JP3528042B2 - 光加熱装置 - Google Patents
光加熱装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光加熱装置に係わ
り、特に、白熱ランプから放射される光を被処理物に照
射して被処理物を加熱する光加熱装置に関する。
り、特に、白熱ランプから放射される光を被処理物に照
射して被処理物を加熱する光加熱装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の光加熱装置として、特開平７−３
７８３３号公報には、ガラス基板や半導体ウエハの加熱
に白熱ランプから放射される光を利用する光加熱装置が
開示されている。同装置は、図７に示すように、光透過
性材料で形成されたチャンバー内に被処理物を収納し、
このチャンバー外の上下両段に複数本の光照射加熱用ラ
ンプを上下で対向しかつ互いに交差するように配置し、
これらの光照射加熱用ランプによって被処理物の両面か
ら光照射して加熱するように構成されている。
７８３３号公報には、ガラス基板や半導体ウエハの加熱
に白熱ランプから放射される光を利用する光加熱装置が
開示されている。同装置は、図７に示すように、光透過
性材料で形成されたチャンバー内に被処理物を収納し、
このチャンバー外の上下両段に複数本の光照射加熱用ラ
ンプを上下で対向しかつ互いに交差するように配置し、
これらの光照射加熱用ランプによって被処理物の両面か
ら光照射して加熱するように構成されている。
【０００３】図８は、前記装置を簡略化して上下両段に
設けられる光照射加熱用ランプと被処理物を取り出して
示した斜視図である。同図に示すように、上下両段に設
けられる光照射加熱用ランプは、管軸が交差するように
配置されているので被処理物を均一に加熱することがで
きる。また、この装置によれば、被処理物のエッジ部分
での放熱作用による温度低下を防止することができる。
例えば、被処理物に対して上段の両端にある光照射加熱
用ランプＬ１，Ｌ２のランプ出力を中央部の光照射加熱
用ランプＬ３のランプ出力に比べて大きくすることによ
り、被処理物のエッジ部分Ａ１−Ａ２、Ｂ１−Ｂ２の温
度を上げることが可能であり、また、被処理物に対して
下段の両端にある光照射加熱用ランプＬ４，Ｌ５のラン
プ出力を中央部の光照射加熱用ランプＬ６のランプ出力
に比べて大きくすることにより、被処理物のエッジ部分
Ａ１−Ｂ１、Ａ２−Ｂ２の温度を上げることが可能であ
る。
設けられる光照射加熱用ランプと被処理物を取り出して
示した斜視図である。同図に示すように、上下両段に設
けられる光照射加熱用ランプは、管軸が交差するように
配置されているので被処理物を均一に加熱することがで
きる。また、この装置によれば、被処理物のエッジ部分
での放熱作用による温度低下を防止することができる。
例えば、被処理物に対して上段の両端にある光照射加熱
用ランプＬ１，Ｌ２のランプ出力を中央部の光照射加熱
用ランプＬ３のランプ出力に比べて大きくすることによ
り、被処理物のエッジ部分Ａ１−Ａ２、Ｂ１−Ｂ２の温
度を上げることが可能であり、また、被処理物に対して
下段の両端にある光照射加熱用ランプＬ４，Ｌ５のラン
プ出力を中央部の光照射加熱用ランプＬ６のランプ出力
に比べて大きくすることにより、被処理物のエッジ部分
Ａ１−Ｂ１、Ａ２−Ｂ２の温度を上げることが可能であ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の光加熱
装置において、被処理物に対して上下両段に光照射加熱
用ランプを配置するためには、光加熱装置内に広いラン
プ収納スペースを必要とし、ランプ収納スペースを十分
とれない場合には、被処理物に対して上下両段に光照射
加熱用ランプを設けることができなくなり、このような
場合には被処理物を均一に加熱することができないとい
う問題があった。
装置において、被処理物に対して上下両段に光照射加熱
用ランプを配置するためには、光加熱装置内に広いラン
プ収納スペースを必要とし、ランプ収納スペースを十分
とれない場合には、被処理物に対して上下両段に光照射
加熱用ランプを設けることができなくなり、このような
場合には被処理物を均一に加熱することができないとい
う問題があった。
【０００５】本発明の目的は、上記の問題点に鑑みて、
光加熱装置のランプ収納スペースを十分確保できない場
合であっても、被処理物を均一に加熱することのできる
光加熱装置を提供することにある。
光加熱装置のランプ収納スペースを十分確保できない場
合であっても、被処理物を均一に加熱することのできる
光加熱装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の課題を
解決するために、次のような手段を採用した。
解決するために、次のような手段を採用した。
【０００７】第１の手段は、複数の白熱ランプから放射
される光を被処理物に照射して被処理物を加熱する光加
熱装置において、前記複数の各白熱ランプを、管型封体
の内部に管軸に沿って発光部と非発光部からなるフィラ
メント構造の白熱ランプと、管型封体の内部に管軸に沿
って発光部からなるフィラメント構造の白熱ランプで構
成すると共に、前記複数の白熱ランプを、同一の平面上
にあって、それぞれの白熱ランプの管軸が互いに平行と
なるように配列された複数の白熱ランプからなる第１の
ランプユニットと、前記第１のランプユニットと接触乃
至離間して配置され、同一の平面上にあって、それぞれ
の白熱ランプの管軸が互いに平行であると共に前記第１
のランプユニットの白熱ランプの管軸と交差するように
配列された複数の白熱ランプからなる第２のランプユニ
ットとから構成し、さらに前記第１および第２のランプ
ユニットを前記被処理物を同方向から照射するように配
置すると共に、前記第１および第２のランプユニットの
白熱ランプの発光部と前記第１および第２のランプユニ
ットの白熱ランプの非発光部とを交差するように配置し
たことを特徴とする。
される光を被処理物に照射して被処理物を加熱する光加
熱装置において、前記複数の各白熱ランプを、管型封体
の内部に管軸に沿って発光部と非発光部からなるフィラ
メント構造の白熱ランプと、管型封体の内部に管軸に沿
って発光部からなるフィラメント構造の白熱ランプで構
成すると共に、前記複数の白熱ランプを、同一の平面上
にあって、それぞれの白熱ランプの管軸が互いに平行と
なるように配列された複数の白熱ランプからなる第１の
ランプユニットと、前記第１のランプユニットと接触乃
至離間して配置され、同一の平面上にあって、それぞれ
の白熱ランプの管軸が互いに平行であると共に前記第１
のランプユニットの白熱ランプの管軸と交差するように
配列された複数の白熱ランプからなる第２のランプユニ
ットとから構成し、さらに前記第１および第２のランプ
ユニットを前記被処理物を同方向から照射するように配
置すると共に、前記第１および第２のランプユニットの
白熱ランプの発光部と前記第１および第２のランプユニ
ットの白熱ランプの非発光部とを交差するように配置し
たことを特徴とする。
【０００８】第２の手段は、第１の手段において、前記
第１および第２のランプユニットのいずれか一方のラン
プユニットを管型封体の内部に管軸に沿って発光部と非
発光部からなるフィラメント構造の白熱ランプで構成
し、他方のランプユニットを管型封体の内部に管軸に沿
って発光部からなるフィラメント構造の白熱ランプで構
成したことを特徴とする。
第１および第２のランプユニットのいずれか一方のラン
プユニットを管型封体の内部に管軸に沿って発光部と非
発光部からなるフィラメント構造の白熱ランプで構成
し、他方のランプユニットを管型封体の内部に管軸に沿
って発光部からなるフィラメント構造の白熱ランプで構
成したことを特徴とする。
【０００９】第３の手段は、第１の手段において、前記
一方のランプユニットを管型封体の内部に管軸に沿って
発光部と非発光部からなるフィラメント構造の白熱ラン
プと管型封体の内部に管軸に沿って発光部からなるフィ
ラメント構造の白熱ランプで構成し、前記他方のランプ
ユニットを管型封体の内部に管軸に沿って発光部と非発
光部からなるフィラメント構造の白熱ランプで構成した
ことを特徴とする。
一方のランプユニットを管型封体の内部に管軸に沿って
発光部と非発光部からなるフィラメント構造の白熱ラン
プと管型封体の内部に管軸に沿って発光部からなるフィ
ラメント構造の白熱ランプで構成し、前記他方のランプ
ユニットを管型封体の内部に管軸に沿って発光部と非発
光部からなるフィラメント構造の白熱ランプで構成した
ことを特徴とする。
【００１０】第４の手段は、複数の白熱ランプから放射
される光を被処理物に照射して被処理物を加熱する光加
熱装置において、前記複数の各白熱ランプを、管型封体
の内部に管軸に沿って発光部と非発光部からなるフィラ
メント構造の白熱ランプで構成すると共に、前記複数の
白熱ランプを、同一の平面上にあって、それぞれの白熱
ランプの管軸が互いに平行となるように配列された複数
の白熱ランプからなる第１のランプユニットと、前記第
１のランプユニットと接触乃至離間して配置され、同一
の平面上にあって、それぞれの白熱ランプの管軸が互い
に平行であると共に前記第１のランプユニットの白熱ラ
ンプの管軸と交差するように配列された複数の白熱ラン
プからなる第２のランプユニットとから構成し、さらに
前記第１および第２のランプユニットを前記被処理物を
同方向から照射するように配置すると共に、前記第１お
よび第２のランプユニットの白熱ランプの発光部と前記
第１および第２のランプユニットの白熱ランプの非発光
部とを交差するように配置したことを特徴とする。
される光を被処理物に照射して被処理物を加熱する光加
熱装置において、前記複数の各白熱ランプを、管型封体
の内部に管軸に沿って発光部と非発光部からなるフィラ
メント構造の白熱ランプで構成すると共に、前記複数の
白熱ランプを、同一の平面上にあって、それぞれの白熱
ランプの管軸が互いに平行となるように配列された複数
の白熱ランプからなる第１のランプユニットと、前記第
１のランプユニットと接触乃至離間して配置され、同一
の平面上にあって、それぞれの白熱ランプの管軸が互い
に平行であると共に前記第１のランプユニットの白熱ラ
ンプの管軸と交差するように配列された複数の白熱ラン
プからなる第２のランプユニットとから構成し、さらに
前記第１および第２のランプユニットを前記被処理物を
同方向から照射するように配置すると共に、前記第１お
よび第２のランプユニットの白熱ランプの発光部と前記
第１および第２のランプユニットの白熱ランプの非発光
部とを交差するように配置したことを特徴とする。
【００１１】第５の手段は、複数の白熱ランプから放射
される光を被処理物に照射して被処理物を加熱する光加
熱装置において、前記複数の各白熱ランプを、管型封体
の内部に管軸に沿って発光部と非発光部からなるフィラ
メント構造の白熱ランプで構成すると共に、前記複数の
白熱ランプを、同一の平面上にあって、それぞれの白熱
ランプの管軸が互いに平行となるように配列された複数
の白熱ランプからなる第１のランプユニットと、前記第
１のランプユニットと接触乃至離間して配置され、同一
の平面上にあって、それぞれの白熱ランプの管軸が互い
に平行であると共に前記第１のランプユニットの白熱ラ
ンプの管軸と交差するように配列された複数の白熱ラン
プからなる第２のランプユニットとから構成し、さらに
前記第１および第２のランプユニットを前記被処理物を
同方向から照射するように配置すると共に、前記第１お
よび第２のランプユニットの白熱ランプの非発光部同士
を交差するように配置したことを特徴とする。
される光を被処理物に照射して被処理物を加熱する光加
熱装置において、前記複数の各白熱ランプを、管型封体
の内部に管軸に沿って発光部と非発光部からなるフィラ
メント構造の白熱ランプで構成すると共に、前記複数の
白熱ランプを、同一の平面上にあって、それぞれの白熱
ランプの管軸が互いに平行となるように配列された複数
の白熱ランプからなる第１のランプユニットと、前記第
１のランプユニットと接触乃至離間して配置され、同一
の平面上にあって、それぞれの白熱ランプの管軸が互い
に平行であると共に前記第１のランプユニットの白熱ラ
ンプの管軸と交差するように配列された複数の白熱ラン
プからなる第２のランプユニットとから構成し、さらに
前記第１および第２のランプユニットを前記被処理物を
同方向から照射するように配置すると共に、前記第１お
よび第２のランプユニットの白熱ランプの非発光部同士
を交差するように配置したことを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の第１の実施形態を図１乃
至図２を用いて説明する。
至図２を用いて説明する。
【００１３】図１は、本実施形態に係る光加熱装置の構
成を示す正面断面図である。
成を示す正面断面図である。
【００１４】同図において、１は後述する被処理物６の
上部に設置され紙面に対して略垂直に配列され複数個の
白熱ランプで構成された第１のランプユニット、２は第
１のランプユニット１の下部に接触乃至離間して配置さ
れると共に、被処理物６の上部に設置され、紙面に対し
て略平行に配列され複数個の白熱ランプで構成された第
２のランプユニット、３は第１のランプユニット１の上
部に設けられる反射板、４は第１のランプユニット１の
各白熱ランプを支持するランプ固定台、５は第２のラン
プユニット２の各白熱ランプを支持するランプ固定台、
６は第１のランプユニット１および第２のランプユニッ
ト２からの光照射によって加熱される被処理物、７は被
処理物６を固定する固定台である。
上部に設置され紙面に対して略垂直に配列され複数個の
白熱ランプで構成された第１のランプユニット、２は第
１のランプユニット１の下部に接触乃至離間して配置さ
れると共に、被処理物６の上部に設置され、紙面に対し
て略平行に配列され複数個の白熱ランプで構成された第
２のランプユニット、３は第１のランプユニット１の上
部に設けられる反射板、４は第１のランプユニット１の
各白熱ランプを支持するランプ固定台、５は第２のラン
プユニット２の各白熱ランプを支持するランプ固定台、
６は第１のランプユニット１および第２のランプユニッ
ト２からの光照射によって加熱される被処理物、７は被
処理物６を固定する固定台である。
【００１５】同図に示すように、第１のランプユニット
１および第２のランプユニット２はそれぞれランプ固定
台４，５に固定されており、被処理物６はこれらのラン
プユニット１，２の各白熱ランプから下方に放射される
光によって照射され加熱される。また、各ランプユニッ
ト１，２の各白熱ランプから上方に放射される光も反射
板３によって反射されて被処理物６を照射し加熱する。
１および第２のランプユニット２はそれぞれランプ固定
台４，５に固定されており、被処理物６はこれらのラン
プユニット１，２の各白熱ランプから下方に放射される
光によって照射され加熱される。また、各ランプユニッ
ト１，２の各白熱ランプから上方に放射される光も反射
板３によって反射されて被処理物６を照射し加熱する。
【００１６】図２は、図１に示す第１のランプユニット
１および第２のランプユニット２の白熱ランプの配列を
示す図であり、図２（ａ）は前記配列の平面図、図２
（ｂ）は前記配列の正面図である。
１および第２のランプユニット２の白熱ランプの配列を
示す図であり、図２（ａ）は前記配列の平面図、図２
（ｂ）は前記配列の正面図である。
【００１７】これらの図において、Ａは第２のランプユ
ニット２の白熱ランプのフィラメント構造を示し、１０
は第１のランプユニットを構成する各白熱ランプのフィ
ラメント構造、１１はフィラメント構造１０の発光部、
２０は第２のランプユニット２を構成する各白熱ランプ
のフィラメント構造、２１，２２はそれぞれフィラメン
ト構造２０の発光部および非発光部である。
ニット２の白熱ランプのフィラメント構造を示し、１０
は第１のランプユニットを構成する各白熱ランプのフィ
ラメント構造、１１はフィラメント構造１０の発光部、
２０は第２のランプユニット２を構成する各白熱ランプ
のフィラメント構造、２１，２２はそれぞれフィラメン
ト構造２０の発光部および非発光部である。
【００１８】同図に示すように、第１のランプユニット
１の各白熱ランプのフィラメント構造１０は管型封体の
内部に管軸に沿って全長にわたって発光部１１で構成さ
れ、第２のランプユニット２の各白熱ランプのフィラメ
ント構造２０は管型封体の内部に管軸に沿って発光部２
１と非発光部２２が交互に連続して形成されている。ま
た、第２のランプユニット２の非発光部２２において第
１のランプユニット１と交差するように配置されてい
る。
１の各白熱ランプのフィラメント構造１０は管型封体の
内部に管軸に沿って全長にわたって発光部１１で構成さ
れ、第２のランプユニット２の各白熱ランプのフィラメ
ント構造２０は管型封体の内部に管軸に沿って発光部２
１と非発光部２２が交互に連続して形成されている。ま
た、第２のランプユニット２の非発光部２２において第
１のランプユニット１と交差するように配置されてい
る。
【００１９】本実施形態によれば、第１のランプユニッ
ト１の発光部１１は第２のランプユニット２の非発光部
２２の位置で交差するように配置されるので、被処理物
６に対して均一に光照射することができると共に、第１
のランプユニット１を構成する各白熱ランプと第２のラ
ンプユニット２を構成する各白熱ランプとが前記交差部
で近接乃至接触して配置されるが、第１のランプユニッ
ト１の高温となる発光部１１と第２のランプユニット２
の高温となる発光部２１が対向しないので、各ランプユ
ニット１，２の各白熱ランプの交差部におけるランプ封
体の温度上昇を抑え、ランプ封体の変形や温度上昇に伴
うランプ封体溶融による破損を防止することができる。
ト１の発光部１１は第２のランプユニット２の非発光部
２２の位置で交差するように配置されるので、被処理物
６に対して均一に光照射することができると共に、第１
のランプユニット１を構成する各白熱ランプと第２のラ
ンプユニット２を構成する各白熱ランプとが前記交差部
で近接乃至接触して配置されるが、第１のランプユニッ
ト１の高温となる発光部１１と第２のランプユニット２
の高温となる発光部２１が対向しないので、各ランプユ
ニット１，２の各白熱ランプの交差部におけるランプ封
体の温度上昇を抑え、ランプ封体の変形や温度上昇に伴
うランプ封体溶融による破損を防止することができる。
【００２０】また、前記交差部における温度上昇の抑制
が可能になることに伴い、第１のランプユニット１と第
２のランプユニット２とを近接乃至接触して収納するこ
とができるので、ランプ収納スペースを小さくした光加
熱装置を実現することができる。
が可能になることに伴い、第１のランプユニット１と第
２のランプユニット２とを近接乃至接触して収納するこ
とができるので、ランプ収納スペースを小さくした光加
熱装置を実現することができる。
【００２１】また、本装置においても、被処理物のエッ
ジ部分での温度低下は従来技術で述べたと同様な手段に
よって防止することができる。
ジ部分での温度低下は従来技術で述べたと同様な手段に
よって防止することができる。
【００２２】次に、本発明の第２の実施形態を図３を用
いて説明する。
いて説明する。
【００２３】図３は、本実施形態に係る光加熱装置の第
１のランプユニット１および第２のランプユニット２の
白熱ランプの配列を示す図であり、図３（ａ）は前記配
列の平面図、図３（ｂ）は前記配列の正面図である。
１のランプユニット１および第２のランプユニット２の
白熱ランプの配列を示す図であり、図３（ａ）は前記配
列の平面図、図３（ｂ）は前記配列の正面図である。
【００２４】本実施形態は、第１の実施形態と比べて、
図１に示す光加熱装置において、第１のランプユニット
１と第２のランプユニット２を上下反対に配置している
点で相違しているが、その他の構成は図１に示す同符号
の構成に対応する。
図１に示す光加熱装置において、第１のランプユニット
１と第２のランプユニット２を上下反対に配置している
点で相違しているが、その他の構成は図１に示す同符号
の構成に対応する。
【００２５】これらの図において、Ｂは第２のランプユ
ニット２の白熱ランプのフィラメント構造を示す図であ
り、３０は第１のランプユニットを構成する各白熱ラン
プのフィラメント構造、３１，３２はそれぞれフィラメ
ント構造３０の発光部および非発光部、４０は第２のラ
ンプユニット２を構成する各白熱ランプのフィラメント
構造、４１はフィラメント構造４０の発光部である。
ニット２の白熱ランプのフィラメント構造を示す図であ
り、３０は第１のランプユニットを構成する各白熱ラン
プのフィラメント構造、３１，３２はそれぞれフィラメ
ント構造３０の発光部および非発光部、４０は第２のラ
ンプユニット２を構成する各白熱ランプのフィラメント
構造、４１はフィラメント構造４０の発光部である。
【００２６】これらの図に示すように、第１のランプユ
ニット１の各白熱ランプのフィラメント構造３０は管型
封体の内部に管軸に沿って発光部３１と非発光部３２が
交互に連続して形成され、第２のランプユニット２の各
白熱ランプのフィラメント構造４０は管型封体の内部に
管軸に沿って全長にわたって発光部４１で構成されてい
る。また、第１のランプユニット１の非発光部３２にお
いて第２のランプユニット２と交差するように配置され
る。
ニット１の各白熱ランプのフィラメント構造３０は管型
封体の内部に管軸に沿って発光部３１と非発光部３２が
交互に連続して形成され、第２のランプユニット２の各
白熱ランプのフィラメント構造４０は管型封体の内部に
管軸に沿って全長にわたって発光部４１で構成されてい
る。また、第１のランプユニット１の非発光部３２にお
いて第２のランプユニット２と交差するように配置され
る。
【００２７】本実施形態によれば、第１の実施形態と同
様に、第２のランプユニット２の発光部４１は第１のラ
ンプユニット１の非発光部３２の位置で交差するように
配置されるので、被処理物に対して均一に光照射するこ
とができると共に、第１のランプユニット１を構成する
各白熱ランプと第２のランプユニット２を構成する各白
熱ランプとを前記交差部で近接乃至接触するように配置
されるが、第１のランプユニット１の高温となる発光部
３１と第２のランプユニット２の高温となる発光部４１
が対向しないので、各ランプユニット１，２の各白熱ラ
ンプの交差部におけるランプ封体の温度上昇を抑えるこ
とができ、また、ランプ封体の変形や温度上昇に伴う封
体溶融による破損を防止することができる。
様に、第２のランプユニット２の発光部４１は第１のラ
ンプユニット１の非発光部３２の位置で交差するように
配置されるので、被処理物に対して均一に光照射するこ
とができると共に、第１のランプユニット１を構成する
各白熱ランプと第２のランプユニット２を構成する各白
熱ランプとを前記交差部で近接乃至接触するように配置
されるが、第１のランプユニット１の高温となる発光部
３１と第２のランプユニット２の高温となる発光部４１
が対向しないので、各ランプユニット１，２の各白熱ラ
ンプの交差部におけるランプ封体の温度上昇を抑えるこ
とができ、また、ランプ封体の変形や温度上昇に伴う封
体溶融による破損を防止することができる。
【００２８】さらに、前記交差部における温度上昇の抑
制が可能になることに伴い、第１のランプユニット１と
第２のランプユニット２とを近接乃至接触して配置する
ことができるので、ランプ収納スペースを小さくした光
加熱装置を実現することができる。
制が可能になることに伴い、第１のランプユニット１と
第２のランプユニット２とを近接乃至接触して配置する
ことができるので、ランプ収納スペースを小さくした光
加熱装置を実現することができる。
【００２９】次に、本発明の第３の実施形態を図４を用
いて説明する。
いて説明する。
【００３０】図４は、本実施形態に係る光加熱装置の第
１のランプユニット１および第２のランプユニット２の
白熱ランプの配列を示す図であり、図４（ａ）は前記配
列の平面図、図４（ｂ）は前記配列の正面図である。
１のランプユニット１および第２のランプユニット２の
白熱ランプの配列を示す図であり、図４（ａ）は前記配
列の平面図、図４（ｂ）は前記配列の正面図である。
【００３１】本実施形態は、上記の他の実施形態と比べ
て、図１に示す光加熱装置において、第１のランプユニ
ット１として発光部と非発光部からなるフィラメント構
造の白熱ランプと発光部のみからなるフィラメント構造
の白熱ランプを用い、第２のランプユニット２として発
光部と非発光部からなるフィラメント構造の白熱ランプ
を用いている点で相違しており、その他の構成は図１に
示す同符号の構成に対応する。
て、図１に示す光加熱装置において、第１のランプユニ
ット１として発光部と非発光部からなるフィラメント構
造の白熱ランプと発光部のみからなるフィラメント構造
の白熱ランプを用い、第２のランプユニット２として発
光部と非発光部からなるフィラメント構造の白熱ランプ
を用いている点で相違しており、その他の構成は図１に
示す同符号の構成に対応する。
【００３２】これらの図において、Ｃは第２のランプユ
ニット２のフィラメント構造を示す図であり、５０は第
１のランプユニット１を構成する各白熱ランプのフィラ
メント構造、５１，５２はそれぞれフィラメント構造５
０の発光部、５３はフィラメント構造５０の非発光部、
６０は第２のランプユニット２を構成する各白熱ランプ
のフィラメント構造、６１，６２はそれぞれフィラメン
ト構造６０の発光部および非発光部である。
ニット２のフィラメント構造を示す図であり、５０は第
１のランプユニット１を構成する各白熱ランプのフィラ
メント構造、５１，５２はそれぞれフィラメント構造５
０の発光部、５３はフィラメント構造５０の非発光部、
６０は第２のランプユニット２を構成する各白熱ランプ
のフィラメント構造、６１，６２はそれぞれフィラメン
ト構造６０の発光部および非発光部である。
【００３３】これらの図に示すように、第１のランプユ
ニット１は、フィラメント構造５０が管型封体の内部に
管軸に沿って全長にわたって発光部５１で構成されてい
る白熱ランプと、管型封体の内部に管軸に沿って発光部
５２と非発光部５３が交互に連続して形成された白熱ラ
ンプとを交互に配置するように構成されており、第２の
ランプユニット２は、フィラメント構造６０が管型封体
の内部に管軸に沿って発光部６１と非発光部６２で構成
されている。また、第１のランプユニット１の各白熱ラ
ンプの非発光部５３において第２のランプユニット２の
各白熱ランプの発光部６１と交差するように配置され、
第１のランプユニット１の各白熱ランプの発光部５１に
おいて第２のランプユニット２の各白熱ランプの非発光
部６２と交差するように配置される。
ニット１は、フィラメント構造５０が管型封体の内部に
管軸に沿って全長にわたって発光部５１で構成されてい
る白熱ランプと、管型封体の内部に管軸に沿って発光部
５２と非発光部５３が交互に連続して形成された白熱ラ
ンプとを交互に配置するように構成されており、第２の
ランプユニット２は、フィラメント構造６０が管型封体
の内部に管軸に沿って発光部６１と非発光部６２で構成
されている。また、第１のランプユニット１の各白熱ラ
ンプの非発光部５３において第２のランプユニット２の
各白熱ランプの発光部６１と交差するように配置され、
第１のランプユニット１の各白熱ランプの発光部５１に
おいて第２のランプユニット２の各白熱ランプの非発光
部６２と交差するように配置される。
【００３４】本実施形態によれば、第１のランプユニッ
ト１の各白熱ランプの発光部５１は第２のランプユニッ
ト２の各白熱ランプの非発光部６２の位置で交差するよ
うに配置され、第２のランプユニット２の各白熱ランプ
の発光部６１は第１のランプユニット１の各白熱ランプ
の非発光部５３の位置で交差するように配置されるの
で、被処理物に対して均一に光照射することができると
共に、各ランプユニット１，２の各白熱ランプを前記交
差部で近接乃至接触するように配置されるが、第１のラ
ンプユニット１の高温となる発光部５１，５２と第２の
ランプユニット２の高温となる発光部６１が対向しない
ので、各ランプユニット１，２の各白熱ランプの交差部
におけるランプ封体の温度上昇を抑えることができ、ま
た、ランプ封体の変形や温度上昇に伴う封体溶融による
破損を防止することができる。
ト１の各白熱ランプの発光部５１は第２のランプユニッ
ト２の各白熱ランプの非発光部６２の位置で交差するよ
うに配置され、第２のランプユニット２の各白熱ランプ
の発光部６１は第１のランプユニット１の各白熱ランプ
の非発光部５３の位置で交差するように配置されるの
で、被処理物に対して均一に光照射することができると
共に、各ランプユニット１，２の各白熱ランプを前記交
差部で近接乃至接触するように配置されるが、第１のラ
ンプユニット１の高温となる発光部５１，５２と第２の
ランプユニット２の高温となる発光部６１が対向しない
ので、各ランプユニット１，２の各白熱ランプの交差部
におけるランプ封体の温度上昇を抑えることができ、ま
た、ランプ封体の変形や温度上昇に伴う封体溶融による
破損を防止することができる。
【００３５】また、前記交差部における温度上昇の抑制
が可能になることに伴い、第１のランプユニット１と第
２のランプユニット２とを近接乃至接触して収納するこ
とができるので、ランプ収納スペースを小さくした光加
熱装置を実現することができ次に、本発明の第４の実施
形態を図５を用いて説明する。
が可能になることに伴い、第１のランプユニット１と第
２のランプユニット２とを近接乃至接触して収納するこ
とができるので、ランプ収納スペースを小さくした光加
熱装置を実現することができ次に、本発明の第４の実施
形態を図５を用いて説明する。
【００３６】図５は、本実施形態に係る光加熱装置の第
１のランプユニット１および第２のランプユニット２の
白熱ランプの配列を示す図であり、図５（ａ）は前記配
列の平面図、図５（ｂ）は前記配列の正面図である。
１のランプユニット１および第２のランプユニット２の
白熱ランプの配列を示す図であり、図５（ａ）は前記配
列の平面図、図５（ｂ）は前記配列の正面図である。
【００３７】本実施形態は、上記の他の実施形態と比べ
て、図１に示す光加熱装置において、第１および第２の
ランプユニットを構成する各白熱ランプのフィラメント
構造を共に発光部と非発光部からなるフィラメント構造
の白熱ランプを用いている点で相違しており、その他の
構成は図１に示す同符号の構成に対応する。
て、図１に示す光加熱装置において、第１および第２の
ランプユニットを構成する各白熱ランプのフィラメント
構造を共に発光部と非発光部からなるフィラメント構造
の白熱ランプを用いている点で相違しており、その他の
構成は図１に示す同符号の構成に対応する。
【００３８】これらの図において、Ｄは第２のランプユ
ニット２の白熱ランプのフィラメント構造を示す図であ
り、７０は第１のランプユニット１を構成する各白熱ラ
ンプのフィラメント構造、７１，７２はそれぞれフィラ
メント構造７０の発光部および非発光部、８０は第２の
ランプユニット２を構成する各白熱ランプのフィラメン
ト構造、８１，８２はそれぞれフィラメント構造８０の
発光部および非発光部である。
ニット２の白熱ランプのフィラメント構造を示す図であ
り、７０は第１のランプユニット１を構成する各白熱ラ
ンプのフィラメント構造、７１，７２はそれぞれフィラ
メント構造７０の発光部および非発光部、８０は第２の
ランプユニット２を構成する各白熱ランプのフィラメン
ト構造、８１，８２はそれぞれフィラメント構造８０の
発光部および非発光部である。
【００３９】これらの図に示すように、第１のランプユ
ニット１の白熱ランプのフィラメント構造７０が、管型
封体の内部に管軸に沿って発光部７１と非発光部７２が
交互に連続して形成された白熱ランプで構成され、第２
のランプユニット２はフィラメント構造８０が、管型封
体の内部に管軸に沿って発光部８１と非発光部８２で構
成され、第１のランプユニット１の各白熱ランプの非発
光部７２は第２のランプユニット２の各白熱ランプの非
発光部８２の位置で交差するように配置される。
ニット１の白熱ランプのフィラメント構造７０が、管型
封体の内部に管軸に沿って発光部７１と非発光部７２が
交互に連続して形成された白熱ランプで構成され、第２
のランプユニット２はフィラメント構造８０が、管型封
体の内部に管軸に沿って発光部８１と非発光部８２で構
成され、第１のランプユニット１の各白熱ランプの非発
光部７２は第２のランプユニット２の各白熱ランプの非
発光部８２の位置で交差するように配置される。
【００４０】本実施形態によれば、各ランプユニット
１，２の白熱ランプの非発光部７２，８２同士で交差す
るように配置されるので、交差部における光照射量は他
の実施形態のものに比べて少なくなるものの、被処理物
に対してほぼ均一に光照射することができる。さらに各
ランプユニット１，２の各白熱ランプの交差部では、第
１のランプユニット１の高温となる発光部７１と第２の
ランプユニット２の高温となる発光部８１が対向しない
ので、各ランプユニット１，２の各白熱ランプの交差部
におけるランプ封体の温度上昇を抑えることができ、ま
た、ランプ封体の変形や温度上昇に伴う封体溶融による
破損を確実に防止することができる。
１，２の白熱ランプの非発光部７２，８２同士で交差す
るように配置されるので、交差部における光照射量は他
の実施形態のものに比べて少なくなるものの、被処理物
に対してほぼ均一に光照射することができる。さらに各
ランプユニット１，２の各白熱ランプの交差部では、第
１のランプユニット１の高温となる発光部７１と第２の
ランプユニット２の高温となる発光部８１が対向しない
ので、各ランプユニット１，２の各白熱ランプの交差部
におけるランプ封体の温度上昇を抑えることができ、ま
た、ランプ封体の変形や温度上昇に伴う封体溶融による
破損を確実に防止することができる。
【００４１】また、前記交差部における温度上昇を抑制
できることにより、上記の他の実施形態と同様に、両ラ
ンプユニット１，２をより近接乃至接触して収納するこ
とができるので、ランプ収納スペースをより小さくした
光加熱装置を実現することができる。
できることにより、上記の他の実施形態と同様に、両ラ
ンプユニット１，２をより近接乃至接触して収納するこ
とができるので、ランプ収納スペースをより小さくした
光加熱装置を実現することができる。
【００４２】また、本実施形態によれば、第１および第
２のランプユニットを同一のフィラメント構造を有する
白熱ランプで構成することができる。
２のランプユニットを同一のフィラメント構造を有する
白熱ランプで構成することができる。
【００４３】次に、本発明の第５の実施形態を図６を用
いて説明する。
いて説明する。
【００４４】図６は、本実施形態に係る光加熱装置の第
１のランプユニット１および第２のランプユニット２の
白熱ランプの配列を示す図であり、図６（ａ）は前記配
列の平面図、図６（ｂ）は前記配列の正面図である。
１のランプユニット１および第２のランプユニット２の
白熱ランプの配列を示す図であり、図６（ａ）は前記配
列の平面図、図６（ｂ）は前記配列の正面図である。
【００４５】本実施形態は、上記の他の実施形態と比べ
て、図１に示す光加熱装置において、第１および第２の
ランプユニットを構成する各白熱ランプを共に発光部と
非発光部からなるフィラメント構造の白熱ランプを用い
ると共に、発光部と非発光部のフィラメント構造が第４
の実施形態のものと異なる白熱ランプを用いる点で相違
しており、その他の構成は図１に示す同符号の構成に対
応する。
て、図１に示す光加熱装置において、第１および第２の
ランプユニットを構成する各白熱ランプを共に発光部と
非発光部からなるフィラメント構造の白熱ランプを用い
ると共に、発光部と非発光部のフィラメント構造が第４
の実施形態のものと異なる白熱ランプを用いる点で相違
しており、その他の構成は図１に示す同符号の構成に対
応する。
【００４６】これらの図において、Ｅは第２のランプユ
ニット２の白熱ランプのフィラメント構造を示す図であ
り、９０は第１のランプユニット１を構成する各白熱ラ
ンプのフィラメント構造、９１，９２はそれぞれフィラ
メント構造９０の発光部および非発光部、１００は第２
のランプユニット２を構成する各白熱ランプのフィラメ
ント構造、１０１，１０２はそれぞれフィラメント構造
１００の発光部および非発光部である。
ニット２の白熱ランプのフィラメント構造を示す図であ
り、９０は第１のランプユニット１を構成する各白熱ラ
ンプのフィラメント構造、９１，９２はそれぞれフィラ
メント構造９０の発光部および非発光部、１００は第２
のランプユニット２を構成する各白熱ランプのフィラメ
ント構造、１０１，１０２はそれぞれフィラメント構造
１００の発光部および非発光部である。
【００４７】これらの図に示すように、第１のランプユ
ニット１の白熱ランプのフィラメント構造９０が、管型
封体の内部に管軸に沿って発光部９１と非発光部９２が
交互に連続して形成された白熱ランプで構成され、第２
のランプユニット２はフィラメント構造１００が、管型
封体の内部に管軸に沿って発光部１０１と非発光部１０
２で構成すると共に、第１のランプユニット１の各白熱
ランプの非発光部９２は第２のランプユニット２の各白
熱ランプの発光部１０１の位置で交差するように配置さ
れ、第１のランプユニット１の各白熱ランプの発光部９
１は第２のランプユニット２の各白熱ランプの非発光部
１０２の位置で交差するように配置される。
ニット１の白熱ランプのフィラメント構造９０が、管型
封体の内部に管軸に沿って発光部９１と非発光部９２が
交互に連続して形成された白熱ランプで構成され、第２
のランプユニット２はフィラメント構造１００が、管型
封体の内部に管軸に沿って発光部１０１と非発光部１０
２で構成すると共に、第１のランプユニット１の各白熱
ランプの非発光部９２は第２のランプユニット２の各白
熱ランプの発光部１０１の位置で交差するように配置さ
れ、第１のランプユニット１の各白熱ランプの発光部９
１は第２のランプユニット２の各白熱ランプの非発光部
１０２の位置で交差するように配置される。
【００４８】本実施形態によれば、各ランプユニット
１，２の白熱ランプの発光部９１，１０１は、それぞれ
各ランプユニット１，２の白熱ランプの非発光部１０
２，９２の位置で交差するように配置されるので、被処
理物に対して均一に光照射することができると共に、各
ランプユニット１，２の各白熱ランプを前記交差部で近
接乃至接触するように配置されるが、第１のランプユニ
ット１の高温となる発光部９１と第２のランプユニット
２の高温となる発光部１０１が対向しないので、各ラン
プユニット１，２の各白熱ランプの交差部におけるラン
プ封体の温度上昇を抑えることができ、また、ランプ封
体の変形や温度上昇に伴う封体溶融による破損を防止す
ることができる。
１，２の白熱ランプの発光部９１，１０１は、それぞれ
各ランプユニット１，２の白熱ランプの非発光部１０
２，９２の位置で交差するように配置されるので、被処
理物に対して均一に光照射することができると共に、各
ランプユニット１，２の各白熱ランプを前記交差部で近
接乃至接触するように配置されるが、第１のランプユニ
ット１の高温となる発光部９１と第２のランプユニット
２の高温となる発光部１０１が対向しないので、各ラン
プユニット１，２の各白熱ランプの交差部におけるラン
プ封体の温度上昇を抑えることができ、また、ランプ封
体の変形や温度上昇に伴う封体溶融による破損を防止す
ることができる。
【００４９】また、前記交差部における温度上昇の抑制
が可能になることに伴い、第１のランプユニット１と第
２のランプユニット２とを近接乃至接触して収納するこ
とができるので、ランプ収納スペースを小さくした光加
熱装置を実現することができる。
が可能になることに伴い、第１のランプユニット１と第
２のランプユニット２とを近接乃至接触して収納するこ
とができるので、ランプ収納スペースを小さくした光加
熱装置を実現することができる。
【００５０】また、本実施形態によれば、第１および第
２のランプユニットを同一のフィラメント構造を有する
白熱ランプで構成することができる。
２のランプユニットを同一のフィラメント構造を有する
白熱ランプで構成することができる。
【００５１】
【発明の効果】本願請求項１乃至請求項５に記載の発明
によれば、狭小なランプ収納スペースしか得られない場
合であっても、両ランプユニットを近接乃至接触して配
置することができるので、ランプ収納スペースを小さく
することができ、また各ランプユニットの白熱ランプの
交差部において、発光部と非発光部または非発光部同士
を交差させるようにしたので、一方のランプユニットの
高温となる発光部と他方の高温となる発光部とが対向し
ないので、各白熱ランプの交差部での温度上昇を抑制
し、かつ被処理物に対して所望の均一な照射量が得られ
る。
によれば、狭小なランプ収納スペースしか得られない場
合であっても、両ランプユニットを近接乃至接触して配
置することができるので、ランプ収納スペースを小さく
することができ、また各ランプユニットの白熱ランプの
交差部において、発光部と非発光部または非発光部同士
を交差させるようにしたので、一方のランプユニットの
高温となる発光部と他方の高温となる発光部とが対向し
ないので、各白熱ランプの交差部での温度上昇を抑制
し、かつ被処理物に対して所望の均一な照射量が得られ
る。
【００５２】また、本願請求項１乃至請求項４に記載の
発明によれば、各ランプユニットの白熱ランプの交差部
において、発光部と非発光部を交差させるようにしたの
で、発光部が密になり、被処理物に対してより一層均一
な照射量が得られる。
発明によれば、各ランプユニットの白熱ランプの交差部
において、発光部と非発光部を交差させるようにしたの
で、発光部が密になり、被処理物に対してより一層均一
な照射量が得られる。
【００５３】また、本願請求項４乃至請求項５に記載の
発明によれば、各ランプユニットを同一のフィラメント
構造を有する白熱ランプで構成することができるので、
部品点数を少なくすることができる。
発明によれば、各ランプユニットを同一のフィラメント
構造を有する白熱ランプで構成することができるので、
部品点数を少なくすることができる。
【図１】第１の実施形態に係る光加熱装置の構成を示す
正面断面図である。
正面断面図である。
【図２】図１に示す第１のランプユニット１および第２
のランプユニット２の白熱ランプの配列を示す図であ
る。
のランプユニット２の白熱ランプの配列を示す図であ
る。
【図３】第２の実施形態に係る第１のランプユニット１
および第２のランプユニット２の白熱ランプの配列を示
す図である。
および第２のランプユニット２の白熱ランプの配列を示
す図である。
【図４】第３の実施形態に係る第１のランプユニット１
および第２のランプユニット２の白熱ランプの配列を示
す図である。
および第２のランプユニット２の白熱ランプの配列を示
す図である。
【図５】第４の実施形態に係る第１のランプユニット１
および第２のランプユニット２の白熱ランプの配列を示
す図である。
および第２のランプユニット２の白熱ランプの配列を示
す図である。
【図６】第５の実施形態に係る第１のランプユニット１
および第２のランプユニット２の白熱ランプの配列を示
す図である。
および第２のランプユニット２の白熱ランプの配列を示
す図である。
【図７】従来技術に係る光加熱装置の構成を示す正面断
面図である。
面図である。
【図８】図７に示す光加熱装置における、上下両段の光
照射加熱用ランプと被処理物との配置を示す図である。
照射加熱用ランプと被処理物との配置を示す図である。
１ 第１のランプユニット
２ 第２のランプユニット
３ 反射板
４，５ ランプ固定台
６ 被処理物
７ 被処理物固定台
１０，２０，３０，４０，５０，６０，７０，８０，９
０，１００ フィラメント構造 １１，２１，３１，４１，５１，５２，６１，７１，８
１，９１，１０１ 発光部 ２２，３２，５３，６２，７２，８２，９２，１０２
非発光部
０，１００ フィラメント構造 １１，２１，３１，４１，５１，５２，６１，７１，８
１，９１，１０１ 発光部 ２２，３２，５３，６２，７２，８２，９２，１０２
非発光部
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭62−293622（ＪＰ，Ａ)
特開 平３−116828（ＪＰ，Ａ)
実開 平２−27696（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 21/26
Claims (5)
- 【請求項１】 複数の白熱ランプから放射される光を被
処理物に照射して被処理物を加熱する光加熱装置におい
て、 前記複数の各白熱ランプを、管型封体の内部に管軸に沿
って発光部と非発光部からなるフィラメント構造の白熱
ランプと、管型封体の内部に管軸に沿って発光部からな
るフィラメント構造の白熱ランプで構成すると共に、前
記複数の白熱ランプを、同一の平面上にあって、それぞ
れの白熱ランプの管軸が互いに平行となるように配列さ
れた複数の白熱ランプからなる第１のランプユニット
と、前記第１のランプユニットと接触乃至離間して配置
され、同一の平面上にあって、それぞれの白熱ランプの
管軸が互いに平行であると共に前記第１のランプユニッ
トの白熱ランプの管軸と交差するように配列された複数
の白熱ランプからなる第２のランプユニットとから構成
し、さらに前記第１および第２のランプユニットを前記
被処理物を同方向から照射するように配置すると共に、
前記第１および第２のランプユニットの白熱ランプの発
光部と前記第１および第２のランプユニットの白熱ラン
プの非発光部とを交差するように配置したことを特徴と
する光加熱装置。 - 【請求項２】 請求項１において、 前記第１および第２のランプユニットのいずれか一方の
ランプユニットを管型封体の内部に管軸に沿って発光部
と非発光部からなるフィラメント構造の白熱ランプで構
成し、他方のランプユニットを管型封体の内部に管軸に
沿って発光部からなるフィラメント構造の白熱ランプで
構成したことを特徴とする光加熱装置。 - 【請求項３】 請求項１において、前記一方のランプユ
ニットを管型封体の内部に管軸に沿って発光部と非発光
部からなるフィラメント構造の白熱ランプと管型封体の
内部に管軸に沿って発光部からなるフィラメント構造の
白熱ランプで構成し、前記他方のランプユニットを管型
封体の内部に管軸に沿って発光部と非発光部からなるフ
ィラメント構造の白熱ランプで構成したことを特徴とす
る光加熱装置。 - 【請求項４】 複数の白熱ランプから放射される光を被
処理物に照射して被処理物を加熱する光加熱装置におい
て、 前記複数の各白熱ランプを、管型封体の内部に管軸に沿
って発光部と非発光部からなるフィラメント構造の白熱
ランプで構成すると共に、前記複数の白熱ランプを、同
一の平面上にあって、それぞれの白熱ランプの管軸が互
いに平行となるように配列された複数の白熱ランプから
なる第１のランプユニットと、前記第１のランプユニッ
トと接触乃至離間して配置され、同一の平面上にあっ
て、それぞれの白熱ランプの管軸が互いに平行であると
共に前記第１のランプユニットの白熱ランプの管軸と交
差するように配列された複数の白熱ランプからなる第２
のランプユニットとから構成し、さらに前記第１および
第２のランプユニットを前記被処理物を同方向から照射
するように配置すると共に、前記第１および第２のラン
プユニットの白熱ランプの発光部と前記第１および第２
のランプユニットの白熱ランプの非発光部とを交差する
ように配置したことを特徴とする光加熱装置。 - 【請求項５】 複数の白熱ランプから放射される光を被
処理物に照射して被処理物を加熱する光加熱装置におい
て、 前記複数の各白熱ランプを、管型封体の内部に管軸に沿
って発光部と非発光部からなるフィラメント構造の白熱
ランプで構成すると共に、前記複数の白熱ランプを、同
一の平面上にあって、それぞれの白熱ランプの管軸が互
いに平行となるように配列された複数の白熱ランプから
なる第１のランプユニットと、前記第１のランプユニッ
トと接触乃至離間して配置され、同一の平面上にあっ
て、それぞれの白熱ランプの管軸が互いに平行であると
共に前記第１のランプユニットの白熱ランプの管軸と交
差するように配列された複数の白熱ランプからなる第２
のランプユニットとから構成し、さらに前記第１および
第２のランプユニットを前記被処理物を同方向から照射
するように配置すると共に、前記第１および第２のラン
プユニットの白熱ランプの非発光部同士を交差するよう
に配置したことを特徴とする光加熱装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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| JP2000014581A JP3528042B2 (ja) | 2000-01-24 | 2000-01-24 | 光加熱装置 |
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|---|---|
| JP2001210604A JP2001210604A (ja) | 2001-08-03 |
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|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|---|
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