JP3440653B2 - 微小硬度計 - Google Patents
微小硬度計Info
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2203/00—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
- G01N2203/02—Details not specific for a particular testing method
- G01N2203/026—Specifications of the specimen
- G01N2203/0286—Miniature specimen; Testing on microregions of a specimen
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- Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧子を試料に微小
荷重で押圧し、その押圧荷重に対する圧子の変位量など
を検出して試料の硬さを測定する微小硬度計に関する。
荷重で押圧し、その押圧荷重に対する圧子の変位量など
を検出して試料の硬さを測定する微小硬度計に関する。
【０００２】
【従来の技術】本出願人による特開平５−８５０１９号
公報には、自動平衡型電子天秤タイプの荷重装置を用い
て圧子を試料に押圧し、その押圧荷重に対する圧子の変
位量を検出して試料の硬さを測定する微小硬度計が開示
されている。この種の微小硬度計では、圧子の試料への
押圧荷重が非常に微小なため、周囲に騒音が発生するだ
けで圧子が上下に振れて試料表面を複数回叩き、測定結
果に悪影響を与えることがある。図９は圧子が試料に当
接するまでの荷重装置への供給電流と圧子変位の時間的
変化を示す図であり、図中のＴは騒音等の外乱による圧
子の変位を示している。
公報には、自動平衡型電子天秤タイプの荷重装置を用い
て圧子を試料に押圧し、その押圧荷重に対する圧子の変
位量を検出して試料の硬さを測定する微小硬度計が開示
されている。この種の微小硬度計では、圧子の試料への
押圧荷重が非常に微小なため、周囲に騒音が発生するだ
けで圧子が上下に振れて試料表面を複数回叩き、測定結
果に悪影響を与えることがある。図９は圧子が試料に当
接するまでの荷重装置への供給電流と圧子変位の時間的
変化を示す図であり、図中のＴは騒音等の外乱による圧
子の変位を示している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記外乱による影響を
なくすために、従来は比較的静かな深夜に測定を行うな
どの措置をとっており、作業者の負担となっていた。ま
た測定者が測定結果を見て外乱の有無を判定しており、
このため初心者と熟練者とで測定データに差が生じるな
どの不都合もあった。
なくすために、従来は比較的静かな深夜に測定を行うな
どの措置をとっており、作業者の負担となっていた。ま
た測定者が測定結果を見て外乱の有無を判定しており、
このため初心者と熟練者とで測定データに差が生じるな
どの不都合もあった。
【０００４】本発明の目的は、外乱の起きやすい環境下
でも外乱による測定結果の影響を極力抑えた微小硬度計
を提供することにある。
でも外乱による測定結果の影響を極力抑えた微小硬度計
を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】一実施の形態を示す図１
に対応づけて説明すると、本発明は、圧子変位量が増加
する方向に圧子１５を駆動して試料ＴＰに押圧すること
により試料ＴＰの硬さを測定する微小硬度計に適用され
る。そして、請求項１の発明は、あるタイミングで検出
された圧子変位量が前回のタイミングで検出された圧子
変位量と比較して等しいか小さい場合に前記圧子１５に
外乱が作用していると判定する判定手段６と、圧子１５
の駆動開始から圧子１５が試料ＴＰに当接するまでの間
に判定手段６により外乱が作用していると判定される
と、圧子１５を所定時間だけ停止させる駆動制御手段６
とを具備する。このように請求項１の発明では、圧子１
５の駆動開始から圧子１５が試料ＴＰに当接するまでの
間に外乱が発生すると圧子１５が所定時間だけ停止され
る。請求項２の発明は、上記判定手段６と、圧子１５が
試料ＴＰに押圧されているときに判定手段により外乱が
作用していると判定されると、外乱発生の旨を表示す
る、および／または測定を中止する制御手段６とを具備
する。このように請求項２の発明では、圧子１５が試料
ＴＰに押圧されているときに外乱が発生すると、外乱発
生の旨が表示される、および／または測定が中止され
る。
に対応づけて説明すると、本発明は、圧子変位量が増加
する方向に圧子１５を駆動して試料ＴＰに押圧すること
により試料ＴＰの硬さを測定する微小硬度計に適用され
る。そして、請求項１の発明は、あるタイミングで検出
された圧子変位量が前回のタイミングで検出された圧子
変位量と比較して等しいか小さい場合に前記圧子１５に
外乱が作用していると判定する判定手段６と、圧子１５
の駆動開始から圧子１５が試料ＴＰに当接するまでの間
に判定手段６により外乱が作用していると判定される
と、圧子１５を所定時間だけ停止させる駆動制御手段６
とを具備する。このように請求項１の発明では、圧子１
５の駆動開始から圧子１５が試料ＴＰに当接するまでの
間に外乱が発生すると圧子１５が所定時間だけ停止され
る。請求項２の発明は、上記判定手段６と、圧子１５が
試料ＴＰに押圧されているときに判定手段により外乱が
作用していると判定されると、外乱発生の旨を表示す
る、および／または測定を中止する制御手段６とを具備
する。このように請求項２の発明では、圧子１５が試料
ＴＰに押圧されているときに外乱が発生すると、外乱発
生の旨が表示される、および／または測定が中止され
る。
【０００６】なお、本発明の構成を説明する上記課題を
解決するための手段の項では、本発明を分かり易くする
ために実施の形態の図を用いたが、これにより本発明が
実施の形態に限定されるものではない。
解決するための手段の項では、本発明を分かり易くする
ために実施の形態の図を用いたが、これにより本発明が
実施の形態に限定されるものではない。
【０００７】
【発明の実施の形態】図１〜図５により本発明の一実施
の形態を説明する。図１は本発明に係る微小硬度計の全
体構成図である。枠体１に昇降可能に設けられた試料台
２には、互いに直交するＸＹ方向に移動可能なステージ
３が着脱自在に設けられ、ステージ３上に試料ＴＰが載
置固定される。
の形態を説明する。図１は本発明に係る微小硬度計の全
体構成図である。枠体１に昇降可能に設けられた試料台
２には、互いに直交するＸＹ方向に移動可能なステージ
３が着脱自在に設けられ、ステージ３上に試料ＴＰが載
置固定される。
【０００８】枠体１内に設けられた自動平衡型電子天秤
タイプの荷重装置１０は、図２にも示すように、マグネ
ット１１ａおよび電磁コイル１１ｂから成る電磁力発生
装置１１を有し、この装置１１は制御装置６から電磁コ
イル１１ｂに供給される電流に応じた磁界を発生する。
電磁力発生装置１１の図示下方には、支点Ｆ回りに揺動
可能なレバー１２の一端が位置して電磁コイル１１ｂと
連結され、電磁力発生装置１１で発生する磁界によりレ
バー１２が支点Ｆを中心に回動する。電磁コイル１１ｂ
への供給電流を増加させることによりレバー１２の回動
量が増加し、供給電流を一定値に保持するとレバー１２
はそのときの回動姿勢で保持される。
タイプの荷重装置１０は、図２にも示すように、マグネ
ット１１ａおよび電磁コイル１１ｂから成る電磁力発生
装置１１を有し、この装置１１は制御装置６から電磁コ
イル１１ｂに供給される電流に応じた磁界を発生する。
電磁力発生装置１１の図示下方には、支点Ｆ回りに揺動
可能なレバー１２の一端が位置して電磁コイル１１ｂと
連結され、電磁力発生装置１１で発生する磁界によりレ
バー１２が支点Ｆを中心に回動する。電磁コイル１１ｂ
への供給電流を増加させることによりレバー１２の回動
量が増加し、供給電流を一定値に保持するとレバー１２
はそのときの回動姿勢で保持される。
【０００９】レバー１２の他端は板ばね１３およびブラ
ケットＢＲを介して圧子保持部材１４に連結され、保持
部材１４の図示下端には上記ステージ３上の試料ＴＰを
押圧するための圧子１５が取付けられている。１６は、
一端が保持部材１４の上下部に、他端が固定部１７にそ
れぞれ回動可能に連結された一対のリンクであり、これ
らのリンク１６により平行リンク機構が構成される。レ
バー１２の回動に従って保持部材１４すなわち圧子１５
は、平行リンク機構の作用により同一姿勢を保ちつつ昇
降する。
ケットＢＲを介して圧子保持部材１４に連結され、保持
部材１４の図示下端には上記ステージ３上の試料ＴＰを
押圧するための圧子１５が取付けられている。１６は、
一端が保持部材１４の上下部に、他端が固定部１７にそ
れぞれ回動可能に連結された一対のリンクであり、これ
らのリンク１６により平行リンク機構が構成される。レ
バー１２の回動に従って保持部材１４すなわち圧子１５
は、平行リンク機構の作用により同一姿勢を保ちつつ昇
降する。
【００１０】図１の４は圧子１５の変位量を検出する差
動トランス式の変位検出器であり、その検出結果は変位
測定器（アンプ）５を介して制御装置６に入力される。
制御装置６は、変位測定器５からの入力信号と、圧子１
５による試料ＴＰへの押圧荷重（電磁コイル１１ｂへの
供給電流から得られる）とに基づいて所定の演算処理を
行い、試料ＴＰの硬さデータとして出力する。また制御
装置６は、変位測定器５からの入力信号に基づいて外乱
発生の有無を検出し、その検出結果に基づいて圧子１５
の動作を制御する。制御装置６には表示装置７が接続さ
れ、種々の情報を表示する。
動トランス式の変位検出器であり、その検出結果は変位
測定器（アンプ）５を介して制御装置６に入力される。
制御装置６は、変位測定器５からの入力信号と、圧子１
５による試料ＴＰへの押圧荷重（電磁コイル１１ｂへの
供給電流から得られる）とに基づいて所定の演算処理を
行い、試料ＴＰの硬さデータとして出力する。また制御
装置６は、変位測定器５からの入力信号に基づいて外乱
発生の有無を検出し、その検出結果に基づいて圧子１５
の動作を制御する。制御装置６には表示装置７が接続さ
れ、種々の情報を表示する。
【００１１】なお、２０は補助的装置としての光学モニ
タ装置であり、対物レンズ２１や接眼レンズ２２等を備
え、試料ＴＰの表面における試験位置を測定したり、圧
子１５によって試料表面に形成された窪みの状態を作業
者が観察するために用いられる。
タ装置であり、対物レンズ２１や接眼レンズ２２等を備
え、試料ＴＰの表面における試験位置を測定したり、圧
子１５によって試料表面に形成された窪みの状態を作業
者が観察するために用いられる。
【００１２】図３により制御装置６による硬さ測定動作
の制御手順を説明する。所定の測定開始操作がなされる
とこのプログラムが起動され、ステップＳ１で外乱の有
無を判定する。この判定は次のようにして行う。図４は
電磁コイル１１ｂに供給する電流と圧子変位量の時間的
変化を示すものである。通常は供給電流の増加に従って
圧子１５の下方つまり試料ＴＰ側への変位量が増加する
が、外乱が発生するとＴで示すように変位量が小刻みに
上下する。そこで本実施の形態では、電流増加時に所定
時間ごとに変位測定器５から入力される圧子１５の初期
位置からの変位量Ｄ（ｔ）をモニタし、前回の値Ｄ（ｔ
−１）と比較してＤ（ｔ）≦Ｄ（ｔ−１）の場合、換言
すれば、圧子１５を下降させようとしているにも拘らず
圧子１５の上昇あるいは停滞が検出された場合に外乱発
生と判断する。なお、測定開始当初は前回の圧子１５の
変位量Ｄ（ｔ−１）が存在しないから上記比較が行え
ず、この場合は外乱なしと判断する。
の制御手順を説明する。所定の測定開始操作がなされる
とこのプログラムが起動され、ステップＳ１で外乱の有
無を判定する。この判定は次のようにして行う。図４は
電磁コイル１１ｂに供給する電流と圧子変位量の時間的
変化を示すものである。通常は供給電流の増加に従って
圧子１５の下方つまり試料ＴＰ側への変位量が増加する
が、外乱が発生するとＴで示すように変位量が小刻みに
上下する。そこで本実施の形態では、電流増加時に所定
時間ごとに変位測定器５から入力される圧子１５の初期
位置からの変位量Ｄ（ｔ）をモニタし、前回の値Ｄ（ｔ
−１）と比較してＤ（ｔ）≦Ｄ（ｔ−１）の場合、換言
すれば、圧子１５を下降させようとしているにも拘らず
圧子１５の上昇あるいは停滞が検出された場合に外乱発
生と判断する。なお、測定開始当初は前回の圧子１５の
変位量Ｄ（ｔ−１）が存在しないから上記比較が行え
ず、この場合は外乱なしと判断する。
【００１３】外乱発生と判断した場合はステップＳ２で
電流の増加を停止して圧子１５を停止させ、予め決めら
れた所定時間Δｔだけ待機してステップＳ１に戻る。こ
の所定時間Δｔは、発生した外乱が収まるのに十分な時
間とされる。外乱なしと判断した場合にはステップＳ３
で電磁コイル１１ｂへの供給電流を増加させ、圧子１５
を下降させる。ステップＳ４では圧子１５が試料ＴＰに
当接したか否かを判定し、当接していなければステップ
Ｓ１に戻って上述の処理を繰返し、当接していればステ
ップＳ５に進む。当接したか否かは、例えば圧子１５の
単位時間の変位量が所定値未満になったか否かで判断す
ればよい。
電流の増加を停止して圧子１５を停止させ、予め決めら
れた所定時間Δｔだけ待機してステップＳ１に戻る。こ
の所定時間Δｔは、発生した外乱が収まるのに十分な時
間とされる。外乱なしと判断した場合にはステップＳ３
で電磁コイル１１ｂへの供給電流を増加させ、圧子１５
を下降させる。ステップＳ４では圧子１５が試料ＴＰに
当接したか否かを判定し、当接していなければステップ
Ｓ１に戻って上述の処理を繰返し、当接していればステ
ップＳ５に進む。当接したか否かは、例えば圧子１５の
単位時間の変位量が所定値未満になったか否かで判断す
ればよい。
【００１４】ステップＳ５では圧子１５の変位量を読み
取り、電磁コイル１１ｂへの供給電流の増加を継続しつ
つステップＳ６に進む。圧子１５が試料ＴＰに当接した
後は供給電流の増加に従って圧子１５の試料ＴＰへの押
圧荷重が増加し、圧子１５によって試料表面に形成され
る窪みの深さが増加する。ステップＳ６では上述と同様
にして外乱の有無を判定し、外乱が生じた場合にはステ
ップＳ７でフラグを設定してステップＳ８に進み、外乱
なしの場合にはそのままステップＳ８に進む。ステップ
Ｓ８では測定終了か否かを判定し、電磁コイル１１ｂへ
の供給電流から求まる押圧荷重がまだ予め設定された設
定荷重に達していなければ測定終了でないと判断してス
テップＳ５に戻り、上述の処理を繰返す。ステップＳ５
での変位読み取りは、圧子１５の試料ＴＰへの押圧力が
単位量だけ増加するたびに行われる。
取り、電磁コイル１１ｂへの供給電流の増加を継続しつ
つステップＳ６に進む。圧子１５が試料ＴＰに当接した
後は供給電流の増加に従って圧子１５の試料ＴＰへの押
圧荷重が増加し、圧子１５によって試料表面に形成され
る窪みの深さが増加する。ステップＳ６では上述と同様
にして外乱の有無を判定し、外乱が生じた場合にはステ
ップＳ７でフラグを設定してステップＳ８に進み、外乱
なしの場合にはそのままステップＳ８に進む。ステップ
Ｓ８では測定終了か否かを判定し、電磁コイル１１ｂへ
の供給電流から求まる押圧荷重がまだ予め設定された設
定荷重に達していなければ測定終了でないと判断してス
テップＳ５に戻り、上述の処理を繰返す。ステップＳ５
での変位読み取りは、圧子１５の試料ＴＰへの押圧力が
単位量だけ増加するたびに行われる。
【００１５】押圧荷重が設定荷重に達していれば測定終
了と判断してステップＳ９に進み、フラグ設定の有無を
判定する。フラグが設定されていれば、ステップＳ１０
で表示装置７に外乱有りの旨の表示を行って処理を終了
し、フラグが設定されていなければ表示を行わずに終了
する。以上の手順により例えば図５に示すような荷重−
変位（窪みの深さ）特性が得られる。図５（ａ）は外乱
なしの場合を、図５（ｂ）は外乱ありの場合をそれぞれ
示している。
了と判断してステップＳ９に進み、フラグ設定の有無を
判定する。フラグが設定されていれば、ステップＳ１０
で表示装置７に外乱有りの旨の表示を行って処理を終了
し、フラグが設定されていなければ表示を行わずに終了
する。以上の手順により例えば図５に示すような荷重−
変位（窪みの深さ）特性が得られる。図５（ａ）は外乱
なしの場合を、図５（ｂ）は外乱ありの場合をそれぞれ
示している。
【００１６】本実施の形態では、圧子１５が試料ＴＰに
当接するまでの期間に外乱が発生すると、図４に示すよ
うに圧子１５の下降が停止され、外乱が収まるのに十分
な時間Δｔが経過してから再び下降が開始される。した
がって、圧子１５が試料ＴＰに当接するときに試料ＴＰ
の表面を叩くおそれがなく、異常データの発生を最小限
に抑制できる。一方、圧子１５が試料ＴＰに当接してか
らは、例えば図５（ｂ）のように外乱が発生した場合に
その旨が表示装置７に表示される。この表示が測定者に
データの再採取を促すことになり、測定値の信頼性を高
めることができる。なお、外乱発生の旨の表示は測定中
に行ってもよいし、測定後に行ってもよい。
当接するまでの期間に外乱が発生すると、図４に示すよ
うに圧子１５の下降が停止され、外乱が収まるのに十分
な時間Δｔが経過してから再び下降が開始される。した
がって、圧子１５が試料ＴＰに当接するときに試料ＴＰ
の表面を叩くおそれがなく、異常データの発生を最小限
に抑制できる。一方、圧子１５が試料ＴＰに当接してか
らは、例えば図５（ｂ）のように外乱が発生した場合に
その旨が表示装置７に表示される。この表示が測定者に
データの再採取を促すことになり、測定値の信頼性を高
めることができる。なお、外乱発生の旨の表示は測定中
に行ってもよいし、測定後に行ってもよい。
【００１７】以上の実施の形態の構成において、変位検
出装置４が検出手段を、制御装置６が駆動制御手段およ
び制御手段をそれぞれ構成する。
出装置４が検出手段を、制御装置６が駆動制御手段およ
び制御手段をそれぞれ構成する。
【００１８】以上では、圧子１５が試料ＴＰを押圧して
いるときに外乱が発生すると、その旨の表示を行うよう
にしたが、例えば図６に示すように、外乱の発生に伴っ
て測定を中止するようにしてもよい。
いるときに外乱が発生すると、その旨の表示を行うよう
にしたが、例えば図６に示すように、外乱の発生に伴っ
て測定を中止するようにしてもよい。
【００１９】図７は外乱の大きさに応じて処理を変える
ようにした他の実施の形態を示している。ステップＳ６
で外乱発生と判断されるとステップＳ２１に進み、外乱
の大きさが基準値以上か否かを判定する。基準値以上の
場合、つまり外乱により測定値の信頼性が著しく低下す
るおそれがある場合には測定を中止し、基準値未満の場
合、つまり外乱による影響がさほど問題にならない場合
にはステップＳ７でフラグを設定してステップＳ８に進
む。フラグが設定された場合には測定そのものは中止さ
れないが、外乱が発生した旨の表示がなされる。上記基
準値は設定荷重に応じて予め入力された値が用いられ、
設定荷重が大きいほど基準値は大きい。
ようにした他の実施の形態を示している。ステップＳ６
で外乱発生と判断されるとステップＳ２１に進み、外乱
の大きさが基準値以上か否かを判定する。基準値以上の
場合、つまり外乱により測定値の信頼性が著しく低下す
るおそれがある場合には測定を中止し、基準値未満の場
合、つまり外乱による影響がさほど問題にならない場合
にはステップＳ７でフラグを設定してステップＳ８に進
む。フラグが設定された場合には測定そのものは中止さ
れないが、外乱が発生した旨の表示がなされる。上記基
準値は設定荷重に応じて予め入力された値が用いられ、
設定荷重が大きいほど基準値は大きい。
【００２０】図８は外乱発生時に上記設定荷重の大きさ
に応じて処理を変えるようにした他の実施の形態を示し
ている。ステップＳ６で外乱発生と判断されるとステッ
プＳ３１に進み、設定荷重が基準値以上か否かを判定す
る。基準値未満の場合には外乱が測定値に大きな影響を
及ぼすものと判断して測定を中止し、基準値以上の場合
には外乱が測定値にさほど大きな影響を与えないと判断
してステップＳ７でフラグを設定する。フラグが設定さ
れた場合には測定そのものは中止されないが、外乱が発
生した旨の表示がなされる。
に応じて処理を変えるようにした他の実施の形態を示し
ている。ステップＳ６で外乱発生と判断されるとステッ
プＳ３１に進み、設定荷重が基準値以上か否かを判定す
る。基準値未満の場合には外乱が測定値に大きな影響を
及ぼすものと判断して測定を中止し、基準値以上の場合
には外乱が測定値にさほど大きな影響を与えないと判断
してステップＳ７でフラグを設定する。フラグが設定さ
れた場合には測定そのものは中止されないが、外乱が発
生した旨の表示がなされる。
【００２１】なお以上では、Ｄ（ｔ）≦Ｄ（ｔ−１）が
判定されると外乱発生と判断するようにしたが、例えば
各タイミングにおける圧子変位Ｄ（ｔ）から圧子変位の
変化率ΔＤを求め、この変化率ΔＤから外乱の有無を検
出するようにしてもよい。また、圧子の駆動機構の構成
は自動平衡型電子天秤タイプのものに限定されない。さ
らに、圧子により試料表面に形成された窪みの深さを硬
さデータとして検出する例を示したが、例えば窪みの幅
を硬さデータとして検出するものにも本発明を適用でき
る。
判定されると外乱発生と判断するようにしたが、例えば
各タイミングにおける圧子変位Ｄ（ｔ）から圧子変位の
変化率ΔＤを求め、この変化率ΔＤから外乱の有無を検
出するようにしてもよい。また、圧子の駆動機構の構成
は自動平衡型電子天秤タイプのものに限定されない。さ
らに、圧子により試料表面に形成された窪みの深さを硬
さデータとして検出する例を示したが、例えば窪みの幅
を硬さデータとして検出するものにも本発明を適用でき
る。
【００２２】
【発明の効果】請求項１の発明によれば、圧子の駆動開
始から圧子が試料に当接するまでの間に外乱発生と判定
されると圧子を停止するようにしたので、圧子が試料に
当接するときに圧子が試料表面を叩くことがなく、測定
精度の向上が図れる。したがって、わざわざ深夜に測定
を行う必要がなく、作業者の負担が軽減される。請求項
２の発明によれば、圧子が試料に押圧されているときに
所定値以上の外乱が検出されると、外乱発生の旨を表示
するか測定を中止するようにした。上記外乱発生の表示
を行うようにすれば、測定者の熟練度に拘らず再測定が
必要か否かを的確に判断できる。また測定を中止するよ
うにすれば、外乱の影響による精度の低い測定結果が出
力されることがなくなる。
始から圧子が試料に当接するまでの間に外乱発生と判定
されると圧子を停止するようにしたので、圧子が試料に
当接するときに圧子が試料表面を叩くことがなく、測定
精度の向上が図れる。したがって、わざわざ深夜に測定
を行う必要がなく、作業者の負担が軽減される。請求項
２の発明によれば、圧子が試料に押圧されているときに
所定値以上の外乱が検出されると、外乱発生の旨を表示
するか測定を中止するようにした。上記外乱発生の表示
を行うようにすれば、測定者の熟練度に拘らず再測定が
必要か否かを的確に判断できる。また測定を中止するよ
うにすれば、外乱の影響による精度の低い測定結果が出
力されることがなくなる。
【図１】本発明の一実施の形態に係る微小硬度計の全体
構成を示す構成図。
構成を示す構成図。
【図２】荷重装置の詳細を示す図。
【図３】硬さ測定処理の制御手順を示すフローチャー
ト。
ト。
【図４】圧子が試料に当接する前の荷重装置への供給電
流および圧子変位の時間的変化を示す図。
流および圧子変位の時間的変化を示す図。
【図５】圧子が試料に当接した後の押圧荷重と圧子変位
との関係を示す図。
との関係を示す図。
【図６】他の実施の形態における制御手順を示すフロー
チャート。
チャート。
【図７】他の実施の形態における制御手順を示すフロー
チャート。
チャート。
【図８】他の実施の形態における制御手順を示すフロー
チャート。
チャート。
【図９】従来試験機における圧子が試料に当接した後の
押圧荷重と圧子変位との関係を示す図。
押圧荷重と圧子変位との関係を示す図。
３ ステージ
４ 変位検出器
５ 変位測定器
６ 制御装置
７ 表示装置
１０ 荷重装置
１５ 圧子
２０ 光学モニタ
ＴＰ 試料
Claims (2)
- 【請求項１】 圧子変位量が増加する方向に圧子を駆動
して試料に押圧することにより試料の硬さを測定する微
小硬度計において、あるタイミングで検出された圧子変
位量が前回のタイミングで検出された圧子変位量と比較
して等しいか小さい場合に前記圧子に外乱が作用してい
ると判定する判定手段と、前記圧子の駆動開始から圧子
が試料に当接するまでの間に前記判定手段により外乱が
作用していると判定されると、前記圧子を所定時間だけ
停止させる駆動制御手段とを具備することを特徴とする
微小硬度計。 - 【請求項２】 圧子変位量が増加する方向に圧子を駆動
して試料に押圧することにより試料の硬さを測定する微
小硬度計において、あるタイミングで検出された圧子変
位量が前回のタイミングで検出された圧子変位量と比較
して等しいか小さい場合に前記圧子に外乱が作用してい
ると判定する判定手段と、前記圧子が前記試料に押圧さ
れているときに前記判定手段により外乱が作用している
と判定されると、外乱発生の旨を表示する、および／ま
たは測定を中止する制御手段とを具備することを特徴と
する微小硬度計。
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| JP23677395A Expired - Fee Related JP3440653B2 (ja) | 1995-09-14 | 1995-09-14 | 微小硬度計 |
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