JP3556383B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体記憶装置に係わり、特にメモリセルを構成するキャパシタ部分の改良をはかった半導体記憶装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、ダイナミック型の半導体記憶装置(DRAM)においては、一般的にメモリセルMCは図9に示すように、セルトランジスタと呼ばれる1つのトランジスタTrとセルキャパシタと呼ばれる1つのキャパシタCsから構成される。セルトランジスタTrのソース電極はビット線BLに接続され、ゲート電極はワード線WLに接続される。セルキャパシタCsの一方の端子(情報蓄積ノード)はセルトランジスタTrのドレイン電極に接続され、他方の端子はプレート電極PLに接続される。
【0003】
一般に、プレート電極の電位は電源電圧Vccの半分の電位(Vcc/2)に固定され、メモリセルからビット線へ情報を読み出す前に、ビット線の電位は電源電圧の半分電位(Vcc/2)にプリチャージされ、その後にメモリセルからビット線に情報が読み出され、ビット線の電位はVcc/2+Vs ,又はVcc/2−Vs となり、その後にセンス動作が行われる。このとき、メモリセルからビット線へ読み出される信号の量は、隣接するメモリセルからビット線へ読み出される情報の如何に拘らず一定である。ここで、Vs は読み出し信号量である。
【0004】
DRAMの世代が進み微細化が進むにつれ、全ビット線容量に占めるビット線間容量の割合が増大し、そのビット線間容量に起因するアレイノイズの影響が無視できなくなってきた。例えば、オープンBL方式(解放型ビット線方式)を考えた場合、注目するメモリセルから“1”の情報がビット線に読み出されたときに、隣接する2つのメモリセルからは“0”の情報がビット線に読み出されたと仮定すると、2×(Cbb/Cb)×Vs だけ読み出し信号量が減少し、読み出しマージンの減少や誤動作といった問題が生じる。ここで、Cbbはビット線間容量、Cbはビット線容量、Vs は読み出し信号量である。
【0005】
この問題を解決するものとして、従来は隣接ビット線を交差させるツイステッドBL方式が用いられているが、これはその構造上フォールデッドBL方式(折返しビット線方式)には適用できるが、オープンBL方式には適用できない。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
このように従来、DRAMのメモリセルからビット線へ読み出される信号の量は、隣接するメモリセルから読み出される情報に如何に拘らず一定であるため、素子の微細化が進むに伴いビット線間容量に起因する読み出し信号量の減少は避けられない。また、これを解決するための従来の手法であるツイステッドBL方式はフォールデッドBL方式には適用できるが、オープンBL方式には適用できない問題があった。
【0007】
本発明は、上記事情を考慮して成されたもので、その目的とするところは、ビット線間容量に起因するアレイノイズによる読み出し信号量の減少を補償することができ、読み出しマージンの拡大及び信頼性の向上をはかり得る半導体記憶装置を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
(構成)
本発明の骨子は、隣接するメモリセルの情報と注目しているメモリセルの情報が異なっている場合に、読み出し信号量が増加するようなメモリセル構造を取ることにある。
【0009】
即ち本発明は、複数本のワード線と複数本のビット線が交差して配置され、これらの交差部にセルトランジスタとセルキャパシタからなるメモリセルが配置された半導体記憶装置において、隣接する複数のメモリセルのセルキャパシタの情報蓄積ノード間に、ノイズ補償用キャパシタを接続したことを特徴とする。
【0010】
また本発明は、複数本のワード線と複数本のビット線が交差して配置され、これらの交差部にセルトランジスタとセルキャパシタからなるメモリセルが配置された半導体記憶装置において、同一のワード線に接続されている複数の隣接するメモリセルのセルキャパシタの情報蓄積ノード間に、ノイズ補償用キャパシタを接続したことを特徴とする。
【0011】
ここで、本発明の望ましい実施態様としては、次のものがあげられる。
(1) ビット線はオープンBL方式で配置され、ノイズ補償用キャパシタは、隣接するビット線にそれぞれ接続された各メモリセル間に接続されていること。
(2) ビット線はフォールデッドBL方式で配置され、ノイズ補償用キャパシタは、異なるBL対の隣接するメモリセル間に接続されていること。
(3) ノイズ補償用キャパシタは、スタック構造に形成されたセルキャパシタの隣接する情報蓄積ノードの側面間に浮遊電極を挟んで形成されていること。
(4) 浮遊電極は、セルキャパシタのプレート電極と同じ材料であり、プレート電極と同時に形成されていること。
(5) ノイズ補償用キャパシタは、スタック構造に形成されたセルキャパシタの隣接する情報蓄積ノードを一部重ね合わせた部分に形成されていること。
(作用)
本発明によれば、隣接する複数のメモリセルのセルキャパシタの情報蓄積ノード間に接続されたノイズ補償用キャパシタの存在により、情報読み出し時の信号量が次のように変化する。即ち、隣接するメモリセルのセルキャパシタ内に蓄積された情報が同じ場合、ノイズ補償用キャパシタの両端電位は等しいためにこのキャパシタには電荷は蓄積されず、このキャパシタはないのと等価となり、この場合は従来と同様に信号を読み出すことができる。蓄積された情報が異なる場合、ノイズ補償用キャパシタの両端の電位差はVcc(電源電圧)となるため、このキャパシタが読み出し信号量を増加させる方向に働き、読み出し信号量を増加させることができる。従って、ビット線間容量に起因するアレイノイズによる読み出し信号量の減少を無効化することができ、読み出しマージンの拡大及び信頼性の向上をはかることが可能となる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の詳細を図示の実施形態によって説明する。
(第1の実施形態)
図1は、本発明の第1の実施形態に係わるDRAMのメモリセルを示す等価回路図である。BLはビット線を、WLはワード線を、MCはメモリセルを、Trはセルトランジスタを、Csはセルキャパシタを、Cssはメモリセルのキャパシタ間に設置されるノイズ補償用キャパシタを示している。また、SNは情報蓄積ノード(ストレージノード)、PLはプレート電極を示している。
【0013】
1つのセルトランジスタTrと1つのセルキャパシタCsからメモリセルMCが構成される基本構成は従来と同様であるが、本実施形態ではこれに加えて、隣接するメモリセルMCのセルキャパシタCsのストレージノードSN間にノイズ補償用キャパシタCssが接続されている。
【0014】
本実施形態において、MC0 とMC1 に同じ情報が格納されていた場合、Cssの両端の電位は等しいためCssには電荷は蓄積されず、つまりCssは存在しないのと等価となり、従来と同様の読み出し信号量
Vs =Cs/(Cs+Cb)×Vcc/2
がBLに読み出される。ここで、Vccは電源電圧、Cbはビット線容量である。
【0015】
一方、MC0 とMC1 に異なる情報が格納されていた場合、Cssの両端には電源電圧Vccが印加されるためにCssにはCss・Vccだけ電荷が蓄積される。そのために従来と比べて
Vs’=2Css/(2Css+Cb)×Vcc/2
だけ多くの信号量がBLに読み出される。これにより、ビット線間容量によって生じる隣接BLからのノイズを無効化することが可能となる。
【0016】
このように本実施形態によれば、隣接するメモリセルのセルキャパシタのストレージノード間にノイズ補償用キャパシタを接続した構成とすることにより、特に隣接するメモリセルから異なる情報が読み出される場合に、読み出し信号量を増加させることができる。従って、ビット線間容量に起因するアレイノイズによる読み出し信号量の減少を補償することができ、読み出しマージンの拡大及び信頼性の向上をはかることが可能となる。
【0017】
これは、ビット線間容量の割合の増大に対する有効な解決策であり、今後のDRAMにおける素子の微細化及び高集積化に対して多大な効果を発揮すると期待される。
(第2の実施形態)
図2は、本発明の第2の実施形態に係わるDRAMのメモリセルを示す等価回路図である。
【0018】
本実施形態は、同じWLに接続される全ての隣接メモリセル間にノイズ補償用キャパシタCssが設置された場合の例である。
本実施形態も第1の実施形態と同様に、Cssによりビット線間容量によって生じる隣接BLからのノイズを無効化することができる。特に、BL(m)に対して隣接するBL(m−1),BL(m+1)の両方にBL(m)とは異なる情報が読み出される場合、2つのノイズ補償用キャパシタCss(m−1),Css(m)が働きその相乗効果によって、ビット線間容量に起因するアレイノイズによる読み出し信号量の減少をより有効に補償することが可能となる。
(第3の実施形態)
図3は、本発明の第3の実施形態に係わるDRAMのメモリセル配置を示す図であり、本発明をオープンBL方式に適用した例である。基本的には、第2の実施形態と同様である。
【0019】
ここで、SAはセンスアンプ、/BLはBLと対を成すビット線を表す。同じWLに接続される全ての隣接メモリセルの間にはノイズ補償用キャパシタCssが設置され、これによりビット線間容量に起因するアレイノイズを無効化する。
【0020】
例えばBL(m)に注目した場合、BL(m−1)からのアレイノイズはCss(m)の効果によって無効化され、BL(m+1)からのアレイノイズはCss(m+1)によって無効化される。
【0021】
従来、オープンBL方式においては、ツイステッドBL方式などを適用することは原理的に不可能で、ビット線間容量に起因するアレイノイズを無効化する手段は存在しなかったが、本発明によりそれが可能となる。
(第4の実施形態)
図4は、本発明の第4の実施形態に係わるDRAMのメモリセル配置を示す図であり、本発明をフォールデッドBL方式に適用した例である。
【0022】
フォールデッドBL方式の場合、同一のBL対には同一WLに接続されるメモリセルは存在せず、同一BL対ではWL方向に隣接するメモリセルはない。しかし、異なるBL対では同一WLに接続されるメモリセルが存在し、これらを隣接させることができる。そして本実施形態では、この異なるBL対間で隣接するメモリセル間にCssを設置している。
【0023】
このようにフォールデッドBL方式の場合は、そのメモリセルの配置関係から2つ以上のメモリセル間にCssを設置することができない。しかし、上記のように構成することにより、ビット線間容量に起因するアレイノイズをオープンBL方式と同様に無効化することができる。
【0024】
例えばBL(m)とWL(n)に注目し、WL(n)が活性化されてMC(n,m−1),MC(n,m),MC(n,m+1)からビット線に情報が読み出された場合を考える。
【0025】
ここで、MC(n,m−1)には“0”の情報が、MC(n,m)には“1”の情報が、MC(n,m+1)には“1”の情報が格納されていると考える。このとき、BL´(m−1)からBL(m)へのアレイノイズは、Css(n,m)によって無効化される。また、BL´(m+1)からBL(m+1)へのアレイノイズは無効化されないために、BL´(m+1)からBL(m+1)を介してBL´(m)へのアレイノイズは無効化できないが、このように間にビット線を介して影響を与えるアレイノイズは
V(noise )=((Cbb/Cb)2 }×Vs
で表されるように非常に小さいため、その影響は無視できる。
【0026】
このように、フォールデッドBL方式においても、本発明により隣接ビット線からのビット線間容量に起因するアレイノイズは無効化される。
(第5の実施形態)
図5は、本発明の第5の実施形態に係わるDRAMのメモリセル構造を示すもので、ワード線と平行方向の断面図であり、スタック型メモリセルの例を示したものである。
【0027】
図中の51は半導体基板、52は素子分離領域、53はソース・ドレイン拡散層、54は層間絶縁膜、55はビット線、56はストレージノード(電荷蓄積領域)SN、57はキャパシタ絶縁膜、58はプレート電極である。
【0028】
基本的な構成はビット線先作りの従来装置と同じであるが、本実施形態では、ストレージノード56の一側面が別のストレージノード56の一側面とキャパシタ絶縁膜57を挟んで近接配置され、この間にノイズ補償用キャパシタCssを形成している。即ち、ストレージノード56の側面の一つがセルキャパシタではなく、隣接するセルキャパシタ間でのノイズ補償用キャパシタCssを構成している。
【0029】
このような構成であれば、前記図1に示した等価回路と同様の回路構成となるため、第1の実施形態と同様に、ビット線間容量に起因するアレイノイズによる読み出し信号量の減少を補償することができる。そしてこの場合、新たにノイズ補償用キャパシタCssを形成する領域を設ける必要もなく、隣接するメモリセルのストレージノードをキャパシタ絶縁膜を挟んで近接配置されるだけでよいので、セル面積の増加を招くことがない。従って、メモリセルの微細化及び高集積化に対して極めて有効である。
(第6の実施形態)
図6は、本発明の第6の実施形態に係わるDRAMのメモリセル構造を示すもので、ワード線と平行方向の断面図であり、スタック型メモリセルの例を示したものである。なお、図5と同一部分には同一符号を付して、その詳しい説明は省略する。
【0030】
この実施形態が先の第5の実施形態と異なる点は、隣接するセルキャパシタのストレージノード56間にキャパシタ絶縁膜57を介して浮遊電極61を設置したことである。この浮遊電極61はいかなる電位にも固定されていないため、等価回路的には、第5の実施形態と同様の構成となる。従って、第5の実施形態と同様の効果が得られる。
(第7の実施形態)
図7は、本発明の第7の実施形態に係わるDRAMのメモリセル構造を示すもので、ワード線と平行方向の断面図であり、スタック型メモリセルの例を示したものである。なお、図6と同一部分には同一符号を付して、その詳しい説明は省略する。
【0031】
基本的な構成は第6の実施形態と同様であるが、本実施形態は浮遊電極61の形成方法に特徴がある。即ち、第6の実施形態と同様に、隣接するセルキャパシタのストレージノード56間には浮遊電極61が設置されるが、この浮遊電極61はプレート電極58の形成と同時に堆積され、その後にA,A´部分を取り除くことで形成される。
【0032】
従って本実施形態では、第6の実施形態と同様の効果が得られるのは勿論のこと、浮遊電極形成のための製造プロセスがA,A´のエッチングのみとなり、浮遊電極形成のためのプロセス工程数の増加を最小限に抑えることができる。
(第8の実施形態)
図8は、本発明の第8の実施形態に係わるDRAMのメモリセル構造を示すもので、ワード線と平行方向の断面図であり、スタック型メモリセルの例を示したものである。
【0033】
図中の81は半導体基板、82は素子分離絶縁膜、83はソース・ドレイン拡散層、84は層間絶縁膜、85はビット線、86はストレージノード(電荷蓄積領域)SN、87はキャパシタ絶縁膜、88はプレート電極である。
【0034】
基本的な構成はビット線先作りの従来装置と同じであるが、本実施形態では、隣接するメモリセルのストレージノード86を一部重ならせ、その重なった部分でノイズ補償用キャパシタCssを形成している。
【0035】
このような構成であれば、前記図1に示した等価回路と同様の回路構成となるので、第1の実施形態と同様に、ビット線間容量に起因するアレイノイズによる読み出し信号量の減少を補償することができる。そしてこの場合も、新たにノイズ補償用キャパシタCssを形成する領域を設ける必要もなく、隣接するメモリセルのストレージノードを一部重ならせるだけでよいので、セル面積の増加を招くことがない。従って、メモリセルの微細化及び高集積化に対して極めて有効である。
【0036】
なお、本発明は上述した各実施形態に限定されるものではない。実施形態ではDRAMを例に取り説明したが、本発明は必ずしもDRAMに限られず、情報蓄積用のキャパシタを有するメモリセルであれば適用することができる。また、ノイズ補償用キャパシタは、基本的には同一のワード線に接続されている複数の隣接するメモリセル間に接続するのであるが、複数のワード線を同時に駆動する構成であれば、異なるワード線に接続されたメモリセル間に接続することも可能である。その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々変形して実施することができる。
【0037】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明によれば、隣接するメモリセルのセルキャパシタの情報蓄積ノード間にノイズ補償用キャパシタを形成することにより、隣接するメモリセルの情報と注目しているメモリセルの情報が異なっている場合に、読み出し信号量が増加するようなメモリセル構造を取ることができる。従って、フォールデッドBL方式、オープンBL方式のいずれにおいても、ビット線間容量に起因するアレイノイズによる読み出し信号量の減少を補償することができ、読み出しマージンの拡大及び信頼性の向上をはかることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施形態に係わるDRAMのメモリセルを示す等価回路図。
【図2】第2の実施形態に係わるDRAMのメモリセルを示す等価回路図。
【図3】第3の実施形態に係わるDRAMのメモリセル配置を示す模式図。
【図4】第4の実施形態に係わるDRAMのメモリセル配置を示す模式図。
【図5】第5の実施形態に係わるDRAMのメモリセル構造を示す断面図。
【図6】第6の実施形態に係わるDRAMのメモリセル構造を示す断面図。
【図7】第7の実施形態に係わるDRAMのメモリセル構造を示す断面図。
【図8】第8の実施形態に係わるDRAMのメモリセル構造を示す断面図。
【図9】従来のDRAMのメモリセルを示す等価回路図。
【符号の説明】
WL…ワード線
BL,/BL…ビット線
Tr…セルトランジスタ
Cs…セルキャパシタ
MC…メモリセル
Css…ノイズ補償用キャパシタ
PL…プレート電極
SA…センスアンプ
SN…ストレージノード(情報蓄積ノード)
51,81…半導体基板
52,82…素子分離絶縁膜
53,83…ソース・ドレイン拡散層
54,84…層間絶縁膜
55,85…ビット線
56,86…ストレージノード(情報蓄積ノード)
57,87…キャパシタ絶縁膜
58,88…プレート電極
61…浮遊電極
Claims (7)
- 複数本のワード線と複数本のビット線が交差して配置され、これらの交差部にセルトランジスタとセルキャパシタからなるメモリセルが配置された半導体記憶装置において、
隣接する複数のメモリセルのセルキャパシタの情報蓄積ノード間に、ノイズ補償用キャパシタを接続してなり、
前記ノイズ補償用キャパシタは、スタック構造に形成されたセルキャパシタの隣接する情報蓄積ノードの側面間に浮遊電極を挟んで形成されていることを特徴とする半導体記憶装置。 - 複数本のワード線と複数本のビット線が交差して配置され、これらの交差部にセルトランジスタとセルキャパシタからなるメモリセルが配置された半導体記憶装置において、
隣接する複数のメモリセルのセルキャパシタの情報蓄積ノード間に、ノイズ補償用キャパシタを接続してなり、
前記ノイズ補償用キャパシタは、スタック構造に形成されたセルキャパシタの隣接する情報蓄積ノードを一部重ね合わせた部分に形成されていることを特徴とする半導体記憶装置。 - 複数本のワード線と複数本のビット線が交差して配置され、これらの交差部にセルトランジスタとセルキャパシタからなるメモリセルが配置された半導体記憶装置において、
同一のワード線に接続されている複数の隣接するメモリセルのセルキャパシタの情報蓄積ノード間に、ノイズ補償用キャパシタを接続してなり、
前記ノイズ補償用キャパシタは、スタック構造に形成されたセルキャパシタの隣接する情報蓄積ノードの側面間に浮遊電極を挟んで形成されていることを特徴とする半導体記憶装置。 - 複数本のワード線と複数本のビット線が交差して配置され、これらの交差部にセルトランジスタとセルキャパシタからなるメモリセルが配置された半導体記憶装置において、
同一のワード線に接続されている複数の隣接するメモリセルのセルキャパシタの情報蓄積ノード間に、ノイズ補償用キャパシタを接続してなり、
前記ノイズ補償用キャパシタは、スタック構造に形成されたセルキャパシタの隣接する情報蓄積ノードを一部重ね合わせた部分に形成されていることを特徴とする半導体記憶装置。 - 前記浮遊電極は、前記セルキャパシタのプレート電極と同じ材料であり、プレート電極と同時に形成されていることを特徴とする請求項1又は3記載の半導体記憶装置。
- 前記ビット線は解放型ビット線方式で配置され、前記ノイズ補償用キャパシタは、隣接するビット線にそれぞれ接続された各メモリセル間に接続されていることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の半導体記憶装置。
- 前記ビット線は折返し型ビット線方式で配置され、前記ノイズ補償用キャパシタは、異なるビット線対の隣接するメモリセル間に接続されていることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の半導体記憶装置。
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