JP3434154B2 - 平板材のローディング装置 - Google Patents
平板材のローディング装置Info
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- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
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- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
- B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups
- B65G2249/045—Details of suction cups suction cups
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- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、プラズマ
ディスプレイに使用されるガラス基板等を、定盤上に載
置して焼成炉にて焼成する際に、定盤にローディングす
るためのように、平板材を定盤上にローディングするた
めの装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】プラズマディスプレイ装置に使用される
ガラス基板は、定盤に載置した状態で焼成炉にて焼成さ
れた後に、定盤からアンローディングされて、所定の加
工工程を経ることにより、プラズマディスプレイ装置と
される。 【０００３】焼成炉にて焼成されるガラス基板を、定盤
上にローディングする作業は、通常、作業員の手作業に
よって実施されている。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うに、ガラス基板を手作業によって定盤上にローディン
グするためには、複数の作業員が必要になる。しかも、
表面が鏡面状になった定盤上にガラス基板を載置する際
には、ガラス基板と定盤との間に空気が挟まれた状態に
なり、その空気によってガラス基板が定盤上をスライド
し、ガラス基板を定盤上の所定位置に正確に載置されな
いおそれがある。 【０００５】本発明は、このような問題を解決するもの
であり、その目的は、ガラス基板等の平板材を、定盤上
の所定位置に正確に、しかも効率よく載置することがで
きる平板材のローディング装置を提供することにある。 【０００６】 【課題を解決するための手段】本発明は、平板材を定盤
上にローディングするための装置であって、定盤に対し
て上下方向および水平方向に移動し得るように水平に配
置された矩形状の支持体と、支持体における相互に対向
する各側縁部の下方に、支持体の内外方向にそれぞれス
ライド可能に配置されており、平板材を水平状態に支持
し得るように、支持体の内側に向かってそれぞれの先端
が水平に延出した平板状の把持部をそれぞれ有する複数
の把持機構と、からなり、前記把持機構は、平板材が載
置される定盤上を転動可能なローラーおよび該ローラー
を定盤に圧接する圧縮バネを設けていることを特徴とす
るものである。 【０００７】 【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面に基づいて詳細に説明する。 【０００８】図１は、本発明の平板材のローディング装
置の実施の一例を示す正面図、図２はその平面図、図３
は、図１のＡ−Ａ線における断面図である。このローデ
ィング装置は、プラズマディスプレイを構成するガラス
基板を焼成炉内にて焼成する際に、ガラス基板を定盤上
に載置するために使用されるようになっており、水平方
向（Ｘ−Ｙ方向）および上下方向（Ｚ方向）に移動可能
になったロボットアーム６１の先端部に取り付けられて
いる。 【０００９】ロボットアーム６１の先端部には、長方形
の平板状をした支持体１０が水平状態で取り付けられて
いる。従って、支持体１０は、水平方向および上下方向
に移動可能になっている。この支持体１０には、ガラス
基板６３を下側から水平状態で支持する４つの基板把持
機構３０と、各基板把持機構３０によって水平状態で支
持されたガラス基板６３の周縁部を押圧する８つの押圧
機構２０と、定盤６２上に載せられたガラス基板６３
を、定盤６２とともに支持する４つの定盤把持機構４０
とが、それぞれ取り付けられている。 【００１０】各押圧機構２０は、支持体１０における長
手方向に沿って延びる各側縁部、および幅方向に沿って
延びる各側縁部に、各一対ずつそれぞれ配置されてい
る。各定盤把持機構４０は、支持体１０の長手方向に沿
って延びる各側縁部における各コーナー部に近接した位
置にそれぞれ配置されている。各基板把持機構３０は、
支持体１０における相互に対向した長手方向に沿って延
びる各側縁部における各押圧機構２０と各基板把持機構
３０との間にそれぞれ配置されるとともに、幅方向に沿
って延びる各側縁部に、各一対がそれぞれ配置されてい
る。 【００１１】支持体１０における長手方向に沿った各側
縁部には、一対の基板把持機構３０がそれぞれ配置され
ている。図４は、その基板把持機構３０の一部破断側面
図である。基板把持機構３０は、支持体１０の長手方向
に沿って延びる各側縁部上に、その側縁部とは直交状態
で配置されたエアーシリンダ３１を有している。このエ
アーシリンダ３１は、ピストンロッド３１ａの進出方向
が支持体１０の外側になるように配置されている。ピス
トンロッド３１ａの先端部には、垂直状態になったガイ
ド体３２の中程が取り付けられている。ガイド体３２に
おける支持体１０の遠方側の側縁部には、上下方向に延
びるスライダー３３が、ガイド体３２に沿って上下方向
にスライド可能に係合している。 【００１２】スライダー３３は、ガイド体３２よりも、
それぞれ上下方向に長くなっており、その下端部には、
支持体１０の下方に向かって水平に延出する把持部材取
付け台３４が取り付けられている。この把持部材取付け
台３４は、エアーシリンダ３１のピストンロッド３１ａ
が最も退入した状態で、その先端部が支持体１０の下方
に位置するようになっている。把持部材取付け台３４の
中程は、ガイド体３２の下端面に対向した状態になって
おり、把持部材取付け台３４とガイド体３２の下端面と
の間に、圧縮バネ３７が設けられている。把持部材取付
け台３４の先端部の底面には、左右各一対のローラー３
５が、支持体１０の内外方向に適当な間隔をあけた状態
で２組配置されている。各ローラー３５は、圧縮バネ３
７によって、ガラス基板６３が載置される定盤６２上に
圧接されて、その定盤６２上を転動するようになってい
る。 【００１３】把持部材取付け台３４の先端部には、凹部
３４ａが設けられている。この凹部３４ａは、把持部材
取付け台３４の先端面にて開放された状態になってお
り、凹部３４ａ内に、把持部材３６が取り付けられてい
る。この把持部材３６は、把持部材取付け台３４の凹部
３４ａ内に基端部がボルト止めされており、把持部材取
付け台３４の先端面に沿って垂下した状態になった中間
部が基端部に連続して設けられている。そして、その中
間部の下端から前方に薄い平板状の基板把持部３６ａが
水平状態で延出している。基板把持部３６ａの上面は、
ローラー３５の下面よりも若干上方に位置している。 【００１４】各基板把持機構３０は、それぞれのエアー
シリンダ３１によって、把持部材３６が支持体１０の外
側にスライドされた状態で、支持体１０の内側にそれぞ
れスライドされることにより、ガラス基板６３の各側縁
部の下側に入り込んで、ガラス基板６３を水平状態で支
持するようになっている。 【００１５】支持体１０の各側縁部には、各基板把持機
構３０によって支持されたガラス基板６３の上面に圧接
される押圧機構２０が、各一対ずつ、それぞれ設けられ
ている。 【００１６】図５は、押圧機構２０の縦断面図である。
押圧機構２０は、平板状の支持体１０を貫通して垂直に
配置されたスライドロッド２１を有している。このスラ
イドロッド２１は、スラスト軸受け２６によって、支持
体１０に対して上下方向へのスライド可能に支持されて
おり、その下端部には、弾性体２２が取り付けられてい
る。弾性体２２は、スライドロッド２１の下端部を覆っ
た状態になっている。支持体１０の上面には、支持体１
０から上方に延出したスライドロッド２１の上部を覆う
円筒状のカバー２３が取り付けられており、スライドロ
ッド２１の上端部とカバー２３の上端部内面との間に
は、スライドロッド２１を下方に向かって付勢する押圧
バネ２４が設けられている。 【００１７】各押圧機構２０は、各押圧バネ２４によっ
て下方に付勢されたスライドロッド２１の下端部の弾性
体２２が、各基板把持機構３０によって水平状態で支持
されたガラス基板６３の各側縁部に圧接されて、ガラス
基板６３の各側縁部を、それぞれ下方に押圧する。 【００１８】本発明のローディング装置には、ガラス基
板６３が載置された定盤６２を、ガラス基板６３ととも
に支持するための定盤把持機構４０も設けられている。
図６は、支持体１０における相互に対向した長手方向に
沿って延びる各側縁部の各端部近傍に配置された定盤把
持機構４０の平面図、図７は、その側面図である。定盤
把持機構４０は、支持体１０の長手方向に沿って延びる
各側縁部上に、その側縁部とは直交状態で配置されたエ
アーシリンダ４１を有している。このエアーシリンダ４
１は、ピストンロッド４１ａの進出方向が支持体１０の
外側になるように配置されている。ピストンロッド４１
ａの先端部には、断面Ｌ字状になった連結部材４２が取
り付けられている。連結部材４２は垂直部分４２ａがピ
ストンロッド４１ａの先端部に取り付けられており、垂
直部分４２ａの下端部に取り付けられた水平部分４２ｂ
が、支持体１０の外側に延出した状態になっている。そ
して、連結部材４２の水平部分４２ｂに、垂直状態にな
った一対の支持部材４３の上端部が支持されている。各
支持部材４３の下端部には、支持体１０の内側に向かっ
て水平に延出した定盤把持部４４が取り付けられてい
る。 【００１９】このような構成の基板ローディング装置
は、次のように動作する。まず、ロボットアーム６１に
よって、支持体１０が、載置台（図示せず）上の所定位
置に配置されたガラス基板６３上に移動される。この場
合、各定盤把持機構４０は、それぞれのエアーシリンダ
４１のピストンロッド４１ａが外側に進出されて、定盤
把持部４４が、支持体１０の外側にそれぞれスライドし
た状態で、ガラス基板６３の周囲に配置される。ガラス
基板６３上に支持体１０が移動されると、各基板把持機
構３０のエアーシリンダ３１が、それぞれのピストンロ
ッド３１ａが進出するようにそれぞれ駆動されて、各ピ
ストンロッド３１ａに連結された基板把持部３６ａが、
ガラス基板６３の周囲に配置されるようにスライドされ
る。 【００２０】その後、ロボットアーム６１が下降され
て、支持体１０全体が下降される。支持体１０が所定位
置まで下降されると、ロボットアーム６１の下降が停止
されて、支持体１０に支持された各押圧機構２０におけ
る弾性体２２が、ガラス基板６３の各側縁部上に圧接さ
れた状態になる。 【００２１】このような状態になると、各基板把持機構
３０のエアーシリンダ３１が、それぞれのピストンロッ
ド３１ａが退入するように駆動される。これにより、ピ
ストンロッド３１ａに連結された把持部材取付け台３４
の各ローラー３５が、圧縮バネ３７によって載置台に圧
接された状態で、その載置台上を転動して、各把持部材
取付け台３４に取り付けられた基板把持部材３６の基板
把持部３６ａが、ガラス基板６３の対向する各側縁部と
載置台との間に挿入される。 【００２２】その後、ロボットアーム６１が上昇される
ことにより、支持体１０が上昇されると、ガラス基板６
３が、各基板把持部３６ａにて把持された状態で持ち上
げられる。そして、ロボットアーム６１が水平方向に移
動されることにより、各基板把持部３６ａにて把持され
たガラス基板６３が、所定位置に配置された定盤６２上
にまで搬送される。 【００２３】このとき、ガラス基板６３は、各側縁部
が、各押圧機構２０の弾性体２２によって下方に押圧さ
れた状態になっているために、各基板把持機構３０によ
って水平状に支持されたガラス基板６３は、振動するこ
となく安定的に支持されて搬送される。 【００２４】このようにして、支持体１０が定盤６２上
にまで水平方向に移動され、支持体１０が定盤６２に対
して所定の位置に配置されると、ロボットアーム６１に
よる水平方向への移動が停止される。 【００２５】その後、ロボットアーム６１が下降され
て、支持体１０全体が定盤６２に向かって下降される。
そして、支持体１０が所定の高さになると、ロボットア
ーム６２の下降が停止される。 【００２６】このような状態になると、各基板把持機構
３０のエアーシリンダ３１が、それぞれのピストンロッ
ド３１ａが進出するようにそれぞれ駆動されて、各ピス
トンロッド３１ａに連結された基板把持部３６ａが、ガ
ラス基板６３の下面から外方に位置するようにスライド
される。これにより、各基板把持機構３０によるガラス
基板６３の把持状態が解除される。 【００２７】このとき、ガラス基板６３は、８つの押圧
機構２０によって、ガラス基板６３の各側縁部が下方に
押圧された状態なっているために、各基板把持機構３０
によるガラス基板６３の把持が解除されると、ガラス基
板６３は、定盤６２上に押し付けられる。これにより、
ガラス基板６３と鏡面状態になった定盤６２との間の空
気が周囲に押し出され、ガラス基板６３は、定盤６２上
をスライドすることなく、定盤６２上の所定位置に載置
される。 【００２８】定盤６２上にガラス基板６３が載置された
状態になると、各押圧機構２０によってガラス基板６３
が押圧された状態で、定盤把持機構４０における各エア
ーシリンダ４１のピストンロッド４１ａがそれぞれ退入
され、各定盤把持部４４が、支持体１０の内方にスライ
ドされる。これにより、定盤６２の各側縁部におけるコ
ーナー部近傍部分の下方に、各定盤把持部４４がそれぞ
れ位置された状態になる。このような状態で支持体１０
が上昇されると、ガラス基板６３が載置された定盤６２
が、定盤６２上のガラス基板６３が各押圧機構２０によ
って押圧された状態で、各定盤把持部４４にて持ち上げ
られる。そして、支持体１０は、焼成炉における焼成台
上にまで搬送される。 【００２９】焼成台上に支持体１０が移動されると、各
定盤把持機構４０のエアーシリンダ４１が駆動されて、
ピストンロッド４１ａが進出される。これにより、各定
盤把持部４４が、支持体１０の外側に移動し、定盤６３
の下方域から外れた状態になり、各定盤把持部４４によ
る定盤６２の把持状態が解除される。そして、各定盤把
持部４４は、定盤６２とは干渉しない位置にまで退避さ
れる。 【００３０】その後、焼成台が焼成炉内に搬送されて、
焼成台上のガラス基板６３が焼成される。 【００３１】 【発明の効果】以上のように本発明によれば、把持機構
によって平板材を水平状態に支持して定盤上に載置する
ことができる。そして、把持機構のローラーが定盤上に
接地する際、ローラーは圧縮バネによって緩衝されるた
め、定盤を傷つけることがない。また、把持機構を介し
て平板材を定盤上に載置する際、定盤上をローラーが転
動して把持機構が解除されるため、定盤を傷つけること
がない。
ディスプレイに使用されるガラス基板等を、定盤上に載
置して焼成炉にて焼成する際に、定盤にローディングす
るためのように、平板材を定盤上にローディングするた
めの装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】プラズマディスプレイ装置に使用される
ガラス基板は、定盤に載置した状態で焼成炉にて焼成さ
れた後に、定盤からアンローディングされて、所定の加
工工程を経ることにより、プラズマディスプレイ装置と
される。 【０００３】焼成炉にて焼成されるガラス基板を、定盤
上にローディングする作業は、通常、作業員の手作業に
よって実施されている。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うに、ガラス基板を手作業によって定盤上にローディン
グするためには、複数の作業員が必要になる。しかも、
表面が鏡面状になった定盤上にガラス基板を載置する際
には、ガラス基板と定盤との間に空気が挟まれた状態に
なり、その空気によってガラス基板が定盤上をスライド
し、ガラス基板を定盤上の所定位置に正確に載置されな
いおそれがある。 【０００５】本発明は、このような問題を解決するもの
であり、その目的は、ガラス基板等の平板材を、定盤上
の所定位置に正確に、しかも効率よく載置することがで
きる平板材のローディング装置を提供することにある。 【０００６】 【課題を解決するための手段】本発明は、平板材を定盤
上にローディングするための装置であって、定盤に対し
て上下方向および水平方向に移動し得るように水平に配
置された矩形状の支持体と、支持体における相互に対向
する各側縁部の下方に、支持体の内外方向にそれぞれス
ライド可能に配置されており、平板材を水平状態に支持
し得るように、支持体の内側に向かってそれぞれの先端
が水平に延出した平板状の把持部をそれぞれ有する複数
の把持機構と、からなり、前記把持機構は、平板材が載
置される定盤上を転動可能なローラーおよび該ローラー
を定盤に圧接する圧縮バネを設けていることを特徴とす
るものである。 【０００７】 【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面に基づいて詳細に説明する。 【０００８】図１は、本発明の平板材のローディング装
置の実施の一例を示す正面図、図２はその平面図、図３
は、図１のＡ−Ａ線における断面図である。このローデ
ィング装置は、プラズマディスプレイを構成するガラス
基板を焼成炉内にて焼成する際に、ガラス基板を定盤上
に載置するために使用されるようになっており、水平方
向（Ｘ−Ｙ方向）および上下方向（Ｚ方向）に移動可能
になったロボットアーム６１の先端部に取り付けられて
いる。 【０００９】ロボットアーム６１の先端部には、長方形
の平板状をした支持体１０が水平状態で取り付けられて
いる。従って、支持体１０は、水平方向および上下方向
に移動可能になっている。この支持体１０には、ガラス
基板６３を下側から水平状態で支持する４つの基板把持
機構３０と、各基板把持機構３０によって水平状態で支
持されたガラス基板６３の周縁部を押圧する８つの押圧
機構２０と、定盤６２上に載せられたガラス基板６３
を、定盤６２とともに支持する４つの定盤把持機構４０
とが、それぞれ取り付けられている。 【００１０】各押圧機構２０は、支持体１０における長
手方向に沿って延びる各側縁部、および幅方向に沿って
延びる各側縁部に、各一対ずつそれぞれ配置されてい
る。各定盤把持機構４０は、支持体１０の長手方向に沿
って延びる各側縁部における各コーナー部に近接した位
置にそれぞれ配置されている。各基板把持機構３０は、
支持体１０における相互に対向した長手方向に沿って延
びる各側縁部における各押圧機構２０と各基板把持機構
３０との間にそれぞれ配置されるとともに、幅方向に沿
って延びる各側縁部に、各一対がそれぞれ配置されてい
る。 【００１１】支持体１０における長手方向に沿った各側
縁部には、一対の基板把持機構３０がそれぞれ配置され
ている。図４は、その基板把持機構３０の一部破断側面
図である。基板把持機構３０は、支持体１０の長手方向
に沿って延びる各側縁部上に、その側縁部とは直交状態
で配置されたエアーシリンダ３１を有している。このエ
アーシリンダ３１は、ピストンロッド３１ａの進出方向
が支持体１０の外側になるように配置されている。ピス
トンロッド３１ａの先端部には、垂直状態になったガイ
ド体３２の中程が取り付けられている。ガイド体３２に
おける支持体１０の遠方側の側縁部には、上下方向に延
びるスライダー３３が、ガイド体３２に沿って上下方向
にスライド可能に係合している。 【００１２】スライダー３３は、ガイド体３２よりも、
それぞれ上下方向に長くなっており、その下端部には、
支持体１０の下方に向かって水平に延出する把持部材取
付け台３４が取り付けられている。この把持部材取付け
台３４は、エアーシリンダ３１のピストンロッド３１ａ
が最も退入した状態で、その先端部が支持体１０の下方
に位置するようになっている。把持部材取付け台３４の
中程は、ガイド体３２の下端面に対向した状態になって
おり、把持部材取付け台３４とガイド体３２の下端面と
の間に、圧縮バネ３７が設けられている。把持部材取付
け台３４の先端部の底面には、左右各一対のローラー３
５が、支持体１０の内外方向に適当な間隔をあけた状態
で２組配置されている。各ローラー３５は、圧縮バネ３
７によって、ガラス基板６３が載置される定盤６２上に
圧接されて、その定盤６２上を転動するようになってい
る。 【００１３】把持部材取付け台３４の先端部には、凹部
３４ａが設けられている。この凹部３４ａは、把持部材
取付け台３４の先端面にて開放された状態になってお
り、凹部３４ａ内に、把持部材３６が取り付けられてい
る。この把持部材３６は、把持部材取付け台３４の凹部
３４ａ内に基端部がボルト止めされており、把持部材取
付け台３４の先端面に沿って垂下した状態になった中間
部が基端部に連続して設けられている。そして、その中
間部の下端から前方に薄い平板状の基板把持部３６ａが
水平状態で延出している。基板把持部３６ａの上面は、
ローラー３５の下面よりも若干上方に位置している。 【００１４】各基板把持機構３０は、それぞれのエアー
シリンダ３１によって、把持部材３６が支持体１０の外
側にスライドされた状態で、支持体１０の内側にそれぞ
れスライドされることにより、ガラス基板６３の各側縁
部の下側に入り込んで、ガラス基板６３を水平状態で支
持するようになっている。 【００１５】支持体１０の各側縁部には、各基板把持機
構３０によって支持されたガラス基板６３の上面に圧接
される押圧機構２０が、各一対ずつ、それぞれ設けられ
ている。 【００１６】図５は、押圧機構２０の縦断面図である。
押圧機構２０は、平板状の支持体１０を貫通して垂直に
配置されたスライドロッド２１を有している。このスラ
イドロッド２１は、スラスト軸受け２６によって、支持
体１０に対して上下方向へのスライド可能に支持されて
おり、その下端部には、弾性体２２が取り付けられてい
る。弾性体２２は、スライドロッド２１の下端部を覆っ
た状態になっている。支持体１０の上面には、支持体１
０から上方に延出したスライドロッド２１の上部を覆う
円筒状のカバー２３が取り付けられており、スライドロ
ッド２１の上端部とカバー２３の上端部内面との間に
は、スライドロッド２１を下方に向かって付勢する押圧
バネ２４が設けられている。 【００１７】各押圧機構２０は、各押圧バネ２４によっ
て下方に付勢されたスライドロッド２１の下端部の弾性
体２２が、各基板把持機構３０によって水平状態で支持
されたガラス基板６３の各側縁部に圧接されて、ガラス
基板６３の各側縁部を、それぞれ下方に押圧する。 【００１８】本発明のローディング装置には、ガラス基
板６３が載置された定盤６２を、ガラス基板６３ととも
に支持するための定盤把持機構４０も設けられている。
図６は、支持体１０における相互に対向した長手方向に
沿って延びる各側縁部の各端部近傍に配置された定盤把
持機構４０の平面図、図７は、その側面図である。定盤
把持機構４０は、支持体１０の長手方向に沿って延びる
各側縁部上に、その側縁部とは直交状態で配置されたエ
アーシリンダ４１を有している。このエアーシリンダ４
１は、ピストンロッド４１ａの進出方向が支持体１０の
外側になるように配置されている。ピストンロッド４１
ａの先端部には、断面Ｌ字状になった連結部材４２が取
り付けられている。連結部材４２は垂直部分４２ａがピ
ストンロッド４１ａの先端部に取り付けられており、垂
直部分４２ａの下端部に取り付けられた水平部分４２ｂ
が、支持体１０の外側に延出した状態になっている。そ
して、連結部材４２の水平部分４２ｂに、垂直状態にな
った一対の支持部材４３の上端部が支持されている。各
支持部材４３の下端部には、支持体１０の内側に向かっ
て水平に延出した定盤把持部４４が取り付けられてい
る。 【００１９】このような構成の基板ローディング装置
は、次のように動作する。まず、ロボットアーム６１に
よって、支持体１０が、載置台（図示せず）上の所定位
置に配置されたガラス基板６３上に移動される。この場
合、各定盤把持機構４０は、それぞれのエアーシリンダ
４１のピストンロッド４１ａが外側に進出されて、定盤
把持部４４が、支持体１０の外側にそれぞれスライドし
た状態で、ガラス基板６３の周囲に配置される。ガラス
基板６３上に支持体１０が移動されると、各基板把持機
構３０のエアーシリンダ３１が、それぞれのピストンロ
ッド３１ａが進出するようにそれぞれ駆動されて、各ピ
ストンロッド３１ａに連結された基板把持部３６ａが、
ガラス基板６３の周囲に配置されるようにスライドされ
る。 【００２０】その後、ロボットアーム６１が下降され
て、支持体１０全体が下降される。支持体１０が所定位
置まで下降されると、ロボットアーム６１の下降が停止
されて、支持体１０に支持された各押圧機構２０におけ
る弾性体２２が、ガラス基板６３の各側縁部上に圧接さ
れた状態になる。 【００２１】このような状態になると、各基板把持機構
３０のエアーシリンダ３１が、それぞれのピストンロッ
ド３１ａが退入するように駆動される。これにより、ピ
ストンロッド３１ａに連結された把持部材取付け台３４
の各ローラー３５が、圧縮バネ３７によって載置台に圧
接された状態で、その載置台上を転動して、各把持部材
取付け台３４に取り付けられた基板把持部材３６の基板
把持部３６ａが、ガラス基板６３の対向する各側縁部と
載置台との間に挿入される。 【００２２】その後、ロボットアーム６１が上昇される
ことにより、支持体１０が上昇されると、ガラス基板６
３が、各基板把持部３６ａにて把持された状態で持ち上
げられる。そして、ロボットアーム６１が水平方向に移
動されることにより、各基板把持部３６ａにて把持され
たガラス基板６３が、所定位置に配置された定盤６２上
にまで搬送される。 【００２３】このとき、ガラス基板６３は、各側縁部
が、各押圧機構２０の弾性体２２によって下方に押圧さ
れた状態になっているために、各基板把持機構３０によ
って水平状に支持されたガラス基板６３は、振動するこ
となく安定的に支持されて搬送される。 【００２４】このようにして、支持体１０が定盤６２上
にまで水平方向に移動され、支持体１０が定盤６２に対
して所定の位置に配置されると、ロボットアーム６１に
よる水平方向への移動が停止される。 【００２５】その後、ロボットアーム６１が下降され
て、支持体１０全体が定盤６２に向かって下降される。
そして、支持体１０が所定の高さになると、ロボットア
ーム６２の下降が停止される。 【００２６】このような状態になると、各基板把持機構
３０のエアーシリンダ３１が、それぞれのピストンロッ
ド３１ａが進出するようにそれぞれ駆動されて、各ピス
トンロッド３１ａに連結された基板把持部３６ａが、ガ
ラス基板６３の下面から外方に位置するようにスライド
される。これにより、各基板把持機構３０によるガラス
基板６３の把持状態が解除される。 【００２７】このとき、ガラス基板６３は、８つの押圧
機構２０によって、ガラス基板６３の各側縁部が下方に
押圧された状態なっているために、各基板把持機構３０
によるガラス基板６３の把持が解除されると、ガラス基
板６３は、定盤６２上に押し付けられる。これにより、
ガラス基板６３と鏡面状態になった定盤６２との間の空
気が周囲に押し出され、ガラス基板６３は、定盤６２上
をスライドすることなく、定盤６２上の所定位置に載置
される。 【００２８】定盤６２上にガラス基板６３が載置された
状態になると、各押圧機構２０によってガラス基板６３
が押圧された状態で、定盤把持機構４０における各エア
ーシリンダ４１のピストンロッド４１ａがそれぞれ退入
され、各定盤把持部４４が、支持体１０の内方にスライ
ドされる。これにより、定盤６２の各側縁部におけるコ
ーナー部近傍部分の下方に、各定盤把持部４４がそれぞ
れ位置された状態になる。このような状態で支持体１０
が上昇されると、ガラス基板６３が載置された定盤６２
が、定盤６２上のガラス基板６３が各押圧機構２０によ
って押圧された状態で、各定盤把持部４４にて持ち上げ
られる。そして、支持体１０は、焼成炉における焼成台
上にまで搬送される。 【００２９】焼成台上に支持体１０が移動されると、各
定盤把持機構４０のエアーシリンダ４１が駆動されて、
ピストンロッド４１ａが進出される。これにより、各定
盤把持部４４が、支持体１０の外側に移動し、定盤６３
の下方域から外れた状態になり、各定盤把持部４４によ
る定盤６２の把持状態が解除される。そして、各定盤把
持部４４は、定盤６２とは干渉しない位置にまで退避さ
れる。 【００３０】その後、焼成台が焼成炉内に搬送されて、
焼成台上のガラス基板６３が焼成される。 【００３１】 【発明の効果】以上のように本発明によれば、把持機構
によって平板材を水平状態に支持して定盤上に載置する
ことができる。そして、把持機構のローラーが定盤上に
接地する際、ローラーは圧縮バネによって緩衝されるた
め、定盤を傷つけることがない。また、把持機構を介し
て平板材を定盤上に載置する際、定盤上をローラーが転
動して把持機構が解除されるため、定盤を傷つけること
がない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の平板材のローディング装置の実施の形
態の一例であるガラス基板のローディング材を示す概略
正面図である。 【図２】その正面図である。 【図３】図１のＡ−Ａ線における断面図である。 【図４】本発明のローディング装置に設けられた基板把
持機構の一部を破断して示す側面図である。 【図５】本発明の平板材のローディング装置に使用され
る押圧機構の正面図である。 【図６】そのローディング装置に設けられた定盤把持機
構の平面図である。 【図７】その定盤把持機構の一部破断側面図である。 【符号の説明】 １０ 支持体 ２０ 押圧機構 ２１ スライドロッド ２２ 弾性体 ２３ カバー ２４ 押圧バネ ２６ スラスト軸受け ３０ 基板把持機構 ３１ エアーシリンダ ３２ ガイド体 ３３ スライダー ３４ 把持部材取付け台 ３５ ローラー ３６ 基板把持部材 ４０ 定盤把持機構 ４１ エアーシリンダ ４４ 定盤把持部 ６１ ロボットアーム ６２ 定盤 ６３ ガラス基板
態の一例であるガラス基板のローディング材を示す概略
正面図である。 【図２】その正面図である。 【図３】図１のＡ−Ａ線における断面図である。 【図４】本発明のローディング装置に設けられた基板把
持機構の一部を破断して示す側面図である。 【図５】本発明の平板材のローディング装置に使用され
る押圧機構の正面図である。 【図６】そのローディング装置に設けられた定盤把持機
構の平面図である。 【図７】その定盤把持機構の一部破断側面図である。 【符号の説明】 １０ 支持体 ２０ 押圧機構 ２１ スライドロッド ２２ 弾性体 ２３ カバー ２４ 押圧バネ ２６ スラスト軸受け ３０ 基板把持機構 ３１ エアーシリンダ ３２ ガイド体 ３３ スライダー ３４ 把持部材取付け台 ３５ ローラー ３６ 基板把持部材 ４０ 定盤把持機構 ４１ エアーシリンダ ４４ 定盤把持部 ６１ ロボットアーム ６２ 定盤 ６３ ガラス基板
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B25J 15/08
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 平板材を定盤上にローディングするため
の装置であって、定盤に対して上下方向および水平方向
に移動し得るように水平に配置された矩形状の支持体
と、支持体における相互に対向する各側縁部の下方に、
支持体の内外方向にそれぞれスライド可能に配置されて
おり、平板材を水平状態に支持し得るように、支持体の
内側に向かってそれぞれの先端が水平に延出した平板状
の把持部をそれぞれ有する複数の把持機構と、からな
り、前記把持機構は、平板材が載置される定盤上を転動
可能なローラーおよび該ローラーを定盤に圧接する圧縮
バネを設けていることを特徴とする平板材のローディン
グ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34205596A JP3434154B2 (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | 平板材のローディング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34205596A JP3434154B2 (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | 平板材のローディング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10180671A JPH10180671A (ja) | 1998-07-07 |
| JP3434154B2 true JP3434154B2 (ja) | 2003-08-04 |
Family
ID=18350811
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34205596A Expired - Fee Related JP3434154B2 (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | 平板材のローディング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3434154B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102006032185B4 (de) * | 2006-07-12 | 2010-06-10 | Schott Ag | Haltesystem zum Fixieren eines Substrates |
-
1996
- 1996-12-20 JP JP34205596A patent/JP3434154B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10180671A (ja) | 1998-07-07 |
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Legal Events
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