JP3525671B2 - 圧電共振子の製造方法 - Google Patents
圧電共振子の製造方法Info
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- JP3525671B2 JP3525671B2 JP04559097A JP4559097A JP3525671B2 JP 3525671 B2 JP3525671 B2 JP 3525671B2 JP 04559097 A JP04559097 A JP 04559097A JP 4559097 A JP4559097 A JP 4559097A JP 3525671 B2 JP3525671 B2 JP 3525671B2
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- piezoelectric resonator
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、セラミックフィル
ターや発振子などに使用される圧電共振子の製造方法に
関するものである。
ターや発振子などに使用される圧電共振子の製造方法に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図７は従来の圧電共振子が複数接続され
た圧電共振子群を示した平面図である。圧電共振子群
は、圧電共振子が複数設けられたものである。
た圧電共振子群を示した平面図である。圧電共振子群
は、圧電共振子が複数設けられたものである。
【０００３】つまり圧電基板１１の表裏両面には複数の
振動閉じ込め電極１２と、それから引き出した引き出し
電極１３と、外部端子（図示せず）と接続するための電
極パッド１４とを形成しており、それぞれを切断すれ
ば、図８に示す個片の圧電共振子１８に分離される。電
極パッド１４は外部端子と接続するために必要な面積を
有するように設計されている。
振動閉じ込め電極１２と、それから引き出した引き出し
電極１３と、外部端子（図示せず）と接続するための電
極パッド１４とを形成しており、それぞれを切断すれ
ば、図８に示す個片の圧電共振子１８に分離される。電
極パッド１４は外部端子と接続するために必要な面積を
有するように設計されている。
【０００４】また、個々の圧電共振子１８において、１
６は端面からの影響を小さくするために設けた非電極形
成部である。この非電極形成部１６は、端面からの影響
による不要共振応答が共振周波数近傍に発生しないよう
に振動閉じ込め電極１２から端面までの距離を十分大き
くするために必要なものである。
６は端面からの影響を小さくするために設けた非電極形
成部である。この非電極形成部１６は、端面からの影響
による不要共振応答が共振周波数近傍に発生しないよう
に振動閉じ込め電極１２から端面までの距離を十分大き
くするために必要なものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記の従来の構成で
は、限界まで小さくした非電極形成部１６を確保するた
めに、圧電共振子１８個片への切断の精度を上げる必要
があり、共振子形成プロセスに異常が発生し、非電極形
成部１６が限界以下の寸法になったと予想される場合、
非電極形成部１６が限界以下の圧電共振子１８は、選別
し取り除く必要がある。しかしながら振動閉じ込め電極
１２と共振子端面迄の距離の限界寸法は、共振周波数に
より異なるが、下限値でおよそ５０μ程度であるため目
視により限界寸法を満たしているかどうかを判断するこ
とは困難であり、そのために不良品が含まれていると予
想される加工ロットは、そのすべてを廃棄しなければな
らず、歩留まりの低下が発生するという問題点を有して
いた。
は、限界まで小さくした非電極形成部１６を確保するた
めに、圧電共振子１８個片への切断の精度を上げる必要
があり、共振子形成プロセスに異常が発生し、非電極形
成部１６が限界以下の寸法になったと予想される場合、
非電極形成部１６が限界以下の圧電共振子１８は、選別
し取り除く必要がある。しかしながら振動閉じ込め電極
１２と共振子端面迄の距離の限界寸法は、共振周波数に
より異なるが、下限値でおよそ５０μ程度であるため目
視により限界寸法を満たしているかどうかを判断するこ
とは困難であり、そのために不良品が含まれていると予
想される加工ロットは、そのすべてを廃棄しなければな
らず、歩留まりの低下が発生するという問題点を有して
いた。
【０００６】本発明は、上記従来の問題点を解決するも
ので、小形、高性能の共振子を形成する際、歩留まりの
低下が発生することのない圧電共振子の製造方法を提供
するものである。
ので、小形、高性能の共振子を形成する際、歩留まりの
低下が発生することのない圧電共振子の製造方法を提供
するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明は、大板状の圧電基板の表裏両面に表裏対向す
る複数対の振動閉じ込め電極とこの振動閉じ込め電極に
引き出し電極を介して接続する電極パッドとを設けた圧
電共振子群を分断して個片とする圧電共振子の製造方法
において、前記電極パッドは、その幅寸法を振動閉じ込
め電極の幅または直径よりも１００μｍ以上長くし前記
電極パッド間の非形成部によりそれぞれ分離したもので
あり、前記圧電共振子群の前記電極パッド間の非形成部
で圧電基板を分断して個片の圧電共振子とし、前記個片
の圧電共振子について前記電極パッドの両側の非形成部
の有無の認識により良否を選別するものである。
に本発明は、大板状の圧電基板の表裏両面に表裏対向す
る複数対の振動閉じ込め電極とこの振動閉じ込め電極に
引き出し電極を介して接続する電極パッドとを設けた圧
電共振子群を分断して個片とする圧電共振子の製造方法
において、前記電極パッドは、その幅寸法を振動閉じ込
め電極の幅または直径よりも１００μｍ以上長くし前記
電極パッド間の非形成部によりそれぞれ分離したもので
あり、前記圧電共振子群の前記電極パッド間の非形成部
で圧電基板を分断して個片の圧電共振子とし、前記個片
の圧電共振子について前記電極パッドの両側の非形成部
の有無の認識により良否を選別するものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１の発明は、大板
状の圧電基板の表裏両面に表裏対向する複数対の振動閉
じ込め電極とこの振動閉じ込め電極に引き出し電極を介
して接続する電極パッドとを設けた圧電共振子群を分断
して個片とする圧電共振子の製造方法において、前記電
極パッドは、その幅寸法を振動閉じ込め電極の幅または
直径よりも１００μｍ以上長くし前記電極パッド間の非
形成部によりそれぞれ分離したものであり、前記圧電共
振子群の前記電極パッド間の非形成部で圧電基板を分断
して個片の圧電共振子とし、前記個片の圧電共振子につ
いて前記電極パッドの両側の非形成部の有無の認識によ
り良否を選別する圧電共振子の製造方法であって、電極
パッド間で分断されたものであれば良品とすることがで
きる。
状の圧電基板の表裏両面に表裏対向する複数対の振動閉
じ込め電極とこの振動閉じ込め電極に引き出し電極を介
して接続する電極パッドとを設けた圧電共振子群を分断
して個片とする圧電共振子の製造方法において、前記電
極パッドは、その幅寸法を振動閉じ込め電極の幅または
直径よりも１００μｍ以上長くし前記電極パッド間の非
形成部によりそれぞれ分離したものであり、前記圧電共
振子群の前記電極パッド間の非形成部で圧電基板を分断
して個片の圧電共振子とし、前記個片の圧電共振子につ
いて前記電極パッドの両側の非形成部の有無の認識によ
り良否を選別する圧電共振子の製造方法であって、電極
パッド間で分断されたものであれば良品とすることがで
きる。
【０００９】また本発明の請求項２の発明は分離された
電極パッド間に、複数のスリット電極を有する請求項１
記載の圧電共振子の製造方法であって、スリット電極の
存在により良否判定が行えるものとなる。
電極パッド間に、複数のスリット電極を有する請求項１
記載の圧電共振子の製造方法であって、スリット電極の
存在により良否判定が行えるものとなる。
【００１０】以下、本発明の一実施形態について図面を
参照しながら説明する。図１は４５ＭHzの共振周波数を
もつ圧電共振子の例である。この場合において、振動閉
じ込め電極２の直径としては不要共振が発生しない寸法
としてａ＝０．６mmを選択している。また、振動閉じ込
め電極２から図２の切断後の圧電共振子８端面迄の距離
は不要共振が発生しないためには、非電極形成部６にお
いて少なくとも１００μ必要であることより分離された
各電極パッド４幅は、振動閉じ込め電極２の直径ａより
も片側１００μ（＝１００μ）、つまり全体として２０
０μ長くなっている。図２，図３は図１の大板の圧電基
板１より個片の圧電共振子８を切り出した状態を示す。
図２は共振子形成プロセスが正常に行われた状態を示し
ており、電極パッド４両側に端面まで非電極パッド形成
部７を有している。つまり、電極パッド４が欠ける事な
く切断されていれば、不要共振が発生しないために必要
な下限値１００μが確保されていることを、容易に認識
することができる。なお非電極パッド形成部７の距離は
切断の刃厚、刃ぶれ、等共振子作成プロセスの各工程の
公差より決定する。図３は共振子形成プロセスで異常が
発生したものを示し、振動閉じ込め電極２、引き出し電
極３、電極パッド４いずれも左側にずれており、左側に
は非電極パッド形成部７が存在していないことより、共
振子端面迄の距離が不要共振が発生しないために必要な
下限値１００μが確保されていないことを容易に認識す
ることができる。つまり、目視による選別が可能であ
り、非電極パッド形成部７の有無の認識により画像認識
も容易に行うことができる。図４は、電極パッド４の間
に複数のスリット電極５を有した圧電基板を示し、共振
子形成プロセスが正常に行われた場合を図５に示し、異
常が発生した場合を図６に示している。図６の場合は図
３の場合同様、共振子端面迄の距離が、不要共振が発生
しないために必要な距離確保されていないことを容易に
認識することができる。つまり、この場合は切り出され
た圧電共振子８の電極パッド４の両側の非電極パッド形
成部７に存在するスリット電極５の数より、より簡単に
判断することができる。具体的には、正常である図５で
は電極パッド部４の両側のスリット電極５の数はおのお
の１個であり、共振子端面迄の距離が不要共振が発生し
ないために必要な距離確保されている。図９に必要な距
離（４５ＭHzの場合は１００μ）が確保されている場合
のインピーダンス特性を実線Ａで、確保されていない場
合のインピーダンス特性を破線Ｂ，Ｃで示す。
参照しながら説明する。図１は４５ＭHzの共振周波数を
もつ圧電共振子の例である。この場合において、振動閉
じ込め電極２の直径としては不要共振が発生しない寸法
としてａ＝０．６mmを選択している。また、振動閉じ込
め電極２から図２の切断後の圧電共振子８端面迄の距離
は不要共振が発生しないためには、非電極形成部６にお
いて少なくとも１００μ必要であることより分離された
各電極パッド４幅は、振動閉じ込め電極２の直径ａより
も片側１００μ（＝１００μ）、つまり全体として２０
０μ長くなっている。図２，図３は図１の大板の圧電基
板１より個片の圧電共振子８を切り出した状態を示す。
図２は共振子形成プロセスが正常に行われた状態を示し
ており、電極パッド４両側に端面まで非電極パッド形成
部７を有している。つまり、電極パッド４が欠ける事な
く切断されていれば、不要共振が発生しないために必要
な下限値１００μが確保されていることを、容易に認識
することができる。なお非電極パッド形成部７の距離は
切断の刃厚、刃ぶれ、等共振子作成プロセスの各工程の
公差より決定する。図３は共振子形成プロセスで異常が
発生したものを示し、振動閉じ込め電極２、引き出し電
極３、電極パッド４いずれも左側にずれており、左側に
は非電極パッド形成部７が存在していないことより、共
振子端面迄の距離が不要共振が発生しないために必要な
下限値１００μが確保されていないことを容易に認識す
ることができる。つまり、目視による選別が可能であ
り、非電極パッド形成部７の有無の認識により画像認識
も容易に行うことができる。図４は、電極パッド４の間
に複数のスリット電極５を有した圧電基板を示し、共振
子形成プロセスが正常に行われた場合を図５に示し、異
常が発生した場合を図６に示している。図６の場合は図
３の場合同様、共振子端面迄の距離が、不要共振が発生
しないために必要な距離確保されていないことを容易に
認識することができる。つまり、この場合は切り出され
た圧電共振子８の電極パッド４の両側の非電極パッド形
成部７に存在するスリット電極５の数より、より簡単に
判断することができる。具体的には、正常である図５で
は電極パッド部４の両側のスリット電極５の数はおのお
の１個であり、共振子端面迄の距離が不要共振が発生し
ないために必要な距離確保されている。図９に必要な距
離（４５ＭHzの場合は１００μ）が確保されている場合
のインピーダンス特性を実線Ａで、確保されていない場
合のインピーダンス特性を破線Ｂ，Ｃで示す。
【００１１】
【発明の効果】以上の実施の形態の説明からも明らかな
ように本発明は、電極パッドを、それぞれ分離し、分離
された電極パッド間で個片に分断することにより、良
品、不良品を容易に判断することが可能となる。
ように本発明は、電極パッドを、それぞれ分離し、分離
された電極パッド間で個片に分断することにより、良
品、不良品を容易に判断することが可能となる。
【図１】本発明の一実施形態における圧電共振子群の平
面図
面図
【図２】同圧電共振子群より面常な加工プロセスにより
作成された圧電共振子の平面図
作成された圧電共振子の平面図
【図３】同圧電共振子群より加工プロセスに異常が生じ
た状態で作成された圧電共振子の平面図
た状態で作成された圧電共振子の平面図
【図４】本発明の他の実施形態における圧電共振子群の
平面図
平面図
【図５】同圧電共振子群より面常な加工プロセスにより
作成された圧電共振子の平面図
作成された圧電共振子の平面図
【図６】同圧電共振子群より加工プロセスに異常が生じ
た状態で作成された圧電共振子の平面図
た状態で作成された圧電共振子の平面図
【図７】従来例の圧電共振子群の平面図
【図８】同圧電共振子群より作成された圧電共振子の平
面図
面図
【図９】非電極形成部が確保されている場合と、限界以
下の場合の共振子の周波数特性を示す図
下の場合の共振子の周波数特性を示す図
１ 圧電基板
２ 振動閉じ込め電極
３ 引き出し電極
４ 電極パッド
８ 圧電共振子
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H03H 3/00 - 3/04
H03H 9/00 - 9/215
Claims (2)
- 【請求項１】 大板状の圧電基板の表裏両面に表裏対向
する複数対の振動閉じ込め電極とこの振動閉じ込め電極
に引き出し電極を介して接続する電極パッドとを設けた
圧電共振子群を分断して個片とする圧電共振子の製造方
法において、前記電極パッドは、その幅寸法を振動閉じ
込め電極の幅または直径よりも１００μｍ以上長くし前
記電極パッド間の非形成部によりそれぞれ分離したもの
であり、前記圧電共振子群の前記電極パッド間の非形成
部で圧電基板を分断して個片の圧電共振子とし、前記個
片の圧電共振子について前記電極パッドの両側の非形成
部の有無の認識により良否を選別する圧電共振子の製造
方法。 - 【請求項２】 分離された電極パッド間に、複数のスリ
ット電極を有する請求項１記載の圧電共振子の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04559097A JP3525671B2 (ja) | 1997-02-28 | 1997-02-28 | 圧電共振子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04559097A JP3525671B2 (ja) | 1997-02-28 | 1997-02-28 | 圧電共振子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10242784A JPH10242784A (ja) | 1998-09-11 |
| JP3525671B2 true JP3525671B2 (ja) | 2004-05-10 |
Family
ID=12723575
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04559097A Expired - Fee Related JP3525671B2 (ja) | 1997-02-28 | 1997-02-28 | 圧電共振子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3525671B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1188915C (zh) | 2000-07-25 | 2005-02-09 | Tdk株式会社 | 压电谐振器、压电谐振器器件及其制造方法 |
-
1997
- 1997-02-28 JP JP04559097A patent/JP3525671B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10242784A (ja) | 1998-09-11 |
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