JP2698009B2 - 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 - Google Patents
窒化アルミニウム焼結体の製造方法Info
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- JP2698009B2 JP2698009B2 JP4339254A JP33925492A JP2698009B2 JP 2698009 B2 JP2698009 B2 JP 2698009B2 JP 4339254 A JP4339254 A JP 4339254A JP 33925492 A JP33925492 A JP 33925492A JP 2698009 B2 JP2698009 B2 JP 2698009B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、窒化アルミニウム焼
結体の製造方法に関する。
結体の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣ等に代表されるような半導体素子の
高集積化や大電力化が進み、これに伴って、放熱性の良
い電気絶縁材料が要求されるようになった。その中で
も、特に、窒化アルミニウム焼結体からなる絶縁基板
が、熱伝導性、熱膨張性、電気絶縁性等の点で優れてい
るということから、実用化が進んでいる。
高集積化や大電力化が進み、これに伴って、放熱性の良
い電気絶縁材料が要求されるようになった。その中で
も、特に、窒化アルミニウム焼結体からなる絶縁基板
が、熱伝導性、熱膨張性、電気絶縁性等の点で優れてい
るということから、実用化が進んでいる。
【０００３】しかしながら、窒化アルミニウムは共有結
合性の化合物であり、難焼結性である。そのため、セラ
ミックスを得るために焼結助剤を用いたり、ホットプレ
スを利用したりして、緻密で高熱伝導度の窒化アルミニ
ウム焼結体を得る試みがなされている。窒化アルミニウ
ム焼結体を得るのに使われる焼結助剤としては、Ｙ2 Ｏ
3 （特開昭49-111909 号) やＣａＯ（特公昭58-49510
号) が挙げられるが、こさらを用いた場合、１８００℃
以上の高い温度で焼成する必要がある。焼結助剤である
Ｙ 2 Ｏ3 とＣａＯを併用使用し、１７００℃程度の温度
で焼成することが提案されている（特開昭61-117160
号) が、熱伝導度が十分でない。
合性の化合物であり、難焼結性である。そのため、セラ
ミックスを得るために焼結助剤を用いたり、ホットプレ
スを利用したりして、緻密で高熱伝導度の窒化アルミニ
ウム焼結体を得る試みがなされている。窒化アルミニウ
ム焼結体を得るのに使われる焼結助剤としては、Ｙ2 Ｏ
3 （特開昭49-111909 号) やＣａＯ（特公昭58-49510
号) が挙げられるが、こさらを用いた場合、１８００℃
以上の高い温度で焼成する必要がある。焼結助剤である
Ｙ 2 Ｏ3 とＣａＯを併用使用し、１７００℃程度の温度
で焼成することが提案されている（特開昭61-117160
号) が、熱伝導度が十分でない。
【０００４】また、焼結助剤であるＹ2 Ｏ3 とＬａＢ6
を併用したり（特開平03-146471 号) 、焼結助剤である
ＣａＯとＬａＢ6 を併用する（特開平03-197366 号）こ
とが提案されている。この場合、熱伝導度は十分である
が、１９００℃の高い焼成温度が必要となる。焼成温度
が高い場合、エネルギーコスト（ランニングコスト）が
高くなる等の問題が出てくる。
を併用したり（特開平03-146471 号) 、焼結助剤である
ＣａＯとＬａＢ6 を併用する（特開平03-197366 号）こ
とが提案されている。この場合、熱伝導度は十分である
が、１９００℃の高い焼成温度が必要となる。焼成温度
が高い場合、エネルギーコスト（ランニングコスト）が
高くなる等の問題が出てくる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、上記事情
に鑑み、熱伝導率の高い窒化アルミニウム焼結体を低い
焼成温度で得ることのできる方法を提供することを課題
とする。
に鑑み、熱伝導率の高い窒化アルミニウム焼結体を低い
焼成温度で得ることのできる方法を提供することを課題
とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、この発明にかかる窒化アルミニウム焼結体の製造方
法は、窒化アルミニウム粉末に焼結助剤を添加し成型し
てなる成形体を、非酸化性雰囲気で焼成することにより
焼結させるにあたり、前記焼結助剤として、下記の焼結
剤ａ，ｂ，ｃを下記の範囲の添加量で３者併用のかたち
で用いるようにしている。
め、この発明にかかる窒化アルミニウム焼結体の製造方
法は、窒化アルミニウム粉末に焼結助剤を添加し成型し
てなる成形体を、非酸化性雰囲気で焼成することにより
焼結させるにあたり、前記焼結助剤として、下記の焼結
剤ａ，ｂ，ｃを下記の範囲の添加量で３者併用のかたち
で用いるようにしている。
【０００７】「焼結助剤ａ」：稀土類酸化物、および、
前記焼成で稀土類酸化物となる化合物からなる稀土類化
合物群のうちの少なくとも一種を、焼結体全体１００重
量％のうち０．０１〜１０重量％の範囲で添加（焼成で
稀土類酸化物となる化合物は酸化物に換算）する。 「焼結助剤ｂ」：アルカリ土類酸化物、および、前記焼
成でアルカリ土類酸化物となる化合物からなるアルカリ
土類化合物群のうちの少なくとも一種を、焼結体全体１
００重量％のうち０．０１〜１０重量％の範囲で添加
（焼成でアルカリ土類酸化物となる化合物は酸化物に換
算）する。
前記焼成で稀土類酸化物となる化合物からなる稀土類化
合物群のうちの少なくとも一種を、焼結体全体１００重
量％のうち０．０１〜１０重量％の範囲で添加（焼成で
稀土類酸化物となる化合物は酸化物に換算）する。 「焼結助剤ｂ」：アルカリ土類酸化物、および、前記焼
成でアルカリ土類酸化物となる化合物からなるアルカリ
土類化合物群のうちの少なくとも一種を、焼結体全体１
００重量％のうち０．０１〜１０重量％の範囲で添加
（焼成でアルカリ土類酸化物となる化合物は酸化物に換
算）する。
【０００８】「焼結助剤ｃ」：ＬａＢ6 を、焼結体全体
１００重量％のうち０．０１〜５重量％の範囲で添加す
る。 なお、各焼結剤ａ〜ｃの添加量は確実な添加効果という
観点からすると、「焼結助剤ａ」の添加量が０．１〜１
０重量％の範囲であって、「焼結助剤ｂ」の添加量が
０．０５〜１０重量％の範囲であり、「焼結助剤ｃ」の
添加量が０．０５〜５重量％の範囲であるのが好まし
い。
１００重量％のうち０．０１〜５重量％の範囲で添加す
る。 なお、各焼結剤ａ〜ｃの添加量は確実な添加効果という
観点からすると、「焼結助剤ａ」の添加量が０．１〜１
０重量％の範囲であって、「焼結助剤ｂ」の添加量が
０．０５〜１０重量％の範囲であり、「焼結助剤ｃ」の
添加量が０．０５〜５重量％の範囲であるのが好まし
い。
【０００９】以下、この発明を、より具体的に説明す
る。この発明で使われる焼結助剤は粉末の形態のものを
用い、窒化アルミニウム粉末に添加混合するようにす
る。焼結助剤ａの稀土類化合物における稀土類元素とし
ては、Ｙ，Ｌａ，Ｄｙ，Ｅｒ，Ｃｅ，Ｓｍ，Ｎｄ，Ｇ
ｄ，Ｐｒ，Ｈｏ，Ｙｂなどが挙げられるが、特に、Ｙ，
Ｌａ，Ｄｙ，Ｅｒが好適である。焼結助剤ａの使用にあ
たっては、稀土類酸化物を複数種併用したり、焼成で稀
土類酸化物となる化合物を複数種併用したり、稀土類酸
化物と焼成で稀土類酸化物となる化合物とを併用したり
するようにしてもよい。焼成で稀土類酸化物となる化合
物としては、炭酸化物、硝酸化物、水酸化物、しゅう酸
化物などの形態のものが挙げられる。
る。この発明で使われる焼結助剤は粉末の形態のものを
用い、窒化アルミニウム粉末に添加混合するようにす
る。焼結助剤ａの稀土類化合物における稀土類元素とし
ては、Ｙ，Ｌａ，Ｄｙ，Ｅｒ，Ｃｅ，Ｓｍ，Ｎｄ，Ｇ
ｄ，Ｐｒ，Ｈｏ，Ｙｂなどが挙げられるが、特に、Ｙ，
Ｌａ，Ｄｙ，Ｅｒが好適である。焼結助剤ａの使用にあ
たっては、稀土類酸化物を複数種併用したり、焼成で稀
土類酸化物となる化合物を複数種併用したり、稀土類酸
化物と焼成で稀土類酸化物となる化合物とを併用したり
するようにしてもよい。焼成で稀土類酸化物となる化合
物としては、炭酸化物、硝酸化物、水酸化物、しゅう酸
化物などの形態のものが挙げられる。
【００１０】焼結助剤ｂのアルカリ土類化合物における
アルカリ土類元素としては、Ｍｇ，Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａな
どが挙げられるが、特に、Ｃａが好適である。焼結助剤
ｂの使用にあたっては、アルカリ土類酸化物も複数種併
用したり、焼成でアルカリ土類酸化物となる化合物を複
数種併用したり、アルカリ土類酸化物と焼成でアルカリ
土類酸化物となる化合物とを併用したりするようにして
もよい。焼成でアルカリ土類酸化物となる化合物として
は、炭酸化物、硝酸化物、水酸化物、しゅう酸化物など
の形態のものが挙げられる。
アルカリ土類元素としては、Ｍｇ，Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａな
どが挙げられるが、特に、Ｃａが好適である。焼結助剤
ｂの使用にあたっては、アルカリ土類酸化物も複数種併
用したり、焼成でアルカリ土類酸化物となる化合物を複
数種併用したり、アルカリ土類酸化物と焼成でアルカリ
土類酸化物となる化合物とを併用したりするようにして
もよい。焼成でアルカリ土類酸化物となる化合物として
は、炭酸化物、硝酸化物、水酸化物、しゅう酸化物など
の形態のものが挙げられる。
【００１１】焼結助剤ｃであるＬａＢ6 は、純度が９
９．９％以上で、その粒径は窒化アルミニウム粉末と均
一に分散させるために１０μｍ未満が好ましい。焼成
は、１６５０程度から１８００℃程度の温度範囲（好ま
しくは１６５０〜１７００℃程度の温度範囲）で２〜１
０時間程度の時間おこなうが、この焼成条件に限らな
い。焼成雰囲気は非酸化性雰囲気である。Ｎ2 やＡｒな
どの不活性ガス雰囲気やＨ2 等の還元性ガス雰囲気、不
活性ガスと還元性ガスとの混合ガス雰囲気などが挙げら
れる。
９．９％以上で、その粒径は窒化アルミニウム粉末と均
一に分散させるために１０μｍ未満が好ましい。焼成
は、１６５０程度から１８００℃程度の温度範囲（好ま
しくは１６５０〜１７００℃程度の温度範囲）で２〜１
０時間程度の時間おこなうが、この焼成条件に限らな
い。焼成雰囲気は非酸化性雰囲気である。Ｎ2 やＡｒな
どの不活性ガス雰囲気やＨ2 等の還元性ガス雰囲気、不
活性ガスと還元性ガスとの混合ガス雰囲気などが挙げら
れる。
【００１２】１６５０℃程度〜１７００℃程度の温度の
焼成で十分に焼結させられる場合、エネルギーコストが
安くなるし、炉や焼成治具等の材質の制限も緩やかにな
る。
焼成で十分に焼結させられる場合、エネルギーコストが
安くなるし、炉や焼成治具等の材質の制限も緩やかにな
る。
【００１３】
【作用】この発明の窒化アルミニウム粉末の成形体に
は、稀土類化合物（焼結助剤ａ）、アルカリ土類化合物
（焼結助剤ｂ）、ＬａＢ6 （焼結助剤ｃ）の３種の焼結
助剤を適切な量で併用添加されているため、得られた窒
化アルミニウム焼結体は、焼成温度が低くても、十分に
高い熱伝導率になっている。その理由は完全に解明され
てはいないが、以下のようなことと推察される。
は、稀土類化合物（焼結助剤ａ）、アルカリ土類化合物
（焼結助剤ｂ）、ＬａＢ6 （焼結助剤ｃ）の３種の焼結
助剤を適切な量で併用添加されているため、得られた窒
化アルミニウム焼結体は、焼成温度が低くても、十分に
高い熱伝導率になっている。その理由は完全に解明され
てはいないが、以下のようなことと推察される。
【００１４】稀土類化合物やアルカリ土類化合物、Ｌａ
Ｂ6 の添加量が０．０１重量％未満だと添加量が少な過
ぎて十分に焼結させられなくなる。稀土類化合物やアル
カリ土類化合物の添加量が１０重量％を超えたり、Ｌａ
Ｂ6 の添加量が５重量％を超える場合は添加量が多すぎ
て、却って十分に焼結させられなくなる。この発明の場
合、窒化アルミニウム粉末の表層には或る種のアルミニ
ウム酸化膜が存在しており、焼成過程において、前記の
酸化膜とアルカリ土類酸化物とが焼成温度よりも低温域
で液相を形成し、緻密化が促進される。また、焼成過程
では、アルミニウム酸化膜とアルカリ土類酸化物とで生
じた液相と稀土類酸化物との反応により、窒化アルミニ
ウム粒子中の不純物が取り除かれ、高純度化が促進され
る。一方、ＬａＢ6 には還元剤としての効果があり、焼
成過程で窒化アルミニウム粒子中の不純物酸素が取り除
かれ、高熱伝導化がもたらされる。
Ｂ6 の添加量が０．０１重量％未満だと添加量が少な過
ぎて十分に焼結させられなくなる。稀土類化合物やアル
カリ土類化合物の添加量が１０重量％を超えたり、Ｌａ
Ｂ6 の添加量が５重量％を超える場合は添加量が多すぎ
て、却って十分に焼結させられなくなる。この発明の場
合、窒化アルミニウム粉末の表層には或る種のアルミニ
ウム酸化膜が存在しており、焼成過程において、前記の
酸化膜とアルカリ土類酸化物とが焼成温度よりも低温域
で液相を形成し、緻密化が促進される。また、焼成過程
では、アルミニウム酸化膜とアルカリ土類酸化物とで生
じた液相と稀土類酸化物との反応により、窒化アルミニ
ウム粒子中の不純物が取り除かれ、高純度化が促進され
る。一方、ＬａＢ6 には還元剤としての効果があり、焼
成過程で窒化アルミニウム粒子中の不純物酸素が取り除
かれ、高熱伝導化がもたらされる。
【００１５】このように、３種類の焼結助剤を組み合わ
せる事による相互作用により、比較的低い焼成温度で高
熱伝導度の窒化アルミニウム焼結体を得ることが出来
る。
せる事による相互作用により、比較的低い焼成温度で高
熱伝導度の窒化アルミニウム焼結体を得ることが出来
る。
【００１６】
【実施例】以下、この発明の実施例を説明する。この発
明は下記の実施例に限らない。 −実施例１− 比表面積が３．３ｍ2 ／ｇの窒化アルミニウム粉末に、
下記の焼結助剤を添加し、イソプロピルアルコールを溶
媒にしてボールミルで混合した。
明は下記の実施例に限らない。 −実施例１− 比表面積が３．３ｍ2 ／ｇの窒化アルミニウム粉末に、
下記の焼結助剤を添加し、イソプロピルアルコールを溶
媒にしてボールミルで混合した。
【００１７】「焼結助剤ａ」：Ｙ2 Ｏ3 ，２．０重量％
の添加量 「焼結助剤ｂ」：ＣａＣＯ3 ，（ＣａＯ換算で）１．０
重量％の添加量 「焼結助剤ｃ」：ＬａＢ6 ，０．１重量％の添加量 得られた混合粉末を、直径２０ｍｍ，高さ１０ｍｍの円
板状に成型したのち、１．５ｔｏｎ／ｃｍ2 の圧力でラ
バープレスし、ＢＮ容器に収納し、窒素を含む非酸化性
雰囲気で焼成した。焼成温度は１６７０℃で２時間の常
圧焼成を行い焼結させて、窒化アルミニウム焼結体を得
た。
の添加量 「焼結助剤ｂ」：ＣａＣＯ3 ，（ＣａＯ換算で）１．０
重量％の添加量 「焼結助剤ｃ」：ＬａＢ6 ，０．１重量％の添加量 得られた混合粉末を、直径２０ｍｍ，高さ１０ｍｍの円
板状に成型したのち、１．５ｔｏｎ／ｃｍ2 の圧力でラ
バープレスし、ＢＮ容器に収納し、窒素を含む非酸化性
雰囲気で焼成した。焼成温度は１６７０℃で２時間の常
圧焼成を行い焼結させて、窒化アルミニウム焼結体を得
た。
【００１８】−実施例２− 焼結助剤ｃのＬａＢ6 の添加量が、０．２５重量％であ
る他は、実施例１と同様にして、窒化アルミニウム焼結
体を得た。 −実施例３− 焼結助剤ｃのＬａＢ6 の添加量が、０．５０重量％であ
る他は、実施例１と同様にして、窒化アルミニウム焼結
体を得た。
る他は、実施例１と同様にして、窒化アルミニウム焼結
体を得た。 −実施例３− 焼結助剤ｃのＬａＢ6 の添加量が、０．５０重量％であ
る他は、実施例１と同様にして、窒化アルミニウム焼結
体を得た。
【００１９】−実施例４− 焼結助剤ｃのＬａＢ6 の添加量が、０．７５重量％であ
る他は、実施例１と同様にして、窒化アルミニウム焼結
体を得た。 −実施例５− 焼結助剤ｃのＬａＢ6 の添加量が、１．０重量％である
他は、実施例１と同様にして、窒化アルミニウム焼結体
を得た。
る他は、実施例１と同様にして、窒化アルミニウム焼結
体を得た。 −実施例５− 焼結助剤ｃのＬａＢ6 の添加量が、１．０重量％である
他は、実施例１と同様にして、窒化アルミニウム焼結体
を得た。
【００２０】−比較例１− 焼結助剤が下記のとおりである他は、実施例１と同様に
して、窒化アルミニウム焼結体を得た。 「焼結助剤ａ」：Ｙ2 Ｏ3 ，２．０重量の添加量 「焼結助剤ｂ」：ＣａＣＯ3 ，（ＣａＯ換算で）１．０
重量％の添加量 −比較例２− 焼結助剤が下記のとおりである他は、実施例１と同様に
して、窒化アルミニウム焼結体を得た。
して、窒化アルミニウム焼結体を得た。 「焼結助剤ａ」：Ｙ2 Ｏ3 ，２．０重量の添加量 「焼結助剤ｂ」：ＣａＣＯ3 ，（ＣａＯ換算で）１．０
重量％の添加量 −比較例２− 焼結助剤が下記のとおりである他は、実施例１と同様に
して、窒化アルミニウム焼結体を得た。
【００２１】「焼結助剤ｂ」：ＣａＣＯ3 ，（ＣａＯ換
算で）１．０重量％の添加量 「焼結助剤ｃ」：ＬａＢ6 ，０．１重量％の添加量 −比較例３− 焼結助剤が下記のとおりである他は、実施例１と同様に
して、窒化アルミニウム焼結体を得た。
算で）１．０重量％の添加量 「焼結助剤ｃ」：ＬａＢ6 ，０．１重量％の添加量 −比較例３− 焼結助剤が下記のとおりである他は、実施例１と同様に
して、窒化アルミニウム焼結体を得た。
【００２２】「焼結助剤ｂ」：ＣａＣＯ3 ，（ＣａＯ換
算で）１．０重量％の添加量 「焼結助剤ｃ」：ＬａＢ6 ，０．５重量％の添加量 −比較例４− 焼結助剤が下記のとおりである他は、実施例１と同様に
して、窒化アルミニウム焼結体を得た。
算で）１．０重量％の添加量 「焼結助剤ｃ」：ＬａＢ6 ，０．５重量％の添加量 −比較例４− 焼結助剤が下記のとおりである他は、実施例１と同様に
して、窒化アルミニウム焼結体を得た。
【００２３】「焼結助剤ａ」：Ｙ2 Ｏ3 ，２．０重量の
添加量 「焼結助剤ｃ」：ＬａＢ6 ，０．１重量％の添加量 −比較例５− 焼結助剤が下記のとおりである他は、実施例１と同様に
して、窒化アルミニウム焼結体を得た。
添加量 「焼結助剤ｃ」：ＬａＢ6 ，０．１重量％の添加量 −比較例５− 焼結助剤が下記のとおりである他は、実施例１と同様に
して、窒化アルミニウム焼結体を得た。
【００２４】「焼結助剤ａ」：Ｙ2 Ｏ3 ，２．０重量の
添加量 「焼結助剤ｃ」：ＬａＢ6 ，０．５重量％の添加量 実施例および比較例で得られた各窒化アルミニウム焼結
体を、直径１０ｍｍ、厚み３ｍｍの大きさに研磨した
後、相対密度の測定、および、レーザーフラッシュ法に
よる熱伝導率の測定を行った。結果を、表１に記す。
添加量 「焼結助剤ｃ」：ＬａＢ6 ，０．５重量％の添加量 実施例および比較例で得られた各窒化アルミニウム焼結
体を、直径１０ｍｍ、厚み３ｍｍの大きさに研磨した
後、相対密度の測定、および、レーザーフラッシュ法に
よる熱伝導率の測定を行った。結果を、表１に記す。
【００２５】
【表１】
【００２６】実施例および比較例の焼結体のデータを比
較すれば、緻密で１３０Ｗ／ｍＫ以上の高熱伝導性窒化
アルミニウム焼結体を１６５０〜１７００℃程度の低い
温度で得ることが出来ることが分かる。
較すれば、緻密で１３０Ｗ／ｍＫ以上の高熱伝導性窒化
アルミニウム焼結体を１６５０〜１７００℃程度の低い
温度で得ることが出来ることが分かる。
【００２７】
【発明の効果】この発明にかかる窒化アルミニウム焼結
体の製造方法では、窒化アルミニウム粉末の成形体に、
稀土類化合物、アルカリ土類化合物、ＬａＢ6 の３種の
焼結助剤が適切な量で併用添加されているため、高い熱
伝導率の窒化アルミニウム焼結体を低い焼成温度で得る
ことが出来、したがって、この発明は非常に有用であ
る。
体の製造方法では、窒化アルミニウム粉末の成形体に、
稀土類化合物、アルカリ土類化合物、ＬａＢ6 の３種の
焼結助剤が適切な量で併用添加されているため、高い熱
伝導率の窒化アルミニウム焼結体を低い焼成温度で得る
ことが出来、したがって、この発明は非常に有用であ
る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田中 恭史 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工 株式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−146767（ＪＰ，Ａ)
Claims (2)
- 【請求項１】 窒化アルミニウム粉末に焼結助剤を添加
し成型してなる成形体を、非酸化性雰囲気で焼成するこ
とにより焼結させる窒化アルミニウム焼結体の製造方法
において、前記焼結助剤として、下記の焼結剤ａ，ｂ，
ｃを下記の範囲の添加量で３者併用のかたちで用いるこ
とを特徴とする窒化アルミニウム焼結体の製造方法。 「焼結助剤ａ」：稀土類酸化物、および、前記焼成で稀
土類酸化物となる化合物からなる稀土類化合物群のうち
の少なくとも一種を、焼結体全体１００重量％のうち
０．０１〜１０重量％の範囲で添加（焼成で稀土類酸化
物となる化合物は酸化物に換算） 「焼結助剤ｂ」：アルカリ土類酸化物、および、前記焼
成でアルカリ土類酸化物となる化合物からなるアルカリ
土類化合物群のうちの少なくとも一種を、焼結体全体１
００重量％のうち０．０１〜１０重量％の範囲で添加
（焼成でアルカリ土類酸化物となる化合物は酸化物に換
算） 「焼結助剤ｃ」：ＬａＢ6 を、焼結体全体１００重量％
のうち０．０１〜５重量％の範囲で添加 - 【請求項２】 「焼結助剤ａ」の添加量が０．１〜１０
重量％の範囲であって、「焼結助剤ｂ」の添加量が０．
０５〜１０重量％の範囲であり、「焼結助剤ｃ」の添加
量が０．０５〜５重量％の範囲である請求項１記載の窒
化アルミニウム焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4339254A JP2698009B2 (ja) | 1992-07-20 | 1992-12-18 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4-192279 | 1992-07-20 | ||
| JP19227992 | 1992-07-20 | ||
| JP4339254A JP2698009B2 (ja) | 1992-07-20 | 1992-12-18 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0687659A JPH0687659A (ja) | 1994-03-29 |
| JP2698009B2 true JP2698009B2 (ja) | 1998-01-19 |
Family
ID=26507218
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4339254A Expired - Fee Related JP2698009B2 (ja) | 1992-07-20 | 1992-12-18 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2698009B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AU7014894A (en) * | 1993-07-12 | 1995-02-13 | Dow Chemical Company, The | Aluminum nitride sintered body with high thermal conductivity and its preparation |
-
1992
- 1992-12-18 JP JP4339254A patent/JP2698009B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0687659A (ja) | 1994-03-29 |
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