JPH0735048A - ダブルダイヤフラムポンプ - Google Patents

ダブルダイヤフラムポンプ

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JPH0735048A
JPH0735048A JP5901994A JP5901994A JPH0735048A JP H0735048 A JPH0735048 A JP H0735048A JP 5901994 A JP5901994 A JP 5901994A JP 5901994 A JP5901994 A JP 5901994A JP H0735048 A JPH0735048 A JP H0735048A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 ダイヤフラムポンプにおける霧の発生を防止
する。 【構成】 二つのチャンバのどちらかへ圧縮空気を選択
的にスイッチングすることによって動作するダブルダイ
ヤフラムポンプのエアーアクチュエータバルブは、バル
ブプレートに設けられたオリフィスの上で摺動可能であ
るとともにエアーピストンによって駆動可能なカップバ
ルブである。エアーピストンはバルブプレートに設けら
れたオリフィス上で摺動可能な第２のカップバルブであ
るパイロットバルブへ通路を介して連結されている。こ
のカップバルブはダイヤフラムチャンバの中に延び予め
決められた位置においてダイヤフラム部材と接触するピ
ンによって駆動可能である。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はダイヤフラムポンプ装
置に関する。さらに詳しくは、この発明はポンプ作用を
調節するための二段式(two-stage) のエアーバルブアク
チュエータを有するダブルダイヤフラムポンプに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】ダブルダイヤフラムポンプは当該分野に
おいて周知のものである。この装置では、圧縮空気が二
つのダイヤフラムチャンバの各々の中へ選択的に加えら
れ、ダイヤフラムチャンバの中に流入した液体材料に対
して、各ダイヤフラムを屈曲させることによってポンピ
ング作用が行われる。各ダイヤフラムはチャンバを二つ
の対部材に分割している。すなわち、可変の空気圧力に
さらされる第１の対部材と、圧送される液体材料にさら
される第２の対部材とに分割している。
【０００３】ダブルダイヤフラムポンプへの圧縮空気の
供給は一般にエアーバルブによって制御される。そして
このエアーバルブは通常ダイヤフラムへ機械的に連結す
ることによって駆動される。従って、一方のダイヤフラ
ムが屈曲するとアクチュエータがエアーバルブをトグル
スイッチングして圧縮空気をダイヤフラムチャンバの中
へ導入する。その結果、機械式アクチュエータがエアー
バルブを反対側の方向へトグルスイッチングするまで、
第２のダイヤフラムが屈曲させられる。各ダイヤフラム
のこの往復運動は流入圧縮空気がダイヤフラムチャンバ
のデリバリ部に収容されている液体の圧力を越えるまで
続く。液体と空気の圧力が等しくなったとき、ダイヤフ
ラムはもはやサイクル運動を行わず、ポンプはいわゆる
ストール状態になる。このストール状態は圧力の平衡が
くずれ、ダイヤフラムに対する空気駆動力によって再び
ダイヤフラムが動かされるまで続く。ダイヤフラムチャ
ンバへの圧縮空気の流れを制御するバルブアクチュエー
タは一般にダイヤフラム自身へ機械的に連結されてい
て、ダイヤフラムの予め決められた位置で駆動されるよ
うになっている。ある場合には、ダイヤフラムへ機械的
に連結されたパイロットバルブがダブルダイヤフラムポ
ンプにおいて利用されてきた。この場合には、パイロッ
トバルブが圧縮空気流をアクチュエータバルブへ導き、
次にアクチュエータバルブが圧縮空気流をダイヤフラム
チャンバへと導く。様々なタイプのスプールバルブがこ
うしたバルブ機能のうちのどちらか、あるいは両方に使
われてきた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ダイヤフラムチャンバ
内へ圧縮空気流を導く働きを行うアクチュエータバルブ
は通常それと同時に他方のダイヤフラムチャンバから圧
縮空気を排気する。バルブアクチュエータを排出される
空気は急激かつ突然の減圧を受け、その結果、バルブア
クチュエータ近傍の温度が急激に低下する。特に圧縮空
気の湿度が高い場合には、排気サイクルが繰り返される
と、アクチュエータバルブの近傍やエキゾーストチャン
バの中に霜が発生する。この霜は、堆積し、アイシング
効果(icingeffect)を生じて、極端な場合にはアクチュ
エータバルブの動きを止めてしまい、その結果、ポンプ
システムを動作不能にしてしまうことがある。
【０００５】従来のダブルダイヤフラムポンプに関する
別の問題は、バルブアクチュエータの摩耗によって引き
起こされる効率の低下に関するものである。バルブアク
チュエータは一般にポンプの寿命がくるまでは１分間に
数百回の速さでサイクル運動を行う。そして、こうした
アクチュエータは徐々に摩耗し、アクチュエータで使わ
れるエアーシールから漏れが生じてポンプの圧縮動作を
悪化させる。これは、アクチュエータがもはや効率よく
動作できないほどに漏れの状態がひどくなると、最終的
にはポンプの故障につながる。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、焼入れされ
た(harden)金属プレートの上で摺動可能なバルブカップ
からなるアクチュエータバルブとパイロットバルブとを
有するダブルダイヤフラムポンプからなる。金属プレー
トは六つのエアーポートを有し、そのうちの三つはパイ
ロットバルブとアクチュエータバルブとの間で圧縮空気
を導き排気を行うために使用され、別の三つはダイヤフ
ラムチャンバとアクチュエータバルブとの間で圧縮空気
を導き、排気する。アクチュエータスライドバルブは流
入してくる温かい空気にさらされる熱交換器と、排気さ
れる空気の減圧及び冷却にさらされるバルブカップとを
有する。熱交換器は流入してくる温かい空気から熱を吸
収して、アクチュエータ及び排気ポート領域における霜
の形成を防止する。
【０００７】この発明の主な目的は、セルフシーリング
設計と熱制御のための熱交換器とを有するような、ダブ
ルダイヤフラムポンプに対するエアーバルブアクチュエ
ータとパイロットバルブを提供することである。
【０００８】この発明の別の目的は、両方のバルブが焼
入れされた金属プレート上のスライダからなっているよ
うな、ダブルダイヤフラムポンプに対するパイロットバ
ルブ及びアクチュエータバルブを提供することである。
【０００９】この発明のさらに別の目的は、比較的少な
い数の部材からなっておりポンプを完全に分解すること
なくメインテナンスができるような、ダブルダイヤフラ
ムポンプに対するセルフシーリング式アクチュエータバ
ルブを提供することである。
【００１０】この発明の別の目的は、比較的温かい流入
エアーを利用して比較的冷たい排気エアーの温度を制御
するためにエキゾーストチャンバをほぼ包み込んだ形に
設けられた外側エアーチャンバを提供することである。
【００１１】この発明の他の目的は、以下での説明や、
特許請求の範囲、添付されている図面から明かとなろ
う。
【００１２】
【実施例】以下、添付図面に基づいてこの発明の実施例
を説明する。まず、図１及び図２にはこの発明に関する
幾つかの立面図が示されている。ダブルダイヤフラムポ
ンプ１０はポンプのハウジング１２を有する。ハウジン
グ１２にはダイヤフラムカバー１４，１６が取付けられ
ている。ハウジング１２には液体送り出し用のデリバリ
マニホールド２０が取付けられるとともに液体流入用の
インレットマニホールド１８が取付けられている。エア
ーエキゾーストマフラ２２がハウジング１２へ取り外し
可能な状態で取付けられている。ダブルダイヤフラムポ
ンプ１０によって圧送される液体はインレット２４，２
５のどちらか又は両方に連結され、ダブルダイヤフラム
ポンプ１０によって送り出される圧送液体はアウトレッ
ト２６，２７を介して排出される。以下でさらに詳しく
説明するアクチュエータバルブアセンブリは取り外し可
能なカバープレート２８を通してアクセスが可能であ
る。
【００１３】図３は図１の３−３線に沿ったダブルダイ
ヤフラムポンプ１０の断面図である。ダイヤフラムカバ
ー１４，１６の中には第１及び第２のダイヤフラムチャ
ンバ３０，３２がそれぞれ形成されている。インレット
マニホールド１８はインレットボールチェック３４，３
５を介してダイヤフラムチャンバ３０，３２へ結合され
ている。デリバリマニホールド２０はアウトレットボー
ルチェック３８，３９を介してダイヤフラムチャンバ３
０，３２へ結合されている。ダイヤフラム４０はダイヤ
フラムカバー１４とハウジング１２との間でクランプさ
れており、ダイヤフラムチャンバ３０をダイヤフラムエ
アーチャンバ４４から隔絶している。ダイヤフラム４２
はダイヤフラムカバー１６とハウジング１２との間でク
ランプされており、ダイヤフラムチャンバ３２をダイヤ
フラムエアーチャンバ４６から隔絶している。ダイヤフ
ラム４０の中心部は二つのプレート４１ａ，４１ｂの間
にクランプされており、これらのプレートはファスナ４
８によってダイヤフラムの連結用ロッド５０へ固定され
ている。ダイヤフラム４２の中心部は二つのプレート４
３ａ，４３ｂの間にクランプされており、これらのプレ
ートはファスナ４９によってダイヤフラム連結用ロッド
５０へ固定されている。連結用ロッド５０は二つのダイ
ヤフラム４０，４２を相互に連結しており、ダイヤフラ
ムが一致して移動するようにしている。連結用ロッド５
０はハウジング１２を貫くように設けられた中央開口部
の中で摺動可能である。連結用ロッド５０と中央開口部
との間にはその間を空気が流れるだけの十分な隙間が設
けられている。
【００１４】アクチュエータチャンバ５２は圧縮空気の
供給を受けるためにエアーインレット５１へ連結されて
いる。エアーエキゾーストマフラ２２は、エキゾースト
チャンバ５６の中へ開口したエアーアウトレット５５へ
連結されている。排気通路５７もエキゾーストチャンバ
５６の中に開口している。排気通路５７は連結用ロッド
５０とハウジング１２を貫くように設けられた開口部と
の間の隙間を介して排気通路５８と連通している。パイ
ロットバルブ６０はバルブプレート６２上のその摺動位
置によって排気通路５８へのエアーの流れを制御する。
バルブプレート６２はそれを貫く三つのポートを有し、
中央のポートは排気通路５８と位置が揃えて設けられて
いる。バルブプレートを貫く外側の二つのポートは通路
６４，６６へ連結されている。パイロットバルブ６０の
下側表面はカップ形状に形成されており、バルブカップ
と呼ばれる。バルブカップはその下に位置する任意の二
つのポートの間でエアーが流れるようになるような寸法
を有する。図３に示されている位置においては、パイロ
ットバルブ６０は排気通路５８と通路６６の間が連通す
るようにその下側のバルブカップに位置合わせされてお
り、エキゾーストチャンバ５６への排気流路が形成され
ている。パイロットバルブ６０内のバルブカップはその
別の位置においては、通路６４と排気通路５８との間を
連通させることによってエキゾーストチャンバ５６への
排気流路を形成する。
【００１５】パイロットバルブ６０はアクチュエータピ
ン６８，６９へ連結されている。アクチュエータピン６
８，６９はダイヤフラムエアーチャンバ４４，４６へつ
ながる通路の中でそれぞれ水平方向に摺動可能である。
アクチュエータピン６８はパイロットバルブ６０をダイ
ヤフラムエアーチャンバ４４の中へ連結し、アクチュエ
ータピン６９はパイロットバルブ６０をダイヤフラムエ
アーチャンバ４６の中へ連結している。アクチュエータ
ピン６８，６９の各端部にはプレート４１ｂ，４３ｂが
接触する。これらのプレートはアクチュエータピンを水
平方向に摺動させ、それによってパイロットバルブを水
平方向に一致した状態で摺動させる。図３においては、
アクチュエータピン６９はダイヤフラムエアーチャンバ
４６の中に突き出ており、従ってダイヤフラム４２が左
側に移動するとプレート４３ｂと接触する状態にある。
接触されてアクチュエータピン６９が左側へ移動する
と、アクチュエータピン６９とパイロットバルブ６０と
アクチュエータピン６８からなるアセンブリ全体が摺動
し、アクチュエータピン６８の端部をダイヤフラムエア
ーチャンバ４４の中へ突き出させる。
【００１６】図４は図２の４−４線に沿った断面図を示
している。この図においては、エアーエキゾーストマフ
ラ２２とパイロットバルブ６０とアクチュエータバルブ
７０の間から排気通路を完全に見ることができる。例え
ば、パイロットバルブ６０と協働する排気通路には、排
気通路５８と、連結用ロッド５０のまわりの隙間と、排
気通路５７と、エキゾーストチャンバ５６と、エアーア
ウトレット５５が含まれる。アクチュエータバルブ７０
からの排気通路７１はエキゾーストチャンバ５６へ直接
連結されている。図４において点線のアウトラインで示
されているように、ポンプのハウジング１２には外側チ
ャンバ５３が設けられている。また、外側チャンバ５３
とアクチュエータチャンバ５２との間にはエアー通路５
４が形成されており、比較的温かいエアーを外側チャン
バ５３の中へ循環できるようになっている。外側チャン
バ５３はエキゾーストチャンバ５６のまわりをほぼ取り
囲んでおり、比較的温かい流入エアーを外側チャンバ５
３に循環させることによってエキゾーストチャンバ５６
が温められるようになっている。この加温プロセスによ
ってエキゾーストチャンバ５６内の霜の形成が抑えら
れ、またエアーアウトレット５５の中を流れる比較的冷
たい排気エアーの通過によって生じる結露が少なくな
る。
【００１７】図５は図１の５−５線に沿ったダブルダイ
ヤフラムポンプ１０の平面図である。この図では取り外
し可能なカバープレート２８がはっきりと見える。図６
は図５の６−６線断面図であり、アクチュエータバルブ
７０の断面を示している。アクチュエータバルブ７０は
摺動可能な一対のピストン７２，７４へ連結されてい
る。ピストン７２，７４はそれぞれシリンダハウジング
の中で摺動可能である。ピストン７２は通路７３を介し
てパイロットバルブの通路６４と連通している。ピスト
ン７４は通路７５を介してパイロットバルブの通路６６
と連通している。アクチュエータバルブ７０の下側はカ
ップ形状の凹部を有し、この凹部はバルブプレート６２
の上を摺動可能になっている。バルブプレート６２はそ
れを貫く三つのポートを有する。中央のポートは排気通
路７１を介してエキゾーストチャンバ５６と連通してお
り、外側の各ポートはダイヤフラムエアーチャンバ４
４，４６と連通している。第１の通路７６がバルブプレ
ート６２の第１の外側のポートをダイヤフラムエアーチ
ャンバ４４へ連結している。また、第２の通路７８がバ
ルブプレート６２の他方の外側のポートをダイヤフラム
エアーチャンバ４６へ連結している。図６に示されてい
る位置においては、アクチュエータバルブ７０は、通路
７８と排気通路７１との間でエアーの流路を形成するこ
とによって、ダイヤフラムエアーチャンバ４６からエキ
ゾーストチャンバ５６へエアーを排気する位置にある。
別の位置においては、アクチュエータバルブ７０は通路
７６と排気通路７１との間に排気流路を形成する。
【００１８】アクチュエータバルブ７０とパイロットバ
ルブ６０の動作は図７に最もよく描かれている。パイロ
ットバルブ６０とアクチュエータバルブ７０はバルブプ
レート６２の上を摺動可能なスライドバルブとして形成
されている。バルブプレート６２はそれらを貫くように
位置を揃えて設けられた三つのオリフィスを、二つのバ
ルブの各々に対して有する。パイロットバルブ６０はア
クチュエータピン６８，６９によって三つのオリフィス
を横切るように摺動させられる。アクチュエータピン６
８，６９はプレート４１ｂかプレート４３ｂのどちらか
と接触することによって移動させられる。図７に示され
ている位置においては、パイロットバルブ６０はそのカ
ップ形状の下側表面６１を介して通路６４と排気通路５
８との間にエアーの流路を形成する。通路６６はアクチ
ュエータチャンバ５２の中に開口しており、動作時には
アクチュエータチャンバ５２はエアーインレット５１か
らの圧縮空気によって満たされる。従って、アクチュエ
ータチャンバ５２内の圧縮空気は通路６６の中を自在に
流れる。通路６６はアクチュエータバルブ７０と協働す
るピストン７４と連通している。別の位置においては、
パイロットバルブ６０は排気通路５８と通路６６との間
にエアーの流路を形成し、それによって通路６４をアク
チュエータチャンバ５２内の圧縮空気に開放する。従っ
て、アクチュエータチャンバ５２内の圧縮空気は通路６
６の中を自在に流れ、アクチュエータバルブ７０のピス
トン７２と接触する。その動作位置のどちらにおいても
パイロットバルブ６０は通路６４，６６の一方を排気通
路５８と連通させ、それと同時に、他方の通路には圧縮
空気を受容させてアクチュエータバルブ７０と協働する
ピストン７２，７４の一方に圧縮空気を加える。
【００１９】アクチュエータバルブ７０もバルブプレー
ト６２の上で摺動可能であり、カップ形状の下側表面７
７を有する。下側表面７７によってアクチュエータチャ
ンバ５２内の圧縮空気が通路７６あるいは通路７８のど
ちらかを介してダイヤフラムエアーチャンバの一方に供
給される。図７に示されている位置においては、アクチ
ュエータバルブ７０は通路７６と排気通路７１との間で
流路を形成する二つのオリフィスの上方に配置されてい
る。排気通路７１はエキゾーストチャンバ５６につなが
る排気通路である。従って、ダイヤフラムエアーチャン
バ４４は通路７６を介してエキゾーストチャンバ５６へ
排気し、それと同時にダイヤフラムエアーチャンバ４６
は通路７８を介して圧縮空気の供給を受ける。
【００２０】アクチュエータバルブ７０はいくつかの異
なる材料から構成されていることが好ましい。バルブカ
ップ８０は摩耗が少なく摩擦係数の小さいプラスチック
材料から形成されていることが好ましい。熱交換器８２
はアルミニウムなどの熱伝導性がよい金属材料から形成
されていて、熱伝達を助ける多数のフィンを有すること
が好ましい。熱交換器８２はＯリング８１によってバル
ブカップ８０へ取付けられている。Ｏリング８１は二つ
の部材の間に圧縮された状態で取付けられており、その
間でエアーシールを形成している。パイロットバルブ６
０は摩耗が少なく摩擦係数の小さいプラスチック材料か
ら形成されていることが好ましい。アクチュエータバル
ブ７０及びパイロットバルブ６０において良好な性能を
示すプラスチック材料の一つは、テフロン（ポリテトラ
フルオロエチレンの商標名）繊維を有するアセタールで
ある。
【００２１】動作時においては、圧縮空気が第１のダイ
ヤフラムエアーチャンバの中に流入してダイヤフラムを
外側へ屈曲させ、それと同時に他方のダイヤフラムを内
側へ屈曲させる。予め決められた屈曲を行うと、内側へ
屈曲したダイヤフラムはアクチュエータピンへ接触し、
パイロットバルブをバルブプレート６２上の新しい位置
へ摺動させる。次にパイロットバルブは第２のアクチュ
エータバルブのピストンまで圧縮空気を流し、アクチュ
エータバルブを第２の位置まで移動させて、第２のダイ
ヤフラムチャンバへ圧縮空気を流しつつ第１のダイヤフ
ラムエアーシリンダへの圧縮空気の流れをブロックす
る。それと同時に、アクチュエータバルブ７０の新しい
位置では、第１のダイヤフラムエアーチャンバはエキゾ
ーストチャンバ５６へ通気される。このようにして、ダ
ブルダイヤフラムポンプ１０の中の二つのダイヤフラム
は、圧縮空気がアクチュエータチャンバ５２へ加えられ
ている限り、そして各ダイヤフラムを屈曲させる圧縮空
気の力が十分に大きくて、圧送されている液体の背圧に
打ち勝っている限り、サイクル運動を続ける。ダイヤフ
ラムが内側へ屈曲するたびに液体は内側へ屈曲したダイ
ヤフラムのダイヤフラムチャンバ内へ引き込まれ、それ
と同時に他方のダイヤフラムはそのダイヤフラムチャン
バからそのアウトレットボールチェックを介して外側へ
液体を押し出す。この圧送プロセスは、ダイヤフラムが
反対方向に屈曲するときに反転する。しかし、それぞれ
の場合に液体はインレットボールチェック３４，３５の
一方を介してダイヤフラムチャンバへ内側へ流れ、アウ
トレットボールチェック３８，３９を介してデリバリマ
ニホールドへと外側へ流れる。
【００２２】アクチュエータバルブ７０が往復運動を行
うたびに、アクチュエータバルブはダイヤフラムチャン
バの一方にエキゾーストチャンバ５６へ圧縮空気を開放
させ、そこからエアーエキゾーストマフラ２２を介して
外側へ排出させる。この結果、加圧されたダイヤフラム
チャンバは急速に減圧され、エアーが排気通路７１とエ
キゾーストチャンバ５６を通過するときにエアーを急激
に膨張させる。このエアーの急激な膨張によって冷却効
果が生じるが、バルブ動作が続くと排気通路の壁やアク
チュエータアセンブリの温度が下がる。圧縮空気の湿度
が高いと、この冷却効果によって、エアーの減圧が最も
大きい場所に近い表面に沿って、すなわち排気通路７１
に近接する領域に霜が形成される可能性がある。ある条
件においてはこの霜の形成によって通路がブロックさ
れ、アクチュエータバルブがそれ以上動かなくなるほど
にひどくなることもある。従って、アクチュエータバル
ブ７０は金属製の熱交換器で構成されており、熱を排気
通路領域へ伝えるようになっている。熱交換器はかなり
連続的に圧縮空気が流れているアクチュエータチャンバ
５２の中に配置されていることから、熱交換器は特に効
率がよい。アクチュエータチャンバ５２の中に導かれる
圧縮空気は排気エアーに比べて比較的温かく、従ってこ
のエアーからの熱をアクチュエータバルブ７０の熱交換
器構造を介して伝達して、霜の形成を防止することがで
きる。
【００２３】この発明はその精神及び本質から逸脱する
ことなく、他の形によっても実現が可能である。上述し
た実施例は単に説明のためのものであり、発明を制限す
るものではない。従って、この発明の範囲に関しては上
述した説明よりも添付されている特許請求の範囲を参照
すべきである。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明のポンプの端部立面図である。
【図２】ポンプの側部立面図である。
【図３】図１の３−３線断面図である。
【図４】図２の４−４線断面図である。
【図５】図１に示されているポンプの５−５線断面図で
ある。
【図６】図５の６−６線断面図である。
【図７】アクチュエータバルブアセンブリを示す図であ
る。
【符号の説明】
３０，３２ ダイヤフラムチャンバ ４０，４２ ダイヤフラム ５２ アクチュエータチャンバ ５３ 外側チャンバ ５４ エアー通路 ５６ エキゾーストチャンバ ６０ パイロットバルブ ６２ バルブプレート ６４，６６ 通路 ６８，６９ アクチュエータピン ７０ アクチュエータバルブ ７２，７４ ピストン ７３，７５ 通路 ７６，７８ 通路
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成６年７月１４日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正内容】
【図６】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ダニエル・ジェイ・クビンゲ アメリカ合衆国 55126 ミネソタ，ショ アビュー，チャッツウォース・ストリート 3449 (72)発明者 スティーブン・ポール・プレイガ アメリカ合衆国 55306 ミネソタ，バー ンズビル，サニーサイド・サークル 2801 (72)発明者 リチャード・ディーン・ツァーネク アメリカ合衆国 55112 ミネソタ，マウ ンズビュー，テラス・ドライブ 2084

Claims (20)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ダイヤフラムチャンバの軸方向に配列さ
    れた状態で相互に連結されるとともにそれぞれがダイヤ
    フラムチャンバ内において往復運動可能な一対のダイヤ
    フラムを有するダブルダイヤフラムポンプであって、 前記ダイヤフラムチャンバの中間に配置されたアクチュ
    エータチャンバと、 摺動可能な一対のピンと、 パイロットバルブと、 前記アクチュエータチャンバの中に設けられたアクチュ
    エータバルブと、 通路と、 圧縮空気を前記アクチュエータチャンバの中へ導くため
    の圧縮空気導入手段と、 アクチュエータバルブ通路と、を有し、前記ダイヤフラ
    ムチャンバが液体ポンピングセクションとエアーセクシ
    ョンとを有し、前記ピンの各々がアクチュエータチャン
    バとダイヤフラムチャンバのエアーセクションの一つと
    の間を延び、前記ピンはダイヤフラムと接触することに
    よって摺動可能であり、前記パイロットバルブが前記ア
    クチュエータチャンバ内において前記一対のピンへ連結
    され、前記アクチュエータバルブが摺動可能な一対のア
    クチュエータ部材と、前記パイロットバルブへ連結され
    た前記アクチュエータ部材を移動させるための駆動手段
    とを有し、前記アクチュエータバルブは前記通路を通じ
    て前記ダイヤフラムチャンバの前記エアーセクションの
    各々へ連結され、前記アクチュエータバルブ通路は前記
    アクチュエータ部材の移動によって前記アクチュエータ
    チャンバへ選択的に開口可能であるとともに前記アクチ
    ュエータバルブを前記ダイヤフラムチャンバのエアーセ
    クションの各々へ連結する前記通路へ連結されており、
    前記ダイヤフラムが予め決められた位置にくると前記パ
    イロットバルブが駆動され、それによって前記アクチュ
    エータバルブが駆動されて、圧縮空気が前記ダイヤフラ
    ムチャンバのエアーセクションの対応する一つへ導かれ
    るダブルダイヤフラムポンプ。
  2. 【請求項２】 エアーエキゾーストチャンバと前記パイ
    ロットバルブを前記エアーエキゾーストチャンバへ連結
    する第１の通路と、前記アクチュエータバルブを前記エ
    アーエキゾーストチャンバへ連結する第２の通路とが設
    けられている請求項１記載のダブルダイヤフラムポン
    プ。
  3. 【請求項３】 前記アクチュエータバルブが前記第２の
    通路の温度を上げるための熱交換器を有する請求項２記
    載のダブルダイヤフラムポンプ。
  4. 【請求項４】 前記熱交換器が前記アクチュエータバル
    ブに取付けられた金属製のフィンを有する請求項３記載
    のダブルダイヤフラムポンプ。
  5. 【請求項５】 前記アクチュエータバルブのアクチュエ
    ータ部材の各々がシリンダ内において摺動可能なピスト
    ンを有する請求項１記載のダブルダイヤフラムポンプ。
  6. 【請求項６】 前記アクチュエータバルブのアクチュエ
    ータ部材を移動させるための前記駆動装置が前記パイロ
    ットバルブと前記シリンダとの間を連通させるエアー通
    路を有する請求項５記載のダブルダイヤフラムポンプ。
  7. 【請求項７】 前記アクチュエータチャンバの上に取り
    外し可能なカバーが設けられている請求項６記載のダブ
    ルダイヤフラムポンプ。
  8. 【請求項８】 エアーエキゾーストチャンバと、前記パ
    イロットバルブを前記エアーエキゾーストチャンバへ連
    結する第１の通路と、前記アクチュエータバルブを前記
    エアーエキゾーストチャンバへ連結する第２の通路とが
    設けられている請求項６記載のダブルダイヤフラムポン
    プ。
  9. 【請求項９】 前記アクチュエータバルブが前記第２の
    通路の温度を上げるための熱交換器を有する請求項８記
    載のダブルダイヤフラムポンプ。
  10. 【請求項１０】 前記熱交換器が前記アクチュエータバ
    ルブに取付けられた金属製のフィンを有する請求項９記
    載のダブルダイヤフラムポンプ。
  11. 【請求項１１】 ハウジングと、 取り外し可能な一対のカバーと、 前記カバーの各々と前記ハウジングとの間に取付けられ
    た可撓性を有するダイヤフラムと、 シャフトと、 前記シャフトの各端部を前記ダイヤフラムの各々に取付
    けるための手段と、 アクチュエータバルブチャンバと、 前記アクチュエータバルブチャンバの中へ圧縮空気を流
    すための圧縮空気導入手段と、 前記アクチュエータバルブチャンバの中に設けられたア
    クチュエータバルブと、 前記アクチュエータバルブチャンバの中に設けられたパ
    イロットバルブと、 エキゾーストチャンバと、 通路と、を有し、前記ハウジングが１つの軸方向に配列
    された一対のダイヤフラムチャンバと、中間のハウジン
    グセクションとを有し、前記カバーの各々が前記ダイヤ
    フラムチャンバの一つへ取付けられ、前記シャフトが前
    記中間のハウジングセクションの中で前記軸に沿って摺
    動可能に取付けられ、前記アクチュエータバルブチャン
    バが前記中間のハウジングセクションの中に設けられ、
    前記アクチュエータバルブが前記圧縮空気を前記ダイヤ
    フラムチャンバへ選択的に流すための圧縮空気供給手段
    と、前記圧縮空気供給手段に対する制御手段とを有し、
    前記パイロットバルブが前記制御手段へ連結され、前記
    パイロットバルブが前記ダイヤフラムの予め決められた
    位置に応じて前記制御手段を駆動するための駆動手段を
    有し、前記エキゾーストチャンバが前記中間のハウジン
    グセクションの中に設けられ、前記エキゾーストチャン
    バは前記通路を通じて前記パイロットバルブ及び前記ア
    クチュエータバルブへ連結されているダブルダイヤフラ
    ムポンプ。
  12. 【請求項１２】 前記アクチュエータバルブがバルブプ
    レート上で摺動可能なバルブカップを有し、前記バルブ
    プレートがその中を貫く三つのオリフィスを有し、中央
    のオリフィスが前記エキゾーストチャンバへの前記通路
    へ連結され、残りのオリフィスの各々が前記ダイヤフラ
    ムチャンバの一つに連通する通路へ連結されている請求
    項１１記載のダブルダイヤフラムポンプ。
  13. 【請求項１３】 前記バルブカップへ取付けられた熱交
    換器を有する請求項１２記載のダブルダイヤフラムポン
    プ。
  14. 【請求項１４】 前記熱交換器が金属製部材を有し、こ
    の金属製部材が前記アクチュエータチャンバの中に延び
    る複数のフィンを有する請求項１３記載のダブルダイヤ
    フラムポンプ。
  15. 【請求項１５】 前記制御手段が前記バルブカップへ連
    結された少なくとも一つのエアーピストンと、少なくと
    も一つの前記エアーピストンと前記パイロットバルブと
    の間に連結されたエアー通路とを有する請求項１４記載
    のダブルダイヤフラムポンプ。
  16. 【請求項１６】 前記駆動手段が、前記中間のハウジン
    グセクションの中に摺動可能に取付けられた一対のピン
    を有し、このピンが各ダイヤフラムチャンバの中に延び
    る第１の端部をそれぞれ有するとともに前記パイロット
    バルブへ連結された第２の端部を有する請求項１５記載
    のダブルダイヤフラムポンプ。
  17. 【請求項１７】 前記パイロットバルブがバルブプレー
    ト上で摺動可能なバルブカップを有し、前記バルブプレ
    ートがその中を貫く三つのオリフィスを有し、中央のオ
    リフィスが前記エキゾーストチャンバへの前記通路へ連
    結され、残りのオリフィスの各々が前記アクチュエータ
    バルブの少なくとも一つのエアーピストンに連結する通
    路へ連結されている請求項１６記載のダブルダイヤフラ
    ムポンプ。
  18. 【請求項１８】 前記ピンの第２の端部が前記パイロッ
    トバルブのバルブカップへ連結されている請求項１７記
    載のダブルダイヤフラムポンプ。
  19. 【請求項１９】 前記エキゾーストチャンバへ連結され
    たマフラを有する請求項１８記載のダブルダイヤフラム
    ポンプ。
  20. 【請求項２０】 前記エキゾーストチャンバに近接して
    前記ハウジング内に設けられた外側チャンバと、この外
    側チャンバと前記アクチュエータバルブチャンバとの間
    を連通させる流路とを有する請求項１１記載のダブルダ
    イヤフラムポンプ。
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