JP3533805B2 - 光学測定装置 - Google Patents
光学測定装置Info
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Description
反射率測定装置などの光学測定装置に関し、さらに詳細
には固体試料の光学測定を行う測定装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】固体試料表面を測定する分光色彩計など
の光学測定装置には、測定箇所に外部からの光がなるべ
く当たらないように測定しようとする試料の測定面を測
定装置の試料取付場所に密着あるいは近接するように取
り付けるものがある。試料を測定装置の測定部に密着あ
るいは近接するようにして測定する装置の場合、試料の
取付け方には大きく分けて、（１）測定装置の試料取付
部が測定部の上面側にあり、単にこの試料取付部に試料
を載せ、測定部上面に接している試料の下面の測定を行
う方法、（２）測定装置の試料取付部が測定部の下面側
にあり、試料取付部に試料を下から当てるようにして取
り付け、取り付けた試料が測定部と接する上面の測定を
行う方法、（３）測定装置の試料取付部が測定部の横面
にあり、試料を立てて、横面にある取り付け部位に密着
するように押しつけ、測定部と接する横面の測定を行う
方法がある。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の試
料の取付方法は、取付けに際し、いろいろな問題があっ
た。すなわち、第１に、試料を上から、あるいは下か
ら、あるいは横から測定部に密着させるいずれの場合に
おいても、測定面は測定者からは裏側面となるので、測
定ポイントが試料面のいずれの場所なのかが非常にわか
りにくく、正確な位置決めが困難であった。もしも、測
定部位を観察しながら試料の取付けを行おうとすると、
測定部内にモニタカメラなどを設けて測定面が観察でき
るようにしなければならず、装置構造が複雑かつ大型化
し、高価なものとならざるを得なかった。また、上に載
せる方法では、試料を取り付ける位置である測定部の測
定光入射口（開口部）が上面にあることから測定光入射
口から測定部内部に埃が入りやすく、埃による光学系へ
の影響が問題となった。また、測定部の横面に取り付け
る方法では、片手で試料を支えつつ、片手で試料固定部
材を調整しなければならないので取付作業が困難であ
り、測定位置に微調整を行うのが難かしかった。さらに
横面への取り付けでは試料を立てて保持しなければなら
ないため、試料を押しつける力が大きくなったり、柔ら
かい試料や割れ易い試料の取付けが困難となったり、押
圧力が弱いと滑り落ちたりすることとなった。 【０００４】本発明は、測定部に試料を密着して測定す
る際の試料の取り付けに関する上記のような問題を解決
し、測定ポイントを目視にて観察しつつ簡単に位置決め
が可能であって試料の取り付けが容易にできる固体試料
光学測定装置を提供することを目的とする。 【０００５】 【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
になされた本発明の光学測定装置は、試料台に載置され
た被測定試料の光学測定を行う光学測定装置において、
試料台に載置される被測定試料に当接されるとともに、
被測定試料の測定領域に対応する位置に開口部を有する
基準板と、被測定試料を基準板と試料台とにより挟持さ
せる試料固定手段と、基準板あるいは試料台を、水平状
態および傾斜状態に保持する移動手段と、を備え、か
つ、基準板が傾斜状態で保持されたときに、前記基準板
の開口部に近接あるいは当接するように測定部の測定光
入射口が設けられていることを特徴とする。 【０００６】本発明の装置では、試料をセットするとき
は、移動手段が取り付けてある基準板あるいは試料台を
水平状態にしておく。この状態で試料を試料台の上に載
置し、試料固定手段により試料を基準板と試料台との間
に挟むようにして固定する。このとき、被測定試料測定
面のうちの所望の測定領域が基準板の開口部にくるよう
に調整する。すなわち、被測定試料の測定したい位置を
基準板の開口部に合わせるだけで測定位置の位置合わせ
を行うことができる。位置合わせが済むと試料固定手段
を用いて試料を基準板と試料台で挟むようにして固定す
る。これにより、試料を正確に位置合わせすることがで
き、続いて移動手段を用いて、基準板と被測定試料と試
料台とを傾斜状態にする。このとき、被測定試料の測定
したい位置が測定部の測定光入射口に対向することとな
り、正確に測定領域の測定を行うことができる。 【０００７】 【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図を用い
て説明する。図１は本発明の一実施例を示す分光色彩計
を示す構成図であり、図２は基準板の平面図である。 【０００８】図に示すように、この分光色彩計１０で
は、試料台１は試料２を載置できるようになっている。
３は基準板で図２に示すように中央部分に開口３ａが設
けられている。この開口部３ａは、試料の測定面のうち
の測定位置を決めるための目印となる。なお、位置決め
をさらに容易にするために、開口３ａの縁部分には十字
の印３ｂとスケール３ｃとが刻印されており、十字の中
心位置が測定部の測定光入射口位置の中心に対応するよ
うになっている。基準板３は支軸４を中心として回動可
能に取り付けてある。そして、基準板３が水平になる状
態と、基準板３が４５度傾斜した状態との２つの位置で
保持できるように、図示しない止め金等のロック機構が
設けてある。基準板３には、その下側に試料台支持体５
が取り付けてあり、これにより試料台１が基準板３の下
側に保持できるようになっている。また試料台支持体５
には試料台昇降ネジ６が設けてあり、これにより試料台
１と基準板３との間の間隔を広げたり狭くしたりするこ
とができるようになっており、間隔を狭くすることによ
り、試料２を基準板３と試料台１との間に挟み込んで固
定することができる。 【０００９】光学測定装置の測定部７には被測定試料か
らの測定光が入射される入射口７ａが設けられている。
この入射口７ａは、基準板３が４５度傾斜の位置に保持
されたときに試料と近接するとともに、基準板３の開口
３ａの中心が対向するような位置に設けられている。し
たがって、十字の目印３ｂ等で試料の測定面上の測定し
ようとする位置を正確に合わせることにより、所望の測
定位置を測定光入射口７ａに対向させることができて、
位置決めを終えた後に基準板３を４５度傾斜位置に移動
することにより、測定位置を測定光入射口７ａに近接さ
せた状態で、この測定位置の測定が正確に行える。 【００１０】本実施例では測定時の基準板の傾斜角度を
４５度としたが、これに限るものではない。およそ３０
度から６０度程度の間であれば本発明を趣旨に沿うもの
となる。すなわち、傾斜角度が小さすぎると測定部７が
視線を遮ることになって、セット時に試料取り付けが行
いにくくなるし、傾斜角度が大きすぎると試料がすべり
落ち易くなるので試料を基準板と試料台との間に挟み込
む力を大きくする必要が生じてしまう。したがって上記
の角度範囲において本発明が有効になる。 【００１１】また、本実施例では基準板３が支軸４を中
心に回動することとしたが、試料台側を支軸を中心とし
て回動可能にして、その上の基準板を試料台が支持する
ようにしてもよい。 【００１２】 【発明の効果】以上、説明したように本発明の光学測定
装置は、基準板を水平状態にして基準板の開口部に試料
の測定位置を正確に位置合わせしながら基準板と試料台
とにより試料を固定した上で、基準板を移動して測定光
入射口に試料を対向させるようにした。したがって、試
料のセットを水平な台に試料を載せたまま、しかも基準
板の開口を見ながら位置合わせすることができるので、
容易に正確な位置合わせができる。そして、正確な位置
決めをした後で、試料を移動して測定部の入射光に近接
あるいは当接して測定することができるので、測定時に
外部の光が入りにくく、感度のよい測定ができる。
図。 【符号の説明】 １：試料台 ２：試料 ３：基準板 ３ａ：開口部 ３ｂ：十字の目印 ３ｃ：スケール ４：支軸（移動手段） ５：試料台支持体 ６：試料台昇降ネジ ７：測定部 ７ａ：測定光入射口
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 試料台に載置された被測定試料の光学測
定を行う光学測定装置において、試料台に載置される被
測定試料に当接されるとともに、被測定試料の測定領域
に対応する位置に開口部を有する基準板と、被測定試料
を基準板と試料台とにより挟持させる試料固定手段と、
基準板あるいは試料台を、水平状態および傾斜状態に保
持する移動手段と、を備え、かつ、基準板が傾斜状態で
保持されたときに、前記基準板の開口部に近接あるいは
当接するように測定部の測定光入射口が設けられている
ことを特徴とする光学測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01592196A JP3533805B2 (ja) | 1996-01-31 | 1996-01-31 | 光学測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01592196A JP3533805B2 (ja) | 1996-01-31 | 1996-01-31 | 光学測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09210898A JPH09210898A (ja) | 1997-08-15 |
| JP3533805B2 true JP3533805B2 (ja) | 2004-05-31 |
Family
ID=11902256
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP01592196A Expired - Fee Related JP3533805B2 (ja) | 1996-01-31 | 1996-01-31 | 光学測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3533805B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6481188B1 (ja) * | 2018-06-20 | 2019-03-13 | スガ試験機株式会社 | 写像性測定器 |
-
1996
- 1996-01-31 JP JP01592196A patent/JP3533805B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09210898A (ja) | 1997-08-15 |
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| Date | Code | Title | Description |
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| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20031215 |
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| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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