JP3488794B2 - 窒化アルミニウム質メタライズ基板およびその製造方法 - Google Patents
窒化アルミニウム質メタライズ基板およびその製造方法Info
- Publication number
- JP3488794B2 JP3488794B2 JP35120296A JP35120296A JP3488794B2 JP 3488794 B2 JP3488794 B2 JP 3488794B2 JP 35120296 A JP35120296 A JP 35120296A JP 35120296 A JP35120296 A JP 35120296A JP 3488794 B2 JP3488794 B2 JP 3488794B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aluminum nitride
- volume
- aluminum
- parts
- metallized
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/009—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
- C04B41/51—Metallising, e.g. infiltration of sintered ceramic preforms with molten metal
- C04B41/5133—Metallising, e.g. infiltration of sintered ceramic preforms with molten metal with a composition mainly composed of one or more of the refractory metals
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/0306—Inorganic insulating substrates, e.g. ceramic, glass
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/09—Use of materials for the conductive, e.g. metallic pattern
- H05K1/092—Dispersed materials, e.g. conductive pastes or inks
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は各種絶縁基板材料や
半導体素子収納用パッケージ材料等に適用されるメタラ
イズ金属層を有する窒化アルミニウム質焼結体、いわゆ
る窒化アルミニウム質メタライズ基板に関するものであ
り、詳細には１７００℃以下で焼結ができる窒化アルミ
ニウム質メタライズ基板およびその製造方法に関するも
のである。
半導体素子収納用パッケージ材料等に適用されるメタラ
イズ金属層を有する窒化アルミニウム質焼結体、いわゆ
る窒化アルミニウム質メタライズ基板に関するものであ
り、詳細には１７００℃以下で焼結ができる窒化アルミ
ニウム質メタライズ基板およびその製造方法に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体素子の高集積化に伴って、
半導体装置からの発生熱が増大化する傾向にあり、これ
によって生じる半導体装置の誤動作をなくすために、放
熱性に優れた基板材料が求められている。
半導体装置からの発生熱が増大化する傾向にあり、これ
によって生じる半導体装置の誤動作をなくすために、放
熱性に優れた基板材料が求められている。
【０００３】各種絶縁基板や半導体素子収納用パッケー
ジには、従来よりアルミナ材が使用されているが、その
熱伝導率は約２０Ｗ／ｍ・Ｋ程度という低い値であるた
めに、これに代わって高熱伝導率の窒化アルミニウム材
が注目されている。
ジには、従来よりアルミナ材が使用されているが、その
熱伝導率は約２０Ｗ／ｍ・Ｋ程度という低い値であるた
めに、これに代わって高熱伝導率の窒化アルミニウム材
が注目されている。
【０００４】この窒化アルミニウム材については、熱伝
導率の理論値が３２０Ｗ／ｍ・Ｋという高い値であるた
めに、それに近づける研究開発の結果、最近では２００
Ｗ／ｍ・Ｋという高い熱伝導率の窒化アルミニウム質焼
結体が得られている。
導率の理論値が３２０Ｗ／ｍ・Ｋという高い値であるた
めに、それに近づける研究開発の結果、最近では２００
Ｗ／ｍ・Ｋという高い熱伝導率の窒化アルミニウム質焼
結体が得られている。
【０００５】かかる窒化アルミニウム質焼結体の製造方
法には、希土類化合物またはアルカリ土類化合物等の焼
結助剤を添加して１８００℃以上の高温で焼成する技術
が提案されている。
法には、希土類化合物またはアルカリ土類化合物等の焼
結助剤を添加して１８００℃以上の高温で焼成する技術
が提案されている。
【０００６】しかしながら、この製造方法においては、
焼成に使用する治具の消耗や、焼成炉の構造、さらにラ
ンニングコスト等を考慮すると製造コストが相当に高く
なるという問題点がある。
焼成に使用する治具の消耗や、焼成炉の構造、さらにラ
ンニングコスト等を考慮すると製造コストが相当に高く
なるという問題点がある。
【０００７】そこで、かかる問題点を解消して製造コス
トを低減させるために、焼結助剤として希土類化合物と
アルカリ土類化合物との双方を添加して１６００〜１７
００℃の温度で焼成する技術が提案されている。加え
て、窒化アルミニウム質基板とタングステン等を主成分
とするメタライズ金属層との同時焼成方法に関して、活
性金属等を添加する方法あるいは焼結助剤として窒化ア
ルミニウム質成分を添加する技術も提案されている。
トを低減させるために、焼結助剤として希土類化合物と
アルカリ土類化合物との双方を添加して１６００〜１７
００℃の温度で焼成する技術が提案されている。加え
て、窒化アルミニウム質基板とタングステン等を主成分
とするメタライズ金属層との同時焼成方法に関して、活
性金属等を添加する方法あるいは焼結助剤として窒化ア
ルミニウム質成分を添加する技術も提案されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】一方、低温による同時
焼成によって窒化アルミニウム質メタライズ基板を作製
する場合には、基板自体が低温焼成可能であるととも
に、メタライズ基板においても低温焼成が可能であるこ
とが要求されている。
焼成によって窒化アルミニウム質メタライズ基板を作製
する場合には、基板自体が低温焼成可能であるととも
に、メタライズ基板においても低温焼成が可能であるこ
とが要求されている。
【０００９】しかしながら、従来のメタライズ組成物は
１８００℃以上の高温焼成に適用されるもので、従来よ
り多用されている。
１８００℃以上の高温焼成に適用されるもので、従来よ
り多用されている。
【００１０】このようなメタライズ組成物に窒化アルミ
ニウム質成分を添加したり、焼結過程で窒化アルミニウ
ムが生成されてしまうと、その窒化アルミニウムが１７
００℃以下の焼成に対して焼結を阻害するように作用
し、また、基材との接合強度が十分に得られないという
問題点があった。
ニウム質成分を添加したり、焼結過程で窒化アルミニウ
ムが生成されてしまうと、その窒化アルミニウムが１７
００℃以下の焼成に対して焼結を阻害するように作用
し、また、基材との接合強度が十分に得られないという
問題点があった。
【００１１】そこで、活性金属の添加により焼結性を向
上させる技術も提案されているが、同時に添加する窒化
アルミニウム質成分が存在するために、焼結性が阻害さ
れ、さらに導体抵抗が上昇する要因ともなっていた。
上させる技術も提案されているが、同時に添加する窒化
アルミニウム質成分が存在するために、焼結性が阻害さ
れ、さらに導体抵抗が上昇する要因ともなっていた。
【００１２】したがって本発明は上記事情に鑑みて完成
されたものであり、その目的は１７００℃以下という低
い温度で窒化アルミニウム質グリーンシートと、その上
に塗布したメタライズペーストとを同時焼成でき、これ
によって得られた窒化アルミニウム質焼結体基板とメタ
ライズ金属層との接合強度を高くして、しかも、低い導
体抵抗を達成した窒化アルミニウム質メタライズ基板お
よびその製造方法を提供することにある。
されたものであり、その目的は１７００℃以下という低
い温度で窒化アルミニウム質グリーンシートと、その上
に塗布したメタライズペーストとを同時焼成でき、これ
によって得られた窒化アルミニウム質焼結体基板とメタ
ライズ金属層との接合強度を高くして、しかも、低い導
体抵抗を達成した窒化アルミニウム質メタライズ基板お
よびその製造方法を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明の窒化アルミニウ
ム質メタライズ基板は、窒化アルミニウム粉末に対し
て、希土類元素酸化物を３〜１０重量％、アルカリ土類
元素酸化物を０．３〜１．５重量％の割合で添加した組
成物を焼成して得られる窒化アルミニウム質焼結体から
なる基板表面に、メタライズ金属層を被着形成してな
り、このメタライズ金属層がタングステンおよび／また
はモリブデンを主成分とし、その主成分１００体積部に
対して、希土類元素を酸化物換算で０．６〜５．０体積
部、アルミニウムを酸化物換算で１０〜６５体積部の割
合で含有するとともに、これら希土類元素およびアルミ
ニウムは上記主成分の粒界に希土類元素酸化物、酸化ア
ルミニウム、もしくはそれらの化合物として存在するこ
とを特徴とする。
ム質メタライズ基板は、窒化アルミニウム粉末に対し
て、希土類元素酸化物を３〜１０重量％、アルカリ土類
元素酸化物を０．３〜１．５重量％の割合で添加した組
成物を焼成して得られる窒化アルミニウム質焼結体から
なる基板表面に、メタライズ金属層を被着形成してな
り、このメタライズ金属層がタングステンおよび／また
はモリブデンを主成分とし、その主成分１００体積部に
対して、希土類元素を酸化物換算で０．６〜５．０体積
部、アルミニウムを酸化物換算で１０〜６５体積部の割
合で含有するとともに、これら希土類元素およびアルミ
ニウムは上記主成分の粒界に希土類元素酸化物、酸化ア
ルミニウム、もしくはそれらの化合物として存在するこ
とを特徴とする。
【００１４】本発明の他の窒化アルミニウム質メタライ
ズ基板は、窒化アルミニウム粉末に対して、希土類元素
酸化物を３〜１０重量％、アルカリ土類元素酸化物を
０．３〜１．５重量％の割合で添加した組成物を焼成し
て得られる窒化アルミニウム質焼結体からなる基板表面
に、メタライズ金属層を被着形成してなり、このメタラ
イズ金属層がタングステンおよび／またはモリブデンを
主成分とし、その主成分１００体積部に対して、アルカ
リ土類元素を酸化物換算で０．５〜３０体積部、アルミ
ニウムを酸化物換算で１０〜６５体積部の割合で含有す
るとともに、これらアルカリ土類元素およびアルミニウ
ムは前記主成分の粒界にアルカリ土類酸化物、酸化アル
ミニウム、もしくはそれらの化合物として存在すること
を特徴とする。
ズ基板は、窒化アルミニウム粉末に対して、希土類元素
酸化物を３〜１０重量％、アルカリ土類元素酸化物を
０．３〜１．５重量％の割合で添加した組成物を焼成し
て得られる窒化アルミニウム質焼結体からなる基板表面
に、メタライズ金属層を被着形成してなり、このメタラ
イズ金属層がタングステンおよび／またはモリブデンを
主成分とし、その主成分１００体積部に対して、アルカ
リ土類元素を酸化物換算で０．５〜３０体積部、アルミ
ニウムを酸化物換算で１０〜６５体積部の割合で含有す
るとともに、これらアルカリ土類元素およびアルミニウ
ムは前記主成分の粒界にアルカリ土類酸化物、酸化アル
ミニウム、もしくはそれらの化合物として存在すること
を特徴とする。
【００１５】本発明のさらに他の窒化アルミニウム質メ
タライズ基板は、上記二つの発明のメタライズ基板にお
いて、メタライズ金属層の接合強度が３Ｋｇｆ以上であ
り、導体抵抗が１５ｍΩ／□以下であることを特徴とす
る。
タライズ基板は、上記二つの発明のメタライズ基板にお
いて、メタライズ金属層の接合強度が３Ｋｇｆ以上であ
り、導体抵抗が１５ｍΩ／□以下であることを特徴とす
る。
【００１６】また、本発明の窒化アルミニウム質メタラ
イズ基板の製造方法は、窒化アルミニウムを主体とする
窒化アルミニウム質グリーンシートを作製し、次いで窒
化アルミニウム質グリーンシート上に下記ＡまたはＢの
成分組成比で、且つ実質上窒化アルミニウムを含有しな
いメタライズペーストを塗布し、しかる後に１７００℃
以下で焼成して窒化アルミニウム質焼結体基板上にメタ
ライズ金属層を形成したことを特徴とする。 Ａ：タングステンおよび／またはモリブデン：１００体積部 酸化アルミニウム ：１０〜６５体積部 希土類酸化物 ：０．６〜５．０体積部 Ｂ：タングステンおよび／またはモリブデン：１００体積部 酸化アルミニウム ：１０〜６５体積部 アルカリ土類酸化物 ：０．５〜３０体積部。
イズ基板の製造方法は、窒化アルミニウムを主体とする
窒化アルミニウム質グリーンシートを作製し、次いで窒
化アルミニウム質グリーンシート上に下記ＡまたはＢの
成分組成比で、且つ実質上窒化アルミニウムを含有しな
いメタライズペーストを塗布し、しかる後に１７００℃
以下で焼成して窒化アルミニウム質焼結体基板上にメタ
ライズ金属層を形成したことを特徴とする。 Ａ：タングステンおよび／またはモリブデン：１００体積部 酸化アルミニウム ：１０〜６５体積部 希土類酸化物 ：０．６〜５．０体積部 Ｂ：タングステンおよび／またはモリブデン：１００体積部 酸化アルミニウム ：１０〜６５体積部 アルカリ土類酸化物 ：０．５〜３０体積部。
【００１７】また、本発明の他の製造方法は、上記窒化
アルミニウム質グリーンシートを直接窒化原料を５０重
量％以上含む窒化アルミニウム原料より作製したことを
特徴とする。
アルミニウム質グリーンシートを直接窒化原料を５０重
量％以上含む窒化アルミニウム原料より作製したことを
特徴とする。
【００１８】
【発明の実施の形態】最初に本発明の窒化アルミニウム
質メタライズ基板について説明する。本発明の窒化アル
ミニウム質メタライズ基板については、窒化アルミニウ
ム粉末に対して、希土類元素酸化物を３〜１０重量％、
アルカリ土類元素酸化物を０．３〜１．５重量％の割合
で添加した組成物を焼成して得られる窒化アルミニウム
質焼結体からなる基板と、その表面に被着形成したタン
グステン（Ｗ）および／またはモリブデン（Ｍｏ）を主
成分としたメタライズ金属層とからなる。
質メタライズ基板について説明する。本発明の窒化アル
ミニウム質メタライズ基板については、窒化アルミニウ
ム粉末に対して、希土類元素酸化物を３〜１０重量％、
アルカリ土類元素酸化物を０．３〜１．５重量％の割合
で添加した組成物を焼成して得られる窒化アルミニウム
質焼結体からなる基板と、その表面に被着形成したタン
グステン（Ｗ）および／またはモリブデン（Ｍｏ）を主
成分としたメタライズ金属層とからなる。
【００１９】そして、このメタライズ金属層中には上記
主成分１００体積部に対して、希土類元素を酸化物換算
で０．６〜５．０体積部、好適には１．０〜３．０体積
部の割合で、アルミニウムを酸化物換算で１０〜６５体
積部、好適には２０〜４０体積部の割合で含有し、これ
ら希土類元素およびアルミニウムは上記主成分の粒界に
希土類元素酸化物、酸化アルミニウム、もしくはそれら
の化合物（希土類元素アルミネート）として存在し、さ
らに実質的に窒化アルミニウムを含まないことを特徴と
する。
主成分１００体積部に対して、希土類元素を酸化物換算
で０．６〜５．０体積部、好適には１．０〜３．０体積
部の割合で、アルミニウムを酸化物換算で１０〜６５体
積部、好適には２０〜４０体積部の割合で含有し、これ
ら希土類元素およびアルミニウムは上記主成分の粒界に
希土類元素酸化物、酸化アルミニウム、もしくはそれら
の化合物（希土類元素アルミネート）として存在し、さ
らに実質的に窒化アルミニウムを含まないことを特徴と
する。
【００２０】アルミニウム酸化物が１０体積部未満の場
合には、焼結性が劣化し、基材との接合強度が低下す
る。他方、６５体積部を越えると導体抵抗が高くなる。
また、希土類元素酸化物が０．６体積部未満の場合に
は、基材への濡れ性が低下し、接合強度が低下し、他
方、５．０体積部を越えると焼結性を阻害し、接合強度
および導体抵抗のそれぞれが劣化する。
合には、焼結性が劣化し、基材との接合強度が低下す
る。他方、６５体積部を越えると導体抵抗が高くなる。
また、希土類元素酸化物が０．６体積部未満の場合に
は、基材への濡れ性が低下し、接合強度が低下し、他
方、５．０体積部を越えると焼結性を阻害し、接合強度
および導体抵抗のそれぞれが劣化する。
【００２１】この希土類酸化物には、Ｅｒ2 Ｏ3 、Ｙ2
Ｏ3 、Ｙｂ2 Ｏ3 、Ｌａ2 Ｏ3 、Ｓｍ2 Ｏ3 、Ｈｏ2 Ｏ
3 、Ｄｙ2 Ｏ3 などがある。
Ｏ3 、Ｙｂ2 Ｏ3 、Ｌａ2 Ｏ3 、Ｓｍ2 Ｏ3 、Ｈｏ2 Ｏ
3 、Ｄｙ2 Ｏ3 などがある。
【００２２】他方の本発明の窒化アルミニウム質メタラ
イズ基板についても、窒化アルミニウム粉末に対して、
希土類元素酸化物を３〜１０重量％、アルカリ土類元素
酸化物を０．３〜１．５重量％の割合で添加した組成物
を焼成して得られる窒化アルミニウム質焼結体からなる
基板と、その表面に被着形成したタングステン（Ｗ）お
よび／またはモリブデン（Ｍｏ）を主成分としたメタラ
イズ金属層とからなり、このメタライズ金属層中には上
記主成分１００体積部に対して、アルカリ土類元素を酸
化物換算で０．５〜３０体積部、好適には１．０〜１０
体積部に、アルミニウムを酸化物換算で１０〜６５体積
部、好適には２０〜４０体積部の割合で含有するととも
に、これらアルカリ土類元素およびアルミニウムは前記
主成分の粒界にアルカリ土類酸化物、酸化アルミニウ
ム、もしくはそれらの化合物（アルカリ土類酸化物アル
ミネート）として存在し、且つ実質的に窒化アルミニウ
ムを含まないことを特徴とする。
イズ基板についても、窒化アルミニウム粉末に対して、
希土類元素酸化物を３〜１０重量％、アルカリ土類元素
酸化物を０．３〜１．５重量％の割合で添加した組成物
を焼成して得られる窒化アルミニウム質焼結体からなる
基板と、その表面に被着形成したタングステン（Ｗ）お
よび／またはモリブデン（Ｍｏ）を主成分としたメタラ
イズ金属層とからなり、このメタライズ金属層中には上
記主成分１００体積部に対して、アルカリ土類元素を酸
化物換算で０．５〜３０体積部、好適には１．０〜１０
体積部に、アルミニウムを酸化物換算で１０〜６５体積
部、好適には２０〜４０体積部の割合で含有するととも
に、これらアルカリ土類元素およびアルミニウムは前記
主成分の粒界にアルカリ土類酸化物、酸化アルミニウ
ム、もしくはそれらの化合物（アルカリ土類酸化物アル
ミネート）として存在し、且つ実質的に窒化アルミニウ
ムを含まないことを特徴とする。
【００２３】アルミニウム酸化物が１０体積部未満の場
合には、焼結性が劣化し、基材との接合強度が低下す
る。他方、６５体積部を越えると導体抵抗が高くなる。
また、アルカリ土類元素酸化物が０．５体積部未満の場
合には、基材への濡れ性が低下し、接合強度が低下し、
他方、３０体積部を越えると焼結性を阻害し、接合強度
および導体抵抗のそれぞれが劣化する。このアルカリ土
類酸化物には、ＣａＯ、ＢａＯ、ＳｒＯなどがある。
合には、焼結性が劣化し、基材との接合強度が低下す
る。他方、６５体積部を越えると導体抵抗が高くなる。
また、アルカリ土類元素酸化物が０．５体積部未満の場
合には、基材への濡れ性が低下し、接合強度が低下し、
他方、３０体積部を越えると焼結性を阻害し、接合強度
および導体抵抗のそれぞれが劣化する。このアルカリ土
類酸化物には、ＣａＯ、ＢａＯ、ＳｒＯなどがある。
【００２４】また、基板を構成する窒化アルミニウム質
焼結体は、とくに１７００℃以下の低温で相対密度９５
％以上まで緻密化可能であることが望ましい。
焼結体は、とくに１７００℃以下の低温で相対密度９５
％以上まで緻密化可能であることが望ましい。
【００２５】なお、この焼結体中には着色成分としてＴ
ｉ、Ｖ、Ｎｂ、Ｗ、Ｍｏなど周期律表第４ａ、５ａ、６
ａ族金属のうち少なくとも１種を酸化物換算で０．０５
〜１重量％の割合で含んでいてもよい。
ｉ、Ｖ、Ｎｂ、Ｗ、Ｍｏなど周期律表第４ａ、５ａ、６
ａ族金属のうち少なくとも１種を酸化物換算で０．０５
〜１重量％の割合で含んでいてもよい。
【００２６】次に本発明の窒化アルミニウム質メタライ
ズ基板の製造方法を詳述する。まず、窒化アルミニウム
質焼結体基板を作製するための窒化アルミニウム質グリ
ーンシートを述べると、その出発原料としては窒化アル
ミニウム粉末、とりわけ直接窒化原料を５０重量％以
上、好適には８０重量％以上含む窒化アルミニウム粉末
を用いる。
ズ基板の製造方法を詳述する。まず、窒化アルミニウム
質焼結体基板を作製するための窒化アルミニウム質グリ
ーンシートを述べると、その出発原料としては窒化アル
ミニウム粉末、とりわけ直接窒化原料を５０重量％以
上、好適には８０重量％以上含む窒化アルミニウム粉末
を用いる。
【００２７】これは、還元窒化法により製造された原料
のみを使用するとメタライズ−基材間の接合強度が安定
しにくい傾向にあるが、これに代わって直接窒化粉を使
用すると、還元窒化粉と比べて粒度分布がブロードであ
り、グリーンシートの表面状態が粗く、メタライズ金属
層とのアンカー作用が強くなるという特徴があり、そこ
で、直接窒化原料を５０重量％以上含む窒化アルミニウ
ム粉末を用いることで、メタライズ−基材間の接合強度
を安定にすることができる。
のみを使用するとメタライズ−基材間の接合強度が安定
しにくい傾向にあるが、これに代わって直接窒化粉を使
用すると、還元窒化粉と比べて粒度分布がブロードであ
り、グリーンシートの表面状態が粗く、メタライズ金属
層とのアンカー作用が強くなるという特徴があり、そこ
で、直接窒化原料を５０重量％以上含む窒化アルミニウ
ム粉末を用いることで、メタライズ−基材間の接合強度
を安定にすることができる。
【００２８】また、上記窒化アルミニウム粉末に対し
て、Ｔｉ、Ｖ、Ｎｂ、Ｗ、Ｍｏなどの周期律表第４ａ、
５ａ、６ａ族のうちの少なくとも１種の金属または化合
物を酸化物換算で０．０５〜１重量％の割合で添加して
もよい。
て、Ｔｉ、Ｖ、Ｎｂ、Ｗ、Ｍｏなどの周期律表第４ａ、
５ａ、６ａ族のうちの少なくとも１種の金属または化合
物を酸化物換算で０．０５〜１重量％の割合で添加して
もよい。
【００２９】上記グリーンシートは上記組成からなる混
合粉末を用いてスラリーを調整し、このスラリーをドク
ターブレード法、カレンダーロール法、圧延法などの手
法によりシート化して作製される。
合粉末を用いてスラリーを調整し、このスラリーをドク
ターブレード法、カレンダーロール法、圧延法などの手
法によりシート化して作製される。
【００３０】また、メタライズ金属層用のメタライズペ
ーストについては、下記ＡまたはＢの成分組成比で且つ
実質上窒化アルミニウムを含有しないメタライズペース
トを使用する。 Ａ：タングステンおよび／またはモリブデン：１００体積部 酸化アルミニウム ：１０〜６５体積部 希土類酸化物 ：０．６〜５．０体積部 Ｂ：タングステンおよび／またはモリブデン：１００体積部 酸化アルミニウム ：１０〜６５体積部 アルカリ土類酸化物 ：０．５〜３０体積部。
ーストについては、下記ＡまたはＢの成分組成比で且つ
実質上窒化アルミニウムを含有しないメタライズペース
トを使用する。 Ａ：タングステンおよび／またはモリブデン：１００体積部 酸化アルミニウム ：１０〜６５体積部 希土類酸化物 ：０．６〜５．０体積部 Ｂ：タングステンおよび／またはモリブデン：１００体積部 酸化アルミニウム ：１０〜６５体積部 アルカリ土類酸化物 ：０．５〜３０体積部。
【００３１】上記のとおり、窒化アルミニウムを含有し
ないメタライズペーストとすることで、１７００℃以下
の焼成に対して、焼結が阻害されなくなり、基材との接
合強度が向上する。
ないメタライズペーストとすることで、１７００℃以下
の焼成に対して、焼結が阻害されなくなり、基材との接
合強度が向上する。
【００３２】また、Ａの成分については、タングステン
（Ｗ）やモリブデン（Ｍｏ）が１００体積部であること
に対して、酸化アルミニウム（Ａｌ2 Ｏ3 ）は１０〜６
５体積部、好適には２０〜４０体積部にするとよく、１
０体積部未満の場合には、焼結性が劣化し、基材との接
合強度が低下する。他方、６５体積部を越えると導体抵
抗が高くなる。
（Ｗ）やモリブデン（Ｍｏ）が１００体積部であること
に対して、酸化アルミニウム（Ａｌ2 Ｏ3 ）は１０〜６
５体積部、好適には２０〜４０体積部にするとよく、１
０体積部未満の場合には、焼結性が劣化し、基材との接
合強度が低下する。他方、６５体積部を越えると導体抵
抗が高くなる。
【００３３】希土類酸化物は０．６〜５．０体積部、好
適には１．０〜３．０体積部にするとよく、０．６体積
部未満の場合には、基材への濡れ性が低下し、接合強度
が低下し、他方、５．０体積部を越えると焼結性を阻害
し、接合強度および導体抵抗のそれぞれが劣化する。
適には１．０〜３．０体積部にするとよく、０．６体積
部未満の場合には、基材への濡れ性が低下し、接合強度
が低下し、他方、５．０体積部を越えると焼結性を阻害
し、接合強度および導体抵抗のそれぞれが劣化する。
【００３４】他方のＢの成分については、タングステン
（Ｗ）やモリブデン（Ｍｏ）が１００体積部であること
に対して、酸化アルミニウム（Ａｌ2 Ｏ3 ）は１０〜６
５体積部、好適には２０〜４０体積部にするとよく、１
０体積部未満の場合には、焼結性が劣化し、基材との接
合強度が低下する。他方、６５体積部を越えると導体抵
抗が高くなる。
（Ｗ）やモリブデン（Ｍｏ）が１００体積部であること
に対して、酸化アルミニウム（Ａｌ2 Ｏ3 ）は１０〜６
５体積部、好適には２０〜４０体積部にするとよく、１
０体積部未満の場合には、焼結性が劣化し、基材との接
合強度が低下する。他方、６５体積部を越えると導体抵
抗が高くなる。
【００３５】また、アルカリ土類酸化物については、
０．５〜３０体積部、好適には１．０〜１０体積部にす
るとよく、０．５体積部未満の場合には、基材への濡れ
性の低下や焼結性の劣化に起因して接合強度が低下す
る。他方、３０体積部を越えると助剤成分が焼結を阻害
し、接合強度および導体抵抗のそれぞれが劣化する。
０．５〜３０体積部、好適には１．０〜１０体積部にす
るとよく、０．５体積部未満の場合には、基材への濡れ
性の低下や焼結性の劣化に起因して接合強度が低下す
る。他方、３０体積部を越えると助剤成分が焼結を阻害
し、接合強度および導体抵抗のそれぞれが劣化する。
【００３６】そして、上記メタライズペーストを窒化ア
ルミニウム質グリーンシート上に塗布し、１７００℃以
下の温度で焼成する。このように従来と比べて低い温度
で焼成することで、焼成用治具の消耗の程度が低くな
り、さらに焼成炉の構造やランニングコスト等も考慮す
ると、製造コストが相当に低減できる。
ルミニウム質グリーンシート上に塗布し、１７００℃以
下の温度で焼成する。このように従来と比べて低い温度
で焼成することで、焼成用治具の消耗の程度が低くな
り、さらに焼成炉の構造やランニングコスト等も考慮す
ると、製造コストが相当に低減できる。
【００３７】また、１７００℃以下の温度で焼成する
と、メタライズ金属層主成分の粒界に希土類元素酸化
物、酸化アルミニウム、もしくはそれらの化合物（希土
類元素アルミネート）として存在し、さらに実質的に窒
化アルミニウムを含まなくなる。あるいは、メタライズ
金属層主成分の粒界にアルカリ土類酸化物、酸化アルミ
ニウム、もしくはそれらの化合物（アルカリ土類酸化物
アルミネート）として存在し、さらに実質的に窒化アル
ミニウムを含まなくなる。しかしながら、１８００℃以
上の温度で焼成すると必然的に酸化アルミニウムが窒化
されてＡｌＮが生成され、メタライズの焼結性が阻害さ
れる。
と、メタライズ金属層主成分の粒界に希土類元素酸化
物、酸化アルミニウム、もしくはそれらの化合物（希土
類元素アルミネート）として存在し、さらに実質的に窒
化アルミニウムを含まなくなる。あるいは、メタライズ
金属層主成分の粒界にアルカリ土類酸化物、酸化アルミ
ニウム、もしくはそれらの化合物（アルカリ土類酸化物
アルミネート）として存在し、さらに実質的に窒化アル
ミニウムを含まなくなる。しかしながら、１８００℃以
上の温度で焼成すると必然的に酸化アルミニウムが窒化
されてＡｌＮが生成され、メタライズの焼結性が阻害さ
れる。
【００３８】かくして得られた窒化アルミニウム質メタ
ライズ基板によれば、窒化アルミニウム質焼結体基板と
メタライズ金属層との接合強度が３Ｋｇｆ以上となり、
メタライズ金属層の導体抵抗が１５ｍΩ／□以下という
値が達成できた。
ライズ基板によれば、窒化アルミニウム質焼結体基板と
メタライズ金属層との接合強度が３Ｋｇｆ以上となり、
メタライズ金属層の導体抵抗が１５ｍΩ／□以下という
値が達成できた。
【００３９】
（例１）窒化アルミニウムが９１．５重量％、酸化エル
ビウム（Ｅｒ2 Ｏ3 ）が８．０重量％、酸化カルシウム
（ＣａＯ）が０．５重量％の比率になるように各粉末を
混合し、アクリル系樹脂をバインダーとして添加し、混
合し、これをドクターブレード法により窒化アルミニウ
ム質グリーンシートを作製した。また、窒化アルミニウ
ムの粉末は、直接窒化粉と還元窒化粉とを組み合わせて
使用した。
ビウム（Ｅｒ2 Ｏ3 ）が８．０重量％、酸化カルシウム
（ＣａＯ）が０．５重量％の比率になるように各粉末を
混合し、アクリル系樹脂をバインダーとして添加し、混
合し、これをドクターブレード法により窒化アルミニウ
ム質グリーンシートを作製した。また、窒化アルミニウ
ムの粉末は、直接窒化粉と還元窒化粉とを組み合わせて
使用した。
【００４０】また、表１および表２に示すようにタング
ステン（Ｗ）もしくはモリブデン（Ｍｏ）と、アルミナ
（Ａｌ2 Ｏ3 ）もしくは窒化アルミニウム（ＡｌＮ）
と、Ｅｒ2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3 、Ｙｂ2 Ｏ3 を混合してメタ
ライズ層用組成物と成し、そして、かかる組成物を混合
粉末１００重量部に対して５重量部のエチルセルロース
および５重量部のフタル酸ジブチルを混合分散させ、こ
れによってメタライズペーストを作製した。そして、こ
のメタライズペーストを３２５メッシュのスクリーンを
通して上記窒化アルミニウム質グリーンシート上に印刷
し、次いでＮ2 とＨ2 との雰囲気中１６５０℃の温度
で、３〜６時間焼成すると、１０μｍの厚さの金属層が
形成された。ただし、試料Ｎｏ．２９については、１７
００℃の温度で焼成した。
ステン（Ｗ）もしくはモリブデン（Ｍｏ）と、アルミナ
（Ａｌ2 Ｏ3 ）もしくは窒化アルミニウム（ＡｌＮ）
と、Ｅｒ2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3 、Ｙｂ2 Ｏ3 を混合してメタ
ライズ層用組成物と成し、そして、かかる組成物を混合
粉末１００重量部に対して５重量部のエチルセルロース
および５重量部のフタル酸ジブチルを混合分散させ、こ
れによってメタライズペーストを作製した。そして、こ
のメタライズペーストを３２５メッシュのスクリーンを
通して上記窒化アルミニウム質グリーンシート上に印刷
し、次いでＮ2 とＨ2 との雰囲気中１６５０℃の温度
で、３〜６時間焼成すると、１０μｍの厚さの金属層が
形成された。ただし、試料Ｎｏ．２９については、１７
００℃の温度で焼成した。
【００４１】
【表１】
【００４２】
【表２】
【００４３】かくして得られたメタライズ基板とメタラ
イズ金属層との接合強度を測定したところ、表１と表２
に示すような結果が得られた。なお、接合強度の測定
は、２．５ｍｍ×２０ｍｍのメタライズ部にリードを銀
ロウ付けし、９０°方向に引き剥がすという方法によっ
た。また、導体抵抗についてはメタライズ厚み１５μ
ｍ、線幅１００μｍのパターンを作製し、４端子法によ
って評価をおこなった。
イズ金属層との接合強度を測定したところ、表１と表２
に示すような結果が得られた。なお、接合強度の測定
は、２．５ｍｍ×２０ｍｍのメタライズ部にリードを銀
ロウ付けし、９０°方向に引き剥がすという方法によっ
た。また、導体抵抗についてはメタライズ厚み１５μ
ｍ、線幅１００μｍのパターンを作製し、４端子法によ
って評価をおこなった。
【００４４】この結果から明らかなとおり、本発明の試
料Ｎｏ．３〜８、１１〜１３、１５、１６、１８〜２
７、３３〜３７については、酸化アルミニウムの含有量
が１０〜６５体積部であり、希土類酸化物の含有量が
０．６〜５体積部であって、接合強度が３ｋｇｆ以上
で、導体抵抗が１５ｍΩ／□以下の特性が達成できた。
料Ｎｏ．３〜８、１１〜１３、１５、１６、１８〜２
７、３３〜３７については、酸化アルミニウムの含有量
が１０〜６５体積部であり、希土類酸化物の含有量が
０．６〜５体積部であって、接合強度が３ｋｇｆ以上
で、導体抵抗が１５ｍΩ／□以下の特性が達成できた。
【００４５】また、これら各本発明の試料については、
メタライズ金属層主成分の粒界には主として酸化アルミ
ニウムが存在し、他の希土類元素酸化物や希土類元素ア
ルミネートが若干量存在し、窒化アルミニウムの生成は
まったく認められなかった。
メタライズ金属層主成分の粒界には主として酸化アルミ
ニウムが存在し、他の希土類元素酸化物や希土類元素ア
ルミネートが若干量存在し、窒化アルミニウムの生成は
まったく認められなかった。
【００４６】（例２）例１と同様に窒化アルミニウム質
グリーンシートを成形し、次いで表３と表４に示すよう
にタングステン（Ｗ）もしくはモリブデン（Ｍｏ）と、
アルミナもしくは窒化アルミニウムと、ＣａＯ、Ｂａ
Ｏ、ＳｒＯを混合してメタライズ層用組成物と成し、そ
して、かかる組成物を混合粉末１００重量部に対して５
重量部のエチルセルロースおよび５重量部のフタル酸ジ
ブチルを混合分散させ、これによってメタライズペース
トを作製した。そして、このメタライズペーストを３２
５メッシュのスクリーンを通して上記窒化アルミニウム
質グリーンシート上に印刷し、次いでＮ2 とＨ2 との雰
囲気中１６５０℃の温度で、３〜６時間焼成すると、１
０μｍの厚さの金属層が形成された。ただし、試料Ｎ
ｏ．６８については、１７００℃の温度で焼成した。
グリーンシートを成形し、次いで表３と表４に示すよう
にタングステン（Ｗ）もしくはモリブデン（Ｍｏ）と、
アルミナもしくは窒化アルミニウムと、ＣａＯ、Ｂａ
Ｏ、ＳｒＯを混合してメタライズ層用組成物と成し、そ
して、かかる組成物を混合粉末１００重量部に対して５
重量部のエチルセルロースおよび５重量部のフタル酸ジ
ブチルを混合分散させ、これによってメタライズペース
トを作製した。そして、このメタライズペーストを３２
５メッシュのスクリーンを通して上記窒化アルミニウム
質グリーンシート上に印刷し、次いでＮ2 とＨ2 との雰
囲気中１６５０℃の温度で、３〜６時間焼成すると、１
０μｍの厚さの金属層が形成された。ただし、試料Ｎ
ｏ．６８については、１７００℃の温度で焼成した。
【００４７】
【表３】
【００４８】
【表４】
【００４９】かくして得られたメタライズ基板とメタラ
イズ金属層との接合強度を測定したところ、表３と表４
に示すような結果が得られた。
イズ金属層との接合強度を測定したところ、表３と表４
に示すような結果が得られた。
【００５０】この結果から明らかなとおり、酸化アルミ
ニウムの含有量が１０〜６５体積部、アルカリ土類酸化
物の含有量が０．５〜３０体積部であれば、接合強度３
ｋｇｆ以上、導体抵抗１５ｍΩ／□以下の特性が達成で
きた。
ニウムの含有量が１０〜６５体積部、アルカリ土類酸化
物の含有量が０．５〜３０体積部であれば、接合強度３
ｋｇｆ以上、導体抵抗１５ｍΩ／□以下の特性が達成で
きた。
【００５１】また、試料Ｎｏ．３８〜４５、５０〜５
３、５７〜６５、７２〜７６については、メタライズ金
属層主成分の粒界には主として酸化アルミニウムが存在
し、わずかにアルカリ土類酸化物アルミネートが存在し
ていた。試料Ｎｏ．４６〜４９、５４〜５６、６６につ
いては、メタライズ金属層主成分の粒界には主として酸
化アルミニウムとアルカリ土類酸化物が存在し、わずか
にアルカリ土類酸化物アルミネートが存在していた。こ
れらのメタライズ金属層中にはいずれも窒化アルミニウ
ムの生成はまったく見られなかった。
３、５７〜６５、７２〜７６については、メタライズ金
属層主成分の粒界には主として酸化アルミニウムが存在
し、わずかにアルカリ土類酸化物アルミネートが存在し
ていた。試料Ｎｏ．４６〜４９、５４〜５６、６６につ
いては、メタライズ金属層主成分の粒界には主として酸
化アルミニウムとアルカリ土類酸化物が存在し、わずか
にアルカリ土類酸化物アルミネートが存在していた。こ
れらのメタライズ金属層中にはいずれも窒化アルミニウ
ムの生成はまったく見られなかった。
【００５２】
【発明の効果】以上のとおり、本発明の窒化アルミニウ
ム質メタライズ基板によれば、窒化アルミニウム粉末に
対して、希土類元素酸化物を３〜１０重量％、アルカリ
土類元素酸化物を０．３〜１．５重量％の割合で添加し
た組成物を焼成して得られる窒化アルミニウム質焼結体
からなる基板に対し、メタライズ金属層がタングステン
および／またはモリブデンを主成分とし、この主成分１
００体積部に対して、希土類元素を酸化物換算で０．６
〜５．０体積部、アルミニウムを酸化物換算で１０〜６
５体積部の割合で含有するとともに、これら希土類元素
およびアルミニウムは主成分の粒界に希土類元素酸化
物、酸化アルミニウム、もしくはそれらの化合物として
存在する構成にしたり、もしくは主成分１００体積部に
対して、アルカリ土類元素を酸化物換算で０．５〜３０
体積部、アルミニウムを酸化物換算で１０〜６５体積部
の割合で含有するとともに、これらアルカリ土類元素お
よびアルミニウムは主成分の粒界にアルカリ土類酸化
物、酸化アルミニウム、もしくはそれらの化合物として
存在する構成にすることで、１７００℃で同時焼成が可
能で、窒化アルミニウム質焼結体基板とメタライズ金属
層との接合強度を高くして接合強度３Ｋｇｆ以上を達成
し、しかも、１５ｍΩ／□以下という低い導体抵抗を達
成した窒化アルミニウム質メタライズ基板が提供でき
た。
ム質メタライズ基板によれば、窒化アルミニウム粉末に
対して、希土類元素酸化物を３〜１０重量％、アルカリ
土類元素酸化物を０．３〜１．５重量％の割合で添加し
た組成物を焼成して得られる窒化アルミニウム質焼結体
からなる基板に対し、メタライズ金属層がタングステン
および／またはモリブデンを主成分とし、この主成分１
００体積部に対して、希土類元素を酸化物換算で０．６
〜５．０体積部、アルミニウムを酸化物換算で１０〜６
５体積部の割合で含有するとともに、これら希土類元素
およびアルミニウムは主成分の粒界に希土類元素酸化
物、酸化アルミニウム、もしくはそれらの化合物として
存在する構成にしたり、もしくは主成分１００体積部に
対して、アルカリ土類元素を酸化物換算で０．５〜３０
体積部、アルミニウムを酸化物換算で１０〜６５体積部
の割合で含有するとともに、これらアルカリ土類元素お
よびアルミニウムは主成分の粒界にアルカリ土類酸化
物、酸化アルミニウム、もしくはそれらの化合物として
存在する構成にすることで、１７００℃で同時焼成が可
能で、窒化アルミニウム質焼結体基板とメタライズ金属
層との接合強度を高くして接合強度３Ｋｇｆ以上を達成
し、しかも、１５ｍΩ／□以下という低い導体抵抗を達
成した窒化アルミニウム質メタライズ基板が提供でき
た。
【００５３】また、本発明の窒化アルミニウム質メタラ
イズ基板の製造方法によれば、窒化アルミニウム粉末に
対して、希土類元素酸化物を３〜１０重量％、アルカリ
土類元素酸化物を０．３〜１．５重量％の割合で添加し
た組成物を主体とする窒化アルミニウム質グリーンシー
トに、タングステンおよび／またはモリブデン：１００
体積部、酸化アルミニウム：１０〜６５体積部、希土類
酸化物：０．６〜５．０体積部の成分組成比で、あるい
はタングステンおよび／またはモリブデン：１００体積
部、酸化アルミニウム：１０〜６５体積部、アルカリ土
類酸化物：０．５〜３０体積部の成分組成比でメタライ
ズペーストを塗布し、しかる後に１７００℃以下で焼成
して窒化アルミニウム質焼結体基板上にメタライズ金属
層を形成したことで、上記のような高い接合強度ならび
に低い導体抵抗を達成できた。
イズ基板の製造方法によれば、窒化アルミニウム粉末に
対して、希土類元素酸化物を３〜１０重量％、アルカリ
土類元素酸化物を０．３〜１．５重量％の割合で添加し
た組成物を主体とする窒化アルミニウム質グリーンシー
トに、タングステンおよび／またはモリブデン：１００
体積部、酸化アルミニウム：１０〜６５体積部、希土類
酸化物：０．６〜５．０体積部の成分組成比で、あるい
はタングステンおよび／またはモリブデン：１００体積
部、酸化アルミニウム：１０〜６５体積部、アルカリ土
類酸化物：０．５〜３０体積部の成分組成比でメタライ
ズペーストを塗布し、しかる後に１７００℃以下で焼成
して窒化アルミニウム質焼結体基板上にメタライズ金属
層を形成したことで、上記のような高い接合強度ならび
に低い導体抵抗を達成できた。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 石田 政信
鹿児島県国分市山下町１番４号 京セラ
株式会社総合研究所内
(56)参考文献 特開 平１−308892（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−287093（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−59374（ＪＰ，Ａ)
特開 昭63−195183（ＪＰ，Ａ)
特開 平１−122984（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−88451（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
C04B 41/80 - 41/91
C04B 35/56 - 35/58
Claims (5)
- 【請求項１】窒化アルミニウム質焼結体からなる基板表
面に、メタライズ金属層を被着形成してなる窒化アルミ
ニウム質メタライズ基板において、前記アルミニウム質
焼結体が、窒化アルミニウム粉末に対して、希土類元素
酸化物を３〜１０重量％、アルカリ土類元素酸化物を
０．３〜１．５重量％の割合で添加した組成物を焼成し
てなり、前記メタライズ金属層がタングステンおよび／
またはモリブデンを主成分とし、該主成分１００体積部
に対して、希土類元素を酸化物換算で０．６〜５．０体
積部、アルミニウムを酸化物換算で１０〜６５体積部の
割合で含有するとともに、これら希土類元素およびアル
ミニウムは前記主成分の粒界に希土類元素酸化物、酸化
アルミニウム、もしくはそれらの化合物として存在する
ことを特徴とする窒化アルミニウム質メタライズ基板。 - 【請求項２】窒化アルミニウム質焼結体からなる基板表
面に、メタライズ金属層を被着形成してなる窒化アルミ
ニウム質メタライズ基板において、前記アルミニウム質
焼結体が、窒化アルミニウム粉末に対して、希土類元素
酸化物を３〜１０重量％、アルカリ土類元素酸化物を
０．３〜１．５重量％の割合で添加した組成物を焼成し
てなり、前記メタライズ金属層がタングステンおよび／
またはモリブデンを主成分とし、該主成分１００体積部
に対して、アルカリ土類元素を酸化物換算で０．５〜３
０体積部、アルミニウムを酸化物換算で１０〜６５体積
部の割合で含有するとともに、これらアルカリ土類元素
およびアルミニウムは前記主成分の粒界にアルカリ土類
酸化物、酸化アルミニウム、もしくはそれらの化合物と
して存在することを特徴とする窒化アルミニウム質メタ
ライズ基板。 - 【請求項３】前記メタライズ金属層の接合強度が３Ｋｇ
ｆ以上であり、導体抵抗が１５ｍΩ／□以下であること
を特徴とする請求項１または請求項２記載の窒化アルミ
ニウム質メタライズ基板。 - 【請求項４】窒化アルミニウム粉末に対して、希土類元
素酸化物を３〜１０重量％、アルカリ土類元素酸化物を
０．３〜１．５重量％の割合で添加した組成物を主体と
する窒化アルミニウム質グリーンシートを作製し、次い
で該窒化アルミニウム質グリーンシート上に下記Ａまた
はＢの成分組成比で、且つ実質上窒化アルミニウムを含
有しないメタライズペーストを塗布し、しかる後に１７
００℃以下で焼成して窒化アルミニウム質焼結体基板上
にメタライズ金属層を形成したことを特徴とする窒化ア
ルミニウム質メタライズ基板の製造方法。 - 【請求項５】前記窒化アルミニウム質グリーンシートを
直接窒化原料を５０重量％以上含む窒化アルミニウム原
料より作製したことを特徴とする請求項４記載の窒化ア
ルミニウム質メタライズ基板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35120296A JP3488794B2 (ja) | 1996-12-27 | 1996-12-27 | 窒化アルミニウム質メタライズ基板およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35120296A JP3488794B2 (ja) | 1996-12-27 | 1996-12-27 | 窒化アルミニウム質メタライズ基板およびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10194875A JPH10194875A (ja) | 1998-07-28 |
| JP3488794B2 true JP3488794B2 (ja) | 2004-01-19 |
Family
ID=18415745
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35120296A Expired - Fee Related JP3488794B2 (ja) | 1996-12-27 | 1996-12-27 | 窒化アルミニウム質メタライズ基板およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3488794B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4570263B2 (ja) * | 2001-02-27 | 2010-10-27 | 京セラ株式会社 | 配線基板 |
| WO2023190484A1 (ja) * | 2022-03-28 | 2023-10-05 | 京セラ株式会社 | セラミック構造体 |
-
1996
- 1996-12-27 JP JP35120296A patent/JP3488794B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10194875A (ja) | 1998-07-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0695732B1 (en) | Metallized ceramic substrate having smooth plating layer and method for producing the same | |
| EP0798781B1 (en) | Silicon nitride circuit board and producing method therefor | |
| EP0290578A1 (en) | TUNGSTEN PASTE FOR SINTERING COMBINED WITH PURE ALUMINA AND PROCESS FOR PRODUCING SAME. | |
| JPH0969672A (ja) | 窒化けい素回路基板 | |
| JP3488794B2 (ja) | 窒化アルミニウム質メタライズ基板およびその製造方法 | |
| JP3537648B2 (ja) | 窒化アルミニウム質配線基板及びその製造方法 | |
| JPH0881267A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体、その製造方法と窒化アルミニウム回路基板、その製造方法 | |
| JP3411140B2 (ja) | メタライズ組成物およびそれを用いた配線基板の製造方法 | |
| JP2000272968A (ja) | 窒化ケイ素焼結体及びその製造方法 | |
| JP3389384B2 (ja) | 窒化アルミニウム質基板 | |
| JP2000114724A (ja) | 多層配線基板 | |
| JP2807429B2 (ja) | 窒化アルミニウム焼結体 | |
| JPH10251069A (ja) | 窒化珪素回路基板及び半導体装置 | |
| JP2784551B2 (ja) | 窒化アルミニウム質基板 | |
| US4963514A (en) | Ceramic mullite-silica glass composite | |
| JP2949296B2 (ja) | 窒化アルミニウム質基板 | |
| JPH0891935A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体、窒化アルミニウム焼結体の製造方法および回路基板 | |
| JPH04285073A (ja) | 窒化アルミニウム質回路基板 | |
| JPH08109069A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体 | |
| JP2620326B2 (ja) | 金属化層を有する窒化アルミニウム焼結体の製造方法 | |
| JPH11274725A (ja) | 多層配線基板およびその製造方法 | |
| JP3895211B2 (ja) | 窒化けい素配線基板の製造方法 | |
| JPH118447A (ja) | 配線基板 | |
| JP3652068B2 (ja) | 配線基板及びその製造方法 | |
| JP3709062B2 (ja) | 窒化アルミニウム質配線基板およびその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071031 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081031 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091031 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101031 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101031 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111031 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121031 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131031 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |