JP3547063B2 - アクティブマトリクス型液晶表示装置の製造方法 - Google Patents
アクティブマトリクス型液晶表示装置の製造方法 Download PDFInfo
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はコンピュータ、テレビなどのディスプレイに利用され、能動素子として薄膜トランジスタ(以下、TFTと略称する)などのスイッチング素子を有するアクティブマトリクス型液晶表示装置およびその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、液晶表示素子等を用いた卓上パーソナル用情報端末機器およびアミューズメント機器などが開発されている。これらの装置に用いられている液晶表示素子は、高画質化および大型化の要望から、能動素子として薄膜トランジスタ(TFT)を有するアクティブマトリクス型液晶表示装置が主流となっている。
【0003】
さらに、低消費電力化に対する要望も強く、開口率を高めて透過率をアップすることに鎬をけずっている。開口率を高めるため、画素電極を開口部一杯まで広くできるような構造が必要とされる。
【0004】
例えば、アクティブマトリクス型液晶表示装置の一例として、図7にTFTを用いて形成した液晶表示装置の一部であるアクティブマトリクス型液晶表示装置の構成の一例を示す。
【0005】
図7に示すように、アクティブマトリクス状にスイッチング素子であるTFT2および補助容量1が形成される。走査配線であるゲート配線3はTFT2の走査電極であるゲート電極に接続され、そこへ入力される信号によってTFT2が駆動される。信号配線であるソース配線5はTFT2の信号電極であるソース電極に接続され、ビデオ信号が入力される。TFT2のドレイン電極には画素電極6および補助容量1の一方の端子が接続される。各補助容量1のもう一方の端子は補助容量配線4に接続され、液晶表示装置の構成とした場合、対向基板上の対向電極と接続される。
【0006】
図8に1画素分の平面図、図9にTFT2および補助容量配線4のA−A断面構造図を示す。ここでは透明な絶縁性の基板11の上に、陽極酸化可能な金属にてゲート電極12および補助容量配線4を形成する。ゲート電極12および補助容量配線4を陽極酸化処理し、陽極酸化膜20を形成する。
【0007】
そして、ゲート絶縁膜13、半導体層14、チャネル保護層15、ソースおよびドレイン電極となるn+ −Si層16、ソース配線5となるITOからなる透明導電膜27と金属層17を順次積層する。
【0008】
そして、その上に層間絶縁膜18を形成し、スパッタ等を用いて透明導電膜19を成膜し、フォトリソ工程およびエッチング工程を経て、画素電極6を形成する。画素電極6は層間絶縁膜18を貫くコンタクトホール7を介してTFT2のドレイン電極と接続される。この構造では、ゲート配線3およびソース配線5と画素電極6との間には層間絶縁膜18が形成されているため、ゲート配線3およびソース配線5に対して画素電極6がオーバーラップされた構造となっている。
【0009】
陽極酸化膜20およびゲート絶縁膜13を介して、補助容量配線4とITOからなる透明導電膜27との間に補助容量1が形成される。
【0010】
次に、コンタクトホール7はテーパーをもつため画素電極6と対向電極との電極間隔が異なるため、液晶の配向が乱れる。このコンタクトホール7で発生する液晶の配向乱れを隠すために、ここでは、補助容量配線4は遮光膜としても機能している。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、高開口率化により画素電極面積を大きくする必要があるため、補助容量面積を大きくとる必要がある。補助容量面積を大きくすれば、ソース配線5の近くまでITOからなる透明導電膜27を広げる必要がある。そのため、ソース配線5と透明導電膜27との間隔が小さくなり、ソース配線5と透明導電膜27との間で短絡による不良が発生しやすくなるという問題があった。
【0012】
また、補助容量配線4は遮光膜としても機能しているので、補助容量面積である補助容量配線4も大きくとる必要があるため、開口率が低下するという問題があった。
【0013】
また、上記で説明したように透過型の液晶表示装置以外にも、反射型の液晶表示装置についても、表示面積を大きくするため、配線と画素電極との重なりを大きくした場合、同様に補助容量面積を大きくとる必要がある。
【0014】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、補助容量面積を広くせずに、補助容量を大きくすることができるアクティブマトリクス型液晶表示装置を提供するものである。
【0018】
【課題を解決するための手段】
本発明は、スイッチング素子がマトリクス状に形成され、該スイッチング素子を制御する走査配線および該スイッチング素子にデータ信号を供給する信号配線がそれぞれ直交するように形成され、該スイッチング素子にて画素電極が制御され、該画素電極に補助容量が設けられたアクティブマトリクス型液晶表示装置の製造方法において、絶縁性基板の上に走査配線および前記補助容量を構成する補助容量配線を陽極酸化可能な金属により形成する工程と、前記補助容量配線の前記補助容量を形成する部分のみを、ゴム系のレジストを用いて覆う工程と、前記走査電極および前記補助容量配線の前記ゴム系のレジストを用いて覆われていない部分を陽極酸化する工程と、陽極酸化処理後、前記補助容量配線の前記補助容量を形成する部分を覆っているゴム系のレジストを剥離する工程と、前記陽極酸化膜および前記補助容量配線の前記補助容量を形成する部分の上に、前記絶縁膜を形成する工程とを包含することを特徴とする。
【0019】
以下、上記構成による作用を説明する。
【0020】
本発明であるゲート電極にのみ陽極酸化膜を形成するアクティブマトリクス型液晶表示装置は、ゲート電極および補助容量配線に陽極酸化膜を形成する従来例に対して、単位面積当たりの補助容量が大幅に向上することができる。
【0021】
従って、本発明のアクティブマトリクス型液晶表示装置では、単位面積当たりの補助容量が大幅に向上するので、補助容量面積を大きくとる必要がなくなる。
【0022】
また、補助容量面積を大きくとる必要がないので、ソース配線と導電膜との間隔が大きくでき、ソース配線と導電膜との間で短絡による不良を減らすことができる。
【0023】
また、補助容量配線は遮光膜としても機能しているので、補助容量面積を大きくとる必要がないので、遮光膜としての面積も大きくする必要がなく、開口率の向上に寄与できる。
【0024】
また、ソース配線とゲート配線、補助容量配線との交差部は陽極酸化処理が行われているため、リークの発生も抑えられるため、良品率が良く、開口率の高いアクティブマトリクス型液晶表示装置を実現することができる。
【0025】
【発明の実施の形態】
(実施形態1)
本発明の実施形態1について説明する。図1に、実施形態1におけるアクティブマトリクス型液晶表示装置の1画素の平面構成、図2に実施形態1におけるアクティブマトリクス型液晶表示装置の1画素のA−A断面構成を示す。図3に、ゲート電極12、補助容量配線4の陽極酸化処理の工程を示す。
【0026】
図3および図2により、実施形態1におけるアクティブマトリクス型液晶表示装置の作製方法を説明する。
【0027】
まず、図3(a)に示すように、透明な絶縁性の基板11上に走査配線であるゲート配線3および走査電極であるゲート電極12、ゲート配線3とほぼ平行になるように補助容量配線4を形成する。ゲート配線3、ゲート電極12および補助容量配線4は陽極酸化可能な金属、例えば、Ta、Al、Ti、Nb、Zr、Hf等の単層、あるいは上記の陽極酸化可能な金属以外の金属層を下地層とし、その上に上記の陽極酸化可能な金属層からなる多層構造である。実施形態1ではTaまたはAlを用いて厚さ300nm程度に形成した。
【0028】
次に、図3(b)に示すように、高い耐電圧を有する高密度型のポリイソプレン系、または環化ポリブタジエン系を主成分とするゴム系のレジスト30を用いて、補助容量配線4の陽極酸化処理を行わないコンタクトホール7の下にあたる部分をパターニングして覆う。このとき同時に、ゲート配線3および補助容量配線4の表示領域外の領域にて外部からの信号を入力する箇所(端子部等)についても同様に覆ってもかまわない。
【0029】
ここで、電解液によりゲート配線3、ゲート電極12、補助容量配線4を陽極酸化する。実施形態1では、電解液には、電界質として働くクエン酸および酒石酸、リン酸等を混入した水溶液、またはその水溶液に電界集中を防ぐ働きをするエチレングリコールの混入したものを用いた。
【0030】
次に、図3(c)に示すように、陽極酸化処理が終了すると、ゴム系のレジスト30を剥離する。陽極酸化処理を行うことにより、補助容量配線4の補助容量を形成する部分のみに陽極酸化処理が施されず、それ以外の補助容量配線4およびゲート電極12に陽極酸化膜20が形成される。
【0031】
信号配線であるソース配線5とゲート配線3、補助容量配線4との交差部は陽極酸化膜20が形成される。
【0032】
次に、図3(d)に示すように、陽極酸化膜20および補助容量配線4の上に、ゲート絶縁膜13を、例えばSiNxを用いて300nmの厚さに積層する。ゲート絶縁膜13として、SiNx等の窒化物以外にも、SiO2 、Ta2 O5 、Al2 O3 、TiO2 、Y2 O3 等の酸化物も使用することができる。
【0033】
その後、図2に示すように、半導体層14をCVDにより真性アモーファスSi半導体を50nm形成した。次に、チャネル保護層15をSi3 N4 を用いて300nm形成した。次に、ソース・ドレイン電極となるn+ にドープされたアモーファスSiにてn+ −Si層16を50nm形成した。
【0034】
ソース配線5を構成するITOからなる透明導電膜27を100nm形成し、さらにその上に金属層17をTa、Al、Ti、Ni、Mo、W、Nb、Zr、Hf、Cr、Cu等の単層または、多層金属および合金で形成する。実施形態1ではTaを用いて300nm程度の膜厚で形成し、パターニングした。実施形態1では、ソース配線5は金属層17とITOからなる透明導電膜27との2層構造とした。この構成にすることにより、ソース配線5を構成する金属層17の一部に膜の欠損があったとしても、透明導電膜27によって電気的に接続されるため、ソース配線5の断線不良を少なくすることができる。
【0035】
ITOからなる透明導電膜27を補助容量配線4まで延ばし、ゲート絶縁膜13を挟んで補助容量配線4との間に補助容量1(Cs)を形成すると同時に、画素電極6との接続として用いた。
【0036】
なお、実施形態1では、補助容量1(Cs)の形成を、ITOからなる透明導電膜27と補助容量配線4でしているが、補助容量配線4は遮光膜としても機能しているので、透明導電膜27は透明でなくてもよく、ITO以外の導電膜でもよい。
【0037】
さらに、層間絶縁膜18として感光性のアクリル樹脂をスピン塗布法によって3μmの膜厚で形成した。続いてこの樹脂に対して所望のパターンに従って露光し、アルカリ性の溶液によって処理した。これによって露光された部分のみがアルカリ性の溶液によってエッチングされ、層間絶縁膜18を貫通するコンタクトホール7を形成する。
【0038】
また、実施形態1で用いた樹脂は塗布前では着色しているが、これは上記パターニング後に全面に露光処理を施すことによって透明化することができる。このような透明化の処理は化学的にも行うことが可能であり、それを用いても良いことは言うまでもない。
【0039】
次に、画素電極6となる透明導電膜19を、ITOを用いて50〜500nmの膜厚で形成した。
【0040】
上記の製造方法により、アクティブマトリクス型液晶表示装置が作製できる。
【0041】
ゲート電極および補助容量配線に陽極酸化膜を形成する従来例に対して、本発明であるゲート電極にのみ陽極酸化膜を形成するアクティブマトリクス型液晶表示装置での補助容量向上の効果を図6に示す。図6では、本発明および従来例ともゲート絶縁膜13はSiNxを用いて300nmの膜厚で形成している。図6は本発明と従来例との相対比較を表しており、従来例のデータは100%のラインである。
【0042】
例えば、ゲート電極としてTaを用いると、その陽極酸化膜はTa2 O5 であり、その陽極酸化膜が300nmの場合、単位面積当たりの補助容量に関して、従来例を100%とすると、本発明では単位面積当たりの補助容量は132%となり、単位面積当たりの補助容量が大幅に向上することがわかる。
【0043】
また、ゲート電極としてAlを用いると、その陽極酸化膜はAl2 O3 であり、その陽極酸化膜が300nmの場合、単位面積当たりの補助容量に関して、従来例を100%とすると、本発明では単位面積当たりの補助容量は162%となり、単位面積当たりの補助容量が大幅に向上することがわかる。
【0044】
従って、本発明のアクティブマトリクス型液晶表示装置では、補助容量配線4においてドレイン電極と画素電極との接続として用いられる透明導電膜27の面積を広げることなく、画素電極の電位変動が許容範囲内にすることが可能になり、高開口率化技術により画素電極面積が大きくなったとしても、補助容量面積を大きくとる必要がなくなる。
【0045】
また、補助容量面積を大きくとる必要がないので、ソース配線5と透明導電膜27との間隔が大きくでき、ソース配線5と透明導電膜27との間で短絡による不良を減らすことができる。
【0046】
また、補助容量配線4は遮光膜としても機能しているので、補助容量面積を大きくとる必要がないので、遮光膜としての面積も大きくする必要がなく、開口率の向上に寄与できる。
【0047】
また、ソース配線とゲート配線、補助容量配線との交差部は陽極酸化処理が行われているため、リークの発生も抑えられるため、良品率良く開口率の高いアクティブマトリクス型液晶表示装置を実現することができる。
【0048】
また、本発明は、Cs On Gate構造の液晶表示装置でも実現することができる。
【0049】
(実施形態2)
別の実施形態として、層間絶縁膜18をもたない構造のアクティブマトリクス型液晶表示装置である実施形態2について説明する。
【0050】
図4に、実施形態2におけるアクティブマトリクス型液晶表示装置の1画素の平面構成、図5に実施形態2におけるアクティブマトリクス型液晶表示装置の1画素のA−A断面構成を示す。図3に、ゲート電極12、補助容量配線4の陽極酸化処理の工程を示す。
【0051】
図3および図5により、実施形態2におけるアクティブマトリクス型液晶表示装置の作製方法を説明する。
【0052】
まず、図3(a)に示すように、透明な絶縁性の基板11上に走査配線であるゲート配線3および走査電極であるゲート電極12、ゲート配線3とほぼ平行になるように補助容量配線4を形成する。ゲート配線3、ゲート電極12および補助容量配線4は陽極酸化可能な金属、例えば、Ta、Al、Ti、Nb、Zr、Hf等の単層、あるいは上記の陽極酸化可能な金属以外の金属層を下地層とし、その上に上記の陽極酸化可能な金属層からなる多層構造である。実施形態2ではTaまたはAlを用いて厚さ300nm程度に形成した。
【0053】
次に、図3(b)に示すように、高い耐電圧を有する高密度型のポリイソプレン系、または環化ポリブタジエン系を主成分とするゴム系のレジスト30を用いて、補助容量配線4の陽極酸化処理を行わない部分をパターニングして覆う。このとき同時に、ゲート配線3、補助容量配線4の表示領域外の領域にて外部からの信号を入力する箇所(端子部等)についても同様に覆ってもかまわない。
【0054】
ここで、電解液によりゲート配線3、ゲート電極12、補助容量配線4を陽極酸化する。実施形態2では、電解液には、電界質として働くクエン酸および酒石酸、リン酸等を混入した水溶液、またはその水溶液に電界集中を防ぐ働きをするエチレングリコールの混入したものを用いた。
【0055】
次に、図3(c)に示すように、陽極酸化処理が終了すると、ゴム系のレジスト30を剥離する。陽極酸化処理を行うことにより、補助容量配線4の補助容量を形成する部分のみが陽極酸化処理が施されずに、それ以外の補助容量配線4およびゲート電極12に陽極酸化膜20が形成される。
【0056】
信号配線であるソース配線5とゲート配線3、補助容量配線4との交差部は陽極酸化膜20が形成される。
【0057】
次に、図3(d)に示すように、陽極酸化膜20および補助容量配線4の上に、ゲート絶縁膜13を、例えばSiNxを用いて300nmの厚さに積層する。ゲート絶縁膜13として、SiNx等の窒化物以外にも、SiO2 、Ta2 O5 、Al2 O3 、TiO2 、Y2 O3 等の酸化物も使用することができる。
【0058】
その後、図5に示すように、半導体層14をCVDにより真性アモーファスSi半導体を50nm形成した。次に、チャネル保護層15をSi3 N4 を用いて300nm形成した。次に、ソース・ドレイン電極となるn+ にドープされたアモーファスSiにてn+ −Si層16を50nm形成した。
【0059】
ソース配線5および画素電極6を構成するITOからなる透明導電膜27を100nm形成し、さらにその上に金属層17をTa、Al、Ti、Ni、Mo、W、Nb、Zr、Hf、Cr、Cu等の単層または、多層金属および合金で形成する。実施形態2ではTaを用いて300nm程度の膜厚で形成し、パターニングする。実施形態2ではソース配線5は金属層17とITOからなる透明導電膜27との2層構造とした。この構成にすることにより、ソース配線5を構成する金属層17の一部に膜の欠損があったとしても、透明導電膜27によって電気的に接続されるため、ソース配線5の断線不良を少なくすることができる。
【0060】
この画素電極6であるITOからなる透明導電膜27とゲート絶縁膜13を介して補助容量配線4との間に補助容量1(Cs)を形成する。
【0061】
上記の製造方法により、アクティブマトリクス型液晶表示装置が作製できる。
【0062】
ゲート電極および補助容量配線に陽極酸化膜を形成する従来例に対して、本発明であるゲート電極にのみ陽極酸化膜を形成するアクティブマトリクス型液晶表示装置での補助容量向上の効果を図6に示す。図6では、本発明および従来例ともゲート絶縁膜13はSiNxを用いて300nmの膜厚で形成している。図6は本発明と従来例との相対比較を表しており、従来例のデータは100%のラインである。
【0063】
例えば、ゲート電極としてTaを用いると、その陽極酸化膜はTa2 O5 であり、その陽極酸化膜が300nmの場合、単位面積当たりの補助容量に関して、従来例を100%とすると、本発明では単位面積当たりの補助容量は132%となり、単位面積当たりの補助容量が大幅に向上することがわかる。
【0064】
また、ゲート電極としてAlを用いると、その陽極酸化膜はAl2 O3 であり、その陽極酸化膜が300nmの場合、単位面積当たりの補助容量に関して、従来例を100%とすると、本発明では単位面積当たりの補助容量は162%となり、単位面積当たりの補助容量が大幅に向上することがわかる。
【0065】
従って、本発明のアクティブマトリクス型液晶表示装置では、単位面積当たりの補助容量が大幅に向上するので、補助容量面積を大きくとる必要がなくなる。
【0066】
また、補助容量面積を大きくとる必要がないので、ソース配線5と透明導電膜27との間隔が大きくでき、ソース配線5と透明導電膜27との間で短絡による不良を減らすことができる。
【0067】
また、補助容量配線4は遮光膜としても機能しているので、補助容量面積を大きくとる必要がないので、遮光膜としての面積も大きくする必要がなく、開口率の向上に寄与できる。
【0068】
また、ソース配線とゲート配線、補助容量配線との交差部は陽極酸化処理が行われているため、リークの発生も抑えられるため、良品率良く開口率の高いアクティブマトリクス型液晶表示装置を実現することができる。
【0069】
また、本発明は、Cs On Gate構造の液晶表示装置でも実現することができる。
【0070】
【発明の効果】
本発明であるゲート電極にのみ陽極酸化膜を形成するアクティブマトリクス型液晶表示装置は、ゲート電極および補助容量配線に陽極酸化膜を形成する従来例に対して、単位面積当たりの補助容量を大幅に向上することができる。
【0071】
従って、本発明のアクティブマトリクス型液晶表示装置では、単位面積当たりの補助容量が大幅に向上するので、補助容量面積を大きくとる必要がなくなる。
【0072】
また、補助容量面積を大きくとる必要がないので、ソース配線と導電膜との間隔が大きくでき、ソース配線と導電膜との間で短絡による不良を減らすことができる。
【0073】
また、補助容量配線は遮光膜としても機能しているので、補助容量面積を大きくとる必要がないので、遮光膜としての面積も大きくする必要がなく、開口率の向上に寄与できる。
【0074】
また、ソース配線とゲート配線、補助容量配線との交差部は陽極酸化処理が行われているため、リークの発生も抑えられるため、良品率が良く、開口率の高いアクティブマトリクス型液晶表示装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態1のアクティブマトリクス型液晶表示装置の1画素の平面構成を示す図である。
【図2】実施形態1のアクティブマトリクス型液晶表示装置の1画素のA−A断面構成を示す図である。
【図3】ゲート電極12、補助容量配線4の陽極酸化処理の工程を示す図である。
【図4】実施形態2のアクティブマトリクス型液晶表示装置の1画素の平面構成を示す図である。
【図5】実施形態2のアクティブマトリクス型液晶表示装置の1画素のA−A断面構成を示す図である。
【図6】補助容量の増加量と陽極酸化膜の膜厚との関係を示すグラフである。
【図7】TFTを用いて形成したアクティブマトリクス型液晶表示装置の構成を示す図である。
【図8】従来のアクティブマトリクス型液晶表示装置の1画素の平面構成を示す図である。
【図9】従来のアクティブマトリクス型液晶表示装置の1画素のA−A断面構成を示す図である。
【符号の説明】
1 補助容量
2 TFT
3 ゲート配線
4 補助容量配線
5 ソース配線
6 画素電極
7 コンタクトホール
11 基板
12 ゲート電極
13 ゲート絶縁膜
14 半導体層
15 チャネル保護層
16 n+ −Si層
17 金属層
18 層間絶縁膜
19 27 透明導電膜
20 陽極酸化膜
30 ゴム系のレジスト
Claims (1)
- スイッチング素子がマトリクス状に形成され、該スイッチング素子を制御する走査配線および該スイッチング素子にデータ信号を供給する信号配線がそれぞれ直交するように形成され、該スイッチング素子にて画素電極が制御され、該画素電極に補助容量が設けられたアクティブマトリクス型液晶表示装置の製造方法において、
絶縁性基板の上に走査配線および前記補助容量を構成する補助容量配線を陽極酸化可能な金属により形成する工程と、
前記補助容量配線の前記補助容量を形成する部分のみを、ゴム系のレジストを用いて覆う工程と、
前記走査電極および前記補助容量配線の前記ゴム系のレジストを用いて覆われていない部分を陽極酸化する工程と、
陽極酸化処理後、前記補助容量配線の前記補助容量を形成する部分を覆っているゴム系のレジストを剥離する工程と、
前記陽極酸化膜および前記補助容量配線の前記補助容量を形成する部分の上に、前記絶縁膜を形成する工程と
を包含することを特徴とするアクティブマトリクス型液晶表示装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23873796A JP3547063B2 (ja) | 1996-09-10 | 1996-09-10 | アクティブマトリクス型液晶表示装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23873796A JP3547063B2 (ja) | 1996-09-10 | 1996-09-10 | アクティブマトリクス型液晶表示装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1090717A JPH1090717A (ja) | 1998-04-10 |
JP3547063B2 true JP3547063B2 (ja) | 2004-07-28 |
Family
ID=17034514
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23873796A Expired - Fee Related JP3547063B2 (ja) | 1996-09-10 | 1996-09-10 | アクティブマトリクス型液晶表示装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3547063B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100333179B1 (ko) * | 1998-06-30 | 2002-08-24 | 주식회사 현대 디스플레이 테크놀로지 | 박막트랜지스터액정표시소자및그의제조방법 |
KR100303069B1 (ko) * | 1999-06-03 | 2001-10-29 | 구본준, 론 위라하디락사 | 액정표시장치 및 그 제조방법 |
KR100672623B1 (ko) * | 2000-08-30 | 2007-01-23 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치 제조방법 |
KR100382955B1 (ko) * | 2000-10-10 | 2003-05-09 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치용 어레이기판과 그 제조방법 |
KR100770472B1 (ko) * | 2003-03-27 | 2007-10-26 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 액정표시소자용 어레이기판의 제조방법 |
-
1996
- 1996-09-10 JP JP23873796A patent/JP3547063B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH1090717A (ja) | 1998-04-10 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040204 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040409 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080423 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110423 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120423 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120423 Year of fee payment: 8 |
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