JP3441617B2 - 溶剤回収方法、及び、溶剤回収装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、溶剤による電子部
品の洗浄で発生する溶剤蒸気など、種々の要因で発生す
る溶剤蒸気を回収する溶剤回収方法、及び、溶剤回収装
置に関し、詳しくは、溶剤蒸気含有気体を吸着剤に供給
して、その気体中の溶剤蒸気を吸着剤に吸着させる吸着
工程と、この吸着工程の後に脱着用水蒸気を吸着剤に供
給して、吸着剤の吸着溶剤を水蒸気中に脱着させる脱着
工程と、脱着工程で溶剤蒸気を含む状態となった水蒸気
から溶剤分を分離する溶剤分離工程とを有する溶剤回収
方法、及び、この回収方法に用いる溶剤回収装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の溶剤回収方法、及び、溶
剤回収装置では、一般的には、特公平７−３８９３４号
公報に見られるように、溶剤分離工程で溶剤分を分離し
た側の低溶剤濃度の水蒸気復水（具体的には、溶剤分離
工程の最終段階として溶剤含有の水蒸気復水から蒸留に
より溶剤蒸気を分離した側の水蒸気復水）は、その全量
を装置外へ排出していた。

【０００３】また、実公平５−４１７７２号公報に見ら
れるように、溶剤分離工程での溶剤分離処理として、脱
着工程で溶剤蒸気を含む状態となった水蒸気のうち、先
ず水蒸気分のみを選択的に凝縮させ、続いて未凝縮の水
蒸気と溶剤蒸気とを膜分離により分離するようにし、そ
して、上記の凝縮で生じる水（水蒸気復水）をその凝縮
の際の回収熱により蒸発させて得る再生水蒸気と、上記
の膜分離で溶剤蒸気と分離した側の分離水蒸気とを、別
系統から供給される本来の脱着用水蒸気に対し圧縮機や
蒸気エゼクタなど用い合流させて、本来の脱着用水蒸気
とともに脱着工程の吸着剤に供給する方式もある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、溶剤分を分離
した側の低溶剤濃度の水蒸気復水の全量を装置外へ排出
する前者の方式では、次の（イ）〜（ハ）の問題があ
る。

【０００５】（イ）装置外へ排出する水蒸気復水ととも
に、その保有熱（特に、溶剤分離工程で溶剤分離の為に
与えた熱、具体的には蒸留の為に与えた熱）も装置外へ
排出してしまう為、熱ロスが大きい。

【０００６】（ロ）溶剤分離工程で溶剤分を分離すると
は言え、装置外へ排出する水蒸気復水には微量の溶剤
（すなわち、蒸留で残る平衡溶解量の溶剤）が含まれる
為、この排出復水の後処理や産業廃棄物としての廃棄処
分に大きな費用を要する。

【０００７】（ハ）脱着工程の開始当初では脱着用水蒸
気は、吸着剤を脱着温度まで昇温させる、また、吸着剤
周りから不要気体（例えば空気）を追い出す為だけに消
費されて、本来の脱着には有効に寄与せず、このような
脱着工程開始当初からその後の実質の脱着工程と同じ高
質（高温・高圧・清浄）の高コスト水蒸気を脱着用水蒸
気として吸着剤に供給する点で無駄が大きく、脱着用水
蒸気の生成コストが嵩む。

【０００８】一方、後者の方式は、選択的凝縮により溶
剤蒸気を分離した水蒸気復水から回収熱を用いて生成さ
せた再生水蒸気、及び、膜分離により溶剤蒸気と分離し
た分離水蒸気を、本来の脱着用水蒸気とともに吸着剤に
供給して脱着に寄与させることにより、溶剤を含む水蒸
気復水の装置外排水量の低減、及び、その排水に伴う熱
ロスの低減を図ったものであるが、これにしても次の
（ニ）〜（ヘ）の問題がある。

【０００９】（ニ）溶剤分離工程で得る上記の再生水蒸
気や分離水蒸気は、脱着工程で吸着剤に供給する本来の
脱着用水蒸気に比べ大きく圧力低下していることから、
これら溶剤分離工程で得る低圧水蒸気を本来の脱着用水
蒸気とともに吸着剤に供給するには、圧縮機や蒸気エゼ
クタなどの圧力装置が必要になり、この為、装置構造が
複雑になる。また、これら圧力装置によるエネルギロス
も大きい。

【００１０】（ホ）溶剤分離工程で得る上記の再生水蒸
気及び分離水蒸気を本来の脱着用水蒸気とともに脱着工
程の吸着剤に供給して再利用するから、本来の脱着用水
蒸気の消費量は低減できる（すなわち、このことで装置
外排水量を低減できる）ものの、脱着工程の開始当初か
ら本来の脱着用水蒸気を吸着剤に供給する点で前記
（ロ）と同様の無駄がある。また、本来の脱着用水蒸気
を、溶剤分離工程で得られる低温化した再生水蒸気及び
分離水蒸気とともに吸着剤に供給する為、本来の脱着用
水蒸気の低温化を生じて脱着性能が低下し、この点でも
本来の脱着用水蒸気の使用に無駄がある。

【００１１】（ヘ）選択的凝縮により溶剤蒸気を分離し
た水蒸気復水から回収熱を用いて生成させた再生水蒸気
や、膜分離により溶剤蒸気と分離した分離水蒸気と言え
ども、分離し切れずに残る溶剤を含むことから、これら
水蒸気を本来の脱着用水蒸気とともに吸着剤に供給して
脱着を行うのでは、これら水蒸気の含有溶剤が吸着剤に
付着し、その付着状態のままで次の吸着工程に移ること
になり、この為、吸着性能、ひいては溶剤回収性能が低
下する。

【００１２】以上の実情に対し、本発明の主たる課題
は、溶剤分離工程で得る水蒸気を合理的に再利用するこ
とにより、上記（イ）〜（ヘ）の問題を効果的に解消す
る点にある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】

〔１〕請求項１記載の発明では、溶剤分離工程で溶剤分
を分離した側の低溶剤濃度の水蒸気復水から発生させた
水蒸気、又は、溶剤分離工程で溶剤分を分離した側の低
溶剤濃度の水蒸気そのものを立ち上げ用水蒸気として、
脱着工程の開始時に、脱着用水蒸気の供給に先立ち、こ
の立ち上げ用水蒸気を吸着剤に供給し、その後、この立
ち上げ用水蒸気の供給を停止して、吸着剤への脱着用水
蒸気の供給を開始するから、次の（ａ）〜（ｅ）のこと
が可能になる。

【００１４】（ａ）本来の脱着用水蒸気の供給に先立つ
脱着工程開始時の立ち上げ用水蒸気の供給により、溶剤
分離工程で得るこの立ち上げ用水蒸気を利用して、脱着
工程の開始当初における吸着剤の昇温と吸着剤周りから
の不要気体の追い出しを行うことができ、これにより、
溶剤分離工程で得る水蒸気の再利用による脱着用水蒸気
の必要量低減に加え、脱着工程開始当初の吸着剤昇温や
不要気体追い出しに、その後の実質の脱着工程と同じ高
質・高コストの脱着用水蒸気を使用する無駄を省くこと
ができる。

【００１５】また、この立ち上げ用水蒸気の供給の後、
立ち上げ用水蒸気の供給を停止して、吸着剤に対する本
来の脱着用水蒸気の供給を開始するから、溶剤分離工程
で得る立ち上げ用水蒸気を本来の脱着用水蒸気とともに
脱着工程の吸着剤に供給する場合に生じる脱着用水蒸気
の低温化も回避でき、この点でも本来の脱着用水蒸気を
無駄なく有効に使用でき、これらのことから、脱着用水
蒸気の必要量を効果的に低減できて、脱着用水蒸気の生
成コストを大巾に低減できる。

【００１６】（ｂ）上記の如く脱着用水蒸気を無駄なく
有効に使用できて、その必要量を効果的に低減できるこ
とにより、脱着用水蒸気の生成コストの低減に加え、分
離し切れずに残る溶剤を含んだ状態で最終的に装置外へ
排出する水蒸気復水の排水量も低減でき、これにより、
この排出復水の後処理や産業廃棄物としての廃棄処分に
要する費用も低減できる。

【００１７】（ｃ）装置外へ排出する水蒸気復水の排水
量を低減できることで、水蒸気復水とともにその保有熱
（脱着工程からの残存保有熱や、溶剤分離工程で溶剤分
離の為に与えた熱など）を装置外排出してしまう熱ロス
も回避でき、換言すれば、この保有熱の有効利用により
前記した脱着工程開始時の吸着剤昇温を行う。

【００１８】（ｄ）溶剤分離工程で得る立ち上げ用水蒸
気が本来の脱着用水蒸気に比べ低圧化しているとして
も、この立ち上げ用水蒸気は本来の脱着用水蒸気の吸着
剤への供給に先立ち独立に吸着剤へ供給するから、溶剤
分離工程で得る低圧の立ち上げ用水蒸気を本来の高圧の
脱着用水蒸気とともに吸着剤に供給する場合に要する圧
縮機や蒸気エゼクタなどの圧力装置を不要にすることが
でき、これにより、装置構造を簡単にして装置コストを
安価にでき、また、このような圧力装置によるエネルギ
ロスも回避できる。

【００１９】（ｅ）溶剤分離工程で得る立ち上げ用水蒸
気は、未分離の溶剤分ないし分離し切れずに残る溶剤分
を含むが、この立ち上げ用水蒸気を供給した後は、立ち
上げ用水蒸気の供給を停止して脱着用水蒸気を脱着工程
の吸着剤に供給するから、立ち上げ用水蒸気の供給段階
でその立ち上げ用水蒸気に含有の溶剤分が吸着剤に付着
したとしても、その後の本来の脱着用水蒸気の供給によ
り吸着剤から付着溶剤分を除去できて、溶剤分付着のな
い清浄な吸着剤状態で次の吸着工程に移行することがで
き、これにより、溶剤分離工程で得る低溶剤濃度の水蒸
気の利用として、その低溶剤濃度の水蒸気を脱着工程を
通じ本来の脱着用水蒸気とともに吸着剤に供給するのに
比べ、吸着効率、ひいては溶剤回収効率を高く確保する
ことができる。

【００２０】以上要するに、請求項１記載の発明によれ
ば、先述の各従来方式における（イ）〜（ヘ）の問題を
効果的に解消できて、コスト面で大巾に有利にしながら
高い溶剤回収効率を得ることができる。

【００２１】〔２〕請求項２記載の発明では、複数組の
吸着剤の脱着工程を順次に実施し、これら脱着工程の順
次実施に対応して、溶剤分離工程で立ち上げ用水蒸気を
順次に得るのに伴い、その立ち上げ用水蒸気を脱着工程
開始の吸着剤組に対し順次に供給するから、脱着工程の
順次実施でそれら脱着工程に対する溶剤分離工程を連続
化することに合わせ、溶剤分離工程で得られる立ち上げ
用水蒸気も、各吸着剤の脱着工程開始時における限定的
使用でありながら、可及的に連続化した状態で効率的に
使用でき、これら連続化により、溶剤回収を実施する装
置の小型化を可能にしながら、溶剤回収を能率的かつ円
滑に進めることができる。

【００２２】そして、このことから、脱着工程の順次実
施に対応させて、複数組の吸着剤の吸着工程も順次に実
施する方式で、溶剤蒸気含有気体に対する溶剤分離処理
を連続化する場合に特に有効となる。

【００２３】〔３〕請求項３記載の発明では、溶剤分離
工程において、溶剤蒸気を含む水蒸気の復水から蒸留に
より溶剤蒸気を分離し、この蒸留により溶剤蒸気を分離
した側の低溶剤濃度の水蒸気復水から発生させた水蒸気
を立ち上げ用水蒸気として用いるから、蒸留による溶剤
蒸気の分離の為に水蒸気復水に与えた熱を立ち上げ用水
蒸気の発生の為の熱に利用し、また、蒸留装置を立ち上
げ用水蒸気発生装置の一部に利用した形態で、立ち上げ
用水蒸気を簡易な装置構成で容易に発生させることがで
きる。

【００２４】そして、前記請求項１記載の発明の実施に
おいて、上記蒸留の為の付与熱を、立ち上げ用水蒸気に
よる脱着工程開始時の吸着剤昇温に利用する形態で、こ
の蒸留の為の付与熱を効果的に回収利用でき、蒸留によ
る分離が有効な低沸点溶剤を分離対象とする場合に特に
有効となる。

【００２５】なお、溶剤蒸気を含む水蒸気やその復水に
対し、上記蒸留による溶剤分離の前の段階あるいは後の
段階で他の溶剤分離処理を施すことは任意である。

【００２６】〔４〕請求項４記載の発明では、脱着工程
で溶剤蒸気を含む状態となった水蒸気からその保有熱を
回収し、この回収熱により、溶剤分離工程で前記の蒸留
を行う水蒸気復水を予熱するから、蒸留の為の外部から
の新たな付与熱を少なくすることができ、溶剤回収全体
としての熱効率を一層高めることができる。

【００２７】そして、前記請求項３記載の発明の実施に
おいて、上記溶剤含有水蒸気からの回収熱を、最終的に
は立ち上げ用水蒸気による脱着工程開始時の吸着剤昇温
に有効に利用できる。

【００２８】また、脱着工程で溶剤蒸気を含む状態とな
った水蒸気からの回収熱を利用するから、その保有熱回
収で凝縮させた水蒸気復水から比重分離により溶剤を分
離でき、この点、蒸留による分離が有効な低沸点溶剤と
ともに、比重分離による分離が有効な溶剤を分離対象と
する場合に特に有効となる。

【００２９】〔５〕請求項５記載の発明では、脱着工程
で溶剤蒸気を含む状態となった水蒸気から溶剤分を分離
する溶剤分離手段において溶剤分を分離した側の低溶剤
濃度の水蒸気復水から発生させた水蒸気、又は、この溶
剤分離手段において溶剤分を分離した側の低溶剤濃度の
水蒸気そのものを立ち上げ用水蒸気として、この立ち上
げ用水蒸気を吸着剤に供給する工程を脱着立上工程とす
る。

【００３０】そして、溶剤分離装置の装置構成として、
溶剤蒸気含有気体を吸着剤に供給する吸着工程と、脱着
用水蒸気を吸着剤に供給する脱着工程と、上記の脱着立
上工程とに、装置運転工程を切り換える切換手段を設け
てあるから、この切換手段による切り換えにより、吸着
工程と脱着立上工程と脱着工程とをその順に実施して、
前記請求項１記載の発明の溶剤回収方法を実現できる。

【００３１】

【発明の実施の形態】図１は溶剤回収装置を示し、１Ａ
は第１吸着塔、１Ｂは第２吸着塔であり、基本的には、
第１吸着塔１Ａで吸着工程を実施するのに対し第２吸着
塔１Ｂで脱着工程を実施する第１運転状態と、逆に第１
吸着塔１Ａで脱着工程を実施するのに対し第２吸着塔１
Ｂで吸着工程を実施する第２運転状態とに、運転状態を
交互に切り換える形態で、これら第１及び第２吸着塔１
Ａ，１Ｂの各々において吸着工程と脱着工程とを交互に
実施する。

【００３２】各吸着塔１Ａ，１Ｂは、円筒状ケーシング
２の内部に円筒状の吸着剤層３（吸着剤組）を内装し、
ケーシング２の内部で円筒状吸着剤層３の外側を環状の
外側チャンバ４とし、円筒状吸着剤層３の内側を内側チ
ャンバ５としたものであり、各吸着塔１Ａ，１Ｂについ
て、自身の吸着工程では、水蒸気導入弁Ｖｉ、水蒸気排
出弁Ｖｏ及び立ち上げ用水蒸気導入弁Ｖｔを閉じて、空
気導入ダンパＤｉ及び空気排出ダンパＤｏを開き、これ
により、溶剤蒸気Ｙを含む処理空気Ａを主空気導入風路
６から分岐空気導入風路６ａを介し外側チャンバ４に導
入して吸着剤層３に通過させ、この通過過程で処理空気
Ａ中の溶剤蒸気Ｙを吸着剤層３の吸着剤Ｋ（本実施形態
では活性炭）に吸着させる。そして、この吸着により溶
剤蒸気Ｙを分離除去した処理済空気Ａ’を、内側チャン
バ５から分岐空気排出風路７ａを介して主空気排出風路
７へ排出する。

【００３３】また、各吸着塔１Ａ，１Ｂについて、自身
の脱着工程では、空気導入ダンパＤｉ、空気排出ダンパ
Ｄｏ及び立ち上げ用水蒸気導入弁Ｖｔを閉じて、水蒸気
導入弁Ｖｉ及び水蒸気排出弁Ｖｏを開き、これにより、
主水蒸気供給路８から分岐水蒸気供給路８ａを介して供
給される新鮮・高温・高圧の脱着用水蒸気Ｓを、水蒸気
散布管９から内側チャンバ５の内部に噴出させて吸着剤
層３に通過させ、この通過過程で吸着剤層３における吸
着剤Ｋの吸着溶剤を水蒸気Ｓ中に脱着させる。そして、
この脱着で溶剤蒸気Ｙ’を含む状態となった水蒸気Ｓ’
を、外側チャンバ４から分岐水蒸気排出路１０ａ及び主
水蒸気排出路１０を介し溶剤分離手段としての後分離設
備１１に導き、この後分離設備１１において溶剤蒸気含
有水蒸気Ｓ’から溶剤分を分離する溶剤分離工程を行
う。

【００３４】後分離設備１１での溶剤分離工程では、主
水蒸気排出路１０から導かれる高溶剤濃度の水蒸気Ｓ’
を、第１凝縮器１２Ａでの冷却用熱媒体Ｎとの熱交換、
及び、それに続く第２凝縮器１２Ｂでの冷却水ＣＷとの
熱交換により、溶剤蒸気Ｙ’とともに凝縮させて高溶剤
濃度の水蒸気復水Ｗにし、続いて、比重分離器１３での
比重分離により、高溶剤濃度の水蒸気復水Ｗから非水溶
性の溶剤Ｙｔ（例えばトルエン）を分離回収する。そし
て、比重分離器１３で非水溶性の溶剤Ｙｔを分離して低
溶剤濃度となった水蒸気復水Ｗ’は貯槽１４に受入れ、
その一部を蒸留塔１５へ送り、他部は排水として排出す
る。

【００３５】蒸留塔１５へ送る低溶剤濃度の水蒸気復水
Ｗ’は、第１凝縮器１２Ａで高溶剤濃度水蒸気Ｓ’の冷
却に用いた熱媒体Ｎ（すなわち、各吸着塔１Ａ，１Ｂか
ら排出される高溶剤濃度水蒸気Ｓ’の保有熱を回収した
熱媒体）と予熱用熱交換器１６で熱交換させて予熱し、
蒸留塔１５では、この予熱した低溶剤濃度の水蒸気復水
Ｗ’を水蒸気熱源の加熱器１５ａにより加熱して、蒸留
により、この低溶剤濃度の水蒸気復水Ｗ’から低沸点溶
剤Ｙｍ（例えば、ＭＥＫ（メチルエチルケトン））を蒸
発させて分離し、この分離溶剤蒸気Ｙｍを第３凝縮器１
７での冷却水ＣＷによる冷却で凝縮させて回収する。

【００３６】そして、蒸留塔１５での低沸点溶剤Ｙｍの
分離でさらに溶剤濃度が低下した水蒸気復水Ｗ”は蒸発
器１８へ送って、自身の保有熱により蒸発（場合によっ
ては水蒸気熱源の加熱器などによる補助加熱を加えて蒸
発）させ、この蒸発器１８での発生水蒸気を立ち上げ用
水蒸気Ｓｔとする。

【００３７】この立ち上げ用水蒸気Ｓｔは脱着工程の開
始の際の吸着塔１Ａ，１Ｂの立ち上げに使用し、具体的
には、各吸着塔１Ａ，１Ｂでは自身の脱着工程の開始に
あたり脱着立上工程を実施し、この脱着立上工程では、
空気導入ダンパＤｉ、空気排出ダンパＤｏ及び水蒸気導
入弁Ｖｉを閉じて、立ち上げ用水蒸気導入弁Ｖｔ及び水
蒸気排出弁Ｖｏを開き、これにより、立ち上げ用水蒸気
Ｓｔを蒸発器１８から立ち上げ用の主水蒸気供給路１９
及び立ち上げ用の分岐水蒸気供給路１９ａを介し内側チ
ャンバ５に導入して吸着剤層３に通過させる。

【００３８】つまり、この立ち上げ用水蒸気Ｓｔの供給
により、水蒸気復水Ｗの再利用と蒸留塔１５での付与熱
の回収利用を図った形態で、脱着工程での脱着用水蒸気
Ｓの供給に先立ち、吸着剤層３における吸着剤Ｋの昇温
と吸着塔内部の残存空気Ａ（不要気体）の追い出しを行
い、その後、立ち上げ用水蒸気導入弁Ｖｔの閉弁により
立ち上げ用水蒸気Ｓｔの供給を停止するとともに、水蒸
気導入弁Ｖｉの開弁により脱着用水蒸気Ｓの供給を開始
して脱着立上工程から脱着工程へ移行する。

【００３９】また、この溶剤回収装置では、前記の第１
運転状態と第２運転状態との交互実施（換言すれば、第
１吸着塔１Ａと第２吸着塔１Ｂとによる吸着工程の交互
の順次実施、及び、脱着工程の交互の順次実施）によ
り、処理空気Ａに対する溶剤分離処理を連続化するとと
もに、各脱着工程に対する溶剤分離工程を連続化するの
に対応させて、この連続化した溶剤分離工程で立ち上げ
用水蒸気Ｓｔを順次発生させるに伴い、その立ち上げ用
水蒸気Ｓｔを脱着工程に先立つ脱着立上工程の第１ない
し第２吸着塔１Ａ，１Ｂへ順次に供給し、これにより、
溶剤分離工程で得る立ち上げ用水蒸気Ｓｔを、各吸着塔
１Ａ，１Ｂにおける脱着立上工程での限定的使用であり
ながら、可及的に連続化した状態で効率的に使用する。

【００４０】なお、本実施形態では、空気導入ダンパＤ
ｉ、空気排出ダンパＤｏ、水蒸気導入弁Ｖｉ、立ち上げ
用水蒸気導入弁Ｖｔ、及び水蒸気排出弁Ｖｏが、装置運
転工程を吸着工程と脱着工程と脱着立上工程とに切り換
える切換手段を構成する。

【００４１】〔別の実施形態〕次に発明の別実施形態を
列記する。前記の実施形態では、溶剤分離工程で溶剤分
を分離した側の低溶剤濃度の水蒸気復水Ｗ”から発生さ
せた水蒸気を立ち上げ用水蒸気Ｓｔとして用いたが、こ
れに代え、例えば、脱着工程で溶剤蒸気を含む状態とな
った水蒸気を、溶剤分離工程において選択透過膜により
溶剤蒸気と低溶剤濃度の水蒸気とに分離する方式で、そ
の膜分離した低溶剤濃度の水蒸気を立ち上げ用水蒸気Ｓ
ｔとして用いる等、溶剤分離工程で溶剤分を分離した側
の低溶剤濃度の水蒸気そのものを立ち上げ用水蒸気Ｓｔ
とするようにしてもよい。

【００４２】脱着立上工程から脱着工程への移行の際の
吸着剤Ｋへの供給水蒸気の切り換えについては、吸着剤
Ｋへの立ち上げ用水蒸気Ｓｔの供給を停止した上で、吸
着剤Ｋへの脱着用水蒸気Ｓの供給を開始する手順で行っ
てもよく、また逆に、脱着用水蒸気Ｓの供給を開始した
上で立ち上げ用水蒸気Ｓｔの供給を停止する手順で行っ
てもよく、あるいはまた、立ち上げ用水蒸気Ｓｔの供給
停止と脱着用水蒸気Ｓの供給開始とを同時に行ってもよ
い。

【００４３】溶剤分離工程で分離して回収した溶剤は、
再使用するものであってもよく、また、廃棄処分するも
のであってもよい。

【００４４】前記の実施形態では、２つの吸着塔１Ａ，
１Ｂで吸着工程を交互に順次実施し、かつ、これに対応
させて脱着工程を交互に順次実施する例を示したが、３
以上の吸着塔で吸着工程を順次に実施し、かつ、これに
対応させて脱着工程を順次に実施するようにしてもよ
い。また、一つの吸着塔だけで吸着工程と脱着工程を交
互に実施する方式を採用してもよい。

【００４５】溶剤分離工程で分離する溶剤はトルエン等
の非水溶性の溶剤やＭＥＫ等の低沸点溶剤（水よりも低
沸点の溶剤）に限定されるものではなく、種々の溶剤を
分離対象とすることができ、また、それら溶剤の分離に
は蒸留や比重分離に限らず、種々の分離方式を採用で
き、例えば、水よりも高沸点の溶剤を分離対象とする場
合、前記の実施形態における蒸発器１８での水の蒸発に
より、水蒸気復水Ｗ”中の高沸点溶剤を濃縮して分離回
収する方式を採用してもよい。

【００４６】吸着による溶剤蒸気分離処理の対象とする
気体Ａは空気以外の気体であってもよく、また、分離対
象とする溶剤蒸気Ｙは、溶剤による電子部品の洗浄で発
生する溶剤蒸気に限定されるものではなく、各種分野で
発生する種々の溶剤蒸気を分離対象とすることができ
る。さらにまた、吸着剤Ｋは活性炭に限定されるもので
はなく、その他、各種材質の吸着剤を採用できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】溶剤回収装置の構成図

【符号の説明】

Ａ 溶剤蒸気含有気体 Ｋ 吸着剤 Ｙ 溶剤蒸気 Ｓ 脱着用水蒸気 Ｙ’ 脱着した溶剤蒸気 Ｓ’ 溶剤蒸気含有水蒸気 Ｙｔ，Ｙｍ 分離溶剤分 Ｗ” 低溶剤濃度の水蒸気復水 Ｓｔ 立ち上げ用水蒸気 Ｗ’ 蒸留対象の水蒸気復水 １１ 溶剤分離手段 Ｄｉ，Ｄｏ，Ｖｉ，Ｖｏ，Ｖｔ 切換手段

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 溶剤蒸気含有気体を吸着剤に供給して、
   その気体中の溶剤蒸気を前記吸着剤に吸着させる吸着工
   程と、 この吸着工程の後に脱着用水蒸気を前記吸着剤に供給し
   て、前記吸着剤の吸着溶剤を水蒸気中に脱着させる脱着
   工程と、 脱着工程で溶剤蒸気を含む状態となった水蒸気から溶剤
   分を分離する溶剤分離工程とを有する溶剤回収方法であ
   って、 溶剤分離工程で溶剤分を分離した側の低溶剤濃度の水蒸
   気復水から発生させた水蒸気、又は、溶剤分離工程で溶
   剤分を分離した側の低溶剤濃度の水蒸気そのものを立ち
   上げ用水蒸気とし、 脱着工程の開始時に、脱着用水蒸気の供給に先立ち、こ
   の立ち上げ用水蒸気を前記吸着剤に供給し、その後、こ
   の立ち上げ用水蒸気の供給を停止して、前記吸着剤への
   脱着用水蒸気の供給を開始する溶剤回収方法。
2. 【請求項２】 前記吸着剤を複数組設けて、これら複数
   組の吸着剤の脱着工程を順次に実施し、 これら脱着工程の順次実施に対応して、溶剤分離工程で
   前記立ち上げ用水蒸気を順次に得るのに伴い、その立ち
   上げ用水蒸気を脱着工程開始の吸着剤組に対し順次に供
   給する請求項１記載の溶剤回収方法。
3. 【請求項３】 溶剤分離工程において、溶剤蒸気を含む
   水蒸気の復水から蒸留により溶剤蒸気を分離し、 この蒸留により溶剤蒸気を分離した側の低溶剤濃度の水
   蒸気復水から発生させた水蒸気を前記立ち上げ用水蒸気
   として用いる請求項１又は２記載の溶剤回収方法。
4. 【請求項４】 脱着工程で溶剤蒸気を含む状態となった
   水蒸気からその保有熱を回収し、 この回収熱により、溶剤分離工程で前記蒸留を行う水蒸
   気復水を予熱する請求項３記載の溶剤回収方法。
5. 【請求項５】 請求項１〜４のいずれか１項に記載の溶
   剤回収方法に用いる溶剤回収装置であって、 溶剤蒸気含有気体を吸着剤に供給する吸着工程と、 脱着用水蒸気を前記吸着剤に供給する脱着工程と、 脱着工程で溶剤蒸気を含む状態となった水蒸気から溶剤
   分を分離する溶剤分離手段において溶剤分を分離した側
   の低溶剤濃度の水蒸気復水から発生させた水蒸気、又
   は、前記溶剤分離手段において溶剤分を分離した側の低
   溶剤濃度の水蒸気そのものを立ち上げ用水蒸気として、
   この立ち上げ用水蒸気を前記吸着剤に供給する脱着立上
   工程とに、 装置運転工程を切り換える切換手段を設けてある溶剤回
   収装置。