JP3498911B2 - 回転型多自由度機構 - Google Patents
回転型多自由度機構Info
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- JP3498911B2 JP3498911B2 JP2000287725A JP2000287725A JP3498911B2 JP 3498911 B2 JP3498911 B2 JP 3498911B2 JP 2000287725 A JP2000287725 A JP 2000287725A JP 2000287725 A JP2000287725 A JP 2000287725A JP 3498911 B2 JP3498911 B2 JP 3498911B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、シリコンウェーフ
ァ、液晶用ガラス基板の目視検査ステージ、監視カメ
ラ、指向性受発信アンテナの台等に好適な、回転型多自
由度機構に関するものである。
ァ、液晶用ガラス基板の目視検査ステージ、監視カメ
ラ、指向性受発信アンテナの台等に好適な、回転型多自
由度機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、１軸の回転機構の出力軸にもう一
組の１軸回転機構の出力軸を直角に配置し後者の出力軸
にテーブルを取り付けた形の２自由度回転機構はよく知
られている。この機構においては、前記２出力軸を回転
させれば、テーブル面を空間の広い範囲に向けることが
できるとしている。
組の１軸回転機構の出力軸を直角に配置し後者の出力軸
にテーブルを取り付けた形の２自由度回転機構はよく知
られている。この機構においては、前記２出力軸を回転
させれば、テーブル面を空間の広い範囲に向けることが
できるとしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな機構では、可動部分の質量が大きくなるので、１軸
目の負担が多く、移動速度に限度があり、また、剛性及
び精度面でも問題がある。本発明は以上のような課題を
改善するために提案されたものであって、軽量、高速、
高精度及び高剛性の回転型多自由度機構を提供すること
を目的とする。
うな機構では、可動部分の質量が大きくなるので、１軸
目の負担が多く、移動速度に限度があり、また、剛性及
び精度面でも問題がある。本発明は以上のような課題を
改善するために提案されたものであって、軽量、高速、
高精度及び高剛性の回転型多自由度機構を提供すること
を目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記した課題を解決する
ために、本発明では、請求項１において、基台に基台を
含む面上で回動自在に回転台を設けて、この回転台上に
固設した支柱と、２自由度回転対偶を介して傾斜可能に
立設した一対の直動アクチュエータとを有し、これら支
柱と一対の直動アクチュエータとは、、前記回転台の回
転中心軸を中心とする同心円上に設けると共に、その一
対の直動アクチュエータは、支柱から互いに等間隔に距
離を設けて、且つ対向させて配置し、前記支柱の上端側
に２自由度回転対偶を介し、且つ、前記一対の直動アク
チュエータの上端側にそれぞれ球面軸受を介して被調節
枠体を、被調節枠体における外側の側部において支持す
るようにし、前記回転台、並びに直動アクチュエータを
組合せ制御動作させることで、被調節枠体を揺動調節す
る構成とした回転型多自由度機構を提案する。また本発
明では、請求項２において、前記支柱を伸縮可能に構成
した回転型多自由度機構を提案する。さらに本発明で
は、請求項３において、前記直動アクチュエータの上端
側と被調節枠体における外側の側部とを連結する球面軸
受は、球面軸受を構成するロッドまたはロッドを旋回自
在に保持するハウジングを前記被調節枠体における外側
の側部外方に突設した回転型多自由度機構を提案する。
ために、本発明では、請求項１において、基台に基台を
含む面上で回動自在に回転台を設けて、この回転台上に
固設した支柱と、２自由度回転対偶を介して傾斜可能に
立設した一対の直動アクチュエータとを有し、これら支
柱と一対の直動アクチュエータとは、、前記回転台の回
転中心軸を中心とする同心円上に設けると共に、その一
対の直動アクチュエータは、支柱から互いに等間隔に距
離を設けて、且つ対向させて配置し、前記支柱の上端側
に２自由度回転対偶を介し、且つ、前記一対の直動アク
チュエータの上端側にそれぞれ球面軸受を介して被調節
枠体を、被調節枠体における外側の側部において支持す
るようにし、前記回転台、並びに直動アクチュエータを
組合せ制御動作させることで、被調節枠体を揺動調節す
る構成とした回転型多自由度機構を提案する。また本発
明では、請求項２において、前記支柱を伸縮可能に構成
した回転型多自由度機構を提案する。さらに本発明で
は、請求項３において、前記直動アクチュエータの上端
側と被調節枠体における外側の側部とを連結する球面軸
受は、球面軸受を構成するロッドまたはロッドを旋回自
在に保持するハウジングを前記被調節枠体における外側
の側部外方に突設した回転型多自由度機構を提案する。
【０００５】請求項１によれば、回転台と一対の傾斜可
能な直動アクチュエータを組合せ制御することで、被調
節枠体は、支柱上端側の２自由度回転対偶を中心に揺動
変位する。なお前記被調節枠体は、支柱の上端側と一対
の直動アクチュエータの上端側とで被調節枠体における
外側の側部において支持することで、球面軸受の有する
高い旋回性能を活かして、被調節枠体の調節可能範囲を
大きくすることができる。しかも、被調節枠体の中央箇
所上下にわたって、大きく空間を確保することができる
ので、シリコンウェーファ、液晶用ガラス基板の目視検
査ステージとして、その他、監視カメラなどの機材機構
部を配置するスペースに利用することができるなど、用
途は広範なものとなる。
能な直動アクチュエータを組合せ制御することで、被調
節枠体は、支柱上端側の２自由度回転対偶を中心に揺動
変位する。なお前記被調節枠体は、支柱の上端側と一対
の直動アクチュエータの上端側とで被調節枠体における
外側の側部において支持することで、球面軸受の有する
高い旋回性能を活かして、被調節枠体の調節可能範囲を
大きくすることができる。しかも、被調節枠体の中央箇
所上下にわたって、大きく空間を確保することができる
ので、シリコンウェーファ、液晶用ガラス基板の目視検
査ステージとして、その他、監視カメラなどの機材機構
部を配置するスペースに利用することができるなど、用
途は広範なものとなる。
【０００６】請求項２によれば、支柱を調節可能な構造
とすればさらに被調節枠体の調節は自在となる。
とすればさらに被調節枠体の調節は自在となる。
【０００７】請求項３によれば、被調節枠体が揺動して
も直動アクチュエータと干渉することを抑制することが
でき、被調節枠体の調節可能範囲を大きくすることがで
きる。
も直動アクチュエータと干渉することを抑制することが
でき、被調節枠体の調節可能範囲を大きくすることがで
きる。
【０００８】
【発明の実施の態様】次に、本発明にかかる回転型多自
由度機構の一つの実施の態様を、添付の図面に基づいて
説明する。図１に回転型多自由度機構１を模式的に示
す。この回転型多自由度機構１は、上面が平担状の基台
２に、回動自在に設けた回転台３を介して固設した支柱
４と、それぞれ２自由度回転対偶である継手手段５，５
を介して取り付けた一対の直動アクチュエータ６，６と
を有し、前記支柱４の上端部に２自由度回転対偶である
継手手段７を介し、また前記一対の直動アクチュエータ
６，６の上端側に、それぞれ３自由度の回転対偶である
球面軸受８，８（図２参照）を介して被調節枠体９を支
持する構成としている。
由度機構の一つの実施の態様を、添付の図面に基づいて
説明する。図１に回転型多自由度機構１を模式的に示
す。この回転型多自由度機構１は、上面が平担状の基台
２に、回動自在に設けた回転台３を介して固設した支柱
４と、それぞれ２自由度回転対偶である継手手段５，５
を介して取り付けた一対の直動アクチュエータ６，６と
を有し、前記支柱４の上端部に２自由度回転対偶である
継手手段７を介し、また前記一対の直動アクチュエータ
６，６の上端側に、それぞれ３自由度の回転対偶である
球面軸受８，８（図２参照）を介して被調節枠体９を支
持する構成としている。
【０００９】前記基台２は方形状中空枠体であり、円形
状の回転台３を基台２上面に形成した円孔１０を介し
て、基台２内部に埋没させている。すなわち、前記回転
台３は、図４に示すように基台２内部空間中心部に、回
転台３の中心軸１１をベアリング１２を介して回動自在
に取り付けると共に、前記中心軸１１を中心とする同心
円上に等間隔に配置した車輪１３により支持する構成と
している。この際、回転台３と基台２の上面は同一高さ
となるようにしている。
状の回転台３を基台２上面に形成した円孔１０を介し
て、基台２内部に埋没させている。すなわち、前記回転
台３は、図４に示すように基台２内部空間中心部に、回
転台３の中心軸１１をベアリング１２を介して回動自在
に取り付けると共に、前記中心軸１１を中心とする同心
円上に等間隔に配置した車輪１３により支持する構成と
している。この際、回転台３と基台２の上面は同一高さ
となるようにしている。
【００１０】 前記回転台３上の支柱４、並びに一対の
直動アクチュエータ６，６は、回転台３を支える車輪１
３を設けた位置に配置している。すなわち、前記支柱４
と一対の直動アクチュエータ６，６とは、前記回転台３
の中心軸１１を中心とする同心円上に設けると共に、そ
の一対の直動アクチュエータ６，６は、支柱４から互い
に等間隔に距離を設けて、且つ対向させて配置してい
る。前記支柱４は、回転台３に対して鉛直状に固設して
おり、直動アクチュエータ６，６を支える継手手段５，
５は、コ型外枠５ａに軸ａ１を中心として揺動可能に中
枠５ｂを取り付けた構成としており、この中枠５ｂに軸
ａ２を中心として揺動可能に直動アクチュエータ６を取
り付けている。前記軸ａ１は、回転台３外周の接線方向
と平行に指向し、軸ａ２は前記軸ａ１に直交している。
直動アクチュエータ６，６は、回転台３を支える車輪１
３を設けた位置に配置している。すなわち、前記支柱４
と一対の直動アクチュエータ６，６とは、前記回転台３
の中心軸１１を中心とする同心円上に設けると共に、そ
の一対の直動アクチュエータ６，６は、支柱４から互い
に等間隔に距離を設けて、且つ対向させて配置してい
る。前記支柱４は、回転台３に対して鉛直状に固設して
おり、直動アクチュエータ６，６を支える継手手段５，
５は、コ型外枠５ａに軸ａ１を中心として揺動可能に中
枠５ｂを取り付けた構成としており、この中枠５ｂに軸
ａ２を中心として揺動可能に直動アクチュエータ６を取
り付けている。前記軸ａ１は、回転台３外周の接線方向
と平行に指向し、軸ａ２は前記軸ａ１に直交している。
【００１１】また前記支柱４上端側の継手手段７は、固
定枠７ａに、回転台３外周の接線方向と平行に指向する
軸ｂ１を中心として揺動可能に揺動部材７ｂを取り付
け、この揺動部材７ｂに、前記軸ｂ１と直交する軸ｂ２
を中心として被調節枠体９を取り付けている。
定枠７ａに、回転台３外周の接線方向と平行に指向する
軸ｂ１を中心として揺動可能に揺動部材７ｂを取り付
け、この揺動部材７ｂに、前記軸ｂ１と直交する軸ｂ２
を中心として被調節枠体９を取り付けている。
【００１２】また前記直動アクチュエータ６は、外支柱
６ａに図示しない機構によって伸縮作動する伸縮支柱６
ｂとを有している（図２参照）。この伸縮支柱６ｂ上端
を前記球面軸受８を介し被調節枠体９における外側の側
部に取り付けている。球面軸受８は、伸縮支柱６ｂ上端
にＬ字型受け具Ｌを介して取り付けたハウジング１４
と、被調節枠体９における外側の側部外方に突設した先
端が球状の先端部１５ａを有するロッド１５とを有し、
前記ハウジング１４内側に形成した球型凹孔１６に、リ
テーナ（図示省略）に保持した多数のボール１７を介
し、ロッド１５の球状先端部１５ａを旋回自在に保持し
ている。
６ａに図示しない機構によって伸縮作動する伸縮支柱６
ｂとを有している（図２参照）。この伸縮支柱６ｂ上端
を前記球面軸受８を介し被調節枠体９における外側の側
部に取り付けている。球面軸受８は、伸縮支柱６ｂ上端
にＬ字型受け具Ｌを介して取り付けたハウジング１４
と、被調節枠体９における外側の側部外方に突設した先
端が球状の先端部１５ａを有するロッド１５とを有し、
前記ハウジング１４内側に形成した球型凹孔１６に、リ
テーナ（図示省略）に保持した多数のボール１７を介
し、ロッド１５の球状先端部１５ａを旋回自在に保持し
ている。
【００１３】なお、球面軸受８の取り付け方は逆でもよ
い。すなわち、図３に示すように前記被調節枠体９にお
ける外側の側部側にハウジング１４を、伸縮支柱６ｂ上
端にＬ字型受け具Ｌ側にロッド１５を突設する構造でも
よい。
い。すなわち、図３に示すように前記被調節枠体９にお
ける外側の側部側にハウジング１４を、伸縮支柱６ｂ上
端にＬ字型受け具Ｌ側にロッド１５を突設する構造でも
よい。
【００１４】前記支柱４上端側の継手手段７と、直動ア
クチュエータ６の伸縮支柱６ｂ上端の球面軸受８は、前
記被調節枠体９における外側の側部中間部に取り付けて
いる。また、以上説明した、基台２における回転台３
は、図示しないコントロール装置のコントロール下に作
動する動力機構により制御する構成とする一方、直動ア
クチュエータ６も同様に、コントロール装置（図示省
略）に設定されたソフトウェアに基づいて動作する構成
とすることができる。
クチュエータ６の伸縮支柱６ｂ上端の球面軸受８は、前
記被調節枠体９における外側の側部中間部に取り付けて
いる。また、以上説明した、基台２における回転台３
は、図示しないコントロール装置のコントロール下に作
動する動力機構により制御する構成とする一方、直動ア
クチュエータ６も同様に、コントロール装置（図示省
略）に設定されたソフトウェアに基づいて動作する構成
とすることができる。
【００１５】以上のように本発明にかかる回転型多自由
度機構１は構成されているので、コントロール装置にお
けるソフトウェアに基づき、回転台３、並びに直動アク
チュエータ６，６を組合せ制御動作させることで、被調
節枠体９を変位調節することができる（図４、図５参
照）。例えば、回転台３のみを回転駆動すれば、被調節
枠体９は、支持姿勢は変わらず、回転台中心部を中心に
被調節枠体９を回転調節することができる。また、一対
の直動アクチュエータ６，６を同方向に同量伸縮駆動さ
せると、直動アクチュエータ６，６は、直動アクチュエ
ータ６，６を支える継手手段５，５の中枠５ｂの軸ａ２
を中心として変位し、この結果、被調節枠体９を、支柱
４上端側の継手手段７における軸ｂ１を中心として変位
調節することができる（図４参照）。
度機構１は構成されているので、コントロール装置にお
けるソフトウェアに基づき、回転台３、並びに直動アク
チュエータ６，６を組合せ制御動作させることで、被調
節枠体９を変位調節することができる（図４、図５参
照）。例えば、回転台３のみを回転駆動すれば、被調節
枠体９は、支持姿勢は変わらず、回転台中心部を中心に
被調節枠体９を回転調節することができる。また、一対
の直動アクチュエータ６，６を同方向に同量伸縮駆動さ
せると、直動アクチュエータ６，６は、直動アクチュエ
ータ６，６を支える継手手段５，５の中枠５ｂの軸ａ２
を中心として変位し、この結果、被調節枠体９を、支柱
４上端側の継手手段７における軸ｂ１を中心として変位
調節することができる（図４参照）。
【００１６】一方、一対の直動アクチュエータ６，６を
逆方向に同量伸縮駆動させると、直動アクチュエータ
６，６は、直動アクチュエータ６，６を支える継手手段
５，５の外枠５ａにおける軸ａ１を中心として互いに逆
側にぶれるように変位し、この結果、前記被調節枠体９
を、支柱４上端側の継手手段７における軸ｂ２を中心と
して変位調節することができる（図５参照）。なお、前
記回転型多自由度機構１の被調節枠体９を図４、図５に
示すように変位調節することができるのは、前記被調節
枠体９は、支柱４の上端側と一対の直動アクチュエータ
６，６の上端側とで外側の側部において支持すること
で、一対の直動アクチュエータ６，６の上端側と被調節
枠体９における外側の側部とが、干渉し合うことはな
く、球面軸受８の有する高い旋回性能を活かすことがで
き、しかも、直動アクチュエータ６，６が、回転台３上
に揺動可能に取り付けたことに帰着する。併せて、前記
被調節枠体９を外側の側部において支持することによ
り、被調節枠体９の中央箇所上下にわたって、大きく空
間を確保することができるので、シリコンウェーファ、
液晶用ガラス基板の目視検査ステージとして、その他、
監視カメラなどの機材機構部を配置するスペースに利用
することができるなど、用途は広範なものとなる。以上
のように、被調節枠体９を、支柱４の上端側と継手手段
７、揺動可能な一対の直動アクチュエータ６，６の上端
側と球面軸受８を介し、外側の側部において支持し、コ
ントロール装置におけるソフトウェアに基づき、回転台
３、並びに直動アクチュエータ６，６を組合せ制御動作
させることで、被調節枠体９を変位調節することができ
るので、これまでのような１軸の回転機構の出力軸にも
う一組の１軸回転機構の出力軸を直角に配置し後者の出
力軸にテーブルを取り付けた形の２自由度回転機構に比
較し、構造が簡単化され、可動部分の質量を減らすこと
ができ、被調節枠体の移動速度、変位調節範囲並びに機
構の剛性及び精度面でも改善することができる。
逆方向に同量伸縮駆動させると、直動アクチュエータ
６，６は、直動アクチュエータ６，６を支える継手手段
５，５の外枠５ａにおける軸ａ１を中心として互いに逆
側にぶれるように変位し、この結果、前記被調節枠体９
を、支柱４上端側の継手手段７における軸ｂ２を中心と
して変位調節することができる（図５参照）。なお、前
記回転型多自由度機構１の被調節枠体９を図４、図５に
示すように変位調節することができるのは、前記被調節
枠体９は、支柱４の上端側と一対の直動アクチュエータ
６，６の上端側とで外側の側部において支持すること
で、一対の直動アクチュエータ６，６の上端側と被調節
枠体９における外側の側部とが、干渉し合うことはな
く、球面軸受８の有する高い旋回性能を活かすことがで
き、しかも、直動アクチュエータ６，６が、回転台３上
に揺動可能に取り付けたことに帰着する。併せて、前記
被調節枠体９を外側の側部において支持することによ
り、被調節枠体９の中央箇所上下にわたって、大きく空
間を確保することができるので、シリコンウェーファ、
液晶用ガラス基板の目視検査ステージとして、その他、
監視カメラなどの機材機構部を配置するスペースに利用
することができるなど、用途は広範なものとなる。以上
のように、被調節枠体９を、支柱４の上端側と継手手段
７、揺動可能な一対の直動アクチュエータ６，６の上端
側と球面軸受８を介し、外側の側部において支持し、コ
ントロール装置におけるソフトウェアに基づき、回転台
３、並びに直動アクチュエータ６，６を組合せ制御動作
させることで、被調節枠体９を変位調節することができ
るので、これまでのような１軸の回転機構の出力軸にも
う一組の１軸回転機構の出力軸を直角に配置し後者の出
力軸にテーブルを取り付けた形の２自由度回転機構に比
較し、構造が簡単化され、可動部分の質量を減らすこと
ができ、被調節枠体の移動速度、変位調節範囲並びに機
構の剛性及び精度面でも改善することができる。
【００１７】このように本発明にかかる回転型多自由度
機構１の一例を挙げ、説明したが、回転台３上に支柱
４、直動アクチュエータ６，６を設けるのではなく、固
定した基台上に設けるようにしてもよい。こうすること
によって機構を一層、簡単化することができる。また、
前記支柱４も伸縮可能に構成することもできる。こうす
ることによって、一層、きめ細かな調節が可能となる。
機構１の一例を挙げ、説明したが、回転台３上に支柱
４、直動アクチュエータ６，６を設けるのではなく、固
定した基台上に設けるようにしてもよい。こうすること
によって機構を一層、簡単化することができる。また、
前記支柱４も伸縮可能に構成することもできる。こうす
ることによって、一層、きめ細かな調節が可能となる。
【００１８】
【発明の効果】本発明によれば、被調節枠体を、回転
台、並びに直動アクチュエータを組合せ制御動作させる
ことで、変位調節する構成としたので、これまでのよう
な１軸の回転機構の出力軸にもう一組の１軸回転機構の
出力軸を直角に配置し後者の出力軸にテーブルを取り付
けた形の２自由度回転機構に比較し、構造が簡単化さ
れ、可動部分の質量を減らすことができるので、移動速
度、並びに剛性及び精度面でも改善することができる。
しかも、前記被調節枠体を、支柱の上端側と一対の直動
アクチュエータの上端側とで外側の側部において支持す
ることで、一対の直動アクチュエータの上端側と被調節
枠体における外側の側部とが、干渉し合うことはなく、
球面軸受の有する高い旋回性能を活かすことができ、し
かも、直動アクチュエータが、回転台（基台）上に揺動
可能に取り付けたことにより、被調節枠体の変位調節範
囲が格段に広がる。併せて、前記被調節枠体を外側の側
部において支持することにより、被調節枠体の中央箇所
上下にわたって、大きく空間を確保することができるの
で、シリコンウェーファ、液晶用ガラス基板の目視検査
ステージとして、その他、監視カメラなどの機材機構部
を配置するスペースに利用することができるなど、用途
は広範なものとなる。
台、並びに直動アクチュエータを組合せ制御動作させる
ことで、変位調節する構成としたので、これまでのよう
な１軸の回転機構の出力軸にもう一組の１軸回転機構の
出力軸を直角に配置し後者の出力軸にテーブルを取り付
けた形の２自由度回転機構に比較し、構造が簡単化さ
れ、可動部分の質量を減らすことができるので、移動速
度、並びに剛性及び精度面でも改善することができる。
しかも、前記被調節枠体を、支柱の上端側と一対の直動
アクチュエータの上端側とで外側の側部において支持す
ることで、一対の直動アクチュエータの上端側と被調節
枠体における外側の側部とが、干渉し合うことはなく、
球面軸受の有する高い旋回性能を活かすことができ、し
かも、直動アクチュエータが、回転台（基台）上に揺動
可能に取り付けたことにより、被調節枠体の変位調節範
囲が格段に広がる。併せて、前記被調節枠体を外側の側
部において支持することにより、被調節枠体の中央箇所
上下にわたって、大きく空間を確保することができるの
で、シリコンウェーファ、液晶用ガラス基板の目視検査
ステージとして、その他、監視カメラなどの機材機構部
を配置するスペースに利用することができるなど、用途
は広範なものとなる。
【００１９】
【図１】本発明にかかる回転型多自由度機構の一つの実
施の形態を示す、省略的、且つ模式的な斜視説明図であ
る。
施の形態を示す、省略的、且つ模式的な斜視説明図であ
る。
【図２】図１に示す回転型多自由度機構において、被調
節枠体を、球面軸受を介して直動アクチュエータにより
支持する構造の、具体的な一例を示した、要部断面説明
図である。
節枠体を、球面軸受を介して直動アクチュエータにより
支持する構造の、具体的な一例を示した、要部断面説明
図である。
【図３】図１に示す回転型多自由度機構において、被調
節枠体を、球面軸受を介して直動アクチュエータにより
支持する構造の、具体的なもう一つの例を示した、要部
断面説明図である。
節枠体を、球面軸受を介して直動アクチュエータにより
支持する構造の、具体的なもう一つの例を示した、要部
断面説明図である。
【図４】本発明にかかる回転型多自由度機構の動作を説
明した、断面説明図である。
明した、断面説明図である。
【図５】本発明にかかる回転型多自由度機構の動作を説
明した、別断面説明図である。
明した、別断面説明図である。
１ 回転型多自由度機構
２ 基台
３ 回転台
４ 固定支柱
５ 継手手段
５ａ 外枠
５ｂ 中枠
６ 直動アクチュエータ
６ａ 外支柱
６ｂ 伸縮支柱
７ 継手手段
７ａ 固定枠
７ｂ 揺動部材
８ 球面軸受
９ 被調節枠体
１０ 円孔
１１ 中心軸
１２ ベアリング
１３ 車輪
１４ ハウジング
１５ ロッド
１５ａ 先端部
１６ 球型凹孔
１７ ボール
Ｌ Ｌ字型受け具
Claims (3)
- 【請求項１】 基台に基台を含む面上で回動自在に回
転台を設けて、この回転台上に固設した支柱と、２自由
度回転対偶を介して傾斜可能に立設した一対の直動アク
チュエータとを有し、これら支柱と一対の直動アクチュ
エータとは、、前記回転台の回転中心軸を中心とする同
心円上に設けると共に、その一対の直動アクチュエータ
は、支柱から互いに等間隔に距離を設けて、且つ対向さ
せて配置し、前記支柱の上端側に２自由度回転対偶を介
し、且つ、前記一対の直動アクチュエータの上端側にそ
れぞれ球面軸受を介して被調節枠体を、被調節枠体にお
ける外側の側部において支持するようにし、前記回転
台、並びに直動アクチュエータを組合せ制御動作させる
ことで、被調節枠体を揺動調節する構成としたことを特
徴とする回転型多自由度機構。 - 【請求項２】 前記支柱を伸縮可能に構成したことを
特徴とする請求項１記載の回転型多自由度機構。 - 【請求項３】 前記直動アクチュエータの上端側と被
調節枠体における外側の側部とを連結する球面軸受は、
球面軸受を構成するロッドまたはロッドを旋回自在に保
持するハウジングを前記被調節枠体における外側の側部
外方に突設したことを特徴とする請求項１、２記載のう
ち、いずれか１記載の回転型多自由度機構。
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|---|---|---|---|
| JP2000287725A JP3498911B2 (ja) | 2000-09-21 | 2000-09-21 | 回転型多自由度機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000287725A JP3498911B2 (ja) | 2000-09-21 | 2000-09-21 | 回転型多自由度機構 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002098784A JP2002098784A (ja) | 2002-04-05 |
| JP3498911B2 true JP3498911B2 (ja) | 2004-02-23 |
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| JP (1) | JP3498911B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
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