JP3444715B2 - 研磨装置およびこの研磨装置を用いた研磨方法 - Google Patents
研磨装置およびこの研磨装置を用いた研磨方法Info
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- JP3444715B2 JP3444715B2 JP05860296A JP5860296A JP3444715B2 JP 3444715 B2 JP3444715 B2 JP 3444715B2 JP 05860296 A JP05860296 A JP 05860296A JP 5860296 A JP5860296 A JP 5860296A JP 3444715 B2 JP3444715 B2 JP 3444715B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、多角形の被研磨物
を研磨する研磨装置とこの研磨装置を用いた研磨方法に
関する。
を研磨する研磨装置とこの研磨装置を用いた研磨方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、たとえば図５，図６に示すよう
に、多角形の被研磨物の一例である電子部材用の正方形
のガラス基板51を研磨する場合、このガラス基板51を定
盤52にセットしてこの定盤52を鉛直軸心53周りに回転さ
せ、上記ガラス基板51よりも大きな研磨工具54を鉛直軸
心55周りに回転させながら上記ガラス基板51の上面に押
圧していた。これによると、ガラス基板51の上面の全範
囲が一度に研磨工具54で研磨されるため、均一な研磨を
行うことができた。しかしながら、近年、ガラス基板51
の大型化により、ガラス基板51よりも大きな研磨工具54
を用いることが困難になってきた。
に、多角形の被研磨物の一例である電子部材用の正方形
のガラス基板51を研磨する場合、このガラス基板51を定
盤52にセットしてこの定盤52を鉛直軸心53周りに回転さ
せ、上記ガラス基板51よりも大きな研磨工具54を鉛直軸
心55周りに回転させながら上記ガラス基板51の上面に押
圧していた。これによると、ガラス基板51の上面の全範
囲が一度に研磨工具54で研磨されるため、均一な研磨を
行うことができた。しかしながら、近年、ガラス基板51
の大型化により、ガラス基板51よりも大きな研磨工具54
を用いることが困難になってきた。
【０００３】このような事情により、図７に示すよう
に、ガラス基板51よりも小さな研磨工具58で部分的な研
磨を行いながらガラス基板51の上面の全範囲を研磨する
ことが考えられた。すなわち、ガラス基板51がセットさ
れた定盤52とガラス基板51よりも小さな研磨工具58とを
それぞれ回転させるとともに、実線と仮想線で示したよ
うに、上記研磨工具58をガラス基板51の外周部から回転
中心（すなわち上記鉛直軸心53の位置）付近まで径方向
へ連続的に移動させて研磨していた。
に、ガラス基板51よりも小さな研磨工具58で部分的な研
磨を行いながらガラス基板51の上面の全範囲を研磨する
ことが考えられた。すなわち、ガラス基板51がセットさ
れた定盤52とガラス基板51よりも小さな研磨工具58とを
それぞれ回転させるとともに、実線と仮想線で示したよ
うに、上記研磨工具58をガラス基板51の外周部から回転
中心（すなわち上記鉛直軸心53の位置）付近まで径方向
へ連続的に移動させて研磨していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図７に
示すような従来の形式では、図８に示すように研磨工具
58がガラス基板51の外周部に位置している場合には、ガ
ラス基板51の角部51ａを研磨する際、研磨工具58がはみ
出し量Ａ（斜線部）だけガラス基板51からはみ出し、図
９に示すようにガラス基板51の辺部51ｂを研磨する際、
研磨工具58がはみ出し量Ｂ（斜線部）だけガラス基板51
からはみ出すことになる。その後の研磨により、図10に
示すように研磨工具58がガラス基板51の外周部から回転
中心53寄りに位置した場合には、ガラス基板51の角部51
ａを研磨する際、研磨工具58がはみ出し量Ｃ（斜線部）
だけガラス基板51からはみ出し、図11に示すようにガラ
ス基板51の辺部51ｂを研磨する際、研磨工具58がはみ出
し量Ｄ（斜線部）だけガラス基板51からはみ出すことに
なる。
示すような従来の形式では、図８に示すように研磨工具
58がガラス基板51の外周部に位置している場合には、ガ
ラス基板51の角部51ａを研磨する際、研磨工具58がはみ
出し量Ａ（斜線部）だけガラス基板51からはみ出し、図
９に示すようにガラス基板51の辺部51ｂを研磨する際、
研磨工具58がはみ出し量Ｂ（斜線部）だけガラス基板51
からはみ出すことになる。その後の研磨により、図10に
示すように研磨工具58がガラス基板51の外周部から回転
中心53寄りに位置した場合には、ガラス基板51の角部51
ａを研磨する際、研磨工具58がはみ出し量Ｃ（斜線部）
だけガラス基板51からはみ出し、図11に示すようにガラ
ス基板51の辺部51ｂを研磨する際、研磨工具58がはみ出
し量Ｄ（斜線部）だけガラス基板51からはみ出すことに
なる。
【０００５】ここで、図８，図10に示すように、上記は
み出し量Ａ＞Ｃであるため、ガラス基板51の角部51ａを
研磨する際に、研磨工具58のはみ出し量が研磨過程で異
なってしまい、ガラス基板51の角部51ａの研磨が不均一
になるといった問題があった。同様に、図９，図11に示
すように、上記はみ出し量Ｂ＞Ｄであるため、ガラス基
板51の辺部51ｂを研磨する際に、研磨工具58のはみ出し
量が研磨過程で異なってしまい、ガラス基板51の辺部51
ｂの研磨が不均一になるといった問題があった。
み出し量Ａ＞Ｃであるため、ガラス基板51の角部51ａを
研磨する際に、研磨工具58のはみ出し量が研磨過程で異
なってしまい、ガラス基板51の角部51ａの研磨が不均一
になるといった問題があった。同様に、図９，図11に示
すように、上記はみ出し量Ｂ＞Ｄであるため、ガラス基
板51の辺部51ｂを研磨する際に、研磨工具58のはみ出し
量が研磨過程で異なってしまい、ガラス基板51の辺部51
ｂの研磨が不均一になるといった問題があった。
【０００６】さらに、上記研磨工具58のはみ出し量が大
きくなると、スクラッチ等の研磨不良を発生させる要因
となった。そこで本発明のうち請求項１記載の発明は、
被研磨物からの研磨工具のはみ出し量を一定かつ小さく
することを目的としたものである。
きくなると、スクラッチ等の研磨不良を発生させる要因
となった。そこで本発明のうち請求項１記載の発明は、
被研磨物からの研磨工具のはみ出し量を一定かつ小さく
することを目的としたものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明のうちで請求項１記載の発明は、多角形
の被研磨物を研磨する研磨装置であって、上記被研磨物
を支持しかつ第１の鉛直軸心周りに回転自在な定盤の上
方に、第２の鉛直軸心周りに回転自在でかつ上記定盤に
セットされた被研磨物の上面に押圧されて被研磨物を研
磨する研磨工具を設け、上記研磨工具は、被研磨物の角
部を研磨範囲内とする第１研磨位置と、この第１研磨位
置よりも第１の鉛直軸心に接近しかつ上記被研磨物の辺
部から上記第１の鉛直軸心にかけてを研磨範囲内とする
第２研磨位置との間で径方向へ往復移動自在とし、上記
定盤の回転に応じて、上記研磨工具の移動経路上を角部
が通過する際に、上記研磨工具を第１研磨位置まで移動
させて被研磨物の角部を研磨させ、かつ、上記研磨工具
の移動経路上を辺部が通過する際に、上記研磨工具を第
２研磨位置まで移動させて被研磨物の辺部から上記第１
の鉛直軸心にかけてを研磨させることを繰り返す駆動装
置が設けられたことを特徴としたものである。
ために、本発明のうちで請求項１記載の発明は、多角形
の被研磨物を研磨する研磨装置であって、上記被研磨物
を支持しかつ第１の鉛直軸心周りに回転自在な定盤の上
方に、第２の鉛直軸心周りに回転自在でかつ上記定盤に
セットされた被研磨物の上面に押圧されて被研磨物を研
磨する研磨工具を設け、上記研磨工具は、被研磨物の角
部を研磨範囲内とする第１研磨位置と、この第１研磨位
置よりも第１の鉛直軸心に接近しかつ上記被研磨物の辺
部から上記第１の鉛直軸心にかけてを研磨範囲内とする
第２研磨位置との間で径方向へ往復移動自在とし、上記
定盤の回転に応じて、上記研磨工具の移動経路上を角部
が通過する際に、上記研磨工具を第１研磨位置まで移動
させて被研磨物の角部を研磨させ、かつ、上記研磨工具
の移動経路上を辺部が通過する際に、上記研磨工具を第
２研磨位置まで移動させて被研磨物の辺部から上記第１
の鉛直軸心にかけてを研磨させることを繰り返す駆動装
置が設けられたことを特徴としたものである。
【０００８】これによると、被研磨物の中心を第１の鉛
直軸心に合わせた状態で、被研磨物を定盤にセットした
後、この定盤を第１の鉛直軸心周りに回転させ、研磨工
具を第２の鉛直軸心周りに回転させて上記被研磨物の上
面に押圧するとともに、駆動装置により、上記研磨工具
の移動経路上を角部が通過する際に、研磨工具を第１研
磨位置まで移動させて、被研磨物の角部を研磨し、その
後、上記研磨工具の移動経路上を辺部が通過する際に、
研磨工具を第２研磨位置まで移動させて、被研磨物の辺
部から上記第１の鉛直軸心にかけてを研磨することを繰
り返して被研磨物を研磨する。
直軸心に合わせた状態で、被研磨物を定盤にセットした
後、この定盤を第１の鉛直軸心周りに回転させ、研磨工
具を第２の鉛直軸心周りに回転させて上記被研磨物の上
面に押圧するとともに、駆動装置により、上記研磨工具
の移動経路上を角部が通過する際に、研磨工具を第１研
磨位置まで移動させて、被研磨物の角部を研磨し、その
後、上記研磨工具の移動経路上を辺部が通過する際に、
研磨工具を第２研磨位置まで移動させて、被研磨物の辺
部から上記第１の鉛直軸心にかけてを研磨することを繰
り返して被研磨物を研磨する。
【０００９】これにより、被研磨物の角部を研磨してい
る際は、研磨工具は常に第１研磨位置に位置しているた
め、被研磨物からの研磨工具のはみ出し量が一定とな
る。同様に、被研磨物の辺部から上記第１の鉛直軸心に
かけてを研磨している際は、研磨工具は常に第２研磨位
置に位置しているため、被研磨物からの研磨工具のはみ
出し量が一定となる。このように、研磨工具のはみ出し
量が、被研磨物の角部を研磨している際と辺部を研磨し
ている際の両方において、それぞれ一定となるため、被
研磨物を均一に研磨することができる。また、被研磨物
からの研磨工具のはみ出し量を小さくし得るため、スク
ラッチ等の研磨不良の発生を防止することができる。
る際は、研磨工具は常に第１研磨位置に位置しているた
め、被研磨物からの研磨工具のはみ出し量が一定とな
る。同様に、被研磨物の辺部から上記第１の鉛直軸心に
かけてを研磨している際は、研磨工具は常に第２研磨位
置に位置しているため、被研磨物からの研磨工具のはみ
出し量が一定となる。このように、研磨工具のはみ出し
量が、被研磨物の角部を研磨している際と辺部を研磨し
ている際の両方において、それぞれ一定となるため、被
研磨物を均一に研磨することができる。また、被研磨物
からの研磨工具のはみ出し量を小さくし得るため、スク
ラッチ等の研磨不良の発生を防止することができる。
【００１０】また、請求項２記載の発明は、被研磨物を
定盤にセットした後、この定盤を第１の鉛直軸心周りに
回転させ、研磨工具を第２の鉛直軸心周りに回転させて
上記被研磨物の上面に押圧するとともに、駆動装置によ
り、研磨工具の移動経路上を角部が通過する際に、研磨
工具を第１研磨位置まで移動させて被研磨物の角部を研
磨し、その後、上記研磨工具の移動経路上を辺部が通過
する際に、研磨工具を第２研磨位置まで移動させて被研
磨物の辺部から上記第１の鉛直軸心にかけてを研磨する
ことを繰り返すことを特徴としたものである。
定盤にセットした後、この定盤を第１の鉛直軸心周りに
回転させ、研磨工具を第２の鉛直軸心周りに回転させて
上記被研磨物の上面に押圧するとともに、駆動装置によ
り、研磨工具の移動経路上を角部が通過する際に、研磨
工具を第１研磨位置まで移動させて被研磨物の角部を研
磨し、その後、上記研磨工具の移動経路上を辺部が通過
する際に、研磨工具を第２研磨位置まで移動させて被研
磨物の辺部から上記第１の鉛直軸心にかけてを研磨する
ことを繰り返すことを特徴としたものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図１
〜図４に基づいて説明する。図１〜図３に示すように、
１は研磨装置であり、その支持構造体２は、ベース台３
と、このベース台３に立設されたポスト体４とで構成さ
れている。上記ベース台３には、正方形のガラス基板５
（多角形の被研磨物の一例）を支持しかつ第１の鉛直軸
心６周りに回転自在な定盤７が設けられている。
〜図４に基づいて説明する。図１〜図３に示すように、
１は研磨装置であり、その支持構造体２は、ベース台３
と、このベース台３に立設されたポスト体４とで構成さ
れている。上記ベース台３には、正方形のガラス基板５
（多角形の被研磨物の一例）を支持しかつ第１の鉛直軸
心６周りに回転自在な定盤７が設けられている。
【００１２】すなわち、上記定盤７は、ガラス基板５よ
りも大きな円板状に形成され、上記第１の鉛直軸心６を
回転中心とする第１回転軸８の上端に取付けられてい
る。この第１回転軸８は、複数のベアリング９を介し
て、上記ベース台３に設置された支持台10に回転自在に
支持されている。また、ベース台３には、上記第１回転
軸８を回転させる第１モータ11が設置され、この第１モ
ータ11の駆動軸に取付けられた駆動歯車12が上記第１回
転軸８に設けられた従動歯車13に噛合している。
りも大きな円板状に形成され、上記第１の鉛直軸心６を
回転中心とする第１回転軸８の上端に取付けられてい
る。この第１回転軸８は、複数のベアリング９を介し
て、上記ベース台３に設置された支持台10に回転自在に
支持されている。また、ベース台３には、上記第１回転
軸８を回転させる第１モータ11が設置され、この第１モ
ータ11の駆動軸に取付けられた駆動歯車12が上記第１回
転軸８に設けられた従動歯車13に噛合している。
【００１３】上記定盤７の上方には、第２の鉛直軸心15
周りに回転自在でかつ定盤７にセットされたガラス基板
５の上面へ押圧されてガラス基板５を研磨する研磨工具
16（ラップやポリッシングなど）が設けられている。こ
の研磨工具16は、ガラス基板５よりも小さな円板状に形
成され、上記第２の鉛直軸心15を回転中心とする第２回
転軸17の下端に取付けられている。
周りに回転自在でかつ定盤７にセットされたガラス基板
５の上面へ押圧されてガラス基板５を研磨する研磨工具
16（ラップやポリッシングなど）が設けられている。こ
の研磨工具16は、ガラス基板５よりも小さな円板状に形
成され、上記第２の鉛直軸心15を回転中心とする第２回
転軸17の下端に取付けられている。
【００１４】上記第２回転軸17は、箱状の可動フレーム
体18の内部に挿通され、外嵌された上下一対のブッシュ
19により回転自在に保持されている。上記第２回転軸17
の下部は可動フレーム体18から下方へ突出している。上
記可動フレーム体18の外側には、第２回転軸17を回転さ
せる第２モータ20がブラケット21を介して設けられてい
る。この第２モータ20の駆動軸に取付けられた駆動スプ
ロケット22と上記第２回転軸17に外嵌された従動スプロ
ケット23との間には、駆動用のチェーン24が巻回されて
いる。上記従動スプロケット23は、可動フレーム体18の
内部に設けられた上下一対のベアリング25間に回動自在
に支持されており、上記従動スプロケット23の内周面
は、第２回転軸17の外周面に形成されたスプライン26に
噛合している。これにより、第２回転軸17は、スプライ
ン26を介して従動スプロケット23に周方向で連動連結
し、かつ従動スプロケット23に対して上下方向に摺動自
在となっている。
体18の内部に挿通され、外嵌された上下一対のブッシュ
19により回転自在に保持されている。上記第２回転軸17
の下部は可動フレーム体18から下方へ突出している。上
記可動フレーム体18の外側には、第２回転軸17を回転さ
せる第２モータ20がブラケット21を介して設けられてい
る。この第２モータ20の駆動軸に取付けられた駆動スプ
ロケット22と上記第２回転軸17に外嵌された従動スプロ
ケット23との間には、駆動用のチェーン24が巻回されて
いる。上記従動スプロケット23は、可動フレーム体18の
内部に設けられた上下一対のベアリング25間に回動自在
に支持されており、上記従動スプロケット23の内周面
は、第２回転軸17の外周面に形成されたスプライン26に
噛合している。これにより、第２回転軸17は、スプライ
ン26を介して従動スプロケット23に周方向で連動連結
し、かつ従動スプロケット23に対して上下方向に摺動自
在となっている。
【００１５】上記可動フレーム体18の上部には、第２回
転軸17を昇降させる昇降用シリンダ装置27が設けられて
いる。この昇降用シリンダ装置27のピストンロッド27ａ
の先端には、上下一対のベアリング28を介して、第２回
転軸17を回動自在に支持する支持部材29が設けられてい
る。
転軸17を昇降させる昇降用シリンダ装置27が設けられて
いる。この昇降用シリンダ装置27のピストンロッド27ａ
の先端には、上下一対のベアリング28を介して、第２回
転軸17を回動自在に支持する支持部材29が設けられてい
る。
【００１６】さらに、上記研磨工具16は、ガラス基板５
の角部５ａから上記第１の鉛直軸心６にかけてを研磨範
囲内とする第１研磨位置イと、この第１研磨位置イより
も第１の鉛直軸心６に接近しかつ上記ガラス基板５の辺
部５ｂから上記第１の鉛直軸心６にかけてを研磨範囲内
とする第２研磨位置ロとの間で径方向へ往復移動自在と
なっている。このような上記研磨工具16の第１研磨位置
イと第２研磨位置ロとの間の往復移動は、駆動シリンダ
装置30（駆動装置の一例）が可動フレーム体18を研磨工
具16の移動経路32に沿って往復移動させることによって
行っている。
の角部５ａから上記第１の鉛直軸心６にかけてを研磨範
囲内とする第１研磨位置イと、この第１研磨位置イより
も第１の鉛直軸心６に接近しかつ上記ガラス基板５の辺
部５ｂから上記第１の鉛直軸心６にかけてを研磨範囲内
とする第２研磨位置ロとの間で径方向へ往復移動自在と
なっている。このような上記研磨工具16の第１研磨位置
イと第２研磨位置ロとの間の往復移動は、駆動シリンダ
装置30（駆動装置の一例）が可動フレーム体18を研磨工
具16の移動経路32に沿って往復移動させることによって
行っている。
【００１７】すなわち、上記ポスト体４の上部には支持
フレーム33が設けられ、上記可動フレーム体18は、支持
フレーム33に設けられた上下一対のガイド体34により支
持案内されて往復移動自在になっている。また、上記駆
動シリンダ装置30は支持フレーム33に設けられ、そのピ
ストンロッド30ａの先端は可動フレーム体18に設けられ
た連結板35に連結されている。そして、ピストンロッド
30ａの突出により、可動フレーム体18が一方へ移動し
て、研磨工具16が第１研磨位置イまで移動し、ピストン
ロッド30ａの退入により、可動フレーム体18が他方へ移
動して、研磨工具16が第２研磨位置ロまで移動する。
フレーム33が設けられ、上記可動フレーム体18は、支持
フレーム33に設けられた上下一対のガイド体34により支
持案内されて往復移動自在になっている。また、上記駆
動シリンダ装置30は支持フレーム33に設けられ、そのピ
ストンロッド30ａの先端は可動フレーム体18に設けられ
た連結板35に連結されている。そして、ピストンロッド
30ａの突出により、可動フレーム体18が一方へ移動し
て、研磨工具16が第１研磨位置イまで移動し、ピストン
ロッド30ａの退入により、可動フレーム体18が他方へ移
動して、研磨工具16が第２研磨位置ロまで移動する。
【００１８】上記ポスト体４には、定盤７とともに回転
しているガラス基板５の各角部５ａを上方から検出する
検出装置36（光電スイッチやソニックセンサなど）が定
盤７の径方向へ移動自在に取付けられている。また、ポ
スト体４には、上記検出装置36の検出に基づいて、研磨
工具16の移動経路32上を角部５ａが通過する際に、研磨
工具16を第１研磨位置イまで移動させて、ガラス基板５
の角部５ａから上記第１の鉛直軸心６にかけてを研磨さ
せ、かつ、研磨工具16の移動経路32上を辺部５ｂが通過
する際に、研磨工具16を第２研磨位置ロまで移動させ
て、ガラス基板５の辺部５ｂから上記第１の鉛直軸心６
にかけてを研磨させることを繰り返すように上記駆動シ
リンダ装置30を制御する制御装置37が設けられている。
しているガラス基板５の各角部５ａを上方から検出する
検出装置36（光電スイッチやソニックセンサなど）が定
盤７の径方向へ移動自在に取付けられている。また、ポ
スト体４には、上記検出装置36の検出に基づいて、研磨
工具16の移動経路32上を角部５ａが通過する際に、研磨
工具16を第１研磨位置イまで移動させて、ガラス基板５
の角部５ａから上記第１の鉛直軸心６にかけてを研磨さ
せ、かつ、研磨工具16の移動経路32上を辺部５ｂが通過
する際に、研磨工具16を第２研磨位置ロまで移動させ
て、ガラス基板５の辺部５ｂから上記第１の鉛直軸心６
にかけてを研磨させることを繰り返すように上記駆動シ
リンダ装置30を制御する制御装置37が設けられている。
【００１９】尚、図３に示すように、ガラス基板５が正
方形の場合は、研磨工具16の径方向への移動距離（すな
わち第１研磨位置イと第２研磨位置ロとの間の距離）Ｌ
は、 Ｌ＝（ガラス基板５の対角長さ−ガラス基板５の辺の長
さ）／２ に設定されている。
方形の場合は、研磨工具16の径方向への移動距離（すな
わち第１研磨位置イと第２研磨位置ロとの間の距離）Ｌ
は、 Ｌ＝（ガラス基板５の対角長さ−ガラス基板５の辺の長
さ）／２ に設定されている。
【００２０】以下、上記構成における作用を説明する。
ガラス基板５の中心を第１の鉛直軸心６に合わせた状態
で、ガラス基板５を定盤７にセットした後、第１モータ
11を駆動させて、第１回転軸８を介して定盤７を第１の
鉛直軸心６周りに回転させる。さらに、第２モータ20を
駆動させて、第２回転軸17を介して研磨工具16を第２の
鉛直軸心15周りに回転させる。そして、昇降用シリンダ
装置27のピストンロッド27ａを下向きに突出させること
により、図１の仮想線で示すように、第２回転軸17はス
プライン26を介して従動スプロケット23に噛合した状態
で下降するため、研磨工具16がガラス基板５の上面に押
圧される。
ガラス基板５の中心を第１の鉛直軸心６に合わせた状態
で、ガラス基板５を定盤７にセットした後、第１モータ
11を駆動させて、第１回転軸８を介して定盤７を第１の
鉛直軸心６周りに回転させる。さらに、第２モータ20を
駆動させて、第２回転軸17を介して研磨工具16を第２の
鉛直軸心15周りに回転させる。そして、昇降用シリンダ
装置27のピストンロッド27ａを下向きに突出させること
により、図１の仮想線で示すように、第２回転軸17はス
プライン26を介して従動スプロケット23に噛合した状態
で下降するため、研磨工具16がガラス基板５の上面に押
圧される。
【００２１】この際、検出装置36が、定盤７とともに回
転しているガラス基板５の角部５ａを検出した場合、こ
の検出に基づいて制御装置37が駆動シリンダ装置30のピ
ストンロッド30ａを突出させることにより、図３の
（ａ）で示すように、ガラス基板５の角部５ａが研磨工
具16の移動経路32上を通過する際に、研磨工具16が第１
研磨位置イまで移動するため、ガラス基板５の角部５ａ
から上記第１の鉛直軸心６にかけてが研磨工具16で研磨
される。
転しているガラス基板５の角部５ａを検出した場合、こ
の検出に基づいて制御装置37が駆動シリンダ装置30のピ
ストンロッド30ａを突出させることにより、図３の
（ａ）で示すように、ガラス基板５の角部５ａが研磨工
具16の移動経路32上を通過する際に、研磨工具16が第１
研磨位置イまで移動するため、ガラス基板５の角部５ａ
から上記第１の鉛直軸心６にかけてが研磨工具16で研磨
される。
【００２２】その直後、検出装置36はガラス基板５の角
部５ａを検出せずに非検出となるため、これに基づいて
制御装置37が駆動シリンダ装置30のピストンロッド30ａ
を退入させることにより、図３の（ｂ）で示すように、
ガラス基板５の辺部５ｂが研磨工具16の移動経路32上を
通過する際に、研磨工具16が第２研磨位置ロまで移動す
るため、ガラス基板５の辺部５ｂから上記第１の鉛直軸
心６にかけてが研磨工具16で研磨される。
部５ａを検出せずに非検出となるため、これに基づいて
制御装置37が駆動シリンダ装置30のピストンロッド30ａ
を退入させることにより、図３の（ｂ）で示すように、
ガラス基板５の辺部５ｂが研磨工具16の移動経路32上を
通過する際に、研磨工具16が第２研磨位置ロまで移動す
るため、ガラス基板５の辺部５ｂから上記第１の鉛直軸
心６にかけてが研磨工具16で研磨される。
【００２３】このように、図３の（ａ）で示すように、
ガラス基板５の角部５ａが研磨工具16の移動経路32上を
通過する際に、研磨工具16を第１研磨位置イまで移動さ
せて上記角部５ａから上記第１の鉛直軸心６にかけてを
研磨し、図３の（ｂ）で示すように、ガラス基板５の辺
部５ｂが上記移動経路32上を通過する際に、研磨工具16
を第２研磨位置ロまで移動させて上記辺部５ｂから上記
第１の鉛直軸心６にかけてを研磨することを繰り返して
行う。
ガラス基板５の角部５ａが研磨工具16の移動経路32上を
通過する際に、研磨工具16を第１研磨位置イまで移動さ
せて上記角部５ａから上記第１の鉛直軸心６にかけてを
研磨し、図３の（ｂ）で示すように、ガラス基板５の辺
部５ｂが上記移動経路32上を通過する際に、研磨工具16
を第２研磨位置ロまで移動させて上記辺部５ｂから上記
第１の鉛直軸心６にかけてを研磨することを繰り返して
行う。
【００２４】ここで、ガラス基板５の角部５ａから上記
第１の鉛直軸心６にかけてを研磨している際は、図３の
（ａ）で示すように、研磨工具16は常に第１研磨位置イ
に位置しているため、ガラス基板５からの研磨工具16の
はみ出し量Ａ（斜線部）が一定となる。同様に、ガラス
基板５の辺部５ｂから上記第１の鉛直軸心６にかけてを
研磨している際は、図３の（ｂ）で示すように、研磨工
具16は常に第２研磨位置ロに位置しているため、ガラス
基板５からの研磨工具16のはみ出し量Ｂ（斜線部）が一
定となる。このように、研磨工具16のはみ出し量が、ガ
ラス基板５の角部５ａを研磨している際と辺部５ｂを研
磨している際の両方において、それぞれ一定となるた
め、ガラス基板５を均一に研磨することができる。ま
た、ガラス基板５からの研磨工具16のはみ出し量を小さ
くし得るため、スクラッチ等の研磨不良の発生を防止す
ることができる。
第１の鉛直軸心６にかけてを研磨している際は、図３の
（ａ）で示すように、研磨工具16は常に第１研磨位置イ
に位置しているため、ガラス基板５からの研磨工具16の
はみ出し量Ａ（斜線部）が一定となる。同様に、ガラス
基板５の辺部５ｂから上記第１の鉛直軸心６にかけてを
研磨している際は、図３の（ｂ）で示すように、研磨工
具16は常に第２研磨位置ロに位置しているため、ガラス
基板５からの研磨工具16のはみ出し量Ｂ（斜線部）が一
定となる。このように、研磨工具16のはみ出し量が、ガ
ラス基板５の角部５ａを研磨している際と辺部５ｂを研
磨している際の両方において、それぞれ一定となるた
め、ガラス基板５を均一に研磨することができる。ま
た、ガラス基板５からの研磨工具16のはみ出し量を小さ
くし得るため、スクラッチ等の研磨不良の発生を防止す
ることができる。
【００２５】図４の（ａ）〜（ｈ）は、定盤７の回転角
４５°ごとにおける、研磨工具16の１本の研磨条痕を代
表して記載したものである。これによると、定盤７が一
回転すると、研磨工具16の第１研磨位置イと第２研磨位
置ロとの間の往復移動により、ガラス基板５の上面全体
に均一な研磨条痕を形成でき、さらに、ガラス基板５の
角部５ａと辺部５ｂとに同期して第２回転軸17の位置を
往復させることができる。
４５°ごとにおける、研磨工具16の１本の研磨条痕を代
表して記載したものである。これによると、定盤７が一
回転すると、研磨工具16の第１研磨位置イと第２研磨位
置ロとの間の往復移動により、ガラス基板５の上面全体
に均一な研磨条痕を形成でき、さらに、ガラス基板５の
角部５ａと辺部５ｂとに同期して第２回転軸17の位置を
往復させることができる。
【００２６】尚、上記実施の形態では、被研磨物の一例
として正方形のガラス基板５を挙げたが、このガラス基
板５の辺の長さが変わった場合は、これに応じて、図１
の仮想線で示すように、検出装置36の取付位置を定盤７
の径方向へ動かして調節すればよい。また、ガラス基板
５は長方形でもよく、さらに他の多角形であってもよ
い。
として正方形のガラス基板５を挙げたが、このガラス基
板５の辺の長さが変わった場合は、これに応じて、図１
の仮想線で示すように、検出装置36の取付位置を定盤７
の径方向へ動かして調節すればよい。また、ガラス基板
５は長方形でもよく、さらに他の多角形であってもよ
い。
【００２７】尚、ガラス基板５が長方形の場合は、研磨
工具16の径方向への移動距離Ｌ１，Ｌ２は、 Ｌ１＝（ガラス基板５の対角長さ−ガラス基板５の長辺
の長さ）／２ Ｌ２＝（ガラス基板５の対角長さ−ガラス基板５の短辺
の長さ）／２ に設定され、ガラス基板５の短辺部から角部（または角
部から短辺部）へかけての研磨においては上記Ｌ１だけ
研磨工具16を移動させ、長辺部から角部（または角部か
ら長辺部）へかけての研磨においては上記Ｌ２だけ研磨
工具16を移動させればよい。
工具16の径方向への移動距離Ｌ１，Ｌ２は、 Ｌ１＝（ガラス基板５の対角長さ−ガラス基板５の長辺
の長さ）／２ Ｌ２＝（ガラス基板５の対角長さ−ガラス基板５の短辺
の長さ）／２ に設定され、ガラス基板５の短辺部から角部（または角
部から短辺部）へかけての研磨においては上記Ｌ１だけ
研磨工具16を移動させ、長辺部から角部（または角部か
ら長辺部）へかけての研磨においては上記Ｌ２だけ研磨
工具16を移動させればよい。
【００２８】さらに、上記実施の形態では、被研磨物の
一例として電子部材に使用されるガラス基板５を挙げた
が、ガラス基板５の上面に形成された薄膜形成体を研磨
する場合でもよく、また、ガラス基板５に限らず、鏡や
レンズなどにも適応される。
一例として電子部材に使用されるガラス基板５を挙げた
が、ガラス基板５の上面に形成された薄膜形成体を研磨
する場合でもよく、また、ガラス基板５に限らず、鏡や
レンズなどにも適応される。
【００２９】また、上記実施の形態では、駆動装置の一
例である駆動シリンダ装置30を用いて可動フレーム体18
を往復移動させることによって、研磨工具16の第１研磨
位置イと第２研磨位置ロとの間の往復移動を行っている
が、駆動シリンダ装置30に限らず、支持フレーム33にラ
ックを設け、可動フレーム体18に、上記ラックに噛合し
てモータで回転駆動されるピニオンを設け、このピニオ
ンを回転駆動することにより可動フレーム体18を往復移
動させてもよい。
例である駆動シリンダ装置30を用いて可動フレーム体18
を往復移動させることによって、研磨工具16の第１研磨
位置イと第２研磨位置ロとの間の往復移動を行っている
が、駆動シリンダ装置30に限らず、支持フレーム33にラ
ックを設け、可動フレーム体18に、上記ラックに噛合し
てモータで回転駆動されるピニオンを設け、このピニオ
ンを回転駆動することにより可動フレーム体18を往復移
動させてもよい。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のうち請求
項１記載の発明によると、被研磨物の角部を研磨してい
る際は、研磨工具は常に第１研磨位置に位置しているた
め、被研磨物からの研磨工具のはみ出し量が一定とな
る。同様に、被研磨物の辺部から第１の鉛直軸心にかけ
てを研磨している際は、研磨工具は常に第２研磨位置に
位置しているため、被研磨物からの研磨工具のはみ出し
量が一定となる。このように、研磨工具のはみ出し量
が、被研磨物の角部を研磨している際と辺部を研磨して
いる際の両方において、それぞれ一定となるため、被研
磨物を均一に研磨することができる。また、被研磨物か
らの研磨工具のはみ出し量を小さくし得るため、スクラ
ッチ等の研磨不良の発生を防止することができる。
項１記載の発明によると、被研磨物の角部を研磨してい
る際は、研磨工具は常に第１研磨位置に位置しているた
め、被研磨物からの研磨工具のはみ出し量が一定とな
る。同様に、被研磨物の辺部から第１の鉛直軸心にかけ
てを研磨している際は、研磨工具は常に第２研磨位置に
位置しているため、被研磨物からの研磨工具のはみ出し
量が一定となる。このように、研磨工具のはみ出し量
が、被研磨物の角部を研磨している際と辺部を研磨して
いる際の両方において、それぞれ一定となるため、被研
磨物を均一に研磨することができる。また、被研磨物か
らの研磨工具のはみ出し量を小さくし得るため、スクラ
ッチ等の研磨不良の発生を防止することができる。
【図１】本発明の実施の形態における研磨装置の一部切
欠き正面図である。
欠き正面図である。
【図２】研磨装置の平面図である。
【図３】研磨装置を用いた研磨方法を示した平面図であ
る。
る。
【図４】研磨過程においてガラス基板に形成される研磨
条痕の図である。
条痕の図である。
【図５】従来の研磨装置の概略正面図である。
【図６】従来の研磨装置の概略平面図である。
【図７】従来の他の研磨装置の概略正面図である。
【図８】図７における研磨装置を用いた研磨方法を示し
た平面図である。
た平面図である。
【図９】図７における研磨装置を用いた研磨方法を示し
た平面図である。
た平面図である。
【図１０】図７における研磨装置を用いた研磨方法を示
した平面図である。
した平面図である。
【図１１】図７における研磨装置を用いた研磨方法を示
した平面図である。
した平面図である。
１ 研磨装置
５ ガラス基板（被研磨物）
５ａ 角部
５ｂ 辺部
６ 第１の鉛直軸心
７ 定盤
15 第２の鉛直軸心
16 研磨工具
30 駆動シリンダ装置（駆動装置）
32 移動経路
イ 第１研磨位置
ロ 第２研磨位置
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B24B 7/04
B24B 37/00
Claims (2)
- 【請求項１】 多角形の被研磨物を研磨する研磨装置で
あって、上記被研磨物を支持しかつ第１の鉛直軸心周り
に回転自在な定盤の上方に、第２の鉛直軸心周りに回転
自在でかつ上記定盤にセットされた被研磨物の上面に押
圧されて被研磨物を研磨する研磨工具を設け、上記研磨
工具は、被研磨物の角部を研磨範囲内とする第１研磨位
置と、この第１研磨位置よりも第１の鉛直軸心に接近し
かつ上記被研磨物の辺部から上記第１の鉛直軸心にかけ
てを研磨範囲内とする第２研磨位置との間で径方向へ往
復移動自在とし、上記定盤の回転に応じて、上記研磨工
具の移動経路上を角部が通過する際に、上記研磨工具を
第１研磨位置まで移動させて被研磨物の角部を研磨さ
せ、かつ、上記研磨工具の移動経路上を辺部が通過する
際に、上記研磨工具を第２研磨位置まで移動させて被研
磨物の辺部から上記第１の鉛直軸心にかけてを研磨させ
ることを繰り返す駆動装置が設けられたことを特徴とす
る研磨装置。 - 【請求項２】 被研磨物を定盤にセットした後、この定
盤を第１の鉛直軸心周りに回転させ、研磨工具を第２の
鉛直軸心周りに回転させて上記被研磨物の上面に押圧す
るとともに、駆動装置により、研磨工具の移動経路上を
角部が通過する際に、研磨工具を第１研磨位置まで移動
させて被研磨物の角部を研磨し、その後、上記研磨工具
の移動経路上を辺部が通過する際に、研磨工具を第２研
磨位置まで移動させて被研磨物の辺部から上記第１の鉛
直軸心にかけてを研磨することを繰り返すことを特徴と
する請求項１記載の研磨装置を用いた研磨方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05860296A JP3444715B2 (ja) | 1996-03-15 | 1996-03-15 | 研磨装置およびこの研磨装置を用いた研磨方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05860296A JP3444715B2 (ja) | 1996-03-15 | 1996-03-15 | 研磨装置およびこの研磨装置を用いた研磨方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09253991A JPH09253991A (ja) | 1997-09-30 |
| JP3444715B2 true JP3444715B2 (ja) | 2003-09-08 |
Family
ID=13089073
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05860296A Expired - Fee Related JP3444715B2 (ja) | 1996-03-15 | 1996-03-15 | 研磨装置およびこの研磨装置を用いた研磨方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3444715B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101504221B1 (ko) | 2010-08-02 | 2015-03-20 | 주식회사 엘지화학 | 대형기판 및 대형기판의 균일한 연마를 위한 연마 방법 |
| CN102922409B (zh) * | 2011-08-09 | 2014-12-10 | 劲耘科技股份有限公司 | 玻璃基板表面研磨方法 |
| JP2015223664A (ja) * | 2014-05-28 | 2015-12-14 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
| JP2015223665A (ja) * | 2014-05-28 | 2015-12-14 | 株式会社ディスコ | 研削装置及び矩形基板の研削方法 |
-
1996
- 1996-03-15 JP JP05860296A patent/JP3444715B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09253991A (ja) | 1997-09-30 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |