JP3450955B2 - 窒化アルミニウム質焼結体の製造方法 - Google Patents
窒化アルミニウム質焼結体の製造方法Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、各種絶縁基板及び
半導体素子収納用パッケージ材料等に利用される窒化ア
ルミニウム質焼結体の製造方法に関し、詳細には１７０
０℃以下の温度で焼結が可能で、酸やアルカリ等の薬品
に対して劣化せず、かつ良好な熱伝導率を有する窒化ア
ルミニウム質焼結体の製造方法に関するものである。
半導体素子収納用パッケージ材料等に利用される窒化ア
ルミニウム質焼結体の製造方法に関し、詳細には１７０
０℃以下の温度で焼結が可能で、酸やアルカリ等の薬品
に対して劣化せず、かつ良好な熱伝導率を有する窒化ア
ルミニウム質焼結体の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体素子の高集積化に伴い、半
導体装置から発生する熱も増加しており、該半導体装置
の誤動作をなくすためには、このような熱を装置外に放
出する基板が必要となっている。
導体装置から発生する熱も増加しており、該半導体装置
の誤動作をなくすためには、このような熱を装置外に放
出する基板が必要となっている。
【０００３】しかし、従来から用いられてきた各種絶縁
基板や半導体素子収納用パッケージ等のアルミナ材料
は、熱伝導率が約２０Ｗ／ｍＫと低いことから、高熱伝
導性の窒化アルミニウムが注目され始めた。その結果、
窒化アルミニウムは、単結晶では理論熱伝導率が３２０
Ｗ／ｍＫと高いことから、最近では２００Ｗ／ｍＫを越
えるような焼結体も開発されている。
基板や半導体素子収納用パッケージ等のアルミナ材料
は、熱伝導率が約２０Ｗ／ｍＫと低いことから、高熱伝
導性の窒化アルミニウムが注目され始めた。その結果、
窒化アルミニウムは、単結晶では理論熱伝導率が３２０
Ｗ／ｍＫと高いことから、最近では２００Ｗ／ｍＫを越
えるような焼結体も開発されている。
【０００４】このような窒化アルミニウム質焼結体の製
造方法としては、希土類化合物またはアルカリ土類化合
物等の助剤を添加して１８００℃以上の高温で焼成する
方法がある。
造方法としては、希土類化合物またはアルカリ土類化合
物等の助剤を添加して１８００℃以上の高温で焼成する
方法がある。
【０００５】しかしながら、前記方法は、焼成に使用す
る治具の消耗、焼成炉の構造、ランニングコスト等を考
えると製造コストが高くなるという欠点があった。
る治具の消耗、焼成炉の構造、ランニングコスト等を考
えると製造コストが高くなるという欠点があった。
【０００６】そこで、係る欠点を解消して製造コストを
低減するため、焼結助剤として希土類化合物とアルカリ
土類化合物を同時に添加し、１６００〜１７００℃で焼
成する方法が提案されている（特公平６−４９６１３号
公報、特公平７−１７４５４号公報参照）。
低減するため、焼結助剤として希土類化合物とアルカリ
土類化合物を同時に添加し、１６００〜１７００℃で焼
成する方法が提案されている（特公平６−４９６１３号
公報、特公平７−１７４５４号公報参照）。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記希
土類化合物とアルカリ土類化合物を同時に添加して得ら
れた焼結体を用いてパッケージ等の製品を製造する際、
メッキ工程において酸やアルカリ等の薬品に対して劣化
するという問題があり、特にアルカリ性の薬品に対して
は、窒化アルミニウム自体が溶解するため劣化が著しい
という課題があった。
土類化合物とアルカリ土類化合物を同時に添加して得ら
れた焼結体を用いてパッケージ等の製品を製造する際、
メッキ工程において酸やアルカリ等の薬品に対して劣化
するという問題があり、特にアルカリ性の薬品に対して
は、窒化アルミニウム自体が溶解するため劣化が著しい
という課題があった。
【０００８】また、前記材料の耐薬品性を向上させよう
とすると、逆に熱伝導率が低下するという問題が発生
し、現在のところ、１７００℃以下の温度で焼結し、酸
及びアルカリの薬品に対して劣化せず、かつ少なくとも
７０Ｗ／ｍＫ以上の高熱伝導を示すような窒化アルミニ
ウム質焼結体が得られていないという課題があった。
とすると、逆に熱伝導率が低下するという問題が発生
し、現在のところ、１７００℃以下の温度で焼結し、酸
及びアルカリの薬品に対して劣化せず、かつ少なくとも
７０Ｗ／ｍＫ以上の高熱伝導を示すような窒化アルミニ
ウム質焼結体が得られていないという課題があった。
【０００９】
【発明の目的】本発明は前記課題を解消するために成さ
れたもので、その目的は製造コストを低く抑えて高熱伝
導率を維持したまま、酸及びアルカリに対する耐薬品性
に優れた窒化アルミニウム質焼結体を得る製造方法を提
供することにある。
れたもので、その目的は製造コストを低く抑えて高熱伝
導率を維持したまま、酸及びアルカリに対する耐薬品性
に優れた窒化アルミニウム質焼結体を得る製造方法を提
供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、前記課題
に対して鋭意検討を重ねた結果、希土類化合物とアルカ
リ土類化合物を添加し、１７００℃以下の温度で焼成す
る製造工程中、窒化アルミニウムに酸化処理を施すこと
により窒化アルミニウム質焼結体の酸及びアルカリの薬
品に対する劣化を防ぐとともに高い熱伝導率を維持し得
ることを見いだした。
に対して鋭意検討を重ねた結果、希土類化合物とアルカ
リ土類化合物を添加し、１７００℃以下の温度で焼成す
る製造工程中、窒化アルミニウムに酸化処理を施すこと
により窒化アルミニウム質焼結体の酸及びアルカリの薬
品に対する劣化を防ぐとともに高い熱伝導率を維持し得
ることを見いだした。
【００１１】即ち、本発明の窒化アルミニウム質焼結体
の製造方法は、窒化アルミニウム粉末あるいは／及び窒
化アルミニウム成形体を酸化雰囲気中で酸化処理し、窒
化アルミニウム粒子表面に酸化アルミニウム層を生成さ
せた後、非酸化性雰囲気中で焼成し、窒化アルミニウム
質焼結体の窒化アルミニウム粒子表面の結晶相をＹＡＧ
型結晶及び／またはＹＡＰ型結晶にすることにより酸及
びアルカリの薬品に対して劣化せず、しかも高い熱伝導
率を維持できることを特徴とするものである。
の製造方法は、窒化アルミニウム粉末あるいは／及び窒
化アルミニウム成形体を酸化雰囲気中で酸化処理し、窒
化アルミニウム粒子表面に酸化アルミニウム層を生成さ
せた後、非酸化性雰囲気中で焼成し、窒化アルミニウム
質焼結体の窒化アルミニウム粒子表面の結晶相をＹＡＧ
型結晶及び／またはＹＡＰ型結晶にすることにより酸及
びアルカリの薬品に対して劣化せず、しかも高い熱伝導
率を維持できることを特徴とするものである。
【００１２】
【作用】本発明の窒化アルミニウム質焼結体の製造方法
よれば、窒化アルミニウムと希土類化合物とアルカリ土
類化合物から成る助剤の混合粉末を成形し、１７００℃
以下の温度で焼成する際、窒化アルミニウム粉末あるい
は／及び窒化アルミニウム成形体を酸化雰囲気中で酸化
処理し、窒化アルミニウム粒子表面に酸化アルミニウム
層を生成させた後、非酸化性雰囲気中で焼成してＹＡＧ
型結晶及び／またはＹＡＰ型結晶を生成させることによ
り、高い熱伝導率を維持したまま、酸及びアルカリに対
する耐薬品性が向上することになる。
よれば、窒化アルミニウムと希土類化合物とアルカリ土
類化合物から成る助剤の混合粉末を成形し、１７００℃
以下の温度で焼成する際、窒化アルミニウム粉末あるい
は／及び窒化アルミニウム成形体を酸化雰囲気中で酸化
処理し、窒化アルミニウム粒子表面に酸化アルミニウム
層を生成させた後、非酸化性雰囲気中で焼成してＹＡＧ
型結晶及び／またはＹＡＰ型結晶を生成させることによ
り、高い熱伝導率を維持したまま、酸及びアルカリに対
する耐薬品性が向上することになる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明を実施例に基づき詳
細に述べる。
細に述べる。
【００１４】本発明の窒化アルミニウム質焼結体を製造
するために、先ず窒化アルミニウム粉末あるいは酸化処
理した窒化アルミニウム粉末を準備する。
するために、先ず窒化アルミニウム粉末あるいは酸化処
理した窒化アルミニウム粉末を準備する。
【００１５】次に、窒化アルミニウム粉末の酸化処理
は、７００〜１２００℃の温度で、雰囲気としては大気
中、水蒸気、炭酸ガス等、種々あるが、酸化性ガスであ
ればいずれの雰囲気でも良く、これらのガスを混合して
使用しても良い。
は、７００〜１２００℃の温度で、雰囲気としては大気
中、水蒸気、炭酸ガス等、種々あるが、酸化性ガスであ
ればいずれの雰囲気でも良く、これらのガスを混合して
使用しても良い。
【００１６】前記酸化処理による酸素の増加量として
は、酸化アルミニウムに換算して０．２〜３．２重量％
で、望ましくは０．５〜３重量％が良い。即ち、前記酸
素の増加量が０．２重量％より低くなると、表面に十分
に酸化アルミニウム層が生成せず耐薬品性が向上せず、
一方、３．２重量％より高いとＡｌ−Ｏ−Ｎ系結晶の生
成により熱伝導率が低下するため、前記範囲に限定され
る。
は、酸化アルミニウムに換算して０．２〜３．２重量％
で、望ましくは０．５〜３重量％が良い。即ち、前記酸
素の増加量が０．２重量％より低くなると、表面に十分
に酸化アルミニウム層が生成せず耐薬品性が向上せず、
一方、３．２重量％より高いとＡｌ−Ｏ−Ｎ系結晶の生
成により熱伝導率が低下するため、前記範囲に限定され
る。
【００１７】次いで、前記窒化アルミニウム粉末に焼結
助剤として希土類化合物とアルカリ土類化合物を添加し
て混合する。
助剤として希土類化合物とアルカリ土類化合物を添加し
て混合する。
【００１８】前記希土類化合物としては、Ｙ、Ｌａ、Ｃ
ｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄ
ｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕのいずれの化合物で
も用いることができ、化合物の種類としては、酸化物、
フッ化物、炭酸塩、水酸化物、硝酸塩等のいずれでも良
い。
ｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄ
ｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕのいずれの化合物で
も用いることができ、化合物の種類としては、酸化物、
フッ化物、炭酸塩、水酸化物、硝酸塩等のいずれでも良
い。
【００１９】また、前記アルカリ土類化合物としては、
Ｂｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｒａのいずれの化合物
でも用いることができ、化合物の種類としては、酸化
物、炭化物、炭酸塩、水酸化物、硝酸塩等のいずれでも
良い。
Ｂｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｒａのいずれの化合物
でも用いることができ、化合物の種類としては、酸化
物、炭化物、炭酸塩、水酸化物、硝酸塩等のいずれでも
良い。
【００２０】かくして得られた窒化アルミニウムと焼結
助剤の混合粉末は、公知の成形方法、例えば、プレス成
形、ＣＩＰ、テープ成形、押出し成形、射出成形等、い
ずれの成形方法でも成形することができる。
助剤の混合粉末は、公知の成形方法、例えば、プレス成
形、ＣＩＰ、テープ成形、押出し成形、射出成形等、い
ずれの成形方法でも成形することができる。
【００２１】次に、得られた成形体の酸化処理を行う
が、窒化アルミニウム原料を酸化処理した場合には必ず
しも行う必要はなく、酸化処理は前述の如く、７００〜
１２００℃の温度で、雰囲気は前記酸化性ガスであれば
いずれでもよく、これらのガスを混合しても良い。
が、窒化アルミニウム原料を酸化処理した場合には必ず
しも行う必要はなく、酸化処理は前述の如く、７００〜
１２００℃の温度で、雰囲気は前記酸化性ガスであれば
いずれでもよく、これらのガスを混合しても良い。
【００２２】以上の様にして得られた成形体を１７００
℃以下、非酸化性雰囲気中で焼成し、得られた焼結体は
窒化アルミニウムとＹＡＧ型結晶及び／またはＹＡＰ型
結晶から構成されることが望ましい。
℃以下、非酸化性雰囲気中で焼成し、得られた焼結体は
窒化アルミニウムとＹＡＧ型結晶及び／またはＹＡＰ型
結晶から構成されることが望ましい。
【００２３】即ち、結晶相としてＹＡＭ型結晶が現れる
と、酸及びアルカリの薬品に対して劣化が起こるため、
結晶相をＹＡＧ型結晶及び／またはＹＡＰ型結晶とする
ことが必要であり、窒化アルミニウム粉末の酸素量と酸
化処理により増加した酸素量の和によるが、前記希土類
化合物の添加量は酸化物に換算して２〜１５重量％が望
ましく、該添加量が２重量％より少ないとＹＡＧ型結晶
とともにＡｌ−Ｏ−Ｎ系結晶が析出し、熱伝導率が低下
し、一方、１５重量％より多いとＹＡＭ型結晶が析出し
て酸及びアルカリに対する劣化が起こることになる。
と、酸及びアルカリの薬品に対して劣化が起こるため、
結晶相をＹＡＧ型結晶及び／またはＹＡＰ型結晶とする
ことが必要であり、窒化アルミニウム粉末の酸素量と酸
化処理により増加した酸素量の和によるが、前記希土類
化合物の添加量は酸化物に換算して２〜１５重量％が望
ましく、該添加量が２重量％より少ないとＹＡＧ型結晶
とともにＡｌ−Ｏ−Ｎ系結晶が析出し、熱伝導率が低下
し、一方、１５重量％より多いとＹＡＭ型結晶が析出し
て酸及びアルカリに対する劣化が起こることになる。
【００２４】また、耐薬品性を向上させるためには、本
発明のように窒化アルミニウム粉末及び／あるいは窒化
アルミニウム成形体を酸化処理し、窒化アルミニウム粉
末表面に酸化アルミニウムを生成させることが重要とな
る。
発明のように窒化アルミニウム粉末及び／あるいは窒化
アルミニウム成形体を酸化処理し、窒化アルミニウム粉
末表面に酸化アルミニウムを生成させることが重要とな
る。
【００２５】前記酸化アルミニウムは焼結助剤として添
加した希土類化合物と反応し、ＹＡＧ型結晶及び／また
はＹＡＰ型結晶が窒化アルミニウム粒子表面に均一に生
成し、窒化アルミニウム粒子を保護していると考えられ
る。
加した希土類化合物と反応し、ＹＡＧ型結晶及び／また
はＹＡＰ型結晶が窒化アルミニウム粒子表面に均一に生
成し、窒化アルミニウム粒子を保護していると考えられ
る。
【００２６】尚、前述のような酸化処理で増加する量と
同量の酸化アルミニウムを予め添加したとしても、前記
ＹＡＧ型結晶及び／またはＹＡＰ型結晶は主に３重点に
生成することから、焼結体の酸及びアルカリの耐薬品性
に対する劣化防止の効果は認められず、前記課題の解消
とは成り得ない。
同量の酸化アルミニウムを予め添加したとしても、前記
ＹＡＧ型結晶及び／またはＹＡＰ型結晶は主に３重点に
生成することから、焼結体の酸及びアルカリの耐薬品性
に対する劣化防止の効果は認められず、前記課題の解消
とは成り得ない。
【００２７】
【実施例】以下、本発明を実施例に基づき詳細に述べ
る。
る。
【００２８】平均粒径が１．９μｍ、酸素量が０．９８
％の窒化アルミニウム原料に表１に示す焼結助剤を所定
量添加混合し、その混合粉末に対して、成形用バインダ
ーとしてパラフィンワックスをイソプロピルアルコール
を溶媒として添加し、混練乾燥後、篩を通して顆粒を
得、該顆粒を成形圧１ｔｏｎ／ｃｍ2 で金型プレスによ
り直径１２ｍｍ、厚さ５ｍｍの円板状に成形した。
％の窒化アルミニウム原料に表１に示す焼結助剤を所定
量添加混合し、その混合粉末に対して、成形用バインダ
ーとしてパラフィンワックスをイソプロピルアルコール
を溶媒として添加し、混練乾燥後、篩を通して顆粒を
得、該顆粒を成形圧１ｔｏｎ／ｃｍ2 で金型プレスによ
り直径１２ｍｍ、厚さ５ｍｍの円板状に成形した。
【００２９】かくして得られた成形体を所定温度で脱脂
した後、表１に示した酸化条件で酸化処理し、酸化処理
後の酸素は、試料を粉砕後、酸素窒素同時分析装置（Ｌ
ＥＣＯ社製）により測定し、生成した酸化アルミニウム
の量を算出した。
した後、表１に示した酸化条件で酸化処理し、酸化処理
後の酸素は、試料を粉砕後、酸素窒素同時分析装置（Ｌ
ＥＣＯ社製）により測定し、生成した酸化アルミニウム
の量を算出した。
【００３０】
【表１】
【００３１】一方、前記酸化処理した同一ロットの試料
は、１６５０℃の温度で３時間、窒素気流中で焼成し
た。
は、１６５０℃の温度で３時間、窒素気流中で焼成し
た。
【００３２】かくして得られた評価用の焼結体を用い
て、Ｘ線回折により結晶相の同定を行うと共に、熱伝導
率は、レーザーフラッシュ法により測定した。
て、Ｘ線回折により結晶相の同定を行うと共に、熱伝導
率は、レーザーフラッシュ法により測定した。
【００３３】また、耐薬品性は、アルカリ性の薬品とし
て４Ｎ−ＮａＯＨ溶液を、酸性の薬品として４６％−Ｈ
Ｆ溶液を用いて、該溶液を２５℃に保持して１００時間
浸漬した後、該浸漬前後の重量変化を測定すると共に外
観を目視及び顕微鏡により観察し、変化が認められない
ものを○、変化が認められるものを×で表示した。
て４Ｎ−ＮａＯＨ溶液を、酸性の薬品として４６％−Ｈ
Ｆ溶液を用いて、該溶液を２５℃に保持して１００時間
浸漬した後、該浸漬前後の重量変化を測定すると共に外
観を目視及び顕微鏡により観察し、変化が認められない
ものを○、変化が認められるものを×で表示した。
【００３４】
【表２】
【００３５】表から明らかなように、本発明の請求範囲
外である酸化処理をしない試料番号１０や２６、あるい
は酸化処理をしても７００℃未満の温度で処理した試料
番号１１は、いずれも熱伝導率は高いものの耐薬品性が
悪く、また、１２００℃を越える温度での酸化処理でＡ
ｌ−Ｏ−Ｎ結晶相を析出した試料番号２０や、酸化処理
温度は適性でも同じくＡｌ−Ｏ−Ｎ結晶相を析出する試
料番号１では、耐薬品性は良いものの、逆に熱伝導率が
６２Ｗ／ｍＫ以下と低くなってしまう。更に、結晶相に
ＹＡＭ型結晶相を析出する試料番号８、９では熱伝導率
は高いものの耐薬品性が悪くなり、いずれも実用的でな
い。また、Ａｌ ２ Ｏ ３ 生成量が３．２重量％を超える試
料Ｎｏ．１７〜２０では、熱伝導率が８８Ｗ／ｍｋ以下
と低くなった。
外である酸化処理をしない試料番号１０や２６、あるい
は酸化処理をしても７００℃未満の温度で処理した試料
番号１１は、いずれも熱伝導率は高いものの耐薬品性が
悪く、また、１２００℃を越える温度での酸化処理でＡ
ｌ−Ｏ−Ｎ結晶相を析出した試料番号２０や、酸化処理
温度は適性でも同じくＡｌ−Ｏ−Ｎ結晶相を析出する試
料番号１では、耐薬品性は良いものの、逆に熱伝導率が
６２Ｗ／ｍＫ以下と低くなってしまう。更に、結晶相に
ＹＡＭ型結晶相を析出する試料番号８、９では熱伝導率
は高いものの耐薬品性が悪くなり、いずれも実用的でな
い。また、Ａｌ ２ Ｏ ３ 生成量が３．２重量％を超える試
料Ｎｏ．１７〜２０では、熱伝導率が８８Ｗ／ｍｋ以下
と低くなった。
【００３６】それらに対して、本発明の試料番号のもの
は、いずれも耐薬品性も良好で熱伝導率も１０８Ｗ／ｍ
Ｋ以上と良好である。
は、いずれも耐薬品性も良好で熱伝導率も１０８Ｗ／ｍ
Ｋ以上と良好である。
【００３７】
【発明の効果】以上、詳述した通り、本発明の窒化アル
ミニウム質焼結体の製造方法によれば、窒化アルミニウ
ムと希土類化合物及びアルカリ土類化合物から成る焼結
助剤の混合粉末を成形し、１７００℃以下の温度で焼成
する窒化アルミニウム質焼結体の製造方法であって、窒
化アルミニウム粉末あるいは窒化アルミニウム成形体を
酸化雰囲気中で酸化処理し、窒化アルミニウム粒子表面
に酸化アルミニウム層を生成させた後、非酸化性雰囲気
中で焼成し、窒化アルミニウム質焼結体の窒化アルミニ
ウム粒子表面の結晶相をＹＡＧ型結晶及び／またはＹＡ
Ｐ型結晶としたことから、１０８Ｗ／ｍＫ以上の高い熱
伝導を維持すると共に、酸及びアルカリに対する耐薬品
性の劣化を有効に防止した窒化アルミニウム質焼結体が
得られる。
ミニウム質焼結体の製造方法によれば、窒化アルミニウ
ムと希土類化合物及びアルカリ土類化合物から成る焼結
助剤の混合粉末を成形し、１７００℃以下の温度で焼成
する窒化アルミニウム質焼結体の製造方法であって、窒
化アルミニウム粉末あるいは窒化アルミニウム成形体を
酸化雰囲気中で酸化処理し、窒化アルミニウム粒子表面
に酸化アルミニウム層を生成させた後、非酸化性雰囲気
中で焼成し、窒化アルミニウム質焼結体の窒化アルミニ
ウム粒子表面の結晶相をＹＡＧ型結晶及び／またはＹＡ
Ｐ型結晶としたことから、１０８Ｗ／ｍＫ以上の高い熱
伝導を維持すると共に、酸及びアルカリに対する耐薬品
性の劣化を有効に防止した窒化アルミニウム質焼結体が
得られる。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 吉原 安彦
鹿児島県国分市山下町１番４号 京セラ
株式会社総合研究所内
(72)発明者 柳田 司
鹿児島県国分市山下町１番４号 京セラ
株式会社総合研究所内
(56)参考文献 特開 平６−172037（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−219845（ＪＰ，Ａ)
特公 平７−17454（ＪＰ，Ｂ２)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
C04B 35/581
Claims (2)
- 【請求項１】窒化アルミニウムと希土類化合物及びアル
カリ土類化合物から成る焼結助剤の混合粉末を成形し、
１７００℃以下の温度で焼成する窒化アルミニウム質焼
結体の製造方法において、窒化アルミニウム粉末あるい
は窒化アルミニウム成形体を酸化雰囲気中、７００〜１
２００℃の温度で酸化処理し、窒化アルミニウム粒子表
面に０．２〜３．２重量％の酸化アルミニウム層を生成
させた後、非酸化性雰囲気中で焼成し、得られた窒化ア
ルミニウム質焼結体の窒化アルミニウム粒子表面の結晶
相がＹＡＧ型結晶及び／またはＹＡＰ型結晶から成るこ
とを特徴とする窒化アルミニウム質焼結体の製造方法。 - 【請求項２】前記酸化処理により生成する酸化アルミニ
ウム層の量が０．５〜３．２重量％であることを特徴と
する請求項１記載の窒化アルミニウム質焼結体の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34225995A JP3450955B2 (ja) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 窒化アルミニウム質焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34225995A JP3450955B2 (ja) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 窒化アルミニウム質焼結体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09183661A JPH09183661A (ja) | 1997-07-15 |
| JP3450955B2 true JP3450955B2 (ja) | 2003-09-29 |
Family
ID=18352336
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34225995A Expired - Fee Related JP3450955B2 (ja) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 窒化アルミニウム質焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3450955B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1067560A (ja) * | 1996-03-18 | 1998-03-10 | Fuji Electric Co Ltd | 高熱伝導率セラミックスおよびその製造方法 |
-
1995
- 1995-12-28 JP JP34225995A patent/JP3450955B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09183661A (ja) | 1997-07-15 |
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