JP3471167B2 - 立方晶窒化ホウ素の製造方法 - Google Patents

立方晶窒化ホウ素の製造方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、六方晶窒化ホウ素
から立方晶窒化ホウ素を合成する方法の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】立方晶窒化ホウ素は、ダイヤモンドに次
ぐ硬さと、それをしのぐ化学的安定性を持ち、研削・研
磨・切削材としての需要が増大している。立方晶窒化ホ
ウ素の製造方法は種々考案されているが、最も良く知ら
れ、工業的にも広く利用されているのは、溶媒(触媒)
の存在下で六方晶窒化ホウ素を約4.5〜6.0GPa 、
1400〜1600℃程度の高温高圧下で立方晶窒化ホ
ウ素に変換する方法である。溶媒(触媒)としては、ア
ルカリ金属、アルカリ土類金属の窒化物、ホウ窒化物が
よく知られている。(例えば、米国特許3772428
号参照)
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
溶媒(触媒)を用いて得られる立方晶窒化ホウ素は、自
形面の発達が乏しい不規則な形状や球体に近い形状を呈
し、研削砥粒としての切れ味には未だ難点がある。本発
明は、上記の事情に鑑み、六方晶窒化ホウ素を、自形面
が良く発達しシャープなエッジを有する、切れ味の優れ
る立方晶窒化ホウ素に変換する方法を提供するものであ
る。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明は、アルカリ金属、アルカリ土類金属の炭化物から選
ばれる1種以上の存在下、或いは、アルカリ金属、アル
カリ土類金属の炭化物から選ばれる1種以上及びアルカ
リ金属、アルカリ土類金属のアミド、イミドから選ばれ
る1種以上の存在下において、六方晶窒化ホウ素を立方
晶窒化ホウ素の安定領域内の温度及び圧力条件下に保持
して、立方晶窒化ホウ素に変換することを特徴とする立
方晶窒化ホウ素の製造方法からなる。
【0005】
【発明の実施の形態】出発原料である六方晶窒化ホウ素
としては市販の六方晶窒化ホウ素粉末を使用できる。酸
化ホウ素などの形で混入する酸素不純物は、六方晶窒化
ホウ素から立方晶窒化ホウ素への変換を遅らせることが
あるため、酸素量の少ない原料が望ましい。粒度は特に
限定されないが、一般的には150メッシュ以下が好適
である。粒度が大きすぎると溶媒(触媒)との反応性が
低下する可能性があるからである。
【0006】アルカリ金属、アルカリ土類金属の炭化
物、アミド、イミドも、出発原料の六方晶窒化ホウ素と
同様に酸素不純物の少ないものが好ましい。粒度は特に
限定されないが、一般的には1mm以下が好適である。粒
度が大きすぎると六方晶窒化ホウ素との反応性が低下す
るからである。本発明で用いられるアルカリ金属、アル
カリ土類金属の炭化物は、Li2 2 ,Na2 2 ,K
2 2 ,Rb2 2 ,Cs2 2 ,Be2 C,Be
2 ,MgC2 ,Mg2 3 ,CaC2 ,SrC2 ,B
aC2 、アルカリ金属、アルカリ土類金属のアミド、イ
ミドは、LiNH2 ,NaNH2 ,KNH2 ,RbNH
2 ,CsNH2 ,Li2 NH,Na2 NH,K2 NH,
Rb2 NH,Cs2 NH,Be(NH2)2 ,Mg(NH
2)2 ,Ca(NH2)2 ,Sr(NH2)2 ,Ba(NH2)
2 ,BeNH,MgNH,CaNH,SrNH,BaN
H、等を基本とするが、これらの固溶体、複化合物或い
は不定比組成の化合物等を用いても同様の効果が得られ
る。
【0007】アルカリ金属、アルカリ土類金属の炭化物
から選ばれる1種以上として好ましいものは、Li,M
g,Caの炭化物から選ばれる1種以上である。Li,
Mg,Ca以外のアルカリ金属、アルカリ土類金属の炭
化物は、Li,Mg,Caの炭化物を用いた場合よりも
高い温度圧力条件でしかcBNを得ることが出来ず、ま
たLi,Mg,Caの炭化物によれば他のアルカリ金
属、アルカリ土類金属の炭化物を用いる場合よりも、得
られたcBNの研削比、動力値が優れているからであ
る。特に好ましいのはCaC2 である。CaC2 を用い
た場合は、特に自形面が良く発達した良好な外観を呈す
るcBNが得られ、その結果、優れた研削比が得られる
からである。
【0008】また、アルカリ金属、アルカリ土類金属の
炭化物から選ばれる1種以上とアルカリ金属、アルカリ
土類金属のアミド、イミドから選ばれる1種以上との組
み合せとして好ましいものは、Li,Mg,Caの炭化
物から選ばれる1種以上とLi,Mg,Caのアミド、
イミドから選ばれる1種以上である。Li,Mg,Ca
以外のアミド、イミドは、Li,Mg,Caのアミド、
イミドを用いた場合よりも高い温度圧力条件でしかcB
Nを得ることが出来ず、得られたcBNの研削比、動力
値もLi,Mg,Caのアミド、イミドよりも若干劣る
からである。特に好ましいのはCaC2 とLi,Mgの
アミドから選ばれる1種以上との組合せである。この組
み合わせが最も、低い温度圧力条件下でのcBN変換
率、及び、得られるcBNの砥粒特性が優れるからであ
る。
【0009】本発明は、六方晶窒化ホウ素から立方晶窒
化ホウ素への変換を、アルカリ金属、アルカリ土類金属
の炭化物から選ばれる1種以上の存在下、或いは、アル
カリ金属、アルカリ土類金属の炭化物から選ばれる1種
以上及びアルカリ金属、アルカリ土類金属のアミド、イ
ミドから選ばれる1種以上の存在下において行う事を特
徴とする。本発明で示した方法によれば、上記化合物の
溶媒(触媒)効果により、六方晶窒化ホウ素を、自形面
が良く発達しシャープなエッジを有する、切れ味の優れ
る立方晶窒化ホウ素に変換する事が出来る。また、アル
カリ金属、アルカリ土類金属の炭化物から選ばれる1種
以上及びアルカリ金属、アルカリ土類金属のアミド、イ
ミドから選ばれる1種以上の存在下においては、比較的
低い温度圧力条件下で、六方晶窒化ホウ素を、自形面が
良く発達しシャープなエッジを有する、切れ味の優れる
立方晶窒化ホウ素に変換する事が出来る。
【0010】一般的には、六方晶窒化ホウ素と種々の添
加物とが反応して溶媒(触媒)を形成し、これを介して
立方晶窒化ホウ素への変換が進行するものと理解されて
おり、本発明に於いても同様であるものと推察される。
本発明で用いられるアルカリ金属、アルカリ土類金属の
炭化物から選ばれる1種以上の添加量は、六方晶窒化ホ
ウ素を分子数として100部に対し、添加物を構成する
金属元素の原子数の総計として0.1〜30部、より好
ましくは0.5〜20部の割合である。アルカリ金属、
アルカリ土類金属の炭化物の添加量が0.1部より少な
いと、これらの添加効果が充分に発揮されず、立方晶窒
化ホウ素の生成量が減少し、30部を越えると得られる
立方晶窒化ホウ素中に黒色の包有物が生成し、砥粒性能
の低下をもたらす。
【0011】アルカリ金属、アルカリ土類金属の炭化物
から選ばれる1種以上と、アルカリ金属、アルカリ土類
金属のアミド、イミドから選ばれる1種以上を同時に添
加する場合は、六方晶窒化ホウ素を分子数として100
部に対し、添加物を構成する金属元素の原子数の総計と
して0.2〜50部が好ましく、0.5〜40部の割合
が更に好ましい。アルカリ金属、アルカリ土類金属の炭
化物から選ばれる1種以上と、アルカリ金属、アルカリ
土類金属のアミド、イミドから選ばれる1種以上の比率
は、化合物を構成する金属元素の原子比として70:3
0〜5:95の間であることが好ましく、更に好ましく
は50:50〜5:95の間である。
【0012】アルカリ金属、アルカリ土類金属の炭化物
から選ばれる1種以上と、アルカリ金属、アルカリ土類
金属のアミド、イミドから選ばれる1種以上の添加量が
0.2部より少ないと、これらの添加効果が充分に発揮
されず、立方晶窒化ホウ素の生成量が減少し、また、5
0部を越えても、変換率は一定の値より大きくならない
ため不経済であり、好ましくない。
【0013】アルカリ金属、アルカリ土類金属の炭化物
から選ばれる1種以上と、アルカリ金属、アルカリ土類
金属のアミド、イミドから選ばれる1種以上の比率にお
いて、アルカリ金属、アルカリ土類金属の炭化物から選
ばれる1種以上の割合が70:30より大きくなると、
得られる立方晶窒化ホウ素中に黒色の包有物が生成し、
砥粒性能の低下をもたらし、5:95より小さくなる
と、アルカリ金属、アルカリ土類金属のアミド、イミド
から選ばれる1種以上の溶媒(触媒)効果が大きすぎる
ため、得られる立方晶窒化ホウ素が不規則形状となり、
砥粒性能の低下をもたらし、何れも好ましくない。
【0014】上記の添加物と六方晶窒化ホウ素を共存さ
せる態様としては、これらの粉末を混合すれば良く、そ
れが好ましいが、反応容器中に六方晶窒化ホウ素層と添
加物の層を交互に積層するように配置しても良い。実際
には、六方晶窒化ホウ素と添加物を混合した後、或いは
それぞれ別々に、1〜2t/cm2 程度の圧力で成形して
から反応容器に充填する事が好ましい。原料粉末の取扱
い性が向上すると共に、反応容器内での収縮量が減少
し、生産性が向上する効果があるからである。
【0015】尚、上記成形体または積層体に前もって立
方晶窒化ホウ素の微粒をシードとして入れ、これを核と
して立方晶窒化ホウ素の結晶成長を促進させる方法もあ
るが、当然のことながらこれも本発明に含まれる。この
場合、シード表面に上記添加物を被覆しても良い。上記
の成形体等は、反応容器中に充填し、周知の高温高圧発
生装置に装填され、立方晶窒化ホウ素の安定領域内の温
度圧力条件下に保持される。この安定領域は、F.P.Bund
y, R, H, Wentorf, J.Chem.Phys, 38 (5), 1144-1149.
(1963)に示されている。保持時間は特に限定されず、所
望の変換率が達成されるまでとするが、一般的には1秒
〜6時間程度でよい。
【0016】上記安定領域に保持する事により、六方晶
窒化ホウ素は立方晶窒化ホウ素に変換され、一般には六
方晶窒化ホウ素、立方晶窒化ホウ素及び溶媒(触媒)か
らなる合成塊が得られる。この合成塊を解砕し、立方晶
窒化ホウ素を単離精製する。単離精製方法は特公昭49
−27757号公報に記載されている方法を用いる事が
できる。例えば、合成塊を5mm以下に解砕した後、水酸
化ナトリウムと少量の水を加え、300℃程度に加熱す
ると、六方晶窒化ホウ素が選択的に溶解するので、これ
を冷却後、酸で洗浄ろ過する事により立方晶窒化ホウ素
が得られる。
【0017】
【実施例】不純物として酸素0.8重量%、金属不純物
0.2重量%を含有する六方晶窒化ホウ素に、下記表に
示す割合で種々の化合物や単体金属を添加し、混合し
た。尚、表中の添加割合は、六方晶窒化ホウ素の分子数
として100部に対する、化合物や単体金属を構成する
金属元素の原子数である。これらを1.5 ton/cm2
圧力で26mmφ×32mmh の成形体とし、図1に示す反
応容器内に収容した。
【0018】図1に示す反応容器に於いて、容器外壁1
は伝圧体としてのパイロフィライトによって円筒状に作
られ、その内側には黒鉛円筒体からなるヒーター2およ
び隔壁材としてパイロフィライト8が配設されている。
また容器の上下端にはそれぞれ通電用鋼製リング3およ
び通電用鋼板4が配設され、その内側には焼結アルミナ
板5および伝圧体としてのパイロフィライト6が配設さ
れ、そしてそのパイロフィライト6および隔壁材として
のパイロフィライト8によって取り囲まれる空間が反応
原料を収容する収容室7となっている。
【0019】この反応容器で、上記成形体を表中に示す
条件で10分間処理した。得られた合成塊の一部につい
て、特公昭49−27757号公報に記載されている方
法により、立方晶窒化ホウ素を単離精製した。ここで得
られた立方晶窒化ホウ素を用いて、ビトボンド砥石を作
製した。砥石の組成及び寸法は次に示す通りである。 粒度;#170/200 集中度;100(砥石率25 vol%) 気孔率;30 vol% ボンド率;25 vol% フィラー;ホワイトアランダム(WA#220)−20
% 砥石の寸法は;205mmφ、5mmU 76.2H 立方晶窒化ホウ素を、ホウ珪酸ガラス及びフィラーと混
合し、約5mm×3mm×30mmに成形した後、950℃、
大気中で10時間焼成した。この焼成体をアルミホイー
ルに貼りつけて砥石を作製した。
【0020】研削方法は、湿式平面トラバース研削、砥
石周速1500m/分、テーブル速度15m/分、クロ
ス送り2mm/バス、切り込み20μmとした。被削材は
SKH−51を用いた。上記の条件下に於いて、平面研
削盤を用いて立方晶窒化ホウ素の研削試験を行い、研削
比(研削量/砥石の摩耗量)及びそのときの使用動力
(W)を測定した。
【0021】また、得られた合成塊の一部を乳鉢で粉砕
し、X線粉末回折装置により、CuKα線に対する立方
晶窒化ホウ素(111)及び六方晶窒化ホウ素(00
2)の回折線の強度比を用いて立方晶窒化ホウ素への変
換率を求めた。
【0022】
【表1】
【0023】
【発明の効果】本発明によれば、六方晶窒化ホウ素を切
れ味の優れる立方晶窒化ホウ素に変換する事が出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例に於いて、六方晶窒化ホウ素を立方晶窒
化ホウ素に変換するために用いる、反応容器の断面を示
す。
【符号の説明】
1…容器外壁 2…ヒーター 6,8…パイロフィライト 7…収容室
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平2−115034(JP,A) 特開 昭52−32900(JP,A) 特開 昭55−60009(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B01J 3/06 C01B 21/064

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 アルカリ金属、アルカリ土類金属の炭化
    物から選ばれる1種以上の存在下において、六方晶窒化
    ホウ素を立方晶窒化ホウ素の安定領域内の温度及び圧力
    条件下に保持して、立方晶窒化ホウ素に変換することを
    特徴とする立方晶窒化ホウ素の製造方法。
  2. 【請求項2】 アルカリ金属、アルカリ土類金属の炭化
    物から選ばれる1種以上及びアルカリ金属、アルカリ土
    類金属のアミド、イミドから選ばれる1種以上の存在下
    において、六方晶窒化ホウ素を立方晶窒化ホウ素の安定
    領域内の温度及び圧力条件下に保持して、立方晶窒化ホ
    ウ素に変換することを特徴とする立方晶窒化ホウ素の製
    造方法。
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US08/861,016 US5837214A (en) 1996-05-21 1997-05-21 Method for producing cubic boron nitride
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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6248303B1 (en) 1997-11-25 2001-06-19 Showa Denko Kabushiki Kaisha Method of producing cubic boron nitride
JP4183317B2 (ja) * 1997-11-25 2008-11-19 昭和電工株式会社 立方晶窒化ホウ素の製造方法
KR100636415B1 (ko) * 1997-11-25 2006-12-28 쇼와 덴코 가부시키가이샤 입방정질화붕소의제조방법
JP4202521B2 (ja) * 1999-04-08 2008-12-24 昭和電工株式会社 立方晶窒化ホウ素の製造方法
EP1373163B1 (en) * 2001-03-27 2006-06-07 Showa Denko K.K. Method for producing cubic boron nitride
US7001577B2 (en) * 2001-11-02 2006-02-21 Diamond Innovaitons, Inc. Low oxygen cubic boron nitride and its production
US7244406B2 (en) * 2002-02-28 2007-07-17 Showa Denko K.K. Method for producing cubic boron nitride
WO2003072495A1 (en) * 2002-02-28 2003-09-04 Showa Denko K.K. Method for producing cubic boron nitride
KR100815730B1 (ko) 2003-08-20 2008-03-20 쇼와 덴코 가부시키가이샤 입방정 질화 붕소, 입방정 질화 붕소의 제조 방법, 입방정질화 붕소를 이용한 숫돌차, 및 입방정 질화 붕소 소결체
DE102011009834B4 (de) 2011-01-31 2015-06-03 Georg Vogt Verfahren zur Herstellung von kubischem Bornitrid
JP6040947B2 (ja) * 2014-02-20 2016-12-07 信越半導体株式会社 ワークの両頭研削方法
CN107523875B (zh) * 2017-10-12 2020-09-15 信阳市德隆超硬材料有限公司 一种立方氮化硼单晶及其制备方法

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3661521A (en) * 1970-02-13 1972-05-09 Gen Electric Refining of cubic boron nitride
JPS5232900A (en) * 1975-09-10 1977-03-12 Hitachi Ltd Process for production of cubic boron nitride
JPS5992974A (ja) * 1982-11-16 1984-05-29 住友電気工業株式会社 高硬度工具用焼結体およびその製造方法
US4650776A (en) * 1984-10-30 1987-03-17 Smith International, Inc. Cubic boron nitride compact and method of making
JPS62108717A (ja) * 1985-11-07 1987-05-20 Denki Kagaku Kogyo Kk 立方晶窒化ほう素の製造方法
JP2691183B2 (ja) * 1988-10-25 1997-12-17 昭和電工株式会社 立方晶窒化ほう素結晶の合成方法
JP2728491B2 (ja) * 1989-02-22 1998-03-18 昭和電工株式会社 立方晶窒化硼素焼結体の製造方法及びその砥粒の製造方法
JP2987415B2 (ja) * 1991-01-23 1999-12-06 工業技術院長 窒化ほう素の製造方法
US5194071A (en) * 1991-07-25 1993-03-16 General Electric Company Inc. Cubic boron nitride abrasive and process for preparing same
US5985228A (en) * 1992-12-22 1999-11-16 General Electric Company Method for controlling the particle size distribution in the production of multicrystalline cubic boron nitride
JP3400842B2 (ja) * 1993-07-09 2003-04-28 昭和電工株式会社 立方晶窒化ホウ素の製造方法
US5618509A (en) * 1993-07-09 1997-04-08 Showa Denko K.K. Method for producing cubic boron nitride

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