JP3484387B2 - 電気炉 - Google Patents

電気炉

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JP3484387B2
JP3484387B2 JP2000004131A JP2000004131A JP3484387B2 JP 3484387 B2 JP3484387 B2 JP 3484387B2 JP 2000004131 A JP2000004131 A JP 2000004131A JP 2000004131 A JP2000004131 A JP 2000004131A JP 3484387 B2 JP3484387 B2 JP 3484387B2
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【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、高温加熱用の電気
炉に関する。
【0002】
【従来の技術】従来既知の電気炉を図4及び図5に示
す。電気炉40は、内部に円柱形の空間42を形成した
筒状の耐火ボード44と、ヒータ部46とその両端の端
子48とから成るヒータ50とを備える。耐火ボード4
4の空間42内には、螺旋状のヒータ部46が耐火ボー
ド44の壁面に接触して配置され、その両端の端子48
は耐火ボード44の外部に露出させる。その両端の端子
48は図示しないリード線や電源を介して接続されるも
のである。
【0003】ヒータ部46は、一般には二硅化モリブデ
ン(MoSiO2)を主な素材とし、高温になるとその
表面がシリカ(SiO2)等の酸化被膜で覆われるよう
になり、二硅化モリブデンヒータでは高温での酸化消耗
が防止されるようになる。一方、耐火ボード44の主な
素材は一般に、アルミナとシリカとから成る。ヒータ部
46の表面のシリカは、約1500℃以上の高温になる
と軟化溶解するので、その溶解したシリカによってヒー
タ部46と耐火ボード44の接触部が固着する。ヒータ
部46の主素材と耐火ボード44の主素材とは熱膨張率
が異なるので、冷却時には互いにくっついた状態のヒー
タ部46は耐火ボード44に引っ張られて、壊れてしま
うという不具合が発生する。このため、図4や図5に示
す電気炉は、例えば1500℃以上の高温に加熱する電
気炉としては、使用することができなかった。
【0004】1500℃以上の高温に加熱する電気炉に
は、図6及び図7に示すものが用いられている。電気炉
60は主に、内部に円柱状の空間62を形成した筒状の
内側耐火ボード64と、その内側耐火ボード64の外側
に備えられる筒状の外側耐火ボード66と、それら内側
耐火ボード64と外側耐火ボード66の上下に備えられ
る端面耐火部材68並びに下側耐火部材70と、空間6
2内に備えられてその内部に被加熱物(図示せず)を収
容する炉芯管72と、炉芯管72の上側の開閉部材74
と、炉芯管72の下側の開閉部材76と、炉芯管72の
内部を加熱するための多数のヒータ78(図8)とを備
えるものである。なお、図6及び図7において、内側耐
火ボード64とその外側の外側耐火ボード66との2つ
の耐火ボードを示したが、それらを併せて一つの耐火ボ
ードとしても良い。
【0005】ヒータ78は、先端が接続端子としての一
対の柄部80と、それら一対の柄部80を連結するヒー
タ部82とから成る。ヒータ部82は、二硅化モリブデ
ン(MoSiO2)を主な素材とし、高温では表面がシ
リカ(SiO2)等で被膜されるものである。ヒータ7
8において柄部80の断面積は、ヒータ部82の断面積
より3倍以上大きくし、柄部80の抵抗をヒータ部82
の抵抗を充分小さくすることにより、ヒータ部82が約
1500℃以上の高温になっても、柄部80が1000
℃以上の高温に成らないように設定されている。
【0006】各ヒータ78の柄部80は、内側耐火ボー
ド64と外側耐火ボード66とを貫通し、その自由端が
外側耐火ボード66の外側に露出している。外側耐火ボ
ード66の外側に露出した柄部80同士は、図示しない
リード線で順次接続される。一方、ヒータ部82は、空
間62内で炉芯管72の外側に配置され、内側耐火ボー
ド64及び炉芯管72のいずれにも接触しないように設
定される。このように、ヒータ部82を内側耐火ボード
64及び炉芯管72に接触しないようにすることで、ヒ
ータ部82の破損を防止することができ、例えば150
0℃以上の高温での被加熱物の加熱が可能になる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】図6や図7に示すよう
に、ヒータ78を内側耐火ボード64等に接触しないよ
うにした電気炉60では、1個のヒータ78につき2個
の端子としての柄部80が外側耐火ボード66の外側に
露出しており、各柄部80同士をリード線で接続しなけ
ればならず、その接続作業には大変な作業工数を必要と
するという欠点があった。また、内側耐火ボード64及
び外側耐火ボード66を縦方向に多段に組み合わせて縦
方向に長い電気炉を作る際には、リード線の接続処理作
業が更に大変になるという不具合があった。更に、電気
炉60の外面の周囲には高圧電流が流れるリード線で覆
われるため、電気炉付近における作業には危険性が伴
い、電気炉の使用時の作業効率が悪いという欠点があっ
た。その上、耐火ボード64,66には、柄部80を内
部から外部へ引き出すための多数の穴が形成されるた
め、その穴から外部へ熱が漏れて熱効率が悪いという欠
点があった。
【0008】本発明は上記の点に鑑みてなされたもの
で、ヒータの端子同士の接続箇所を耐火ボードの外側に
露出しないようにすることで、端子同士の接続作業を容
易にし、電気炉の外側におけるリード線の数を大幅に減
少させて使用時の作業効率を向上させ、耐火ボードに形
成する穴の数を減らして熱効率を向上させるようにした
電気炉を提供することを目的とするものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の電気炉は、筒状の耐火ボードと、ヒータ部と
その両端の柄部とから成る多数のヒータとを有する電気
炉において、隣り合うヒータの柄部同士を順に連結して
複数のヒータ部を一連に連結し、筒状の耐火ボードの端
面に内部側に両端を開口する複数の非貫通溝及び内部と
外部とを連絡する複数の貫通溝とを形成し、ヒータの柄
部同士の連結箇所を前記非貫通溝に嵌合させて一連のヒ
ータ部を耐火ボードの内部に配置し、一連に連結したヒ
ータの両端の柄部を前記貫通溝に嵌合させてその柄部を
前記耐火ボードの外部に露出させるようにしたものであ
る。
【0010】
【発明の実施の形態】次に本発明を図面に基づいて説明
する。図1は本発明に係る電気炉の一実施形態を示す斜
視図、図2は図1の電気炉の組立て状態を示す要斜視
図、図3は多数のヒータを接続した状態を示す構成図で
ある。本発明の電気炉10は、ヒータ部12とその両端
の端子としての柄部14とから成るヒータ16を多数個
用いる点では図6並びに図7に示す従来例と同じであ
る。しかし、本発明の電気炉10では、隣り合うヒータ
16の柄部14同士を順に連結し、多数のヒータ16を
一連に連結するものである。ヒータ16の柄部14同士
の連結は、図3に示すように、一方のヒータ16の柄部
14と他方のヒータ16の柄部14とを、導電性のある
接続部材18を介して溶接等によって固定する。この柄
部14同士の固定を順次繰り返すことによって、多数の
ヒータ部12を一連に接続した1個のヒータとすること
ができる。この多数のヒータ部12を一連に接続した1
個のヒータでは、両端が端子用の柄部20となるが、そ
の端子用柄部20の長さは前記柄部14の長さより長く
設定する。
【0011】電気炉10の耐火ボード22は内部に空間
を形成した筒状の形状であり、その筒状の耐火ボード2
2の軸方向端面である上面24には、複数個のコの字形
の非貫通溝26と、筒状の内部と外部とを連絡する偶数
個の貫通溝28とが形成されている。コの字形の非貫通
溝26の両端は、内部の空間側に連絡している。即ち、
非貫通溝26は耐火ボード22の外側の外表面には連絡
しないように設定されている。コの字形の非貫通溝26
は、一方のヒータ16の柄部14と他方のヒータ16の
柄部14とを接続部材18で固定した箇所が嵌合できる
形状に設定されている。また、貫通溝28は端子用柄部
20が嵌合できる形状に設定されている。
【0012】図2に示すように、耐火ボード22の上面
24に形成された多数の非貫通溝26に、一対の柄部1
4を接続部材18で固定した箇所を順次嵌合させると共
に、貫通溝28に端子用柄部20を嵌合させる。非貫通
溝26に一対の柄部14を接続部材18で固定した箇所
を嵌合させた状態では、一連のヒータ部12は筒状の耐
火ボード22の内部に配置される。しかも、ヒータ部1
2は耐火ボード22には接触せず、耐火ボード22の内
部に備えられる炉芯管(図6及び図7に示した炉芯管7
2に相当するもの)にも接触しないように設定される。
また、端子用柄部20の自由端は、耐火ボード22の外
側に露出するように,その長さが設定される。
【0013】一対の柄部14と連結部材14とを固定し
た箇所を非貫通溝26に嵌合させると共に端子用柄部2
0を貫通溝28に嵌合させた後、耐火ボード22の上面
24に端面耐火部材30を載せ、耐火ボード24と端面
耐火部材30とを固定する。これによって、非貫通溝2
6と貫通溝28の上面は端面耐火部材30によって覆わ
れ、非貫通溝26は耐火ボード22の内部空間にのみ連
絡し、耐火ボード22の外部とは連絡しないようにな
る。この結果、多数のヒータ部12を耐火ボード22の
内部に備えるが、耐火ボード22の外部には2本の端子
用柄部20が突出することになる。図1では約180度
につき2本の端子用柄部20を備えた状態を示している
が、360度は4本の端子用柄部20を備える。
【0014】なお、前記実施形態では、一方のヒータ1
6の柄部14と他方のヒータ16の柄部14とを接続部
材18を介して固定するとしたが、接続部材18を介さ
ないで柄部14同士をくの字状に直接接続し、更に、耐
火ボード22の上面24に形成する非貫通溝26をくの
字状に形成するようにしても良い。
【0015】
【発明の効果】以上のように、本発明に係わる電気炉に
よれば、多数のヒータの隣り合う端子同士を一連に連結
し、隣り合うヒータ同士の連結部を耐火ボードの厚み内
に収容して外側に露出しないようにしたのもである。こ
れによって、耐火ボードの外部に突出する端子の数を大
幅に減少させることができ、耐火ボードの外部に露出す
る各端子同士をリード線で接続する作業を大幅に減少さ
せることができる。これによって、縦方向に長い多段の
電気炉を製造する場合でも、リード線の接続作業が容易
になる。また、電気炉の外部において接続するリード線
の数が大幅に減少するため、電気炉稼動時の作業の危険
性を減らし、作業効率を向上させることができる。その
上、耐火ボードに形成される端子を引き出すための穴の
数を減少させることができ、それによって従来の熱効率
の悪さを改善することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る電気炉の一実施形態を示す斜視図
である。
【図2】図1の電気炉の組立て状態を示す要斜視図であ
る。
【図3】多数のヒータを接続した状態を示す構成図であ
る。
【図4】従来の電気炉の一例を示す縦断面図である。
【図5】図4の平面図である。
【図6】従来の他の電気炉の一例を示す縦断面図であ
る。
【図7】図6の水平部分断面図である。
【図8】図6並びに図7に用いるヒータの正面図であ
る。
【符号の説明】
10 電気炉 12 ヒータ部 14 柄部 16 ヒータ 18 接続部材 20 端子用柄部 22 耐火ボード 24 上面 26 非貫通溝 28 貫通溝 30 端面耐火部材

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 筒状の耐火ボードと、ヒータ部とその両
    端の柄部とから成る多数のヒータとを有する電気炉にお
    いて、隣り合うヒータの柄部同士を順に連結して複数の
    ヒータ部を一連に連結し、筒状の耐火ボードの端面に内
    部側に両端を開口する複数の非貫通溝及び内部と外部と
    を連絡する複数の貫通溝とを形成し、ヒータの柄部同士
    の連結箇所を前記非貫通溝に嵌合させて一連のヒータ部
    を耐火ボードの内部に配置し、一連に連結したヒータの
    両端の柄部を前記貫通溝に嵌合させてその柄部を前記耐
    火ボードの外部に露出させることを特徴とする電気炉。
  2. 【請求項2】 前記非貫通溝並びに前記貫通溝の上面を
    覆うように前記耐火ボードの端面に端面耐火部材を接触
    させることを特徴とする請求項1記載の電気炉。
  3. 【請求項3】 前記ヒータの柄部同士を導電性の接続部
    材を介して連結することを特徴とする請求項1乃至2記
    載の電気炉。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3924153B2 (ja) * 2001-11-05 2007-06-06 助川電気工業株式会社 炭素ヒータユニット
JP4102239B2 (ja) * 2003-04-03 2008-06-18 日鉱金属株式会社 内壁面に発熱体を備えた炉
JP4646592B2 (ja) * 2003-10-21 2011-03-09 貞徳舎株式会社 電気ヒーター及びこれを備えた炉
JP4885438B2 (ja) * 2003-10-21 2012-02-29 株式会社日立国際電気 基板処理装置並びに基板処理装置用電気ヒーター及びこれを備えた基板処理装置並びに基板処理装置用電気ヒーターにおける発熱体の保持構造及び基板処理装置を用いた半導体装置の製造方法
WO2007023855A1 (ja) * 2005-08-24 2007-03-01 Hitachi Kokusai Electric Inc. 基板処理装置及びこれに用いられる加熱装置並びにこれらを利用した半導体の製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103629927A (zh) * 2013-09-29 2014-03-12 成都易态科技有限公司 材料的烧结生产系统、烧结生产方法及单坯烧结器

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