JP3519310B2 - 液晶表示装置 - Google Patents
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Description
をスイッチング素子に用いた液晶表示装置に関し、詳細
には、クロストーク、フリッカーを防止して高品質な画
質を図り得る液晶材料を用いた液晶表示装置に関するも
のである。
素子に用いた液晶表示装置(以下、「TFT−LCD:
Thin Film Transistor−Liquid Crystal Display」とい
う)は、大型化及び高精細化が進んでいる。また、液晶
表示装置に求められる表示品位もマルチメディア化が進
むに伴って高度になってきている。
いる構造のパネル100は、本発明の説明図である図1
2に示すように、片側のガラス基板131上に走査線1
01…と信号線105…とTFT104…とを作り込
み、他方の基板132に全面に電極を形成するものであ
る。同図において、下側基板つまりガラス基板131の
横方向の線路が走査線101…、縦方向の線路が信号線
105…である。これら両配線101…・105…は、
極めて薄い絶縁層を挟んで交差している。しかし、走査
線101…及び信号線105…は極めて多数存在するた
め、これらの交差部によって形成される容量は全体とし
て無視できない大きさとなってしまう。
つれて、この配線の容量を原因とする信号の遅延が深刻
になってきており、画素を十分に充電する時間が不足す
るというような問題が生じている。
の絶縁不良による短絡や、段差の箇所での断線等の問題
もパネル生産性を悪くする原因となっている。
造として、片側のガラス基板にTFTと走査線とを設
け、信号線は他方の基板上に形成する構造が、例えば、
以下の文献に提案されている。
chitectures for Liquid Crystal Displays Based on T
hin Film Transistors. “ Japan Display '86" 沖賢一・他 新しいアクティブマトリクスによるフ
ルカラー液晶ディスプレイ テレビジョン学会技術報告
ITEJ Technical Report Vol.11 no.27,pp.73-78 沖賢一・他 アクティブマトリックス形表示装置
(特開昭62-133478 号公報) ここで、本発明の説明図である図10に上記文献に示さ
れた構造のパネル構造を示す。尚、このような構造を、
本明細書では、「対向基板信号線構造」と呼ぶことにす
る。
は、TFT基板31上に、走査線1…、基準電位線2…
及びTFT4…が設けられる一方、対向基板32に対向
基板信号線5…が取り付けられたものとなっている。従
って、走査線1…と対向基板信号線5…とは、薄膜を介
した交差がない構造となっている。このため、このパネ
ル30では、走査線1…と対向基板信号線5…との容量
は大幅に低減され、配線の時定数に基づく信号の遅延が
大幅に低減される。それゆえ、信号遅延の問題が深刻と
なる大型高精細のTFT−LCDのパネルにこの対向基
板信号線構造は最適である。さらに、基板上での交差が
ないため、前述した短絡や断線不良の発生率が低下し、
歩留まり向上も期待できる。
来のTFT−LCDでは、スイッチング素子に非単結晶
シリコンのTFTを用いる場合に、クロストークが大き
く、また、直流成分のシフトの抑制が困難であるという
問題点を有している。この問題は、対向基板信号線構造
のTFT−LCDでは、交差部を有する構造に比べてよ
り著しい現象として現れるので一層深刻な問題となる。
ず、図13に交差部を有する構造のパネル100の1画
素に対応する等価回路、及び図11に対向基板信号線構
造のパネル30の1画素に対応する等価回路を示す。
電極による容量(以下、「画素容量」という)、Cgdは
TFT4・104のゲート・ドレイン間容量(走査線と
画素電極との間の結合容量を含む)、CsdはTFT4・
104のソース・ドレイン間容量(TFT4・104の
ソース電極Sが接続されている線路と画素電極との結合
容量を含む)である。尚、TFT4・104のソース電
極Sが接続されている線路とは、交差部を有する構造の
パネル100では信号線105…を示し、対向信号線溝
造のパネル30では基準電位線2…を示す。
いる期間の画素電極の図示しない電荷(QLC)が液晶に
印加される電圧を決定するので、この画素電極の電荷
(QLC)はTFT4・104のオフの期間中はできる限
り、一定に保たれることが望ましい。
する構造のパネル100では、オフ期間中に画素電極の
電荷(QLC)を変動させる要素は、共通電極電位(V
com )に対する走査線101…と信号線105…との相
対的電位であり、そのうち、共通電極電位(Vcom )と
走査線電位(Vg )との電位差は、全ての画素に対して
一定とすることができる。しかし、信号線電位(Vd )
は、パネル100に表示すべきパターンによって変化す
る電位であるので、これを一定とすることはできない。
パネル30では、同様に、オフ期間中に画素電極の図示
しない電荷(QLC)を変動させる要素は、対向基板信号
線5…の電位(Vd )に対する走査線1…と基準電位線
2…との相対的電位である。
(Vd )は、同様に、パターンによって変化する電位で
あるので、これを一定とすることはできない。
う〕(Vg )と基準電位線電位(Vref )とは、少なく
とも各行毎のTFT4に対して共通に接続させているた
め、これを各画素毎に、それぞれの信号線電圧(Vd )
に合わせて変化させることはできない。
では、信号線電圧(Vd )に対するゲート線電位
(Vg )と基準電位線電位(Vref )との相対電圧は、
共に一定とすることができない。仮に、画素容量CLC、
TFT4のゲート・ドレイン間容量Cgd、及びTFT4
のソース・ドレイン間容量Csdの値がそれぞれ同一であ
るとすれば、交差部を有する構造のパネル100に対し
て、「画素電極の電位変動がパネル30に表示すべきパ
ターンに依存して変動する割合が本質的に大きい」とい
う課題を抱えた構造であると言うことになる。
は、後述するように、画素電極の電位の変動を相対的に
小さくすべく、補助容量を形成することが構造的に容易
であり、その点からも、対向基板信号線構造のパネル3
0に対して高い表示品位を得易い構造と言って良い。ま
た、前述した画素電極の電位変動は、具体的には、パタ
ーンに依存して生じるスミアつまりシミやムラ(クロス
トーク又はシャドーイング)として観測される。尚、上
記クロストークとは、マトリックスディスプレイにおい
て、ある領域の表示が迂回路を介して同じ列又は行の表
示に影響を与え、他の表示画素を駆動させてしまう現象
をいう。また、シャドーイングとはクロストークと同義
語である。
述べる。
信号が選択から非選択に変わり、その電圧がTFTの寄
生容量Cpar を介して画素容量CLCにかかる。その結
果、画素の電位は常に書き込み直後に、 Cpar /(CLC+Cpar ) に比例した量だけマイナスシフトする。通常は、基準と
なる電圧を調整することによりマイナスシフトを補償で
きる。しかし、液晶は実効電圧によって誘電率が変わる
ためにマイナスシフト量が変わり、面内で一律に補償す
ることができない。これは、表示品位上では画面のちら
つき成分つまりフリッカー成分となって現れる。また、
残留している直流成分が大きいとシミやムラが発生し易
くなる。
0では、補助容量Cs を付加してマイナスシフト量の液
晶誘電率変動依存性を小さくするようにしている。
0では、補助容量Cs を形成することが構造的に非常に
難しく、フリッカーの抑制が困難であった。
たものであって、その目的は、クロストーク、フリッカ
ー及び直流成分のシフトを低減して高品質な画質を図り
得る適切な物性値を有する液晶材料を備えた液晶表示装
置を提供することにある。
晶表示装置は、上記課題を解決するために、マトリック
ス状に設けられた3端子を有するスイッチング素子と、
該スイッチング素子の各列の第1端子と接続された走査
線と、該スイッチング素子の各列毎の第2端子と接続さ
れた画素電極とを有する画素基板と、該画素基板に対向
し、該画素電極の各々に対向する対向電極と該対向電極
を各行毎に連ねて接続する信号線とを有する対向基板
と、該画素基板と該対向基板との間に挟持される液晶と
からなる液晶表示装置であって、上記3端子を有するス
イッチング素子は薄膜トランジスタからなり、該薄膜ト
ランジスタのチャネル長は6μm以下であり、かつオー
バーラップ長が3μm以下であるとともに、実効的な比
誘電率を長軸方向比誘電率εP 及び短軸方向比誘電率ε
V として表したとき、X=εP +εV 、Y=εP ・εV
とすると、9.5≦X≦15.5、及び5.43≦A≦
5.75かつ27≦B≦36.2の範囲のある点におい
て、Y=A・X−Bが成立する長軸方向比誘電率εP 及
び短軸方向比誘電率εV を有する液晶材料からなること
を特徴としている。
記課題を解決するために、マトリックス状に設けられた
3端子を有するスイッチング素子と、該スイッチング素
子の各列の第1端子と接続された走査線と、該スイッチ
ング素子の各列毎の第2端子と接続された画素電極とを
有する画素基板と、該画素基板に対向し、該画素電極の
各々に対向する対向電極と該対向電極を各行毎に連ねて
接続する信号線とを有する対向基板と、該画素基板と該
対向基板との間に挟持される液晶とからなる液晶表示装
置であって、上記3端子を有するスイッチング素子は薄
膜トランジスタからなり、該薄膜トランジスタのチャネ
ル長は6μm以下であり、かつオーバーラップ長が3μ
m以下であるとともに、実効的な比誘電率を長軸方向比
誘電率εP 及び短軸方向比誘電率εV として表したと
き、X=εP +εV 、Y=εP ・εV とすると、10.
2≦X≦14.7、及び5.43≦A≦5.75かつ2
7≦B≦36.2の範囲のある点において、Y=A・X
−Bが成立する長軸方向比誘電率εP 及び短軸方向比誘
電率εV を有する液晶材料からなることを特徴としてい
る。
記課題を解決するために、マトリックス状に設けられた
3端子を有するスイッチング素子と、該スイッチング素
子の各列の第1端子と接続された走査線と、該スイッチ
ング素子の各列毎の第2端子と接続された画素電極とを
有する画素基板と、該画素基板に対向し、該画素電極の
各々に対向する対向電極と該対向電極を各行毎に連ねて
接続する信号線とを有する対向基板と、該画素基板と該
対向基板との間に挟持される液晶とからなる液晶表示装
置であって、上記3端子を有するスイッチング素子は薄
膜トランジスタからなり、該薄膜トランジスタのチャネ
ル長は6μm以下であり、かつオーバーラップ長が3μ
m以下であるとともに、実効的な比誘電率を長軸方向比
誘電率εP 及び短軸方向比誘電率εV として表したと
き、X=εP +εV 、Y=εP ・εV とすると、10.
2≦X≦14.7、及びA=5.59かつB=32.0
2の範囲のある点において、Y=A・X−Bが成立する
長軸方向比誘電率εP 及び短軸方向比誘電率εV を有す
る液晶材料からなることを特徴としている。
記課題を解決するために、マトリックス状に設けられた
3端子を有するスイッチング素子と、該スイッチング素
子の各列の第1端子と接続された走査線と、該スイッチ
ング素子の各列毎の第2端子と接続された画素電極とを
有する画素基板と、該画素基板に対向し、該画素電極の
各々に対向する対向電極と該対向電極を各行毎に連ねて
接続する信号線とを有する対向基板と、該画素基板と該
対向基板との間に挟持される液晶とからなる液晶表示装
置であって、上記3端子を有するスイッチング素子は薄
膜トランジスタからなり、該薄膜トランジスタのチャネ
ル長は5μm以下であり、かつオーバーラップ長が3μ
m以下であるとともに、実効的な比誘電率を長軸方向比
誘電率ε P 及び短軸方向比誘電率ε V として表したと
き、X=ε P +ε V 、Y=ε P ・ε V とすると、9.5
≦X≦15.5、及び5.43≦A≦5.75かつ27
≦B≦36.2の範囲のある点において、Y=A・X−
Bが成立する長軸方向比誘電率ε P 及び短軸方向比誘電
率ε V を有する液晶材料からなることを特徴としてい
る。
記課題を解決するために、マトリックス状に設けられた
3端子を有するスイッチング素子と、該スイッチング素
子の各列の第1端子と接続された走査線と、該スイッチ
ング素子の各列毎の第2端子と接続された画素電極とを
有する画素基板と、該画素基板に対向し、該画素電極の
各々に対向する対向電極と該対向電極を各行毎に連ねて
接続する信号線とを有する対向基板と、該画素基板と該
対向基板との間に挟持される液晶とからなる液晶表示装
置であって、上記3端子を有するスイッチング素子は薄
膜トランジスタからなり、該薄膜トランジスタのチャネ
ル長は5μm以下であり、かつオーバーラップ長が3μ
m以下であるとともに、実効的な比誘電率を長軸方向比
誘電率ε P 及び短軸方向比誘電率ε V として表したと
き、X=ε P +ε V 、Y=ε P ・ε V とすると、10.
2≦X≦14.7、及び5.43≦A≦5.75かつ2
7≦B≦36.2の範囲のある点において、Y=A・X
−Bが成立する長軸方向比誘電率ε P 及び短軸方向比誘
電率ε V を有する液晶材料からなることを特徴としてい
る。
記課題を解決するために、マトリックス状に設けられた
3端子を有するスイッチング素子と、該スイッチング素
子の各列の第1端子と接続された走査線と、該スイッチ
ング素子の各列毎の第2端子と接続された画素電極と第
3端子に接続された信号線とを有する画素基板と、該画
素基板に対向し、該画素電極の各々に対向する対向電極
を有する対向基板と、該画素基板と該対向基板との間に
挟持される液晶とからなる液晶表示装置であって、上記
3端子を有するスイッチング素子は薄膜トランジスタか
らなり、該薄膜トランジスタのチャネル長は5μm以下
であり、かつオーバーラップ長が3μm以下であるとと
もに、実効的な比誘電率を長軸方向比誘電率ε P 及び短
軸方向比誘電率ε V として表したとき、X=ε P +
ε V 、Y=ε P ・ε V とすると、10.2≦X≦14.
7、及びA=5.59かつB=32.02の範囲のある
点において、Y=A・X−Bが成立する長軸方向比誘電
率ε P 及び短軸方向比誘電率ε V を有する液晶材料から
なることを特徴としている。
記課題を解決するために、マトリックス状に設けられた
3端子を有するスイッチング素子と、該スイッチング素
子の各列の第1端子と接続された走査線と、該スイッチ
ング素子の各列毎の第2端子と接続された画素電極と第
3端子に接続された信号線とを有する画素基板と、該画
素基板に対向し、該画素電極の各々に対向する対向電極
を有する対向基板と、該画素基板と該対向基板との間に
挟持される液晶とからなる液晶表示装置であって、上記
3端子を有するスイッチング素子は薄膜トランジスタか
らなり、該薄膜トランジスタのチャネル長は6μm以下
であり、かつオーバーラップ長が3μm以下であるとと
もに、実効的な比誘電率を長軸方向比誘電率ε P 及び短
軸方向比誘電率ε V として表したとき、X=ε P +
ε V 、Y=ε P ・ε V とすると、9.5≦X≦15.
5、及び5.43≦A≦5.75かつ27≦B≦36.
2の範囲のある点において、Y=A・X−Bが成立する
長軸方向比誘電率ε P 及び短軸方向比誘電率ε V を有す
る液晶材料からなることを特徴としている。 請求項8に
係る発明の液晶表示装置は、上記課題を解決するため
に、マトリックス状に設けられた3端子を有するスイッ
チング素子と、該スイッチング素子の各列の第1端子と
接続された走査線と、該スイッチング素子の各列毎の第
2端子と接続された画素電極と第3端子に接続された信
号線とを有する画素基板と、該画素基板に対向し、該画
素電極の各々に対向する対向電極を有する対向基板と、
該画素基板と該対向基板との間に挟持される液晶とから
なる液晶表示装置であって、上記3端子を有するスイッ
チング素子は薄膜トランジスタからなり、該薄膜トラン
ジスタのチャネル長は6μm以下であり、かつオーバー
ラップ長が3μm以下であるとともに、実効的な比誘電
率を長軸方向比誘電率ε P 及び短軸方向比誘電率ε V と
して表したとき、X=ε P +ε V 、Y=ε P ・ε V とす
ると、10.2≦X≦14.7、及び5.43≦A≦
5.75かつ27≦B≦36.2の範囲のある点におい
て、Y=A・X−Bが成立する長軸方向比誘電率ε P 及
び短軸方向比誘電率ε V を有する液晶材料からなること
を特徴としている。 請求項9に係る発明の液晶表示装置
は、上記課題を解決するために、マトリックス状に設け
られた3端子を有するスイッチング素子と、該スイッチ
ング素子の 各列の第1端子と接続された走査線と、該ス
イッチング素子の各列毎の第2端子と接続された画素電
極と第3端子に接続された信号線とを有する画素基板
と、該画素基板に対向し、該画素電極の各々に対向する
対向電極を有する対向基板と、該画素基板と該対向基板
との間に挟持される液晶とからなる液晶表示装置であっ
て、上記3端子を有するスイッチング素子は薄膜トラン
ジスタからなり、該薄膜トランジスタのチャネル長は6
μm以下であり、かつオーバーラップ長が3μm以下で
あるとともに、実効的な比誘電率を長軸方向比誘電率ε
P 及び短軸方向比誘電率ε V として表したとき、X=ε
P +ε V 、Y=ε P ・ε V とすると、10.2≦X≦1
4.7、及びA=5.59かつB=32.02の範囲の
ある点において、Y=A・X−Bが成立する長軸方向比
誘電率ε P 及び短軸方向比誘電率ε V を有する液晶材料
からなることを特徴としている。そして、これらの構成
により、クロストーク、フリッカー及び直流成分のシフ
トを低減して、生産性が高く、大型高精細に適した画質
を持つ液晶表示装置を実現することができる。
1ないし図14に基づいて説明すれば、以下の通りであ
る。
に示すように、対向基板信号線構造のパネル30からな
っており、マトリックス状に設けられた3端子を有する
スイッチング素子としてのTFT4…と、このTFT4
…の各列の第1端子と接続された走査線1…と、TFT
4…の各列毎の第2端子と接続された基準電位線2…
と、TFT4…各々の第3端子と接続された画素電極と
を有する画素基板と、該画素基板に対向し、該画素電極
の各々に対向する対向電極と該対向電極を各行毎に連ね
て接続する信号線としての対向基板信号線5…とを有す
る対向基板32と、該画素基板と該対向基板32との間
に挟持される液晶とからなっている。
を有するスイッチング素子は薄膜トランジスタからな
り、該薄膜トランジスタのチャネル長は6μm以下であ
る一方、上記の液晶は、実効的な比誘電率を長軸方向比
誘電率εP 及び短軸方向比誘電率εV として表したと
き、X=εP +εV 、Y=εP ・εV とすると、9.5
≦X≦15.5、及び5.43≦A≦5.75かつ27
≦B≦36.2の範囲のある点において、Y=A・X−
Bが成立する長軸方向比誘電率εP 及び短軸方向比誘電
率εV を有する液晶材料からなっている。
と画素電荷保持時の画素電極の電位変動(クロストー
ク)を定量的に評価する。
残留する現象は、図11に示す書き込み終了時のゲート
電位Vg の変動、つまりオンからオフへの変動が、ゲー
ト・ドレイン間寄生容量CTFT onとゲート・ドレイン間
の横電界容量Cgd lat との和、及び画素容量CLCの容量
分割によって画素電位が変動する現象である。
動する現象は、同図に示すソース電位Vs の変動が、ゲ
ート・ドレイン間寄生容量CTFT off と基準電位線・ド
レイン間の横電界容量Csd lat とゲート・ドレイン間の
横電界容量Cgd lat との和、及び画素容量CLCの容量分
割によって画素電位が変動する現象である。
出される。
FT4におけるチャネル長L、チャネル幅W、ゲート電
極Gとドレイン電極(画素電極)Dとのオーバーラップ
長ΔL、ゲート絶縁膜8の単位面積当たりの容量Coxと
すると、図11に示すように、TFT4自身の画素書き
込み時のゲート・ドレイン間寄生容量CTFT on及び電荷
保持時のゲート・ドレイン間寄生容量CTFT off は、そ
れぞれ、
イン電極(画素電極)Dに接続される画素書き込み時の
寄生容量Cpar onと電荷保持時の寄生容量C
par off は、
極)Dの電位変動を評価するとき、本構造では対向基板
信号線5…とTFT基板31側の走査線1…、及び基準
電位線2…間の電位変動量と画素の画素容量CLCと画素
(ドレイン)・走査線及び画素・基準電位線間の寄生容
量の容量比で画素電極の電位変動が決まる。
ル100では、対向側の共通電位電極(本構造の基準電
位線に相当)とガラス基板131側の信号線間の電位変
動量と画素の画素容量と画素(ドレイン)・信号線の寄
生容量の容量比でドレイン電極(画素電極)Dの電位変
動が決まる。
0の、式(4)から電荷保持時のゲート・ドレイン間寄
生容量CTFT off 及びゲート・ドレイン間の横電界容量
Cgd lat の項が削除される。その点が対向基板信号線構
造のパネル30と異なる点である。
辺側ピッチPS とし、開口率をγ、液晶の実効的(標準
セルでの測定値)な比誘電率を長軸方向εP ・短軸方向
εV、真空中の誘電率をε0 、セル厚Tsel とすると、
それぞれの画素容量CLC(P)・画素容量CLC(V) は、
電率εP ×真空中の誘電率ε0 =長軸方向誘電率として
示され、短軸方向比誘電率εV ×真空中の誘電率ε0 =
短軸方向誘電率として示される。また、長軸方向比誘電
率εP 及び短軸方向比誘電率εV は以下のように定義す
る。即ち、通常のTN(Twisted Nematic)液晶材料で
は、長軸方向比誘電率εP >短軸方向比誘電率εV であ
るため、液晶に印加される実行電圧値と液晶の誘電率と
の関係は、図14に示すようになる。従って、実際の駆
動では、液晶に印加される実効電圧値の最小値を
Vmin 、最大値をVmax とすると、最小値Vmin のとき
の液晶の誘電率が短軸方向比誘電率εV となり、最大値
をVmax のときの液晶の誘電率が長軸方向比誘電率εP
となる。
晶材料は、誘電率異方性Δε=εP−εV が正であるた
め、
量CLC(V) よりも大きくかつ画素容量CLC(P) よりも小
さいため上式となる。
ε=εP −εV が負になるため、上記大小関係は逆転す
る。
タの制限条件を導出する。
き込み電位をVgh、TFT4…の閾値をVth、ソース電
位をVs 、信号線電位(以下、「ドレイン電位」とい
う)をVd とすると(Vs <Vd )、TFT4のオン電
流は、殆どMOS(Metal Oxide Semiconductor)トラン
ジスタの線型領域の電流式で近似的に表され、
ドレイン電極Dとソース電極Sとを交換した式となる。
は、ライン反転駆動の場合、走査線書き込み電位Vghは
15Vであり、ソース・ドレイン間電位Vds(=|Vs
−Vd |)は最大5V程度である。このため、画素書き
込み時間の大部分は、ソース・ゲート間電位Vgs(=V
gh−Vs )に比べてソース・ドレイン間電位Vdsが十分
小さい。よって、伝達コンダクタンスgは、
コンダクタンスgの逆数であるので、
アレイは、図4に示すように、前記TFT4のソース電
極20・共通電位電極24(又は前記基準電位線2)間
入力であって画素電極22・共通電位電極24(又は対
向側ソース電極)間出力であるTFT抵抗RTFT と画素
容量Cpix との積分回路になっており、積分回路に電圧
値Vinの矩形波が入力されたとき、出力電圧値V
out は、
ロとする時間である。また、式(11)において、TF
T抵抗RTFT と画素容量Cpix との積であるRTFT ・C
pixを時定数τと呼ぶ。
える。
大きい場合、つまり画素容量が最も大きい場合は、
考えている。但し、誘電率異方性が負の場合には、式
(11)以降の議論は、長軸方向比誘電率εP 及び画素
容量CLC(P) を短軸方向比誘電率εV 及び画素容量C
LC(V) に置き換えて議論すれば良い。
造では、補助容量Cs の形成が困難であるため、Cs =
0として考える。
ソース電位Vs ≒0となるので、式(5)、式(10)
及び式(12)より、
ると、画素に99.7%以上充電するためには式(1
1)より、
99.7%以上としたのは、64階調において階調反転
しない条件を満たすようにしたものであり、人間の目で
は見えない程度の階調反転を行うために要求される一般
的な値を採用したものである。また、この条件は、6ビ
ットのものを対象しているので、99.7%以上の充電
が要求されるが、3ビットのものであれば、例えば9
9.4%以上として少し小さくすることが可能である。
4)以降の展開は、もう少し条件の緩いもので計算する
ことが可能である。
する割合を99.7%以上としたときには、64階調よ
りも高い階調のものについて採用することが可能とな
る。
書き込みに許される時間τW は、例えば、60Hz駆動
である場合、走査線数がNg とすると、線順次駆動であ
るため、
のパネルであるSVGA(Super Video Graphics Allay)
の場合は、走査線数Ng =600であるので、画素の書
き込みに許される時間τW =26μs、同株式会社IB
Mの標準規格のパネルであるXGA(eXtended video Gr
aphics Allay) の場合は、走査線数Ng =768である
ので、τW =20μsとなる。
は理想的な矩形波ではないので、画素の書き込みに許さ
れる時間τW はマージン持っていなければならない。こ
のため、少し短くなる。
GA、XGA等を精細度として捉えて説明する。
Vは、走査信号のパルス高をVg pp、画素容量CLCとす
ると、
を持つので、画素書き込み終了時の残留直流成分の量Δ
Vも印加電圧依存性を持つ。
ら画素書き込み終了時の残留直流成分の量ΔVのずれ量
の最大値Ωは式(7)より、
大きくなるため、ずれ量の最大値Ωは経験上ある値ω以
下に抑えなければならない。このため、 Ω≦ω ………式(19) を満たさなければならない。
まりクロストークを表すパラメータΨを、
値ψよりも小さくなければならないので、 Ψ≦ψ ………式(21) を満たさなければならない。
によるフリッカーを抑え、寄生容量の結合によるクロス
トークを抑え、さらに、直流成分のシフトの低減を図る
ためには、下記の不等式を同時に満たす必要がある。
(6)にて一つの不等式(クロストーク) 式(19)+式(18)+式(3)+式(5)+式
(6)にて一つの不等式(直流成分のシフト) 式(15)+式(16)+式(14)にて一つの不等
式(書き込み特性) 尚、フリッカーは書き込み不足や直流成分のシフトが大
きいことに起因するものであり、上記のを満たすこ
とにより達成できる。
14)(式19)(式21)を同時に満たせば良い。
5とする。尚、これらの数値は、一般的に定まる定数で
ある。
場合を考える。この場合、画素ピッチは88μm×26
4μmである。TFT4のチャネル長L=4μmは現在
量産できる最小チャネル長である。このとき、前記の制
限事項を満たす長軸方向比誘電率εP 及び短軸方向比誘
電率εV は、εP +εV を横軸にとり、かつεP ・εV
(εP ×εV を示す)を縦軸にとると、図1に示すよう
になる。尚、セル厚Tsel は4.5μmとする。また、
チャネル幅Wは8μmとし、オーバーラップ長ΔLは
2.5μmとした。さらに、カラーフィルターはストラ
イプ配列のものとして考えた。
=εP ・εV とすると、 Y−5.66X=−32.7±1.2 (9.5≦X≦
15.5) の関係があることが分かった。尚、図1においては、ポ
イントは10.5≦X≦15について記載したが、上記
9.5≦X≦15.5にて上記の式が成立するのは、最
小自乗法による式より明らかである。
ル幅W=8μm、オーバーラップ長ΔL=2.5μmの
条件にて、様々なサイズ、様々な精細度のパネルについ
ても計算し、表1に示す結果を得た。そして、何れの場
合においても、XとYとは、図1に示すように、線型関
係があることを見出した。
効的な比誘電率を長軸方向比誘電率εP 及び短軸方向比
誘電率εV として表したとき、X=εP +εV 、Y=ε
P ・εV とすると、9.5≦X≦15.5、及び5.4
3≦A≦5.75かつ27≦B≦36.2の範囲のある
点において、Y=A・X−Bが成立することが分かっ
た。
となっており、βの最大値は15.5である。よって、
10≦X≦15.5であり、9.5≦X≦15.5を満
たす。また、5.49≦A≦5.75であることから、
5.43≦A≦5.75を満たす。さらに、Bの最小値
B’−3σは、精細度SVGAの画素ピッチ315μm
における31.2−3.09=28.11であり、Bの
最大値B’+3σは、精細度XGAの画素ピッチ240
μmにおける33.7+2.46=36.16≒36.
2であり、27≦B≦36.2を満たす。
法について詳細に説明する。
ある。即ち、最小自乗法において、推定回帰式は、
値の動きを説明しているかを示す指標として、
icient of determination)又は回帰の寄与率という。こ
こで、
対して、回帰式がどれだけ説明を与えるかの比率として
表される。
換えることができる。
れたrを相関係数(correlation coefficient)という。
即ち、相関係数の自乗が決定係数である。
ける平均値に対して、バラツキを表す標準偏差σの3倍
の確からしさを示しており、99.7%の確からしさを
示す。
05とし、13.3インチ型の精細度XGAの場合につ
いて、オーバーラップ長ΔLは2.5μmのままで、T
FT4のチャネル長L=5μmとしてεP +εV を横軸
をとり、かつεP ・εV を縦軸にとると、図2に示すよ
うになる。このとき、セル厚Tsel は4.5μm、チャ
ネル幅Wは10μmである。
15.5)の関係が得られた。
ル幅W=10μm、オーバーラップ長ΔL=2.5μ
m、チャネル長L=5μmの条件にて、様々なサイズ、
様々な精細度のパネルについても計算し、表2に示す結
果を得た。そして、何れの場合においても、図2と同様
に、線型関係があることを見出した。
ないところ、つまり式(14)、式(19)、式(2
1)を同時に満たさないところである。
誘電率を長軸方向比誘電率εP 及び短軸方向比誘電率ε
V として表したとき、X=εP +εV 、Y=εP ・εV
とすると、9.5≦X≦15.5、及び5.43≦A≦
5.75かつ27≦B≦36.2の範囲のある点におい
て、Y=A・X−Bが成立する長軸方向比誘電率εP及
び短軸方向比誘電率εV を有することが分かった。
となっており、βの最大値は15.5である。よって、
10≦X≦15.5であり、9.5≦X≦15.5を満
たす。また、5.53≦A≦5.65であることから、
5.43≦A≦5.75を満たす。さらに、Bの最小値
B’−3σは、精細度SVGAの画素ピッチ287μm
における31.7−1.81=29.89であり、Bの
最大値B’+3σは、SVGAの画素ピッチ315μm
における32.1+1.93=34.03であり、27
≦B≦36.2を満たす。
幅W=12μm、オーバーラップ長ΔL=2.5μm、
チャネル長L=4μmの条件にて、様々なサイズ、様々
な精細度のパネルについても計算した結果、表3を得
た。
として、チャネル幅Wが12μmとなっているのは、8
μm(チャネル幅W)×4.5μm(セル厚Tsel )/
3μm(セル厚Tsel )=12μmの計算を行なって求
めたものである。即ち、チャネル幅Wをセル厚Tsel に
反比例させて求めたものである。
長軸方向比誘電率εP 及び短軸方向比誘電率εV として
表したとき、X=εP +εV 、Y=εP ・εV とする
と、9.5≦X≦15.5、及び5.43≦A≦5.7
5かつ27≦B≦36.2の範囲のある点において、Y
=A・X−Bが成立することが分かる。
5となっており、βの最大値は15.5である。よっ
て、9.5≦X≦15.5であり、9.5≦X≦15.
5を満たす。また、5.43≦A≦5.62であること
から、5.43≦A≦5.75を満たす。さらに、Bの
最小値B’−3σは、精細度SVGAの画素ピッチ31
5μmにおける30.7−3.69=27.01≒27
であり、Bの最大値B’+3σは、精細度UXGAの画
素ピッチ300μmにおける32.68+2.69=3
5.37であり、27≦B≦36.2を満たす。
計パラメータを取ってやれば、表示品位の良い対向基板
信号線構造のTFT−LCDの作成が可能となることが
分かった。
3.3インチ型の精細度XGAで前記関係を満たすパラ
メータと満たさないパラメータとを設計値に持ったパネ
ルを作成した結果、前記関係をパラメータを設計値に持
つパネルは、表示品位が良好であった。
m、画素ピッチ264μm、セル厚Tsel =4.5μm
とし、動作領域(2Vから5.5V)において長軸方向
比誘電率εP =5.7(液晶にかかる実効電圧が5.5
Vのときの値)、及び短軸方向比誘電率εV =3.3
(液晶にかかる実効電圧が2Vのときの値)のTN液晶
を用いて精細度XGAのパネルを作成した。
パラメータを設計値に持つパネルであり、その結果、表
示品位(特にクロストーク)が悪いという結果が得られ
た。
チャネル長Lが長くなれば動作する領域が減ってくるこ
とが分かる。そして、チャネル長Lが6μmを越えると
動作する領域は殆ど無くなる。それゆえ、チャネル長L
は6μm以下にしなければならない。
細度に関係無く同じような傾き(A)、及び同じような
切片(B)になることが分かる。
長は6μm以下である一方、液晶は、実効的な比誘電率
を長軸方向比誘電率εP 及び短軸方向比誘電率εV とし
て表したとき、X=εP +εV 、Y=εP ・εV とする
と、9.5≦X≦15.5、及び5.43≦A≦5.7
5かつ27≦B≦36.2の範囲のある点において、Y
=A・X−Bが成立する長軸方向比誘電率εP 及び短軸
方向比誘電率εV を有する液晶材料を持つ液晶材料を用
いれば、クロストークとフリッカーとを大幅に抑制する
ことができ、良好な表示品位を持つ液晶表示素子を作る
ことができる。
は9.5となっており、βの最大値は15.5である。
よって、9.5≦X≦15.5であり、9.5≦X≦1
5.5を満たす。また、5.43≦A≦5.75であ
る。さらに、Bの最小値B’−3σは、SVGAの画素
ピッチ315μmにおける30.7−3.69=27.
01≒27であり、Bの最大値B’+3σは、XGAの
画素ピッチ240μmにおける33.7+2.46=3
6.16≒36.2である。よって、27≦B≦36.
2となる。
した。その結果を、表4に示す。
適合するものを抽出して、再度示したものであり、この
表4より、その下欄に平均等を示したものである。
軸方向比誘電率εP 及び短軸方向比誘電率εV として表
したとき、X=εP +εV 、Y=εP ・εV とすると、
10.2≦X≦14.7、及び5.43≦A≦5.75
かつ27≦B≦36.2の範囲のある点において、Y=
A・X−Bが成立する長軸方向比誘電率εP 及び短軸方
向比誘電率εV を有する液晶材料を持つ液晶材料を用い
れば、より好ましく、これによって、確実に、クロスト
ークとフリッカーとを大幅に抑制することができ、良好
な表示品位を持つ液晶表示装置を作ることができること
が分かった。
平均値は14.7である。よって、10.2≦X≦1
4.7となる。また、A及びBについては、上記の条件
5.43≦A≦5.75かつ27≦B≦36.2を採用
したものである。
方向比誘電率εP 及び短軸方向比誘電率εV として表し
たとき、X=εP +εV 、Y=εP ・εV とすると、1
0.2≦X≦14.7、及びA=5.59かつB=3
2.02の範囲のある点において、Y=A・X−Bが成
立する長軸方向比誘電率εP 及び短軸方向比誘電率εV
を有する液晶材料を持つ液晶材料を用いれば、最も好ま
しく、これによって、より確実に、クロストークとフリ
ッカーとを大幅に抑制することができ、良好な表示品位
を持つ液晶表示装置を作ることができることが分かっ
た。
0.2であり、βの平均値は14.7であることから、
10.2≦X≦14.7を採用したものである。また、
A及びBについては、Aの平均値5.59及びB’の平
均値32.02を採用したものである。
チャネル長は5μm以下とすることにより、確実に、ク
ロストークとフリッカーとを大幅に抑制することがで
き、良好な表示品位を持つ液晶表示素子を作ることがで
きる。
ル厚Tsel が、0.5μm以上かつ6μm以下であると
きに確実にクロストークとフリッカーとを大幅に抑制す
ることができ、良好な表示品位を持つ液晶表示素子を作
ることができる。尚、上記のセル厚Tsel 0.5μm以
上については、上記の計算において、最小のセル厚T
sel として0.5μmを用いたために、この条件となっ
たものである。従って、計算をやり直すことで、0.5
μm以下の有限の値であっても、クロストークとフリッ
カーとを大幅に抑制し、良好な表示品位を持つ液晶表示
装置を作ることができる可能性はある。
としてセル厚Tsel =1μmの強誘電性液晶が市販され
ており、その外、セル厚Tsel =3μm(垂直配向の液
晶)〜セル厚Tsel =4.5μm及び5μm(現行TN
液晶)が市販されている。
が正の液晶材料に対応すべく、εP>εV を満たすこと
で、現行TN液晶の大半において誘電率異方性が正であ
り、その大半のTN液晶において、クロストークとフリ
ッカーとを大幅に抑制することができ、良好な表示品位
を持つ液晶表示装置を作ることができる。
が負の液晶材料に対応すべく、εP<εV を満たすこと
で、誘電率異方性が負である垂直配向用液晶材料におい
て、確実にクロストークとフリッカーとを大幅に抑制す
ることができ、良好な表示品位を持つ液晶表示装置を作
ることができる。
第1端子であるゲート電極と、第2端子であるソース電
極及び第3端子であるドレイン電極と半導体層との間に
挟装されるコンタククト層との重なり、つまりオーバー
ラップ長ΔLが3μm以下であることにより、大半の薄
膜トランジスタにおいて、クロストークとフリッカーと
を大幅に抑制することができ、良好な表示品位を持つ液
晶表示装置を作ることができる。
+式(5)+式(6)にて決定される直流成分のシフト
の抑制と、式(21)+式(4)+式(5)+式(6)
にて決定されるクロストークとにおいて、オーバーラッ
プ長ΔLは小さい方が好ましい。一方、現行の生産実績
は、オーバーラップ長ΔL=2.5μmである。
下であることにより、現行製品のクロストークとフリッ
カーとを大幅に抑制することができ、良好な表示品位を
持つ液晶表示装置を作ることができる。
を有する構造、即ち、図12及び図13に示すように、
マトリックス状に設けられた3端子を有するスイッチン
グ素子としてのTFT104…と、該TFT104…の
各列の第1端子と接続された走査線101…と、該TF
T104…の各列毎の第2端子と接続された画素電極と
第3端子に接続された信号線105…を有する画素基板
としてのガラス基板131と、該ガラス基板131に対
向し、該画素電極の各々に対向する対向電極を有する対
向基板としての基板132と、該ガラス基板131と該
基板132との間に挟持される液晶とからなる液晶表示
装置に適用することは十分可能である。
フリッカーが現行のものよりも減少し、表示品位もさら
に向上するという効果がある。
のパネルに好適である。これによって、通常の液晶表示
装置において、クロストークとフリッカーとを大幅に抑
制することができ、良好な表示品位を持つ液晶表示装置
を作ることができる。
に、薄膜トランジスタが唯一つ付いていることが好適で
ある。
型化を考慮しつつ、クロストークとフリッカーとを大幅
に抑制することができ、良好な表示品位を持つ液晶表示
装置を作ることができる。即ち、現行において、薄膜ト
ランジスタが2個付いているものがあるが、小型化の点
で1個が好ましい。
ンの薄膜トランジスタに好適である。
膜トランジスタを備えた液晶表示装置において、クロス
トークとフリッカーとを大幅に抑制することができ、良
好な表示品位を持つ液晶表示装置を作ることができる。
の駆動を前提としている。従って、今後、75Hzの駆
動が主流となることが考えられるが、その状況において
も、対応可能なことはいうまでもない。
示す。図5には本発明の対向信号線型TFT−LCDの
構造を示す。また、図6には、図5におけるI−I線に
て分断した本発明の対向信号線型非晶質のシリコンTF
T−LCDの断面構造を示す。さらに、図7には、本発
明の対向信号線型TFT−LCDの等価回路を示す。
尚、本実施例では、TFTとして、非晶質のシリコンT
FTを用いているが、本発明においては、必ずしもこれ
に限らず、結晶シリコンTFTを適用することが可能で
ある。
トランジスタ)4…は絶縁基板7上に形成されている。
走査線1、ゲート電極G及び基準電位線2は、例えばT
aNx/α−Ta/TaNxの積層構造にて構成され、
α−Taは340nmの膜厚にて形成されている。
化シリコン膜にて形成され、真性半導体層9は、例えば
150nmの非晶質シリコン膜にて形成されている。ま
た、コンタクト層10は、例えば40nmの微結晶シリ
コンn+ 層にて形成されている。さらに、画素電極3及
びドレイン・ソース電極D・Sは、例えば150nmの
ITO膜にて形成されている。また、その上には、パッ
シベーション層11が形成されている。また、TFT4
のチャネル長Lは4μm、チャネル幅Wは8μmにて形
成している(前記図3(b)参照)。
ルター層13及びブラックマトリックス層14が形成さ
れ、その下面に平坦化膜としてオーバーコート層15が
例えば2μmに形成されている。また、オーバーコート
層15の下面には、図示しないSiO2 膜が形成され、
さらに、その下面に、対向電極6及び図7に示す対向基
板信号線5が、例えば透明導電膜であるITO膜が20
0nmにて形成されている。
縁基板7と対向側の絶縁基板7との間に封入された液晶
12として、動作領域1.8Vから5Vにおいて、長軸
方向比誘電率εP =7.9(液晶にかかる実効電圧が5
Vのときの値)、短軸方向比誘電率εV =5.3(液晶
にかかる実効電圧が1.8Vのときの値)のフッ素系の
TN液晶材料が使用されている。セル厚Tsel は4.5
μmである。また、画素ピッチは264μmである。さ
らに、精細度はXGAである。
価であれば良い。また、走査線1、ゲート電極G及び基
準電位線2は、Cr、MoTa等の高融点金属、又はI
C(Integrated Circuit) でよく用いられているアルミ
ニウムやアルミニウム合金等の低抵抗金属でも良く、T
FT4のゲート絶縁膜8も酸化シリコン膜と窒化シリコ
ン膜の積層や陽極酸化膜と窒化シリコン膜の積層でも良
い。また、コンタクト層10も微結晶シリコンn+ 層の
代わりにアモルファスシリコンn+ 層でも良く、ドレイ
ン電極D及びソース電極SもTi、Mo等のバリアメタ
ルでも良い。
件は、「TFTのチャネル長Lが6μm以下であり、液
晶の実効的な比誘電率をεP 及びεV とするとき、X=
εP+εV 、Y=εP ・εV とすると、9.5≦X≦1
5.5であって、5.43≦A≦5.75、かつ27≦
B≦36.2の範囲のある点において、Y=A・X−B
が成立している」を満たしている。
抑制され、クロストークは人間の目で見えない程度の良
好な液晶表示素子を得ることができた。
の通りである。尚、説明の便宜上、前記の実施例1の図
面に示した部材と同一の機能を有する部材については、
同一の符号を付し、その説明を省略する。
図6に示すTFT4側の絶縁基板7と対向側の絶縁基板
7との間に充填される液晶12の液晶材料として、垂直
配向用液晶材料を用いた。この垂直配向用液晶材料は、
動作領域2Vから5Vにおいて、短軸方向比誘電率εV
=6.0(液晶にかかる実効電圧が5.5Vのときの
値)、及び長軸方向比誘電率εP =3.5(液晶にかか
る実効電圧が2Vのときの値)のものを使用した。ま
た、セル厚Tsel は3μmである。さらに、画素ピッチ
を298μmとし、精細度をXGAとした。
全く同一とした。
なる液晶12として、「薄膜トランジスタのチャネル長
が6μm以下であり、液晶の実効的な比誘電率をεP と
εVとするとき、X=εP +εV 、Y=εP ×εV とす
ると、9.5≦X≦15.5であって、5.43≦A≦
5.75、かつ27≦B≦36.2の範囲のある点にお
いて、Y=A・X−Bが成立している」を満たしてい
る。
抑制され、クロストークは人間の目で見えない程度の良
好な液晶表示素子を得ることができた。
ついて説明すると、以下の通りである。尚、説明の便宜
上、前記の実施例1の図面に示した部材と同一の機能を
有する部材については、同一の符号を付し、その説明を
省略する。
側の絶縁基板7と対向側の絶縁基板7との間に充填され
る液晶12におけるフッ素系のTN液晶材料は、動作領
域2Vから5.5Vにおいて、長軸方向比誘電率εP =
7.3(液晶にかかる実効電圧が5.5Vのときの
値)、及び短軸方向比誘電率εV =5.5(液晶にかか
る実効電圧が2Vのときの値)のものを使用した。ま
た、セル厚Tsel は4.5μmである。さらに、画素ピ
ッチを264μmとし、精細度をXGAとした。
び実施例2と全く同一とした。
件は、「薄膜トランジスタのチャネル長が6μm以下で
あり、液晶の実効的な比誘電率をεP とεV とすると
き、X=εP +εV 、Y=εP ×εV とすると、9.5
≦X≦15.5であって、5.43≦A≦5.75、か
つ27≦B≦36.2の範囲のある点において、Y=A
・X−Bが成立している」を満たしている。
抑制され、クロストークは人間の目で見えない程度の良
好な液晶表示装置を得ることができた。
ついて、図8及び図9に基づいて説明すれば、以下の通
りである。尚、説明の便宜上、前記の実施例1の図面に
示した部材と同一の機能を有する部材については、同一
の符号を付し、その説明を省略する。
絶縁基板7上に形成されている。走査線1、コモン線1
7及びゲート電極Gは、例えばTaNx/α−Ta/T
aNxの積層構造にて構成され、α−Taは340nm
の膜厚で形成されている。
化シリコン膜にて形成され、真性半導体層9は、例えば
非晶質シリコン膜にて形成されている。また、コンタク
ト層10は、例えば40nmの微結晶シリコンn+ 層に
て形成されている。さらに、画素電極3として、例えば
150nmのITO膜にて形成されている。
Sは、例えばα−Ta/TaNxと前記ITO膜との積
層構造にて構成され、α−Taは260nmの膜厚にて
形成されている。
1が例えば300nmの窒化シリコン膜にて形成されて
いる。また、TFT4のチャネル長Lは4μm、チャネ
ル幅Wは10μmにて形成されている。
ルター層13及びブラックマトリックス層14が形成さ
れ、その下面に対向電極6として例えば透明導電膜であ
るITO膜が200nmにて形成されている。
縁基板7と対向側の絶縁基板7との間に封入された液晶
12として、動作領域1.8Vから5Vにおいて、長軸
方向比誘電率εP =7.9(液晶にかかる実効電圧が5
Vのときの値)、短軸方向比誘電率εV =5.3(液晶
にかかる実効電圧が1.8Vのときの値)のフッ素系の
TN液晶材料が使用されている。セル厚Tsel は4.5
μmである。また、画素ピッチは264μmである。さ
らに、精細度はXGAである。
価であれば良い。また、走査線1、ゲート電極G及びコ
モン線17は、Cr、MoTa等の高融点金属、又はI
C(Integrated Circuit) でよく用いられているアルミ
ニウムやアルミニウム合金等の低抵抗金属でも良く、T
FT4のゲート絶縁膜8も酸化シリコン膜と窒化シリコ
ン膜の積層や陽極酸化膜と窒化シリコン膜の積層でも良
い。また、コンタクト層10も微結晶シリコンn+ 層の
代わりにアモルファスシリコンn+ 層でも良く、ドレイ
ン電極D及びソース電極SもTi、Mo等のバリアメタ
ルでも良い。
件は、「TFTのチャネル長Lが6μm以下であり、液
晶の実効的な比誘電率をεP 及びεV とするとき、X=
εP+εV 、Y=εP ・εV とすると、9.5≦X≦1
5.5であって、5.43≦A≦5.75、かつ27≦
B≦36.2の範囲のある点において、Y=A・X−B
が成立している」を満たしている。
抑制され、クロストークは人間の目で見えない程度の良
好な液晶表示素子を得ることができた。
に、マトリックス状に設けられた3端子を有するスイッ
チング素子と、該スイッチング素子の各列の第1端子と
接続された走査線と、該スイッチング素子の各列毎の第
2端子と接続された画素電極とを有する画素基板と、該
画素基板に対向し、該画素電極の各々に対向する対向電
極と該対向電極を各行毎に連ねて接続する信号線とを有
する対向基板と、該画素基板と該対向基板との間に挟持
される液晶とからなる液晶表示装置であって、上記3端
子を有するスイッチング素子は薄膜トランジスタからな
り、該薄膜トランジスタのチャネル長は6μm以下であ
り、かつオーバーラップ長が3μm以下であるととも
に、実効的な比誘電率を長軸方向比誘電率εP 及び短軸
方向比誘電率εV として表したとき、X=εP +εV 、
Y=εP ・εV とすると、9.5≦X≦15.5、及び
5.43≦A≦5.75かつ27≦B≦36.2の範囲
のある点において、Y=A・X−Bが成立する長軸方向
比誘電率εP 及び短軸方向比誘電率εV を有する液晶材
料からなるものである。
直流成分のシフトを低減して、生産性が高く、大型高精
細に適した画質を持つ液晶表示装置を実現することがで
きるという効果を奏する。
比誘電率を長軸方向比誘電率εP 及び短軸方向比誘電率
εV として表したとき、X=εP +εV 、Y=εP ・ε
V とすると、10.2≦X≦14.7、及び5.43≦
A≦5.75かつ27≦B≦36.2の範囲のある点に
おいて、Y=A・X−Bが成立する長軸方向比誘電率ε
P 及び短軸方向比誘電率εV を有する液晶材料からなる
とすることができる。
カー及び直流成分のシフトを低減して、生産性が高く、
大型高精細に適した画質を持つ液晶表示装置を実現する
ことができるという効果を奏する。
比誘電率を長軸方向比誘電率εP 及び短軸方向比誘電率
εV として表したとき、X=εP +εV 、Y=εP ・ε
V とすると、10.2≦X≦14.7、及びA=5.5
9かつB=32.02の範囲のある点において、Y=A
・X−Bが成立する長軸方向比誘電率εP 及び短軸方向
比誘電率εV を有する液晶材料からなるとすることがで
きる。
フリッカー及び直流成分のシフトを低減して、生産性が
高く、大型高精細に適した画質を持つ液晶表示装置を実
現することができるという効果を奏する。
クス状に設けられた3端子を有するスイッチング素子
と、該スイッチング素子の各列の第1端子と接続された
走査線と、該スイッチング素子の各列毎の第2端子と接
続された画素電極とを有する画素基板と、該画素基板に
対向し、該画素電極の各々に対向する対向電極と該対向
電極を各行毎に連ねて接続する信号線とを有する対向基
板と、該画素基板と該対向基板との間に挟持される液晶
とからなる液晶表示装置であって、上記3端子を有する
スイッチング素子は薄膜トランジスタからなり、該薄膜
トランジスタのチャネル長は5μm以下であり、かつオ
ーバーラップ長が3μm以下であるとすることができ
る。
において、さらに確実に、クロストーク、フリッカー及
び直流成分のシフトを低減して、生産性が高く、大型高
精細に適した画質を持つ液晶表示装置を実現することが
できるという効果を奏する。
クス状に設けられた3端子を有するスイッチング素子
と、該スイッチング素子の各列の第1端子と接続された
走査線と、該スイッチング素子の各列毎の第2端子と接
続された画素電極と第3端子に接続された信号線とを有
する画素基板と、該画素基板に対向し、該画素電極の各
々に対向する対向電極を有する対向基板と、該画素基板
と該対向基板との間に挟持される液晶とからなる液晶表
示装置であって、上記3端子を有するスイッチング素子
は薄膜トランジスタからなり、該薄膜トランジスタのチ
ャネル長は6μm以下であり、かつオーバーラップ長が
3μm以下であるとすることができる。
において、確実に、クロストーク、フリッカー及び直流
成分のシフトを低減して、生産性が高く、大型高精細に
適した画質を持つ液晶表示装置を実現することができる
という効果を奏する。
示すものであり、チャネル長Lを4μmとしたときのε
P +εV とεP ・εV との関係を示すグラフである。
mとしたときのεP +εV とεP ・εV との関係を示す
グラフである。
ン薄膜トランジスタを示す断面図であり、図3(b)は
同平面図である。
図である。
す斜視図である。
CDを示す断面図である。
価回路図である。
対向基板信号線構造のTFT−LCDを示す斜視図であ
る。
CDを示す断面図である。
のTFT−LCDを示す模式図である。
おける1画素の等価回路図である。
のTFT−LCDを示す模式図である。
おける1画素の等価回路図である。
との関係を示す説明図である。
子) 5 対向基板信号線(信号線) 6 対向電極 7 画素基板 9 真性半導体層(半導体層) 10 コンタクト層 12 液晶 G ゲート電極(第1端子) S ソース電極(第2端子) D ドレイン電極(第3端子) L チャネル長 ΔL オーバーラップ長(ゲート電極とコンタクク
ト層との重なり) W チャネル幅 εP 長軸方向比誘電率 εV 短軸方向比誘電率 Tsel セル厚 CLC 画素容量
Claims (9)
- 【請求項1】マトリックス状に設けられた3端子を有す
るスイッチング素子と、該スイッチング素子の各列の第
1端子と接続された走査線と、該スイッチング素子の各
列毎の第2端子と接続された画素電極とを有する画素基
板と、 該画素基板に対向し、該画素電極の各々に対向する対向
電極と該対向電極を各行毎に連ねて接続する信号線とを
有する対向基板と、 該画素基板と該対向基板との間に挟持される液晶とから
なる液晶表示装置であって、 上記3端子を有するスイッチング素子は薄膜トランジス
タからなり、該薄膜トランジスタのチャネル長は6μm
以下であり、かつオーバーラップ長が3μm以下である
とともに、 実効的な比誘電率を長軸方向比誘電率εP 及び短軸方向
比誘電率εV として表したとき、X=εP +εV 、Y=
εP ・εV とすると、9.5≦X≦15.5、及び5.
43≦A≦5.75かつ27≦B≦36.2の範囲のあ
る点において、Y=A・X−Bが成立する長軸方向比誘
電率εP 及び短軸方向比誘電率εV を有する液晶材料か
らなることを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項2】マトリックス状に設けられた3端子を有す
るスイッチング素子と、該スイッチング素子の各列の第
1端子と接続された走査線と、該スイッチング素子の各
列毎の第2端子と接続された画素電極とを有する画素基
板と、 該画素基板に対向し、該画素電極の各々に対向する対向
電極と該対向電極を各行毎に連ねて接続する信号線とを
有する対向基板と、 該画素基板と該対向基板との間に挟持される液晶とから
なる液晶表示装置であって、 上記3端子を有するスイッチング素子は薄膜トランジス
タからなり、該薄膜トランジスタのチャネル長は6μm
以下であり、かつオーバーラップ長が3μm以下である
とともに、 実効的な比誘電率を長軸方向比誘電率εP 及び短軸方向
比誘電率εV として表したとき、X=εP +εV 、Y=
εP ・εV とすると、10.2≦X≦14.7、及び
5.43≦A≦5.75かつ27≦B≦36.2の範囲
のある点において、Y=A・X−Bが成立する長軸方向
比誘電率εP 及び短軸方向比誘電率εV を有する液晶材
料からなることを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項3】マトリックス状に設けられた3端子を有す
るスイッチング素子と、該スイッチング素子の各列の第
1端子と接続された走査線と、該スイッチング素子の各
列毎の第2端子と接続された画素電極とを有する画素基
板と、 該画素基板に対向し、該画素電極の各々に対向する対向
電極と該対向電極を各行毎に連ねて接続する信号線とを
有する対向基板と、 該画素基板と該対向基板との間に挟持される液晶とから
なる液晶表示装置であって、 上記3端子を有するスイッチング素子は薄膜トランジス
タからなり、該薄膜トランジスタのチャネル長は6μm
以下であり、かつオーバーラップ長が3μm以下である
とともに、 実効的な比誘電率を長軸方向比誘電率εP 及び短軸方向
比誘電率εV として表したとき、X=εP +εV 、Y=
εP ・εV とすると、10.2≦X≦14.7、及びA
=5.59かつB=32.02の範囲のある点におい
て、Y=A・X−Bが成立する長軸方向比誘電率εP 及
び短軸方向比誘電率εV を有する液晶材料からなること
を特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項4】マトリックス状に設けられた3端子を有す
るスイッチング素子と、該スイッチング素子の各列の第
1端子と接続された走査線と、該スイッチング素子の各
列毎の第2端子と接続された画素電極とを有する画素基
板と、 該画素基板に対向し、該画素電極の各々に対向する対向
電極と該対向電極を各行毎に連ねて接続する信号線とを
有する対向基板と、 該画素基板と該対向基板との間に挟持される液晶とから
なる液晶表示装置であって、 上記3端子を有するスイッチング素子は薄膜トランジス
タからなり、該薄膜ト ランジスタのチャネル長は5μm
以下であり、かつオーバーラップ長が3μm以下である
とともに、 実効的な比誘電率を長軸方向比誘電率ε P 及び短軸方向
比誘電率ε V として表したとき、X=ε P +ε V 、Y=
ε P ・ε V とすると、9.5≦X≦15.5、及び5.
43≦A≦5.75かつ27≦B≦36.2の範囲のあ
る点において、Y=A・X−Bが成立する長軸方向比誘
電率ε P 及び短軸方向比誘電率ε V を有する液晶材料か
らなることを特徴とする 液晶表示装置。 - 【請求項5】マトリックス状に設けられた3端子を有す
るスイッチング素子と、該スイッチング素子の各列の第
1端子と接続された走査線と、該スイッチング素子の各
列毎の第2端子と接続された画素電極とを有する画素基
板と、 該画素基板に対向し、該画素電極の各々に対向する対向
電極と該対向電極を各行毎に連ねて接続する信号線とを
有する対向基板と、 該画素基板と該対向基板との間に挟持される液晶とから
なる液晶表示装置であって、 上記3端子を有するスイッチング素子は薄膜トランジス
タからなり、該薄膜トランジスタのチャネル長は5μm
以下であり、かつオーバーラップ長が3μm以下である
とともに、 実効的な比誘電率を長軸方向比誘電率ε P 及び短軸方向
比誘電率ε V として表したとき、X=ε P +ε V 、Y=
ε P ・ε V とすると、10.2≦X≦14.7、及び
5.43≦A≦5.75かつ27≦B≦36.2の範囲
のある点において、Y=A・X−Bが成立する長軸方向
比誘電率ε P 及び短軸方向比誘電率ε V を有する液晶材
料からなることを特徴とする 液晶表示装置。 - 【請求項6】マトリックス状に設けられた3端子を有す
るスイッチング素子と、該スイッチング素子の各列の第
1端子と接続された走査線と、該スイッチング素子の各
列毎の第2端子と接続された画素電極とを有する画素基
板と、 該画素基板に対向し、該画素電極の各々に対向する対向
電極と該対向電極を各行毎に連ねて接続する信号線とを
有する対向基板と、 該画素基板と該対向基板との間に挟持される液晶とから
なる液晶表示装置であって、 上記3端子を有するスイッチング素子は薄膜トランジス
タからなり、該薄膜トランジスタのチャネル長は5μm
以下であり、かつオーバーラップ長が3μm以下である
とともに、 実効的な比誘電率を長軸方向比誘電率ε P 及び短軸方向
比誘電率ε V として表したとき、X=ε P +ε V 、Y=
ε P ・ε V とすると、10.2≦X≦14.7、及びA
=5.59かつB=32.02の範囲のある点におい
て、Y=A・X−Bが成立する長軸方向比誘電率ε P 及
び短軸方向比誘電率ε V を有する液晶材料からなること
を特徴とする 液晶表示装置。 - 【請求項7】マトリックス状に設けられた3端子を有す
るスイッチング素子と、該スイッチング素子の各列の第
1端子と接続された走査線と、該スイッチング素子の各
列毎の第2端子と接続された画素電極と第3端子に接続
された信号線とを有する画素基板と、 該画素基板に対向し、該画素電極の各々に対向する対向
電極を有する対向基板と、 該画素基板と該対向基板との間に挟持される液晶とから
なる液晶表示装置であって、 上記3端子を有するスイッチング素子は薄膜トランジス
タからなり、該薄膜トランジスタのチャネル長は6μm
以下であり、かつオーバーラップ長が3μm以下である
とともに、 実効的な比誘電率を長軸方向比誘電率ε P 及び短軸方向
比誘電率ε V として表したとき、X=ε P +ε V 、Y=
ε P ・ε V とすると、9.5≦X≦15.5、及び5.
43≦A≦5.75かつ27≦B≦36.2の範囲のあ
る点において、Y=A・X−Bが成立する長軸方向比誘
電率ε P 及び短軸方向比誘電率ε V を有する液晶材料か
らなることを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項8】マトリックス状に設けられた3端子を有す
るスイッチング素子と、該スイッチ ング素子の各列の第
1端子と接続された走査線と、該スイッチング素子の各
列毎の第2端子と接続された画素電極と第3端子に接続
された信号線とを有する画素基板と、 該画素基板に対向し、該画素電極の各々に対向する対向
電極を有する対向基板と、 該画素基板と該対向基板との間に挟持される液晶とから
なる液晶表示装置であって、 上記3端子を有するスイッチング素子は薄膜トランジス
タからなり、該薄膜トランジスタのチャネル長は6μm
以下であり、かつオーバーラップ長が3μm以下である
とともに、 実効的な比誘電率を長軸方向比誘電率ε P 及び短軸方向
比誘電率ε V として表したとき、X=ε P +ε V 、Y=
ε P ・ε V とすると、10.2≦X≦14.7、及び
5.43≦A≦5.75かつ27≦B≦36.2の範囲
のある点において、Y=A・X−Bが成立する長軸方向
比誘電率ε P 及び短軸方向比誘電率ε V を有する液晶材
料からなることを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項9】マトリックス状に設けられた3端子を有す
るスイッチング素子と、該スイッチング素子の各列の第
1端子と接続された走査線と、該スイッチング素子の各
列毎の第2端子と接続された画素電極と第3端子に接続
された信号線とを有する画素基板と、 該画素基板に対向し、該画素電極の各々に対向する対向
電極を有する対向基板と、 該画素基板と該対向基板との間に挟持される液晶とから
なる液晶表示装置であって、 上記3端子を有するスイッチング素子は薄膜トランジス
タからなり、該薄膜トランジスタのチャネル長は6μm
以下であり、かつオーバーラップ長が3μm以下である
とともに、 実効的な比誘電率を長軸方向比誘電率ε P 及び短軸方向
比誘電率ε V として表したとき、X=ε P +ε V 、Y=
ε P ・ε V とすると、10.2≦X≦14.7 、及びA
=5.59かつB=32.02の範囲のある点におい
て、Y=A・X−Bが成立する長軸方向比誘電率ε P 及
び短軸方向比誘電率ε V を有する液晶材料からなること
を特徴とする液晶表示装置。
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