JP3500111B2 - 位置ずれ検出装置及び分注装置 - Google Patents
位置ずれ検出装置及び分注装置Info
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Description
びそれを備えた分注装置に関する。
に、可動部材としてのノズルを三次元方向に自在に搬送
可能である。すなわち、X移動機構、Y移動機構、Z移
動機構によってノズルが搬送される。各機構には個別的
に駆動源としてのモータ(一般にステッピングモータ
ー)が具備され、そのモータの回転力が搬送作用に転換
される。
不良を生じさせる。よって、分注装置においてはノズル
の位置ずれ検出が重要となる。ノズルに位置ずれが生じ
る要因としては、例えば、モータのトルク不足による脱
調、外力の作用、ノズルなどの可動部材の障害物への衝
突などがあげられる。つまり、モータ駆動時のみならず
モータ非駆動時にも位置ずれが発生する。特開平10−
333751号公報には位置ずれ検出装置が開示されて
いるが、その装置ではモータ非動作時の位置ずれに対処
できない。
ものであり、その目的は、モータの非駆動時においても
位置ずれを検出できるようにすることにある。
単な構成でノズルの位置決め精度を高めることにある。
るために、本発明は、可動部としての分注用のノズルを
搬送するためのモータと、駆動パルスを入力して前記モ
ータに対して駆動信号を出力するドライバと、放射状の
スリットが形成され前記モータの回転軸に取り付けられ
た円盤と、その円盤の両側で発光及び受光を行って検出
パルスを出力する光検出器と、を含む回転検出器と、前
記駆動パルス及び前記検出パルスに従って位置ずれを判
定する位置ずれ判定手段と、を含み、前記位置ずれ判定
手段は、前記検出パルスを入力し、モータ動作時の標準
パルス幅よりも大きいパルス幅をもった検出パルスを通
過させる低域通過特性をもったフィルタと、前記フィル
タを通過した検出パルスに基づいて位置ずれを判定する
判定部と、を含み、モータ非動作時においてノズルの位
置ずれを検出することを特徴とする。
動作時の異常が検出できる。まず、モータの動作時にお
いてモータの安定(適正)動作時に発生する通常の検出
パルスよりも大きなパルス幅をもった検出パルスが生成
された場合には、何らかの異常の発生が推定される。す
なわち、これによれば、モータのトルク不足によりいわ
ゆる脱調が生じた場合にも、モータ動作中に可動部材が
障害物に衝突したような場合にも異常の検出が可能であ
る。さらに、回転検出器からの検出パルスがフィルタに
入力され、低減成分のみが抽出される。フィルタを通過
したパルスに基づいてモータの非動作時における位置ず
れ(エラー)を判定することも可能である。
を通過した検出パルスのカウントし、前記駆動パルスの
入力によりリセットされる第1カウンタと、前記フィル
タを通過した検出パルスを反転させるインバータと、前
記インバータの出力パルスをカウントし、前記駆動パル
スの入力によりリセットされる第2カウンタと、前記第
1カウンタのカウント値及び前記第2カウンタのカウン
ト値に基づいて位置ずれを判定する回路と、を含む。
出パルスをカウントする第1カウンタ及び反転検出パル
スをカウントする第2カウンタが設けられているので、
両カウンタのカウント値から、より高精度に位置ずれを
判定可能である。例えば、両カウンタのカウント値が所
定値を越えた時点で位置ずれを判定するようにしてもよ
い。両カウンタは、駆動パルスの入力によりリセットさ
れるため、上記構成による位置ずれの判定は基本的にモ
ータ非動作時に行われる。
スをカウントし、前記検出パルスの入力によりリセット
される第3カウンタと、前記第3カウンタのカウント値
に基づいて位置ずれを判定する回路と、を含む。
れを判定可能であり、上述の非動作時の位置ずれ判定と
相俟って総合的な位置ずれ判定を実現可能である。
本発明は、可動部としての分注用のノズルを駆動するた
めのモータと、正転駆動パルス及び逆転駆動パルスを入
力して前記モータに対して駆動信号を出力するドライバ
と、前記モータの回転速度に応じた検出パルスを出力す
る回転検出器と、前記正転駆動パルス、前記逆転駆動パ
ルス及び前記検出パルスに従って、モータ動作時の位置
ずれを判定する第1位置ずれ判定手段と、前記正転駆動
パルス、前記逆転駆動パルス及び前記検出パルスに従っ
て、モータ非動作時の位置ずれを判定する第2位置ずれ
判定手段と、を含み、前記第2位置ずれ判定手段は、前
記検出パルスを入力し、モータ動作時の標準パルス幅よ
りも大きいパルス幅をもった検出パルスを通過させる低
域通過特性をもったフィルタと、前記フィルタを通過し
た検出パルスをカウントし、前記正転駆動パルス及び前
記逆転駆動パルスによってリセットされるカウンタC
と、前記フィルタを通過した検出パルスを反転するイン
バータと、前記インバータの出力パルスをカウントし、
前記正転駆動パルス及び前記逆転駆動パルスによってリ
セットされるカウンタDと、前記カウンタCのカウント
値及び前記カウンタDのカウント値に基づいて位置ずれ
を判定する回路と、を含むことを特徴とする。
は、前記正転駆動パルスをカウントし、前記逆転駆動パ
ルス及び前記検出パルスによりリセットされるカウンタ
Aと、前記カウンタAのカウント値に基づいて正転方向
の位置ずれを判定する回路と、前記逆転駆動パルスをカ
ウントし、前記正転駆動パルス及び前記検出パルスによ
りリセットされるカウンタBと、前記カウンタBのカウ
ント値に基づいて逆転方向の位置ずれを判定する回路
と、を含む。
本発明は、ノズルを搬送するためのモータと、駆動パル
スを入力して前記モータに対して駆動信号を出力するド
ライバと、放射状のスリットが形成され前記モータの回
転軸に取り付けられた円盤と、その円盤の両側で発光及
び受光を行って検出パルスを出力する光検出器と、を含
む回転検出器と、前記駆動パルス及び前記検出パルスに
従ってノズルの位置ずれを判定する位置ずれ判定手段
と、を含み、前記位置ずれ判定手段は、前記検出パルス
を入力し、モータ動作時の標準パルス幅よりも大きいパ
ルス幅をもった検出パルスを通過させる低域通過特性を
もったフィルタと、前記フィルタを通過した検出パルス
に基づいてエラーを判定する判定部と、を含むことを特
徴とする。
図面に基づいて説明する。
実施形態が示されており、図1は分注装置の要部構成を
示すブロック図である。
体の吸引及び吐出を行い、これによって液体の分注を行
う装置である。制御部10は、分注装置の全体動作を制
御しており、特にノズルの搬送機構の動作制御を行って
いる。その搬送機構は、大別して、X方向のノズル搬送
を行う搬送機構14Xと、Y方向のノズル搬送を行うY
搬送機構14Yと、Z方向のノズル搬送を行うZ搬送機
構14Z、で構成されている。各搬送機構14X,14
Y,14Zはそれぞれ駆動源としてのモータ16X,1
6Y,16Zを有している。それらの16X,16Y,
16Zはいわゆるステッピングモータである。各モータ
16X,16Y,16Zの回転軸には回転検出器18
X,18Y、18Zが設けられている。
タ駆動パルスとしての正転パルス100Xと逆転パルス
102Xとが選択的に入力されている。ドライバ12X
はそれらの正転パルス100X及び逆転パルス102X
に基づいてモータ16Xに供給する駆動信号104Xを
出力している。この構成はドライバ12Y及びドライバ
12Zについても同様であり、ドライバ12Yには制御
部10から正転パルス100Y及び逆転パルス102Y
が選択的に入力されており、ドライバ12Zには制御部
10から正転パルス100Z及び逆転パルス102Zが
入力されている。そして、ドライバ12Y及びドライバ
12Zはそれぞれモータ16Y及びモータ16Zに対し
て駆動信号104Y及び104Zを出力している。
うに、各搬送機構に対応して位置ずれ検出装置20X,
20Y,20Zが設けられている。これらの位置ずれ検
出装置20X,20Y,20Zは、それぞれ搬送対象で
あるノズルの目標値からの位置ずれあるいは動作エラー
を検出する装置である。それぞれの位置ずれ検出装置2
0X,20Y,20Zには上述した正転パルス及び逆転
パルスが入力されており、また回転検出器18X,18
Y,18Zから出力された検出パルス106X,106
Y,106Zが入力されている。各位置ずれ検出装置2
0X,20Y,20Zは、それらの入力信号に基づいて
位置ずれを判定し、その判定結果を判定信号108X,
108Y,108Zとして制御部10に出力している。
X,18Y,18Zの具体的な構成例が示されており、
以下、回転検出器18Xを代表として説明する。
には発光器72及び受光器74が設けられており、発光
器72で発生した光が円板70に形成されたスリットを
介して受光器74で受光されている。これにより上述し
た検出パルス106Xが出力される。
が示されており、円板70の周縁には複数のスリット7
0Bが形成され、それらを間において複数のブレード7
0Aが形成されている。すなわちそのブレード70Aに
よって光が遮光され、スリット70Bにおいては光が通
過している。したがって、回転検出器の検出パルス10
6Xは円板70の回転速度に依存しており、回転速度が
遅ければそれに応じた幅の大きな検出パルス106Xが
出力されることになる。なお、通常のモータ動作時に
は、標準的なパルス幅をもった検出パルスが出力され
る。
20Xの具体的な構成例が示されている。図1に示した
他の位置ずれ検出装置20Y,20Zも図3に示す構成
と同様の構成を有している。
してカウンタ34のクリア端子に入力されている。また
そのOR回路30には逆転パルス102Xも入力されて
いる。すなわち、カウンタ34は検出パルス106Xま
たは逆転パルス102Xのいずれかが入力された場合に
リセットされる。正転パルス100Xはカウンタ34の
クロック端子に入力されており、カウンタ34は正転パ
ルス100Xのカウントを行う。但し、上述したように
検出パルス106Xまたは逆転パルス102Xが入力さ
れると、そのカウント値はリセットされることになる。
判定器38は、カウンタ34のカウント値が所定値(例
えば100カウント)を上回った場合に位置ずれ検出信
号としてHiを出力する回路である。
ス102Xが入力されており、カウンタ36のクリア端
子にはOR回路32を介して検出パルス106X及び正
転パルス100Xが入力されている。すなわち、カウン
タ36は逆転パルス102Xのカウントを行うが、検出
パルス106Xあるいは正転パルス100Xが入力され
るとそのカウント値がリセットされる。判定器40はカ
ウンタ36のカウント値が所定値(例えば100カウン
ト)を上回った場合に位置ずれ検出信号としてHiを出
力する回路である。
転動作を行っている場合においてはカウンタ34におけ
るカウントが行われるが、それに同期して検出パルス1
06Xも入力されるためカウンタ34は断続的にリセッ
トされ、カウント値が一定値以上に上回ることはない。
これはカウンタ36においても同様であり、モータが逆
転動作を正常に行っている場合には検出パルス106X
によってカウンタ36のカウント値が常に断続的にリセ
ットされるため、そのカウント値が一定値を上回ること
はない。
いは衝突すると、検出パルス106Xの入力がなくなる
ため、カウンタ34あるいはカウンタ36のカウント値
が一定値を上回ることになり、それが判定器38あるい
は判定器40によって検出される。
いわゆる脱調が生じた場合にも検出パルス106Xの周
期が遅くなるため、カウンタ34又はカウンタ36のカ
ウント値が一定値を上回ることになり、その結果、位置
ずれが判定される。
る位置ずれが判定されていたが、本実施形態における位
置ずれ検出装置にはモータ非動作時における位置ずれ検
出機能も備わっている。以下に、これについて説明す
る。
2に入力されている。このローパスフィルタ42は、低
域成分を通過するフィルタであって、通常のモータ動作
時に出力されるパルス幅の検出パルスは通過させず、そ
れよりもパルス幅が大きくなったような場合に検出パル
ス106Xを通過させるものである。よって、このよう
なローパスフィルタ42によれば、例えばモータ動作が
行っていない場合において、ノズルに外的な力が生じた
ような時にそれにより生ずる検出パルスを抽出すること
が可能となる。ローパスフィルタ42を通過した検出パ
ルス106Xはカウンタ48のクロック端子に入力され
ると共に、反転器44を介してカウンタ50のクロック
端子に入力されている。つまり、本実施形態において
は、検出パルス及びその反転パルスの両者をカウント対
象とすることによってより判定精度を高めている。
子にはOR回路46を介して正転パルス100X及び逆
転パルス102Xが入力されており、それらのいずれか
のパルスが入力されるとカウンタ48,50のカウント
値がリセットされることになる。すなわちこのカウンタ
48,50におけるカウントはモータ非動作時になされ
ることになる。
8及びカウンタ50のカウント値が所定値(例えば3カ
ウント)を上回った場合に位置ずれを判定する回路であ
る。位置ずれが判定された場合、位置ずれ判定信号とし
てHiを出力する。AND回路56は、2つの判定器5
2,54からHiが出力された場合に最終的に位置ずれ
を判定し、それをOR回路58に出力している。すなわ
ちこのようなAND条件によって判定精度をより高める
ものである。
に何らかの外的な作用が生じた場合、ローパスフィルタ
42から検出パルスが表れることになり、それがカウン
タ48,50によってカウントされ、カウント値が一定
値上回った時点で位置ずれ判定信号が出力される。一
方、モータの動作中においては例えば回転開始時あるい
は回転停止時にパルス幅の広い検出パルスが生じるが、
たとえそのような検出パルスが発生してもカウンタ4
8,50がリセットされるため、それによる誤判定は生
じない。
40からの出力信号並びにAND回路56からの出力信
号が入力されている。いずれかの信号がHiであればそ
れをフリップフロップ60に出力する。その結果フリッ
プフロップ60にそのHi状態が保持されることにな
り、それが位置ずれ検出信号108Xとして制御部10
に出力される。制御部10はエラー解除信号を出力する
機能を有しており、エラーの確認がなされた後、エラー
解除信号をフリップフロップ60に対して出力してい
る。
周波数としては例えば100Hzに設定することができ
る。もちろん、そのカットオフ周波数を制御部の制御に
よって可変することも可能である。
常のモータ動作時においては、ブレード70Aを光ビー
ムが通過する間、例えば正転パルスあるいは逆転パルス
として10ないし20カウントが計数されるが、図3に
示したカウンタ34及びカウンタ36のカウント値がそ
のような値に到達しても判定条件を適宜設定しておけ
ば、誤判定は生じない。なお、正転パルス及び逆転パル
スは例えば1kHzの周波数をもったパルスである。
る位置ずれ検出装置について説明したが、上記の位置ず
れ検出装置は分注装置以外の可動部を搬送する装置に適
用することが可能である。
モータの非動作時においても位置ずれを検出することが
でき、特に簡易な構成で稼働部の位置決め精度を高める
ことができる。
ック図である。
ある。
成例を示すブロック図である。
4X,14Y,14Z搬送機構、16X,16Y,16
Z モータ、18X,18Y,18Z 回転検出器、2
0X,20Y,20Z 位置ずれ検出装置。
Claims (6)
- 【請求項1】 可動部としての分注用のノズルを搬送す
るためのモータと、 駆動パルスを入力して前記モータに対して駆動信号を出
力するドライバと、 放射状のスリットが形成され前記モータの回転軸に取り
付けられた円盤と、その円盤の両側で発光及び受光を行
って検出パルスを出力する光検出器と、を含む回転検出
器と、 前記駆動パルス及び前記検出パルスに従って位置ずれを
判定する位置ずれ判定手段と、 を含み、 前記位置ずれ判定手段は、 前記検出パルスを入力し、モータ動作時の標準パルス幅
よりも大きいパルス幅をもった検出パルスを通過させる
低域通過特性をもったフィルタと、 前記フィルタを通過した検出パルスに基づいて位置ずれ
を判定する判定部と、 を含み、 モータ非動作時においてノズルの位置ずれを検出する こ
とを特徴とする分注装置用の位置ずれ検出装置。 - 【請求項2】 請求項1記載の装置において、 前記判定部は、 前記フィルタを通過した検出パルスをカウントし、前記
駆動パルスの入力によりリセットされる第1カウンタ
と、 前記フィルタを通過した検出パルスを反転させるインバ
ータと、 前記インバータの出力パルスをカウントし、前記駆動パ
ルスの入力によりリセットされる第2カウンタと、 前記第1カウンタのカウント値及び前記第2カウンタの
カウント値に基づいて位置ずれを判定する回路と、 を含むことを特徴とする分注装置用の位置ずれ検出装
置。 - 【請求項3】 請求項1記載の装置において、 前記判定部は、 前記駆動パルスをカウントし、前記検出パルスの入力に
よりリセットされる第3カウンタと、 前記第3カウンタのカウント値に基づいて位置ずれを判
定する回路と、 を含むことを特徴とする分注装置用の位置ずれ検出装
置。 - 【請求項4】 可動部としての分注用のノズルを駆動す
るためのモータと、 正転駆動パルス及び逆転駆動パルスを入力して前記モー
タに対して駆動信号を出力するドライバと、 前記モータの回転速度に応じた検出パルスを出力する回
転検出器と、 前記正転駆動パルス、前記逆転駆動パルス及び前記検出
パルスに従って、モータ動作時の位置ずれを判定する第
1位置ずれ判定手段と、 前記正転駆動パルス、前記逆転駆動パルス及び前記検出
パルスに従って、モータ非動作時の位置ずれを判定する
第2位置ずれ判定手段と、を含み、 前記第2位置ずれ判定手段は、 前記検出パルスを入力し、モータ動作時の標準パルス幅
よりも大きいパルス幅をもった検出パルスを通過させる
低域通過特性をもったフィルタと、 前記フィルタを通過した検出パルスをカウントし、前記
正転駆動パルス及び前記逆転駆動パルスによってリセッ
トされるカウンタCと、 前記フィルタを通過した検出パルスを反転するインバー
タと、 前記インバータの出力パルスをカウントし、前記正転駆
動パルス及び前記逆転駆動パルスによってリセットされ
るカウンタDと、 前記カウンタCのカウント値及び前記カウンタDのカウ
ント値に基づいて位置ずれを判定する回路と、 を含む ことを特徴とする分注装置用の位置ずれ検出装
置。 - 【請求項5】 請求項4記載の装置において、 前記第1位置ずれ判定手段は、 前記正転駆動パルスをカウントし、前記逆転駆動パルス
及び前記検出パルスによりリセットされるカウンタA
と、 前記カウンタAのカウント値に基づいて正転方向の位置
ずれを判定する回路と、 前記逆転駆動パルスをカウントし、前記正転駆動パルス
及び前記検出パルスによりリセットされるカウンタB
と、 前記カウンタBのカウント値に基づいて逆転方向の位置
ずれを判定する回路と、 を含むことを特徴とする分注装置用の位置ずれ検出装
置。 - 【請求項6】 ノズルを搬送するためのモータと、 駆動パルスを入力して前記モータに対して駆動信号を出
力するドライバと、 放射状のスリットが形成され前記モータの回転軸に取り
付けられた円盤と、その円盤の両側で発光及び受光を行
って検出パルスを出力する光検出器と、を含む回転検出
器と、 前記駆動パルス及び前記検出パルスに従ってノズルの位
置ずれを判定する位置ずれ判定手段と、 を含み、 前記位置ずれ判定手段は、 前記検出パルスを入力し、モータ動作時の標準パルス幅
よりも大きいパルス幅をもった検出パルスを通過させる
低域通過特性をもったフィルタと、 前記フィルタを通過した検出パルスに基づいてエラーを
判定する判定部と、 を含み、 モータ非動作時においてノズルの位置ずれを検出する こ
とを特徴とする分注装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000146031A JP3500111B2 (ja) | 2000-05-18 | 2000-05-18 | 位置ずれ検出装置及び分注装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2000146031A JP3500111B2 (ja) | 2000-05-18 | 2000-05-18 | 位置ずれ検出装置及び分注装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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