JP3511234B2 - 流体の流量管理装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ガス源や空気源等
の流体発生源とボイラや各種空気式アクチュエータ等の
流体消費設備との間に設けられ、ガスや空気等の流体の
流量を管理する流量管理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ボイラや乾燥機等のガス消費設備とガス
供給源とを連結する配管の途中には、例えばガス消費設
備が単一の消費設備の場合、ガス流量制御弁が設けられ
たり、ガス消費設備が複数の消費設備からなる場合は、
ガス遮断弁が設けられたりする。かかる場合に前記弁と
前記消費設備との間で配管が破損してガス漏れが生じる
場合がある。同様に消費設備自体が故障してガス漏れが
生じる場合もある。従って、このようなガス漏れを迅速
に検出して適切な対応をとることが大切である。

【０００３】一方、ガス消費設備が単一の消費設備から
なる場合、当該ガス消費設備に供給するガス流量を前記
ガス流量制御弁において適正に管理したり、複数のガス
消費設備からなる場合は、これらのガス消費設備で使用
される総消費流量を管理することが省エネルギーの観点
から厳密に要求される。しかし、従来ではかかるガス漏
れ検出を行いつつ、ガス流量管理やガス消費量管理を同
時に行うことのできる簡易な構成のガス流量管理装置は
存在しなかった。

【０００４】又、従来から例えば工場内では各種の生産
設備を作動させるために、空気源であるコンプレッサー
からこれらの生産設備に配管を介して空気が供給されて
いる。かかる配管は工場内に縦横に配設されているた
め、配管のいずれかの場所が例えば老朽化によって破損
し空気漏れが生じても、かかる空気漏れの発生を即座に
見つけることは難しく、長期間に亘ってこのような空気
漏れが生じたままとなる場合がある。同様に空気消費設
備、即ち空気によって駆動するアクチュエータ自体が故
障して空気漏れが生じたままとなることもある。

【０００５】このような空気漏れによってコンプレッサ
ーの負荷が増大し、時にはコンプレッサーのエネルギー
ロスが３０％に達する場合がある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上述のようなガス漏れ
検出を行いつつ、ガス流量管理やガス消費量管理を同時
に行うことのできる簡易な構成のガス流量管理装置が必
要とされていた。又、空気配管の破損による空気漏れの
検出や空気消費設備の作動時におけるかかる設備の故障
によるコンプレッサー負荷の増大を同時に検出すること
のできる簡易な構成の空気流量流量管理装置も必要とさ
れていた。

【０００７】本発明の目的は、ガスや空気等の流体発生
源とボイラや各種空気式アクチュエータ等の流体消費設
備との間に設けられ、ガスや空気等の流体の漏れを検出
すると共に、流体消費設備で消費される流体の消費流量
や流体消費設備に供給されるべき流体の流量を管理する
流量管理装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明に係る流体の流量管理装置は、流体発生源
と複数の流体消費設備との間に接続された流体の主流路
に設けられ、流体発生源に接続された上流側主流路と流
体消費設備に接続された下流側主流路との間に差圧を発
生させる差圧発生器と、前記下流側主流路に設けられた
遮断弁と、前記上流側主流路から前記差圧発生器と前記
遮断弁との間の主流路に連通する第一の分流路と、前記
上流側主流路から前記下流側主流路の前記遮断弁と前記
流体消費設備との間に連通する第二の分流路と、前記第
一の分流路と前記第二の分流路とを択一的に切り替える
切替弁と、前記第一の分流路及び前記第二の分流路の流
体の流れを検出する流れ検出器と、前記流体消費設備の
少なくとも１つの使用時に前記遮断弁を開放すると共に
前記切替弁を前記第一の分流路を選択するように切り替
え、且つ前記流れ検出器の検出信号に基づいて前記遮断
弁を通過する流量を測定し、前記流体消費設備の全てが
不使用時に前記遮断弁を閉塞すると共に前記切替弁を前
記第二の分流路を選択するように切り替え、且つ前記流
れ検出器の検出信号に基づいて前記遮断弁と前記流体消
費設備との間の流体の流れを検出する流量制御装置とを
備えている。

【０００９】流体消費設備の少なくとも１つの使用時に
遮断弁を開放すると共に切替弁を第一の分流路を選択す
るように切り替え、且つ流れ検出器の検出信号に基づい
て前記遮断弁を通過する流量を測定するので、流れ検出
器を用いて流体消費設備の使用中の総消費流量を確実に
求めることができる。一方、流体消費設備の全てが不使
用時に遮断弁を閉塞すると共に切替弁を第二の分流路を
選択するように切り替え、第二の分流路を開放したとき
は流れ検出器の検出信号に基づいて遮断弁と流体消費設
備との間の流体の流れを検出するので、遮断弁と流体消
費設備間の配管で発生した流体漏れや流体消費設備自体
の故障による流体漏れも確実に検出することができる。

【００１０】又、本発明の請求項２に記載の流体の流量
管理装置は、流体発生源と流体消費設備との間に接続さ
れた流体の主流路に設けられ、流体発生源に接続された
上流側主流路と流体消費設備に接続された下流側主流路
との間に差圧を発生させる差圧発生器と、前記下流側主
流路に設けられた流量制御弁と、前記上流側主流路から
前記差圧発生器と前記流量制御弁との間の主流路に連通
する第一の分流路と、前記上流側主流路から前記下流側
主流路の前記流量制御弁と前記流体消費設備との間に連
通する第二の分流路と、前記第一の分流路と前記第二の
分流路とを択一的に切り替える切替弁と、前記第一の分
流路及び前記第二の分流路の流体の流れを検出する流れ
検出器と、前記流体消費設備の使用時に前記切替弁を前
記第一の分流路を選択するように切り替えると共に、前
記流れ検出器の検出信号に基づいて前記流量制御弁の開
度を制御し、前記流体消費設備の不使用時に前記切替弁
を前記第二の分流路を選択するように切り替えると共
に、前記流れ検出器の検出信号に基づいて前記流量制御
弁と前記流体消費設備との間の流体の流れを検出する流
量制御装置と、を備えている。

【００１１】流体消費設備の使用時に切替弁を第一の分
流路を選択するように切り替えると共に、流れ検出器の
検出信号に基づいて流量制御弁の開度を制御するので、
流体消費設備に適正流量の流体を供給することができ
る。一方、流体消費設備の不使用時に流量制御弁を閉塞
すると共に切替弁を第二の分流路を選択するように切り
替えると共に、流れ検出器の検出信号に基づいて流量制
御弁と流体消費設備との間の流体の流れを検出するの
で、前記請求項１に記載の流量管理装置と同様に、流体
消費設備の不使用時に流量制御弁と流体消費設備間の配
管で発生した流体漏れや流体消費設備の故障による流体
漏れも確実に検出することができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の一
実施形態に係るガス流量管理装置（流体の流量管理装
置）について説明する。本発明の一実施形態に係るガス
流量管理装置１０は、図１に示すように、ガスを供給す
るガス源３０とガスを消費する複数のガス消費設備４０
との間に設けられている。

【００１３】複数のガス消費設備４０は、本実施形態で
は第１ボイラ４１、第２ボイラ４２、第１熱処理炉４
３、第２熱処理炉４４、乾燥機４５からなり、これらの
ガス消費設備４０とガス源３０とはガス源３０に接続さ
れた主流路５０及び主流路５０から各ガス消費設備に分
岐した分岐流路５５〜５９を介して接続されている。本
発明に係るガス流量管理装置１０は、主流路５０の途中
に設けられた差圧発生器１１及びアクチュエータ付きの
遮断弁１２と、主流路５０からバイパスした第一及び第
二の分流路１３，１４と、これらの分流路を切り替える
アクチュエータ付きの三方弁（切替弁）１５と、分流路
に設けられた流れ検出器９０と、流体の漏れ検出を行な
ったりガス消費設備４０の総消費流量を求めたりする流
量制御装置１７を有している。

【００１４】差圧発生器１１は、主流路５０をガス源３
０に接続された上流側主流路５１と流体消費設備４０に
接続された下流側主流路５２に分けるように主流路途中
に設けられている。尚、差圧発生器１１のハウジング１
１ａにはオリフィスプレート１１ｂが介装されており、
上流側主流路５１と下流側主流路５２との間に差圧を発
生させるようになっている。

【００１５】下流側主流路５２に設けられた遮断弁１２
はボール弁からなる。遮断弁１２は、全ての流体消費設
備４０が不使用の場合のみ下流側主流路５２を遮断する
ように流量制御装置１７によって開閉制御されている。
上流側主流路５１と下流側主流路５２との間は分流路に
よってバイパスされている。分流路は、上流側が共通の
バイパス流路を有する第一の分流路１３と第二の分流路
１４からなる。第一の分流路１３は、三方弁１５を介し
て差圧発生器１１の上流側から差圧発生器１１と遮断弁
１２との間の主流路に連通するように形成されている。
一方、第二の分流路１４は、三方弁１５を介して差圧発
生器１１の上流側から遮断弁１２と流体消費設備４０の
間の主流路に連通するように形成されている。

【００１６】三方弁１５は、少なくともいずれかの流体
消費設備が使用されているとき、第一の分流路１３が選
択され、全ての流体消費設備が不使用のとき、第二の分
流路１４が選択されるように流量制御装置１７によって
制御されるようになっている。分流路１３，１４の三方
弁１５より上流側、即ち共通のバイパス流路にはバイパ
ス流路のガス流量を測定する流れ検出器９０が取り付け
られている。

【００１７】流れ検出器９０は、例えば特開平４-２３
０８０８号公報に記載されるような、微細加工ダイアフ
ラム構造を有し、微小流量を測定するのに適している。
以下に、流れ検出器９０の具体的構成について説明す
る。流れ検出器９０は、図２に示すようにシリコン基板
の背面側中央部に異方性エッチングによって凹部９０ｒ
を形成することで、シリコン基板に薄肉状のダイアフラ
ム９０ｄを形成し、このダイアフラム上にヒータエレメ
ント９０ｈ、測温抵抗エレメント９０ａ，９０ｂ、周囲
温度測温抵抗エレメント９０ｔを配設した構造を有して
いる。尚、ヒータエレメント９０ｈはダイアフラム９０
ｄの表面中央に配設され、測温抵抗エレメント９０ａ，
９０ｂはヒータエレメント９０ｈの両側に配設され、周
囲温度測温抵抗エレメント９０ｔはシリコン基板の基板
部分に配設されている。又、ダイアフラム９０ｄには、
ヒータエレメント９０ｈと測温抵抗エレメント９０ａ，
９０ｂとの間にスリット９０ｓが形成され、これらのエ
レメント間の熱的絶縁を確保している。

【００１８】流れ検出器９０によるガスの流れ測定は、
ヒータエレメント９０ｈからその下流側の測温抵抗エレ
メント９０ａ，９０ｂへの熱的移動を検出することで行
われる。流れ検出器９０はその構成上、極めて速い応答
速度で且つ高精度に気体の流れを検出できる上、気体の
微小流れまでも確実に検出できる特徴を有している。次
に、流れ検出器９０によるガス又は空気の流れ検出の方
法を図３に基づいて具体的に説明する。ヒータエレメン
ト９０ｈと周囲温度測温抵抗エレメント９０ｔとは、固
定抵抗Ｒ１、固定抵抗Ｒ２とでヒータブリッジ回路が形
成されている。一方、測温抵抗エレメント９０ａ，９０
ｂ、固定抵抗Ｒ３、固定抵抗Ｒ４とでセンサブリッジ回
路が構成されている。ヒータエレメント９０ｈを周囲温
度に対して一定温度上昇するように加熱し、流体の流速
に応じた温度上昇に伴う測温抵抗エレメント９０ａ，９
０ｂの抵抗変化を電圧として取り出す。これを作動アン
プで増幅することで、流体の流れに応じた電圧値を出力
するようになっている。

【００１９】流れ検出器９０は以上の構成を有している
ので、第一の分流路１３が選択されたとき、第一の分流
路１３のガス流量を正確に測定すると共に、第二の分流
路１４が選択されたとき、例えばガス漏れ等に起因する
遮断弁１２と流体消費設備４０間の微小なガス流れを検
出する。尚、主流路５０のガス流量と第一の分流路１３
のガス流量は対応関係にあるので、第一の分流路選択時
に第一の分流路１３のガス流量を測定することで、主流
路５０のガス流量を正確に知ることができる。

【００２０】流量制御装置１７は、上述したように、遮
断弁１２、三方弁１５、流れ検出器９０、及び各ガス消
費設備４０に電気的に接続されている。そして、流量制
御装置１７は、図示しないマイクロプロセッサ及びプロ
グラムを格納したメモリを備えており、ガス消費設備４
０の少なくとも１つの使用時に遮断弁１２を開放すると
共に三方弁１５を第一の分流路１３を選択するように切
り替え、流れ検出器９０の検出信号に基づいて遮断弁１
２を通過する流量を測定するようにプログラムを実行す
る。又、流量制御装置１７は、流体消費設備４０の全て
が不使用の時に遮断弁１２を閉塞すると共に三方弁１５
を第二の分流路１４を選択するように切り替え、流れ検
出器９０の検出信号に基づいて遮断弁１２と流体消費設
備４０との間の流体の流れを検出するようになってい
る。

【００２１】次に、以上のような構成を有したガス流量
管理装置１０の作動のしかたについて説明する。全ての
ガス消費設備４０が不使用である信号を流量制御装置１
７が受け取ったときは、流量制御装置１７は、遮断弁１
２を閉塞すると共に第二の分流路１４を選択するように
三方弁１５を切り替え、且つ流れ検出器９０の検出信号
により遮断弁１２とガス消費設備４０との間のガス流れ
を検出する。

【００２２】ここで、ガス流れが検出された場合は、そ
の流量を求めると共に遮断弁１２とガス消費設備４０間
の配管の破損かガス消費設備４０自体の故障に基づくガ
ス漏れが生じたと判断し、ガス漏れの発報を行なう。
尚、流れ検出器９０には微小流量センサが用いられてい
るので、僅かなガス漏れも確実に検出することができ
る。

【００２３】一方、ガス消費設備４０のいずれかが使用
中である信号を流量制御装置１７が受け取ったときは、
流量制御装置１７は、遮断弁１２を開くと共に第一の分
流路１３を選択するように三方弁１５を切り替え、流れ
検出器９０の検出信号に基づいて遮断弁１２を通過する
流量を測定し、この測定結果からその時点でのガス消費
設備４０によって消費されている総ガス消費量を求め
る。又、このガス消費量の瞬時値を積算していくこと
で、例えば一日毎、一週間毎、又は一ヵ月毎に使用され
るガス消費量を算出しても良い。

【００２４】このように、本発明にかかるガス流量管理
装置１０を用いれば、ガス消費設備４０が全て不使用の
時にガス漏れの有無等安全管理を行なうことができると
共に、ガス消費設備４０のいずれかが使用されている時
にガス消費量を求めることができ、一定期間当たりの合
計ガス消費量を求めることもできる。これによって複数
のガス消費設備４０によって消費されるガスが適正消費
量であるか否かを常に管理することができる。

【００２５】尚、本発明に係る流体の流量管理装置１０
を上述の実施形態のようにガス流量管理装置に用いるの
ではなく、空気流量管理装置に用いても良い。即ち、上
述のガス源の代わりにコンプレッサー等の空気源とし、
上述のボイラ、熱処理炉、乾燥機の代わりにインパクト
レンチ、エアハンマ、空気ホイスト等の空気消費設備と
し、差圧発生器のオリフィスプレート寸法や流れ検出器
の出力特性をこれらに合わせて選択して空気流量管理装
置を構成するようにしても良い。このような空気流量管
理装置によって、空気消費設備が全て不使用の時に空気
漏れの有無等を確認でき、空気源であるコンプレッサー
の負荷増大を防止し、省エネルギーを図ることができ
る。又、いずれかの空気消費設備が使用されている時に
空気消費量を求めることができ、一定期間当たりの合計
空気消費量を求めることも可能である。これによって空
気消費設備によって消費される空気が適正消費量である
か否かを常に管理することができる。

【００２６】次に、本発明の第２の実施形態に係る流体
の流量管理装置について説明する。尚、第２の実施形態
に係る流体の流量管理装置のうち、第１の実施形態に係
る流体の流量管理装置と同様の構成については、対応す
る符号を付して詳細な説明を省略する。本発明の第２の
実施形態に係る流体の流量管理装置２０は、図４に示す
ように、ガスを供給するガス源とガスを消費する単一の
ガス消費設備との間に設けられている。

【００２７】単一のガス消費設備は、本実施形態ではボ
イラ４６からなり、ボイラ４６とガス源３１とは主流路
６０を介して接続されている。本発明に係る流量管理装
置２０は、主流路６０の途中に設けられた差圧発生器２
１及びアクチュエータ付きの流量制御弁２２と、主流路
６０からバイパスした第一及び第二の分流路２３，２４
と、分流路を切り替えるアクチュエータ付きの三方弁
（切替弁）２５と、これらの分流路に設けられた流れ検
出器９１と、流体の漏れ検出を行なったりボイラ４６に
供給されるガス流量を求めたりする流量制御装置２７と
を有している。

【００２８】差圧発生器２１は、第１の実施形態と同様
の差圧発生器が使用されている。流量制御弁２２はボー
ル弁からなり、差圧発生器２１とボイラ４６との間の下
流側主流路６２に設けられている。流量制御弁２２は、
ボイラ不使用時には下流側主流路６２を遮断すると共に
ボイラ使用時にはボイラ４６に適正なガス量を供給する
ように流量制御装置２７によってその開度が制御される
ようになっている。

【００２９】第一の分流路２３、第二の分流路２４、及
びこれら分流路を選択する三方弁２５は、第１の実施形
態と同様に形成されている。尚、三方弁２５は、ボイラ
４６が使用されているとき、第一の分流路２３が選択さ
れ、ボイラ４６が不使用のとき、第二の分流路２４が選
択されるように流量制御装置２７によって制御されるよ
うになっている。

【００３０】第一及び第二の分流路の一部を形成する共
通のバイパス流路には、第１の実施形態と同様の構成を
有し、微小流量を測定できる流れ検出器９１が取り付け
られている。流量制御装置２７は、流量制御弁２２、三
方弁２５、流れ検出器９１、及びボイラ４６に電気的に
接続されている。そして、流量制御装置２７は、図示し
ないマイクロプロセッサ及びプログラムを格納したメモ
リを備えており、ボイラ使用時に三方弁２５を第一の分
流路２３を選択するように切り替え、流れ検出器９１の
検出信号に基づいて流量制御弁２２の開度を制御し、ボ
イラ４６に供給されるガス流量を適正流量に制御するよ
うにプログラムを実行する。又、流量制御装置２７は、
ボイラ不使用時に流量制御弁２２を閉塞すると共に三方
弁２５を第二の分流路２４を選択するように切り替え、
流れ検出器９１の検出信号に基づいて流量制御弁２２と
ボイラ４６との間のガス流れを検出するようになってい
る。

【００３１】次に、以上のような構成を有したガス流量
管理装置２０の作動のしかたについて説明する。ボイラ
不使用のときは、流量制御装置２７は、流量制御弁２２
を閉塞すると共に第二の分流路２４を選択するように三
方弁２５を切り替え、且つ流れ検出器９１の検出信号に
より流量制御弁２２とボイラ４６との間のガス流れを検
出する。

【００３２】これによって、第１の実施形態と同様に、
流量制御弁２２とボイラ４６間の配管の破損かボイラ４
６の故障に基づくガス漏れの検知を迅速且つ確実に行な
う。尚、流れ検出器９１には微小流量センサが用いられ
ているので、僅かなガス漏れも確実に検出することがで
きる。一方、ボイラ使用中は、流量制御装置２７によっ
て第一の分流路２３を選択するように三方弁２５を切り
替え、流れ検出器９１の検出信号に基づいて流量制御弁
２２を通過する流量を測定する。尚、第１の実施形態の
場合と同様に、第一の分流路２３のガス流量と主流路６
０のガス流量とは対応関係にあるので、この測定結果か
ら流量制御弁２２の開度を制御する。具体的には、流量
制御装置２７には、ボイラ４６への適正ガス供給量が予
め設定されているので、この適正ガス供給量になるよう
に流量制御弁２２の開度を調整する。これによって、ボ
イラ４６に適正なガス量を供給するように制御する。

【００３３】尚、第１の実施形態と同様に、本発明に係
る流体の流量管理装置２０を空気流量管理装置に用いて
も良い。即ち、コンプレッサー等の空気源と空気ホイス
ト等の空気消費設備との間に本発明に係る流体の流量管
理装置を介在させても良い。このような空気流量管理装
置によっても、空気消費設備が不使用の時に空気漏れの
有無等を確認でき、空気源であるコンプレッサーの負荷
増大を防止し、省エネルギーを図ることができる。又、
空気消費設備が使用されている時に空気消費設備に適正
空気量を供給することができる。

【００３４】尚、第１及び第２の実施形態において流れ
検出器として微小流量センサを用いたが、必ずしもこれ
に限定されることはなく、通常の熱線式流量計等の流量
計を使用しても良い。又、第１及び第２の実施形態にお
いて第一の分流路と第二の分流路はバイバス流路として
途中まで共通化され、この共有化された流路に共用の流
れ検出器を設けているが、第一の分流路と第二の分流路
とを完全に独立して設け、各分流路に流れ検出器を独立
して設けても良い。

【００３５】更に、第１及び第２の実施形態において遮
断弁や流量制御弁にボール弁を用いたが、必ずしもこれ
に限定されることはなく、バタフライ弁やケージ弁、リ
フト弁等を使用しても良い。又、上述したガス消費設備
や空気消費設備は、流体消費設備の一例として挙げたも
のであり、ボイラ、熱処理炉、乾燥機、インパクトレン
チ、エアハンマ、空気ホイスト等もこれに付随して例示
的に挙げたものであることは言うまでもない。

【００３６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る流体
の流量管理装置は、複数からなる流体消費設備の少なく
とも１つが使用されている時に主流路の遮断弁を開放す
ると共に切替弁を第一の分流路を選択するように切り替
え、且つ流れ検出器の検出信号に基づいて前記遮断弁を
通過する流量を測定するので、流れ検出器を用いて流体
消費設備の使用中の総消費流量を確実に求めることがで
きる。

【００３７】一方、流体消費設備の全てが不使用の時に
遮断弁を閉塞すると共に切替弁を第二の分流路を選択す
るように切り替え、流れ検出器の検出信号に基づいて遮
断弁と流体消費設備との間の流体の流れを検出するの
で、遮断弁と流体消費設備間の配管で発生した流体漏れ
や流体消費設備自体の故障による流体漏れも確実に検出
することができる。

【００３８】又、本発明の請求項２に係る流体の流量管
理装置は、流体消費設備が使用されている時に切替弁を
第一の分流路を選択するように切り替えると共に、流れ
検出器の検出信号に基づいて流量制御弁の開度を制御す
るので、流体消費設備に適切な量の流体を供給すること
ができる。一方、流体消費設備が不使用の時に流量制御
弁を閉塞すると共に切替弁を第二の分流路を選択するよ
うに切り替え、流れ検出器の検出信号に基づいて流量制
御弁と流体消費設備との間の流体の流れを検出するの
で、前記請求項１に記載の流量管理装置と同様に、流体
消費設備の不使用時に流量制御弁と流体消費設備間の配
管で発生した流体漏れや流体消費設備の故障による流体
漏れも確実に検出することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態に係る流体の流量管理
装置を説明する概略構成図である。

【図２】図１における流れ検出器を詳細に説明する正面
図（図２（ａ））及びＡ−Ａ断面図（図２（ｂ））であ
る。

【図３】図２の流れ検出器の回路構成を示す図である。

【図４】本発明の第２の実施形態に係る流体の流量管理
装置を説明する概略構成図である。

【符号の説明】

１０，２０ ガス流量管理装置 １２ 遮断弁 １３，２３ 第一の分流路 １４，２４ 第二の分流路 １５，２５ 三方弁 １７，２７ 流量制御装置 ３０，３１ ガス源 ４０ ガス消費設備 ４１ 第１ボイラ ４２ 第２ボイラ ４３ 第１熱処理炉 ４４ 第２熱処理炉 ４５ 乾燥機 ４６ ボイラ ５０，６０ 主流路 ５１，６１ 上流側主流路 ５２，６２ 下流側主流路 ９０，９１ 流れ検出器

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開2000−266233（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−101106（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G05D 7/00 - 7/06 G01M 3/00 - 3/40

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 流体発生源と複数の流体消費設備との間
   に接続された流体の主流路に設けられ、流体発生源に接
   続された上流側主流路と流体消費設備に接続された下流
   側主流路との間に差圧を発生させる差圧発生器と、 前記下流側主流路に設けられた遮断弁と、 前記上流側主流路から前記下流側主流路の前記差圧発生
   器と前記遮断弁との間に連通する第一の分流路と、 前記上流側主流路から前記下流側主流路の前記遮断弁と
   前記流体消費設備との間に連通する第二の分流路と、 前記第一の分流路と前記第二の分流路とを択一的に切り
   替える切替弁と、 前記第一の分流路及び前記第二の分流路の流体の流れを
   検出する流れ検出器と、 前記流体消費設備の少なくとも１つの使用時に前記遮断
   弁を開放すると共に前記切替弁を前記第一の分流路を選
   択するように切り替え、且つ前記流れ検出器の検出信号
   に基づいて前記遮断弁を通過する流量を測定し、前記全
   ての流体消費設備の不使用時に前記遮断弁を閉塞すると
   共に前記切替弁を前記第二の分流路を選択するように切
   り替え、且つ前記流れ検出器の検出信号に基づいて前記
   遮断弁と前記流体消費設備との間の流体の流れを検出す
   る流量制御装置と、 を備えたことを特徴とする流体の流量管理装置。
2. 【請求項２】 流体発生源と流体消費設備との間に接続
   された流体の主流路に設けられ、流体発生源に接続され
   た上流側主流路と流体消費設備に接続された下流側主流
   路との間に差圧を発生させる差圧発生器と、 前記下流側主流路に設けられた流量制御弁と、 前記上流側主流路から前記下流側主流路の前記差圧発生
   器と前記流量制御弁との間に連通する第一の分流路と、 前記上流側主流路から前記下流側主流路の前記流量制御
   弁と前記流体消費設備との間に連通する第二の分流路
   と、 前記第一の分流路と前記第二の分流路とを択一的に切り
   替える切替弁と、 前記第一の分流路及び前記第二の分流路の流体の流れを
   検出する流れ検出器と、 前記流体消費設備の使用時に前記切替弁を前記第一の分
   流路を選択するように切り替えると共に、前記流れ検出
   器の検出信号に基づいて前記流量制御弁の開度を制御
   し、前記流体消費設備の不使用時に前記切替弁を前記第
   二の分流路を選択するように切り替えると共に、前記流
   れ検出器の検出信号に基づいて前記流量制御弁と前記流
   体消費設備との間の流体の流れを検出する流量制御装置
   と、 を備えたことを特徴とする流体の流量管理装置。