメラ・レンズリモートコントローラ52を介して前後進モータ30aを駆動し、2台のラインセンサカメラ31,32をカラーフィルタ基板の大きさなどに従って当該基板に近づけたり遠ざけたり、また幅方向モータ30bを駆動して2台のラインセンサカメラ31,32の距離を離したり近づけたりする。
(8)カメラ・レンズリモートコントローラ52を介して焦点制御モータ31a,32aを駆動し、ラインセンサカメラ31,32のレンズ焦点をカラーフィルタ基板上に合わせる。
(9)カラーフィルタ基板上の埃、塵を除くため、ブロワー等を用いた除塵装置15をリレー53を介して駆動する。
(10)平面光源部22、3種類の反射光源部La,Lb,Lc、3種類の透過光源部Ta,Tb,Tc、透過光源部Taの3つの光源の切替を行い、検査に使用する光源の選択を行う。図4において、60は平面光源部22の電源駆動装置、61,62,63はそれぞれ反射光源部La,Lb,Lcの電源駆動装置、65R,65G,65Bは透過光源部Taにおける3つの光源のそれぞれの電源駆動装置、66,67はそれぞれ透過光源部Tb,Tcの電源駆動装置であり、これらは検査開始時にON状態にされ、各光源部はそれぞれのシャッターにより切り替えられる。
(11)検査処理の結果、欠陥箇所を確認するための顕微鏡41の位置制御をAF顕微鏡コントローラ54を介して行う。
【0023】
検査処理用コントロールラックCは、検査の各命令・制御等を行う検査用のホストパーソナルコンピュータ(ホストP/C)70と、その表示装置としてのホストCRT71と、その外部メモリである光磁気ディスク(MOD)72と、ラインセンサカメラ31用の画像処理装置73と、ラインセンサカメラ32用の画像処理装置74と、エリアセンサカメラ21用のホストパーソナルコンピュータ(ホストP/C)75と、エリアセンサカメラ21用の画像処理装置76と、エリアセンサカメラ用のホストP/C75によりエリアセンサカメラ21と顕微鏡41のカメラ42とを切り替えるビデオスイッチ77と、そのビデオ信号を出力するCRT78と、前記ホストP/C70と他の装置との通信用のインターフェース79とから構成される。このインターフェース79を経由して検査の開始前にはラインコントローラから品目データを受信し、基板サイズ、検査許容量等を検査ステーションB側のシーケンスコントローラ50に設定する。また、工程管理のラインコントローラへ不良個数等の検査結果等を送信し、品質管理情報として利用する。
【0024】
次に、上記検査装置の動作フローを説明する。
【0025】
(1)検査に先立ち、ラインコントローラから受信した品目データ、基板サイズ、検査許容値等を設定してある検査用のホストP/C70からの制御命令に従って画像入力系が設定される。すなわち、カラーフィルタ基板上に形成された着色画素パターンの画像を入力するラインセンサカメラ31,32を前後進モータ30aにより、エリアセンサカメラ21を前後進モータ21aによりカラーフィルタ基板に近づけたり遠ざけたりする。さらに、ラインセンサカメラ31,32を幅方向モータ30bによりカラーフィルタ基板の幅に合わせて(検査したい領域に合わせても良い)互いに近づけたり遠ざけたりする。その後、エリアセンサカメラ21の焦点制御モータ21bと、ラインセンサカメラ31の焦点制御モータ31aと、ラインセンサカメラ32の焦点制御モータ32aとを駆動してそれぞれのカメラがカラーフィルタ基板上に焦点を結ぶようにする。これらの動作は検査エリアにカラーフィルタ基板が搬送される度に実施した方が精度のよい検査ができてよい。
(2)次いで、複数枚のカラーフィルタ基板が格納されたカセット1を昇降台2で上下して、必要なカラーフィルタ基板を給排ロボット3のアーム3aを伸縮させてカセット1より取り出す。
(3)続いて、給排ロボット3の向きを検査ステーションBに向け、再び給排ロボット3のアーム3aを伸縮させてカラーフィルタ基板を差し出す。
(4)このカラーフィルタ基板を方向転換部13のアーム13aが受け取ってステージヘッド14に載置する。この時に検査等の都合でカラーフィルタ基板の向きを変更する必要がある場合には、ここで当該カラーフィルタ基板の向きを例えば90度転換する。
(5)カラーフィルタ基板が載置されたステージヘッド14は、シーケンスコントローラ50の指示に従いX−Yステージコントローラ51を介して平面光源22上に移動する。この途中で除塵装置15によりカラーフィルタ基板上の塵等が除去される。
(6)平面光源22上においてカラーフィルタ基板はエリアセンサカメラ用の反射ミラー23を介してエリアセンサカメラ21で撮影される。
(7)所定のアルゴリズムによりカラーフィルタのムラ、シミが検出される。
(8)カラーフィルタ基板を保持したステージヘッド14はラインセンサカメラ31,32の検査エリアへ移動する。
(9)反射光源部La,Lb,Lcの光源、透過光源部Taの3つの光源、透過光源部Tb,Tcの光源を順番に切り替えてラインセンサカメラ31,32によりカラーフィルタ基板上の着色画素パターンを撮影する。
(10)エリアセンサカメラ21、ラインセンサカメラ31,32から入力した画像に対し、それぞれ画像処理装置76,73,74にて積分処理、1次微分処理、2次微分処理等を行い、これらの処理結果に対してスライスレベル(基準値)との比較を行うことにより良品・不良品の判別がなされる。その判定結果は、検査用のホストP/C70からメモリに記録し、不良時の画像データは外部メモリである光磁気ディスク(MOD)72に記録される。また、判定結果はカセット毎の基板収納位置に合わせて記憶され、インターフェース79を経由してラインコントローラ等に出力される。
(11)判定結果が良品の場合は、共通欠陥判定のためのカウンタをリセットして、次の画像入力を行う。
(12)判定結果が不良品の場合は、検出した欠陥位置、欠陥個数等を記憶する。なお、本実施例では検査装置をオフラインで使用しているが、インラインで使用した場合、前の不良品のカラーフィルタ基板における不良位置との比較を行って同じ位置の共通欠陥があれば、着色画素のパターン形成時に使用する露光マスク基板の交換等を行ってもよい。
(13)欠陥位置情報に基づいて顕微鏡41を欠陥部の位置に移動する。顕微鏡41に取り付けてあるカメラ42で欠陥を撮影し、ビデオスイッチ77を切り替えてCRT78に欠陥画像を表示する。この操作はエリアセンサカメラ21で欠陥を検出したときだけ実施してもよい。
(14)カラーフィルタ基板をカセット1に戻す。この時、カラーフィルタ基板はステージヘッド14により「ロ」の字形に移動して元の位置に戻る。
(15)カセット1から次のカラーフィルタ基板の取り出しを開始する。
【0026】
なお、ステージヘッド14を2台セットしておけば、上記動作のうち(2)〜(4)と(6)〜(13)とを並行して行うことができ、この方が時間の無駄を少なくすることができる。
【0027】
次に、光源を切り替えながらラインセンサカメラで検査を進める具体的な手順を図4を参照して説明する。
【0028】
(1)反射光源部La,Lb,Lcの光源、透過光源部Taの3つの光源、透過光源部Tb,Tcの光源をすべて点灯し、シャッターはすべて閉じる。
(2)反射光源部Laのシャッター81を開き、ラインセンサカメラ31,32からカラーフィルタ基板CFの画像を入力して所定の画像処理を行う。反射明視野から少しずれていることにより、表面の凹凸での散乱光をよく検知できるので、着色の汚れ、キズ、突起、ITO(透明電極)のピンホールを検出することができる。また、ガラスのカケ、OP(保護膜)の汚れも検出できる。なお、ラインセンサカメラ31,32の傾斜角θ(6〜9度)に対する反射光源部Laの傾斜角α1 (10〜13度)は実験により求めたものである。
(3)シャッター81を閉じ、反射光源部Lbのシャッター82を開き、ラインセンサカメラ31,32からカラーフィルタ基板CFの画像を入力して所定の画像処理を行う。反射明視野で見ることになるので、表面の色や濃度変化、すなわち着色画素の変色、ITOの変色を検出することができる。
(4)シャッター82を閉じ、反射光源部Lcのシャッター83を開き、ラインセンサカメラ31,32からカラーフィルタ基板CFの画像を入力して所定の画像処理を行う。水平に近い暗視野になっていることで、表面の突出した部分で散乱された光を検知できるので、突起を検出することができる。前述したように反射光源部Laでは同時に色々な欠陥を検出してしまうが、反射光源部Lcを使用すれば突起のみを検出できる。また、反射光源部Laで検出した結果から反射光源部Lcで検出した結果を差し引くことで、突起とそれ以外の欠陥の分別を行うことができる。
(5)シャッター83を閉じ、透過光源部Taのシャッター84を開き、ラインセンサカメラ31,32からカラーフィルタ基板CFの画像を入力して所定の画像処理を行う。着色画素パターンの白抜けが検出できる。この場合、3つの光源を調整・混合することでカラーフィルタの色ごとの欠陥の検出感度を調整できる。したがって、色によるスペック分けの厳しい着色画素のピンホールの検査を行うことができる。
(6)シャッター84を閉じ、透過光源部Taと透過光源部Tbを平行移動することで切り替える。
(7)透過光源部Tbのシャッター85を開き、ラインセンサカメラ31,32からカラーフィルタ基板CFの画像を入力して所定の画像処理を行う。遮光層であるクロム層の残り、クロム層のカケが検出できる。前記透過光源部Taの光源を着色画素のピンホール用に調整すると、色によってはクロム層の残りが検出できなくなる場合があるが、透過光源部Tbを用いればこれを防止できる。透過光源部Tbの光源は透過光源部Taと同タイプでもよいが、クロム残りについては色分けについて厳しくない傾向にあるので、本実施例ではコストダウンのために蛍光アパーチャー管を用いている。
(8)シャッター85を閉じ、透過光源部Taと透過光源部Tbを平行移動することで切り替える。
(9)透過光源部Tcのシャッター86を開き、ラインセンサカメラ31,32からカラーフィルタ基板CFの画像を入力して所定の画像処理を行う。このように透過暗視野となるように照明することで、ITOのピンホールが検知されることが実験で分かっている。したがって、透過光源部TcによりITOのピンホールのみを検出することができ、また反射光源部Laで検出した結果から透過光源部Tcで検出した結果を差し引いて、分別する欠陥の種類を絞り込むことができる。
【0029】
これらの検出処理は1本の検出ラインごとに実施してもよいが、本実施例ではカラーフィルタ基板を往復移動させて行っている。1回目の行きで反射光源部Laを用いて検査、1回目の帰りで反射光源部Lbを用いて検査、2回目の行きで反射光源部Lc3を用いて検査、2回目の帰りで透過光源部Taを用いて検査、3回目の行きで透過光源部Tbを用いて検査、3回目の帰りで透過光源部Tcを用いて検査を行う。つまり、ここでは6光源であるので3往復させている。なお、カラーフィルタ基板の移動が「ロ」の字形であるので、光源装置が奇数であれば動作の無駄が省ける。
【0030】
図5に別の実施例における検出系を示す。この検出系は先の実施例での反射光源のみを用いたものであり、構成その他は図3で用いた前記説明に示す通りである。カラーフィルタ基板に発生する欠陥のうち突起の判別は重要であり、図3に示す構成でなくても図5に示す構成で突起が判別できる。突起は削って修正できるので、この検出系をもつ検査装置を修正装置と組み合わせて構成すると便利である。特に、この検出系をもつ検査装置をインラインにした場合、他の欠陥検査を行わないので、修正可能な突起欠陥のみを発見して早く処理できる点で利点がある。
【0031】
図6にさらに別の実施例における検出系を示す。この検出系は複数の透過光源を用いたものである。ラインセンサカメラ31,32はカラーフィルタ基板CFの上方にあってカラーフィルタ基板CFに対して概ね垂直に配置されている。透過光源部Ta(ファイバー光源)は、カラーフィルタ基板CFの下方にあってカラーフィルタ基板CFに対して概ね垂直に配置されている。なお、本実施例では色選択機能と調光機能をもつ光学ボックス38が光ファイバー35の途中に設けられている。これにより、ラインセンサカメラ31,32はカラーフィルタ基板CFの直進光を検出する。透過光源部Tb(蛍光アパーチャー管)は、透過光源部Taと切り替えられるようになっており、透過光源部Taと同様にラインセンサカメラ31,32はカラーフィルタ基板CFの直進光を検出する。透過光源部Tc(ファイバー光源)はカラーフィルタ基板CFの下方後側にあり、カラーフィルタ基板CFの面に対して3〜10度の傾斜角β2 で傾斜している。これにより、ラインセンサカメラ31,32はカラーフィルタ基板CFの散乱光を検出する。このように構成しても図3の透過光源系とほぼ同じであり同等の検出性能が得られる。
【0032】
図7は検査装置をインライン化した別の実施例を示す斜視図、図8は図7の概略平面図である。これらの図に示されるように、このインライン検査装置は、供給部91、供給排出ロボット92、検査装置本体93、排出部94から構成されるものであり、カラーフィルタ基板の検査を行う動作手順は次のようである。
【0033】
(1)カラーフィルタ基板CF(カラー試料)は前工程から供給部91に搬送されてきて一時停止する。
(2)供給排出ロボット91のアーム91aを伸ばして供給部91のカラーフィルタ基板を保持する。
(3)供給排出ロボット91が回転し検査装置本体93の検査ステージ93aにカラーフィルタ基板を載置する。
(4)検査ステージ93aが移動し、カラーフィルタ基板の上方に配置されているラインセンサカメラ31,32にて検査を行う。検出系(図7,8では1つの反射光源93bのみを図示している)及び検査内容は前記したのと同様である。複数の光源により検査を行うが、往復運動であれば行って戻ってくることができるために、偶数の光源を切り替えて検査を行うようにすれば、動作の無駄を省くことができる。この場合、行きは透過式光源で検査し、帰り反射式光源で検査してもよい。また、前記したように3つの反射式光源と3つの透過式光源の6つの光源の任意の組み合わせで検査を行ってもよい。特に突起欠陥の検査を行ってその修正をインライン化すると効率的である。
【0034】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、複数の光源を切り替えて欠陥検査を行うことにより、カラーフィルタ基板に欠陥がある場合にその欠陥の種別が判別でき、したがって欠陥の種類に対応した処理を行うことが可能となる。さらに検査装置を製造装置にインライン化すると欠陥の種類に対応したフィードバックを速やかに行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る検査装置の全体構成を示す斜視図である。
【図2】反射光源と透過光源の配置状態を示す斜視図である。
【図3】検出系を説明するための側面図である。
【図4】本発明に係る検査装置のブロック図である。
【図5】別の実施例における検出系の構成を示す側面図である。
【図6】さらに別の実施例における検出系を示す側面図である。
【図7】検査装置をインライン化した別の実施例を示す斜視図である。
【図8】図7の概略平面図である。
【符号の説明】
CF カラーフィルタ基板(カラー試料)
31,32 ラインセンサカメラ(検出用カメラ)
La,Lb,Lc 反射光源部
Ta,Tb,Tc 透過光源部
Claims (3)
- 少なくとも1色以上の着色画素により光学フィルタが形成されてなるカラーフィルタ基板の欠陥を検査する装置であって、各種検査を行う検査ステーションに隣接してカラーフィルタ基板の給排ステーションが設けてあり、その給排ステーションは、検査ステーションの基板給排場所にある方向転換部に対してカラーフィルタ基板の受渡しを行う給排ロボットを有しており、検査ステーションは、給排ステーションの給排ロボットから受け取ったカラーフィルタ基板を検査内容に応じて方向転換する方向転換部と、その方向転換部が保持したカラーフィルタ基板を載置して基板給排場所と検査場所との間を移動可能なステージヘッドと、基板給排場所と検査場所との間に設けられた除塵装置とを有し、さらに検査場所にて、被検査物であるカラーフィルタ基板の上方に配置され、そのカラーフィルタ基板の垂直軸に対して6〜9度の傾斜角でカラーフィルタ基板の状態を検出する検出用カメラと、カラーフィルタ基板を上方から照射し、その照射方向が前記垂直軸に対して検出用カメラと反対側に10〜13度の傾斜角である第1の反射光源部と、カラーフィルタ基板を上方から照射し、その照射方向が前記垂直軸に対して検出用カメラと反対側に6〜9度の傾斜角である第2の反射光源部と、カラーフィルタ基板を上方から照射し、その照射方向が前記垂直軸に対して検出用カメラと反対側に80〜87度の傾斜角である第3の反射光源部と、検出用カメラからの画像データを処理して欠陥の有無を判別する画像処理部とを備え、第1及び第3の反射光源部には光ファイバー方式の光源装置が用いられ、第2の反射光源部には蛍光アパーチャー管が用いられており、各反射光源部を切り替え可能としたことを特徴とするカラーフィルタ基板の検査装置。
- 請求項1記載の検査装置において、カラーフィルタ基板を下方から照射し、その照射方向が前記垂直軸に対して検出用カメラと反対側に6〜9度の傾斜角である第1の透過光源部と、カラーフィルタ基板を下方から照射し、その照射方向が第1の透過光源部の照射方向と同じである第2の透過光源部と、カラーフィルタ基板を下方から照射し、その照射方向が前記垂直軸に対して検出用カメラと反対側に80〜87度の傾斜角である第3の透過光源部とを付加し、第1及び第3の透過光源部には光ファイバー方式の光源装置が用いられ、第2の透過光源部には蛍光アパーチャー管が用いられており、各透過光源部を切り替え可能としたことを特徴とするカラーフィルタ基板の検査装置。
- 少なくとも1色以上の着色画素により光学フィルタが形成されてなるカラーフィルタ基板の欠陥を検査する装置であって、各種検査を行う検査ステーションに隣接してカラーフィルタ基板の給排ステーションが設けてあり、その給排ステーションは、検査ステーションの基板給排場所にある方向転換部に対してカラーフィルタ基板の受渡しを行う給排ロボットを有しており、検査ステーションは、給排ステーションの給排ロボットから受け取ったカラーフィルタ基板を検査内容に応じて方向転換する方向転換部と、その方向転換部が保持したカラーフィルタ基板を載置して基板給排場所と検査場所との間を移動可能なステージヘッドと、基板給排場所と検査場所との間に設けられた除塵装置とを有し、さらに検査場所にて、被検査物であるカラーフィルタ基板の上方に配置され、そのカラーフィルタ基板の概ね垂直軸上でカラーフィルタ基板の状態を検出する検出用カメラと、カラーフィルタ基板を下方から照射し、その照射方向が概ね前記垂直軸と重なる第1の透過光源部と、カラーフィルタ基板を下方から照射し、その照射方向が第1の透過光源部の照射方向と同じである第2の透過光源部と、カラーフィルタ基板を下方から照射し、その照射方向が前記垂直軸に対して80〜87度の傾斜角である第3の透過光源部とを備え、第1及び第3の透過光源部には光ファイバー方式の光源装置が用いられ、第2の透過光源部には蛍光アパーチャー管が用いられており、各透過光源部を切り替え可能としたことを特徴とするカラーフィルタ基板の検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10220695A JP3560182B2 (ja) | 1995-04-26 | 1995-04-26 | カラーフィルタ基板の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10220695A JP3560182B2 (ja) | 1995-04-26 | 1995-04-26 | カラーフィルタ基板の検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08297070A JPH08297070A (ja) | 1996-11-12 |
JP3560182B2 true JP3560182B2 (ja) | 2004-09-02 |
Family
ID=14321197
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10220695A Expired - Fee Related JP3560182B2 (ja) | 1995-04-26 | 1995-04-26 | カラーフィルタ基板の検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3560182B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007279026A (ja) * | 2006-04-03 | 2007-10-25 | Samsung Electronics Co Ltd | 基板検査装置とこれを用いた基板検査方法 |
JP4858106B2 (ja) * | 2006-11-17 | 2012-01-18 | 凸版印刷株式会社 | カラーフィルタの欠陥検査方法 |
JP4958017B2 (ja) * | 2008-08-13 | 2012-06-20 | 大日本印刷株式会社 | カラーフィルター製造ラインシステム |
JP2017156659A (ja) * | 2016-03-04 | 2017-09-07 | 凸版印刷株式会社 | カラーフィルタの欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
-
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- 1995-04-26 JP JP10220695A patent/JP3560182B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH08297070A (ja) | 1996-11-12 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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