JP3509480B2 - 基板ブレイク用スキージ及びこれを有する基板ブレイク装置並びに液晶表示装置の製造方法 - Google Patents

基板ブレイク用スキージ及びこれを有する基板ブレイク装置並びに液晶表示装置の製造方法

Info

Publication number
JP3509480B2
JP3509480B2 JP20056197A JP20056197A JP3509480B2 JP 3509480 B2 JP3509480 B2 JP 3509480B2 JP 20056197 A JP20056197 A JP 20056197A JP 20056197 A JP20056197 A JP 20056197A JP 3509480 B2 JP3509480 B2 JP 3509480B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
squeegee
break
tip
stress
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP20056197A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH1143338A (ja
Inventor
文雄 小幡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP20056197A priority Critical patent/JP3509480B2/ja
Publication of JPH1143338A publication Critical patent/JPH1143338A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3509480B2 publication Critical patent/JP3509480B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00Severing cooled glass
    • C03B33/02Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C03B33/023Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
    • C03B33/033Apparatus for opening score lines in glass sheets

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は基板ブレイク用スキ
ージ及びこれを有する基板ブレイク装置に係り、特に、
液晶のパネル基板を分割するための基板ブレイク工程に
用いる場合に好適な技術に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、液晶表示装置のパネルの製造工程
においては、大きな面積を有するガラス等からなる透明
基板(以下、単に「大判基板」という。)の状態で複数
の液晶表示のパネルを一体に作り込み、ある程度工程が
進んだ段階で、大判基板を分割して、最終的に個々のパ
ネル若しくはパネルに対応する部分に分けることが行わ
れている。このような大判基板を用いたパネルの製造工
程においては、いわゆる多数個取りの効果によって製造
の効率化、低コスト化を図っている。
【0003】大判基板を用いた製造工程においては、パ
ネルが完成する最終段階(基板の貼り合わせ工程、シー
ル材硬化工程、液晶注入工程等が終了した段階)まで大
判基板のまま製造を行う場合も考えられるが、例えば、
大判基板のままシール材硬化工程を完了させ、液晶注入
工程の前に大判基板を短冊形の基板形状(以下、単に
「中判基板」という。)にブレイクし、液晶注入工程が
完了して封入された後に、個々のパネル基板に分割する
方法、基板の貼り合わせ前に中判基板若しくは個々の液
晶表示装置のパネルサイズにブレイクしてしまう方法、
大判基板に対して個々の液晶表示装置のパネルサイズの
対向基板を貼り合わせ、液晶注入工程が完了した後に、
大判基板をブレイクする方法等、種々の方法がある。
【0004】上記の基板をブレイクする工程において
は、基板の裏面上に予め切断予定線に沿って線状の傷
(以下、単に「スクライブ線」という。)を形成し、こ
のスクライブ線に沿って基板の表面上から応力を加える
ことによってスクライブ線から基板を破断させて、相互
に分離する。この場合、スクライブ線に沿って応力を加
えるには、図5の(a)或いは(b)に示すような断面
形状を備えた基板ブレイク用のスキージ10,20を用
いる。これらのスキージ10,20は、ホルダ11,2
1と、このホルダの先端部に接着された合成ゴム等から
なるスキージ材12,22とから構成される。スキージ
10,20は全体として図の紙面に垂直な方向に延長さ
れた形状を備えており、その延長方向を上述のスクライ
ブ線に対して平行に配置し、図6に示すように基板30
を合成ゴム等の緩衝材31を介して基台上に載置した状
態で、基板30の表面に所定の圧力で上記のスキージ材
12,22を押し付け、基板30の表面からスクライブ
線30aの近傍に応力を加える。この応力によってスク
ライブ線30aから破断を引き起こすことによって基板
30が分断される。
【0005】このようにして行われる基板ブレイク方法
においては、基板に複数の切断予定線がある場合、これ
らの複数の切断予定線に沿って複数のスクライブ線を形
成しておき、スキージ10,20を複数のスクライブ線
に順次当てて各スクライブ線に沿った切断を一つずつ行
うようにしている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のスキージを用いた基板ブレイクにおいては、隣接す
るスクライブ線が近接している場合、一方のスクライブ
線に沿って先に基板の切断を行った後、隣接した他方の
スクライブ線に沿って基板の切断を行うと、当該他方の
スクライブ線に対して一方のスクライブ線によって既に
破断された位置までの距離が短いことから、破断がスム
ーズに行われず、破断面に凹凸ができたり、破断した基
板の表面にバリ(薄く突出した部分)やソゲ(薄く剥離
した部分)が発生したりして、きれいな破断面を形成す
ることができないという問題点があった。
【0007】このような場合でもきれいな破断面を得る
方法としては、スキージによって加える応力を大きくし
たり、スキージ材の先端部を図6に点線で示すように鋭
利にして狭い部分に応力を集中させたりすることが考え
られるが、応力を大きくすると基板そのものに与えるダ
メージが大きくなるために、基板上に形成した素子構造
や層構造に損傷を与える危険性が高くなり、また、応力
を狭い幅に集中させるにはスキージ材の先端部の硬度を
高める必要があるので、スキージ材の先端部が当接する
基板の表面部30b(図6参照)に損傷を与えてしまう
危険性もある。
【0008】一方、従来のスキージ材12,22は、使
用回数が増加するに従って自身に繰り返し加わる応力に
よって変形して幅広になり、基板に圧接された際の形状
保持力も低下するため、長く使用し続けていくとスクラ
イブ線の近傍に集中して応力を印加することができなく
なり、このためにスムーズなブレイクができず、上述と
同様に破断面が乱れ、バリ、ソゲが発生したりする場合
があり、また、破断を適切に行うために印加応力を高め
ざるを得ないことから、上述と同様に基板を損傷してし
まう危険性が増大するという問題点がある。
【0009】そこで本発明は上記各問題点を解決するも
のであり、その課題は、スクライブ線が隣接する破断面
に近くても、或いは、スキージを長く使用しても、破断
をスムーズかつ効率的に行うことができる新規の基板ブ
レイク用スキージ及び基板ブレイク装置を提供すること
にある。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明の基板ブレイク装置は、基板の表面に形成され
たスクライブ線に沿った先端部を備え、前記先端部で前
記スクライブ線に応力を加えることで前記基板を破断す
る基板ブレイク用スキージを有する基板ブレイク装置に
おいて、前記基板ブレイク用スキージは前記基板上に
形成された複数本の前記スクライブ線のそれぞれに対応
して複数備えられ、複数本の前記スクライブ線に沿って
同時に応力を加えることが可能であることを特徴とす
る。
【0011】この手段によれば、基板上に複数形成され
たスクライブ線に沿って同時に応力を加えて同時に破断
させることができるので、スクライブ線の形成位置が隣
接する破断部の近傍にあっても支障なく破断させること
ができ、破断部の凹凸、バリやソゲの発生を防止するこ
とができるとともに、スキージの送り動作や繰り返し動
作を行う必要なく一時にブレイク工程を完了させること
ができるので、処理効率が向上し、製造コストを低減す
ることができる。
【0012】ここで、複数の前記基板ブレイク用スキー
ジを取り付け固定する共通の支持部材が設けられ、該支
持部材は前記基板の所定の位置に前記基板ブレイク用ス
キージを押し当てるように前記基板ブレイク用スキージ
を配置するように構成されていることが好ましい。
【0013】この手段によれば、各スキージを共通の支
持部材に取り付け固定することによって簡易な構造で構
成できる。
【0014】また、隣接形成された前記スクライブ線の
それぞれに沿って同時に応力を加えることの可能な複数
の先端部を一体に備えている前記基板ブレイク用スキー
ジを有することが好ましい。
【0015】スキージに複数の先端部を一体に設け、隣
接形成された複数のスクライブ線に沿って複数位置で破
断させることができるので、スキージの取り付け、取り
外し作業が容易になるとともに、先端部間の高さ調整が
不要となり、しかも、隣接したスクライブ線に対して均
等な応力付与を容易に行うことができる。さらに、スキ
ージの経時変化も先端部間で同時に起こるため、経時的
な応力付与状態の差も発生し難い。
【0016】さらに、前記基板ブレイク用スキージの前
記先端部は、前記スクライブ線に沿った形状の芯材を可
撓性材によって被覆した構造を備えていることが好まし
い。
【0017】この手段によれば、芯材を備えていること
によって、応力の印加位置をより集中させることができ
るとともに、先端部の変形を防止し、応力印加状態の経
時変化を抑制することができる。
【0018】次に、本発明の基板ブレイク用スキージ
は、基板の表面に形成されたスクライブ線に沿った先端
部を備え、前記先端部で前記スクライブ線に応力を加え
ることで前記基板を破断する基板ブレイク用スキージに
おいて、前記基板ブレイク用スキージは前記基板上に
形成された複数本の前記スクライブ線のそれぞれに対応
して複数備えられ、複数本の前記スクライブ線に沿って
同時に応力を加えることが可能で、且つ隣接形成された
前記スクライブ線のそれぞれに対しては、同時に応力を
加えることの可能な複数の先端部を一体に備えている
とを特徴とする。
【0019】また、前記先端部は、前記スクライブ線に
沿った形状の芯材を可撓性材によって被覆した構造を備
えている場合もある。
【0020】この場合において、隣接形成された前記ス
クライブ線のそれぞれに沿って同時に応力を加えること
の可能な複数の先端部を一体に備えていることが好まし
く、また、前記先端部はインサート成形によって形成さ
れたものであることが望ましい。
【0021】また、本発明の液晶表示装置の製造方法
は、基板の表面に複数本のスクライブ線を形成する工程
と、基板ブレイク用スキージで複数本の前記スクライブ
線のそれぞれに沿って同時に応力を加えて前記基板を破
断する工程とを有する液晶表示装置の製造方法であっ
て、前記基板ブレイク用スキージは、前記基板上に形成
された複数本の前記スクライブ線のそれぞれに対応して
複数備えられ、複数本の前記スクライブ線に沿って同時
に応力を加えることが可能で、且つ隣接形成された前記
スクライブ線のそれぞれに対しては、同時に応力を加え
ることの可能な複数の先端部を一体に備えていることを
特徴とする。
【0022】この手段によれば、基板上に複数形成され
たスクライブ線に沿って同時に応力を加えて同時に破断
するため、スクライブ線の形成位置が隣接する破断部の
近傍にあっても支障なく破断することができ、破断部の
凹凸、バリやソゲの発生を防止することができるととも
に、一時にブレイク工程を完了させることができるの
で、処理効率が向上し、製造コストを低減することがで
きる。
【0023】
【発明の実施の形態】次に、添付図面を参照して本発明
に係る実施形態について説明する。図1は本発明に係る
基板ブレイク装置の動作部分の一部を拡大して示す断面
図である。本実施形態には、公知のプレス装置のプレス
機構(図示せず)に接続固定された支持板41が設けら
れている。この支持板41には図の紙面に垂直な方向に
延長された複数の長孔41a,41b,・・・が平行に
穿設されている。これらの長孔41a,41bには、そ
れぞれホルダ42,43がボルト等によって固定されて
おり、このホルダ42,43によって、ウレタンゴム製
のブレイク用のスキージ材44,45が固定されてい
る。
【0024】スキージ材44,45は、それぞれ図の紙
面と垂直な方向に延長された形状をしており、ガラス基
板40の平面方向(図示左右方向)に複数並列した状態
となっている。厚さ1.2mm程度のガラス基板40
は、図示しない基台の上面に貼着された合成ゴム等から
なる緩衝材46の上面に載置されている。緩衝材46と
しては、導電性粒子の練り込み等によって導電性を付与
させた厚さ0.3〜0.5mm程度のウレタンゴムシー
トが好ましい。ガラス基板40の裏面上には複数本のス
クライブ線40a,40b,40c,・・・が図の紙面
に垂直な方向に伸びるように形成されており、上記スキ
ージ材44,45,・・・は、それぞれガラス基板40
のスクライブ線のいずれかの直上位置に配置されてい
る。
【0025】スキージ材44は単一の先端部44aを備
えた通常のものである。これに対して、スキージ材45
は、相互に平行に所定の間隔を隔てて設けられた2つの
先端部45a,45bを備えた2ピーク形状に形成され
ている。スキージ材45の2つの先端部45a,45b
は、その下方にあるガラス基板40の隣接したスクライ
ブ線40b,40cに対応している。このように、スキ
ージ材に隣接する複数のスクライブ線に対応した複数の
先端部を一体に設けることによって、スクライブ線の間
隔が小さくても容易に対応することができる。
【0026】本実施形態では、ガラス基板40に形成さ
れた複数のスクライブ線40a,40b,40c,・・
・によって形成される破断部を同時に形成することに特
徴を有する。すなわち、図示しないプレス装置によって
支持板41を下降させ、各スキージ材44,45の先端
部44a,45a,45bをガラス基板40の表面上に
同時に押し付ける。このとき、先端部44aが圧接する
ガラス基板40の表面部はスクライブ線40aのほぼ直
上位置にあり、先端部45a,45bが圧接するガラス
基板40の表面部は、それぞれスクライブ線40b,4
0cのほぼ直上位置になっている。
【0027】本実施形態では、ガラス基板40に複数箇
所の切断予定線が存在する場合に、この切断予定線に沿
って予め形成された複数本のスクライブ線に対して、複
数のスキージ材をそれぞれ配置し、複数の切断予定線に
おいて同時にガラス基板40を破断させるようにしてい
る。このため、切断予定線の相互の間隔に関係なく、ほ
ぼ均等な条件下で基板のブレイクを行うことができるた
め、仮に隣接する切断予定線が極めて近い位置に存在し
ても、支障なく破断させることができ、応力不足や応力
の集中が足りなくなることによって破断面に凹凸が形成
されたり、バリやソゲが発生したりすることを防止する
ことができる。
【0028】特に、切断予定線の間隔が極めて接近して
くると、ガラスの破断がさらに困難になるとともに、ス
キージ材そのものを隣接して配置することが困難になる
が、本実施形態では、図1に示すスキージ材45のよう
に、隣接した2つのスクライブ線40b,40cに対応
する2つの先端部45a,45bを一体に設けることに
よって、各スクライブ線の近傍に支障なく適切な応力を
印加することが可能となる。また、隣接したスクライブ
線に対しては、同一のスキージ材45によって応力が付
与されるので、先端部45aと45bの高さ調節などを
行う必要もなくなるため、調整作業が容易になり、しか
も、スキージ材45の経時変化も同様に発生するので、
スクライブ線40bと40cに対する応力付与状態に差
が生ずることも抑制できる。
【0029】また、本実施形態においては、ブレイク工
程をスキージの送り動作や繰り返し動作を行う必要なく
一時に完了させることができるので、短時間に処理を行
うことができるから処理効率が向上し、製造コストを低
減することができる。
【0030】液晶表示装置のパネルの製造工程において
は、厚さ1.2mm程度のガラス基板を5mm以下の間
隔でブレイクする必要があり、このような極めて間隔の
狭いブレイク作業を行う場合には、本実施形態は特に有
効である。
【0031】図2は上記実施形態で使用することのでき
る異なるスキージ材54,55を示す断面図(a)及び
(b)である。このスキージ材54,55は、内部に剛
性の高いステンレス鋼等の金属製の芯材54c,55c
が埋設されており、この芯材54c,55cの周囲を合
成ゴム(例えばウレタンゴム)等の可撓性材によって被
覆したものである。スキージ材54の芯材54cには、
先端部54aに対応した所定の位置に配置された端部5
4c−aが形成されている。スキージ材55には2つの
先端部55a,55bが形成されており、芯材55cに
も、当該先端部55a,55bに対応した内部位置に突
出部55c−a,55c−bが形成されている。
【0032】これらのスキージ材54,55によれば、
内部に芯材54c,55cが埋設されていることによっ
て、繰り返し使用されることによる周囲の可撓性材の変
形が防止されるとともに、スキージ材54,55の幅方
向の変形を抑制することができるため、ガラス基板40
の表面に加える応力分布をより集中させることができる
から、効率的にスクライブ線の近傍に応力を付与するこ
とが可能になることによって、破断面をより平坦に形成
することができる。ここで、ガラス基板40に当接する
先端部54a,55a,55b自体は、芯材54c,5
5cの周囲に被覆された可撓性材によって形成されてい
るので、ガラス基板40の表面に損傷を与えることはな
い。
【0033】芯材54c,55cの内部形状や、先端部
54a,55a,55bと芯材54c,55cの先端位
置との間隔は、スキージ材54,55の全体形状や先端
部54a,55a,55bの形状と同様に、ガラス基板
40の厚さや材質、若しくはスキージ材や芯材の材質に
対する関係、その他耐久性等を勘案して適宜に設定する
ことができる。
【0034】図3には、さらに異なるスキージ材64,
65の構造例を示す。この場合においても、スキージ材
64,65の内部には芯材64c,65cが埋設され、
その周囲を可撓性材が被覆している。図3(a)に示す
スキージ材64の芯材64cには、先端部64aに対応
した位置に凸曲面状の先端形状を備えた端部64c−a
が設けられている。このように凸曲面状の端部64c−
aを設けることによって、先端部64aからの応力付与
をより集中させることができるとともに、先端部64a
近傍の変形をより完全に抑制することができ、しかも、
端部64c−aに角部が存在しないことから、芯材64
cを被覆する可撓性材の破断を防止することができ、耐
久性を高めることができる。
【0035】図3(b)に示すスキージ材65において
は、先端部65a,65bに対応する位置に突出する突
出部65c−a,65c−bを備えている。これらの突
出部65c−a,65c−bは、先端側に縮径した円錐
状又は角錐状の形状を備えている。この場合には、先端
部65a,65bからの応力印加をさらに集中して行う
ことができるとともに、先端部65a,65bの変形を
さらに抑制できる。なお、芯材64c,65cのような
突出形状の端部若しくは突出部の形状は、印加する応力
値や可撓性材の材質等によって適宜設計することができ
る。
【0036】図2及び図3に示すような芯材に可撓性材
を被覆させた構造のスキージ材においては、芯材に対し
て可撓性材が少なくとも先端部において被覆していれば
上述と同様の効果が得られる。また、これらのスキージ
材は、射出成形等のインサート成形法によって、芯材と
可撓性材との密着性良く、かつ容易に製造することがで
きる。
【0037】図4は大判基板70と80とから複数の液
晶表示装置のパネル用の空セルを形成した状態を示す説
明図である。大判基板70と大判基板80とはシール材
90aによって複数の液晶封入領域を内包した構造にな
るように貼り合わされている。図示斜線で示すものは、
一つ一つのパネルを構成する空セル90であり、それぞ
れ大判基板70,80をブレイクすることによって相互
に分離されるものである。図示の例では、大判基板80
の表面上に隣接した2つのスクライブ線80a,80b
を形成し、これらのスクライブ線80a,80bに対応
する大判基板70の表面上にスキージ材45によって応
力を付加する。スキージ材45の先端部45a,45b
は、それぞれスクライブ線80a,80bのほぼ直上位
置に配置するように設定されている。このスキージ材4
5によって図示点線の部分を破断させることによって各
液晶表示装置のパネルに対応する空セル90が分離さ
れ、この空セル90の端部には外部端子部91が露出し
た状態となる。
【0038】上記各実施形態においては、液晶表示装置
のパネル用のガラス基板をブレイクする場合について説
明したが、本発明のスキージ及びブレイク装置は、半導
体基板やセラミック基板等のようにスクライブ後に応力
を加えて破断させることのできる種々の基板に対して適
用することができる。
【0039】また、上記各実施形態においては、基板に
直線状のスクライブ線を形成した場合のみを示したが、
スクライブ線及びスキージを曲線状や折れ線状に形成し
ても使用できることは明らかである。
【0040】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば以下
の効果を奏する。
【0041】本発明によれば、基板上に複数形成された
スクライブ線に沿って同時に応力を加えて同時に破断さ
せることができるので、スクライブ線の形成位置が隣接
する破断部の近傍にあっても支障なく破断させることが
でき、破断部の凹凸、バリやソゲの発生を防止すること
ができるとともに、スキージの送り動作や繰り返し動作
を行う必要なく一時にブレイク工程を完了させることが
できるので、処理効率が向上し、製造コストを低減する
ことができる。
【0042】本発明によれば、各スキージを共通の支持
部材に取り付け固定することによって簡易な構造で構成
できる。
【0043】本発明によれば、スキージに複数の先端部
を一体に設け、隣接形成された複数のスクライブ線に沿
って複数位置で破断させることができるので、スキージ
の取り付け、取り外し作業が容易になるとともに、先端
部間の高さ調整が不要となり、しかも、隣接したスクラ
イブ線に対して均等な応力付与を容易に行うことができ
る。さらに、スキージの経時変化も先端部間で同時に起
こるため、経時的な応力付与状態の差も発生し難い。
【0044】本発明によれば、芯材を備えていることに
よって、応力の印加位置をより集中させることができる
とともに、先端部の変形を防止し、応力印加状態の経時
変化を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る基板ブレイク用スキージ及び基板
ブレイク装置の実施形態の構造を示す部分断面図であ
る。
【図2】同実施形態に使用可能な異なるスキージ材の構
造を示す断面図(a)及び(b)である。
【図3】同実施形態に使用可能なさらに異なるスキージ
材の構造を示す断面図(a)及び(b)である。
【図4】本実施形態を液晶表示装置の製造工程に使用す
る場合の状況を説明する概念説明図である。
【図5】従来の基板ブレイク用スキージの構造を示す断
面図(a)及び(b)である。
【図6】従来のブレイク時の状況を示すガラス基板の拡
大断面図である。
【符号の説明】
40 ガラス基板 40a,40b,40c スクライブ線 41 支持板 42,43 ホルダ 44,45 スキージ材 44a,45a,45b 先端部 54c,55c 芯材 54c−a 端部 55c−a,55c−b 突出部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C03B 33/033 B26F 3/04 G02F 1/13

Claims (8)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板の表面に形成されたスクライブ線に
    沿った先端部を備え、前記先端部で前記スクライブ線に
    応力を加えることで前記基板を破断する基板ブレイク用
    スキージを有する基板ブレイク装置において、 前記基板ブレイク用スキージは前記基板上に形成され
    た複数本の前記スクライブ線のそれぞれに対応して複数
    備えられ、複数本の前記スクライブ線に沿って同時に応
    力を加えることが可能で、且つ隣接形成された前記スク
    ライブ線のそれぞれに対しては、同時に応力を加えるこ
    との可能な複数の先端部を一体に備えていることを特徴
    とする基板ブレイク装置。
  2. 【請求項2】 請求項1において、前記基板ブレイク用
    スキージの前記先端部は、前記スクライブ線に沿った形
    状の芯材を可撓性材によって被覆した構造を備えている
    ことを特徴とする基板ブレイク装置。
  3. 【請求項3】 請求項2において、前記芯材には前記先
    端部に対応した位置に凸曲面状を備えた端部が設けられ
    ていることを特徴とする基板ブレイク装置。
  4. 【請求項4】基板の表面に形成されたスクライブ線に沿
    った先端部を備え、前記先端部で前記スクライブ線に応
    力を加えることで前記基板を破断する基板ブレイク用ス
    キージにおいて、 前記基板ブレイク用スキージは前記基板上に形成され
    た複数本の前記スクライブ線のそれぞれに対応して複数
    備えられ、複数本の前記スクライブ線に沿って同時に応
    力を加えることが可能で、且つ隣接形成された前記スク
    ライブ線のそれぞれに対しては、同時に応力を加えるこ
    との可能な複数の先端部を一体に備えていることを特徴
    とする基板ブレイク用スキージ。
  5. 【請求項5】 請求項4において、前記基板ブレイク用
    スキージの前記先端部は、前記スクライブ線に沿った形
    状の芯材を可撓性材によって被覆した構造を備えている
    ことを特徴とする基板ブレイク用スキージ。
  6. 【請求項6】 請求項5において、前記芯材には前記先
    端部に対応した位置に凸曲面状を備えた端部が設けられ
    ていることを特徴とする基板ブレイク用スキージ。
  7. 【請求項7】 請求項5又は請求項6において、前記先
    端部はインサート成形によって形成されたものであるこ
    とを特徴とする基板ブレイク用スキージ。
  8. 【請求項8】 基板の表面に複数本のスクライブ線を形
    成する工程と、基板ブレイク用スキージで複数本の前記
    スクライブ線のそれぞれに沿って同時に応力を加えて前
    記基板を破断する工程とを有する液晶表示装置の製造方
    法であって、 前記基板ブレイク用スキージは、前記基板上に形成され
    た複数本の前記スクライブ線のそれぞれに対応して複数
    備えられ、複数本の前記スクライブ線に沿って同時に応
    力を加えることが可能で、且つ隣接形成された前記スク
    ライブ線のそれぞれに対しては、同時に応力を加えるこ
    との可能な複数の先端部を一体に備えている ことを特徴
    とする液晶表示装置の製造方法。
JP20056197A 1997-07-25 1997-07-25 基板ブレイク用スキージ及びこれを有する基板ブレイク装置並びに液晶表示装置の製造方法 Expired - Fee Related JP3509480B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20056197A JP3509480B2 (ja) 1997-07-25 1997-07-25 基板ブレイク用スキージ及びこれを有する基板ブレイク装置並びに液晶表示装置の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20056197A JP3509480B2 (ja) 1997-07-25 1997-07-25 基板ブレイク用スキージ及びこれを有する基板ブレイク装置並びに液晶表示装置の製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH1143338A JPH1143338A (ja) 1999-02-16
JP3509480B2 true JP3509480B2 (ja) 2004-03-22

Family

ID=16426372

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP20056197A Expired - Fee Related JP3509480B2 (ja) 1997-07-25 1997-07-25 基板ブレイク用スキージ及びこれを有する基板ブレイク装置並びに液晶表示装置の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3509480B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3471664B2 (ja) * 1999-07-08 2003-12-02 Nec液晶テクノロジー株式会社 液晶セル用貼り合わせ基板の分断装置
KR100949152B1 (ko) * 2007-11-23 2010-03-25 삼성코닝정밀유리 주식회사 유리 기판 레이저 절단 장치

Also Published As

Publication number Publication date
JPH1143338A (ja) 1999-02-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100356120B1 (ko) 전계방사냉음극제조방법
US5972154A (en) Methods of dicing flat workpieces
JP2722798B2 (ja) 薄型液晶表示素子の製造方法
US20030148057A1 (en) Method for producing small, sheet glass plates and larger sheet glass plates as semifinished products for producing the former
US20040188861A1 (en) Fabrication method of semiconductor device
JP2003045901A (ja) 素子の転写方法及びこれを用いた素子の配列方法、画像表示装置の製造方法
KR19990014853A (ko) 반도체장치 및 그 제조방법
CN104552629A (zh) 破断装置以及分断方法
CN104552624A (zh) 弹性支撑板、破断装置以及分断方法
CN101284709A (zh) 划线单元、板子划线装置、划线方法和基底制造方法
US6873394B2 (en) Producing method of the liquid crystal display panel
JP2003335536A (ja) ワーク分断方法および装置ならびにワーク分断方法を用いた液晶表示パネルの製造方法
KR20080053245A (ko) 기판 지지 구조
KR100761477B1 (ko) 액정패널 스크라이빙방법 및 장치와 액정패널 제조방법
CN104552628A (zh) 扩展器、破断装置以及分断方法
JP3509480B2 (ja) 基板ブレイク用スキージ及びこれを有する基板ブレイク装置並びに液晶表示装置の製造方法
US6865798B2 (en) Method for shaping air bearing surface of magnetic head slider
JP7340838B2 (ja) ウエハーのブレイク方法並びにブレイク装置
US6864949B2 (en) Method of manufacturing flat display element
JP2000124159A (ja) 半導体素子の製造方法
JP2019156651A (ja) ガラス基板切断装置およびこれを用いた液晶パネルの製造方法
KR101005886B1 (ko) 기판 절단 장치 및 방법
KR20050082451A (ko) 플라스틱 필름 lcd의 스크라이빙 방법 및 그 장치
JP2000150426A (ja) 圧電振動素子の製造方法
JPH10268276A (ja) 液晶表示装置及びその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20031209

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20031222

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090109

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100109

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110109

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110109

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120109

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120109

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130109

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130109

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140109

Year of fee payment: 10

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees