JP3448746B2 - ガスの充填方法及び装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガスの充填方法及び装
置に関し、詳しくは、比較的低い圧力でガス供給源から
供給されるガスや、高純度あるいは分解しやすく圧縮機
等で圧送することができない比較的少量のガスを複数本
のガス容器に充填する方法及び装置に関する。
置に関し、詳しくは、比較的低い圧力でガス供給源から
供給されるガスや、高純度あるいは分解しやすく圧縮機
等で圧送することができない比較的少量のガスを複数本
のガス容器に充填する方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】圧縮機で加圧充填することができないガ
スをガス容器内に加圧充填する方法として、ガス供給源
とガス容器との間に複数本のガス捕集器を設け、該ガス
捕集器を冷却，加温することによりガスをガス容器に加
圧充填する方法が知られている。この方法は、まずガス
捕集器を液体窒素等の寒剤を貯留した槽内に入れて冷却
し、ガス供給源から供給されるガスをガス捕集器内に液
化又は固化して捕集し、次いでガス捕集器を加温してガ
ス捕集器内の液化ガスを蒸発させることにより、ガスに
圧力を与えて送出し、ガス容器に充填するものである。
スをガス容器内に加圧充填する方法として、ガス供給源
とガス容器との間に複数本のガス捕集器を設け、該ガス
捕集器を冷却，加温することによりガスをガス容器に加
圧充填する方法が知られている。この方法は、まずガス
捕集器を液体窒素等の寒剤を貯留した槽内に入れて冷却
し、ガス供給源から供給されるガスをガス捕集器内に液
化又は固化して捕集し、次いでガス捕集器を加温してガ
ス捕集器内の液化ガスを蒸発させることにより、ガスに
圧力を与えて送出し、ガス容器に充填するものである。
【０００３】上記方法を実施するための従来の装置は、
前記ガス捕集器を冷却及び加温するために、前記寒剤を
貯留した槽を昇降させてガス捕集器を寒剤中に入れたり
出したりしていた（例えば、特開昭６４−２６０９７号
公報参照）。
前記ガス捕集器を冷却及び加温するために、前記寒剤を
貯留した槽を昇降させてガス捕集器を寒剤中に入れたり
出したりしていた（例えば、特開昭６４−２６０９７号
公報参照）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、大量の
ガスをガス容器に充填する場合には、ガス捕集器の本数
が多く必要なため、大量の液体窒素等の寒剤を貯留した
槽を機械的に昇降させなければならない。このため、装
置が大規模になり設備コストがかかり、装置の保守も面
倒であるだけでなく、充填操作が繁雑であり、自動制御
による充填も困難であった。
ガスをガス容器に充填する場合には、ガス捕集器の本数
が多く必要なため、大量の液体窒素等の寒剤を貯留した
槽を機械的に昇降させなければならない。このため、装
置が大規模になり設備コストがかかり、装置の保守も面
倒であるだけでなく、充填操作が繁雑であり、自動制御
による充填も困難であった。
【０００５】そこで本発明は、液体窒素温度で液化又は
固化させることができるガスで、ガス供給源から低圧で
供給されるガス、例えば高純度クリプトンやキセノンを
製造する精製装置から供給される低圧力の製品ガスを、
簡単な装置構成で、かつ充填操作も容易であり、さらに
自動制御により、自動充填を行うことが可能なガスの充
填方法及び装置を提供することを目的としている。
固化させることができるガスで、ガス供給源から低圧で
供給されるガス、例えば高純度クリプトンやキセノンを
製造する精製装置から供給される低圧力の製品ガスを、
簡単な装置構成で、かつ充填操作も容易であり、さらに
自動制御により、自動充填を行うことが可能なガスの充
填方法及び装置を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ため、本発明のガスの充填方法は、ガス捕集器を設置し
た液体窒素貯槽内に液体窒素を注入して前記ガス捕集器
を冷却しつつ、ガス供給ラインに設けたガス供給弁を開
弁してガス供給源からのガスを前記ガス捕集器内に液化
又は固化して捕集した後、前記ガス供給弁を閉弁し、前
記液体窒素貯槽内の液体窒素を抜出し、次いで前記ガス
捕集器とガス容器とを接続する充填ラインに設けた充填
弁を開弁し、加温窒素供給ラインから加温窒素を前記ガ
ス捕集器に吹付けて加温し、さらに、温水供給ラインか
ら前記液体窒素貯槽内に温水を注入して前記ガス捕集器
を加温し、該ガス捕集器内に捕集したガスを気化させて
前記ガス容器に加圧充填することを特徴としている。
ため、本発明のガスの充填方法は、ガス捕集器を設置し
た液体窒素貯槽内に液体窒素を注入して前記ガス捕集器
を冷却しつつ、ガス供給ラインに設けたガス供給弁を開
弁してガス供給源からのガスを前記ガス捕集器内に液化
又は固化して捕集した後、前記ガス供給弁を閉弁し、前
記液体窒素貯槽内の液体窒素を抜出し、次いで前記ガス
捕集器とガス容器とを接続する充填ラインに設けた充填
弁を開弁し、加温窒素供給ラインから加温窒素を前記ガ
ス捕集器に吹付けて加温し、さらに、温水供給ラインか
ら前記液体窒素貯槽内に温水を注入して前記ガス捕集器
を加温し、該ガス捕集器内に捕集したガスを気化させて
前記ガス容器に加圧充填することを特徴としている。
【０００７】さらに、本発明方法は、上記構成におい
て、前記ガス容器が複数本であり、各ガス容器は、それ
ぞれ入口弁を介して前記充填ラインに接続されており、
ガスの充填時には、１又は２本のガス容器の入口弁を開
弁してガスの充填を行い、前記ガス捕集器の内圧と平衡
状態になったときに該ガス容器の入口弁を閉弁し、次い
で他の１又は２本のガス容器の入口弁を開弁してガスの
充填を行い、前記ガス捕集器の内圧と平衡状態になった
ときに該ガス容器の入口弁を閉弁する操作を、前記複数
本のガス容器に順次行うことを特徴とし、また、該複数
本のガス容器にガスを充填するにあたり、最初にガスの
充填を行うガス容器は、前工程のガス充填操作において
充填され、かつ充填未完了のガス容器中、ガス圧力が最
も高いものであり、次いでガス容器内の圧力の高い順に
ガスの充填操作を行うことを特徴とするものである。こ
のとき、既に充圧されたガスが容器から捕集器に逆流し
ないように、充填ラインには逆止弁を設置してある。
て、前記ガス容器が複数本であり、各ガス容器は、それ
ぞれ入口弁を介して前記充填ラインに接続されており、
ガスの充填時には、１又は２本のガス容器の入口弁を開
弁してガスの充填を行い、前記ガス捕集器の内圧と平衡
状態になったときに該ガス容器の入口弁を閉弁し、次い
で他の１又は２本のガス容器の入口弁を開弁してガスの
充填を行い、前記ガス捕集器の内圧と平衡状態になった
ときに該ガス容器の入口弁を閉弁する操作を、前記複数
本のガス容器に順次行うことを特徴とし、また、該複数
本のガス容器にガスを充填するにあたり、最初にガスの
充填を行うガス容器は、前工程のガス充填操作において
充填され、かつ充填未完了のガス容器中、ガス圧力が最
も高いものであり、次いでガス容器内の圧力の高い順に
ガスの充填操作を行うことを特徴とするものである。こ
のとき、既に充圧されたガスが容器から捕集器に逆流し
ないように、充填ラインには逆止弁を設置してある。
【０００８】一方、本発明のガスの充填装置は、ガス供
給源に供給弁を有するガス供給ラインを介して接続され
たガス捕集器と、該ガス捕集器に充填弁を有するガス充
填ラインを介して接続されたガス容器と、前記ガス捕集
器を設置した液体窒素貯槽と、該液体窒素貯槽内に液体
窒素を注入する注入弁付きの液体窒素注入ラインと、該
液体窒素貯槽内の液体窒素を抜出すブロー弁付き液体窒
素ブローラインと、該液体窒素貯槽内に加温窒素ガスを
吹込む加温窒素弁付きの加温窒素供給ラインと、該液体
窒素貯槽内に温水を注入する温水弁付きの温水供給ライ
ンと、該液体窒素貯槽内の温水を抜出す排出弁付きの温
水排出ラインとを備えていることを特徴としている。
給源に供給弁を有するガス供給ラインを介して接続され
たガス捕集器と、該ガス捕集器に充填弁を有するガス充
填ラインを介して接続されたガス容器と、前記ガス捕集
器を設置した液体窒素貯槽と、該液体窒素貯槽内に液体
窒素を注入する注入弁付きの液体窒素注入ラインと、該
液体窒素貯槽内の液体窒素を抜出すブロー弁付き液体窒
素ブローラインと、該液体窒素貯槽内に加温窒素ガスを
吹込む加温窒素弁付きの加温窒素供給ラインと、該液体
窒素貯槽内に温水を注入する温水弁付きの温水供給ライ
ンと、該液体窒素貯槽内の温水を抜出す排出弁付きの温
水排出ラインとを備えていることを特徴としている。
【０００９】
【作 用】上記構成によれば、液体窒素貯槽やガス捕集
器を昇降させることなく、弁を開閉して寒剤である液化
窒素を出し入れするだけでガスの充填を行うことがで
き、加温窒素ガスの吹付けや温水の注入も弁の開閉のみ
で行えるので、簡単な制御装置と自動弁を用いることに
より、全工程を自動制御してガスの自動充填を行うこと
が可能となる。
器を昇降させることなく、弁を開閉して寒剤である液化
窒素を出し入れするだけでガスの充填を行うことがで
き、加温窒素ガスの吹付けや温水の注入も弁の開閉のみ
で行えるので、簡単な制御装置と自動弁を用いることに
より、全工程を自動制御してガスの自動充填を行うこと
が可能となる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明を、図面に示す一実施例に基づ
いて、さらに詳細に説明する。
いて、さらに詳細に説明する。
【００１１】本実施例に示すガス充填装置は、２本のガ
ス捕集器１，１と３本のガス容器２ａ，２ｂ，２ｃを備
えたもので、ガス捕集器１，１とガス供給源３とはガス
供給ライン４及び供給弁４ａを介して接続され，ガス捕
集器１，１とガス容器２ａ，２ｂ，２ｃとはガス充填ラ
イン５及び充填弁５ａ，逆止弁５ｂを介して接続されて
いる。
ス捕集器１，１と３本のガス容器２ａ，２ｂ，２ｃを備
えたもので、ガス捕集器１，１とガス供給源３とはガス
供給ライン４及び供給弁４ａを介して接続され，ガス捕
集器１，１とガス容器２ａ，２ｂ，２ｃとはガス充填ラ
イン５及び充填弁５ａ，逆止弁５ｂを介して接続されて
いる。
【００１２】また、ガス捕集器１は、液体窒素貯槽６内
に設置されており、該液体窒素貯槽６内に順次供給され
る液体窒素，加温窒素ガス，温水により冷却，パージ，
加温される。
に設置されており、該液体窒素貯槽６内に順次供給され
る液体窒素，加温窒素ガス，温水により冷却，パージ，
加温される。
【００１３】上記液体窒素貯槽６には、該液体窒素貯槽
６内に液体窒素を注入するための液体窒素注入ライン７
と、槽内の液体窒素を抜出すための液体窒素ブローライ
ン８と、槽内に加温窒素ガスを吹込むための加温窒素供
給ライン９と、槽内に温水を注入するための温水供給ラ
イン１０と、槽内の温水を抜出すための温水排出ライン
１１とが設けられている。
６内に液体窒素を注入するための液体窒素注入ライン７
と、槽内の液体窒素を抜出すための液体窒素ブローライ
ン８と、槽内に加温窒素ガスを吹込むための加温窒素供
給ライン９と、槽内に温水を注入するための温水供給ラ
イン１０と、槽内の温水を抜出すための温水排出ライン
１１とが設けられている。
【００１４】また、前記ガス容器２ａ，２ｂ，２ｃは、
それぞれ入口弁１２ａ，１２ｂ，１２ｃを介して前記ガ
ス充填ライン５に接続されており、各ラインには、それ
ぞれ、供給弁４ａ，充填弁５ａ，逆止弁５ｂ，注入弁７
ａ，ブロー弁８ａ，加温窒素弁９ａ，温水弁１０ａ，排
出弁１１ａが設けられている。なお、ガス容器２ａ，２
ｂ，２ｃは、残圧があるのを確認した上でガス充填ライ
ン５に接続する。
それぞれ入口弁１２ａ，１２ｂ，１２ｃを介して前記ガ
ス充填ライン５に接続されており、各ラインには、それ
ぞれ、供給弁４ａ，充填弁５ａ，逆止弁５ｂ，注入弁７
ａ，ブロー弁８ａ，加温窒素弁９ａ，温水弁１０ａ，排
出弁１１ａが設けられている。なお、ガス容器２ａ，２
ｂ，２ｃは、残圧があるのを確認した上でガス充填ライ
ン５に接続する。
【００１５】なお、ガス充填ライン５の末端に設けた弁
１３及び弁１４は、万一系内が汚染された場合に、汚染
物（不純物）を真空ポンプで排気するための真空排気用
弁、及び系内のガスを図示しないバルーン等に回収する
ためのガス回収用弁である。
１３及び弁１４は、万一系内が汚染された場合に、汚染
物（不純物）を真空ポンプで排気するための真空排気用
弁、及び系内のガスを図示しないバルーン等に回収する
ためのガス回収用弁である。
【００１６】次に、上記構成の装置によりキセノンガス
を充填する手順を説明する。
を充填する手順を説明する。
【００１７】まず、加温窒素弁９ａを開いて加温窒素供
給ライン９から加温窒素ガスを液体窒素貯槽６内に導入
してパージし、ガス供給ライン４の供給弁４ａを開いて
ガス供給源３からのキセノンガス（沸点：約−１０８
℃）のガス捕集器１への供給を開始する。同時に、液体
窒素注入ライン７の注入弁７ａを開いて液体窒素貯槽６
内に液体窒素を注入し、該液体窒素量を液面調節計ＬＩ
Ｃで所定液面になるように調節して、ガス捕集器１を液
体窒素温度（約−１９６℃）に冷却する。これにより、
ガス捕集器１が所定温度に冷却され、キセノンガスがガ
ス捕集器１内で固化して捕集される。
給ライン９から加温窒素ガスを液体窒素貯槽６内に導入
してパージし、ガス供給ライン４の供給弁４ａを開いて
ガス供給源３からのキセノンガス（沸点：約−１０８
℃）のガス捕集器１への供給を開始する。同時に、液体
窒素注入ライン７の注入弁７ａを開いて液体窒素貯槽６
内に液体窒素を注入し、該液体窒素量を液面調節計ＬＩ
Ｃで所定液面になるように調節して、ガス捕集器１を液
体窒素温度（約−１９６℃）に冷却する。これにより、
ガス捕集器１が所定温度に冷却され、キセノンガスがガ
ス捕集器１内で固化して捕集される。
【００１８】所定量のキセノンガスを捕集したら、供給
弁４ａを閉じてキセノンガスの供給を止めるとともに、
液体窒素ブローライン８のブロー弁８ａを開いて液体窒
素貯槽６内の液体窒素を排出する。排出回収が完了した
ら温水排出ライン１１の排出弁１１ａも開いておく。
弁４ａを閉じてキセノンガスの供給を止めるとともに、
液体窒素ブローライン８のブロー弁８ａを開いて液体窒
素貯槽６内の液体窒素を排出する。排出回収が完了した
ら温水排出ライン１１の排出弁１１ａも開いておく。
【００１９】次に加温窒素供給ライン９の加温窒素弁９
ａを開いて加温窒素を液体窒素貯槽６内に導入し、加温
窒素をガス捕集器１に吹付けて窒素パージ及び加温を行
う。さらに、加温窒素弁９ａ，液化窒素ブロー弁８ａ及
び温水排出弁１１ａを閉じて温水供給ライン１０の温水
弁１０ａを開き、液体窒素貯槽６内に温水を導入し、オ
ーバーフロー管１５からオーバーフローさせて所定液面
に保ちながらガス捕集器１を所定温度に保持する。これ
により、ガス捕集器１内の固化したキセノンが気化して
高圧状態になる。
ａを開いて加温窒素を液体窒素貯槽６内に導入し、加温
窒素をガス捕集器１に吹付けて窒素パージ及び加温を行
う。さらに、加温窒素弁９ａ，液化窒素ブロー弁８ａ及
び温水排出弁１１ａを閉じて温水供給ライン１０の温水
弁１０ａを開き、液体窒素貯槽６内に温水を導入し、オ
ーバーフロー管１５からオーバーフローさせて所定液面
に保ちながらガス捕集器１を所定温度に保持する。これ
により、ガス捕集器１内の固化したキセノンが気化して
高圧状態になる。
【００２０】同時に、ガス充填ライン５の充填弁５ａを
開いてガス容器２ａ，２ｂ，２ｃへのキセノンガスの充
填を開始する。このキセノンガスの充填は、キセノンガ
スを十分にガス容器内に充填するため、次のようにして
行われる。
開いてガス容器２ａ，２ｂ，２ｃへのキセノンガスの充
填を開始する。このキセノンガスの充填は、キセノンガ
スを十分にガス容器内に充填するため、次のようにして
行われる。
【００２１】まず、全てのガス容器２ａ，２ｂ，２ｃが
略常圧に近い残圧である場合は、任意のガス容器、例え
ば１番目のガス容器２ａの入口弁１２ａのみを開いて、
ガス充填ライン５から送られてくるキセノンガスを１番
目のガス容器２ａ内に充填する。これにより、１番目の
ガス容器２ａ内には、ガス捕集器１内と平衡となる圧力
までキセノンガスが充填され、製品ガスとして必要な圧
力になる。
略常圧に近い残圧である場合は、任意のガス容器、例え
ば１番目のガス容器２ａの入口弁１２ａのみを開いて、
ガス充填ライン５から送られてくるキセノンガスを１番
目のガス容器２ａ内に充填する。これにより、１番目の
ガス容器２ａ内には、ガス捕集器１内と平衡となる圧力
までキセノンガスが充填され、製品ガスとして必要な圧
力になる。
【００２２】次いで、１番目のガス容器２ａの入口弁１
２ａを閉じて２番目のガス容器２ｂの入口弁１２ｂを開
き、２番目のガス容器２ｂ内へのキセノンガスの充填を
開始する。この２番目のガス容器２ｂにおいても、ガス
捕集器１内と平衡となる圧力までキセノンガスが充填さ
れるが、その圧力は、１番目のガス容器２ａに充填され
た量に相当する分、低い圧力で平衡に達する。
２ａを閉じて２番目のガス容器２ｂの入口弁１２ｂを開
き、２番目のガス容器２ｂ内へのキセノンガスの充填を
開始する。この２番目のガス容器２ｂにおいても、ガス
捕集器１内と平衡となる圧力までキセノンガスが充填さ
れるが、その圧力は、１番目のガス容器２ａに充填され
た量に相当する分、低い圧力で平衡に達する。
【００２３】さらに、２番目のガス容器２ｂの入口弁１
２ｂを閉じて３番目のガス容器２ｃの入口弁１２ｃを開
き、３番目のガス容器２ｃ内へのキセノンガスの充填を
開始する。この３番目のガス容器２ｃにおいても、ガス
捕集器１内と平衡となる圧力までキセノンガスが充填さ
れるが、その圧力は、１番目及び２番目のガス容器２
ａ，２ｂに充填された量に相当する分、さらに低い圧力
で平衡に達する。また、１番目のガス容器２ａを新しい
未充填の容器に交換した場合は、このガス容器にもキセ
ノンガスを充填する。
２ｂを閉じて３番目のガス容器２ｃの入口弁１２ｃを開
き、３番目のガス容器２ｃ内へのキセノンガスの充填を
開始する。この３番目のガス容器２ｃにおいても、ガス
捕集器１内と平衡となる圧力までキセノンガスが充填さ
れるが、その圧力は、１番目及び２番目のガス容器２
ａ，２ｂに充填された量に相当する分、さらに低い圧力
で平衡に達する。また、１番目のガス容器２ａを新しい
未充填の容器に交換した場合は、このガス容器にもキセ
ノンガスを充填する。
【００２４】このようにしてガス捕集器１内のキセノン
ガスを、３本のガス容器２ａ，２ｂ，２ｃ内に充填し終
えたら、温水排出ライン１１の排出弁１１ａを開いて液
体窒素貯槽６内の温水を排出し、１サイクルの充填操作
が終了する。
ガスを、３本のガス容器２ａ，２ｂ，２ｃ内に充填し終
えたら、温水排出ライン１１の排出弁１１ａを開いて液
体窒素貯槽６内の温水を排出し、１サイクルの充填操作
が終了する。
【００２５】次の充填操作は、上述同様にして、ガス捕
集器１の液体窒素による冷却と、加温窒素ガス及び温水
による加温とを行い、ガスの捕集と圧送充填とを行う
が、ガス容器への充填順序が異なる。
集器１の液体窒素による冷却と、加温窒素ガス及び温水
による加温とを行い、ガスの捕集と圧送充填とを行う
が、ガス容器への充填順序が異なる。
【００２６】即ち、上記前回の充填操作により、各ガス
容器２ａ，２ｂ，２ｃ（なお、ガス容器２ａは交換した
ものであり、いずれも充填未完了の容器である。）内の
圧力は、２番目のガス容器２ｂが一番高く、次いで３番
目，１番目の順になっているので、ガス捕集器１からの
充填操作を、２番目のガス容器２ｂに対して行うことに
より、２番目のガス容器２ｂ内を製品圧力にすることが
できる。この後、圧力の高い順、即ち、３番目のガス容
器２ｃ、１番目のガス容器２ａの順に充填操作を行う。
容器２ａ，２ｂ，２ｃ（なお、ガス容器２ａは交換した
ものであり、いずれも充填未完了の容器である。）内の
圧力は、２番目のガス容器２ｂが一番高く、次いで３番
目，１番目の順になっているので、ガス捕集器１からの
充填操作を、２番目のガス容器２ｂに対して行うことに
より、２番目のガス容器２ｂ内を製品圧力にすることが
できる。この後、圧力の高い順、即ち、３番目のガス容
器２ｃ、１番目のガス容器２ａの順に充填操作を行う。
【００２７】このとき、残圧として残っているガス容器
内のガスが充填弁５ａを通ってガス捕集器１内に逆流し
ないように、ガス充填ライン５には、逆止弁５ｂが設置
されている。
内のガスが充填弁５ａを通ってガス捕集器１内に逆流し
ないように、ガス充填ライン５には、逆止弁５ｂが設置
されている。
【００２８】このような順序で充填操作を行うことによ
り、ガス捕集器１内に捕集したガスを有効に使用するこ
とができる。なお、ガス容器の本数が多い場合には、２
本ずつまとめて順番に充填することもできる。また、ガ
ス捕集器１の容量が大きい場合には、３本づつでも可能
である。さらに、ガス捕集器及びガス容器の本数は、ガ
ス供給源３の能力や充填操作の１サイクルの時間、製品
ガスの圧力、ガス容器の容量、その他の条件に応じて適
宜設定することが可能である。
り、ガス捕集器１内に捕集したガスを有効に使用するこ
とができる。なお、ガス容器の本数が多い場合には、２
本ずつまとめて順番に充填することもできる。また、ガ
ス捕集器１の容量が大きい場合には、３本づつでも可能
である。さらに、ガス捕集器及びガス容器の本数は、ガ
ス供給源３の能力や充填操作の１サイクルの時間、製品
ガスの圧力、ガス容器の容量、その他の条件に応じて適
宜設定することが可能である。
【００２９】また、本発明方法は、上記の他、蒸気圧が
低く、液化ガスとして比較的大容量が充填されているガ
スを、小容量の容器に移充填する場合にも適用できる。
さらに、液体窒素以外の寒剤を使用することにより、各
種ガスの充填に適用することが可能である。
低く、液化ガスとして比較的大容量が充填されているガ
スを、小容量の容器に移充填する場合にも適用できる。
さらに、液体窒素以外の寒剤を使用することにより、各
種ガスの充填に適用することが可能である。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のガスの充
填方法及び装置によれば、弁の開閉操作だけで一連のガ
ス充填作業を行うことができ、充填作業が容易になり、
迅速に行うことができる。また、全工程を弁の開閉で行
えるので、全工程を自動制御で操作し、自動充填を行う
ことが可能となる。
填方法及び装置によれば、弁の開閉操作だけで一連のガ
ス充填作業を行うことができ、充填作業が容易になり、
迅速に行うことができる。また、全工程を弁の開閉で行
えるので、全工程を自動制御で操作し、自動充填を行う
ことが可能となる。
【図１】 本発明の一実施例を示すガスの充填装置の系
統図である。
統図である。
１…ガス捕集器 ２ａ，２ｂ，２ｃ…ガス容器
３…ガス供給源 ４…ガス供給ライン ４ａ…供給弁 ５…ガス充填ライン ５ａ…充填弁 ５ｂ…逆止弁 ６…液体窒素貯槽 ７…液体窒素注入ライン ７ａ…注入弁 ８…液体窒素ブローライン ８ａ…ブロー弁 ９…加温窒素供給ライン ９ａ…加温窒素弁 １０…温水供給ライン １０ａ…温水弁 １１…温水排出ライン １１ａ…排出弁 １２ａ，１２ｂ，１２ｃ…入口弁 １３…真空排気用弁 １４…ガス回収用弁
３…ガス供給源 ４…ガス供給ライン ４ａ…供給弁 ５…ガス充填ライン ５ａ…充填弁 ５ｂ…逆止弁 ６…液体窒素貯槽 ７…液体窒素注入ライン ７ａ…注入弁 ８…液体窒素ブローライン ８ａ…ブロー弁 ９…加温窒素供給ライン ９ａ…加温窒素弁 １０…温水供給ライン １０ａ…温水弁 １１…温水排出ライン １１ａ…排出弁 １２ａ，１２ｂ，１２ｃ…入口弁 １３…真空排気用弁 １４…ガス回収用弁
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
F17C 5/00 - 5/06
Claims (4)
- 【請求項１】 ガス捕集器を設置した液体窒素貯槽内に
液体窒素を注入して前記ガス捕集器を冷却しつつ、ガス
供給ラインに設けたガス供給弁を開弁してガス供給源か
らのガスを前記ガス捕集器内に液化又は固化して捕集し
た後、前記ガス供給弁を閉弁し、前記液体窒素貯槽内の
液体窒素を抜出し、次いで前記ガス捕集器とガス容器と
を接続する充填ラインに設けた充填弁を開弁し、加温窒
素供給ラインから加温窒素を前記ガス捕集器に吹付けて
加温し、さらに、温水供給ラインから前記液体窒素貯槽
内に温水を注入して前記ガス捕集器を加温し、該ガス捕
集器内に捕集したガスを気化させて前記ガス容器に加圧
充填することを特徴とするガスの充填方法。 - 【請求項２】 前記ガス容器が複数本であり、各ガス容
器は、それぞれ入口弁を介して前記充填ラインに接続さ
れており、ガスの充填時には、１又は２本のガス容器の
入口弁を開弁してガスの充填を行い、前記ガス捕集器の
内圧と平衡状態になったときに該ガス容器の入口弁を閉
弁し、次いで他の１又は２本のガス容器の入口弁を開弁
してガスの充填を行い、前記ガス捕集器の内圧と平衡状
態になったときに該ガス容器の入口弁を閉弁する操作
を、前記複数本のガス容器に順次行うことを特徴とする
請求項１記載のガスの充填方法。 - 【請求項３】 請求項２記載のガスの充填方法におい
て、最初にガスの充填を行うガス容器は、前工程のガス
充填操作において充填され、かつ充填未完了のガス容器
中、ガス圧力が最も高いものであり、次いでガス容器内
の圧力の高い順にガスの充填操作を行うことを特徴とす
るガスの充填方法。 - 【請求項４】 ガス供給源に供給弁を有するガス供給ラ
インを介して接続されたガス捕集器と、該ガス捕集器に
充填弁を有するガス充填ラインを介して接続されたガス
容器と、前記ガス捕集器を設置した液体窒素貯槽と、該
液体窒素貯槽内に液体窒素を注入する注入弁付きの液体
窒素注入ラインと、該液体窒素貯槽内の液体窒素を抜出
すブロー弁付き液体窒素ブローラインと、該液体窒素貯
槽内に加温窒素ガスを吹込む加温窒素弁付きの加温窒素
供給ラインと、該液体窒素貯槽内に温水を注入する温水
弁付きの温水供給ラインと、該液体窒素貯槽内の温水を
抜出す排出弁付きの温水排出ラインとを備えていること
を特徴とするガスの充填装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7376692A JP3448746B2 (ja) | 1992-03-30 | 1992-03-30 | ガスの充填方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7376692A JP3448746B2 (ja) | 1992-03-30 | 1992-03-30 | ガスの充填方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05272697A JPH05272697A (ja) | 1993-10-19 |
| JP3448746B2 true JP3448746B2 (ja) | 2003-09-22 |
Family
ID=13527672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7376692A Expired - Fee Related JP3448746B2 (ja) | 1992-03-30 | 1992-03-30 | ガスの充填方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3448746B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111895264A (zh) * | 2020-06-19 | 2020-11-06 | 国家电网有限公司 | Sf6自动补气装置 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3804665B2 (ja) | 2004-03-12 | 2006-08-02 | セイコーエプソン株式会社 | フレキシブル基板及び電子機器 |
| JP4744285B2 (ja) * | 2005-12-19 | 2011-08-10 | 本田技研工業株式会社 | 水素自動車のガスの使用及び補給システム |
| JP5009061B2 (ja) * | 2007-06-18 | 2012-08-22 | 大陽日酸株式会社 | ガス充填方法およびガス充填装置 |
-
1992
- 1992-03-30 JP JP7376692A patent/JP3448746B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111895264A (zh) * | 2020-06-19 | 2020-11-06 | 国家电网有限公司 | Sf6自动补气装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05272697A (ja) | 1993-10-19 |
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