JP3517270B2 - ダブルダイヤフラムポンプ - Google Patents
ダブルダイヤフラムポンプInfo
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Description
置に関する。さらに詳しくは、この発明はポンプ作用を
調節するための二段式(two-stage) のエアーバルブアク
チュエータを有するダブルダイヤフラムポンプに関す
る。
おいて周知のものである。この装置では、圧縮空気が二
つのダイヤフラムチャンバの各々の中へ選択的に加えら
れ、ダイヤフラムチャンバの中に流入した液体材料に対
して、各ダイヤフラムを屈曲させることによってポンピ
ング作用が行われる。各ダイヤフラムはチャンバを二つ
の対部材に分割している。すなわち、可変の空気圧力に
さらされる第1の対部材と、圧送される液体材料にさら
される第2の対部材とに分割している。
供給は一般にエアーバルブによって制御される。そして
このエアーバルブは通常ダイヤフラムへ機械的に連結す
ることによって駆動される。従って、一方のダイヤフラ
ムが屈曲するとアクチュエータがエアーバルブをトグル
スイッチングして圧縮空気をダイヤフラムチャンバの中
へ導入する。その結果、機械式アクチュエータがエアー
バルブを反対側の方向へトグルスイッチングするまで、
第2のダイヤフラムが屈曲させられる。各ダイヤフラム
のこの往復運動は流入圧縮空気がダイヤフラムチャンバ
のデリバリ部に収容されている液体の圧力を越えるまで
続く。液体と空気の圧力が等しくなったとき、ダイヤフ
ラムはもはやサイクル運動を行わず、ポンプはいわゆる
ストール状態になる。このストール状態は圧力の平衡が
くずれ、ダイヤフラムに対する空気駆動力によって再び
ダイヤフラムが動かされるまで続く。ダイヤフラムチャ
ンバへの圧縮空気の流れを制御するバルブアクチュエー
タは一般にダイヤフラム自身へ機械的に連結されてい
て、ダイヤフラムの予め決められた位置で駆動されるよ
うになっている。ある場合には、ダイヤフラムへ機械的
に連結されたパイロットバルブがダブルダイヤフラムポ
ンプにおいて利用されてきた。この場合には、パイロッ
トバルブが圧縮空気流をアクチュエータバルブへ導き、
次にアクチュエータバルブが圧縮空気流をダイヤフラム
チャンバへと導く。様々なタイプのスプールバルブがこ
うしたバルブ機能のうちのどちらか、あるいは両方に使
われてきた。
内へ圧縮空気流を導く働きを行うアクチュエータバルブ
は通常それと同時に他方のダイヤフラムチャンバから圧
縮空気を排気する。バルブアクチュエータを排出される
空気は急激かつ突然の減圧を受け、その結果、バルブア
クチュエータ近傍の温度が急激に低下する。特に圧縮空
気の湿度が高い場合には、排気サイクルが繰り返される
と、アクチュエータバルブの近傍やエキゾーストチャン
バの中に霜が発生する。この霜は、堆積し、アイシング
効果(icingeffect)を生じて、極端な場合にはアクチュ
エータバルブの動きを止めてしまい、その結果、ポンプ
システムを動作不能にしてしまうことがある。
別の問題は、バルブアクチュエータの摩耗によって引き
起こされる効率の低下に関するものである。バルブアク
チュエータは一般にポンプの寿命がくるまでは1分間に
数百回の速さでサイクル運動を行う。そして、こうした
アクチュエータは徐々に摩耗し、アクチュエータで使わ
れるエアーシールから漏れが生じてポンプの圧縮動作を
悪化させる。これは、アクチュエータがもはや効率よく
動作できないほどに漏れの状態がひどくなると、最終的
にはポンプの故障につながる。
た(harden)金属プレートの上で摺動可能なバルブカップ
からなるアクチュエータバルブとパイロットバルブとを
有するダブルダイヤフラムポンプからなる。金属プレー
トは六つのエアーポートを有し、そのうちの三つはパイ
ロットバルブとアクチュエータバルブとの間で圧縮空気
を導き排気を行うために使用され、別の三つはダイヤフ
ラムチャンバとアクチュエータバルブとの間で圧縮空気
を導き、排気する。アクチュエータスライドバルブは流
入してくる温かい空気にさらされる熱交換器と、排気さ
れる空気の減圧及び冷却にさらされるバルブカップとを
有する。熱交換器は流入してくる温かい空気から熱を吸
収して、アクチュエータ及び排気ポート領域における霜
の形成を防止する。
設計と熱制御のための熱交換器とを有するような、ダブ
ルダイヤフラムポンプに対するエアーバルブアクチュエ
ータとパイロットバルブを提供することである。
入れされた金属プレート上のスライダからなっているよ
うな、ダブルダイヤフラムポンプに対するパイロットバ
ルブ及びアクチュエータバルブを提供することである。
い数の部材からなっておりポンプを完全に分解すること
なくメインテナンスができるような、ダブルダイヤフラ
ムポンプに対するセルフシーリング式アクチュエータバ
ルブを提供することである。
エアーを利用して比較的冷たい排気エアーの温度を制御
するためにエキゾーストチャンバをほぼ包み込んだ形に
設けられた外側エアーチャンバを提供することである。
特許請求の範囲、添付されている図面から明かとなろ
う。
を説明する。まず、図1及び図2にはこの発明に関する
幾つかの立面図が示されている。ダブルダイヤフラムポ
ンプ10はポンプのハウジング12を有する。ハウジン
グ12にはダイヤフラムカバー14,16が取付けられ
ている。ハウジング12には液体送り出し用のデリバリ
マニホールド20が取付けられるとともに液体流入用の
インレットマニホールド18が取付けられている。エア
ーエキゾーストマフラ22がハウジング12へ取り外し
可能な状態で取付けられている。ダブルダイヤフラムポ
ンプ10によって圧送される液体はインレット24,2
5のどちらか又は両方に連結され、ダブルダイヤフラム
ポンプ10によって送り出される圧送液体はアウトレッ
ト26,27を介して排出される。以下でさらに詳しく
説明するアクチュエータバルブアセンブリは取り外し可
能なカバープレート28を通してアクセスが可能であ
る。
における各部位との対応について示す。本実施例におけ
る各部位についての詳細な説明は後述するものとし、ま
た同一の語句を用いているものについては対応関係の説
明を省略する。本発明のアクチュエータ部材に対応する
実施例の部位は、ピストン72,74である。また、本
発明の一対の第1のエアー通路に対応する部位は、通路
64と通路73とを含む通路と、通路66と通路75と
を含む通路であり、適宜ピストン72,74が摺動可能
なシリンダハウジングを含む。本発明の一対の第2のエ
アー通路に対応する部位は、第1の通路76と、第2の
通路78である。本発明の第3の通路に対応する部位
は、排気通路58と、連結用ロッド50のまわりの 隙間
と、排気通路57とを含む通路である。本発明の第4の
通路に対応する部位は、排気通路71である。また、本
発明の中間ハウジングセクションに対応する部位は、ハ
ウジング12の一対のダイヤフラムチャンバの間の部分
である。また、本発明の一対のアクチュエータバルブ制
御ピストンに対応する部位は、ピストン72,74であ
る。本発明の制御エアー通路に対応する部位は、パイロ
ットバルブ60が設けられている空間、通路64,6
6、通路73,75、及び適宜ピストン72,74が摺
動可能な空間を含む通路である。また、本発明の排出通
路に対応する部位は、排気通路58と、連結用ロッド5
0のまわりの隙間と、排気通路57とを含む通路であ
る。
ヤフラムポンプ10の断面図である。ダイヤフラムカバ
ー14,16の中には第1及び第2のダイヤフラムチャ
ンバがそれぞれ形成されている。インレットマニホール
ド18はインレットボールチェック34,35を介して
ダイヤフラムチャンバの液体ポンピングセクション3
0,32へ結合されている。デリバリマニホールド20
はアウトレットボールチェック38,39を介してダイ
ヤフラムチャンバの液体ポンピングセクション30,3
2へ結合されている。ダイヤフラム40はダイヤフラム
カバー14とハウジング12との間でクランプされてお
り、液体ポンピングセクション30をダイヤフラムエア
ーチャンバ、すなわちエアーセクション44から隔絶し
ている。ダイヤフラム42はダイヤフラムカバー16と
ハウジング12との間でクランプされており、液体ポン
ピングセクション32をダイヤフラムエアーチャンバ、
すなわちエアーセクション46から隔絶している。ダイ
ヤフラム40の中心部は二つのプレート41a,41b
の間にクランプされており、これらのプレートはファス
ナ48によってダイヤフラムの連結用ロッド50へ固定
されている。ダイヤフラム42の中心部は二つのプレー
ト43a,43bの間にクランプされており、これらの
プレートはファスナ49によってダイヤフラム連結用ロ
ッド50へ固定されている。連結用ロッド50は二つの
ダイヤフラム40,42を相互に連結しており、ダイヤ
フラムが一致して移動するようにしている。連結用ロッ
ド50はハウジング12を貫くように設けられた中央開
口部の中で摺動可能である。連結用ロッド50と中央開
口部との間にはその間を空気が流れるだけの十分な隙間
が設けられている。
供給を受けるためにエアーインレット51へ連結されて
いる。エアーエキゾーストマフラ22は、エキゾースト
チャンバ56の中へ開口したエアーウトレット55へ連
結されている。排気通路57もエキゾーストチャンバ5
6の中に開口している。排気通路57は連結用ロッド5
0とハウジング12を貫くように設けられた開口部との
間の隙間を介して排気通路58と連通している。パイロ
ットバルブ60はバルブプレート62上のその摺動位置
によって排気通路58へのエアーの流れを制御する。バ
ルブプレート62はそれを貫く三つのポートを有し、中
央のポートは排気通路58と位置が揃えて設けられてい
る。バルブプレートを貫く外側の二つのポートは通路6
4,66へ連結されている。パイロットバルブ60の下
側表面はカップ形状に形成されており、バルブカップと
呼ばれる。バルブカップはその下に位置する任意の二つ
のポートの間でエアーが流れるようになるような寸法を
有する。図3に示されている位置においては、パイロッ
トバルブ60は排気通路58と通路66の間が連通する
ようにその下側のバルブカップに位置合わせされてお
り、エキゾーストチャンバ56への排気流路が形成され
ている。パイロットバルブ60内のバルブカップはその
別の位置においては、通路64と排気通路58との間を
連通させることによってエキゾーストチャンバ56への
排気流路を形成する。
ン68,69へ連結されている。アクチュエータピン6
8,69はダイヤフラムチャンバのエアーセクション4
4,46へつながる通路の中でそれぞれ水平方向に摺動
可能である。アクチュエータピン68はパイロットバル
ブ60をエアーセクション44の中へ連結し、アクチュ
エータピン69はパイロットバルブ60をエアーセクシ
ョン46の中へ連結している。アクチュエータピン6
8,69の各端部にはプレート41b,43bが接触す
る。これらのプレートはアクチュエータピンを水平方向
に摺動させ、それによってパイロットバルブを水平方向
に一致した状態で摺動させる。図3においては、アクチ
ュエータピン69はエアーセクション46の中に突き出
ており、従ってダイヤフラム42が左側に移動するとプ
レート43bと接触する状態にある。接触されてアクチ
ュエータピン69が左側へ移動すると、アクチュエータ
ピン69とパイロットバルブ60とアクチュエータピン
68からなるアセンブリ全体が摺動し、アクチュエータ
ピン68の端部をエアーセクション44の中へ突き出さ
せる。
している。この図においては、エアーエキゾーストマフ
ラ22とパイロットバルブ60とアクチュエータバルブ
70の間から排気通路を完全に見ることができる。例え
ば、パイロットバルブ60と協働する排気通路には、排
気通路58と、連結用ロッド50のまわりの隙間と、排
気通路57と、エキゾーストチャンバ56と、エアーウ
トレット55が含まれる。アクチュエータバルブ70か
らの排気通路71はエキゾーストチャンバ56へ直接連
結されている。図4において点線のアウトラインで示さ
れているように、ポンプのハウジング12には外側チャ
ンバ53が設けられている。また、外側チャンバ53と
アクチュエータチャンバ52との間にはエアー通路54
が形成されており、比較的温かいエアーを外側チャンバ
53の中へ循環できるようになっている。外側チャンバ
53はエキゾーストチャンバ56のまわりをほぼ取り囲
んでおり、比較的温かい流入エアーを外側チャンバ53
に循環させることによってエキゾーストチャンバ56が
温められるようになっている。この加温プロセスによっ
てエキゾーストチャンバ56内の霜の形成が抑えられ、
またエアーウトレット55の中を流れる比較的冷たい排
気エアーの通過によって生じる結露が少なくなる。
ヤフラムポンプ10の平面図である。この図では取り外
し可能なカバープレート28がはっきりと見える。図6
は図5の6−6線断面図であり、アクチュエータバルブ
70の断面を示している。アクチュエータバルブ70は
摺動可能な一対のピストン72,74へ連結されてい
る。ピストン72,74はそれぞれシリンダハウジング
の中で摺動可能である。ピストン72は通路73を介し
てパイロットバルブの通路64と連通している。ピスト
ン74は通路75を介してパイロットバルブの通路66
と連通している。アクチュエータバルブ70の下側はカ
ップ形状の凹部を有し、この凹部はバルブプレート62
の上を摺動可能になっている。バルブプレート62はそ
れを貫く三つのポートを有する。中央のポートは排気通
路71を介してエキゾーストチャンバ56と連通してお
り、外側の各ポートはダイヤフラムチャンバのエアーセ
クション44,46と連通している。第1の通路76が
バルブプレート62の第1の外側のポートをエアーセク
ション44へ連結している。また、第2の通路78がバ
ルブプレート62の他方の外側のポートをエアーセクシ
ョン46へ連結している。図6に示されている位置にお
いては、アクチュエータバルブ70は、通路78と排気
通路71との間でエアーの流路を形成することによっ
て、エアーセクション46からエキゾーストチャンバ5
6へエアーを排気する位置にある。別の位置において
は、アクチュエータバルブ70は通路76と排気通路7
1との間に排気流路を形成する。
ルブ60の動作は図7に最もよく描かれている。パイロ
ットバルブ60とアクチュエータバルブ70はバルブプ
レート62の上を摺動可能なスライドバルブとして形成
されている。バルブプレート62はそれらを貫くように
位置を揃えて設けられた三つのオリフィスを、二つのバ
ルブの各々に対して有する。パイロットバルブ60はア
クチュエータピン68,69によって三つのオリフィス
を横切るように摺動させられる。アクチュエータピン6
8,69はプレート41bかプレート43bのどちらか
と接触することによって移動させられる。図7に示され
ている位置においては、パイロットバルブ60はそのカ
ップ形状の下側表面61を介して通路64と排気通路5
8との間にエアーの流路を形成する。通路66はアクチ
ュエータチャンバ52の中に開口しており、動作時には
アクチュエータチャンバ52はエアーインレット51か
らの圧縮空気によって満たされる。従って、アクチュエ
ータチャンバ52内の圧縮空気は通路66の中を自在に
流れる。通路66はアクチュエータバルブ70と協働す
るピストン74と連通している。別の位置においては、
パイロットバルブ60は排気通路58と通路66との間
にエアーの流路を形成し、それによって通路64をアク
チュエータチャンバ52内の圧縮空気に開放する。従っ
て、アクチュエータチャンバ52内の圧縮空気は通路6
6の中を自在に流れ、アクチュエータバルブ70のピス
トン72と接触する。その動作位置のどちらにおいても
パイロットバルブ60は通路64,66の一方を排気通
路58と連通させ、それと同時に、他方の通路には圧縮
空気を受容させてアクチュエータバルブ70と協働する
ピストン72,74の一方に圧縮空気を加える。
ト62の上で摺動可能であり、カップ形状の下側表面7
7を有する。下側表面77によってアクチュエータチャ
ンバ52内の圧縮空気が通路76あるいは通路78のど
ちらかを介してダイヤフラムチャンバのエアーセクショ
ンの一方に供給される。図7に示されている位置におい
ては、アクチュエータバルブ70は通路76と排気通路
71との間で流路を形成する二つのオリフィスの上方に
配置されている。排気通路71はエキゾーストチャンバ
56につながる排気通路である。従って、エアーセクシ
ョン44は通路76を介してエキゾーストチャンバ56
へ排気し、それと同時にエアーセクション46は通路7
8を介して圧縮空気の供給を受ける。
なる材料から構成されていることが好ましい。バルブカ
ップ80は摩耗が少なく摩擦係数の小さいプラスチック
材料から形成されていることが好ましい。熱交換器82
はアルミニウムなどの熱伝導性がよい金属材料から形成
されていて、熱伝達を助ける多数のフィンを有すること
が好ましい。熱交換器82はOリング81によってバル
ブカップ80へ取付けられている。Oリング81は二つ
の部材の間に圧縮された状態で取付けられており、その
間でエアーシールを形成している。パイロットバルブ6
0は摩耗が少なく摩擦係数の小さいプラスチック材料か
ら形成されていることが好ましい。アクチュエータバル
ブ70及びパイロットバルブ60において良好な性能を
示すプラスチック材料の一つは、テフロン(ポリテトラ
フルオロエチレンの商標名)繊維を有するアセタールで
ある。
ヤフラムチャンバのエアーセクション中に流入してダイ
ヤフラムを外側へ屈曲させ、それと同時に他方のダイヤ
フラムを内側へ屈曲させる。予め決められた屈曲を行う
と、内側へ屈曲したダイヤフラムはアクチュエータピン
へ接触し、パイロットバルブをバルブプレート62上の
新しい位置へ摺動させる。次にパイロットバルブは第2
のアクチュエータバルブのピストンまで圧縮空気を流
し、アクチュエータバルブを第2の位置まで移動させ
て、第2のダイヤフラムチャンバのエアーセクションへ
圧縮空気を流しつつ第1のダイヤフラムエアーシリンダ
への圧縮空気の流れをブロックする。それと同時に、ア
クチュエータバルブ70の新しい位置では、第1のダイ
ヤフラムチャンバのエアーセクションはエキゾーストチ
ャンバ56へ通気される。このようにして、ダブルダイ
ヤフラムポンプ10の中の二つのダイヤフラムは、圧縮
空気がアクチュエータチャンバ52へ加えられている限
り、そして各ダイヤフラムを屈曲させる圧縮空気の力が
十分に大きくて、圧送されている液体の背圧に打ち勝っ
ている限り、サイクル運動を続ける。ダイヤフラムが内
側へ屈曲するたびに液体は内側へ屈曲したダイヤフラム
の液体ポンピングセクション内へ引き込まれ、それと同
時に他方のダイヤフラムはその液体ポンピングセクショ
ンからそのアウトレットボールチェックを介して外側へ
液体を押し出す。この圧送プロセスは、ダイヤフラムが
反対方向に屈曲するときに反転する。しかし、それぞれ
の場合に液体はインレットボールチェック34,35の
一方を介して液体ポンピングセクションの内側へ流れ、
アウトレットボールチェック38,39を介してデリバ
リマニホールドへと外側へ流れる。
うたびに、アクチュエータバルブはダイヤフラムチャン
バの一方にエキゾーストチャンバ56へ圧縮空気を開放
させ、そこからエアーエキゾーストマフラ22を介して
外側へ排出させる。この結果、加圧されたダイヤフラム
チャンバは急速に減圧され、エアーが排気通路71とエ
キゾーストチャンバ56を通過するときにエアーを急激
に膨張させる。このエアーの急激な膨張によって冷却効
果が生じるが、バルブ動作が続くと排気通路の壁やアク
チュエータアセンブリの温度が下がる。圧縮空気の湿度
が高いと、この冷却効果によって、エアーの減圧が最も
大きい場所に近い表面に沿って、すなわち排気通路71
に近接する領域に霜が形成される可能性がある。ある条
件においてはこの霜の形成によって通路がブロックさ
れ、アクチュエータバルブがそれ以上動かなくなるほど
にひどくなることもある。従って、アクチュエータバル
ブ70は金属製の熱交換器で構成されており、熱を排気
通路領域へ伝えるようになっている。熱交換器はかなり
連続的に圧縮空気が流れているアクチュエータチャンバ
52の中に配置されていることから、熱交換器は特に効
率がよい。アクチュエータチャンバ52の中に導かれる
圧縮空気は排気エアーに比べて比較的温かく、従ってこ
のエアーからの熱をアクチュエータバルブ70の熱交換
器構造を介して伝達して、霜の形成を防止することがで
きる。
ことなく、他の形によっても実現が可能である。上述し
た実施例は単に説明のためのものであり、発明を制限す
るものではない。従って、この発明の範囲に関しては上
述した説明よりも添付されている特許請求の範囲を参照
すべきである。
ある。
る。
Claims (9)
- 【請求項1】ダイヤフラムチャンバの軸方向に配列され
た状態で相互に連結されるとともにそれぞれがダイヤフ
ラムチャンバ内において往復運動可能な一対のダイヤフ
ラムを有するダブルダイヤフラムポンプであって、 前記ダイヤフラムチャンバは、液体ポンピングセクショ
ンとエアーセクションとを備え、 前記各ダイヤフラムチャンバの中間に配置されたアクチ
ュエータチャンバと、 アクチュエータチャンバと各ダイヤフラムチャンバのエ
アーセクションとの間に延びており、ダイヤフラムとの
接触によって摺動可能な一対のアクチュエータピンと、 前記アクチュエータチャンバ内で前記摺動可能な一対の
アクチュエータピンに連結されたパイロットバルブと、 前記アクチュエータチャンバ内に設けられたアクチュエ
ータバルブと、 アクチュエータバルブが有する一対の摺動可能なアクチ
ュエータ部材と、 アクチュエータバルブに固定された熱交換器と、 前記パイロットバルブと前記一対の摺動可能なアクチュ
エータ部材のそれぞれ一方とに連結される一対の第1の
エアー通路と、 前記アクチュエータバルブと前記ダイヤフラムチャンバ
のエアーセクションのそれぞれ一方とに連結される一対
の第2のエアー通路と、 圧縮空気を前記アクチュエータチャンバに導入する圧縮
空気導入手段と、 当該ダブルダイヤフラムポンプ内に設けられたエキゾー
ストチャンバと、 前記パイロットバルブと前記エキゾーストチャンバとの
間を連結する第3の通路と、 前記アクチュエータバルブと前記エキゾーストチャンバ
との間を連結する第4の通路とを備え、前記熱交換器は、前記アクチュエータバルブに固定され
た金属製のフィンを備え、 前記第2のエアー通路の各々が前記アクチュエータバル
ブの移動によって前記各アクチュエータチャンバに選択
的かつ交互に開放可能とされており、 前記ダイヤフラムの予め決められた位置によって前記パ
イロットバルブが駆動され、この駆動によって前記アク
チュエータバルブが駆動して、前記ダイヤフラムチャン
バのエアーセクションの対応する一方に圧縮空気を導
き、他方の前記ダイヤフラムチャンバのエアーセクショ
ンからエアーを排出する、ダブルダイヤフラムポンプ。 - 【請求項2】前記アクチュエータバルブのアクチュエー
タ部材は、それぞれさらにシリンダ内を摺動可能なピス
トンを備えている、請求項1に記載のダブルダイヤフラ
ムポンプ。 - 【請求項3】さらに、前記アクチュエータチャンバの上
に取り外し可能なカバーを備えている、請求項2に記載
のダブルダイヤフラムポンプ。 - 【請求項4】ダブルダイヤフラムポンプであって、 一軸線に沿って配列された一対のダイヤフラムチャンバ
と、中間ハウジングセクションとを備えるハウジング
と、 前記一対のダイヤフラムチャンバのそれぞれに設けられ
ている一対の取り外し可能なダイヤフラムカバーと、 前記各ダイヤフラムカバーと前記ハウジングとの間にク
ランプされている可撓性を有するダイヤフラムと、 前記中間ハウジングセクション内に前記軸線に沿って摺
動可能に取り付けられている連結用ロッドと、 前記連結用ロッドの各端部を前記各ダイヤフラムに固定
する手段と、 前記中間ハウジングセクション内に設けられたアクチュ
エータチャンバと、 前記アクチュエータチャンバに圧縮空気を流すための圧
縮空気導入手段と、 前記アクチュエータチャンバに設けられたアクチュエー
タバルブと、 前記アクチュエータバルブに連結された一対のアクチュ
エータバルブ制御ピストンと、 前記ハウジング内の前記アクチュエータバルブ制御ピス
トンに連絡する部分に設けられた制御エアー通路と、 前記アクチュエータチャンバ内の前記制御エアー通路に
連絡する部分に設けられたパイロットバルブと、 前記中間ハウジングセクション内に設けられたエキゾー
ストチャンバと、 前記エキゾーストチャンバを前記パイロットバルブおよ
び前記アクチュエータバルブの排出通路とに連結させる
通路とを備え、 前記アクチュエータバルブは、 バルブカップとバルブプレートと前記バルブカップに固
定された熱交換器とを備え、 前記バルブカップは、バルブプレート上を摺動可能に設
けられ、 前記バルブプレートには、貫通する3つのオリフィスが
配列されて設けられ、 中央のオリフィスは排出通路に連結され、残りのオリフ
ィスの各々は通路を介してそれぞれ前記ダイヤフラムチ
ャンバの一方に連結されており、 前記パイロットバルブは、前記制御エアー通路の連絡に
おいて、前記ダイヤフラムの予め決められた位置に対応
して前記一対のアクチュエータバルブ制御ピストンを作
動させる手段を備える、 ダブルダイヤフラムポンプ。 - 【請求項5】前記熱交換器は、さらに前記アクチュエー
タチャンバ内に延びる複数のフィンを備える金属製部材
を備える、請求項4に記載のダブルダイヤフラムポン
プ。 - 【請求項6】前記パイロットバルブの前記ダイヤフラム
の予め決められた位置に対応する手段は、さらに前記中
間ハウジングセクションに摺動可能に設置された一対の
ピンを有し、 このピンは、各ダイヤフラムチャンバ内に突出する第1
の端部と、前記パイロットバルブに連結される第2の端
部とを備える、請求項5に記載のダブルダイヤフラムポ
ンプ。 - 【請求項7】前記パイロットバルブは、さらに前記バル
ブプレート上を摺動可能なバルブカップを有し、 前記バルブプレートには、貫通する三つのオリフィスが
配列されて設けられ、 中央オリフィスは前記エキゾーストチャンバに連結さ
れ、 残りのオリフィスの各々は、それぞれ前記アクチュエー
タバルブ制御ピストンに導入する通路に連結されてい
る、請求項6に記載のダブルダイヤフラムポンプ。 - 【請求項8】さらに、前記エキゾーストチャンバへ連結
されたマフラを備える、請求項7に記載のダブルダイヤ
フラムポンプ。 - 【請求項9】さらに前記エキゾーストチャンバに近接し
て前記ハウジング内に設けられた外側チャンバと、この
外側チャンバと前記アクチュエータチャンバとの間を連
結する流路とを有する、請求項4に記載のダブルダイヤ
フラムポンプ。
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