JP3454904B2 - セラミックシンチレ―タおよびx線検出器 - Google Patents

セラミックシンチレ―タおよびx線検出器

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、X線断層像診断装置
(X線CT)などに使用されるX線検出器、およびこれ
に用いられるシンチレ―タに関する。
【0002】
【従来の技術】医療用X線CTでは、通常、数百〜数千
の素子数を持つX線検出器が使用され、従来、キセノン
ガスの電離電流を測定する電離箱方式の検出器が多く用
いられていた。近年は、これに代わって、小型軽量化や
振動に対する信頼性の向上の点からCdWO4 などの単
結晶シンチレータとフォトダイオードで構成された固体
検出器が使用されるようになっている。
【0003】X線CTの画質を大きく左右するのが検出
器の感度であり、中でもシンチレータの感度すなわちX
線から光への変換効率が高いことがX線CTの画質を向
上させる上で有効である。
【0004】特願昭57−86269(特開昭58−2
04088)に示されるようにGd22 S:Prをは
じめとする希土類オキシ硫化物セラミックスは、高感度
のX線検出器を可能にするシンチレ―タ材料である。こ
のような希土類オキシ硫化物セラミックスの製造方法と
しては、特願昭61−178304(特開昭62−27
5072)に示されるように、金属カプセルを用いた熱
間静水圧プレス法が適している。
【0005】このようなシンチレ―タをX線CT用X線
検出器に用いる場合、感度以外に、残光と放射線劣化の
特性が重要となる。これらの特性が劣ると、CT像にア
―チファクトが生じる。
【0006】残光に関して実用上最も問題となるのは励
起停止後100ms程度での残光強度である。American
Ceramic Society Bulletin 誌、71巻、1120〜1
130頁(1992年)によれば、励起停止後100m
sにおける残光の許容値は0.1%未満であるとされて
いる。しかしながら、発明者らの試験によれば、X線C
T用X線検出器に用いる場合、実用上の支障をきたさな
いためには、励起停止後100msにおける残光強度
を、さらに0.01%以下に低減する必要があることが
わかった。
【0007】放射線劣化に関しては、American Ceramic
Society Bulletin 誌、71巻、1120〜1130頁
(1992年)によれば、500レントゲンのX線照射
後の発光強度の低下が2%未満であることが必要とされ
ている。
【0008】これらの必要性に対して、まず、残光を低
減する手段として、特願昭55−54156(特開昭5
6−151376)に示されるように、Gd22 S:
Pr等の希土類オキシ硫化物セラミックスに、1〜50
00ppmのCeを添加する方法が知られている。この
方法によれば、励起停止後1〜10msの時刻における
残光強度は低減されるが、発明者らがCe添加による残
光低減効果を試験したところでは、実用上問題となる励
起停止後100ms付近における残光に対しての効果が
比較的少ない。たとえば、この方法により励起停止後1
00ms付近における残光強度を0.01%以下に低減
するためには、Ceを20ppm以上添加する必要があ
る。しかしながら、実際には、この程度の量のCeの添
加でさえも、希土類オキシ硫化物セラミックスの発光強
度の低下が起こる。しかも、Ce添加は放射線劣化の低
減に対しては効果がない。
【0009】また、特願平1−331127(特開平3
−192187)には含有されるEuの量を低減するこ
とにより残光が低減することが開示されているが、この
方法のみでは励起停止後100ms付近の残光を要求さ
れる0.01%以下に低減することはできなかった。し
かも、この方法でも放射線劣化の低減に対しては効果が
なかった。
【0010】一方、放射線劣化を低減する方法として特
願昭63−327559(特開平2−173088)で
示されるような表面処理を施す方法、特願平1−307
32(特開平2−209987)および特願平1−31
928(特開平2−212586)で示されるような熱
処理方法、特願平2−38354(特開平3−2436
86)で示されるように含有される不純物元素の量を特
定の範囲内に抑える方法などが公知である。いずれの方
法も放射線劣化低減に対する効果はあったが、それぞれ
単独の方法では、放射線劣化を要求される水準まで低減
すること、すなわち発光強度の低下を2%以下にするこ
とはできなかった。しかも、これらの方法は、残光の低
減に対しては必ずしも有効ではなかった。
【0011】このように、これまでの技術では残光特性
と放射線劣化特性の両者をともに満足する希土類オキシ
硫化物セラミックシンチレ―タは得られていなかった。
残光特性および放射線劣化特性が発光特性と関係がある
ことは、ある程度知られている。第202回蛍光体同学
会予稿11〜18頁(1984年)には残光低減に有効
なCe添加によりGd22 S:Pr,Ce,F蛍光体
の過渡熱ルミネッセンス曲線の330Kのピ―クが減少
することが記されている。しかし、この文献は、粉末蛍
光体についてのものであり、実用上許容される残光レベ
ルではどの程度の過渡熱ルミネッセンス強度があるのか
が示されていない。しかも、この文献では放射線劣化特
性に関する記述は見られない。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】以上申し述べたよう
に、従来は、励起停止後100ms付近の残光及び放射
線劣化が十分に低減されたセラミックシンチレータが得
られなかった。本発明は、発光強度を低下することなく
残光と放射線劣化を低減したシンチレ―タ、およびこの
シンチレ―タを用いた高感度でア―チファクトが少ない
X線検出器を提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段および作用】本発明の第1
の態様は、プラセオジムで付活した希土類オキシ硫化物
を焼結助材を用いることなく、タンタルを使用した金属
カプセル内で1300℃より大きく1800℃以下の温
度で熱間静水圧プレス処理を行った後、1300℃より
大きく1400℃以下の温度で熱処理することにより得
られた多結晶焼結体から実質的になり、液体窒素温度で
波長254nm、1W/m2 の紫外線を20分間照射し
た後、15±5K/分の昇温速度で熱ルミネッセンス強
度を測定したとき、グロ―曲線の140±10Kのピ―
クに対する270±20Kのピ―ク比が0.01以下で
あり、かつ410±20Kの熱ルミネッセンスを分解能
2nmで測定したときの発光スペクトルにおいて、波長
512±3nmのピ―ク強度に対する波長630±3n
mのピ―ク強度が1以下であることを特徴とするセラミ
ックシンチレ―タを提供する。
【0014】プラセオジムで付活した希土類オキシ硫化
物として、代表的にはプラセオジムで付活したオキシ硫
化ガドリニウムがあげられる。さらに、本発明によれば
ガドリニウム以外のイットリウム、ランタンまたはルテ
チウムのオキシ硫化物を使用することができる。
【0015】本発明の第2の態様は、シンチレ―タとフ
ォトダイオ―ドとを光学的に結合させたX線検出素子を
具備するX線検出器において、前記シンチレ―タは、プ
ラセオジムで付活した希土類オキシ硫化物を焼結助材を
用いることなく、タンタルを使用した金属カプセル内で
1300℃より大きく1800℃以下の温度で熱間静水
圧プレス処理を行った後、1300℃より大きく140
0℃以下の温度で熱処理することにより得られた多結晶
焼結体から実質的になり、液体窒素温度で波長254n
m、1W/m2 の紫外線を20分間照射した後、15±
5K/分の昇温速度で熱ルミネッセンス強度を測定した
とき、グロ―曲線の140±10Kのピ―クに対する2
70±20Kのピ―ク比が0.01以下であり、かつ4
10±20Kの熱ルミネッセンスを分解能2nmで測定
したときの発光スペクトルにおいて、波長512±3n
mのピ―ク強度に対する波長630±3nmのピ―ク強
度が1以下であることを特徴とするX線検出器を提供す
る。
【0016】以下、本発明のシンチレータにかかる熱ル
ミネッセンスと、残光、放射線劣化、及び輝度低下等の
特性との関係について説明する。 熱ルミネッセンスと残光特性との関係 一般に蛍光体の残光と熱ルミネッセンスの間に関係のあ
ることは知られており、プラセオジムで付活したオキシ
硫化ガドリニウム粉末蛍光体の残光特性についても、従
来の技術で述べたように、過渡熱ルミネッセンスとの間
に関係があることが示唆されている。一般に、熱ルミネ
ッセンス測定により得られるグロ―曲線のピ―クは蛍光
体中にトラップ準位が存在することを示す。しかし、ど
のトラップ準位、すなわち、どのグロ―曲線のピ―クが
残光に対して最も影響が大きいかは明確になっていな
い。
【0017】本発明者らは、15K/分の昇温速度で熱
ルミネッセンス強度を測定したときのグロ―曲線の27
0K付近のピ―クがX線CT用検出器に用いる場合に問
題になる100msにおける残光強度と対応するが、1
40K付近のピ―クは時刻100msにおける残光強度
のいかんにかかわらず存在し100msにおける残光強
度とは相関が低く、両者の比をとることによって100
msにおける残光強度を判定できることを見出した。さ
らに、残光による実用上の支障をきたさないためには、
液体窒素温度で波長254nm、1W/m2 の紫外線を
20分間照射した後、15K/分の昇温速度で熱ルミネ
ッセンス強度を測定したとき、グロ―曲線の140K付
近のピ―クに対する270K付近のピ―ク比が0.01
以下であることを見出した。
【0018】熱ルミネッセンスと放射線劣化との関係 一方、放射線劣化に対しては15K/分の昇温速度で熱
ルミネッセンス強度を測定したときのグロ―曲線の41
0K付近のピ―クと関係があり、その強度よりはむし
ろ、このピ―クの発光スペクトルにおける波長512n
mのピ―ク強度と波長630nmのピ―ク強度の比のほ
うが意味があることを見出だした。
【0019】希土類オキシ硫化物中のプラセオジムイオ
ンの発光は波長約512nmおよび約670nmにピ―
クを持つ 30 準位から 34 および 32 準位へ遷移
するときの発光が主であり、波長約630nmにピ―ク
を持つ 12 準位から 34準位へ遷移するときの発光
は弱い。たとえば、X線や紫外線で励起したときの発光
スペクトル、あるいは熱ルミネッセンスの270K付近
のピ―クにおける発光スペクトルでは 30 準位からの
発光が主である。これに対し、本発明者らは、グロ―曲
線の410K付近のピ―クの発光スペクトルは 12
位からの発光が大きくなり、この発光強度が放射線劣化
と対応することを見出した。すなわち、グロ―曲線の4
10K付近のピ―クの発光スペクトルにおいて、波長約
512nmのピ―ク強度に対する波長約630nmのピ
―ク強度が1以下である場合に放射線劣化は許容限度以
内になることがわかった。これは、放射線劣化が、本来
の希土類オキシ硫化物中のプラセオジムイオンと異なっ
た環境におかれたプラセオジムイオンに起因するもので
あることを示している。
【0020】以上述べたように、残光および放射線劣化
が少なくX線CT用検出器に適したプラセオジムイオン
で付活した希土類オキシ硫化物セラミックシンチレ―タ
を得ようとした場合、15K/分の昇温速度で熱ルミネ
ッセンス強度を測定したときのグロ―曲線の270K付
近のピ―ク強度比と410K付近のピ―クの発光スペク
トルが所定の値以下になるようにすることで達成でき
る。
【0021】熱ルミネッセンス測定の温度等の条件につ
いて なお、本発明において、照射紫外線強度や昇温速度など
の熱ルミネッセンス測定条件とピ―ク温度およびピ―ク
比との関係はある条件での値を測定するためのものであ
り、測定条件が異なればピ―ク温度やピ―ク比などの値
も異なってくるのは当然である。たとえば、昇温速度が
変化すれば、ピ―ク温度やピ―ク比は変化し、照射紫外
線強度が変化してもピ―ク比は変化しうる。
【0022】したがって、たとえ本発明において示され
た条件とは異なる熱ルミネッセンス測定条件下におい
て、270K付近と140K付近とで所定のピ―ク比を
示さないプラセオジム付活希土類オキシ硫化物結晶体で
あっても、本発明において示された条件で熱ルミネッセ
ンスを測定した場合に、270K付近と140K付近と
で所定のピ―ク比を示し、かつ、410K付近の熱ルミ
ネッセンスの発光スペクトルのピ―ク比が所定の値にな
るのであれば、本発明のシンチレ―タと同一と見なすこ
とができる。
【0023】また、本発明においては、さらにセリウム
の添加により残光強度を低減することができる。従来技
術では、特願昭55−54156に示されるように、1
〜5000ppmのセリウムを添加することにより残光
強度を低減する方法がある。この方法は、とくにフッ
素、塩素、または臭素のハロゲン化元素を添加すること
により粉末蛍光体の輝度を向上させた場合、その残光強
度が増大してしまうので、これを低減するために有効で
ある。これに対し、例えば特願昭61−178304に
示すような原料蛍光体をタンタルなどの金属カプセル中
に封入した後1300〜1800℃の温度で熱間静水圧
プレス処理を行なう方法により製造されたセラミックス
は、セリウム添加による感度低下が大きい。ただし、こ
の製造方法によれば透光性が高いセラミックスが得られ
るので、フッ素、塩素または臭素のハロゲン元素の添加
あるいは特願昭61−161847に示されるような例
えばLi2 GeF6 等のフッ素化合物を焼結助材として
用いなくても、焼結後に適当な熱処理を施せば、十分高
い感度が期待できる。そして、このように、ハロゲン元
素を添加しない場合には、1ppm未満のセリウムを添
加した場合でも、残光低減の効果がある事が分った。こ
のようなことから、本発明のセラミックシンチレータに
おいては、ハロゲン化物が含まれていないことを考慮す
ると、そのセリウム添加量は1ppm未満であることが
好ましい。
【0024】
【実施例】本発明のセラミックシンチレ―タは従来技術
に示した手段単独では達成できないが、従来技術に示し
た手段を組み合わせ、かつ厳密に雰囲気および温度を制
御した熱処理を施すことによって達成できる。例えば、
リン酸イオンやアルカリ金属などの不純物を低減した蛍
光体粉を原料に用い、熱間静水圧プレス法によって製造
したプラセオジム付活希土類オキシ硫化物セラミックス
を、酸素分圧を10-5Torr以下にした雰囲気中で、
1200〜1500℃、より好ましくは1300〜14
00℃の熱処理を施すことによって本発明のセラミック
シンチレ―タが得られる。本発明のセラミックシンチレ
―タは上述のような製造法によって得られ、かつ要求さ
れた特性を満足するプラセオジムで付活した希土類オキ
シ硫化物セミックシンチレ―タが、所定の熱ルミネッセ
ンス特性を示す性質を具有していることを見出したこと
によってなされたものである。
【0025】図1に本発明のX線検出器の一例を示す。
図1に示すように、このX線検出器10は、本発明のプ
ラセオジム付活希土類オキシ硫化物セラミックシンチレ
―タ1をフォトダイオ―ド2に光学的に結合させること
によって得られる。このシンチレータ1の周囲は、光反
射膜4によって覆われている。図示するようにX光学的
結合手段としては可視光に対して透明な接着剤3を用い
た接着などの手段がある。シンチレ―タの放射線劣化お
よび残光が少ないためにこのようにして得られたX線検
出素子も感度が高く放射線劣化および残光の影響が少な
く、X線CTに用いた場合ア―チファクトの少ない画像
が得られる。
【0026】以下に本発明の実施例と比較例を説明す
る。 比較例1 リン酸イオンを30ppm、Naを6ppm、Siを4
ppm不純物として含み、1000ppmのPrを付活
剤として含む酸硫化ガドリニウム蛍光体(Gd22
S:Pr)を原料とし、特願昭61−178304に示
されるようなTaカプセルを用いたHIP法により15
00℃、1500kg重/cm2 (147MPa)の条
件で、直径60mm、高さ約60mmの円柱状のGd2
2 S:Prセラミックス塊を作製し、これから幅1m
m、厚み2mm、長さ30mmのシンチレ―タ試料を切
り出した。
【0027】この試料に液体窒素温度で波長254n
m、1W/m2 の紫外線を20分間照射した後、17K
/分の昇温速度で熱ルミネッセンス強度を測定したとき
のグロ―曲線の140Kのピ―クに対する270Kのピ
―ク比を求めたところ、その値は0.3であった。また
400Kから420Kまでの範囲の発光スペクトルを分
解能2nmのマルチチャンネル型の分光器を用いて測定
した。図2に比較例1の熱ルミネッセンスにおける40
0Kないし420Kの範囲の発光スペクトルを表すグラ
フ図を示す。図2に示すように、波長512nmのピ―
ク強度に対する波長630nmのピ―ク強度は3であっ
た。
【0028】このシンチレ―タをシリコンフォトダイオ
―ド上に接着してX線検出器を作製した。Gd22
S:Prセラミックシンチレ―タの代わりに同一形状の
CdWO4 単結晶シンチレ―タを用いたX線検出器の感
度を基準にしてこの検出器の感度を測定したところ、
1.7倍であり十分な値を示した。しかし、このX線検
出器に、管電圧120kVp、管電流200mAの条件
のX線を0.5秒間照射した後の残光特性を測定したと
ころ、励起停止後100msにおける残光強度は0.2
%で実用上問題のある数値であった。また、このX線検
出器に、管電圧120kVp、線量500レントゲンの
X線を照射した後の感度はX線照射前に対して97.2
%で放射線劣化による2.8%の感度低下があり、実用
上問題があった。
【0029】比較例2 不純物量およびPr添加は比較例1と同程度で、Ceを
30ppm添加した蛍光体を原料に用い比較例1と同様
の条件でHIP処理と切り出しを行った。比較例1と同
様に熱ルミネッセンス強度を測定した。グロ―曲線の1
40Kのピ―クに対する270Kのピ―ク比を求めたと
ころ、その値は0.007であった。また400Kから
420Kまでの範囲の発光スペクトルを分解能2nmの
マルチチャンネル型の分光器を用いて測定したところ、
波長512nmのピ―ク強度に対する波長630nmの
ピ―ク強度は2であった。このシンチレ―タをシリコン
フォトダイオ―ド上に接着してX線検出器を作製した。
Gd22 S:Prセラミックシンチレ―タの代わりに
同一形状のCdWO4 単結晶シンチレ―タを用いたX線
検出器の感度を基準にしてこの検出器の感度を測定した
ところ、1.4倍でった。このX線検出器の励起停止後
100msにおける残光強度は0.008%で実用上問
題のない数値であった。しかし、このX線検出器に、管
電圧120kVp、線量500レントゲンのX線を照射
した後の感度はX線照射前に対して97.5%で放射線
劣化による2.5%の感度低下があり、実用上問題があ
った。
【0030】実施例1 比較例1と同様の蛍光体を原料として使用し、比較例1
と同様の条件でHIP処理を行い、幅30mm、厚み2
mm、長さ35mmの板状試料を切り出した。この板状
試料を酸素分圧10-5以下の窒素雰囲気、1350℃、
24時間加熱処理した。この後、幅1mm、厚み2m
m、長さ30mmのシンチレ―タ寸法に切断加工し、比
較例1と同様にして特性を評価した。グロ―曲線の14
0Kのピ―クに対する270Kのピ―ク比は0.008
であった。また400Kから420Kまでの範囲の発光
スペクトルを測定した。図3に実施例1の熱ルミネッセ
ンスにおける400Kないし420Kの範囲の発光スペ
クトルを表すグラフ図を示す。図3に示すように、波長
512nmのピ―ク強度に対する波長630nmのピ―
ク強度は0.5であった。このシンチレ―タを用いたX
線検出器の感度はCdWO4 単結晶シンチレ―タを用い
たX線検出器の、2.0倍であった。このX線検出器の
励起停止後100msにおける残光強度は0.008%
で実用上問題のない数値であった。また、このX線検出
器に、管電圧120kVp、線量500レントゲンのX
線を照射した後の感度はX線照射前に対して99.0%
で放射線劣化による1.0%の感度低下があったが、実
用上問題のない水準であった。
【0031】実施例2 リン酸イオンを40ppm、Naを4ppm、Siを3
ppm不純物として含み、1000ppmのPrを付活
剤として含み、さらに、0.3ppmのCeを添加した
酸硫化ガドリニウム蛍光体(Gd22 S:Pr,C
e)を原料とし、比較例1と同様の条件でHIP処理を
行い、実施例1と同一の形状の板状試料に切出した。こ
の板状試料を温度が1300℃である以外は、実施例1
と同一の条件で加熱処理を施した。この後、幅1mm、
厚み2mm、長さ30mmのシンチレータ寸法に切断加
工し、比較例1と同様にして特性を評価した。図4に実
施例2にかかるグロー曲線を示す。図中×50とあるの
は、約270ないし480Kにおける発光強度を部分的
に50倍に拡大して表したグラフである。このグロー曲
線の140Kのピークに対する270Kのピーク比は、
0.006であった。また、400Kから420Kまで
の範囲の発光スペクトルで波長512nmのピーク強度
に対する波長630nmのピーク強度は、0.3であっ
た。このシンチレータを用いたX線検出器の感度は、C
dWO4 単結晶シンチレータを用いたX線検出器の1.
9倍であった。このX線検出器の励起停止後100ms
における残光強度は、0.005%で実用上問題のない
数値であった。また、このX線検出器に、管電圧120
kVp、線量500レントゲンのX線を照射した後の感
度は、X線照射前に対して99.2%で放射線劣化によ
る0.8%の感度低下であったが、実用上問題のない水
準であった。
【0032】実施例3 リン酸イオンを30ppm、Naを12ppm、Siを
3ppm不純物として含み、1000ppmのPrを付
活剤として含み、さらに、0.8ppmのCeを添加し
た酸硫化ガドリニウム蛍光体(Gd22 S:Pr,C
e)を原料とし、比較例1と同様の条件でHIP処理を
行い、実施例1と同一の形状の板状試料に切出した。こ
の板状試料を温度が1400℃である以外は、実施例1
と同一の条件で加熱処理を施した。この後、幅1mm、
厚み2mm、長さ30mmのシンチレータ寸法に切断加
工し、比較例1と同様にして特性を評価した。グロー曲
線の140Kのピークに対する270Kのピーク比は、
0.002であった。また、400Kから420Kまで
の範囲の発光スペクトルで波長512nmのピーク強度
に対する波長630nmのピーク強度は、0.8であっ
た。このシンチレータを用いたX線検出器の感度は、C
dWO4 単結晶シンチレータを用いたX線検出器の1.
7倍であった。このX線検出器の励起停止後100ms
における残光強度は、0.003%で実用上問題のない
数値であった。また、このX線検出器に、管電圧120
kVp、線量500レントゲンのX線を照射した後の感
度は、X線照射前に対して98.2%で放射線劣化によ
る1.8%の感度低下であったが、実用上問題のない水
準であった。
【0033】
【発明の効果】以上説明したように本発明のセラミック
シンチレ―タは、発光強度が高く残光および放射線劣化
が少なく、これを用いたX線検出器は高感度でア―チフ
ァクトが少ない。このため、X線CTなどのX線検出器
に好適である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のX線検出器の一例を示す概略図
【図2】本発明にかかるセラミックシンチレータの一実
施例に関する熱ルミネッセンスにおける発光スペクトル
を示すグラフ図。
【図3】本発明にかかるセラミックシンチレータの他の
実施例に関する熱ルミネッセンスにおける発光スペクト
ルを示すグラフ図。
【図4】本発明にかかるセラミックシンチレータの他の
実施例に関するグロー曲線を示すグラフ図。
【符号の説明】
1…シンチレータ 2…フォトダイオード 3…接着剤 4…光反射膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 横田 和人 神奈川県横浜市磯子区新杉田町8番地 株式会社東芝横浜事業所内 (56)参考文献 特開 平1−221485(JP,A) 特開 平6−108045(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C09K 11/00 - 11/84 G01T 1/20 - 1/208

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 プラセオジムで付活した希土類オキシ硫
    化物を焼結助材を用いることなく、タンタルを使用した
    金属カプセル内で1300℃より大きく1800℃以下
    の温度で熱間静水圧プレス処理を行った後、1300℃
    より大きく1400℃以下の温度で熱処理することによ
    り得られた多結晶焼結体から実質的になり、液体窒素温
    度で波長254nm、1W/m2 の紫外線を20分間照
    射した後、15±5K/分の昇温速度で熱ルミネッセン
    ス強度を測定したとき、グロ―曲線の140±10Kの
    ピ―クに対する270±20Kのピ―ク比が0.01以
    下であり、かつ410±20Kの熱ルミネッセンスを分
    解能2nmで測定したときの発光スペクトルにおいて、
    波長512±3nmのピ―ク強度に対する波長630±
    3nmのピ―ク強度が1以下であることを特徴とするセ
    ラミックシンチレ―タ。
  2. 【請求項2】 シンチレ―タとフォトダイオ―ドとを光
    学的に結合させたX線検出素子を具備するX線検出器に
    おいて、前記シンチレ―タは、プラセオジムで付活した
    希土類オキシ硫化物を焼結助材を用いることなく、タン
    タルを使用した金属カプセル内で1300℃より大きく
    1800℃以下の温度で熱間静水圧プレス処理を行った
    後、1300℃より大きく1400℃以下の温度で熱処
    理することにより得られた多結晶焼結体から実質的にな
    り、液体窒素温度で波長254nm、1W/m2 の紫外
    線を20分間照射した後、15±5K/分の昇温速度で
    熱ルミネッセンス強度を測定したとき、グロ―曲線の1
    40±10Kのピ―クに対する270±20Kのピ―ク
    比が0.01以下であり、かつ410±20Kの熱ルミ
    ネッセンスを分解能2nmで測定したときの発光スペク
    トルにおいて、波長512±3nmのピ―ク強度に対す
    る波長630±3nmのピ―ク強度が1以下であること
    を特徴とするX線検出器。
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