JP3442092B2 - 集積回路 - Google Patents
集積回路Info
- Publication number
- JP3442092B2 JP3442092B2 JP19826692A JP19826692A JP3442092B2 JP 3442092 B2 JP3442092 B2 JP 3442092B2 JP 19826692 A JP19826692 A JP 19826692A JP 19826692 A JP19826692 A JP 19826692A JP 3442092 B2 JP3442092 B2 JP 3442092B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resistors
- resistance
- temperature coefficient
- resistor
- measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Amplifiers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、集積回路内で所望の温
度係数の抵抗を形成することに関するものである。
度係数の抵抗を形成することに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は、従来の例として、集積回路に組
込まれた抵抗帰還による反転増幅回路を示す回路図であ
る。差動増幅器Ａ１１は便宜上、理想的な差動増幅器
（入力インピーダンス∞、出力インピーダンス０、オー
プンループゲイン∞）とする。そのマイナス端子には入
力Ｉinが接続され、プラス端子は接地されている。帰還
抵抗Ｒｆは、差動増幅器Ａ１１の入出力側に結線されて
おり、この場合は単独の抵抗Ｒ１１により構成されてい
る。
込まれた抵抗帰還による反転増幅回路を示す回路図であ
る。差動増幅器Ａ１１は便宜上、理想的な差動増幅器
（入力インピーダンス∞、出力インピーダンス０、オー
プンループゲイン∞）とする。そのマイナス端子には入
力Ｉinが接続され、プラス端子は接地されている。帰還
抵抗Ｒｆは、差動増幅器Ａ１１の入出力側に結線されて
おり、この場合は単独の抵抗Ｒ１１により構成されてい
る。
【０００３】入力信号Ｉinが与えられたとき、出力Ｖｏ
は、以下の式で表わされる。 Ｖo ＝Ｉin×Ｒｆ …（１） 温度２５℃のときの抵抗Ｒ１１の抵抗値をｒ11、温度係
数をαとすると、（１）式は、 Ｖo ＝Ｉin×ｒ11×（１＋α×ｔ） …（２） となる。ただし、ｔは温度変化量である。
は、以下の式で表わされる。 Ｖo ＝Ｉin×Ｒｆ …（１） 温度２５℃のときの抵抗Ｒ１１の抵抗値をｒ11、温度係
数をαとすると、（１）式は、 Ｖo ＝Ｉin×ｒ11×（１＋α×ｔ） …（２） となる。ただし、ｔは温度変化量である。
【０００４】入力電流Ｉinが一定であれば、この増幅器
のゲインは、帰還抵抗Ｒｆの温度係数に支配されること
になる。
のゲインは、帰還抵抗Ｒｆの温度係数に支配されること
になる。
【０００５】従来は、集積回路内で実現し得る抵抗の中
から、所望する温度係数を有する種類の抵抗を選んで設
計していた。
から、所望する温度係数を有する種類の抵抗を選んで設
計していた。
【０００６】また、図４は、抵抗値測定用のモニタ抵抗
を同一チップに内蔵した従来の回路の一例である。図３
の差動増幅器Ａ１１のプラス端子と接地との間から抵抗
Ｒｍが分岐されている。抵抗Ｒｍは抵抗Ｒｆと同種で同
一形状の抵抗であり、単独の抵抗Ｒ１２により構成され
ている。このように、集積回路内で厳密な精度を必要と
する抵抗については、抵抗Ｒ１１およびＲ１２共に同種
で同一形状の抵抗を内蔵して、測定用パッドＴ１を設け
て、ウエハテストなどで測定を行なっており、温度係数
についても容易に確認できるようにしている。
を同一チップに内蔵した従来の回路の一例である。図３
の差動増幅器Ａ１１のプラス端子と接地との間から抵抗
Ｒｍが分岐されている。抵抗Ｒｍは抵抗Ｒｆと同種で同
一形状の抵抗であり、単独の抵抗Ｒ１２により構成され
ている。このように、集積回路内で厳密な精度を必要と
する抵抗については、抵抗Ｒ１１およびＲ１２共に同種
で同一形状の抵抗を内蔵して、測定用パッドＴ１を設け
て、ウエハテストなどで測定を行なっており、温度係数
についても容易に確認できるようにしている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記の従来の設計方法
では集積回路内で実現し得る抵抗で実用的な抵抗は２種
類か３種類であるため、所望の温度係数を得ることがで
きない場合がある。
では集積回路内で実現し得る抵抗で実用的な抵抗は２種
類か３種類であるため、所望の温度係数を得ることがで
きない場合がある。
【０００８】具体的には、大きな抵抗値を得ようとした
場合、シート抵抗の大きな抵抗を選択して設計するが、
シート抵抗の大きな抵抗は、有する温度係数も非常に大
きく、特性上問題になる場合がある。逆に、温度係数の
小さな抵抗を選択すると、シート抵抗が非常に小さいた
め、チップ面積の拡大を招き、大幅なコストアップにな
ったり、集積回路内での寄生効果が大きくなり、高速の
回路には使用し難いなどの問題がある。
場合、シート抵抗の大きな抵抗を選択して設計するが、
シート抵抗の大きな抵抗は、有する温度係数も非常に大
きく、特性上問題になる場合がある。逆に、温度係数の
小さな抵抗を選択すると、シート抵抗が非常に小さいた
め、チップ面積の拡大を招き、大幅なコストアップにな
ったり、集積回路内での寄生効果が大きくなり、高速の
回路には使用し難いなどの問題がある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の集積回路におい
ては、モノリシック集積回路内において、異なる温度係
数を有する複数の抵抗を直列に組合せて使用し、所望の
温度係数を得るようにした。また、所望の温度係数を得
るために組合せた複数の抵抗の系列と、同じ温度係数の
組合せで同一の抵抗値を有する抵抗の系列、あるいは前
記の抵抗値と比例した抵抗値の、抵抗値測定用モニタ抵
抗の系列と測定に必要なパッドを設けるようにした。
ては、モノリシック集積回路内において、異なる温度係
数を有する複数の抵抗を直列に組合せて使用し、所望の
温度係数を得るようにした。また、所望の温度係数を得
るために組合せた複数の抵抗の系列と、同じ温度係数の
組合せで同一の抵抗値を有する抵抗の系列、あるいは前
記の抵抗値と比例した抵抗値の、抵抗値測定用モニタ抵
抗の系列と測定に必要なパッドを設けるようにした。
【００１０】
【作用】本発明においては、異なる温度係数を有する２
種類以上の抵抗を直列に組合せて使用することにより、
温度係数を調節して、所望の温度係数を有する抵抗を得
ることができる。また、組合せた抵抗と同じ温度係数の
組合せで、同一の抵抗値あるいは所定の抵抗比の抵抗値
測定用モニタ抵抗と測定パッドを設けることにより、従
来例と同様に測定用モニタ抵抗の役割を果たさせること
ができる。
種類以上の抵抗を直列に組合せて使用することにより、
温度係数を調節して、所望の温度係数を有する抵抗を得
ることができる。また、組合せた抵抗と同じ温度係数の
組合せで、同一の抵抗値あるいは所定の抵抗比の抵抗値
測定用モニタ抵抗と測定パッドを設けることにより、従
来例と同様に測定用モニタ抵抗の役割を果たさせること
ができる。
【００１１】
【実施例】図１は、本発明の一実施例の回路図である。
従来例の図３に対応するものであるが、差動増幅器Ａ１
の帰還抵抗Ｒｆの部分が抵抗Ｒ１およびＲ２の２つの抵
抗の直列接続になっていることが異なっている。
従来例の図３に対応するものであるが、差動増幅器Ａ１
の帰還抵抗Ｒｆの部分が抵抗Ｒ１およびＲ２の２つの抵
抗の直列接続になっていることが異なっている。
【００１２】ここで、抵抗Ｒ１とＲ２は、それぞれ異な
る温度係数α1 とα2 を有する抵抗である。そして、温
度２５℃のときの抵抗値をそれぞれｒ1 およびｒ2 とす
ると、帰還抵抗Ｒｆは、 Ｒｆ＝ｒ1 ×（１＋α1 ×ｔ）＋ｒ2 ×（１＋α2 ×ｔ） …（３） となる。ただし、ｔは温度変化量であり、簡単のため温
度の１次式で記述した。
る温度係数α1 とα2 を有する抵抗である。そして、温
度２５℃のときの抵抗値をそれぞれｒ1 およびｒ2 とす
ると、帰還抵抗Ｒｆは、 Ｒｆ＝ｒ1 ×（１＋α1 ×ｔ）＋ｒ2 ×（１＋α2 ×ｔ） …（３） となる。ただし、ｔは温度変化量であり、簡単のため温
度の１次式で記述した。
【００１３】
ｒ2 ＝ｎ×ｒ1 …（４）
とすると、
Ｒｆ＝ｒ1 ×（１＋α1 ×ｔ）＋ｎ×ｒ1 ×（１＋α2 ×ｔ） …（５）
となり、（５）式を整理すると、
Ｒｆ＝（１＋ｎ）×ｒ1 ×｛１＋（α1 ＋ｎ×α2 ）ｔ／（１＋ｎ）｝
…（６）
したがって、帰還抵抗Ｒｆの温度係数は（α1 ＋ｎ×α
2 ）／（１＋ｎ）となる。
2 ）／（１＋ｎ）となる。
【００１４】特に、ｎ＝１の場合、すなわち、ｒ1 ＝ｒ
2 のとき、（６）式は、 Ｒｆ＝２×ｒ1 ×｛１＋（α1 ＋α2 ）ｔ／２｝ …（７） となり、Ｒｆの温度係数は（α1 ＋α2 ）／２となる。
2 のとき、（６）式は、 Ｒｆ＝２×ｒ1 ×｛１＋（α1 ＋α2 ）ｔ／２｝ …（７） となり、Ｒｆの温度係数は（α1 ＋α2 ）／２となる。
【００１５】また、（６）式からわかるように、ｎを小
さくすれば、温度係数はα1 に近づき、逆にｎを大きく
すれば、温度係数はα2 に近づく。
さくすれば、温度係数はα1 に近づき、逆にｎを大きく
すれば、温度係数はα2 に近づく。
【００１６】図２は、図４に対応するものであるが、差
動増幅器Ａ１の帰還抵抗Ｒｆは図１と同様に温度係数の
異なる抵抗Ｒ１およびＲ２を組合せてあり、接地側の抵
抗Ｒｍは帰還抵抗Ｒｆを構成する抵抗Ｒ１およびＲ２と
同じ温度係数で同一形状の抵抗Ｒ３およびＲ４の組合せ
か、あるいは、同じ温度係数で同じ抵抗比での組合せに
よるものである。すなわち、 ｒ2 ＝ｎ×ｒ1 …（８） のとき、抵抗Ｒ３およびＲ４の２５℃のときの抵抗値を
それぞれｒ3 およびｒ4 とすると、 ｒ4 ＝ｎ×ｒ3 …（９） になるようにモニタ抵抗Ｒｍを設ける。
動増幅器Ａ１の帰還抵抗Ｒｆは図１と同様に温度係数の
異なる抵抗Ｒ１およびＲ２を組合せてあり、接地側の抵
抗Ｒｍは帰還抵抗Ｒｆを構成する抵抗Ｒ１およびＲ２と
同じ温度係数で同一形状の抵抗Ｒ３およびＲ４の組合せ
か、あるいは、同じ温度係数で同じ抵抗比での組合せに
よるものである。すなわち、 ｒ2 ＝ｎ×ｒ1 …（８） のとき、抵抗Ｒ３およびＲ４の２５℃のときの抵抗値を
それぞれｒ3 およびｒ4 とすると、 ｒ4 ＝ｎ×ｒ3 …（９） になるようにモニタ抵抗Ｒｍを設ける。
【００１７】そして、抵抗Ｒ１とＲ３を同種の抵抗、ま
た、抵抗Ｒ２とＲ４を同種の抵抗で形成する。集積回路
内では同種の抵抗は同じ割合でばらつき、異種の抵抗は
それぞれ独立にばらつく。したがって、抵抗Ｒ１および
抵抗Ｒ３のばらつき係数をａ、抵抗Ｒ２とＲ４のばらつ
き係数をｂとすると、帰還抵抗Ｒｆおよびモニタ抵抗Ｒ
ｍはそれぞれ、 Ｒｆ＝ａ×ｒ1 ＋ｂ×ｒ2 ＝ａ×ｒ1 ＋ｂ×ｎ×ｒ1 ＝（ａ＋ｂ×ｎ）×ｒ1 …（１０） Ｒｍ＝ａ×ｒ3 ＋ｂ×ｒ4 ＝ａ×ｒ3 ＋ｂ×ｎ×ｒ3 ＝（ａ＋ｂ×ｎ）×ｒ3 …（１１） となる。したがって、抵抗Ｒ１とＲ３の値を同じにする
か、あるいは、予め相関をとっておくなどして、式
（８）および（９）を満たすように設定してやれば、集
積回路内で厳密な精度を必要とする抵抗についても、こ
の方法により、モニタ抵抗を内蔵して、測定用パッドＴ
１を設けてウエハテストなどで測定を行なうことができ
る。
た、抵抗Ｒ２とＲ４を同種の抵抗で形成する。集積回路
内では同種の抵抗は同じ割合でばらつき、異種の抵抗は
それぞれ独立にばらつく。したがって、抵抗Ｒ１および
抵抗Ｒ３のばらつき係数をａ、抵抗Ｒ２とＲ４のばらつ
き係数をｂとすると、帰還抵抗Ｒｆおよびモニタ抵抗Ｒ
ｍはそれぞれ、 Ｒｆ＝ａ×ｒ1 ＋ｂ×ｒ2 ＝ａ×ｒ1 ＋ｂ×ｎ×ｒ1 ＝（ａ＋ｂ×ｎ）×ｒ1 …（１０） Ｒｍ＝ａ×ｒ3 ＋ｂ×ｒ4 ＝ａ×ｒ3 ＋ｂ×ｎ×ｒ3 ＝（ａ＋ｂ×ｎ）×ｒ3 …（１１） となる。したがって、抵抗Ｒ１とＲ３の値を同じにする
か、あるいは、予め相関をとっておくなどして、式
（８）および（９）を満たすように設定してやれば、集
積回路内で厳密な精度を必要とする抵抗についても、こ
の方法により、モニタ抵抗を内蔵して、測定用パッドＴ
１を設けてウエハテストなどで測定を行なうことができ
る。
【００１８】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、異なる
温度係数を有する複数の抵抗を直列に組合せて使用する
ことにより、温度係数を調節して、所望の温度係数を有
する抵抗を容易に得ることができる。また、組合せた抵
抗と同じ組合せで同一の抵抗値、あるいは、同一の抵抗
比の抵抗値測定用モニタ抵抗と測定パッドを設けること
で、集積回路内で厳密な抵抗値精度を必要とする場合、
内蔵した抵抗により測定用モニタ抵抗の役割を果たさせ
ることができる。
温度係数を有する複数の抵抗を直列に組合せて使用する
ことにより、温度係数を調節して、所望の温度係数を有
する抵抗を容易に得ることができる。また、組合せた抵
抗と同じ組合せで同一の抵抗値、あるいは、同一の抵抗
比の抵抗値測定用モニタ抵抗と測定パッドを設けること
で、集積回路内で厳密な抵抗値精度を必要とする場合、
内蔵した抵抗により測定用モニタ抵抗の役割を果たさせ
ることができる。
【図１】本発明の一実施例の等価回路図である。
【図２】本発明の他の実施例の等価回路図である。
【図３】従来の一例の等価回路図である。
【図４】従来の他の例の等価回路図である。
Ａ１ 差動増幅器
Ｒｆ 帰還抵抗
Ｒｍ モニタ抵抗
Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４ 抵抗
Ｔ１ 測定用パッド
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01C 13/02
H03F 1/30
Claims (2)
- 【請求項１】 異なる温度係数を有する複数の抵抗を直
列に組合せて所望の温度係数を有する抵抗を形成した系
列と、 前記複数の抵抗と同じ温度係数であり、かつ、同一形状
の複数の抵抗値測定用モニタ抵抗を直列に組合せた系列
と、 測定に必要なパッドとを有することを特徴とする集積回
路。 - 【請求項２】 異なる温度係数を有する複数の抵抗を直
列に組合せて所望の温度係数を有する抵抗を形成した系
列と、 前記複数の抵抗と同じ温度係数であり、かつ、前記複数
の抵抗の抵抗値と比例した抵抗値を有する複数の抵抗値
測定用モニタ抵抗の系列と、 測定に必要なパッドとを有することを特徴とする集積回
路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19826692A JP3442092B2 (ja) | 1992-07-24 | 1992-07-24 | 集積回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19826692A JP3442092B2 (ja) | 1992-07-24 | 1992-07-24 | 集積回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0645112A JPH0645112A (ja) | 1994-02-18 |
| JP3442092B2 true JP3442092B2 (ja) | 2003-09-02 |
Family
ID=16388283
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19826692A Expired - Fee Related JP3442092B2 (ja) | 1992-07-24 | 1992-07-24 | 集積回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3442092B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0746082A (ja) * | 1993-07-30 | 1995-02-14 | Nippondenso Co Ltd | フィルタ回路 |
| KR100775147B1 (ko) * | 2006-06-27 | 2007-11-12 | 현대자동차주식회사 | 로봇 로딩 행거장치 |
-
1992
- 1992-07-24 JP JP19826692A patent/JP3442092B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0645112A (ja) | 1994-02-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4760285A (en) | Hall effect device with epitaxal layer resistive means for providing temperature independent sensitivity | |
| JPH011288A (ja) | 温度補償集積回路ホール効果装置 | |
| JPH0351733A (ja) | 半導体圧力センサの増巾補償回路 | |
| US4463274A (en) | Temperature compensation circuit for pressure sensor | |
| JPH0781876B2 (ja) | 温度補償回路 | |
| US4109196A (en) | Resistance measuring circuit | |
| JPS59138109A (ja) | 差動増幅器 | |
| JPS63142216A (ja) | センサ用回路装置 | |
| US6101883A (en) | Semiconductor pressure sensor including a resistive element which compensates for the effects of temperature on a reference voltage and a pressure sensor | |
| JP3442092B2 (ja) | 集積回路 | |
| US5010302A (en) | Charge amplifier circuit | |
| JP2934538B2 (ja) | トランスジューサ回路とその製造方法 | |
| US4490686A (en) | Differential amplifier with common mode rejection means | |
| JP2610736B2 (ja) | 半導体圧力センサの増幅補償回路 | |
| JPS60144632A (ja) | 温度補償回路 | |
| JPS63236178A (ja) | 掛算回路 | |
| JPH05281254A (ja) | 半導体加速度センサ | |
| JPH0225286B2 (ja) | ||
| JPS60805B2 (ja) | 反転帰還増幅器 | |
| JPS6311612B2 (ja) | ||
| JP2792522B2 (ja) | 半導体センサ用信号処理回路 | |
| JP3258202B2 (ja) | 差動回路 | |
| JPH05203687A (ja) | 抵抗／電圧変換器 | |
| JPH0335607A (ja) | 一定利得及び高周波で所定の入力インピーダンスを有する広帯域増幅器 | |
| JPS60675Y2 (ja) | 信号加算回路 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030603 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090620 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100620 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100620 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110620 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120620 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |