JP3512013B2 - マグネトロン駆動用電源装置 - Google Patents
マグネトロン駆動用電源装置Info
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Description
ようにマグネトロンを用いて誘電加熱を行う高周波加熱
装置の技術分野で、主としてマグネトロンを駆動する電
源の冷却を向上したマグネトロン駆動用電源装置に関す
るものである。 【0002】 【従来の技術】従来、マグネトロン駆動用電源装置とし
て用いるスイッチング電源は、図4に示すように、その
半導体スイッチング素子1のスイッチング損失での温度
上昇による素子の破壊を防ぐため、アルミで構成した放
熱フィン2にビス3で固定し、スイッチング損失によっ
て発生した熱を放熱フィン2に熱伝導させ、放熱フィン
で放熱している。さらに、半導体スイッチング素子1が
発生するスイッチング損失を放熱フィン2に効率よく熱
伝導させるため、半導体スイッチング素子1のコレクタ
ー部4を背面に露出させ、伝導性の良い熱伝導充填材を
塗布し、放熱フィン2と接触させることで熱伝導を良く
していた。 【0003】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、高周波
加熱装置の高出力化に伴い、マグネトロン駆動用電源の
半導体スイッチング素子は、高耐圧のものが必要になっ
てきている。高耐圧の半導体スイッチング素子は歩留ま
りが悪く高価であるので、入手が困難であるという課題
を有していた。従って、マグネトロン駆動用電源は図5
に示すように、2個直列に接続した汎用性のある中耐圧
の半導体スイッチング素子で構成される回路が使用され
るようになってきた。すなわち、商用電源5が整流部6
により直流化し、半導体スイッチング素子7,8で構成
されるスイッチング部9で高周波化される。その高周波
を昇圧トランス10で昇圧し、高圧倍電圧整流回路部1
1で倍電圧整流して、マグネトロン12に供給される。 【0004】ところが、従来の放熱フィンに半導体スイ
ッチング素子を取付ける構成では、1個の放熱フィンに
2個の半導体スイッチング素子7,8を固定することに
なるが、回路的には一方の半導体スイッチング素子7の
コレクター端子部13と、他方の半導体スイッチング素
子8のエミッター端子部14とを接続し、同電位にしな
ければならない。一方、半導体スイッチング素子7,8
のスイッチング損失を効率よく放熱フィンに熱伝導させ
るには、半導体スイッチング素子7のコレクター端子部
13と同電位のコレクター部を背面に露出させ、伝導性
の良い熱伝導充填材を塗布し、放熱フィンと接触させね
ばならない。しかし、熱伝導を良くした背面のコレクタ
ー部露出の半導体スイッチング素子を2個そのまま1個
の放熱フィンに取り付けると、コレクター部同志が同電
位になり、図5の回路を構成することができない。 【0005】従って、図6に示すように,放熱フィンを
放熱フィン15、16に2分割し、それぞれに1個づつ
背面にコレクター部17,18を露出させた半導体スイ
ッチング素子19,20をビス21,22で取付け、し
かも2個の放熱フィン15,16間を電気的に絶縁し、
同電位にならないようにする必要があった。あるいは、
図7に示すように、1個の放熱フィン23に2個の半導
体スイッチング素子24,25を取付けるには、スイッ
チング損失の大きい半導体スイッチング素子24の背面
にコレクター部26を露出させ、それをビス27で放熱
フィン23に取付け、他方の半導体スイッチング素子2
5は、背面のコレクター部を外装構成する樹脂で電気的
に絶縁し、それをビス28で放熱フィン23に取付けて
いた。 【0006】このように、前者では2個の放熱フィンを
必要とし、しかもその2個の放熱フィンの間を電気的に
絶縁する必要があるので、マグネトロン駆動用電源装置
を構成する上で放熱フィンの設置の面において不利であ
るという課題を有していた。 【0007】また、後者では1個の放熱フィンに取り付
け可能であるが、半導体スイッチング素子の1個が、背
面のコレクター部を外装樹脂で電気的に絶縁しているた
め、熱伝導的にもスイッチング損失による熱を放熱フィ
ンに伝え難く、十分に冷やすために放熱フィンを大きく
する必要が生じたり、放熱フィンを冷却する冷却ファン
を大きくする必要が生じるので、マグネトロン駆動用電
源装置を構成する上で放熱フィンや冷却フィンの設置の
面で不利であるという課題を有していた。 【0008】また別の方法として、熱伝導を良くした背
面のコレクター部を露出の半導体スイッチング素子を2
個使用し、それらの1個を放熱フィン7に取付ける時、
背面のコレクター部を露出の半導体スイッチング素子と
放熱フィン7の間に絶縁性と熱伝導性を持ったシリコン
シートやマイカ板などを介在させて取付けていた。しか
し、シリコンシートやマイカ板の熱伝導率は1.0〜
1.5×10^−3cal/cm・sec・Kであり、
しかも厚みが0.3〜1.0mmもあるので、半導体ス
イッチング素子の発生する熱を放熱フィンに伝え難く、
十分に冷やすために放熱フィンを大きくする必要が生じ
たり、放熱フィンを冷却する冷却ファンを大きくする必
要が生じるという課題を有していた。 【0009】本発明は、前記従来の課題を解決するもの
で、マグネトロン駆動用電源装置が2個直列に接続した
半導体スイッチング素子で構成する場合でも、1個の放
熱フィンに取付け可能で、しかも放熱フィンへの熱伝導
が良いコレクター部を背面に露出させた半導体スイッチ
ング素子を2個使い、さらに簡単な構成で1個の半導体
スイッチング素子のコレクター部を放熱フィンから電気
的に絶縁し、半導体スイッチング素子が生ずる熱を良い
熱伝導で放熱フィンに放熱するマグネトロン駆動用電源
装置を提供することを目的とする。 【0010】 【課題を解決するための手段】前記従来の課題を解決す
るために、本発明のマグネトロン駆動用電源装置は、半
導体スイッチング素子と、放熱フィンと、スペーサー
と、熱伝導充填材とからなり、半導体スイッチング素子
のコレクター部を背面に露出させ、1個の半導体スイッ
チング素子の露出したコレクター部は熱伝導率が0.5
〜1.5×10^−3cal/cm・sec・Kのスペ
ーサーを介し、熱伝導充填材を塗布充填して放熱フィン
に取付け、もう1個の半導体スイッチング素子の露出し
たコレクター部はスペーサーを介さず直接に熱伝導充填
材を塗布して同一放熱フィンに取付け、前記2個の半導
体スイッチング素子を直列に接続し、前記1個の半導体
スイッチング素子の露出したコレクター部は、スペーサ
ーによって放熱フィンから電気的に絶縁され、かつスイ
ッチング損失による熱を効果的に放熱フィンに伝導する
べく前記スペーサーに孔を2個以上設け、そのスペーサ
ーの孔に熱伝導充填材を塗布充填したものである。 【0011】これによって、1個の半導体スイッチング
素子の露出したコレクター部は、スペーサーによって放
熱フィンから電気的に絶縁され、熱伝導的には熱伝導充
填材を塗布充填されているので、スイッチング損失によ
る熱を効果的に放熱フィンに伝導するものである。 【0012】 【発明の実施の形態】請求項1に記載の発明は、特に、
半導体スイッチング素子と、放熱フィンと、スペーサー
と、熱伝導充填材とからなり、半導体スイッチング素子
のコレクター部を背面に露出させ、1個の半導体スイッ
チング素子の露出したコレクター部は、熱伝導率が0.
5〜1.5×10^−3cal/cm・sec・Kのス
ペーサーに孔を2個以上設け、1個の半導体スイッチン
グ素子の露出したコレクター部は熱伝導率が0.5〜
1.5×10^−3cal/cm・sec・Kのスペー
サーを介し、熱伝導充填材を塗布充填して放熱フィンに
取付け、もう1個の半導体スイッチング素子の露出した
コレクター部はスペーサーを介さず直接に熱伝導充填材
を塗布して同一放熱フィンに取付け、前記2個の半導体
スイッチング素子を直列に接続し、前記1個の半導体ス
イッチング素子の露出したコレクター部は、スペーサー
によって放熱フィンから電気的に絶縁され、かつスイッ
チング損失による熱を効果的に放熱フィンに伝導するべ
く前記スペーサーに孔を2個以上設け、そのスペーサー
の孔に熱伝導充填材を塗布充填しそのスペーサーの孔に
熱伝導充填材を塗布充填することにより、スペーサーに
設けた孔に熱伝導充填材が入り、スイッチング損失によ
る熱を効果的に放熱フィンに伝導するようになり、マグ
ネトロン駆動用電源装置を構成する上で放熱フィンを1
個にすることができ、スイッチング損失による熱を効果
的に放熱フィンに伝導するので、冷却ファンも小型化が
できる。 【0013】 【実施例】以下本発明の実施例について、図面を参照し
ながら説明する。 【0014】(参考例1) 図1は、本発明の第1の参考例におけるマグネトロン駆
動用電源装置の要部斜視図、図2は、同マグネトロン駆
動用電源装置の要部断面図を示すものである。図1にお
いて、半導体スイッチング素子29の背面には、ビス3
0を挿入する孔31の周囲に、露出したコレクター部3
2の面より1mm以下の高さを持ち、半導体スイッチン
グ素子29の外装を構成する絶縁性の合成樹脂で成形さ
れたスペーサー33が設けられている。また、同じ背面
の外装下部の両側にも、露出したコレクター部32の面
より1mm以下の高さを持ち、外装を構成する絶縁性の
合成樹脂で成形されたスペーサー34,35が設けられ
ている。もう1個の半導体スイッチング素子36の背面
には、コレクター部37が露出しており、ビス38を挿
入する孔39の周囲には、露出したコレクター部37の
面と同一高さで、半導体スイッチング素子29の外装を
構成する絶縁性の合成樹脂で成形された絶縁面40が設
けられている。この半導体スイッチング素子29の背面
に、熱伝導充填材41を塗布充填し、ビス30で放熱フ
ィン42に取付け、もう1個の半導体スイッチング素子
36の背面に露出したコレクター部37にも熱伝導充填
材41を塗布し、同一放熱フィン42にビス38で取付
けて構成する。しかもその2個の半導体スイッチング素
子を直列に接続して構成している。 【0015】以上のように構成されたマグネトロン駆動
用電源装置について、以下にその動作、作用を説明す
る。 【0016】まず、1個の半導体スイッチング素子29
の露出したコレクター部32は、ビス30で放熱フィン
42に取付けられても、スペーサー33,34,35に
よって放熱フィン42から電気的に絶縁され、さらに熱
伝導的には熱伝導充填材41を塗布充填されているの
で、スイッチング損失による熱を効果的に放熱フィン4
2に伝導するようになる。また、もう1個の半導体スイ
ッチング素子36の背面に露出したコレクター部37に
も熱伝導充填材41を塗布し、同一放熱フィン42にビ
ス38で取付けているので、スイッチング損失による熱
を効果的に放熱フィン42に伝導するようになる。 【0017】以上のように、本参考例においては1個の
半導体スイッチング素子29の露出したコレクター部3
2は、スペーサー33,34,35を介し、熱伝導充填
材41を塗布充填して放熱フィン42に取付け、もう1
個の半導体スイッチング素子36の露出したコレクター
部37は、スペーサーを介さず直接に熱伝導充填材41
を塗布して同一放熱フィン42に取付けられ、しかもそ
の2個の半導体スイッチング素子を直列に接続されてい
るので、それぞれの半導体スイッチング素子29,36
のスイッチング損失による熱を効果的に放熱フィン42
に伝導するようになり、マグネトロン駆動用電源装置を
構成する上で放熱フィン42を1個にすることができ、
スイッチング損失による熱を効果的に放熱フィンに伝導
するので、冷却ファンも小型化ができる。 【0018】また、本参考例では、2個の半導体スイッ
チング素子の内、いずか1個の半導体スイッチング素子
にスペーサーを設け、1個の放熱フィンに2個の半導体
スイッチング素子をビスで取付けても、半導体スイッチ
ング素子を2個直列に接続した図5の回路図では、例え
ばスペーサーを設けた1個の半導体スイッチング素子7
のスペーサー間にかかる電圧は、半導体スイッチング素
子8のコレクターとエミッター間の電圧となり、反対に
半導体スイッチング素子8にスペーサーを設け、1個の
放熱フィンに2個の半導体スイッチング素子をビスで取
付けても、半導体スイッチング素子8のスペーサー間に
かかる電圧は、同じ半導体スイッチング素子8のコレク
ターとエミッター間の電圧となる。 【0019】従って、いずれの半導体スイッチング素子
にスペーサーを設けても、スペーサー間即ち背面に露出
したコレクター部と放熱フィンの間の高さは、半導体ス
イッチング素子8のコレクターとエミッター間の電圧に
耐える高さであれば良いと言うことになる。 【0020】さらに、参考例では、半導体スイッチング
素子29の背面に、ビス30を挿入する孔31の周囲に
スペーサー33を、同じ背面の外装下部の両側にも、ス
ペーサー34,35を設けたが、2個の半導体スイッチ
ング素子の内いずれにスペーサーを設けるかは、それぞ
れの半導体スイッチング素子が、スイッチング損失によ
り発生する発熱の大きさにより、発熱が少ない半導体ス
イッチング素子にスペーサーを設けた方が有利であるこ
とは言うまでもない。 【0021】また、本参考例では、2個の半導体スイッ
チング素子の内、いずか1個の半導体スイッチング素子
にスペーサーを3ヶ所設けたが、スペーサーの数と形状
は、ビスで半導体スイッチング素子を取付けた時、背面
の露出したコレクター部と放熱フィンの取付け面が、ス
ペーサーによりほぼ均一な高さに保たれれば、スペーサ
ーの数や形状に制約がないことは言うまでもない。 【0022】(実施例1) 図3は、本発明の第1の実施例におけるマグネトロン駆
動用電源装置の要部斜視図である。図3において、47
はスペーサー、48は取付け孔、49は孔で、参考例1
の構成と異なるところはスペーサーを半導体スイッチン
グ素子とは別に設け、そのスペーサーの熱伝導率を0.
5〜1.5×10^−3cal/cm・sec・Kとし
た点である。なお、参考例1と同一符号のものは同一構
造を有し、説明は省略する。 【0023】まず、2個の半導体スイッチング素子4
0,43には、それぞれコレクター部37,45が露出
されている。また、スペーサー47はその熱伝導率が
0.5〜1.5×10^−3cal/cm・sec・K
の材料で構成され、そのスペーサー47には半導体スイ
ッチング素子43のビス30挿入する穴44に合わせ
て、孔48が設けられている。その孔48周囲には、熱
伝導充填材41を充填される孔49が、複数個設けられ
ている。 【0024】半導体スイッチング素子43をビス30で
放熱フィン42に取付ける時、スペーサー47を介在さ
せ熱伝導充填材41を塗布充填し、ビス30で放熱フィ
ン42に取付けられる。半導体スイッチング素子36は
実施例1と同一取付け構造を有し、説明を省略する。こ
のように1個の半導体スイッチング素子43の露出した
コレクター部45は、ビス30で放熱フィン42に取付
けられても、スペーサー47によって放熱フィン42か
ら電気的に絶縁され、さらに熱伝導的にはスペーサー4
7に熱伝導充填材41を塗布充填されているので、スイ
ッチング損失による熱を効果的に放熱フィン42に伝導
するようになる。また、もう1個の半導体スイッチング
素子36の背面に露出したコレクター部37にも熱伝導
充填材41を塗布し、同一放熱フィン42にビス38で
取付けているので、スイッチング損失による熱を効果的
に放熱フィン42に伝導するようになる。 【0025】以上のように、本実施例においては1個の
半導体スイッチング素子43の露出したコレクター部4
5は、スペーサ−47を介し、熱伝導充填材41を塗布
充填して放熱フィン42に取付け、もう1個の半導体ス
イッチング素子36の露出したコレクター部37はスペ
ーサーを介さず直接に熱伝導充填材41を塗布して同一
放熱フィン42に取付けられ、しかもその2個の半導体
スイッチング素子を直列に接続されているので、それぞ
れの半導体スイッチング素子43,36のスイッチング
損失による熱を効果的に放熱フィン42に伝導するよう
になり、マグネトロン駆動用電源装置を構成する上で放
熱フィン42を1個にすることができ、スイッチング損
失による熱を効果的に放熱フィンに伝導するので、冷却
ファンも小型化ができる。 【0026】また、本実施例では、スペーサーを熱伝導
率が0.5〜1.5×10^−3cal/cm・sec
・Kの材料で構成し、しかも半導体スイッチング素子と
は別に設けたことにより、材料に合成樹脂やマイカーな
どを使用でき、樹脂成型加工や外形抜きおよび孔加工な
どの機械加工が容易にすることができる。 【0027】 【発明の効果】以上のように、本発明によれば、1個の
半導体スイッチング素子の露出したコレクター部は、ス
ペーサーによって放熱フィンから電気的に絶縁され、熱
伝導的には熱伝導充填材を塗布充填されているので、ス
イッチング損失による熱を効果的に放熱フィンに伝導す
るようになり、マグネトロン駆動用電源装置を構成する
上で放熱フィンを1個にすることができ、スイッチング
損失による熱を効果的に放熱フィンに伝導するので、冷
却ファンも小型化ができる。
電源装置の要部斜視図 【図2】同マグネトロン駆動用電源装置の要部断面図 【図3】本発明の実施例1におけるマグネトロン駆動用
電源装置の要部斜視図 【図4】従来のマグネトロン駆動用電源装置の要部斜視
図 【図5】従来のマグネトロン駆動用電源装置の回路図 【図6】従来のマグネトロン駆動用電源装置の要部斜視
図 【図7】従来のマグネトロン駆動用電源装置の要部斜視
図 【符号の説明】 29 半導体スイッチング素子 32 コレクター部 33、34、35 スペーサー 36 半導体スイッチング素子 37 コレクター部 43 半導体スイッチング素子 45 コレクター部 47 スペーサー 48、49 孔
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項1】 半導体スイッチング素子と、放熱フィン
と、スペーサーと、熱伝導充填材とからなり、半導体ス
イッチング素子のコレクター部を背面に露出させ、1個
の半導体スイッチング素子の露出したコレクター部は熱
伝導率が0.5〜1.5×10^−3cal/cm・s
ec・Kのスペーサーを介し、熱伝導充填材を塗布充填
して放熱フィンに取付け、もう1個の半導体スイッチン
グ素子の露出したコレクター部はスペーサーを介さず直
接に熱伝導充填材を塗布して同一放熱フィンに取付け、
前記2個の半導体スイッチング素子を直列に接続し、前
記1個の半導体スイッチング素子の露出したコレクター
部は、スペーサーによって放熱フィンから電気的に絶縁
され、かつスイッチング損失による熱を効果的に放熱フ
ィンに伝導するべく前記スペーサーに孔を2個以上設
け、そのスペーサーの孔に熱伝導充填材を塗布充填した
マグネトロン駆動用電源装置。
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