JP3529597B2 - 樹脂成形型 - Google Patents
樹脂成形型Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、アロイフリー型電
力素子のウェーハの外周部を耐熱、耐絶縁性の樹脂で環
装するための樹脂成形型に関する。
力素子のウェーハの外周部を耐熱、耐絶縁性の樹脂で環
装するための樹脂成形型に関する。
【０００２】
【従来の技術】タングステン等の金属で包囲する冶金工
程を不要化して、ウェーハを装着するだけで済むアロイ
フリー型の電力素子としてサイリスタがある。この場
合、アノード電極やゲート電極等の電極間の絶縁性を保
持するために、図３に示すように、ウェーハ１の外周部
を絶縁性環状部２で覆う必要があった。
程を不要化して、ウェーハを装着するだけで済むアロイ
フリー型の電力素子としてサイリスタがある。この場
合、アノード電極やゲート電極等の電極間の絶縁性を保
持するために、図３に示すように、ウェーハ１の外周部
を絶縁性環状部２で覆う必要があった。
【０００３】図４は絶縁性環状部２を形成するための従
来の樹脂成形型の構成を示す縦断面図である。同図にお
いて、テフロンと称される弗化樹脂でなる下型１１と上
型１２とでウェーハ１を挟持している。このうち、下型
１１は上方中央に凹状部１３が形成され、その外周部が
ウェーハ１を挟持する円筒状端部１５になっている。こ
れに対応して上型１２の下方中央に凹状部１４が形成さ
れ、その側方がウェーハ１を挟持する円筒状端部１６に
なっている。ウェーハ１から見て下型１１の反対側の中
央の凹状部１３の中央からネジ等により金属製の下型に
２１に固定されている。同様に、ウェーハ１から見て上
型１２の反対側の中央の凹状部１４の中央からネジ等に
より金属製の上型２２に固定されている。
来の樹脂成形型の構成を示す縦断面図である。同図にお
いて、テフロンと称される弗化樹脂でなる下型１１と上
型１２とでウェーハ１を挟持している。このうち、下型
１１は上方中央に凹状部１３が形成され、その外周部が
ウェーハ１を挟持する円筒状端部１５になっている。こ
れに対応して上型１２の下方中央に凹状部１４が形成さ
れ、その側方がウェーハ１を挟持する円筒状端部１６に
なっている。ウェーハ１から見て下型１１の反対側の中
央の凹状部１３の中央からネジ等により金属製の下型に
２１に固定されている。同様に、ウェーハ１から見て上
型１２の反対側の中央の凹状部１４の中央からネジ等に
より金属製の上型２２に固定されている。
【０００４】金属製の下型２１は樹脂製の下型１１を内
部に固定すると共に、金属製の上型２２を挿脱する円筒
状外囲部２３を有している。この円筒状外囲部２３と樹
脂製の下型１１及び上型１２との間に、環状のキャビテ
ィ２４が形成される。そして、ウェーハ１はその外周部
をキャビティ２４に突出する状態で挟持される。なお、
ウェーハ１の位置決め、取出しのために、樹脂製の下型
１１の凹状部１３と外部とを連通させる通気孔２７が設
けられ、この通気孔２７を通してウェーハ１を真空吸引
したり、加圧離型させたりしている。金属製の下型２１
の円筒状外囲部２３には、径方向に対向する部位に樹脂
注入口２５及び樹脂漏出口２６を有し、樹脂注入口２５
から、例えば、シリコーン樹脂を注入してキャビティ２
４に充填し、一部を樹脂漏出口２６からオーバフローさ
せることによって、絶縁性環状部２が形成される。
部に固定すると共に、金属製の上型２２を挿脱する円筒
状外囲部２３を有している。この円筒状外囲部２３と樹
脂製の下型１１及び上型１２との間に、環状のキャビテ
ィ２４が形成される。そして、ウェーハ１はその外周部
をキャビティ２４に突出する状態で挟持される。なお、
ウェーハ１の位置決め、取出しのために、樹脂製の下型
１１の凹状部１３と外部とを連通させる通気孔２７が設
けられ、この通気孔２７を通してウェーハ１を真空吸引
したり、加圧離型させたりしている。金属製の下型２１
の円筒状外囲部２３には、径方向に対向する部位に樹脂
注入口２５及び樹脂漏出口２６を有し、樹脂注入口２５
から、例えば、シリコーン樹脂を注入してキャビティ２
４に充填し、一部を樹脂漏出口２６からオーバフローさ
せることによって、絶縁性環状部２が形成される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の樹脂成
形型においては、肉厚の円筒状端部１５、１６の環状平
面どうしでウェーハ１を挟持するため、型押し時に片当
たりしやすかった。そして片当たりに伴って発生する隙
間にシリコーン樹脂が浸透し、上型１２及び下型１１か
らウェーハ１を離すときに、離型性の悪さからウェーハ
１と絶縁性環状部２との密着性を阻害して不良品ができ
ることがあった。
形型においては、肉厚の円筒状端部１５、１６の環状平
面どうしでウェーハ１を挟持するため、型押し時に片当
たりしやすかった。そして片当たりに伴って発生する隙
間にシリコーン樹脂が浸透し、上型１２及び下型１１か
らウェーハ１を離すときに、離型性の悪さからウェーハ
１と絶縁性環状部２との密着性を阻害して不良品ができ
ることがあった。
【０００６】また、型押し時の片当たりに起因して局部
的に大きな圧力が加わり、樹脂製の下型１１及び上型１
２の寿命を縮めるという問題もあった。
的に大きな圧力が加わり、樹脂製の下型１１及び上型１
２の寿命を縮めるという問題もあった。
【０００７】本発明は上記の課題を解決するためになさ
れたもので、ウェーハに絶縁性環状部を形成する場合の
製品歩留まりを向上させると共に、樹脂製の下型及び上
型の長寿命化を図ることのできる樹脂成形型を提供する
ことを目的とする。
れたもので、ウェーハに絶縁性環状部を形成する場合の
製品歩留まりを向上させると共に、樹脂製の下型及び上
型の長寿命化を図ることのできる樹脂成形型を提供する
ことを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
の樹脂成形型は、円筒状の端部を有する樹脂製の上型及
び下型と、これら樹脂性の上型及び下型各円筒状端部を
相互に突合わせ可能に保持すると共に、突合わせ面の外
周部を包囲するようなキャビティを形成する金属製の上
型及び下型とを備え、樹脂性の下型の突合わせ面にウェ
ーハを載置すると共に、ウェーハの外周部をキャビティ
に突出させて樹脂性の上型及び下型によって挟持し、キ
ャビティに耐熱、耐絶縁性の樹脂を充填することによっ
て、ウェーハの外周部を耐熱、耐絶縁性の樹脂で環装す
るものにおいて、樹脂製の上型及び下型の突合わせ面を
それぞれ皿状に形成すると共に、外周縁部の内側に環状
溝を形成したことを特徴としてる。
の樹脂成形型は、円筒状の端部を有する樹脂製の上型及
び下型と、これら樹脂性の上型及び下型各円筒状端部を
相互に突合わせ可能に保持すると共に、突合わせ面の外
周部を包囲するようなキャビティを形成する金属製の上
型及び下型とを備え、樹脂性の下型の突合わせ面にウェ
ーハを載置すると共に、ウェーハの外周部をキャビティ
に突出させて樹脂性の上型及び下型によって挟持し、キ
ャビティに耐熱、耐絶縁性の樹脂を充填することによっ
て、ウェーハの外周部を耐熱、耐絶縁性の樹脂で環装す
るものにおいて、樹脂製の上型及び下型の突合わせ面を
それぞれ皿状に形成すると共に、外周縁部の内側に環状
溝を形成したことを特徴としてる。
【０００９】本発明の請求項２に記載の樹脂成形型は、
請求項１に記載のものにおいて、突合わせ面を皿状に形
成するテーパ角度を、型押しをする軸と直交する平面に
対して約１度ないし５度としたことを特徴としている。
請求項１に記載のものにおいて、突合わせ面を皿状に形
成するテーパ角度を、型押しをする軸と直交する平面に
対して約１度ないし５度としたことを特徴としている。
【００１０】本発明の請求項３に記載の樹脂成形型は、
請求項２又は３に記載のものにおいて、樹脂性の下型の
環状溝と外部を連通させる通気孔を設けたことを特徴と
している。
請求項２又は３に記載のものにおいて、樹脂性の下型の
環状溝と外部を連通させる通気孔を設けたことを特徴と
している。
【００１１】本発明の請求項４に記載の樹脂成形型は、
請求項１ないし３のいずれかに記載のものにおいて、樹
脂性の上型及び下型は弗化樹脂を素材として形成したこ
とを特徴としている。
請求項１ないし３のいずれかに記載のものにおいて、樹
脂性の上型及び下型は弗化樹脂を素材として形成したこ
とを特徴としている。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に示す好適な
実施形態に基づいて詳細に説明する。図１は本発明の一
実施形態の詳細な構成を示すために、パーティング面か
ら見た上型及び下型の斜視図であり、図２は樹脂成形状
態を示す縦断面図である。これら各図において、従来装
置を示す図４と同一の符号を付したものはそれぞれ同一
の要素を示している。
実施形態に基づいて詳細に説明する。図１は本発明の一
実施形態の詳細な構成を示すために、パーティング面か
ら見た上型及び下型の斜視図であり、図２は樹脂成形状
態を示す縦断面図である。これら各図において、従来装
置を示す図４と同一の符号を付したものはそれぞれ同一
の要素を示している。
【００１３】図１及び図２に示した実施形態と図３に示
した従来装置とは、樹脂製の下型１１及び上型１２を相
互に突合わせる円筒状端部の形状が異なるだけで、これ
以外の部分は図３と同一に構成されている。
した従来装置とは、樹脂製の下型１１及び上型１２を相
互に突合わせる円筒状端部の形状が異なるだけで、これ
以外の部分は図３と同一に構成されている。
【００１４】さて、本実施形態の樹脂製の下型１１及び
上型１２に着目すると、相互に突合わせてウェーハ１を
挟持する面が両方とも皿状に形成されている。すなわ
ち、樹脂製の下型１１の円筒状端部１５Ａは、型押しを
する軸と直交する平面に対して角度がαの皿状テーパ面
１７Ａを有している。同様に、樹脂性の上型１２の円筒
状端部１６Ａは、型押しをする軸と直交する平面に対し
て角度がαの皿状テーパ面１７Ｂを有している。また、
樹脂製の下型１１の円筒状端部１５Ａには、外周縁部の
内側に環状溝１８Ａが形成され、樹脂性の上型１２の円
筒状端部１６Ａにも、その外周縁部の内側に環状溝１８
Ｂが形成されている。ここで、角度αは１度ないし５度
の範囲であれば良く、発明者等の実験によれば約１．５
度が最適との結論が得られている。
上型１２に着目すると、相互に突合わせてウェーハ１を
挟持する面が両方とも皿状に形成されている。すなわ
ち、樹脂製の下型１１の円筒状端部１５Ａは、型押しを
する軸と直交する平面に対して角度がαの皿状テーパ面
１７Ａを有している。同様に、樹脂性の上型１２の円筒
状端部１６Ａは、型押しをする軸と直交する平面に対し
て角度がαの皿状テーパ面１７Ｂを有している。また、
樹脂製の下型１１の円筒状端部１５Ａには、外周縁部の
内側に環状溝１８Ａが形成され、樹脂性の上型１２の円
筒状端部１６Ａにも、その外周縁部の内側に環状溝１８
Ｂが形成されている。ここで、角度αは１度ないし５度
の範囲であれば良く、発明者等の実験によれば約１．５
度が最適との結論が得られている。
【００１５】一方、樹脂製の下型１１の環状溝１８Ａの
底部から弗化樹脂コーティングを施した金属製の下型２
１の円筒状外囲部２３をも貫通する通気孔２７が形成さ
れている。従って、樹脂製の下型１１の円筒状端部１５
Ａにウェーハ１を載置し、通気孔２７を通して排気すれ
ば、樹脂製の下型１１の内部を真空に近い負圧にするこ
とができる。これによって、ウェーハ１の位置決めがで
きる。ウェーハ１に対する位置決めを終了した段階で型
押しをすれば、樹脂製の下型１１のエッジ状の外縁部
と、樹脂性の上型１２のエッジ状の外縁部とでウェーハ
１を挟持することができる。この場合、樹脂製の下型１
１の円筒状端部１５Ａは環状溝１８Ａを備え、樹脂性の
上型１２の円筒状端部１６Ａは環状溝１８Ｂを備えてい
るので、ウェーハ１に当接する部位が弾性変形してウェ
ーハ１の表面に密着する。
底部から弗化樹脂コーティングを施した金属製の下型２
１の円筒状外囲部２３をも貫通する通気孔２７が形成さ
れている。従って、樹脂製の下型１１の円筒状端部１５
Ａにウェーハ１を載置し、通気孔２７を通して排気すれ
ば、樹脂製の下型１１の内部を真空に近い負圧にするこ
とができる。これによって、ウェーハ１の位置決めがで
きる。ウェーハ１に対する位置決めを終了した段階で型
押しをすれば、樹脂製の下型１１のエッジ状の外縁部
と、樹脂性の上型１２のエッジ状の外縁部とでウェーハ
１を挟持することができる。この場合、樹脂製の下型１
１の円筒状端部１５Ａは環状溝１８Ａを備え、樹脂性の
上型１２の円筒状端部１６Ａは環状溝１８Ｂを備えてい
るので、ウェーハ１に当接する部位が弾性変形してウェ
ーハ１の表面に密着する。
【００１６】この状態でシリコーン樹脂をキャビティ２
４に注入すれば、従来装置で問題となったシリコーン樹
脂の浸透が阻止される。また、成形を終了した後に上型
を上昇させる際、弾性変形した部位が復元し、このと
き、樹脂性の上型１２の樹脂に対する接触面積も少ない
ため、離型性も向上する。その後、ウェーハ１を表面側
から真空吸引すると共に、通気孔２７を通して圧力空気
を送り込むことによって、樹脂製の下型１１から絶縁性
環状部２と一体化されたウェーハ１を取出す場合も、上
型を上昇させる場合と同様に良好な離型が行われる。
４に注入すれば、従来装置で問題となったシリコーン樹
脂の浸透が阻止される。また、成形を終了した後に上型
を上昇させる際、弾性変形した部位が復元し、このと
き、樹脂性の上型１２の樹脂に対する接触面積も少ない
ため、離型性も向上する。その後、ウェーハ１を表面側
から真空吸引すると共に、通気孔２７を通して圧力空気
を送り込むことによって、樹脂製の下型１１から絶縁性
環状部２と一体化されたウェーハ１を取出す場合も、上
型を上昇させる場合と同様に良好な離型が行われる。
【００１７】かくして、図１及び図２に示した実施形態
によれば、樹脂製の下型１１及び上型１２によってウェ
ーハ１を挟持する円筒状端部をそれぞれ皿型に形成する
と共に、外周縁部の内側に環状溝を形成してウェーハ１
に対する突き当て部を弾性変形可能にしたので、ウェー
ハに絶縁性環状部を形成する場合の製品歩留まりを向上
させると共に、樹脂製の下型及び上型の長寿命化を図る
ことができる。
によれば、樹脂製の下型１１及び上型１２によってウェ
ーハ１を挟持する円筒状端部をそれぞれ皿型に形成する
と共に、外周縁部の内側に環状溝を形成してウェーハ１
に対する突き当て部を弾性変形可能にしたので、ウェー
ハに絶縁性環状部を形成する場合の製品歩留まりを向上
させると共に、樹脂製の下型及び上型の長寿命化を図る
ことができる。
【００１８】なお、上記実施形態ではウェーハ１を挟持
する型の素材として、テフロンを用いたが、これ以外の
三弗化樹脂あるいは弗化ビニリデン等、他の弗化樹脂を
使用してもよい。
する型の素材として、テフロンを用いたが、これ以外の
三弗化樹脂あるいは弗化ビニリデン等、他の弗化樹脂を
使用してもよい。
【００１９】さらにまた、上記実施形態ではシリコーン
樹脂によって絶縁性環状部２を形成する場合について説
明したが、耐熱、耐絶縁性が同等以上のものであればこ
れ以外の熱硬化性の樹脂を用いてもよいことは言うまで
もない。
樹脂によって絶縁性環状部２を形成する場合について説
明したが、耐熱、耐絶縁性が同等以上のものであればこ
れ以外の熱硬化性の樹脂を用いてもよいことは言うまで
もない。
【００２０】
【発明の効果】以上の説明によって明らかなように、本
発明によれば、円筒状の端部を有する樹脂製の上型及び
下型の突合わせ面をそれぞれ皿状に形成すると共に、外
周縁部の内側に環状溝を形成したので、ウェーハに絶縁
性環状部を形成する場合の製品歩留まりを向上させると
共に、樹脂製の下型及び上型の長寿命化を図ることがで
きる。
発明によれば、円筒状の端部を有する樹脂製の上型及び
下型の突合わせ面をそれぞれ皿状に形成すると共に、外
周縁部の内側に環状溝を形成したので、ウェーハに絶縁
性環状部を形成する場合の製品歩留まりを向上させると
共に、樹脂製の下型及び上型の長寿命化を図ることがで
きる。
【図１】本発明の一実施形態の詳細な構成を示すため
に、パーティング面から見た上型及び下型の斜視図。
に、パーティング面から見た上型及び下型の斜視図。
【図２】図１に示した実施形態の樹脂成形時の縦断面
図。
図。
【図３】アロイフリー型の電力素子の組立て前の主要部
の構成を示す斜視図。
の構成を示す斜視図。
【図４】従来の樹脂成形型の構成を示す縦断面図。
１ ウェーハ
２ 絶縁性環状部
１１ 樹脂製の下型
１２ 樹脂性の上型
１３，１４ 凹状部
１５Ａ，１６Ａ 円筒状端部
１７Ａ，１７Ｂ 皿状テーパ面
１８Ａ，１８Ｂ 環状溝
２１ 金属製の下型
２２ 金属製の上型
２３ 円筒状外囲部
２４ キャビティ
２５ 樹脂注入口
２６ 樹脂漏出口
２７ 通気孔
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 佐 藤 敬之助
神奈川県川崎市幸区小向東芝町１ 株式
会社東芝 多摩川工場内
(56)参考文献 特開 平３−234605（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B29C 33/00 - 33/76
B29C 39/00 - 39/44
H01L 21/56
Claims (4)
- 【請求項１】円筒状の端部を有する樹脂製の上型及び下
型と、これら樹脂性の上型及び下型の各円筒状端部を相
互に突合わせ可能に保持すると共に、突合わせ面の外周
部を包囲するようなキャビティを形成する金属製の上型
及び下型とを備え、前記樹脂性の下型の突合わせ面にウ
ェーハを載置すると共に、前記ウェーハの外周部を前記
キャビティに突出させて前記樹脂性の上型及び下型によ
って挟持し、前記キャビティに耐熱、耐絶縁性の樹脂を
充填することによって、前記ウェーハの外周部を前記耐
熱、耐絶縁性の樹脂で環装する樹脂成形型において、 前記樹脂製の上型及び下型の突合わせ面をそれぞれ皿状
に形成すると共に、前記突合わせ面の外周縁部の内側に
環状溝を形成したことを特徴とする樹脂成形型。 - 【請求項２】前記突合わせ面を皿状に形成するテーパ角
度を、型押しをする軸と直交する平面に対して約１度な
いし５度としたことを特徴とする請求項１に記載の樹脂
成形型。 - 【請求項３】前記樹脂性の下型の前記環状溝と外部を連
通させる通気孔を設けたことを特徴とする請求項２又は
３に記載の樹脂成形型。 - 【請求項４】前記樹脂性の上型及び下型は弗化樹脂を素
材として形成したことを特徴とする請求項１ないし３の
いずれかに記載の樹脂成形型。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21641597A JP3529597B2 (ja) | 1997-08-11 | 1997-08-11 | 樹脂成形型 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21641597A JP3529597B2 (ja) | 1997-08-11 | 1997-08-11 | 樹脂成形型 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1158408A JPH1158408A (ja) | 1999-03-02 |
| JP3529597B2 true JP3529597B2 (ja) | 2004-05-24 |
Family
ID=16688212
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21641597A Expired - Fee Related JP3529597B2 (ja) | 1997-08-11 | 1997-08-11 | 樹脂成形型 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3529597B2 (ja) |
-
1997
- 1997-08-11 JP JP21641597A patent/JP3529597B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1158408A (ja) | 1999-03-02 |
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|---|---|---|---|
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| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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