JP3536531B2 - TiAl系合金部品及びその製造方法 - Google Patents

TiAl系合金部品及びその製造方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【技術分野】本発明は,高温耐酸化性に優れたTiAl
系合金部品及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来技術】TiAl系金属間化合物は,Ti単体より
も軽量で,高温強度が非常に高いという優れた特性を有
する。そのため,TiAl系金属間化合物を主体とする
TiAl系合金部品は,ジェットエンジン部品,自動車
用エンジンのターボチャージャー部品等の軽量,高強度
が要求される部品への応用が期待されている。しかしな
がら,TiAl系金属間化合物は,800℃以上の高温
において耐酸化性が急激に劣化するという問題を有す
る。
【0003】この高温耐酸化性の劣化の原因は,高温下
においてはTiの表面への拡散が激しくなるからである
と考えられる。即ち,TiAl系金属間化合物は,大気
中において800℃以上で急激に酸化が進み,TiO2
が優先的に成長する。その結果,TiAl金属間化合物
からなる母材表面には,最表面からTiO2 層,Al2
3 層,TiO2 ・Al23 層という3層からなる酸
化スケールが形成される。
【0004】そして,酸化の初期段階においては,第2
層目のAl23 層によって耐酸化性が確保される。こ
れは,酸化の初期段階においては,Al23 が連続し
て形成されているため,このAl23 層によって母材
から表面へのTiの拡散,及び表面から母材へのO(酸
素)の拡散が抑制されるからであると考えられる。しか
し,さらに酸化が進んだ場合には,Tiの拡散が進み,
上記第2層目のAl23 層の連続性が失われる。その
ため,Al23 層によるTi及びOの拡散抑制効果が
損なわれ,TiAl系金属間化合物の耐酸化性は低下す
る。
【0005】これに対し,高温耐酸化性を改善する方法
として,以下の方法が提案されている。まず第1の方法
は,特公平4−63148号公報に示された,TiAl
系金属間化合物の表面にAl23 よりなる耐酸化皮膜
を形成する方法である。この方法は,低酸素雰囲気下で
加熱することにより,TiAl系金属間化合物の表面に
おいて選択的にAlを酸化させてAl23 層を形成
し,これを耐酸化皮膜として高温耐酸化性を向上させた
ものである。
【0006】第2の方法は,特開平5−78817号公
報に示された,TiAl系金属間化合物の表面に深さ
0.5μm以上の厚さを有するMo,Wの少なくとも1
種の濃化層を形成する方法である。この方法は,TiA
l系金属間化合物表面に耐酸化性を有するTiAl−
(W,Mo)合金層を形成し,耐酸化性を向上させたも
のである。この濃化層を形成する手段として,スパッタ
リングと拡散処理による方法,粉末パック処理による方
法,粉末パック処理と拡散処理による方法が示されてい
る。
【0007】
【解決しようとする課題】しかしながら,上記従来の耐
酸化性改善方法においては,次の問題がある。まず,上
記第1の方法においては,母材の表面に形成されるAl
23 層の緻密性が不十分であり,Tiの表面への拡散
を十分に抑制できない。そのため,母材とAl23
との密着性や,Al23 層の長期安定性に劣る。
【0008】上記第2の方法においては,スパッタリン
グ又は粉末パック処理によってW等をTiAl系金属間
化合物の表面に付着させている。そのため,複雑形状又
は大型形状の表面へW等を付着させることが難しく,W
等の濃化層を均一に形成することが困難である。それ
故,部品が複雑形状又は大型形状の場合には,部分的に
耐酸化性が低い部分が残ってしまう。
【0009】本発明は,かかる従来の問題点に鑑みてな
されたもので,複雑な形状または大型形状であっても,
その表面全体に均一な高温耐酸化皮膜を有し,耐酸化性
に優れたTiAl系合金部品及びその製造方法を提供し
ようとするものである。
【0010】
【課題の解決手段】請求項1の発明は,タングステン,
ニオブ又はタンタルのいずれかの金属元素を含有する金
属化合物と溶媒とを出発原料として作製した上記金属元
素の酸化物よりなる酸化物ゾル溶液を調整し,該酸化物
ゾル溶液を,TiAl系金属間化合物よりなる母材の表
面にコーティングし,次いで,真空雰囲気中において真
空加熱を行うことにより,上記母材の表面に高温耐酸化
皮膜を形成することを特徴とするTiAl系合金部品の
製造方法にある。
【0011】本発明において最も注目すべきことは,上
記酸化物ゾル溶液を用いたゾルゲル法を利用することで
ある。そして,上記真空加熱を行うことである。
【0012】上記酸化物ゾル溶液は,ゾルゲル法によっ
て,WO3 (酸化タングステン),Nb2 5 (酸化ニ
オブ)又はTa2 5 (酸化タンタル)のいずれかの皮
膜を上記母材の表面に形成するためのゾル溶液である。
該酸化物ゾル溶液は,上記金属化合物と溶媒とを出発原
料として作製される。具体的には,アルコール等の溶媒
中に上記のタングステン,ニオブ又はタンタルの金属化
合物を混合して攪拌して溶解するという手順で作製す
る。また,上記溶媒は,金属化合物の種類に応じて,例
えば,アルコール,水,又はアルコールと水との混合
液,トルエン,キシレン等を用いることができるが,安
全性を考慮すると,アルコ−ルが好ましい。
【0013】次に,本発明の製造方法における作用につ
き説明する。本発明の製造方法においては,ゾルゲル法
を用いて,上記酸化物ゾル溶液を上記母材表面にコーテ
ィングする。そのため,母材が複雑形状または大型形状
である場合でも,母材表面全体に,均一な酸化物皮膜を
形成することができる。
【0014】また,上記酸化物皮膜を母材表面に形成し
た後,上記真空加熱を行う。そのため,上記酸化物皮膜
中のW,Nb又はTaのいずれかと母材中のTiの拡散
が起こる。一方,酸化物皮膜中のO(酸素)と真空雰囲
気中に残存する微量のOによって,母材表面が酸化され
る。これにより,母材表面には,3つの層からなる高温
耐酸化皮膜が形成される。
【0015】該高温耐酸化皮膜は,WO3 ・TiO2
Al23 ,Ta2 5 ・TiO2・Al23 又はT
2 5 ・TiO2 ・Al23 のいずれかよりなる最
表面第1層と,TiO2 ・Al23 よりなる第2層
と,Al23 層よりなる第3層とにより構成される。
そして,各層には金属W,金属Nb又は金属Taのいず
れかが分散してなる。即ち,上記第1層がWO3 ・Ti
2 ・Al23 の場合には金属Wが,Nb25 ・T
iO2 ・Al23 の場合には金属Nbが,Ta 2 5
・TiO2 ・Al23 の場合には金属Taが,それぞ
れ各層に分散する。
【0016】次に,請求項2の発明のように,上記酸化
物ゾル溶液の出発原料として用いる上記金属化合物の種
類によっては,上記コーティング後,上記真空加熱前
に,コーティングした皮膜(WO3 皮膜,Nb25
膜又はTa2 5 皮膜のいずれか)を結晶化させるため
の加熱を行うことが必要である。
【0017】この場合の加熱温度は,400℃以上であ
ることが好ましい。これにより,母材表面全体のWO3
皮膜,Nb25 皮膜又はTa2 5 皮膜のいずれかを
均一に結晶化させることができる。上記加熱温度が40
0℃未満の場合には,上記皮膜が,TiAl表面に水分
をわずかに含んだ非晶質の状態で存在し,真空加熱時に
TiAlの酸化が促進され,後述する高温耐酸化皮膜中
の第3層に位置するAl23 層の緻密性が低下すると
いう問題がある。
【0018】次に,請求項3の発明のように,上記タン
グステンを含有する金属化合物としては,タングステン
系金属アルコキシド,タングステン系金属アセチルアセ
トナート,タングステン系塩化物,タングステン酸化合
物から選択される1種以上の化合物を用いることができ
る。具体的には,タングステン系金属アルコキシドとし
ては,W(OC256 ,W(OC376 ,W
(OC496 ,W(OC255 ,W(OC3
75 等がある。タングステン系金属アセチルアセトナ
ートとしては,W(O2 5 7 6 ,W(O2 5
7 5 等がある。タングステン系塩化物としては,WC
6 ,WCl5 ,WOCl4 等がある。タングステン酸
化合物としては,H2 WO4 ,Na2 WO4 ,Na2
4 ・2H2 O等がある。
【0019】また,請求項4の発明のように,上記ニオ
ブを含有する金属化合物としては,ニオブ系金属アルコ
キシド,ニオブ系金属アセチルアセトナート,ニオブ系
塩化物から選択される1種以上の化合物を用いることが
できる。具体的には,ニオブ系金属アルコキシドとして
は,Nb(OCH3 5 ,Nb(OC2 5 5 ,Nb
(OC3 7 5 等がある。またニオブ系金属アセチル
アセトナートとしては,Nb(O2 5 7 5 等があ
る。またニオブ系塩化物としては,NbCl5,NbO
Cl3 等がある。
【0020】また,請求項5の発明のように,上記タン
タルを含有する金属化合物としては,タンタル系金属ア
ルコキシド,タンタル系金属アセチルアセトナート,タ
ンタル系塩化物から選択される1種以上の化合物を用い
ることができる。具体的には,タンタル系金属アルコキ
シドとしては,Ta(OCH3 5 ,Ta(OC
2 5 5 ,Ta(OC3 7 5 等がある。またタン
タル系金属アセチルアセトナートとしては,Ta(O2
5 7 5 等がある。またタンタル系塩化物として
は,TaCl5 ,TaOCl3 等がある。
【0021】また,請求項6の発明のように,上記酸化
物ゾル溶液は,上記金属化合物と錯体を形成するキレー
ト剤を添加していることが好ましい。これにより,上記
酸化物ゾル溶液を安定化させることができる。上記キレ
ート剤としては,アセチルアセトン,ジエタノールアミ
ン,トリエタノールアミン等がある。
【0022】次に,上記コーティングは,ゾルゲル法を
用いて,いわゆるディップ法,スピン法,スプレー法等
により行うことができる。
【0023】また,請求項7の発明のように,上記真空
加熱は,真空度1.3Pa〜1.3×10-5Pa,温度
800〜1100℃で行うことが好ましい。これによ
り,高温耐酸化皮膜を,母材表面に均一に形成すること
ができる。
【0024】上記真空度が1.3Paを越える場合に
は,高温耐酸化皮膜中の第3層に位置するAl23
層の緻密性が低下するという問題があり,1.3×10
-5Pa未満の場合には,TiAl母材中のAlが蒸発す
るという問題がある。また,上記温度が800℃未満の
場合には,高温耐酸化皮膜の形成に長時間かかり,生産
性が悪いという問題があり,一方1100℃を越える場
合には,TiAl母材中のAlが蒸発するという問題が
ある。
【0025】次に,請求項8の発明のように,上記製造
方法により製造されたTiAl系合金部品としては,次
のものがある。即ち,TiAl系金属間化合物からなる
母材と,その表面に形成された高温耐酸化皮膜とよりな
るTiAl系合金部品であって,上記高温耐酸化皮膜
は,WO3 ・TiO2 ・Al23 ,Nb25 ・Ti
2 ・Al23 又はTa2 5 ・TiO2 ・Al2
3 のいずれかよりなる最表面に位置する第1層と,該第
1層の下に位置するTiO2 ・Al23 よりなる第2
層と,該第2層と上記母材との間に位置するAl23
よりなる第3層とから構成されており,かつ,上記高温
耐酸化皮膜を構成する各層には,それぞれ上記第1層に
対応する金属W,金属Nb又は金属Taのいずれかが分
散していることを特徴とするTiAl系合金部品があ
る。
【0026】本発明のTiAl系合金部品において最も
注目すべきことは,上記母材の表面には,上記特定の3
層よりなる高温耐酸化皮膜を有することである。
【0027】次に,本発明のTiAl系合金部品におけ
る作用につき説明する。本発明のTiAl系合金部品
は,上記高温耐酸化皮膜を有する。そして,高温耐酸化
皮膜における最表面に位置する第1層は,WO3 ・Ti
2 ・Al23,Nb25 ・TiO2 ・Al23
又はTa2 5 ・TiO2 ・Al23 のいずれかより
なると共に,これに対応する金属W,金属Nb又は金属
Taのいずれかが分散している。そのため,第1層は,
外表面から母材へのOの拡散,及び母材から表面へのT
iの拡散を抑制する。
【0028】また,上記第2層及び第3層は,上記酸化
物の層に金属W,金属Nb又は金属Taのいずれかが分
散している。そのため,上記第2層及び第3層は,緻密
化し,上記したようなO及びTiの拡散をさらに抑制す
る。それ故,TiAl系金属間化合物の酸化を抑制する
ことができ,TiAl系合金部品の高温耐酸化性を大幅
に向上させることができる。
【0029】次に,請求項9の発明のように,上記高温
耐酸化皮膜の厚さは5.0μm以下であり,かつ,上記
第1層の厚さは0.001〜0.2μm,上記第3層の
厚さは0.1〜5.0μmであることが好ましい。上記
高温耐酸化皮膜の厚さが5.0μmを超える場合には,
高温耐酸化皮膜と母材の密着性が低下するという問題が
ある。
【0030】また,上記第1層の厚さが0.001μm
未満の場合には,母材から表面へのTiの拡散を抑制す
る効果が低下するという問題があり,一方,0.2μm
を超える場合には,第1層目の密着性が低下するという
問題がある。また,上記第3層の厚さが0.1μm未満
の場合には,O及びTiの拡散を抑制する効果が低下す
るという問題があり,一方,5.0μmを超える場合に
は,高温耐酸化皮膜の密着性が低下するという問題があ
る。
【0031】
【発明の実施の形態】
実施形態例1 本発明の実施形態例にかかるTiAl系合金部品及びそ
の製造方法につき,図1を用いて説明する。本例のTi
Al系合金部品は,自動車用エンジンのターボチャージ
ャーロータである。該TiAl系合金部品10は,図1
に示すごとく,TiAl系金属間化合物からなる母材1
1と,その表面に形成された高温耐酸化皮膜12とより
なる。
【0032】上記高温耐酸化皮膜12は,図1に示すご
とく,最表面に位置するWO3 ・TiO2 ・Al23
よりなる第1層121と,第1層121の下に位置する
TiO2 ・Al23 よりなる第2層122と,第2層
122と母材11との間に位置するAl23 よりなる
第3層123とから構成されている。また,高温耐酸化
皮膜12を構成する各層121,122,123には,
それぞれ金属Wが分散している。
【0033】また,図1に示すごとく,高温耐酸化皮膜
12の厚さHは5.0μm以下である。また,第1層1
21の厚さH1は0.001〜0.2μm,第3層の厚
さH3は0.1〜5.0μmである。
【0034】次に,上記TiAl系合金部品10を製造
するに当たっては,下記のようにタングステン化合物と
溶媒とを出発原料として作製したWO3 ゾル溶液をTi
Al系金属間化合物よりなる母材の表面にコーティング
し,次いで,真空雰囲気中において真空加熱を行った。
また,本例においては,上記コーティング後,上記真空
加熱前に,コーティングした皮膜を結晶化させるための
加熱を行った。
【0035】以下,製造方法につき詳述する。まず,タ
ングステン化合物としてのヘキサエトキシタングステン
W(OC256 4gと,溶媒としての1−ブタノー
ル45.0gと,キレート剤としてのアセチルアセトン
1.0gを混合し,10分間攪拌する。次いで,この溶
液を117℃の温度で2時間還流した後冷却し,WO3
ゾル溶液とする。
【0036】次に,予めアセトンにより洗浄したTiA
l系合金部品の母材に対して,ディップコーティングに
より上記WO3 ゾル溶液をコーティングする。ディップ
コーティングの引き上げ速度は60mm/minにより
行う。コーティングの後,500℃の温度で30分間加
熱を行い,母材表面にWO3 皮膜を得る。
【0037】次いで,真空度6.7×10-2Pa,温度
1000℃で24時間真空加熱を行う。これにより,上
記TiAl系合金部品10が得られる。
【0038】次に本例の作用効果につき説明する。本例
の製造方法においては,ゾルゲル法を用いて,上記WO
3 ゾル溶液を母材11の表面にコーティングする。その
ため,母材11が,本例のターボチャージャーロータの
ごとく,複雑な形状である場合でも,母材11の表面全
体に,均一なWO3 皮膜を形成することができる。
【0039】また,上記WO3 皮膜を母材11の表面に
形成した後,上記真空加熱を行う。そのため,上記WO
3 皮膜中のWと母材11中のTiの拡散が起こる。一
方,WO3 皮膜中のO(酸素)と真空雰囲気中に残存す
る微量のOによって,母材11の表面が酸化される。こ
れにより,図1に示すごとく,母材11の表面には,3
つの層からなる高温耐酸化皮膜12が形成される。
【0040】高温耐酸化皮膜12は,上述したごとく,
最表面に位置するWO3 ・TiO2・Al23 よりな
る第1層121と,第1層121の下に位置するTiO
2 ・Al23 よりなる第2層122と,第2層122
と母材11との間に位置するAl23 よりなる第3層
123とから構成され,各層には金属Wが分散してい
る。
【0041】次に,上記製造方法により得られたTiA
l系合金部品10は,以下のごとく,優れた高温耐酸化
性を示す。即ち,本例のTiAl系合金部品10は,高
温耐酸化皮膜12を有する。そして,高温耐酸化皮膜1
2の最表面に位置する第1層121は,WO3 ・TiO
2・Al23 よりなると共に,金属Wが分散してい
る。そのため,第1層121は,外表面から母材11へ
のOの拡散,及び母材11から表面へのTiの拡散を抑
制する。
【0042】また,上記第2層122及び第3層123
は,上記酸化物の層に金属Wが分散している。そのた
め,第2層122及び第3層123は,緻密化し,上記
したようなO及びTiの拡散をさらに抑制する。それ
故,TiAl系金属間化合物の酸化を抑制することがで
き,TiAl系合金部品10の高温耐酸化性を大幅に向
上させることができる。
【0043】実施形態例2 本例においては,図2に示すごとく,実施例1において
得られたTiAl系合金部品10の高温連続酸化試験を
実施した。試験は,大気中において温度900℃に加熱
し,その加熱保持時間に対する酸化増量(g/m2 )を
測定した。
【0044】また,比較のために,以下の3種類の比較
品を準備し,上記高温連続酸化試験を実施した。比較品
1としては,TiAl系金属間化合物のままで表面処理
を何も施していない部品を用いた。
【0045】比較品2としては,実施形態例1のTiA
l系合金部品10と同様の手順により,ゾルゲル法によ
って母材表面にWO3 皮膜を形成したが,真空加熱処理
を行わなかった部品を用いた。比較品3としては,Ti
Al系合金部品の表面に実施形態例1のようなWO3
膜形成の処理を何ら行わず,実施形態例1と同様の条件
で真空加熱処理のみを施した部品を用いた。
【0046】試験結果を図2に示す。図2は,横軸に9
00℃の加熱保持時間,縦軸に加熱前に比べて増加した
酸化量をとった。実線Eは実施形態例1において製造し
たTiAl系合金部品10を示し,破線C1は上記比較
品1,破線C2は上記比較品2,破線3は上記比較品3
を示す。
【0047】図2により知られるごとく,比較品1の表
面処理を施していない従来のTiAl系合金部品は,約
50時間まで急激に酸化量が増加し,その後も高い比率
で酸化が進んだ。また,比較品2,3は,いずれも比較
品1に比べて酸化増量の増加率が減少するものの,依然
高い比率で酸化が進んだ。これに対し,本例のTiAl
系合金部品10は,約50時間まで若干量酸化が進んだ
が,その後は,ほとんど酸化の進行がみられず,非常に
良好な高温耐酸化性を示すことが分かった。
【0048】実施形態例3 本例においては,図3に示すごとく,TiAl金属間化
合物の母材11よりなるターボチャージャーロータの表
面に,実施形態例1とは別の高温耐酸化被膜22を形成
した。
【0049】即ち,本例における高温耐酸化被膜22
は,図3に示すごとく,最表面に位置するNb2 5
TiO2 ・Al2 3 よりなる第1層221と,その下
に位置するTi2 2 ・Al2 3 よりなる第2層22
2と,該第2層222と母相11との間に形成されたA
2 3 よりなる第3層223とよりなる。そして,こ
の第1〜第3層221,222,223には,それぞれ
金属Nbが分散している。
【0050】このTiAl系合金部品を製造するに当た
っては,実施形態例1におけるタングステン化合物に代
えて,ニオブ化合物を用いて調整した酸化ニオブゾル溶
液を用いる。即ち,まずニオブ化合物としてペンタエト
キシニオブNb(OC2 2 5 を10.8gと,キレ
ート剤としてのジエタノールアミンを3.6g準備し,
これらを混合した後,1時間攪拌する。これにより,酸
化ニオブゾル溶液が得られる。
【0051】次に,予めアセトンにより洗浄したTiA
l系合金部品の母材に対して,ディップ法により上記酸
化ニオブゾル溶液をコーティングする。ディップ後の母
材の引き上げ速度は3mm/秒とした。次に,コーティ
ングした母材を,500℃の温度で30分間加熱し,母
材表面に酸化ニオブ膜を形成する。
【0052】次いで,酸化ニオブ膜を有する母材を,真
空度1.3×10-4Pa,温度1000℃で24時間真
空加熱する。その他の条件等については,実施形態例1
と同様である。これにより,上記高温耐酸化被膜22を
有するTiAl系合金部品20が得られる。
【0053】本例により得られたTiAl系合金部品2
0の表面には,上記高温耐酸化被膜22が非常に均一に
形成されている。そのため,実施形態例1における高温
耐酸化被膜12と同様に,TiAl系合金部品の高温耐
酸化性を大きく向上させることができる。その他,実施
形態例1と同様の効果が得られる。
【0054】実施形態例4 本例においては,図4に示すごとく,実施形態例3にお
いて得られたTiAl系合金部品20の高温連続酸化試
験を実施した。試験の条件等については,実施形態例2
と同様にした。
【0055】また,本例においても,比較のために,以
下の3種類の比較品を準備し,これらも同様に試験し
た。比較品4は,実施形態例2における比較品1と同様
であり,TiAl系金属間化合物のままで表面処理を何
も施していない部品である。
【0056】比較品5は,実施形態例3と同様に母材の
表面に酸化ニオブ被膜を形成したが,真空熱処理を行わ
なかった部品である。比較品6は,母材表面に何ら被膜
形成の処理を行わず,実施形態例3と同様の条件で真空
加熱処理のみを施した部品である。
【0057】試験結果を図4に示す。図4における縦
軸,横軸は,図2と同様とし,実施形態例3の部品を実
線E3,比較品4,5,6をそれぞれ破線C4,C5,
C6により示した。図4より知られるごとく,上記高温
耐酸化被膜22を有する本発明品は,非常に優れた高温
耐酸化性を示すことが分かる。
【0058】尚,上記各実施例においては,高温耐酸化
被膜を作製するための酸化物ゾル溶液としてタングステ
ン酸化物ゾル溶液又はニオブ酸化物ゾル溶液を用いた
が,これをタンタル酸化物ゾル溶液に代えた場合におい
ても,上記と同様の効果が得られる。
【0059】
【発明の効果】上述のごとく,本発明によれば,複雑な
形状または大型形状であっても,その表面全体に均一な
高温耐酸化皮膜を有し,耐酸化性に優れたTiAl系合
金部品及びその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態例1のTiAl系合金部品の断面図を
示す説明図。
【図2】実施形態例2における,加熱保持時間と酸化増
量の関係を示す説明図。
【図3】実施形態例3のTiAl系合金部品の断面を示
す説明図。
【図4】実施形態例4における,加熱保持時間と酸化増
量の関係を示す説明図。
【符号の説明】
10,20...TiAl系合金部品, 11...母材, 12,22...高温耐酸化皮膜, 121...第1層(WO3 ・TiO2 ・Al23
に金属Wが分散した層), 122...第2層(TiO2 ・Al23 層に金属W
が分散した層), 123...第3層(Al23 層に金属Wが分散した
層), 221...第1層(Nb2 5 ・TiO2 ・Al2
3 層に金属Nbが分散した層), 222...第2層(TiO2 ・Al23 層に金属N
bが分散した層), 223...第3層(Al23 層に金属Nbが分散し
た層),
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭58−41720(JP,A) 特開 昭56−35771(JP,A) 特開 平5−239614(JP,A) 特開 平5−148656(JP,A) 特開 平5−78817(JP,A) 特開 平3−24275(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C23C 20/08 C23C 28/04

Claims (9)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 タングステン,ニオブ又はタンタルのい
    ずれかの金属元素を含有する金属化合物と溶媒とを出発
    原料として作製した上記金属元素の酸化物よりなる酸化
    物ゾル溶液を調整し,該酸化物ゾル溶液を,TiAl系
    金属間化合物よりなる母材の表面にコーティングし,次
    いで,真空雰囲気中において真空加熱を行うことによ
    り,上記母材の表面に高温耐酸化皮膜を形成することを
    特徴とするTiAl系合金部品の製造方法。
  2. 【請求項2】 請求項1において,上記コーティング
    後,上記真空加熱前に,コーティングした皮膜を結晶化
    させるための加熱を行うことを特徴とするTiAl系合
    金部品の製造方法。
  3. 【請求項3】 請求項1又は2において,上記タングス
    テンを含有する金属化合物は,タングステン系金属アル
    コキシド,タングステン系金属アセチルアセトナート,
    タングステン系塩化物,タングステン酸化合物から選択
    される1種以上の化合物であることを特徴とするTiA
    l系合金部品の製造方法。
  4. 【請求項4】 請求項1又は2において,上記ニオブを
    含有する金属化合物は,ニオブ系金属アルコキシド,ニ
    オブ系金属アセチルアセトナート,ニオブ系塩化物から
    選択される1種以上の化合物であることを特徴とするT
    iAl系合金部品の製造方法。
  5. 【請求項5】 請求項1又は2において,上記タンタル
    を含有する金属化合物は,タンタル系金属アルコキシ
    ド,タンタル系金属アセチルアセトナート,タンタル系
    塩化物から選択される1種以上の化合物であることを特
    徴とするTiAl系合金部品の製造方法。
  6. 【請求項6】 請求項1〜5のいずれか1項において,
    上記酸化物ゾル溶液には,上記金属化合物と錯体を形成
    するキレート剤を添加していることを特徴とするTiA
    l系合金部品の製造方法。
  7. 【請求項7】 請求項1〜6のいずれか1項において,
    上記真空加熱は,真空度1.3Pa〜1.3×10-5
    a,温度800〜1100℃で行うことを特徴とするT
    iAl系合金部品の製造方法。
  8. 【請求項8】 TiAl系金属間化合物からなる母材
    と,その表面に形成された高温耐酸化皮膜とよりなるT
    iAl系合金部品であって,上記高温耐酸化皮膜は,W
    3 ・TiO2 ・Al23 ,Nb25 ・TiO2
    Al23 又はTa2 5 ・TiO2 ・Al23 のい
    ずれかよりなる最表面に位置する第1層と,該第1層の
    下に位置するTiO2 ・Al23 よりなる第2層と,
    該第2層と上記母材との間に位置するAl23 よりな
    る第3層とから構成されており,かつ,上記高温耐酸化
    皮膜を構成する各層には,それぞれ上記第1層に対応す
    る金属W,金属Nb又は金属Taのいずれかが分散して
    いることを特徴とするTiAl系合金部品。
  9. 【請求項9】 請求項8において,上記高温耐酸化皮膜
    の厚さは5.0μm以下であり,かつ,上記第1層の厚
    さは0.001〜0.2μm,上記第3層の厚さは0.
    1〜5.0μmであることを特徴とするTiAl系合金
    部品。
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