JP3555366B2 - 圧力センサの製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧力センサチップが圧力による抵抗変化を電気信号に変換して、流体の圧力を測定する圧力センサの製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、この種の圧力センサの製造方法として、次に述べる従来例がある。先ず、測定対象である流体を圧力を持って導入する貫通孔の軸に対する一方直交面を有する金属製の圧力導入管と、圧力センサチップからの電気信号を伝達する端子とを、Auよりも高い温度で溶融するホウケイ酸ガラス又はソーダバリウムガラス等のガラスでもって固着し気密封止する。
【0003】
次いで、圧力導入管と端子とをAuでめっきし、軸孔を設けその軸孔の軸と直交した一面がメタライズされて他面が圧力センサチップと接合されたガラス台座の一面を、圧力導入管の一方直交面に互いの軸を合わせて半田でもって接合する。その後、圧力センサチップに設けられた電極と端子とをAuからなるワイヤでもってワイヤボンディングして電気的に接続している。
【0004】
さらに詳しくは、低コスト化を図るために、ワイヤにAuではなくAlを使用すると、端子におけるワイヤボンディング部がAuめっきとAlワイヤとで形成されることになって、摂氏約150度以上の高温中で使用すると、AuとAlの界面が電気抵抗の高い金属間化合物を形成して脆くなっていた。
【0005】
次に、別の従来例を図4に基づいて説明する。先ず、測定対象である流体を圧力を持って導入する貫通孔A1の軸に対する一方直交面A2を有する金属製の圧力導入管Aが、その一方直交面A2及び外周面をAuでもってめっきされる。その圧力導入管Aと、圧力センサチップBからの電気信号を伝達する端子Cとを樹脂で一体成形して、基台Dを形成するとともに、圧力導入管Aと端子Cとを形成された基台Dに固着する。次いで、軸孔の軸と直交した一面がメタライズされて他面が圧力センサチップBと接合されたガラス台座を、圧力導入管Aの一方直交面A2に、互いの軸を合わせて半田Eでもって接合する。
【0006】
さらに詳しくは、圧力導入管Aをめっきする金属として、Auの他にNi,Sn又はAgが、半田EとしてSnPb合金がそれぞれ使用される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
上記した圧力センサの製造方法における従来例では、ガラス台座のメタライズされた一面と、圧力導入管AのAuでめっきされた一方直交面A2とが、互いの軸を合わせて半田Eでもって接合された圧力センサを製造できる。
【0008】
しかしながら、圧力導入管Aの一方直交面A2をAuからなる金属でめっきすると、一方直交面A2は凹凸を形成して平滑面にならない。したがって、図4に示すように、半田Eが貫通孔A1の軸に対して同心円状に拡散せず、ガラス台座の一面と圧力導入管Aの一方直交面A2との間に空隙を形成して、気密不良を生じる場合があった。
【0009】
また、従来例では、気密封止するガラスが、圧力導入管及び端子をめっきするAuの融点よりも高い温度で溶融するから、めっきした後で気密封止すると、めっきを形成したAuが溶融する。したがって、圧力導入管及び端子をガラスでもって気密封止した後でそれぞれをめっきする必要があり、このため圧力導入管及び端子がそれぞれ同一の金属で、つまりAuでめっきされることになって、ガラス台座と圧力導入管との半田付け性、及びワイヤと端子とのワイヤボンディング性を同時に満足することが困難であった。
【0010】
本発明は、上記事由に鑑みてなしたもので、その目的とするところは、ガラス台座の一面と圧力導入管の一方直交面との半田付け性を改良しそれぞれを確実に接合して、気密不良を生じることのない圧力センサの製造方法を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記した課題を解決するために、請求項1記載の圧力センサの製造方法は、測定対象である流体を圧力を持って導入する貫通孔の軸に対する一方直交面を有する金属製の圧力導入管と、圧力を電気信号に変換する圧力センサチップからのその電気信号を伝達する端子とを金属でめっきするめっき工程と、
次いで、めっきする金属の融点よりも低い温度で溶融する低融点ガラスでもって、金属製のベースの内部に圧力導入管の外周面と端子とを気密封止する気密封止工程と、
次いで、軸孔を設けその軸孔の軸と直交した一面がメタライズされて他面が圧力センサチップと接合されたガラス台座の一面を、圧力導入管の一方直交面に互いの軸を合わせて半田でもって接合する接合工程と、
次いで、圧力センサチップに設けられた電極と端子とをワイヤでもって電気的に接続するワイヤボンディング工程とを有する構成にしてある。
【0012】
請求項2記載の圧力センサの製造方法は、請求項1記載の製造方法において、前記圧力導入管をAuCoで前記端子をNiでめっきする構成にしてある。
【0013】
請求項3記載の圧力センサの製造方法は、請求項2記載の製造方法において、前記圧力導入管をAuCoで前記端子をNiでめっきし気密封止した後で、Alからなる前記電極と前記端子とをAlからなるワイヤでもってワイヤボンディングする構成にしてある。
【0014】
請求項4記載の圧力センサの製造方法は、請求項1記載の製造方法において、前記圧力導入管をAuCoで前記端子をAuでめっきし気密封止した後で、Auからなる前記電極と前記端子とをAuからなるワイヤでもってワイヤボンディングする構成にしてある。
【0015】
請求項5記載の圧力センサの製造方法は、測定対象である流体を圧力を持って導入する貫通孔の軸に対する一方直交面を有する金属製の圧力導入管が、少なくともその一方直交面をAuCo合金からなる金属でめっきされるめっき工程と、軸孔を設けその軸孔の軸と直交した一面がメタライズされて他面が圧力センサチップと接合されたガラス台座の一面を、圧力導入管の一方直交面に互いの軸を合わせて半田でもって接合する接合工程と、を有する構成にしてある。
【0016】
請求項6記載の圧力センサの製造方法は、請求項2乃至5記載の製造方法において、前記圧力導入管は前記一方直交面の反対側端部が、パイプ状で流体を導入する流体導入チューブと接続されるものであって、前記圧力導入管は外周面が前記AuCo合金でめっきされた構成にしてある。
【0017】
請求項7記載の圧力センサの製造方法は、請求項2乃至6記載の製造方法において、前記AuCo合金は、Co含有量が重量比で0.1乃至0.3wt%で、残部がAuである構成にしてある。
【0018】
請求項8記載の圧力センサの製造方法は、請求項1又は5記載の製造方法において、前記半田はSnSb合金からなる構成にしてある。
【0019】
【発明の実施の形態】
本発明の第1実施形態を図1に基づいて以下に説明する。先ず、部材及びその機能について説明する。
【0020】
1は圧力導入管で、コバール又はFeNi合金等の金属により、円筒状に形成され、測定対象である流体を圧力を持って導入する貫通孔11が設けられ、その貫通孔11の軸に対する一方直交面12を有して、一方直交面12及び外周面がAuCo合金にてめっきされている。
【0021】
2は端子で、コバール又はFeNi合金等の金属により、長尺状に形成され、Niの金属にてめっきされている。
【0022】
3は低融点ガラスで、PbO系のガラスにより、圧力導入管1をめっきしている金属であるAuCo合金、及び端子2をめっきしている金属であるNiのそれぞれの金属の融点よりも低い温度で溶融して、圧力導入管1の一方直交面12側の外周面と端子2の略中央部とを固着し気密封止している。
【0023】
4はベースで、金属により、円筒状に形成され、圧力導入管1と端子2とを内部に配し、低融点ガラス3でもって固着され気密封止されている。
【0024】
5はガラス台座で、パイレックスガラス等のガラスにより、略四角形に形成され、軸孔51が設けられ、その軸孔51の軸と直交した一面が蒸着又はスパッタ等でもって金属でメタライズされている。このメタライズ面が、圧力導入管1の貫通孔11の軸と軸孔51の軸との互いの軸を合わせて、圧力導入管1の一方直交面12に半田でもって接合されている。
【0025】
6は圧力センサチップで、シリコン半導体により、シリコンダイヤフラム61上にピエゾ抵抗(図示せず)を配することによって歪みゲージが形成され、ガラス台座5の軸孔51がシリコンダイヤフラム61に位置するよう、ガラス台座5の他面に陽極接合されている。ここで、陽極接合とは、約摂氏400度で直流の高電圧を印加して接合する方法である。さらに電極(図示せず)が設けられ、その電極と端子2とがAlからなるワイヤでもってワイヤボンディングされ電気的に接続されて、流体の圧力を変換した電気信号を端子2に伝達する。
【0026】
このものの製造方法を説明する。先ず、めっき工程において、圧力導入管1の一方直交面12及び外周面をAuCo合金にて、端子2をワイヤボンディング性の良好なNiにてめっきする。ここで、めっきされた一方直交面12は凹凸が少なく平滑に形成されるので、半田と濡れ性がよく半田付け性が良好となる。
【0027】
次いで、気密封止工程において、AuCo合金及びNiのそれぞれの金属の融点よりも低い温度で溶融する、すなわち摂氏450乃至600度で溶融する、低融点ガラス3でもって、圧力導入管1の一方直交面12側の外周面と端子2の略中央部とを、ベース4の内部にそれぞれを固着し気密封止する。
【0028】
次いで、接合工程において、軸孔51の軸と直交した一面がメタライズ層でメタライズされて他面が圧力センサチップ6と陽極接合されたガラス台座5を、貫通孔11及び軸孔51の互いの軸を合わせて、圧力導入管1の一方直交面12にSnPb合金からなる半田でもって接合する。このとき、一方直交面12はAuCo合金でめっきされているので平滑面を形成して、ガラス台座5の一面との間に空隙を形成することなく、密着して接合される。
【0029】
次いで、ワイヤボンディング工程において、圧力センサチップ6に設けられたAl電極と端子2の一端面とを、Alのワイヤを使用しワイヤボンディングして、圧力センサチップ6と端子2とを電気的に接続する。このとき、端子2がNiでめっきされているので、ワイヤボンディング性が良好であって、かつ、ワイヤボンディング部はめっきされたNiとAlとで形成されることになって、そのNiとAlの界面で従来のような電気抵抗が高く脆い金属間化合物を発生することがない。
【0030】
次いで、金属キャン7が覆設されベース4とシールされて、内部空間71中の空気を排気し内部空間71を真空にして、シリコンダイヤフラム61の一面を真空側に位置する。
【0031】
このものの動作を説明する。貫通孔11及び軸孔51の互いの軸を合わせて、ガラス台座5が圧力導入管1の一方直交面12に接合されているので、貫通孔11と軸孔51とが連通していることになる。この状態で、気体又は液体の流体が、圧力を持って圧力導入管1の貫通孔11に導入される。このとき、圧力センサチップ6が、ガラス台座5の軸孔51を遮蔽するようガラス台座5と接合されて、圧力導入管1の一方直交面12がガラス台座5の一面と半田でもって接合されているから、流体は漏れることなくその圧力を圧力センサチップ6に負荷する。
【0032】
圧力が圧力センサチップ6に負荷されると、圧力センサチップ6に形成されたシリコンダイヤフラム61が、流体の圧力と真空との差に比例して撓む。そして、シリコンダイヤフラム61上に形成されたピエゾ抵抗の抵抗値が撓みの大きさに比例して変化し、この抵抗値を電気信号として端子2に出力する。そして、シリコンダイヤフラム61の一面が真空であるので、流体の圧力を絶対圧力として測定する。
【0033】
かかる第1実施形態の圧力センサの製造方法にあっては、上記したように、めっきされる金属の融点よりも低い温度で溶融する低融点ガラス3でもって、圧力導入管1の外周面と端子2の略中央部とをめっき金属が溶融することなく気密封止するから、圧力導入管1の一方直交面12と端子2とをそれぞれ異なる金属でめっきした後気密封止して、ガラス台座5との半田付け性が良好な金属を圧力導入管1に、ワイヤとのワイヤボンディング性が良好な金属を端子2にめっきして、一方直交面12とガラス台座5との半田付け性及びワイヤと端子2とのワイヤボンディング性のいずれもが良好となって、それぞれ気密性及び接触信頼性の高い圧力センサを容易にかつ確実に量産できる。
【0034】
また、圧力導入管1をAuCoで端子2を安価なNiでめっきするから、圧力導入管1及び端子2をいずれも高価なAuでめっきとした従来と異なって、コストの安い圧力センサを量産できる。
【0035】
また、圧力導入管1をAuCoで端子2をNiでめっきし気密封止した後で、Alの電極と端子2とをAlのワイヤでもってワイヤボンディングするから、電極部がAl電極とAlワイヤ及び端子2のワイヤボンディング部がNiめっきとAlワイヤでそれぞれが形成されることになって、電気抵抗が高く脆い金属間化合物を形成せず、摂氏約150度以上の高温中でも接触抵抗が増大せずワイヤの断線がない圧力センサを量産できる。
【0036】
なお、第1実施形態では、圧力導入管1をAuCoで端子2をNiでめっきし気密封止した後で、Alからなる電極と端子2とをAlからなるワイヤでもってワイヤボンディングしたが、端子2をAuでめっきしAuからなる電極と端子2とをAuからなるワイヤでもってワイヤボンディングしてもよく、限定されない。
【0037】
本発明の第2実施形態を図2乃び図3に基づいて以下に説明する。なお、第2実施形態では第1実施形態と異なる製造方法について述べることとし、第1実施形態と実質的に同一機能を有する部材については、同一符号を付して説明を省略する。
【0038】
8は基台で、耐熱性を有した液晶ポリマー等の絶縁性の樹脂により、底部を有して略角筒状に形成され、底部から筒内部の反対側へ導出するよう圧力導入管1の一方直交面12側を固着するとともに、端子2を開口端部に露出した状態で一方直交面12に沿って配設している。
【0039】
このものの製造方法について説明する。先ず、金属製の圧力導入管1は、一方直交面12及び外周面13がNi1aでめっきされた後、AuCo合金1bでもってめっきされる。ここで、従来のAuめっきではなくAuCo合金1bでめっきされるので、一方直交面12は従来と比較して凹凸のない平滑状に形成される。AuCo合金1bはAuと比較して硬く硬質であり、Co含有量が重量比で0.1乃至0.3wt%で残部がAuであって、硬質度及び平滑度におけるバランスが良い適正組成範囲に選択され、その適正組成範囲を外れるとめっき面の凹凸が大きくなり、面粗度が劣化する。
【0040】
次いで、圧力導入管1と、一方直交面12に沿って配設された端子2とを樹脂でもって一体成形して基台8を形成するとともに、圧力導入管1と端子2とをその基台8に固着する。このとき、一方直交面12は硬質のAuCo合金1bでめっきされているので、傷がつきにくい。
【0041】
次いで、軸孔51の軸と直交した一面がメタライズ層52でメタライズされたガラス台座5を、圧力導入管1の一方直交面12に互いの軸を合わせた状態で、圧力導入管1とガラス台座5との間にリング状の半田9を配設し、それぞれを互いにダイボンダを用いて接合する。このとき、図3に示すように、一方直交面12はAuCo合金1bでめっきされ平滑状に形成されているので、半田9が圧力導入管1の貫通孔11の軸に対して略同心円状に拡散し、ガラス台座5の一面との間に空隙を形成することなく、一面と密着して接合される。また、半田9はSnSb合金からなり重量比で8.5wt%のSbを含有し、そのSnSb合金はSnPb半田が約180度の融点であるのに対し、約240度の融点を持ち高温耐熱性に優れる。
【0042】
このものの動作を説明する。圧力導入管1は一方直交面12の反対側端部が、パイプ状で気体又は液体の流体を導入する流体導入チューブ10のパイプ内部に挿入されて、流体導入チューブ10と接続される。ここで、貫通孔11及び軸孔51の互いの軸を合わせて、ガラス台座5が圧力導入管1の一方直交面12に接合されているので、貫通孔11と軸孔51とが連通することになる。この状態で、流体が流体導入チューブ10を介して圧力を持って圧力導入管1の貫通孔11に導入される。
【0043】
このとき、圧力センサチップ6が、ガラス台座5の軸孔51を遮蔽するようガラス台座5と接合されて、圧力導入管1の一方直交面12がAuCo合金1bでめっきされて、ガラス台座5の一面とSnSb合金からなる半田でもって空隙なく強固に接合されているので、流体は漏れることなくその圧力を圧力センサチップ6に負荷する。さらに、半田はSnSb合金であるので、測定する流体が高温であっても溶融又は軟化することがない。
【0044】
圧力が圧力センサチップ6に負荷されると、圧力センサチップ6に形成されたシリコンダイヤフラム61が、流体の圧力と大気圧との差に比例して撓む。そして、シリコンダイヤフラム61上に形成されたピエゾ抵抗(図示せず)の抵抗値が撓みの大きさに比例して変化し、この抵抗値を電気信号として端子2に出力する。シリコンダイヤフラム61の一面側が大気圧であるので、流体の圧力を大気圧との差圧として測定する。
【0045】
かかる第2実施形態の圧力センサの製造方法にあっては、上記したように、圧力導入管1の一方直交面12をAuCo合金1bからなる金属でめっきし、その一方直交面12とメタライズされたガラス台座5の一面とを、互いの軸を合わせて接合するから、一方直交面12が従来のAuめっきと比較して凹凸のない平滑状に形成され、放射状に拡散した半田9で被覆されその半田9との濡れ性が良くなって、一方直交面12とガラス台座5の一面とが空隙を形成することなく密着して接合されて、気密性の高い圧力センサを容易にかつ確実に量産できる。
【0046】
また、圧力導入管1が流体を導入する流体導入チューブ10と接続されるものであれば、圧力導入管1の外周面13がAuCo合金1bでめっきされたから、AuCo合金1bが硬く硬質であって傷がつきにくいので、一方直交面12の反対側端部が流体導入チューブ10のパイプ内部に挿入されたとき、外周面13への傷の発生を防止して、圧力導入管1と流体導入チューブ10との接続部での流体の漏洩を阻止した圧力センサを量産できる。
【0047】
また、AuCo合金1bのCo含有量が重量比で0.1乃至0.3wt%で、残部がAuであって適正組成範囲に選択されたから、平滑度と硬質度とのバランスが良くなって、圧力導入管1とガラス台座5及び流体導入チューブ10とのそれぞれの接続部からの流体の漏洩を防止して、さらに気密性の高い圧力センサを量産できる。
【0048】
また、半田9がSnSb合金からなるから、SnPb合金と比較して融点が高く耐熱性が良くなって、SnSb合金の融点近くの高温まで使用し得る高耐熱性の圧力センサを量産できる。
【0049】
【発明の効果】
請求項1記載の圧力センサの製造方法は、めっきされる金属の融点よりも低い温度で溶融する低融点ガラスでもって、圧力導入管の外周面と端子とをめっき金属が溶融することなく気密封止するから、圧力導入管1の一方直交面と端子とをそれぞれ異なる金属でめっきした後気密封止して、ガラス台座との半田付け性が良好な金属を圧力導入管に、ワイヤとのワイヤボンディング性が良好な金属を端子にめっきして、一方直交面とガラス台座との半田付け性及びワイヤと端子とのワイヤボンディング性のいずれもが良好となって、それぞれ気密性及び接触信頼性の高い圧力センサを容易にかつ確実に量産できる。
【0050】
請求項2記載の圧力センサの製造方法は、請求項1記載の製造方法の効果に加えて、圧力導入管をAuCoで端子を安価なNiでめっきするから、圧力導入管及び端子をいずれも高価なAuでめっきとした従来と異なって、コストの安い圧力センサを量産できる。
【0051】
請求項3記載の圧力センサの製造方法は、請求項2記載の製造方法の効果に加えて、圧力導入管をAuCoで端子をNiでめっきし気密封止した後で、Alからなる電極と端子とをAlからなるワイヤでもってワイヤボンディングするから、電極部がAl電極とAlワイヤ、及び端子のワイヤボンディング部がNiめっきとAlワイヤでそれぞれが形成されることになって、電気抵抗が高く脆い金属間化合物を形成せず、摂氏約150度以上の高温中でも接触抵抗が増大せずワイヤの断線がない圧力センサを量産できる。
【0052】
請求項4記載の圧力センサの製造方法は、請求項1記載の製造方法の効果に加えて、圧力導入管をAuCoで端子をAuでめっきし気密封止した後で、Auからなる電極と端子とをAuからなるワイヤでもってワイヤボンディングするから、電極部がAu電極とAuワイヤ、及び端子のワイヤボンディング部がAuめっきとAuワイヤでそれぞれが形成されることになって、電気抵抗が高く脆い金属間化合物を形成せず、摂氏約150度以上の高温中でも接触抵抗が増大せずワイヤの断線がない圧力センサを量産できる。
【0053】
請求項5記載の圧力センサの製造方法は、圧力導入管の少なくとも一方直交面をAuCo合金からなる金属でめっきし、その一方直交面とメタライズされたガラス台座の一面とを、互いの軸を合わせて接合するから、一方直交面が従来のAuめっきと比較して凹凸のない平滑状に形成され、放射状に拡散した半田で被覆されその半田との濡れ性が良くなって、一方直交面とガラス台座の一面とが空隙を形成することなく密着して接合されて、気密性の高い圧力センサを容易にかつ確実に量産できる。
【0054】
請求項6記載の圧力センサの製造方法は、請求項2乃至5記載の製造方法の効果に加えて、圧力導入管が流体を導入する流体導入チューブと接続されるものであれば、圧力導入管の外周面がAuCo合金でめっきされたから、AuCo合金が硬く硬質であって傷がつきにくいので、一方直交面の反対側端部が流体導入チューブのパイプ内部に挿入されたとき、外周面への傷の発生を防止して、圧力導入管と流体導入チューブとの接続部での流体の漏洩を阻止した圧力センサを量産できる。
【0055】
請求項7記載の圧力センサの製造方法は、請求項2乃至6記載の製造方法の効果に加えて、AuCo合金のCo含有量が重量比で0.1乃至0.3wt%で、残部がAuであって適正組成範囲に選択されたから、平滑度と硬質度とのバランスが良くなって、圧力導入管とガラス台座及び流体導入チューブとのそれぞれの接続部からの流体の漏洩を防止して、さらに気密性の高い圧力センサを量産できる。
【0056】
請求項8記載の圧力センサの製造方法は、請求項1又は5記載の製造方法の効果に加えて、半田がSnSb合金からなるから、SnPb合金と比較して融点が高く耐熱性が良くなって、SnSb合金の融点近くの高温まで使用し得る高耐熱性の圧力センサを量産できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態を示す正断面図である。
【図2】本発明の第2実施形態を示す正断面図である。
【図3】同上の平面図である。
【図4】従来例を示す平面図である。
【符号の説明】
1 圧力導入管
1b AuCo合金
11 貫通孔
12 一方直交面
13 外周面
2 端子
3 低融点ガラス
4 ベース
5 ガラス台座
51 軸孔
6 圧力センサチップ
9 半田
10 流体導入チューブ
Claims (8)
- 測定対象である流体を圧力を持って導入する貫通孔の軸に対する一方直交面を有する金属製の圧力導入管と、圧力を電気信号に変換する圧力センサチップからのその電気信号を伝達する端子とを金属でめっきするめっき工程と、
めっきする金属の融点よりも低い温度で溶融する低融点ガラスでもって、金属製のベースの内部に圧力導入管の外周面と端子とを気密封止する気密封止工程と、
軸孔を設けその軸孔の軸と直交した一面がメタライズされて他面が圧力センサチップと接合されたガラス台座の一面を、圧力導入管の一方直交面に互いの軸を合わせて半田でもって接合する接合工程と、
圧力センサチップに設けられた電極と端子とをワイヤでもって電気的に接続するワイヤボンディング工程と、を有することを特徴とする圧力センサの製造方法。 - 前記圧力導入管をAuCo合金で前記端子をNiでめっきすることを特徴とする請求項1記載の圧力センサの製造方法。
- 前記圧力導入管をAuCo合金で前記端子をNiでめっきし気密封止した後で、Alからなる前記電極と前記端子とをAlからなるワイヤでもってワイヤボンディングすることを特徴とする請求項2記載の圧力センサの製造方法。
- 前記圧力導入管をAuCo合金で前記端子をAuでめっきし気密封止した後で、Auからなる前記電極と前記端子とをAuからなるワイヤでもってワイヤボンディングすることを特徴とする請求項1記載の圧力センサの製造方法。
- 測定対象である流体を圧力を持って導入する貫通孔の軸に対する一方直交面を有する金属製の圧力導入管が、少なくともその一方直交面をAuCo合金からなる金属でめっきするめっき工程と、
軸孔を設けその軸孔の軸と直交した一面がメタライズされて他面が圧力センサチップと接合されたガラス台座の一面を、圧力導入管の一方直交面に互いの軸を合わせて半田でもって接合する接合工程と、を有することを特徴とする圧力センサの製造方法。 - 前記圧力導入管は前記一方直交面の反対側端部が、パイプ状で流体を導入する流体導入チューブと接続されるものであって、前記圧力導入管は外周面が前記AuCo合金でめっきされてなることを特徴とする請求項2乃至5記載の圧力センサの製造方法。
- 前記AuCo合金は、Co含有量が重量比で0.1乃至0.3wt%で、残部がAuであることを特徴とする請求項2乃至6記載の圧力センサの製造方法。
- 前記半田はSnSb合金からなることを特徴とする請求項1又は5記載の圧力センサの製造方法。
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