JP3512718B2 - 管継手 - Google Patents
管継手Info
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- JP3512718B2 JP3512718B2 JP2000242895A JP2000242895A JP3512718B2 JP 3512718 B2 JP3512718 B2 JP 3512718B2 JP 2000242895 A JP2000242895 A JP 2000242895A JP 2000242895 A JP2000242895 A JP 2000242895A JP 3512718 B2 JP3512718 B2 JP 3512718B2
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- JP
- Japan
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- plug
- socket
- sleeve
- pipe joint
- tip
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L37/00—Couplings of the quick-acting type
- F16L37/28—Couplings of the quick-acting type with fluid cut-off means
- F16L37/30—Couplings of the quick-acting type with fluid cut-off means with fluid cut-off means in each of two pipe-end fittings
- F16L37/32—Couplings of the quick-acting type with fluid cut-off means with fluid cut-off means in each of two pipe-end fittings at least one of two lift valves being opened automatically when the coupling is applied
- F16L37/34—Couplings of the quick-acting type with fluid cut-off means with fluid cut-off means in each of two pipe-end fittings at least one of two lift valves being opened automatically when the coupling is applied at least one of the lift valves being of the sleeve type, i.e. a sleeve is telescoped over an inner cylindrical wall
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L2201/00—Special arrangements for pipe couplings
- F16L2201/80—Dust covers
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S285/00—Pipe joints or couplings
- Y10S285/918—O-ring
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/87917—Flow path with serial valves and/or closures
- Y10T137/87925—Separable flow path section, valve or closure in each
- Y10T137/87941—Each valve and/or closure operated by coupling motion
- Y10T137/87949—Linear motion of flow path sections operates both
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
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- Y10T137/87917—Flow path with serial valves and/or closures
- Y10T137/87925—Separable flow path section, valve or closure in each
- Y10T137/87973—Coupling interlocked with valve, or closure or actuator
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、管継手に関し、例
えば、半導体製造分野等に用いられる薬液などを入れた
容器に好適な管継手に関する。
えば、半導体製造分野等に用いられる薬液などを入れた
容器に好適な管継手に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体産業、バイオ産業及び化学・医療
産業分野における各種薬液ラインや超純水ラインには、
プラグとソケットより成る管継手が用いられている。特
に、ＬＳＩや超ＬＳＩ技術の急速な進展により、半導体
製造プロセスにおける半導体ウエハの高集積化に伴い、
各種の薬液等の液体や各種の処理ガスラインに、この種
の管継手が用いられている。
産業分野における各種薬液ラインや超純水ラインには、
プラグとソケットより成る管継手が用いられている。特
に、ＬＳＩや超ＬＳＩ技術の急速な進展により、半導体
製造プロセスにおける半導体ウエハの高集積化に伴い、
各種の薬液等の液体や各種の処理ガスラインに、この種
の管継手が用いられている。
【０００３】通常、この薬液等は、容器に充填されてお
り、この容器は、薬液の保管や搬送に利用される。ま
た、容器の入った薬液の使用に際しては、容器側にプラ
グを設け、このプラグと対をなすソケットを接続・分離
させることにより、薬液を供給側に供給するようにして
おり、これらの容器や、これに用いる管継手等が各種提
案されている（特許第２７６１３５４号公報、特開平１
１−１９３８９４号公報参照）。
り、この容器は、薬液の保管や搬送に利用される。ま
た、容器の入った薬液の使用に際しては、容器側にプラ
グを設け、このプラグと対をなすソケットを接続・分離
させることにより、薬液を供給側に供給するようにして
おり、これらの容器や、これに用いる管継手等が各種提
案されている（特許第２７６１３５４号公報、特開平１
１−１９３８９４号公報参照）。
【０００４】特許第２７６１３５４号公報における管継
手の構造は、ソケット主筒体の先端部に形成された開口
部からバルブの先端部が大きく突出しており、また、ソ
ケットとプラグとのシールがプラグの外周面でシールす
る構造となっている。
手の構造は、ソケット主筒体の先端部に形成された開口
部からバルブの先端部が大きく突出しており、また、ソ
ケットとプラグとのシールがプラグの外周面でシールす
る構造となっている。
【０００５】一方、特開平１１−１９３８９４号公報に
おける管継手の構造は、バルブの先端がソケットの主筒
体の開口部から、プラグも先端開口部から突出している
構造になっており、また、ソケットとプラグとのシール
がプラグの外周面でシールする構造になっている。
おける管継手の構造は、バルブの先端がソケットの主筒
体の開口部から、プラグも先端開口部から突出している
構造になっており、また、ソケットとプラグとのシール
がプラグの外周面でシールする構造になっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、両者の
管継手は、ソケットとプラグとを接続するときバルブの
先端が開口部から突出しているため、バルブを開く前に
Ｏリングでプラグの外周面をシールさせる必要がある。
このため、ソケットの開口部とプラグの先端とに空間が
形成され、その空間に空気が混入すると共に、双方の分
離時に流体の液だれを生じるおそれがある等の問題が発
生する。
管継手は、ソケットとプラグとを接続するときバルブの
先端が開口部から突出しているため、バルブを開く前に
Ｏリングでプラグの外周面をシールさせる必要がある。
このため、ソケットの開口部とプラグの先端とに空間が
形成され、その空間に空気が混入すると共に、双方の分
離時に流体の液だれを生じるおそれがある等の問題が発
生する。
【０００７】また、上記の管継手のバルブのように開口
部からバルブの先端を突出させることなく、図１１に示
すように、ソケット１とプラグ２の一方の接合端面にＯ
リング３を設けた場合、ソケット１とプラグ２を接続し
た際、Ｏリング３であるとプラグ端面とソケット側Ｏリ
ング３のシール接合部は、一本の線状になっているた
め、図１１に示す通常時の場合は、問題はないものの、
図１２に示すように、ソケット１とプラグ２に曲げの力
が加わったとき、パッキン３のつぶし代がなくなり、シ
ール性が著るしく低下して、流体漏れを生じてしまうお
それがある。
部からバルブの先端を突出させることなく、図１１に示
すように、ソケット１とプラグ２の一方の接合端面にＯ
リング３を設けた場合、ソケット１とプラグ２を接続し
た際、Ｏリング３であるとプラグ端面とソケット側Ｏリ
ング３のシール接合部は、一本の線状になっているた
め、図１１に示す通常時の場合は、問題はないものの、
図１２に示すように、ソケット１とプラグ２に曲げの力
が加わったとき、パッキン３のつぶし代がなくなり、シ
ール性が著るしく低下して、流体漏れを生じてしまうお
それがある。
【０００８】更に、管継手に内蔵したスプリング等の接
液部品が耐薬品性を有しないと、流体に対する金属溶出
が起き、半導体製造プロセスなどにとって、パーティク
ル発生の要因となり、これらの課題は、特に、半導体製
造プロセスにおいては、確実に回避しなければならな
い。
液部品が耐薬品性を有しないと、流体に対する金属溶出
が起き、半導体製造プロセスなどにとって、パーティク
ル発生の要因となり、これらの課題は、特に、半導体製
造プロセスにおいては、確実に回避しなければならな
い。
【０００９】また、管継手における分離時に起きる液だ
れによって、容器の保管時や搬送時に薬液等が外部へ流
出し、薬液による危険を生じる可能性があるため、容器
からの充填作業中に危険度が大きい薬液が漏れないこと
が必要条件である。更には、ソケットをプラグに接続す
る際に、誤接続することを確実に防止することも必要条
件である。
れによって、容器の保管時や搬送時に薬液等が外部へ流
出し、薬液による危険を生じる可能性があるため、容器
からの充填作業中に危険度が大きい薬液が漏れないこと
が必要条件である。更には、ソケットをプラグに接続す
る際に、誤接続することを確実に防止することも必要条
件である。
【００１０】本発明は、上述の課題点に鑑みて開発に至
ったものであり、その目的とするところは、ソケットと
プラグの接続時の空気の混入量を極めて少なくし、分離
時における流体の液だれをなくし、流体の接液部品を耐
薬品性にすることによってパーティクルの発生を無く
し、更には、仮に多数の液だれによる流体であっても外
部に流出することを確実に防止し、ソケットとプラグの
誤接続を防止した管継手を提供することにある。
ったものであり、その目的とするところは、ソケットと
プラグの接続時の空気の混入量を極めて少なくし、分離
時における流体の液だれをなくし、流体の接液部品を耐
薬品性にすることによってパーティクルの発生を無く
し、更には、仮に多数の液だれによる流体であっても外
部に流出することを確実に防止し、ソケットとプラグの
誤接続を防止した管継手を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１に係る発明は、ソケット本体の外周面に
摺動自在に設けたスリーブをソケット本体の先端側に弾
発付勢させ、このスリーブでソケット本体に設けた施錠
部材をプラグの外周溝に係合・離脱させる管継手であっ
て、ソケット本体の内周面にソケット本体の先端側に弾
発付勢させたスライドバルブを摺動自在に設け、このス
ライドバルブの先端側の接合端面に環状の装着溝を形成
し、この装着溝には、断面円形のパッキン本体の一側面
に２条のリング状リップを一体に突設した異形パッキン
を装着し、この異形パッキンを装着溝に装着したとき、
前記接合端面側に前記２条のリップが突出するように装
着して、ソケットとプラグの接続時にスライドバルブの
接合端面とプラグの先端面である接合端面が異形パッキ
ンの２条のリップを介して当接され、接続時の空気の混
入と、分離時の流体漏れを防ぐようにした管継手であ
る。
めに、請求項１に係る発明は、ソケット本体の外周面に
摺動自在に設けたスリーブをソケット本体の先端側に弾
発付勢させ、このスリーブでソケット本体に設けた施錠
部材をプラグの外周溝に係合・離脱させる管継手であっ
て、ソケット本体の内周面にソケット本体の先端側に弾
発付勢させたスライドバルブを摺動自在に設け、このス
ライドバルブの先端側の接合端面に環状の装着溝を形成
し、この装着溝には、断面円形のパッキン本体の一側面
に２条のリング状リップを一体に突設した異形パッキン
を装着し、この異形パッキンを装着溝に装着したとき、
前記接合端面側に前記２条のリップが突出するように装
着して、ソケットとプラグの接続時にスライドバルブの
接合端面とプラグの先端面である接合端面が異形パッキ
ンの２条のリップを介して当接され、接続時の空気の混
入と、分離時の流体漏れを防ぐようにした管継手であ
る。
【００１２】請求項２に係る発明は、スライドバルブの
先端内周面をソケット本体の内部に固着したバルブシャ
フトの弁座に係合させ、プラグの内部には、プラグの弁
座に着座するバルブをプラグの先端側に弾発付勢させる
ようにした。請求項３に係る発明は、スリーブの先端側
にスリーブとプラグとの誤接続防止 用の誤接続防止部位
を所定の角度をなす位置に設け、スリーブの後端側にス
リーブの先端側の誤接続防止部位と同じ角度位置に、プ
ラグとの位置合わせが容易にできるように位置確認表示
部を設けるようにした。請求項４に係る発明は、ソケッ
ト側のソケット本体の後側を長さ方向に延設し、かつ手
で握りやすいように後端側をテーパ形状にして把持部を
形成した。
先端内周面をソケット本体の内部に固着したバルブシャ
フトの弁座に係合させ、プラグの内部には、プラグの弁
座に着座するバルブをプラグの先端側に弾発付勢させる
ようにした。請求項３に係る発明は、スリーブの先端側
にスリーブとプラグとの誤接続防止 用の誤接続防止部位
を所定の角度をなす位置に設け、スリーブの後端側にス
リーブの先端側の誤接続防止部位と同じ角度位置に、プ
ラグとの位置合わせが容易にできるように位置確認表示
部を設けるようにした。請求項４に係る発明は、ソケッ
ト側のソケット本体の後側を長さ方向に延設し、かつ手
で握りやすいように後端側をテーパ形状にして把持部を
形成した。
【００１３】請求項５に係る発明は、ソケット本体の外
周面に摺動自在に設けたスリーブをソケット本体の先端
側に弾発付勢させ、このスリーブでソケット本体に設け
た施錠部材をプラグの外周溝に係合・離脱させる管継手
であって、ソケットと対をなすプラグを容体状のプラグ
ホルダ内に固着し、このプラグホルダを容器の上面部に
螺着すると共に、プラグホルダの開口部をキャップで被
蓋し、前記キャップは、一部をプラグホルダの開口部に
固着し、キャップの下面に垂下形成したリングシール片
をプラグホルダ開口部の内周面に着脱自在に嵌着した管
継手である。
周面に摺動自在に設けたスリーブをソケット本体の先端
側に弾発付勢させ、このスリーブでソケット本体に設け
た施錠部材をプラグの外周溝に係合・離脱させる管継手
であって、ソケットと対をなすプラグを容体状のプラグ
ホルダ内に固着し、このプラグホルダを容器の上面部に
螺着すると共に、プラグホルダの開口部をキャップで被
蓋し、前記キャップは、一部をプラグホルダの開口部に
固着し、キャップの下面に垂下形成したリングシール片
をプラグホルダ開口部の内周面に着脱自在に嵌着した管
継手である。
【００１４】請求項６に係る発明は、上記リングシール
片の外周面に、開口部との密封性を保持するためのシー
ル突条部を形成した管継手である。
片の外周面に、開口部との密封性を保持するためのシー
ル突条部を形成した管継手である。
【００１５】請求項７に係る発明は、上記のソケット，
プラグ，プラグホルダ並びにキャップの構成部品のう
ち、少なくとも接液部品をふっ素樹脂等の耐薬品性材料
で形成した管継手である。
プラグ，プラグホルダ並びにキャップの構成部品のう
ち、少なくとも接液部品をふっ素樹脂等の耐薬品性材料
で形成した管継手である。
【００１６】
【発明の実施の形態】本発明における管継手の一実施形
態を図面に従って説明すると共に、この管継手を容器に
取付けた一例を図面に基づいて詳述する。
態を図面に従って説明すると共に、この管継手を容器に
取付けた一例を図面に基づいて詳述する。
【００１７】図において、１０はソケットで、１１はこ
のソケット１０と対をなして接続・分離するプラグであ
り、このプラグ１１は、容体形状をしたプラグホルダ１
２の内部に螺着している。ソケット１０、プラグ１１及
びプラグホルダ１２或は、その他の構成部品（接液部
品）は、耐薬品性材料で形成されており、例えば、ふっ
素樹脂、ポリエチレン等の樹脂で形成する。
のソケット１０と対をなして接続・分離するプラグであ
り、このプラグ１１は、容体形状をしたプラグホルダ１
２の内部に螺着している。ソケット１０、プラグ１１及
びプラグホルダ１２或は、その他の構成部品（接液部
品）は、耐薬品性材料で形成されており、例えば、ふっ
素樹脂、ポリエチレン等の樹脂で形成する。
【００１８】このソケット１０は、ソケット本体１３の
後側を長さ方向に延設して把持部１４を形成している。
本例において、この把持部１４は、ソケット本体１３の
後端側に、手で握りやすいように後部がなだらかなテー
パ形状に大きく形成したアダプタ１５を螺着することに
より設け、アダプタ１５の端部には、図３に示すよう
に、半導体製造現場等へ供給するパイプ１６を接合する
ためのめねじ部１７を設けている。
後側を長さ方向に延設して把持部１４を形成している。
本例において、この把持部１４は、ソケット本体１３の
後端側に、手で握りやすいように後部がなだらかなテー
パ形状に大きく形成したアダプタ１５を螺着することに
より設け、アダプタ１５の端部には、図３に示すよう
に、半導体製造現場等へ供給するパイプ１６を接合する
ためのめねじ部１７を設けている。
【００１９】このソケット本体１３の内周面には、スラ
イドバルブ１８を耐薬品性の樹脂で被覆したスプリング
１９を介してソケット本体１３の先端側に弾発付勢させ
ると共に、スライドバルブ１８の先端側の接合端面２０
に形成した環状の装着溝２１に環状の異形パッキン２２
を装着している。この異形パッキン２２は、ゴムや樹脂
を材質とし、図１０に示すように、断面円形のパッキン
本体２３の一側面に、少なくとも２条のリング状リップ
２４ａ，２４ｂを一体に突設し、装着溝２１に異形パッ
キン２２を装着したとき、接合端面側にリップ２４ａ，
２４ｂが突出するように装着する。
イドバルブ１８を耐薬品性の樹脂で被覆したスプリング
１９を介してソケット本体１３の先端側に弾発付勢させ
ると共に、スライドバルブ１８の先端側の接合端面２０
に形成した環状の装着溝２１に環状の異形パッキン２２
を装着している。この異形パッキン２２は、ゴムや樹脂
を材質とし、図１０に示すように、断面円形のパッキン
本体２３の一側面に、少なくとも２条のリング状リップ
２４ａ，２４ｂを一体に突設し、装着溝２１に異形パッ
キン２２を装着したとき、接合端面側にリップ２４ａ，
２４ｂが突出するように装着する。
【００２０】このスライドバルブ１８は、アダプタ１５
の先端側外周面に摺動抵抗を軽減させたＹ形パッキン２
５を介して摺動自在に設けられ、スライドバルブ１８の
先端側内周面をアダプタ１５に固着したバルブシャフト
２６の弁座２６ａに係合させており、このバルブシャフ
ト２６の後端部をアダプタ１５の保持部２７に螺着さ
せ、この保持部２７には、複数個の連通孔２８を形成し
ている。
の先端側外周面に摺動抵抗を軽減させたＹ形パッキン２
５を介して摺動自在に設けられ、スライドバルブ１８の
先端側内周面をアダプタ１５に固着したバルブシャフト
２６の弁座２６ａに係合させており、このバルブシャフ
ト２６の後端部をアダプタ１５の保持部２７に螺着さ
せ、この保持部２７には、複数個の連通孔２８を形成し
ている。
【００２１】また、ソケット本体１３の外周面に、耐薬
品性の樹脂で被覆したスプリング２９を介してソケット
本体１３の先端側に弾発付勢させたスリーブ３０を摺動
自在に設け、かつ、ソケット本体１３に対してスリーブ
３０を回転自在に設けている。スプリング２９は、一端
をスリーブ３０の大径部３０ａの内周段部に、他端をソ
ケット本体１３の外周面に形成した突状段部１３ａに係
合しており、スリーブ３０の後端内周には、突状段部１
３ａに係合し、スリーブ３０の抜け出し防止するための
ストップリング３１を装着している。
品性の樹脂で被覆したスプリング２９を介してソケット
本体１３の先端側に弾発付勢させたスリーブ３０を摺動
自在に設け、かつ、ソケット本体１３に対してスリーブ
３０を回転自在に設けている。スプリング２９は、一端
をスリーブ３０の大径部３０ａの内周段部に、他端をソ
ケット本体１３の外周面に形成した突状段部１３ａに係
合しており、スリーブ３０の後端内周には、突状段部１
３ａに係合し、スリーブ３０の抜け出し防止するための
ストップリング３１を装着している。
【００２２】また、スリーブ３０の先端内周面には、図
７に示すように、プラグ１１との誤接続を防止するため
のキー溝３２ａ，３２ｂを形成しており、このキー溝３
２ａ，３２ｂは、所定の角度（本例では９０度）をなす
位置に設けられ、スリーブ３０の後端部には、プラグ１
１に形成した突部３３ａ，３３ｂとの位置合わせが容易
にできるように、キー溝３２ａ，３２ｂと同じ角度位置
に表示部３４ａ，３４ｂが形成されている。そして、ソ
ケット１０側に形成したキー溝３２ａ，３２ｂの角度θ
とプラグ１１側の突起３３ａ，３３ｂの角度が一致しな
い場合には、プラグ１１とソケット１０とは接続できな
いようにしており、その角度θは、使用流体によって決
められる。また、ソケット１０の適宜位置には、必要に
応じて区別可能な色彩等を施こした識別部を設けるよう
にしても良い。
７に示すように、プラグ１１との誤接続を防止するため
のキー溝３２ａ，３２ｂを形成しており、このキー溝３
２ａ，３２ｂは、所定の角度（本例では９０度）をなす
位置に設けられ、スリーブ３０の後端部には、プラグ１
１に形成した突部３３ａ，３３ｂとの位置合わせが容易
にできるように、キー溝３２ａ，３２ｂと同じ角度位置
に表示部３４ａ，３４ｂが形成されている。そして、ソ
ケット１０側に形成したキー溝３２ａ，３２ｂの角度θ
とプラグ１１側の突起３３ａ，３３ｂの角度が一致しな
い場合には、プラグ１１とソケット１０とは接続できな
いようにしており、その角度θは、使用流体によって決
められる。また、ソケット１０の適宜位置には、必要に
応じて区別可能な色彩等を施こした識別部を設けるよう
にしても良い。
【００２３】更に、スリーブ３０の小径部３０ｂの内周
側には、ボール押え部３５とボール逃げ部３６とが隣接
して形成されており、このボール押え部３５によってソ
ケット本体１３に形成した複数のテーパ孔１３ｂに施錠
ボール３７をそれぞれ出没自在に設け、このボール３７
は、非接続時には、ボール逃げ部３６に位置し、接続時
は、ボール押え部３５によって、プラグ１１の外周面に
形成した外周溝３８に係止される。この施錠ボール３７
は、これに限ることなく施錠爪等の施錠部材であっても
良い。
側には、ボール押え部３５とボール逃げ部３６とが隣接
して形成されており、このボール押え部３５によってソ
ケット本体１３に形成した複数のテーパ孔１３ｂに施錠
ボール３７をそれぞれ出没自在に設け、このボール３７
は、非接続時には、ボール逃げ部３６に位置し、接続時
は、ボール押え部３５によって、プラグ１１の外周面に
形成した外周溝３８に係止される。この施錠ボール３７
は、これに限ることなく施錠爪等の施錠部材であっても
良い。
【００２４】次に、図５において、プラグ１１側を説明
すると、プラグ１１の後端部に設けたおねじ部１１ａを
Ｏリング３９を介してポリエチレン、ふっ素樹脂などの
耐薬品性の樹脂で成形したプラグホルダ１２のめねじ部
１２ａに螺着している。このプラグ１１の内部には、耐
薬品性の樹脂で形成して蛇腹状のスプリング４１で弾発
付勢させ、弁座４２ｃに着座するバルブ４２を収納し、
このバルブ４２には、連通孔４２ａを形成し、後端部に
設けたバルブストッパ４２ｂで押圧されたバルブ４２を
係合するようにしている。
すると、プラグ１１の後端部に設けたおねじ部１１ａを
Ｏリング３９を介してポリエチレン、ふっ素樹脂などの
耐薬品性の樹脂で成形したプラグホルダ１２のめねじ部
１２ａに螺着している。このプラグ１１の内部には、耐
薬品性の樹脂で形成して蛇腹状のスプリング４１で弾発
付勢させ、弁座４２ｃに着座するバルブ４２を収納し、
このバルブ４２には、連通孔４２ａを形成し、後端部に
設けたバルブストッパ４２ｂで押圧されたバルブ４２を
係合するようにしている。
【００２５】また、プラグホルダ１２の開口部１２ｃの
上端内周に治具取付溝４３を本例では均等間隔に４個設
け、更に、円板形状のキャップ４４に連結片４４ｄを介
して形成した取付部４４ａを固着する装着溝１２ｂをプ
ラグホルダ１２の上端に設けている。このキャップ４４
の外周には、取付溝４３に入り込む突設片４４ｂと摘み
部４４ｃが形成されており、キャップ４４の下面には、
リングシール片４５を垂下形成し、このリングシール片
４５をプラグホルダ１２の開口部１２ｃの内周面に着脱
自在に嵌着しており、更に、リングシール片４５の外周
面にはシール突条部４０を形成し、開口部１２ｃとの密
封性を保持するようにしている。
上端内周に治具取付溝４３を本例では均等間隔に４個設
け、更に、円板形状のキャップ４４に連結片４４ｄを介
して形成した取付部４４ａを固着する装着溝１２ｂをプ
ラグホルダ１２の上端に設けている。このキャップ４４
の外周には、取付溝４３に入り込む突設片４４ｂと摘み
部４４ｃが形成されており、キャップ４４の下面には、
リングシール片４５を垂下形成し、このリングシール片
４５をプラグホルダ１２の開口部１２ｃの内周面に着脱
自在に嵌着しており、更に、リングシール片４５の外周
面にはシール突条部４０を形成し、開口部１２ｃとの密
封性を保持するようにしている。
【００２６】更に、プラグホルダ１２の下部には、サイ
フォン管４６を取付けるための取付穴１２ｄを形成し、
上部外周には、薬液等を入れた容器４７の上壁部に形成
しためねじ部４７ａにパッキン４７ｂを介して螺着する
ためのおねじ部１２ｅを形成している。
フォン管４６を取付けるための取付穴１２ｄを形成し、
上部外周には、薬液等を入れた容器４７の上壁部に形成
しためねじ部４７ａにパッキン４７ｂを介して螺着する
ためのおねじ部１２ｅを形成している。
【００２７】次に、上記の実施形態における作用につい
て説明する。容器４７の上壁部のめねじ部４７ａにプラ
グホルダ１２を取付けるには、図示しない治具を治具取
付溝４３に装着し、螺合することによって取付ける。こ
の取付溝４３には、漏れた流体が溜まることなく、しか
も、キャップ４４の突設片４４ｂがこの取付溝４３に入
り込み、流体が外部に流出するおそれがない。この容器
４７には、図３に示すように、２つのプラグホルダ１
２，１２を設け、容器４７内の薬液を供給するようにし
ている。
て説明する。容器４７の上壁部のめねじ部４７ａにプラ
グホルダ１２を取付けるには、図示しない治具を治具取
付溝４３に装着し、螺合することによって取付ける。こ
の取付溝４３には、漏れた流体が溜まることなく、しか
も、キャップ４４の突設片４４ｂがこの取付溝４３に入
り込み、流体が外部に流出するおそれがない。この容器
４７には、図３に示すように、２つのプラグホルダ１
２，１２を設け、容器４７内の薬液を供給するようにし
ている。
【００２８】このキャップ４４の摘み部４４ｃを摘ん
で、キャップ４４をプラグホルダ１２の開口部１２ｃか
ら取り外す。このとき、キャップ４４は、連結片４４ｄ
を介してプラグホルダ１２の装着溝１２ｂに取付部４４
ａが固着されているので、キャップ４４より容易に外れ
ることはない。この状態で、このプラグホルダ１２内に
設けたプラグ１１とソケット１０を接続するには、先
ず、プラグ１１に対応するソケット１０を選択し、その
ソケット１０の把持部１４を把持し、スリーブ３０を回
転させ、スリーブ３０の後端面に設けた表示部３４ａ，
３４ｂとプラグ１１の突部３３ａ，３３ｂを一致させ、
ソケット１０をプラグ１１に挿入すると、キー溝３２
ａ，３２ｂと突部３３ａ，３３ｂとが一致し、両者が一
致しない場合は、スリーブ３０の先端面が突部３３ａ，
３３ｂに衝突して挿入不可となり、プラグ１１とソケッ
ト１０との誤接続を防ぐことができる。この場合、把持
部１４が延設し、かつ、図示のごとく後部がゆるやかな
テーパ形状に大きく形成されているので握りやすいと共
に、プラグとの接続操作がしやすい。
で、キャップ４４をプラグホルダ１２の開口部１２ｃか
ら取り外す。このとき、キャップ４４は、連結片４４ｄ
を介してプラグホルダ１２の装着溝１２ｂに取付部４４
ａが固着されているので、キャップ４４より容易に外れ
ることはない。この状態で、このプラグホルダ１２内に
設けたプラグ１１とソケット１０を接続するには、先
ず、プラグ１１に対応するソケット１０を選択し、その
ソケット１０の把持部１４を把持し、スリーブ３０を回
転させ、スリーブ３０の後端面に設けた表示部３４ａ，
３４ｂとプラグ１１の突部３３ａ，３３ｂを一致させ、
ソケット１０をプラグ１１に挿入すると、キー溝３２
ａ，３２ｂと突部３３ａ，３３ｂとが一致し、両者が一
致しない場合は、スリーブ３０の先端面が突部３３ａ，
３３ｂに衝突して挿入不可となり、プラグ１１とソケッ
ト１０との誤接続を防ぐことができる。この場合、把持
部１４が延設し、かつ、図示のごとく後部がゆるやかな
テーパ形状に大きく形成されているので握りやすいと共
に、プラグとの接続操作がしやすい。
【００２９】ソケット１０とプラグ１１が対をなすもの
として一致したとき、更に、ソケット１０を挿入し続け
ると、プラグ１１の先端面とソケット１０のスライドバ
ルブ１８の接合端部２０とが、異形パッキン２２を介し
て当接し、スライドバルブ１８はスプリング１９に抗し
てソケット１０内に押し込まれてバルブシャフト２６の
弁座２６ａから離間すると共に、バルブシャフト２６の
先端面でバルブ４２を蛇腹状スプリング４１に抗してプ
ラグ１１内に押し込み、ソケット１０とプラグ１１との
流路を形成する。一方、ソケット本体１３に設けた施錠
ボール３７がソケットの求心方向に移動可能となり、プ
ラグ１１の外周溝３８に係合され、図１に示すようにソ
ケット１０とプラグ１１とが接続される。
として一致したとき、更に、ソケット１０を挿入し続け
ると、プラグ１１の先端面とソケット１０のスライドバ
ルブ１８の接合端部２０とが、異形パッキン２２を介し
て当接し、スライドバルブ１８はスプリング１９に抗し
てソケット１０内に押し込まれてバルブシャフト２６の
弁座２６ａから離間すると共に、バルブシャフト２６の
先端面でバルブ４２を蛇腹状スプリング４１に抗してプ
ラグ１１内に押し込み、ソケット１０とプラグ１１との
流路を形成する。一方、ソケット本体１３に設けた施錠
ボール３７がソケットの求心方向に移動可能となり、プ
ラグ１１の外周溝３８に係合され、図１に示すようにソ
ケット１０とプラグ１１とが接続される。
【００３０】この場合、図８に示すように、異形パッキ
ン２２は、通常時の接合状態において、２条のリップ２
４ａ，２４ｂでシールし、図９に示すように、ソケット
１０とプラグ１１に曲げの力が加わった場合でも、パッ
キン２２の２条のリップ２４ａ，２４ｂの何れか一方に
よってシールするので、漏れに対する信頼性を上げるこ
とができる。
ン２２は、通常時の接合状態において、２条のリップ２
４ａ，２４ｂでシールし、図９に示すように、ソケット
１０とプラグ１１に曲げの力が加わった場合でも、パッ
キン２２の２条のリップ２４ａ，２４ｂの何れか一方に
よってシールするので、漏れに対する信頼性を上げるこ
とができる。
【００３１】図３において、容器４７内の薬液を真空ポ
ンプを介して半導体製造現場等へ、パイプ１６等により
供給する。このとき、容器４７には、供給用のプラグと
容器４７内の負圧を防ぐためのプラグを２個設けてお
り、このプラグにも、ソケット１０を接続するようにし
ている。
ンプを介して半導体製造現場等へ、パイプ１６等により
供給する。このとき、容器４７には、供給用のプラグと
容器４７内の負圧を防ぐためのプラグを２個設けてお
り、このプラグにも、ソケット１０を接続するようにし
ている。
【００３２】次いで、プラグ１１からソケット１０を分
離するには、図１の状態において、スリーブ３０を上方
へ引くと、施錠ボール３７がボール逃げ部３６と一致
し、施錠ボール３７が外径方向に移動可能となった状態
でソケットを上方へ引くと、プラグ１１の外周溝３８か
ら外れると同時に、スライドバルブ１８がスプリング１
９の弾発力により、ソケット１０の先端側に摺動してバ
ルブシャフト２６の弁座２６ａに着座して流路を閉止
し、かつ、プラグ１１のバルブ４２は、スプリング４１
の弾発力により旧位に復帰して流路を閉止する。更に、
ソケット１０を図１において上方へ引くと、ソケット１
０側のスライドバルブ１８の接合端面とプラグ１１の端
面とが離間すると共に、このとき、異形パッキン２２の
シール性が解除される。従って、ソケット１０とプラグ
１１の分離時に、液だれが発生するおそれがなく、特
に、薬液容器に取付ける管継手として、その使用価値が
高い。
離するには、図１の状態において、スリーブ３０を上方
へ引くと、施錠ボール３７がボール逃げ部３６と一致
し、施錠ボール３７が外径方向に移動可能となった状態
でソケットを上方へ引くと、プラグ１１の外周溝３８か
ら外れると同時に、スライドバルブ１８がスプリング１
９の弾発力により、ソケット１０の先端側に摺動してバ
ルブシャフト２６の弁座２６ａに着座して流路を閉止
し、かつ、プラグ１１のバルブ４２は、スプリング４１
の弾発力により旧位に復帰して流路を閉止する。更に、
ソケット１０を図１において上方へ引くと、ソケット１
０側のスライドバルブ１８の接合端面とプラグ１１の端
面とが離間すると共に、このとき、異形パッキン２２の
シール性が解除される。従って、ソケット１０とプラグ
１１の分離時に、液だれが発生するおそれがなく、特
に、薬液容器に取付ける管継手として、その使用価値が
高い。
【００３３】
【発明の効果】以上のことから明らかなように、請求項
１に係る発明によると、ソケットとプラグの接続時にお
ける空気の混入量を極めて少なくでき、しかも分離時に
おける流体の液だれを解消することができ、例えば半導
体製造プロセスでの薬液だれが防止でき、充填作業中に
おける危険度が大きい薬液漏れを確実に防止できる。更
には、ソケットとプラグに曲げの力が加わった場合、異
形パッキンの２条のリング状リップの何れか一方のリッ
プでシールをすることができるため、漏れに対する信頼
性を著るしく向上させることができる。
１に係る発明によると、ソケットとプラグの接続時にお
ける空気の混入量を極めて少なくでき、しかも分離時に
おける流体の液だれを解消することができ、例えば半導
体製造プロセスでの薬液だれが防止でき、充填作業中に
おける危険度が大きい薬液漏れを確実に防止できる。更
には、ソケットとプラグに曲げの力が加わった場合、異
形パッキンの２条のリング状リップの何れか一方のリッ
プでシールをすることができるため、漏れに対する信頼
性を著るしく向上させることができる。
【００３４】また、請求項２に係る発明によると、ソケ
ットとプラグの接続時に、接続端面間に空気の混入がな
く、分離時に、流体が漏れるおそれがない管継手を提供
することができる。
ットとプラグの接続時に、接続端面間に空気の混入がな
く、分離時に、流体が漏れるおそれがない管継手を提供
することができる。
【００３５】請求項３に係る発明によると、ソケットの
スリーブを下にしてプラグに接続する場合、誤接続防止
部位の位置を表示部によって容易に確認することができ
るため、プラグとの接続が容易となる。
スリーブを下にしてプラグに接続する場合、誤接続防止
部位の位置を表示部によって容易に確認することができ
るため、プラグとの接続が容易となる。
【００３６】請求項４に係る発明によると、ソケット本
体を延設して長くして、把持部を握りやすい形状にする
ことによって、ソケットの接続時にスリーブに不用意に
触れて誤接続しないようにしているため、誤接続を防止
できるばかりでなく、管継手の接続・分離時の作業性を
向上させることができる。
体を延設して長くして、把持部を握りやすい形状にする
ことによって、ソケットの接続時にスリーブに不用意に
触れて誤接続しないようにしているため、誤接続を防止
できるばかりでなく、管継手の接続・分離時の作業性を
向上させることができる。
【００３７】請求項５及び請求項６に係る発明による
と、バルブで閉塞したプラグをプラグホルダ内に固着
し、更に、プラグホルダをキャップで密封状態に確実に
被蓋したので、仮にプラグホルダ内に液だれがあっても
流体が外部に流出するおそれはなく、安全性が高い。
と、バルブで閉塞したプラグをプラグホルダ内に固着
し、更に、プラグホルダをキャップで密封状態に確実に
被蓋したので、仮にプラグホルダ内に液だれがあっても
流体が外部に流出するおそれはなく、安全性が高い。
【００３８】請求項７に係る発明によると、例えば、半
導体製造分野等に用いられる薬液などを入れた容器に使
用する管継手として好適である。
導体製造分野等に用いられる薬液などを入れた容器に使
用する管継手として好適である。
【図１】本発明における管継手を接続した状態を示す断
面図である。
面図である。
【図２】図１における管継手を分離した状態を示す断面
図である。
図である。
【図３】本発明における管継手を用いた薬液供給作業の
概念図である。
概念図である。
【図４】プラグホルダにキャップをした平面図である。
【図５】図４のＡ−Ａ線断面図である。
【図６】図５の一部切欠き拡大図である。
【図７】（ａ）はソケットに設けたスリーブの平面図、
（ｂ）は底面図である。
（ｂ）は底面図である。
【図８】図１における通常時を示した一部切欠き拡大図
である。
である。
【図９】図８において、曲げ時を示した一部切欠き拡大
図である。
図である。
【図１０】ソケット側に装着した異形パッキンの断面図
である。
である。
【図１１】従来の管継手が接続した例を示す部分断面図
である。
である。
【図１２】図１１の曲げ時の例を示す部分断面図であ
る。
る。
１０ ソケット
１１ プラグ
１３ ソケット本体
１４ 把持部
２２ 異形パッキン
３０ スリーブ
３４ａ，３４ｂ 表示部
４７ 容器
Claims (7)
- 【請求項１】 ソケット本体の外周面に摺動自在に設け
たスリーブをソケット本体の先端側に弾発付勢させ、こ
のスリーブでソケット本体に設けた施錠部材をプラグの
外周溝に係合・離脱させる管継手であって、ソケット本
体の内周面にソケット本体の先端側に弾発付勢させたス
ライドバルブを摺動自在に設け、このスライドバルブの
先端側の接合端面に環状の装着溝を形成し、この装着溝
には、断面円形のパッキン本体の一側面に２条のリング
状リップを一体に突設した異形パッキンを装着し、この
異形パッキンを装着溝に装着したとき、前記接合端面側
に前記２条のリップが突出するように装着して、ソケッ
トとプラグの接続時にスライドバルブの接合端面とプラ
グの先端面である接合端面が異形パッキンの２条のリッ
プを介して当接され、接続時の空気の混入と、分離時の
流体漏れを防ぐようにしたことを特徴とする管継手。 - 【請求項２】 上記スライドバルブの先端内周面をソケ
ット本体の内部に固着したバルブシャフトの弁座に係合
させ、プラグの内部には、プラグの弁座に着座するバル
ブをプラグの先端側に弾発付勢させた請求項１に記載の
管継手。 - 【請求項３】 上記スリーブの先端側にスリーブとプラ
グとの誤接続防止用の誤接続防止部位を所定の角度をな
す位置に設け、スリーブの後端側にスリーブの先端側の
誤接続防止部位と同じ角度位置に、プラグとの位置合わ
せが容易にできるように位置確認表示部を設けた請求項
１又は２に記載の管継手。 - 【請求項４】 上記ソケット側のソケット本体の後側を
長さ方向に延設し、かつ手で握りやすいように後端側を
テーパ形状にして把持部を形成した請求項１乃至３の何
れか１項に記載の管継手。 - 【請求項５】 ソケット本体の外周面に摺動自在に設け
たスリーブをソケット本体の先端側に弾発付勢させ、こ
のスリーブでソケット本体に設けた施錠部材をプラグの
外周溝に係合・離脱させる管継手であって、ソケットと
対をなすプラグを容体状のプラグホルダ内に固着し、こ
のプラグホルダを容器の上面部に螺着すると共に、プラ
グホルダの開口部をキャップで被蓋し、前記キャップ
は、一部 をプラグホルダの開口部に固着し、キャップの
下面に垂下形成したリングシール片をプラグホルダ開口
部の内周面に着脱自在に嵌着したたことを特徴とする管
継手。 - 【請求項６】 上記リングシール片の外周面に、開口部
との密封性を保持するためのシール突条部を形成した請
求５項に記載の管継手。 - 【請求項７】 上記のソケット，プラグ，プラグホルダ
並びにキャップの構成部品のうち、少なくとも接液部品
をふっ素樹脂等の耐薬品性材料で形成した請求項１乃至
６の何れか１項に記載の管継手。
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|---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000242895A JP3512718B2 (ja) | 2000-08-10 | 2000-08-10 | 管継手 |
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|---|---|
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Family
ID=18733837
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000242895A Expired - Lifetime JP3512718B2 (ja) | 2000-08-10 | 2000-08-10 | 管継手 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6523863B2 (ja) |
| JP (1) | JP3512718B2 (ja) |
| TW (1) | TW508418B (ja) |
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| JP4340477B2 (ja) * | 2003-06-05 | 2009-10-07 | 株式会社ブリヂストン | 安全タイヤ用バルブ、カプラー付き充填アダプター、放圧アダプター、及び放圧方法 |
| US7762278B2 (en) * | 2003-07-29 | 2010-07-27 | Societe Bic | Valves for fuel cartridges |
| US7617842B2 (en) * | 2003-07-29 | 2009-11-17 | SOCIéTé BIC | Valves for fuel cartridges |
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| US8215492B2 (en) * | 2003-09-18 | 2012-07-10 | Pur Water Purification Products, Inc. | Water treatment devices and cartridges therefor |
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| FR2889728B1 (fr) * | 2005-08-10 | 2007-10-05 | Staubli Faverges Sca | Ensemble de raccord pour circuit fluidique |
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| US7762279B2 (en) | 2005-11-05 | 2010-07-27 | Snap-Tite Technologies, Inc. | Threaded coupling with flow shutoff |
| CN101818840B (zh) * | 2006-01-19 | 2013-05-29 | 东洋制罐株式会社 | 联结器以及燃料电池用的燃料盒 |
| JP4499758B2 (ja) * | 2007-04-03 | 2010-07-07 | 株式会社栄豊シッピング | 充填用バルブ |
| JP4253026B2 (ja) * | 2007-08-23 | 2009-04-08 | 日本ピラー工業株式会社 | 樹脂製管継手およびその製造方法 |
| FR2922984B1 (fr) * | 2007-10-31 | 2013-09-27 | Saint Gobain Performance Plast | Vanne ayant un joint rigide |
| US8348236B2 (en) * | 2007-10-31 | 2013-01-08 | Saint-Gobain Performance Plastics Corporation | Butterfly valve with a rigid seal |
| FR2922988B1 (fr) | 2007-10-31 | 2012-10-12 | Saint Gobain Performance Plast | Assemblages de tuyaux |
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