JP3502682B2 - 気相成長炭素繊維製造装置 - Google Patents
気相成長炭素繊維製造装置Info
- Publication number
- JP3502682B2 JP3502682B2 JP00809595A JP809595A JP3502682B2 JP 3502682 B2 JP3502682 B2 JP 3502682B2 JP 00809595 A JP00809595 A JP 00809595A JP 809595 A JP809595 A JP 809595A JP 3502682 B2 JP3502682 B2 JP 3502682B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- raw material
- carbon fiber
- nozzle
- vapor
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Inorganic Fibers (AREA)
Description
装置に関し、さらに詳しくは、高収率で気相成長炭素繊
維を製造することのできる気相成長炭素繊維製造装置に
関する。
よる炭素繊維(以下、気相成長炭素繊維と略称する。)
は、結晶配向性に優れているので、機械的特性、電気的
特性、生化学的特性等において、従来の炭素繊維たとえ
ばポリアクリロニトリル系炭素繊維には見られない優れ
た特性を有している。
称される製造方法により製造されている。この流動気相
法と称される方法は、メタン、エタン、ベンゼン等の炭
素化合物のガスと、フェロセン等の有機遷移金属化合物
のガスと、キャリヤガスとを予め混合することにより混
合ガスを得、その混合ガスを加熱炉に注入することによ
り、気相中で金属触媒を生成し、連続的に炭素繊維を製
造する方法である。気相成長炭素繊維の製造方法とし
て、特公昭62ー49363号、特公4ー37166号
等に記載された方法が、連続生産が可能で生産性の高い
方法と評価され、主流となっている。
炭素化合物に比べて分解温度が低いので、有機金属化合
物のみが分解する温度では分解して生じた金属原子が凝
集して壁に金属鏡を作ってしまう。したがって、折角分
解して生じた金属原子が炭素繊維生成のための触媒とし
て有効に寄与せず、有機金属化合物が炭素繊維生成に寄
与しなくなる。したがって、低温の原料を速やかに炭素
生成温度に上昇させて上記温度範囲の時間をできるだけ
短くする必要がある。
有機金属化合物・炭素化合物・キャリヤガスの混合ガス
を高温のキャリヤガスまたはキャリヤガスと炭素化合物
との混合ガス中に注入する方法が採用されている。
るのを防止するには、炭素化合物が壁際に移動し難いよ
うに、加熱炉内の反応管に上からキャリヤーガスを流通
させ、温度が十分に上がった反応管の中程の部分に上か
ら周囲を保冷もしくは冷却されたノズルを差し込み、そ
こから原料ガスを下に向かって注入するのであるが、ガ
スは管壁からの輻射熱を吸収し難いので、速やかな加熱
は困難であり、高い収率で、すすを含まない炭素繊維を
得ることは困難であった。反応管上からキャリヤーガス
のみならず、炭素化合物のガスも注入する場合には、炭
素化合物の単独分解およびこれによるすすの発生を避け
るために余り高い温度を採用することはできず、上記問
題が更に重要になっていた。
目的にする。この発明の他の目的は、高収率で気相成長
炭素繊維を製造することのできる簡単な構造の製造装置
を提供することにある。
ためのこの発明の第1の態様は、800〜1300℃に
加熱された加熱炉と、この加熱炉内に配置された反応室
と、反応室内に原料ガスを供給するとともに、有機遷移
金属化合物及び有機化合物が分解せず、しかも反応室内
に供給された原料ガスが迅速に分解する程度に、200
〜700℃にされたノズルと、このノズルの外周に配置
されるとともに、反応室の内壁にキャリヤーガスを整流
として流通させる整流筒と、前記ノズルから反応室内に
供給された原料ガスを分解する温度に加熱する加熱体と
を備えてなることを特徴とする気相成長炭素繊維製造装
置である。
ける好適な加熱炉は、反応室内に熱エネルギーを供給す
ることのできるヒータを備える限り、その構造、大き
さ、材質等につき特に制限がない。
るように反応室内の温度を所定の値に維持することがで
きるように適宜に設計される。
エネルギーを受けて反応室内が所定の温度に維持され、
また、後述するノズルおよび加熱体を内蔵することので
きる限り、その構造、大きさ、材質等につき特に制限は
ない。
れば、例えば、縦に配置される縦型円筒状反応管、横に
配置される横型円筒状反応管等を挙げることができる。
効率良く、また簡単な装置構成で容易に収集することが
できるようにと企図するのであれば、縦型円筒状反応管
である加熱炉が好ましい。
は、その上部には、原料ガスを供給するノズルが装着さ
れ、その下部に、排気口を備えた捕集室が設けられる。
は、原料ガスを反応室内に導入するように構成される。
維を形成する炭素源および気相法成長炭素繊維生成の触
媒となり得る遷移金属を含有する有機遷移金属化合物を
少なくとも含有する。
中の炭素成分および有機化合物を挙げることができる。
有機遷移金属化合物中の炭素成分の含有量が気相法成長
炭素繊維を生成するのに十分な量であるときには、有機
遷移金属化合物は炭素源および触媒供給源としての機能
を有する。有機遷移金属化合物と有機化合物とは併用す
ることもできる。これらを併用する場合、有機遷移金属
化合物はその種類によって炭素源としての機能が希薄で
触媒源としての機能が優勢であることもあるし、また炭
素源としての機能および触媒源としての機能が共に発揮
されることもある。
有機遷移金属化合物およびキャリヤーガスとの混合物、
および有機遷移金属化合物、キャリヤーガスおよび有機
化合物の混合物を好適例として挙げることができる。
て触媒としての遷移金属を発生させることのできる有機
化合物である限り特に制限がない。有機遷移金属化合物
を構成する好適な遷移金属は、周期律表第VIII族に属す
る金属を挙げることができる、特に好適な遷移金属は、
鉄、ニッケルおよびコバルトよりなる群から選択される
少なくとも一種であり、更に好適な遷移金属は鉄であ
る。また、原料ガスにおける有機遷移金属化合物となり
得る遷移金属の具体例としては、特公昭62−4936
3号公報の第5欄第14行から第22行までに記載され
た金属を挙げることができる。
繊維を製造する反応室内での反応に不活性な気体である
限りその種類に制限はなく、通常アルゴン、ネオン、ヘ
リウム等の稀ガス、および水素、窒素またはこれらの混
合ガスを挙げることができる。これらの中でも水素ガス
がキャリヤガスとして好適である。
素を形成するための炭素源となり得る化合物である。こ
の発明の装置で使用することのできる有機化合物として
は、特公昭62−49363号公報の第4欄第14行か
ら第37行までに記載の化合物を挙げることができる。
好適な有機化合物は、ベンゼン、トルエン、スチレン等
の芳香族炭化水素化合物およびベンゾチオフェン、チオ
フェン等の含硫黄複素環式化合物を挙げることができ
る。更に好適な有機化合物は芳香族炭化水素化合物と含
硫黄複素環式化合物との組み合わせであり、特に好適な
有機化合物はベンゼンとチオフェンとの組み合わせであ
る。
される原料ガスが接触する加熱体が反応室内に設けられ
る。
る機能を有する。原料ガスには前述したように触媒源と
なる有機遷移金属化合物および炭素源となる有機化合物
を含有しているので、このノズル内で有機遷移金属化合
物および有機化合物が分解せず、しかもノズルから反応
室内に供給された原料ガスが迅速に分解する程度に、原
料ガスを加熱する機能を有しているのが好ましい。この
機能を発揮するために、このノズル自体が200〜70
0℃に加熱されるのが好ましい。例えば原料ガス中の有
機遷移金属化合物がフェロセンなどであるときにはこの
ノズルは400℃を中心とする300〜500℃に加熱
されるのが好ましい。換言すると、300〜500℃に
加熱されるノズルが好ましい。
成長炭素繊維の収率ないし収量を向上させる機能(収率
向上機能)を少なくとも有する限りその材質、形状、大
きさ等、あるいはそれを設ける位置について特に制限は
ない。
に解明されてはいないが、ノズルより反応室内に供給さ
れる原料ガスを加熱し、原料ガスを分解して触媒を生成
させ、生成した触媒により気相成長炭素繊維が生成する
機能を少なくとも有し、さらには、ノズルから反応室内
に供給される原料ガスが反応室の内壁に直接に接触しな
いようにノズルから噴出するガスの流れを調整する機能
も有するものとも考えられる。
炭を発生せず、有機化合物の分解を促進しない材質が好
ましい。このような観点からすると、好ましい加熱体の
材質としては、前記条件を満たす限り、セラミックスお
よび金属等を使用することができる。
クスとして、例えば、アルミナ、炭化タングステン、炭
化チタン、炭化バリウム、炭化けい素、窒化けい素、黒
鉛、ダイヤモンド、酸化ジルコニウム等を挙げることが
できる。これらの中でも好ましいセラミックスは、アル
ミナ、黒鉛、および炭化けい素よりなる群から選択され
る少なくとも一種である。これらは優れた耐熱性、非浸
炭性および有機化合物の非分解性を備えている。
いて、あるいは二種以上を用いて加熱体を形成すること
ができる。
形成されていても良く、また、金属あるいは耐熱性材料
とその表面を被覆してなるところの、前記収率向上機能
を有する材質とで形成されていても良い。金属あるいは
耐熱性材料の表面に前記収率向上機能を有する材質の被
覆を形成するには、溶射法、コーティング法等を採用す
るのが良い。
に供給される原料ガスが接触する位置であれば特に制限
がなく、例えば、ノズルの開口部を臨む位置、ノズルの
開口部、ノズルの開口部からノズルの内部までの所定領
域などを挙げることができる。
どこに配設されるかにより適宜に設計される。
た前記ノズルのその開口部に装着するのであれば、例え
ばノズルの開口部における内側周面に装着される円筒
体、あるいはノズルの開口部内に装入される、断面円
形、断面矩形、断面長方形である棒体などの形状を好適
例として挙げることができる。
その内周面には、原料ガスとの接触面積を増大させるよ
うに、溝、突起、凹凸などが形成されるのも良い。加熱
体が前述のような棒体である場合、その外周面には、原
料ガスとの接触面積を増大させるように、溝、突起、凹
凸などが形成されるのも良い。
場合、反応室の規模にもよるのであるが、一般的に言う
と、加熱体のノズル開口部からのノズル軸線方向長さ
は、通常長くとも500mmであり、好ましくは300
〜50mmであり、更に好ましくは250〜50mmで
あり、円筒体の内径としては大きくとも50mm、好ま
しくは4〜50mm、更に好ましくは10〜30mmで
ある。
れ、その加熱体の一端を開口径5〜25mmのノズルの
開口部に位置させ、あるいは一端をそのノズルの開口部
内に挿入し、加熱体の他端をノズルの開口部前方に延在
させるように配置されるとき、加熱体のノズル開口部か
らのノズル軸線方向長さは、150〜250mmに設計
されるのが好ましい。
の開口部内に装入される棒体に形成される場合、あるい
はこの加熱体がノズルの開口部に装着される円筒体と、
この円筒体内に装入される棒体とからなる場合、棒体の
直径は、ノズルの内径よりも小さな内径あるいは円筒体
の内径よりも小さな内径を有していれば良く、しかしな
がら小さくとも2mmの最低の寸法を維持することが好
ましい。
に、例えば、スリットを有する板状体、網状体、格子状
体、棚状体などを挙げることができる。
ータを有している自己発熱構造の加熱体すなわち自己発
熱型加熱体、および内部に加熱手段を有さず、外部から
輻射熱などにより加熱される外部加熱構造の加熱体すな
わち外部加熱型加熱体のいずれであっても良い。
のいずれであっても、この加熱体は、通常500〜15
00℃、好ましくは700〜1200℃、更に好ましく
は900〜1150℃に維持されるのが好ましい。
00℃、好ましくは800〜1250℃、更に好ましく
は1000〜1200℃である。
り、以下のようにして気相法成長炭素繊維が製造され
る。
る。このとき、原料ガスが加熱体に接触することによ
り、原料ガスを更に加熱し、あるいは原料ガスの気流が
加熱体により変化することにより、加熱炉内で生成する
気相法成長炭素繊維の収量ないし収率が向上する。
施例を、図面を参照しながら、詳細に説明する。なお、
この発明は以下の実施例に限定されるものではない。
素繊維製造装置1は、原料タンク2、原料ポンプ3、気
化器4、第1マスフローコントローラ5、第2マスフロ
ーコントローラ6、注入ノズル7、反応管8、電気炉
9、捕集容器10、整流筒11、加熱体12等を備えて
なる。
縦になるように立設された円筒管状体であり、その上端
部には、反応管8内にキャリヤーガスを導入する配管1
3が接続され、反応管8の下端部には捕集室である捕集
容器10が接続される。
ーラ5が接続され、この第1マスフローコントローラ5
にはキャリヤーガスであるところの、水素ガスおよび窒
素ガスが供給されるようになっている。そして、この第
1マスフローコントローラ5により反応管8に供給され
る水素ガスまたは水素ガスと窒素ガスとの混合物の流量
が調整されるようになっている。
整流筒11が装填され、整流筒11の上端と反応管8の
上端部との間には所定の空間が設けられている。この整
流筒11は、整流筒11の上端と反応管8の上端部との
間に設けられた空間内に供給されたキャリヤーガスを加
熱して整流筒11の下端面から反応管8内にこれを整流
として流通させる機能を有する。この整流筒11は、反
応室内で所定の気流を形成するためのキャリヤーガスを
所定の温度に加熱する機能および反応室内での気流を整
流する機能を有しているのがさらに好ましい。このよう
な機能を十分に発揮させるには、この整流筒11は、ハ
ニカム構造を有しているのが好ましい。ハニカムセル中
のキャリヤーガスが流通する間に、電気炉9により反応
管8を介して加熱されたハニカムセルにキャリヤーガス
が接触することにより、キャリヤーガスが加熱される。
8内に供給するための注入ノズル7が装着され、その注
入ノズル7は前記整流筒11を貫通して注入ノズル7の
先端開口部が整流筒11の下端面に開口している。
管14が接続され、配管14の途中には支管15が分岐
し、その支管15には第2マスフローコントローラ6が
接続され、その第2マスフローコントローラ6には水素
ガスおよび窒素ガスが導入されてこれらの混合ガスの流
量を一定にする。前記配管14には、前記支管15の分
岐位置よりも源流側に、気化器4が接続され、原料ポン
プ3を介して原料タンク2から取り出した原料をガス化
するようになっている。
開口する先端開口部には、一部を前記先端開口部内に挿
入し、大部分を前記先端開口部から下方に延在してなる
加熱体12としてのセラミック製棒体12Aが配置され
る。
この電気炉9は所定温度に発熱するようになっている。
なお、図示されていないが、この電気炉9を制御して電
気炉9の発熱温度を所定温度に維持するように制御装置
が設けられる。
また、捕集容器10内に集積された気相成長炭素繊維を
取り出すことができるように工夫される。そのような工
夫は当業者により容易に考えられることであるから、こ
こでは特に説明を要しない。
よると、以下のようにして気相成長炭素繊維が製造され
る。
を所定温度に加熱する。第1マスフローコントローラ5
により流量の調整された水素ガスまたは水素ガスと窒素
ガスとの混合物である第1キャリヤーガスが配管13を
介して反応管8の上端部から反応管8内に導入される。
第1キャリヤーガスは整流筒11で加熱され、整流筒1
1の下端面から整流となって反応管8内の反応領域へ導
入される。
第1キャリヤーガスが反応領域へ直接に導入されること
により反応領域が冷却されることが防止され、反応領域
における気流速度が気相成長炭素繊維生成に必要な速度
に調整される。
料たとえば遷移金属化合物と有機化合物との混合液が原
料ポンプ3により汲み出されて気化器4で気化され、生
成するガス状混合物は、第2マスフローコントローラ6
により流量の調整された水素ガスまたは水素ガスと窒素
ガスとの混合物と混合されて原料ガスとして、注入ノズ
ル7内に導入される。この原料ガスは、言うまでもな
く、遷移金属化合物と有機化合物とキャリヤーガスとの
混合ガスである。
に、所定温度に予備加熱され、予備加熱された原料ガス
が注入ノズル7の先端開口部から反応管8内の反応領域
に導出される。
ラミック製棒体は、電気炉9から供給される熱により高
温に加熱されている。注入ノズル7の先端開口部から導
出される原料ガスは電気炉9から供給される熱およびセ
ラミック製棒体12Aによる熱によって加熱され、反応
領域内で遷移金属化合物および有機化合物の分解、触媒
金属による気相成長炭素の生成が起こる。生成した気相
成長炭素繊維は、キャリヤーガスにより捕集容器10に
収集される。
置の第2の実施例を示す。
1は、図1に示される気相成長炭素繊維製造装置1にお
けるセラミック製棒体が使用されず、注入ノズル7の先
端開口部は整流筒11の下端面で開口せずに、整流筒1
1の内部で開口し、その注入ノズル7の先端開口部に円
筒形状のセラミック製円筒体12Bが装着され、そのセ
ラミック製円筒体12Bの開口部が整流筒11の下端面
に開口してなることである。
1においては、注入ノズル7に供給された原料ガスは注
入ノズル7内を通過する間に所定温度に予備加熱され、
注入ノズル7からセラミック製円筒体12Bに導入され
た原料ガスはセラミック製円筒体12Bで更に高温に加
熱されて反応領域に導出される。
置の第3の実施例を示す。
1は、図1に示される気相成長炭素繊維製造装置1にお
けるセラミック製棒体が使用されず、注入ノズル7の先
端開口部は整流筒11の下端面で開口せずに、整流筒1
1の内部で開口し、その注入ノズル7の先端開口部に、
円筒形状のセラミック製円筒体12Bと、このセラミッ
ク製円筒体12B内に挿入配置されたセラミック製棒体
12Cとが装着され、そのセラミック製円筒体12Bの
開口部が整流筒11の下端面に開口してなることであ
る。
1においては、注入ノズル7に供給された原料ガスは注
入ノズル7内を通過する間に所定温度に予備加熱され、
注入ノズル7からセラミック製円筒体12Bに導入され
た原料ガスはセラミック製円筒体12Bおよびセラミッ
ク製棒体12Cで更に高温に加熱されて反応領域に導出
される。
て行った実験の結果を表1に示す。なお、反応管8には
内径85mm、長さ2000mmの炭化けい素管を使用
した。
ン98.2重量%、フェロセン1.5重量%およびチオ
フェン0.2重量%よりなる混合物であった。
供給されたベンゼン中に含まれる炭素重量に対する生成
物の重量の割合として計算した。
炉の設定温度を示し、ガス総流量とあるのは反応管内を
流通するガスを標準状態(0℃、1気圧)で表示したも
のであり、そのガスはキャリヤーガス、触媒源となる化
合物および炭素源となる化合物の全てを含む。また、キ
ャリヤーガス体積とあるのは、ノズルおよびノズル以外
から供給されるキャリヤーガスのガス総流量に対する割
合を示し、ノズル内原料濃度とあるのは、ノズルから供
給される原料ガス中の有機遷移金属化合物および有機化
合物の濃度を示す。
れる気相成長炭素繊維製造装置と同様の装置を使用し
て、表1に記載された条件で気相成長炭素繊維を製造し
た。その結果を、表1中で比較例として示した。
て行った実験の結果を表2に示す。なお、反応管8には
内径85mm、長さ2000mmの炭化けい素管を使用
した。
ン98.2重量%、フェロセン1.5重量%およびチオ
フェン0.2重量%よりなる混合物であった。
供給されたベンゼン中に含まれる炭素重量に対する生成
物の重量の割合として計算した。
つき、アルミナ製筒状体はその内径が25mmであり、
炭化けい素製筒状体はその内径が28mmであった。
れる気相成長炭素繊維製造装置と同様の装置を使用し
て、表2に記載された条件で気相成長炭素繊維を製造し
た。その結果を、表2中で比較例として示した。なお、
表2中における電気炉温度、ガス総流量、キャリヤーガ
ス体積、ノズル内原料濃度は前記と同様の意味を表す。
て行った実験の結果を表3に示す。なお、反応管8には
内径85mm、長さ2000mmの炭化けい素管を使用
した。
ン98.2重量%、フェロセン1.5重量%およびチオ
フェン0.2重量%よりなる混合物であった。
供給されたベンゼン中に含まれる炭素重量に対する生成
物の重量の割合として計算した。
体につき、アルミナ製筒状体はその内径が25mmであ
り、炭化けい素製筒状体はその内径が28mmであっ
た。加熱体12の一部であるセラミック製棒体は、アル
ミナ製棒体および黒鉛製棒体であり、いずれも外径4m
mであった。なお、表3中における電気炉温度、ガス総
流量、キャリヤーガス体積、ノズル内原料濃度は前記と
同様の意味を表す。
収率向上を達成することのできる気相成長炭素繊維製造
装置1を提供することができる。
繊維製造装置を示す概略説明図である。
繊維製造装置を示す概略説明図である。
繊維製造装置を示す概略説明図である。
ク、3・・・原料ポンプ、4・・・気化器、5・・・第
1マスフローコントローラ、6・・・第2マスフローコ
ントローラ、7・・・注入ノズル、8・・・反応管、9
・・・電気炉、10・・・捕集容器、11・・・整流
筒、12・・・加熱体、12A・・・セラミック製棒
体、12B・・・セラミック製円筒体、12C・・・セ
ラミック製棒体、13・・・配管、14・・・原料供給
管、15・・・支管、16・・・排気口。
Claims (3)
- 【請求項1】 800〜1300℃に加熱された加熱炉
と、この加熱炉内に配置された反応室と、反応室内に原
料ガスを供給するとともに、有機遷移金属化合物及び有
機化合物が分解せず、しかも反応室内に供給された原料
ガスが迅速に分解する程度に、200〜700℃にされ
たノズルと、このノズルの外周に配置されるとともに、
反応室の内壁にキャリヤーガスを整流として流通させる
整流筒と、前記ノズルから反応室内に供給された原料ガ
スを分解する温度に加熱する加熱体とを備えてなること
を特徴とする気相成長炭素繊維製造装置。 - 【請求項2】 前記加熱体は、前記ノズルの先端に臨
むように配置されてなる前記請求項1に記載の気相成長
炭素繊維製造装置。 - 【請求項3】 前記加熱体は、セラミック製である前記
請求項1又は2に記載の気相法成長炭素繊維製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP00809595A JP3502682B2 (ja) | 1995-01-23 | 1995-01-23 | 気相成長炭素繊維製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP00809595A JP3502682B2 (ja) | 1995-01-23 | 1995-01-23 | 気相成長炭素繊維製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08209456A JPH08209456A (ja) | 1996-08-13 |
JP3502682B2 true JP3502682B2 (ja) | 2004-03-02 |
Family
ID=11683761
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP00809595A Expired - Fee Related JP3502682B2 (ja) | 1995-01-23 | 1995-01-23 | 気相成長炭素繊維製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3502682B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005015339A (ja) * | 2000-04-12 | 2005-01-20 | Showa Denko Kk | 微細炭素繊維及びその製造方法並びに該微細炭素繊維を含む導電性材料 |
-
1995
- 1995-01-23 JP JP00809595A patent/JP3502682B2/ja not_active Expired - Fee Related
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Munehiro Ishioka 他2名,Carbon,1993年,Vol.31 No.1,第123−127頁 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH08209456A (ja) | 1996-08-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2662413B2 (ja) | 気相成長炭素繊維の製造方法 | |
JP3930810B2 (ja) | ナノスケール炭素物質の合成 | |
EP1618234B1 (en) | Method of producing vapor-grown carbon fibers | |
JP5629756B2 (ja) | 連続的に移動する基材上においてカーボン・ナノチューブを製造する装置及び方法 | |
US5413773A (en) | Method for forming carbon filters | |
US20100272891A1 (en) | Apparatus and method for the production of carbon nanotubes on a continuously moving substrate | |
JPS62242B2 (ja) | ||
KR100360686B1 (ko) | 탄소나노튜브 또는 탄소나노섬유 합성용 기상합성장치 및이를 사용한 합성 방법 | |
KR100376202B1 (ko) | 탄소나노튜브 또는 탄소나노섬유 합성용 기상합성 장치 및이를 사용한 합성방법 | |
JP2003201630A (ja) | カーボンナノファイバーの後処理方法及び黒鉛化カーボンナノファイバーの製造方法 | |
Masuda et al. | The liquid pulse injection technique: a new method to obtain long vapor grown carbon fibers at high growth rates | |
JP4693105B2 (ja) | 気相法炭素繊維の製造方法および製造装置 | |
CN114808196A (zh) | 碳纳米管制备装置、其注入组件及碳纳米管制备方法 | |
JP3502682B2 (ja) | 気相成長炭素繊維製造装置 | |
CN115551802B (zh) | 通过浮力诱导的拉伸流动形成cnt丝 | |
JP7510173B2 (ja) | 窒化ホウ素ナノチューブの製造方法および製造装置 | |
CN115340084A (zh) | 一种采用无氢气化学气相沉积制备碳纳米管的方法 | |
JPH09324325A (ja) | 気相成長炭素繊維製造装置 | |
JPS58110493A (ja) | 黒鉛ウイスカ−の製造法 | |
KR20030013351A (ko) | 국부적 가열을 이용한 탄소나노튜브 열분해 합성법 | |
CA2801186A1 (en) | Apparatus and method for the production of carbon nanotubes on a continuously moving substrate | |
JPH0978360A (ja) | 気相成長炭素繊維の製造方法 | |
JP3538474B2 (ja) | 気相成長炭素繊維の連続製造装置および気相成長炭素繊維の連続製造方法 | |
KR101943089B1 (ko) | 탄소나노튜브 얀을 제조하는 장치 | |
JP2999042B2 (ja) | 気相法炭素繊維の製造方法及びその製造方法に使用される気相法炭素繊維製造装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030523 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20031114 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20031208 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D06 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121212 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121212 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141212 Year of fee payment: 11 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |