JP3478117B2 - 真空紫外光透過性の無水・無酸素フッ化アルミニウムガラス - Google Patents
真空紫外光透過性の無水・無酸素フッ化アルミニウムガラスInfo
- Publication number
- JP3478117B2 JP3478117B2 JP06623798A JP6623798A JP3478117B2 JP 3478117 B2 JP3478117 B2 JP 3478117B2 JP 06623798 A JP06623798 A JP 06623798A JP 6623798 A JP6623798 A JP 6623798A JP 3478117 B2 JP3478117 B2 JP 3478117B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- oxygen
- aluminum fluoride
- anhydrous
- transmittance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/32—Non-oxide glass compositions, e.g. binary or ternary halides, sulfides or nitrides of germanium, selenium or tellurium
- C03C3/325—Fluoride glasses
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、波長２００ｎｍ以
下の真空紫外光、具体的には波長１６０ｎｍ以下の光を
透過するフッ化アルミニウムガラスに関するものであ
り、さらに詳しくは、本発明は、上記波長域にある光、
レーザ光に使用されるレンズ、窓部、ミラー、プリズム
等の光学部品を作製するのに好適な真空紫外光透過性フ
ッ化アルミニウムガラスに関するものである。 【０００２】 【従来の技術】近年、半導体の高精度加工技術の発展に
伴い、ＬＳＩ等の半導体素子の高集積化の進展は極めて
著しい。例えば、ＤＲＡＭでは、数年ごとに集積度が飛
躍的に高まる新商品へと世代が変化し、その度に量産化
のための新規技術の導入が必要とされる。そのような半
導体素子の高集積化を可能にしているのは光リソグラフ
ィ技術であり、ウエハ上の回路パターン形成工程におい
て、微細な線幅で描画できる光リソグラフィ技術が適用
される。そして、より高精度な加工技術が要求されるに
伴い、より微細な線幅を形成するために、リソグラフィ
用光源から放出される光の波長もより短波長化の方向に
進んでいる。このように、半導体露光装置に用いられる
光の波長はｇ線（４３５．８ｎｍ）からｉ線（３６５ｎ
ｍ）へ、そして、最近ではさらにレーザー光（波長２４
８ｎｍのＫｒＦエキシマレーザ）へと短波長側へシフト
する傾向にあり、当業界では、それに対応した新しい光
学系、光源、光学材料等の開発が急務の課題となってい
る。 【０００３】すなわち、従来、例えば、６４ＭビットＤ
ＲＡＭでは、波長３６５ｎｍの光を放出する光源が使用
されてきた。また、２５６ＭビットＤＲＡＭでは、波長
２４８ｎｍの光を放出する光源が使用され、また、１Ｇ
ビットＤＲＡＭでは、波長１９３ｎｍの光を放出する光
源が採用され、使用されつつある。そして、さらなる高
集積化が進むにつれ、波長１６０ｎｍ以下の光が使用さ
れる可能性が強い。したがって、上記のような光源の短
波長化に対応するために、光学材料としてのガラスにつ
いても、より短波長の光に対する透過率が高く、また、
光学的均質性が良好なものが強く望まれる。 【０００４】ところで、従来、短波長の領域において、
高い透過性を有するガラス材料として石英ガラスが使用
されている。例えば、波長１９３ｎｍの光に対応する投
影レンズに用いられる光学材料は石英ガラスである。し
かしながら、波長１６０ｎｍ以下の光に対しては、石英
ガラスでは十分な透過率が得られず、実質的に光学材料
として使用することは不可能である。また、他の材料で
は、結晶質であるアルカリハロゲン化物結晶、アルカリ
土類ハロゲン化物結晶が短波長の領域で高い透過性を有
することが知られている。これらのハロゲン化物は、そ
の物質の特性上、例えば、ＣａＦ2 、ＭｇＦ2 の結晶
は、波長１６０ｎｍ以下の光に対して透過率の点で優れ
た特性を有している。しかしながら、単結晶の場合、例
えば、投影レンズとして加工する際には劈開の問題があ
り、高精度な加工が難しいという問題がある。 【０００５】波長２００ｎｍ以下の光に対応するガラス
としては、従来の光学ガラスの中では、上記石英ガラス
の他に、フッ化物ガラスが期待されている。すなわち、
フッ化物ガラスには、紫外線吸収が酸素イオンより短波
長側にあるフッ素が含有されているため、リン酸カルシ
ウム系ガラス、ホウ酸塩系ガラス、ホウケイ酸塩系ガラ
スなどのいわゆる非架橋酸素を減少させた酸化物ガラス
よりも優れた紫外線透過性を有するものとして期待され
ている。従来、上記フッ化物ガラスには、結晶化を防止
し、ガラス形成が安定であるように、ＰＯ2.5 を含有さ
せることが必要であるとの考えが一般的であった。すな
わち、ガラスにＰＯ2.5 を導入して弗燐酸塩ガラスを形
成するのが一般的であった。 【０００６】そのような弗燐酸塩ガラスの例としては、
例えば、短波長域において高い光透過性をもつ弗燐酸塩
ガラスに関するものとして、燐酸含有弗化物ガラスにＢ
ａＣｌ2 を０．５〜１６．５モル％含有させたもの（特
開平２−２８３６３５号公報）が報告されており、さら
に、波長３５０ｎｍ以下の紫外線領域でも十分に高い透
過性を示し、かつ光学的均質性を有する弗燐酸塩ガラス
に関するものとして、燐酸塩ガラスにＯＨイオンを導入
したもの（特開平８−１０４５３８号公報）が報告され
ている。しかしながら、前者では、ガラス化範囲を広げ
るためにガラスに多量の塩素イオン（ＢａＣｌ2 ）を導
入しており、このために３５０ｎｍ以下の紫外線域では
十分な透過性が得られないと考えられる。また、後者で
は、ガラスに水蒸気又は水酸化物の形でＯＨイオンを導
入して、優れた紫外線透過性を有する少量ＯＨドープ弗
燐酸塩ガラスを製造しているが、ガラスに水蒸気、ＯＨ
イオンを導入するとその化学的耐久性が低下し、いわゆ
るダメージを受け易くなると考えられる。また、上記弗
燐酸塩ガラスにはガラス構造の安定化すなわち失透に対
する安定性を高めるために、ガラス形成酸化物としてＰ
Ｏ2.5 が導入されているが、ＰＯ2.5 の導入にはいくつ
かの問題点がある。 【０００７】すなわち、本発明者らの検討したところに
よれば、一般に、弗燐酸塩ガラスにＰＯ2.5 を含有させ
ることには、以下のような問題点があることが判明し
た。 （１）弗燐酸塩ガラスについて、透過率を測定したとこ
ろ、ガラスにＰＯ2.5 を含有させることにより、紫外線
吸収端が長波長側へシフトすることが分かった。すなわ
ち、ＰＯ2.5 含有ガラスでは波長１６０ｎｍ以下の光に
対しては十分な透過率が得られない。 （２）また、ガラスにＰＯ2.5 を含有させることによ
り、フッ化物と酸化物が混在することとなり、ガラスの
密度分布が良好でなくなる可能性がある。 （３）さらに、ガラス内にＯやＯＨが含まれることによ
り、短波長の光によるダメージを受ける可能性がある。 【０００８】 【発明が解決しようとする課題】このような状況の中
で、本発明者らは、上記従来技術に鑑みて、上記のよう
な問題点を回避するために、ガラスにＰＯ2.5 を含有さ
せることをやめ、新たなるガラス安定化のための物質を
含有させることを意図した。そして、鋭意研究を積み重
ねた結果、ガラスをフッ化アルミニウムならびにフッ化
物からなるＢａＦ2−ＣａＦ2 −ＡｌＦ3 の３元系で構
成し、第４成分として、ＰＯ2.5 の代わりにＹＦ3 、Ｓ
ｒＦ2 、ＬａＦ3 のうちのいずれか一つをガラスに含有
させると、ガラスとして安定であり、しかも、より短波
長の光に対する透過率が高く、また、光学的均質性が良
好なガラスを得ることができること、製造技術的にも優
れた利点があることを見出し、本発明を完成するに至っ
た。すなわち、本発明は、ガラスとして安定であり、し
かも、より短波長の光に対する透過率が高く、また、光
学的均質性が良好な真空紫外光透過性フッ化アルミニウ
ムガラスを提供することを目的とするものである。ま
た、本発明は、ガラス製造工程において、ガラス融液を
ゆっくり冷却しても、安定にガラスを形成することが可
能な真空紫外光透過性フッ化アルミニウムガラスを提供
することを目的とするものである。さらに、本発明は、
波長１６０ｎｍ以下の短波長の領域にある光及びレーザ
ー光に使用されるレンズ等の光学部品を作製するのに好
適なフッ化アルミニウムガラスを提供することを目的と
するものである。 【０００９】 【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明においては、以下の構成が採用される。 （１）真空紫外光透過用無水・無酸素フッ化アルミニウ
ムガラスであって、１）ＢａＦ2 、ＣａＦ2 、ＡｌＦ3
の含有モル％比率がａ：ｂ：ｃであり、上記ａの値が１
４．００〜２４．００の範囲、上記ｂの値が２８．２５
〜３８．２５の範囲、及び上記ｃの値が３７．２５〜４
７．２５の範囲、であるガラスである、 ２） さらに、上記ガラスはＹＦ3 、ＳｒＦ2 、ＬａＦ3
のうちのいずれか一つを含み、ＹＦ3 を２．５〜２０．
００モル％、ＳｒＦ2 を２．５〜７．５モル％、及びＬ
ａＦ3 を２．５〜７．５モル％、含む、 ３）Ｃｌ、Ｂｒ又はＩを含まない、 ことを特徴とする真
空紫外光透過性の無水・無酸素フッ化アルミニウムガラ
ス。 【００１０】 【発明の実施の形態】続いて、本発明についてさらに詳
細に説明する。本発明では、前記のように、ガラスをフ
ッ化アルミニウムならびにフッ化物で構成することが必
須の要件であり、さらに、無水・無酸素であることが必
須の要件とされる。すなわち、本発明のガラスは、フッ
化アルミニウムならびにフッ化物で構成されること、そ
して、無水・無酸素であることを特徴としている。ここ
で、上記フッ化物とは、ＡｌＦ3 を除く、ＢａＦ2 、Ｃ
ａＦ2 、及びＹＦ3 、ＳｒＦ2 、ＬａＦ3 の１種以上、
及びそれらと同効の物質を意味するものとして定義され
る。 【００１１】本発明のガラスの構成は、好適には、Ｂａ
Ｆ2 、ＣａＦ2 、ＡｌＦ3 の含有モル％比率がａ：ｂ：
ｃであり、上記ａの値が１４．００〜２４．００の範
囲、上記ｂの値が２８．２５〜３８．２５の範囲、上記
ｃの値が３７．２５〜４７．２５の範囲であるガラスで
あって、さらに、上記ガラスはＹＦ3 、ＳｒＦ2 、Ｌａ
Ｆ3 のうちのいずれか一つを含み、ＹＦ3 を２．５〜２
０．００モル％、ＳｒＦ2 を２．５〜７．５モル％、Ｌ
ａＦ3 を２．５〜７．５モル％含むこと、そして、無水
・無酸素であること、である。ここで、無水・無酸素で
あることとは、ガラスの基本骨格にＯ、ＯＨ等が導入さ
れたものではないこと、すなわち、後記する赤外線吸収
スペクトル（図４）で、それらに相当する吸収がみられ
ないレベルのものであることを意味する。 【００１２】ここで、上記ａ：ｂ：ｃの値は、ＡｌＦ3
を核としてガラス化できる好適な範囲であり、上記ａ：
ｂ：ｃの値が上記の範囲を外れると、ガラスを形成する
ことが難しくなる。ＡｌＦ3 はガラス形成成分として必
須であり、上記範囲外ではガラスが得られにくく、ま
た、ガラスの結晶化傾向を大きくする。ＢａＦ2 、Ｃａ
Ｆ2 も同様に、上記範囲外ではガラスが得られにくい。
上記範囲内において、ＡｌＦ3 は、フッ化アルミニウム
ガラスのガラス骨格を形成する成分として、ガラス形成
の安定化、ガラス構造の安定化、ガラスの光学的特性、
紫外線透過性及び化学的耐久性等のガラスの基本的諸性
質を大きく左右する重要成分である。また、ＢａＦ2 、
ＣａＦ2 は、ガラス形成の安定化、ガラス構造の安定
化、ガラスの耐失透性の向上等に寄与する成分である。 【００１３】また、ＹＦ3 を２．５〜２０．００モル
％、ＳｒＦ2 を２．５〜７．５モル％、及びＬａＦ3 を
２．５〜７．５モル％を含ませることにより安定にガラ
スを形成することできる。上記範囲内において、Ｙ
Ｆ3 、ＳｒＦ2 、ＬａＦ3 は、フッ化アルミニウムガラ
スの安定なガラス化範囲を広げ、ガラス骨格の安定化に
寄与する成分として重要である。通常、例えば、ＹＦ3
自体は安定にガラスを形成するための素材ではない。し
かしながら、ＢａＦ2 、ＣａＦ2 、ＡｌＦ3 からなる３
元系フッ化アルミニウムガラスにＹＦ3 を含有させると
安定にガラスが形成される。これは、以下の理由による
ものと考えられる。フッ化アルミニウムガラスは、下記
のような数個のＡｌ−Ｆ−Ａｌのユニットを形成してい
ると考えられる。 【００１４】 【化１】 【００１５】そして、これにＹＦ3 が添加されると、上
記のようなユニットがさらにＹを介して大きな陰イオン
ネットワークを作り安定化が促進されると考えられる。 【００１６】 【化２】【００１７】上記ユニットは、液体状態で安定である
が、これにＹＦ3 を添加するとさらに大きな陰イオンネ
ットワークが形成され、液体粘度が上昇し、物質移動が
できなくなり、安定なガラス形成が可能になるものと考
えられる。本発明では、ガラス製造工程において、ガラ
ス融液をゆっくり冷却しても安定にガラスが形成される
が、それは、上記ガラス形成のメカニズムによるものと
考えられる。また、本発明のガラスは、上記構成に示さ
れるように、無水・無酸素であることを特徴としてい
る。従来の弗燐酸塩ガラスでは、ＰＯ2.5 を含み、さら
に、ガラスにＯ、ＯＨイオンを導入することで、ガラス
構造中にＰ−Ｏ−Ｒ結合、Ｐ−Ｏ−Ｈ結合を有する。し
かし、それによって、透過率は良くなっても、ガラス構
造中にＯ、ＯＨが分散して含まれることにより、透過
率、屈折率が不均一となり、光学的均質性が低下する可
能性があり、また、紫外線等による化学反応によりＰ−
Ｏ結合が切断され、ＨＦ、Ｈ2 Ｏ等のガス発生の要因と
なり、ガラスの光化学的耐久性が低くなり、透過率が下
がる（着色）、屈折率が変わる等の、いわゆるダメージ
を受け易くなる可能性がある。これに対して、本発明の
ガラスは、前記のように、無水・無酸素であり、ガラス
内にＯやＯＨ、揮発性不純物が存在しないので、そのよ
うな問題はなく、光学的均質性とガラスの光化学的耐久
性が高く、いわゆるダメージの生じにくい長所を有す
る。 【００１８】本発明では、上記ガラスの原料を溶融し、
得られたガラス融液を冷却して目的のガラスが製造され
るが、当該ガラスの製造工程において、ガラス融液をゆ
っくり冷却しても、安定にガラスを形成することができ
る長所がある。本発明では、上記特定のガラス成分を特
定の割合で組み合わせることにより、ガラス製造工程に
おいて、ガラス融液を緩慢に冷却しても、安定にガラス
が形成されるので、ガラス製造時に製品にクラックや割
れの発生がなく、したがって、ガラスの大型化が容易に
可能である。また、ガラスの成分組成を変えることによ
り、透過性の異なる多様なガラスを容易に作製できる。
ガラスの諸特性の中で重要なのは、短波長域における高
紫外線透過性であるが、いくら紫外線透過率が高くて
も、それだけでは実用化は困難であり、実際には、優れ
た高紫外線透過性を有する素材の中から、さらに、ガラ
スの光学的均質性、光化学的安定性・耐久性（低ダメー
ジ性）、透過率・屈折率の均一性、安定なガラス形成、
製造上の簡便性、低コスト性、製品の多様化の容易性な
どの諸要件を全てクリアーしたものがはじめてガラス材
料として使用することが可能となる。すなわち、紫外吸
収端のみを考慮すれば、従来、報告又は各企業から提供
されているシリカガラスで要求は満たされるが、ガラス
内にＯやＯＨ、揮発性不純物が存在すると、それらは光
化学的に不安定の原因（ソーラリゼーション）へとつな
がることになる。本発明のガラスは、前記のように、そ
のような問題がなく、短波長域における高紫外線透過性
及び上記諸要件を共に満たす優れた材料を提供しうる点
で、従来製品にない格別の特徴を有する。 【００１９】本発明のガラスの特性及び製造上の技術的
特徴としては、特に、以下の点が挙げられる。 （１）波長１６０ｎｍ以下の短波長の領域で高い透過性
を有する。 （２）光学的均質性が高い。 （３）光化学的耐久性が高く、いわゆるダメージを受け
にくい。 （４）ガラス製造時に、製品にクラックや割れの発生が
なく、ガラスの大型化が容易に可能である。 （５）ガラス融液を緩慢に冷却しても、安定にガラスが
形成される。 （６）ガラスの成分組成に応じて、透過性の異なる多様
な製品を容易に作製できる。 【００２０】 【実施例】次に、実施例を示して、本発明をさらに具体
的に説明する。しかし、本発明は当該実施例によって何
ら限定されるものではない。 実施例１ （１）ガラスの調製 本実施例では、本発明のフッ化アルミニウムガラスと、
比較のために、弗燐酸塩ガラス、添加成分を変えたフッ
化アルミニウムガラスを調製した。本実施例において調
製したガラス系は、ＢａＦ2 −ＣａＦ2 −ＡｌＦ3 の３
元系に、第４成分としてＰ2 Ｏ5 を添加した弗燐酸塩ガ
ラスと、第４成分としてＹＦ3 、ＳｒＦ2 、ＬａＦ3 、
ＺｒＦ4 、ＩｎＦ3 を添加したフッ化アルミニウムガラ
スである。ここで、ＢａＦ2 −ＣａＦ2 −ＡｌＦ3 の３
元系のみでは安定な測定用ガラス試料が得られなかった
ため、ＢａＦ2 、ＣａＦ2 、ＡｌＦ3 の組成比を１９：
３３：４２カチオン％程度にして第４成分の添加効果を
調べた。表１に本実施例で調製したガラス組成を示す。 【００２１】（２）出発原料 出発原料として、ＢａＦ2 （森田化学工業株式会社製、
昇華精製）、ＣａＦ2（白辰化学研究所製、９９．９９
％）、ＡｌＦ3 （森田化学工業株式会社製、９９．９９
％）、Ｐ2 Ｏ5 （和光純薬工業株式会社製、９８．０
％）、ＹＦ3 （森田化学工業株式会社製、９９．９９
％）、ＳｒＦ2 （白辰化学研究所製、９９．９９％）、
ＬａＦ3 （白辰化学研究所製、９９．９９％）、ＺｒＦ
4 （森田化学工業株式会社製、昇華精製）、ＩｎＦ
3 （フルウチ化学株式会社製、９９．９９９％）を用い
た。 【００２２】（３）方法 所定の組成比に混合したバッチをるつぼを用いて溶融し
た。溶融条件は、８５０〜９５０℃において３０ｍｉｎ
とし、溶融を脱水窒素雰囲気下で行った。これらの融液
をるつぼごと急冷し、ガラス転移温度Ｔｇ付近でアニー
ル後、ガラス試料を得た。得られたガラス試料を厚さ２
±０．０１ｍｍに成形し、両面について鏡面研磨を行
い、真空紫外域及び赤外域透過率測定用試料とした。 【００２３】 【表１】 【００２４】（４）結果 結果を図１〜４に示す。図１は、各種弗燐酸塩ガラスの
真空紫外光透過性の比較、図２は、各種フッ化アルミニ
ウムガラスの真空紫外光透過性の比較、図３は、各種ガ
ラス系及びＣａＦ2 結晶の真空紫外光透過性の比較、そ
して、図４は、弗燐酸塩ガラス系とフッ化アルミニウム
ガラスの赤外吸収スペクトルの比較、をそれぞれ示した
ものである。尚、図中、ＢＣＡは、ＢａＦ2 −ＣａＦ2
−ＡｌＦ3 の３元系を示す。５Ｐ〜２０Ｐは、Ｐ2 Ｏ5
添加、５Ｙ〜１５ＹはＹＦ3 添加、５Ｓ、５Ｌ、５Ｚ、
５Ｉは、ＳｒＦ2 、ＬａＦ3 、ＺｒＦ4 、ＩｎＦ3 添
加、及びそのカチオン％をそれぞれ示す。 【００２５】図１に示されるように、弗燐酸塩ガラスで
は、ＢＣＡ＋２０Ｐを除き、いずれも、短波長域で高い
透過性を有するが、ほぼ同一又は近似の透過曲線を示す
のものに限られていることが分かる。しかし、本発明の
ガラスでは、ＹＦ3 、ＳｒＦ2 、ＬａＦ3 の添加によっ
て、図３に示されるように、波長１６０ｎｍ以下の短波
長域で高い透過性を有し、かつその特性が微妙に異なっ
た多様なものになることが分かる。すなわち、本発明の
ガラスでは、その成分組成に応じて、透過率の異なる多
様なガラス製品を容易に作製することが可能である。高
精度の加工を可能とするより短波長の光に対応した新し
い光学系を構築するには、透過率の異なる多様な製品の
組み合わせが重要であり、かかる観点からも、多様な特
性を有する製品を容易に製造することができる本発明の
ガラスは、従来の製品にない長所を有すると云える。ま
た、図４の赤外線吸収スペクトルに示されるように、弗
燐酸塩ガラス（ＢＣＡ＋５Ｐ）では、ＯＨに基づく水の
吸収がみられるが、フッ化アルミニウムガラス（ＢＣＡ
＋５ＲＦｎ、Ｒ＝Ｙ，Ｓｒ，Ｌａ，Ｚｒ，Ｉｎ）では、
そのような水の吸収は全くみられず、本発明のガラス
が、ガラスの基本骨格上、無水・無酸素のものであるこ
とが分かる。尚、Ｏ、ＯＨに基づく吸収は、ＹＦ3 等の
種類及び添加量に関係しない、ガラスの基本骨格に基づ
くものであり、同様に実施した他の実施例においても同
様の結果が得られた。 【００２６】 【発明の効果】以上詳述したように、本発明は、フッ化
アルミニウムならびにフッ化物で構成され、無水・無酸
素としたことを特徴とする真空紫外光透過性の無水・無
酸素フッ化アルミニウムガラスに係るものであり、本発
明によれば、特に、以下のような効果が奏される。 （１）波長１６０ｎｍ以下の短波長域で高い紫外線透過
性を有する。 （２）光学的均質性が高い。 （３）従来品のようなＯ、ＯＨ基に基づく化学的耐久性
の低下がなく、いわゆるダメージの生じる可能性が低
い。 （４）製造時に、ゆっくり冷却しても安定にガラスが形
成され、クラックや割れの発生がない。 （５）大型化が容易である。 （６）ガラスの成分組成に応じて、多様な透過率特性を
持った製品を容易に作製できる。
下の真空紫外光、具体的には波長１６０ｎｍ以下の光を
透過するフッ化アルミニウムガラスに関するものであ
り、さらに詳しくは、本発明は、上記波長域にある光、
レーザ光に使用されるレンズ、窓部、ミラー、プリズム
等の光学部品を作製するのに好適な真空紫外光透過性フ
ッ化アルミニウムガラスに関するものである。 【０００２】 【従来の技術】近年、半導体の高精度加工技術の発展に
伴い、ＬＳＩ等の半導体素子の高集積化の進展は極めて
著しい。例えば、ＤＲＡＭでは、数年ごとに集積度が飛
躍的に高まる新商品へと世代が変化し、その度に量産化
のための新規技術の導入が必要とされる。そのような半
導体素子の高集積化を可能にしているのは光リソグラフ
ィ技術であり、ウエハ上の回路パターン形成工程におい
て、微細な線幅で描画できる光リソグラフィ技術が適用
される。そして、より高精度な加工技術が要求されるに
伴い、より微細な線幅を形成するために、リソグラフィ
用光源から放出される光の波長もより短波長化の方向に
進んでいる。このように、半導体露光装置に用いられる
光の波長はｇ線（４３５．８ｎｍ）からｉ線（３６５ｎ
ｍ）へ、そして、最近ではさらにレーザー光（波長２４
８ｎｍのＫｒＦエキシマレーザ）へと短波長側へシフト
する傾向にあり、当業界では、それに対応した新しい光
学系、光源、光学材料等の開発が急務の課題となってい
る。 【０００３】すなわち、従来、例えば、６４ＭビットＤ
ＲＡＭでは、波長３６５ｎｍの光を放出する光源が使用
されてきた。また、２５６ＭビットＤＲＡＭでは、波長
２４８ｎｍの光を放出する光源が使用され、また、１Ｇ
ビットＤＲＡＭでは、波長１９３ｎｍの光を放出する光
源が採用され、使用されつつある。そして、さらなる高
集積化が進むにつれ、波長１６０ｎｍ以下の光が使用さ
れる可能性が強い。したがって、上記のような光源の短
波長化に対応するために、光学材料としてのガラスにつ
いても、より短波長の光に対する透過率が高く、また、
光学的均質性が良好なものが強く望まれる。 【０００４】ところで、従来、短波長の領域において、
高い透過性を有するガラス材料として石英ガラスが使用
されている。例えば、波長１９３ｎｍの光に対応する投
影レンズに用いられる光学材料は石英ガラスである。し
かしながら、波長１６０ｎｍ以下の光に対しては、石英
ガラスでは十分な透過率が得られず、実質的に光学材料
として使用することは不可能である。また、他の材料で
は、結晶質であるアルカリハロゲン化物結晶、アルカリ
土類ハロゲン化物結晶が短波長の領域で高い透過性を有
することが知られている。これらのハロゲン化物は、そ
の物質の特性上、例えば、ＣａＦ2 、ＭｇＦ2 の結晶
は、波長１６０ｎｍ以下の光に対して透過率の点で優れ
た特性を有している。しかしながら、単結晶の場合、例
えば、投影レンズとして加工する際には劈開の問題があ
り、高精度な加工が難しいという問題がある。 【０００５】波長２００ｎｍ以下の光に対応するガラス
としては、従来の光学ガラスの中では、上記石英ガラス
の他に、フッ化物ガラスが期待されている。すなわち、
フッ化物ガラスには、紫外線吸収が酸素イオンより短波
長側にあるフッ素が含有されているため、リン酸カルシ
ウム系ガラス、ホウ酸塩系ガラス、ホウケイ酸塩系ガラ
スなどのいわゆる非架橋酸素を減少させた酸化物ガラス
よりも優れた紫外線透過性を有するものとして期待され
ている。従来、上記フッ化物ガラスには、結晶化を防止
し、ガラス形成が安定であるように、ＰＯ2.5 を含有さ
せることが必要であるとの考えが一般的であった。すな
わち、ガラスにＰＯ2.5 を導入して弗燐酸塩ガラスを形
成するのが一般的であった。 【０００６】そのような弗燐酸塩ガラスの例としては、
例えば、短波長域において高い光透過性をもつ弗燐酸塩
ガラスに関するものとして、燐酸含有弗化物ガラスにＢ
ａＣｌ2 を０．５〜１６．５モル％含有させたもの（特
開平２−２８３６３５号公報）が報告されており、さら
に、波長３５０ｎｍ以下の紫外線領域でも十分に高い透
過性を示し、かつ光学的均質性を有する弗燐酸塩ガラス
に関するものとして、燐酸塩ガラスにＯＨイオンを導入
したもの（特開平８−１０４５３８号公報）が報告され
ている。しかしながら、前者では、ガラス化範囲を広げ
るためにガラスに多量の塩素イオン（ＢａＣｌ2 ）を導
入しており、このために３５０ｎｍ以下の紫外線域では
十分な透過性が得られないと考えられる。また、後者で
は、ガラスに水蒸気又は水酸化物の形でＯＨイオンを導
入して、優れた紫外線透過性を有する少量ＯＨドープ弗
燐酸塩ガラスを製造しているが、ガラスに水蒸気、ＯＨ
イオンを導入するとその化学的耐久性が低下し、いわゆ
るダメージを受け易くなると考えられる。また、上記弗
燐酸塩ガラスにはガラス構造の安定化すなわち失透に対
する安定性を高めるために、ガラス形成酸化物としてＰ
Ｏ2.5 が導入されているが、ＰＯ2.5 の導入にはいくつ
かの問題点がある。 【０００７】すなわち、本発明者らの検討したところに
よれば、一般に、弗燐酸塩ガラスにＰＯ2.5 を含有させ
ることには、以下のような問題点があることが判明し
た。 （１）弗燐酸塩ガラスについて、透過率を測定したとこ
ろ、ガラスにＰＯ2.5 を含有させることにより、紫外線
吸収端が長波長側へシフトすることが分かった。すなわ
ち、ＰＯ2.5 含有ガラスでは波長１６０ｎｍ以下の光に
対しては十分な透過率が得られない。 （２）また、ガラスにＰＯ2.5 を含有させることによ
り、フッ化物と酸化物が混在することとなり、ガラスの
密度分布が良好でなくなる可能性がある。 （３）さらに、ガラス内にＯやＯＨが含まれることによ
り、短波長の光によるダメージを受ける可能性がある。 【０００８】 【発明が解決しようとする課題】このような状況の中
で、本発明者らは、上記従来技術に鑑みて、上記のよう
な問題点を回避するために、ガラスにＰＯ2.5 を含有さ
せることをやめ、新たなるガラス安定化のための物質を
含有させることを意図した。そして、鋭意研究を積み重
ねた結果、ガラスをフッ化アルミニウムならびにフッ化
物からなるＢａＦ2−ＣａＦ2 −ＡｌＦ3 の３元系で構
成し、第４成分として、ＰＯ2.5 の代わりにＹＦ3 、Ｓ
ｒＦ2 、ＬａＦ3 のうちのいずれか一つをガラスに含有
させると、ガラスとして安定であり、しかも、より短波
長の光に対する透過率が高く、また、光学的均質性が良
好なガラスを得ることができること、製造技術的にも優
れた利点があることを見出し、本発明を完成するに至っ
た。すなわち、本発明は、ガラスとして安定であり、し
かも、より短波長の光に対する透過率が高く、また、光
学的均質性が良好な真空紫外光透過性フッ化アルミニウ
ムガラスを提供することを目的とするものである。ま
た、本発明は、ガラス製造工程において、ガラス融液を
ゆっくり冷却しても、安定にガラスを形成することが可
能な真空紫外光透過性フッ化アルミニウムガラスを提供
することを目的とするものである。さらに、本発明は、
波長１６０ｎｍ以下の短波長の領域にある光及びレーザ
ー光に使用されるレンズ等の光学部品を作製するのに好
適なフッ化アルミニウムガラスを提供することを目的と
するものである。 【０００９】 【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明においては、以下の構成が採用される。 （１）真空紫外光透過用無水・無酸素フッ化アルミニウ
ムガラスであって、１）ＢａＦ2 、ＣａＦ2 、ＡｌＦ3
の含有モル％比率がａ：ｂ：ｃであり、上記ａの値が１
４．００〜２４．００の範囲、上記ｂの値が２８．２５
〜３８．２５の範囲、及び上記ｃの値が３７．２５〜４
７．２５の範囲、であるガラスである、 ２） さらに、上記ガラスはＹＦ3 、ＳｒＦ2 、ＬａＦ3
のうちのいずれか一つを含み、ＹＦ3 を２．５〜２０．
００モル％、ＳｒＦ2 を２．５〜７．５モル％、及びＬ
ａＦ3 を２．５〜７．５モル％、含む、 ３）Ｃｌ、Ｂｒ又はＩを含まない、 ことを特徴とする真
空紫外光透過性の無水・無酸素フッ化アルミニウムガラ
ス。 【００１０】 【発明の実施の形態】続いて、本発明についてさらに詳
細に説明する。本発明では、前記のように、ガラスをフ
ッ化アルミニウムならびにフッ化物で構成することが必
須の要件であり、さらに、無水・無酸素であることが必
須の要件とされる。すなわち、本発明のガラスは、フッ
化アルミニウムならびにフッ化物で構成されること、そ
して、無水・無酸素であることを特徴としている。ここ
で、上記フッ化物とは、ＡｌＦ3 を除く、ＢａＦ2 、Ｃ
ａＦ2 、及びＹＦ3 、ＳｒＦ2 、ＬａＦ3 の１種以上、
及びそれらと同効の物質を意味するものとして定義され
る。 【００１１】本発明のガラスの構成は、好適には、Ｂａ
Ｆ2 、ＣａＦ2 、ＡｌＦ3 の含有モル％比率がａ：ｂ：
ｃであり、上記ａの値が１４．００〜２４．００の範
囲、上記ｂの値が２８．２５〜３８．２５の範囲、上記
ｃの値が３７．２５〜４７．２５の範囲であるガラスで
あって、さらに、上記ガラスはＹＦ3 、ＳｒＦ2 、Ｌａ
Ｆ3 のうちのいずれか一つを含み、ＹＦ3 を２．５〜２
０．００モル％、ＳｒＦ2 を２．５〜７．５モル％、Ｌ
ａＦ3 を２．５〜７．５モル％含むこと、そして、無水
・無酸素であること、である。ここで、無水・無酸素で
あることとは、ガラスの基本骨格にＯ、ＯＨ等が導入さ
れたものではないこと、すなわち、後記する赤外線吸収
スペクトル（図４）で、それらに相当する吸収がみられ
ないレベルのものであることを意味する。 【００１２】ここで、上記ａ：ｂ：ｃの値は、ＡｌＦ3
を核としてガラス化できる好適な範囲であり、上記ａ：
ｂ：ｃの値が上記の範囲を外れると、ガラスを形成する
ことが難しくなる。ＡｌＦ3 はガラス形成成分として必
須であり、上記範囲外ではガラスが得られにくく、ま
た、ガラスの結晶化傾向を大きくする。ＢａＦ2 、Ｃａ
Ｆ2 も同様に、上記範囲外ではガラスが得られにくい。
上記範囲内において、ＡｌＦ3 は、フッ化アルミニウム
ガラスのガラス骨格を形成する成分として、ガラス形成
の安定化、ガラス構造の安定化、ガラスの光学的特性、
紫外線透過性及び化学的耐久性等のガラスの基本的諸性
質を大きく左右する重要成分である。また、ＢａＦ2 、
ＣａＦ2 は、ガラス形成の安定化、ガラス構造の安定
化、ガラスの耐失透性の向上等に寄与する成分である。 【００１３】また、ＹＦ3 を２．５〜２０．００モル
％、ＳｒＦ2 を２．５〜７．５モル％、及びＬａＦ3 を
２．５〜７．５モル％を含ませることにより安定にガラ
スを形成することできる。上記範囲内において、Ｙ
Ｆ3 、ＳｒＦ2 、ＬａＦ3 は、フッ化アルミニウムガラ
スの安定なガラス化範囲を広げ、ガラス骨格の安定化に
寄与する成分として重要である。通常、例えば、ＹＦ3
自体は安定にガラスを形成するための素材ではない。し
かしながら、ＢａＦ2 、ＣａＦ2 、ＡｌＦ3 からなる３
元系フッ化アルミニウムガラスにＹＦ3 を含有させると
安定にガラスが形成される。これは、以下の理由による
ものと考えられる。フッ化アルミニウムガラスは、下記
のような数個のＡｌ−Ｆ−Ａｌのユニットを形成してい
ると考えられる。 【００１４】 【化１】 【００１５】そして、これにＹＦ3 が添加されると、上
記のようなユニットがさらにＹを介して大きな陰イオン
ネットワークを作り安定化が促進されると考えられる。 【００１６】 【化２】【００１７】上記ユニットは、液体状態で安定である
が、これにＹＦ3 を添加するとさらに大きな陰イオンネ
ットワークが形成され、液体粘度が上昇し、物質移動が
できなくなり、安定なガラス形成が可能になるものと考
えられる。本発明では、ガラス製造工程において、ガラ
ス融液をゆっくり冷却しても安定にガラスが形成される
が、それは、上記ガラス形成のメカニズムによるものと
考えられる。また、本発明のガラスは、上記構成に示さ
れるように、無水・無酸素であることを特徴としてい
る。従来の弗燐酸塩ガラスでは、ＰＯ2.5 を含み、さら
に、ガラスにＯ、ＯＨイオンを導入することで、ガラス
構造中にＰ−Ｏ−Ｒ結合、Ｐ−Ｏ−Ｈ結合を有する。し
かし、それによって、透過率は良くなっても、ガラス構
造中にＯ、ＯＨが分散して含まれることにより、透過
率、屈折率が不均一となり、光学的均質性が低下する可
能性があり、また、紫外線等による化学反応によりＰ−
Ｏ結合が切断され、ＨＦ、Ｈ2 Ｏ等のガス発生の要因と
なり、ガラスの光化学的耐久性が低くなり、透過率が下
がる（着色）、屈折率が変わる等の、いわゆるダメージ
を受け易くなる可能性がある。これに対して、本発明の
ガラスは、前記のように、無水・無酸素であり、ガラス
内にＯやＯＨ、揮発性不純物が存在しないので、そのよ
うな問題はなく、光学的均質性とガラスの光化学的耐久
性が高く、いわゆるダメージの生じにくい長所を有す
る。 【００１８】本発明では、上記ガラスの原料を溶融し、
得られたガラス融液を冷却して目的のガラスが製造され
るが、当該ガラスの製造工程において、ガラス融液をゆ
っくり冷却しても、安定にガラスを形成することができ
る長所がある。本発明では、上記特定のガラス成分を特
定の割合で組み合わせることにより、ガラス製造工程に
おいて、ガラス融液を緩慢に冷却しても、安定にガラス
が形成されるので、ガラス製造時に製品にクラックや割
れの発生がなく、したがって、ガラスの大型化が容易に
可能である。また、ガラスの成分組成を変えることによ
り、透過性の異なる多様なガラスを容易に作製できる。
ガラスの諸特性の中で重要なのは、短波長域における高
紫外線透過性であるが、いくら紫外線透過率が高くて
も、それだけでは実用化は困難であり、実際には、優れ
た高紫外線透過性を有する素材の中から、さらに、ガラ
スの光学的均質性、光化学的安定性・耐久性（低ダメー
ジ性）、透過率・屈折率の均一性、安定なガラス形成、
製造上の簡便性、低コスト性、製品の多様化の容易性な
どの諸要件を全てクリアーしたものがはじめてガラス材
料として使用することが可能となる。すなわち、紫外吸
収端のみを考慮すれば、従来、報告又は各企業から提供
されているシリカガラスで要求は満たされるが、ガラス
内にＯやＯＨ、揮発性不純物が存在すると、それらは光
化学的に不安定の原因（ソーラリゼーション）へとつな
がることになる。本発明のガラスは、前記のように、そ
のような問題がなく、短波長域における高紫外線透過性
及び上記諸要件を共に満たす優れた材料を提供しうる点
で、従来製品にない格別の特徴を有する。 【００１９】本発明のガラスの特性及び製造上の技術的
特徴としては、特に、以下の点が挙げられる。 （１）波長１６０ｎｍ以下の短波長の領域で高い透過性
を有する。 （２）光学的均質性が高い。 （３）光化学的耐久性が高く、いわゆるダメージを受け
にくい。 （４）ガラス製造時に、製品にクラックや割れの発生が
なく、ガラスの大型化が容易に可能である。 （５）ガラス融液を緩慢に冷却しても、安定にガラスが
形成される。 （６）ガラスの成分組成に応じて、透過性の異なる多様
な製品を容易に作製できる。 【００２０】 【実施例】次に、実施例を示して、本発明をさらに具体
的に説明する。しかし、本発明は当該実施例によって何
ら限定されるものではない。 実施例１ （１）ガラスの調製 本実施例では、本発明のフッ化アルミニウムガラスと、
比較のために、弗燐酸塩ガラス、添加成分を変えたフッ
化アルミニウムガラスを調製した。本実施例において調
製したガラス系は、ＢａＦ2 −ＣａＦ2 −ＡｌＦ3 の３
元系に、第４成分としてＰ2 Ｏ5 を添加した弗燐酸塩ガ
ラスと、第４成分としてＹＦ3 、ＳｒＦ2 、ＬａＦ3 、
ＺｒＦ4 、ＩｎＦ3 を添加したフッ化アルミニウムガラ
スである。ここで、ＢａＦ2 −ＣａＦ2 −ＡｌＦ3 の３
元系のみでは安定な測定用ガラス試料が得られなかった
ため、ＢａＦ2 、ＣａＦ2 、ＡｌＦ3 の組成比を１９：
３３：４２カチオン％程度にして第４成分の添加効果を
調べた。表１に本実施例で調製したガラス組成を示す。 【００２１】（２）出発原料 出発原料として、ＢａＦ2 （森田化学工業株式会社製、
昇華精製）、ＣａＦ2（白辰化学研究所製、９９．９９
％）、ＡｌＦ3 （森田化学工業株式会社製、９９．９９
％）、Ｐ2 Ｏ5 （和光純薬工業株式会社製、９８．０
％）、ＹＦ3 （森田化学工業株式会社製、９９．９９
％）、ＳｒＦ2 （白辰化学研究所製、９９．９９％）、
ＬａＦ3 （白辰化学研究所製、９９．９９％）、ＺｒＦ
4 （森田化学工業株式会社製、昇華精製）、ＩｎＦ
3 （フルウチ化学株式会社製、９９．９９９％）を用い
た。 【００２２】（３）方法 所定の組成比に混合したバッチをるつぼを用いて溶融し
た。溶融条件は、８５０〜９５０℃において３０ｍｉｎ
とし、溶融を脱水窒素雰囲気下で行った。これらの融液
をるつぼごと急冷し、ガラス転移温度Ｔｇ付近でアニー
ル後、ガラス試料を得た。得られたガラス試料を厚さ２
±０．０１ｍｍに成形し、両面について鏡面研磨を行
い、真空紫外域及び赤外域透過率測定用試料とした。 【００２３】 【表１】 【００２４】（４）結果 結果を図１〜４に示す。図１は、各種弗燐酸塩ガラスの
真空紫外光透過性の比較、図２は、各種フッ化アルミニ
ウムガラスの真空紫外光透過性の比較、図３は、各種ガ
ラス系及びＣａＦ2 結晶の真空紫外光透過性の比較、そ
して、図４は、弗燐酸塩ガラス系とフッ化アルミニウム
ガラスの赤外吸収スペクトルの比較、をそれぞれ示した
ものである。尚、図中、ＢＣＡは、ＢａＦ2 −ＣａＦ2
−ＡｌＦ3 の３元系を示す。５Ｐ〜２０Ｐは、Ｐ2 Ｏ5
添加、５Ｙ〜１５ＹはＹＦ3 添加、５Ｓ、５Ｌ、５Ｚ、
５Ｉは、ＳｒＦ2 、ＬａＦ3 、ＺｒＦ4 、ＩｎＦ3 添
加、及びそのカチオン％をそれぞれ示す。 【００２５】図１に示されるように、弗燐酸塩ガラスで
は、ＢＣＡ＋２０Ｐを除き、いずれも、短波長域で高い
透過性を有するが、ほぼ同一又は近似の透過曲線を示す
のものに限られていることが分かる。しかし、本発明の
ガラスでは、ＹＦ3 、ＳｒＦ2 、ＬａＦ3 の添加によっ
て、図３に示されるように、波長１６０ｎｍ以下の短波
長域で高い透過性を有し、かつその特性が微妙に異なっ
た多様なものになることが分かる。すなわち、本発明の
ガラスでは、その成分組成に応じて、透過率の異なる多
様なガラス製品を容易に作製することが可能である。高
精度の加工を可能とするより短波長の光に対応した新し
い光学系を構築するには、透過率の異なる多様な製品の
組み合わせが重要であり、かかる観点からも、多様な特
性を有する製品を容易に製造することができる本発明の
ガラスは、従来の製品にない長所を有すると云える。ま
た、図４の赤外線吸収スペクトルに示されるように、弗
燐酸塩ガラス（ＢＣＡ＋５Ｐ）では、ＯＨに基づく水の
吸収がみられるが、フッ化アルミニウムガラス（ＢＣＡ
＋５ＲＦｎ、Ｒ＝Ｙ，Ｓｒ，Ｌａ，Ｚｒ，Ｉｎ）では、
そのような水の吸収は全くみられず、本発明のガラス
が、ガラスの基本骨格上、無水・無酸素のものであるこ
とが分かる。尚、Ｏ、ＯＨに基づく吸収は、ＹＦ3 等の
種類及び添加量に関係しない、ガラスの基本骨格に基づ
くものであり、同様に実施した他の実施例においても同
様の結果が得られた。 【００２６】 【発明の効果】以上詳述したように、本発明は、フッ化
アルミニウムならびにフッ化物で構成され、無水・無酸
素としたことを特徴とする真空紫外光透過性の無水・無
酸素フッ化アルミニウムガラスに係るものであり、本発
明によれば、特に、以下のような効果が奏される。 （１）波長１６０ｎｍ以下の短波長域で高い紫外線透過
性を有する。 （２）光学的均質性が高い。 （３）従来品のようなＯ、ＯＨ基に基づく化学的耐久性
の低下がなく、いわゆるダメージの生じる可能性が低
い。 （４）製造時に、ゆっくり冷却しても安定にガラスが形
成され、クラックや割れの発生がない。 （５）大型化が容易である。 （６）ガラスの成分組成に応じて、多様な透過率特性を
持った製品を容易に作製できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】弗燐酸塩ガラスの真空紫外光透過特性を示す。
【図２】フッ化アルミニウムガラスの真空紫外光透過特
性を示す。 【図３】各種ガラス系及びＣａＦ2 結晶の真空紫外光透
過特性を示す。 【図４】弗燐酸塩ガラス系とフッ化アルミニウムガラス
の赤外線透過特性を示す。
性を示す。 【図３】各種ガラス系及びＣａＦ2 結晶の真空紫外光透
過特性を示す。 【図４】弗燐酸塩ガラス系とフッ化アルミニウムガラス
の赤外線透過特性を示す。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭63−107841（ＪＰ，Ａ)
Ｍ．Ｒ．Ｓｈａｈｒｉａｒｉ，ＳＹＮ
ＴＨＥＳＩＳ ＡＮＤ ＣＨＡＲＡＣＴ
ＥＲＩＺＡＴＩＯＮ ＯＦ ＡＬＵＭＩ
ＮＵＭ ＦＬＵＲＩＤＥ ＢＡＳＥＤ
ＧＬＡＳＳＥＳ ＡＮＤ ＯＰＴＩＣＡ
Ｌ ＦＩＢＥＲＳ，Ｍａｔｅｒｉａｌｓ
Ｓｃｉｅｎｃｅ Ｆｏｒｕｍ，1988
年，ｖｏｌ．32＆33，ｐ．99−105
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
C03C 1/00 - 14/00
ＷＰＩ
ＪＯＩＳ
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 真空紫外光透過用無水・無酸素フッ化ア
ルミニウムガラスであって、 １） ＢａＦ2 、ＣａＦ2 、ＡｌＦ3 の含有モル％比率が
ａ：ｂ：ｃであり、 上記ａの値が１４．００〜２４．００の範囲、 上記ｂの値が２８．２５〜３８．２５の範囲、及び 上記ｃの値が３７．２５〜４７．２５の範囲、 であるガラスである、 ２） さらに、上記ガラスはＹＦ3 、ＳｒＦ2 、ＬａＦ3
のうちのいずれか一つを含み、 ＹＦ3 を２．５〜２０．００モル％、 ＳｒＦ2 を２．５〜７．５モル％、及び ＬａＦ3 を２．５〜７．５モル％、 含む、３）Ｃｌ、Ｂｒ又はＩを含まない、 ことを特徴とする真空紫外光透過性の無水・無酸素フッ
化アルミニウムガラス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06623798A JP3478117B2 (ja) | 1998-03-02 | 1998-03-02 | 真空紫外光透過性の無水・無酸素フッ化アルミニウムガラス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06623798A JP3478117B2 (ja) | 1998-03-02 | 1998-03-02 | 真空紫外光透過性の無水・無酸素フッ化アルミニウムガラス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11246234A JPH11246234A (ja) | 1999-09-14 |
| JP3478117B2 true JP3478117B2 (ja) | 2003-12-15 |
Family
ID=13310060
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06623798A Expired - Lifetime JP3478117B2 (ja) | 1998-03-02 | 1998-03-02 | 真空紫外光透過性の無水・無酸素フッ化アルミニウムガラス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3478117B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111403580A (zh) * | 2020-03-24 | 2020-07-10 | 营口众恩光电科技有限公司 | 一种紫外led封装结构及封装方法 |
-
1998
- 1998-03-02 JP JP06623798A patent/JP3478117B2/ja not_active Expired - Lifetime
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Ｍ．Ｒ．Ｓｈａｈｒｉａｒｉ，ＳＹＮＴＨＥＳＩＳ ＡＮＤ ＣＨＡＲＡＣＴＥＲＩＺＡＴＩＯＮ ＯＦ ＡＬＵＭＩＮＵＭ ＦＬＵＲＩＤＥ ＢＡＳＥＤ ＧＬＡＳＳＥＳ ＡＮＤ ＯＰＴＩＣＡＬ ＦＩＢＥＲＳ，Ｍａｔｅｒｉａｌｓ Ｓｃｉｅｎｃｅ Ｆｏｒｕｍ，１９８８年，ｖｏｌ．３２＆３３，ｐ．９９−１０５ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11246234A (ja) | 1999-09-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1162180B1 (en) | Optical glass suffering little change in refractive index when exposed to ultra-violet light during service | |
| JP4671647B2 (ja) | 光弾性定数が小さい光学ガラス | |
| US7838450B2 (en) | Optical glass | |
| JP5744492B2 (ja) | 高屈折で高透明の光学ガラス | |
| JP2007169157A (ja) | 光学ガラス | |
| EP1516862B1 (en) | Optical glass having a small photoelastic constant | |
| JP5349721B2 (ja) | 光照射による屈折率変化の小さい光学ガラス | |
| JP2024073583A (ja) | 特定の熱膨張挙動を示すガラスセラミック | |
| JP3575836B2 (ja) | 高紫外線透過性弗燐酸塩ガラス及びその製造方法 | |
| KR20230158021A (ko) | 특정 열 팽창 거동을 갖는 정밀 부품 | |
| JPH07157330A (ja) | 塩素含有フツ燐酸塩ガラス | |
| JP3478117B2 (ja) | 真空紫外光透過性の無水・無酸素フッ化アルミニウムガラス | |
| JP2011251903A (ja) | 光照射による屈折率変化の小さい光学ガラス | |
| JP3301984B2 (ja) | 低光弾性定数ガラス、及び光学ガラス | |
| JP2000302476A (ja) | 真空紫外光透過性のフッ化アルミニウムガラス | |
| JP3867934B2 (ja) | 紫外線透過弗ホウ酸塩ガラス | |
| JP4799726B2 (ja) | 耐紫外線ガラス | |
| JP4138366B2 (ja) | 光学ガラス | |
| JPH0952731A (ja) | 弗燐酸系ガラス、このガラスを用いた光ファイバ及びその製造方法 | |
| JPH0948631A (ja) | 偏光光学系用光学ガラス | |
| JP4677710B2 (ja) | 紫外線遮蔽ガラス、その製造方法、これを用いた紫外線遮蔽ガラス部材及び装置 | |
| US7265070B2 (en) | Synthetic silica glass optical material having high resistance to optically induced index change | |
| JP4188504B2 (ja) | 光学部材 | |
| JPH02283635A (ja) | 紫外線透過フツリン酸塩ガラス | |
| JPH101330A (ja) | 紫外域透過の良いガラス |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071003 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081003 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081003 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091003 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091003 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101003 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111003 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121003 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131003 Year of fee payment: 10 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |