JP3431923B2 - 軸方向に柔軟性のあるケース端部を有するコリオリ流量計 - Google Patents
軸方向に柔軟性のあるケース端部を有するコリオリ流量計Info
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Description
に柔軟性のある端部を有するケースを有するコリオリ流
量計である。
は1本の直線状の流管と、この流管を取り囲む円筒状の
バランス管と、流管とバランス管との両方を収容する、
より大きい円筒形のケースとからなる。このような流量
計が米国特許第5398554号に開示されている。バランス
管の各端部は支え棒によって流管に固定されている。流
管は厚い端板を含むケースの端部に取付けられている。
流管はケースの端部から突出して配管に連結されてい
る。流量計のケースの主目的はケース内に収容された流
量計の部品を物理的に保護することである。これらの部
品は駆動装置、センサー、付随する電子回路部品のよう
な敏感な要素を含むことがある。これらの部品は流量計
が動作する環境から物理的に保護されるのが望ましい。
この保護はケースによりなされるが、このケースは十分
な厚さを有する強度の高い金属で形成されるのがよい。
振動を減少させるように設けられたバランス管に対して
位相がずれるように電気力学的に振動する。この振動は
流管を通って流れる物質にコリオリ加速度を与える。こ
のコリオリ加速度に対する反力は流管の振動モードの形
のわずかな歪みを生ぜしめる。この歪みは有用であり、
流管に接続され、あるいは取付けられたセンサーによっ
て測定される。センサーは速度型、変位型のいずれでも
よい。流管内の物質流量は直線状の流管の長さ方向に配
置された2つのこのようなセンサーによって生ずる信号
の間の時間ないし位相の遅延に比例する。センサーの出
力信号は流管内の物質の質量流量のような所望の情報を
生ぜしめる電子的装置に与えられる。
第1の流管に平行な第2の流管を有することのほかは1
本の直管型の流量計と同様である。第2の流管は1本の
流管の型の実施例のバランス管に代わるものである。2
本の流管の端部はそれらの間で物質の流れを分配する流
れ分配マニホルドに接続されている。2本流管型の流量
計は流管を相互に接続するための支え棒を有していても
よく、有していなくてもよい。2本流管型のコリオリ質
量流量計はバランス棒に対してではなく、むしろ相互に
対して位相がずれるように振動する。これ以外はその動
作は1本流管型のコリオリ流量計と同様である。
測定値は物質の流れによって生ずるコリオリ力により生
ずる捩れあるいは撓みと、それとともに流管に加えられ
る電気力学的振動とに依存する。コリオリ質量流量計は
約0.1%の読取り精度を有するのが望ましいことが多
く、それゆえ流管の捩れは、流量計の種々の部分の間の
動作温度の差によって生ずるのを含む外部からの力や応
力による作用を受けるのではなく、ただ生ずるコリオリ
力にのみ依存することが必要である。これらの熱応力は
流管に望ましくない軸方向の張力あるいは圧縮力を生ぜ
しめることがある。
応答を少なくする傾向にある。これにより感度の低い流
量計となり、またコリオリ力によって生ずる流管の正し
い情報について過小の報知となる。同様に軸方向の圧縮
力は流管を軟化させ、生ずるコリオリ力による流れの情
報について過大の報知となる。従来直管型コリオリ流量
計の製造ではケースの端部が極端に硬くになって、接続
された配管からの外側からかかる荷重によって生ずる力
が硬いケース端部によって流管ではなく、むしろケース
に伝えられる。これで流管を外側からの荷重から分離で
きるようになるが、ケースもケース端部も硬いので流管
の熱膨張・熱収縮、流管と流量計のケースとの間の温度
差による問題が生ずる。
計ケース外の空気との間にありがちな温度差で流管がケ
ースとは異なる温度を有することがある。これによりケ
ースと比較して流管の熱膨張の量が異なることになる。
硬いケース端部によりこの膨張の差が禁止され、流管を
軸方向に圧縮して(または引張って)流管に高い軸方向
の応力を生ぜしめ表示される流量の誤差となるような軸
方向の力が生ずる。
いは軸方向引張り型のいずれの流管にも軸方向の応力が
生ずる。この応力は流量の精度に影響することのほかに
流管を形成する材料の降伏応力を超えることがある。軸
方向の引張り応力は流管端部をケース端部から裂き離し
たり、あるいは流管自体を裂開させることがある。この
応力はまた流管を永久的に変形させてその較正ファクタ
ーを永久的に変化させ使用不能にすることがある。例え
ばステンレス鋼の流管が20インチ(50.8cm)の長さでケ
ースより200゜F(93.3℃)だけ温度が高い場合、流管は
ケースより0.36インチ(0.91cm)だけ膨張しようとする
であろう。ケースとケース端部が比較的硬ければ、流管
に約50000ポンド/平方インチ(7.25N/平方メートル)
の圧縮応力が生ずるであろう。この応力は流管を永久的
に降伏させ、あるいは変形させるのに十分な高さであ
る。流管がケースより低温であるときに圧縮応力でなく
引張り応力であること以外は同様の状況になる。
が用いられている。最も一般的なのはケースが形成され
ている材料より熱膨張率が低い材料で流管を形成するこ
とである。典型的にはチタンが膨張率が低く耐腐蝕性が
良好であるので流管として用いられる。その際ケースに
はチタンのほぼ2倍の熱膨張率を有するステンレス鋼が
用いられる。ケースの温度は(この例で)より温度の高
い流管からの熱の流入とより温度の低い大気への熱損失
とによって決定される。流管からケースへの伝導経路を
適切に設定することにより、ケースの平衡状態の温度が
流れる物質の温度とケースの周囲の空気温度との中間の
温度になるように流量計が設定される。これにより、ケ
ースの膨張率は流管の膨張率の2倍なので、流体の温度
に依存する流管の軸方向応力が生ずる。さらにチタンの
方が膨張率が低く弾性係数が小さいので、熱応力で流量
計に損傷を与える可能性が非常に少なくなる。
なのは熱的平衡状態においてのみ動作することである。
流管内の物質の温度が急に変化すると、流管の温度はほ
ぼ直ぐに変化するが、ケースの温度が変化に追随するに
は時間がかかる。この遷移期間に流管が軸方向に応力を
受けて測定誤差が生ずる。
いるときの他の問題は流体がどのような温度であっても
流管はただ1つの周囲温度でだけ応力がなくなるという
ことである。これはケースの平衡状態の温度が流管の温
度と周囲温度との中間になるからである。各々の流体温
度について応力のない流管となるようなケースの温度は
1つだけなので、応力のない流管となるような周囲温度
は1つだけである。これは流体の温度と周囲温度(流管
とケースを含めて)が同じである単純な場合で容易に例
示される。流管とケースが70゜で流管応力がなければ、
流管とケースが100゜であるときに鋼製のケースがチタ
ンの流管より膨張しようとするので、流管は張力を受け
る。他方で流管とケースが40゜であれば、ケースが流管
より収縮して流管が圧縮力を受ける。
問題は製造経費である。チタンは高価であり工作し難
い。従来の工程ではステンレス鋼に溶接されず、ただ困
難ではあるがステンレス鋼のケースにはんだ付けされる
にすぎない。
れている方法、具体化は流管に幾何学的な歪み除去部を
形成することである。曲管型の流量計はこのカテゴリー
に入る。これはU型、V型、直管でない不規則形状を有
する他の全ての流管を含む。直管型の流量計では歪み除
去部は従来ケースとケース端部近くの添え棒部材との間
に配置されている。この位置において流管は力学的に動
作せず、かくして歪み除去部の性質は流管の振動部分の
力学的状況に影響しない。用いられている種々の歪み除
去部にはOリング、滑り継手、金属ベローズや、またダ
イアフラムとして作用する流管径の縮小部がある。これ
らの歪み除去の方法は意図された機能を達成するのに十
分に作用するが、それらの独自の問題を有する。
掃できないことである。これは清掃可能性が購買者が直
管型流量計を選択する際に与える最も普通な理由の1つ
であるという点で重大な問題である。歪み除去のために
流管の端部近くに流管径の縮小部を用いる流量計は流体
の圧力低下が大きくなるという欠点を有することが多
い。他の形状状態ののものもあるが、全て清掃可能性、
圧力低下、あるいは排出性等の欠点を有している。
撓生のある構造を用いてこの問題を解決する試みがなさ
れている。これは熱応力に応じて流管がより容易に膨脹
・収縮できるようにするためになされる。欧州特許公開
第075942号および仏国特許公開第2598801号では柔軟性
のある部材として板ばねを用いている。欧州特許公開第
0448913号および欧州特許公開第0261435号ではこの目的
で膜を用いている。しかしながらこの技術に示される構
造は完成されていて、流管の限られた軸方向の動きが可
能になるにすぎない。
応力的関係に関するものである。流管にバランス管が取
付けられた1本の流管の型の流量計において、バランス
管と流管との関係は、温度差と熱応力に関する限りケー
スと流管との関係と同じである。バランス管は通常はそ
れの端部で流管に固着されている。かくして流管とバラ
ンス管との間の膨張の問題は流管とケースとの間の前述
した問題と同じである。
膨張・収縮の問題を最小にするための種々の手法がある
が、欠点のないものがないこともわかるであろう。特に
熱遷移と変化する周囲温度との問題は未解決である。
びバランス棒端部として作用する軸方向に柔軟性のある
膜に連結されているケースを有する流量計を提供する技
術的進歩を与えるものである。ケース端部とバランス棒
端部、またはそのいずれかのをなす膜(以下、膜とい
う)の軸方向の柔軟性により流管がそれに加わる軸方向
の応力を減少させてケースおよびバランス棒の端部に対
して収縮・膨張できる。これにより流管、ケース、バラ
ンス棒が同じ材料で形成されるようになる。本発明はま
たケースおよびバランス棒の温度測定の必要性と、また
清掃性と力学的問題が生じ得る流管の一部をなすベロー
ズ等の柔軟性のある部材の必要性とをなくす。
シート状材料からなるのがよい。膜は流管の縦方向の軸
に垂直の向きになっている。膜の周縁はケースに連結さ
れ、膜の中心部は外部の配管と連結するように貫通する
流管に取付けられている。膜はその半径方向および横方
向の寸法に対して比較的薄いので、中心部分は容易に軸
方向に移動し得る。厚さの寸法に対する半径方向ないし
横方向の寸法の比は少なくとも16:1である。流管は膜の
中心部分に連結されているので、流管はケースに対して
軸方向に容易に移動し得る。半径方向の流管の移動は膜
で制限される。
端に設けてもよい。一端に1つだけの膜を用いると連結
された配管の屈曲運動あるいは枢動が流量計ケース内で
流管に伝えられるようになるであろう。これは流量計に
損傷を与えたり、あるいはその精度に影響を及ぼすこと
になろう。それゆえケースの一端に2重の膜を用いるの
が好ましい。2つの膜を用いると、その半径方向の硬さ
ととその間での物理的間隔のために流管が曲げモーメン
トに抗し、外部からの曲げ荷重が流管に伝えられるのを
防止して熱膨張によりケースと流管との間での軸方向の
移動が出来るようになる。
バランス管の各端部を流管に連結する。バランス管の膜
はその各端部において相互に適当な間隔をおいて分離さ
れた板のような1枚または2枚のダイアフラムからなる
ものでもよい。ケース端部の膜と同様に、バランス管を
通って曲げモーメントが伝わるのを防止するためにバラ
ンス管に2重の膜を用いるのがよい。しかしながらバラ
ンス棒の場合、問題となる曲げモーメントは流管の振動
によって生ずる。流管のいかなる曲げモーメントもバラ
ンス管を超えないようにすると、流量計を不正確にし流
管を振動させるのに必要な動力を増大させることになる
流量計全体の振動が防止される。バランス管の2重の膜
はケース端部の膜と同様にして流管とバランス管との間
の膨張の差を可能にする。
管端部の膜を用いると流管の合成応力が比較的小さくな
るようにして流量計の種々の部分の間の異なる熱膨張が
可能になる。しかしながら柔軟性のある膜は実際に配管
によって加えられる軸方向の荷重を流管に受けさせる。
良好な配管結合を実施するとこれらの外部荷重を流量計
の性能にそれほど影響を与えない程度に減少させられ
る。非常に高い精度を必要とする用途の場合、配管によ
って加えられる軸方向の荷重を測定するためにストレー
ンゲージ等の荷重あるいは変位の測定装置を用いること
ができる。歪みあるいは荷重の測定は軸方向の荷重によ
って生ずる流量計のいかなる変化をも補償するたために
用いられる。ストレーンゲージは流管、流量計に近接す
る配管、あるいは軸方向の荷重に感応するいかなる場所
にも配置される。
の詳細な説明を参照することによってよりよく理解され
よう。
量計を示す図である。
である。
る。
ずる曲げトルクとそれによる流管の撓みを示す図であ
る。
曲げトルクと抗力とを示す図である。
の撓みを示す図である。図8は図4の実施例の流管の膨
張の差から生ずるケース末端部材の撓みを示す図であ
る。
域より高い温度になるダイアフラム状の末端部材の2つ
の可能な撓みを示す図である。
生ずる変位とともに図2のの流量計のケース末端部材と
して考えられる実施例を示す図である。
する、図10のケース端部によって構成された流量計ケー
スを示す図である。
によって配管に連結されるようにするフランジ103を各
端部に有する従来の典型的な直管型コリオリ流量計100
を示している。流量計100は部材111によってフランジ10
3に連結されたケース端側部材109と壁部101とを有する
ケース102内に収容された1本の流管104を有する。流管
104はこれに連結されたバランス端側部材108を有するバ
ランス管116と、ケース端側部材109に近接する部材113
とによって収容されている。流管104は流入口105および
流出口106を有する。
合せ管116の壁部117と流管104の壁部110との間の空間11
5に配置されている。従来周知のように、磁石とコイル
との組合せからなる駆動部Dは流管の壁部110を縦方向
の軸に対して横方向に振動させるように電気回路(図示
せず)によって作動する。センサーS1およびS2はこれら
の振動と、また流管104を通る物質の流れとこれに伴う
横方向の振動と生ずるコリオリ力で生ずる管の変形とを
検出する。振動によってセンサーS1およびS2により生ず
る出力信号は、センサーS1およびS2の出力信号の位相な
いし時間の差を決定し、この情報から質量流量を含む流
れる物質に関する情報を導き出す。
管が受ける発生したコリオリ力に応じた流管104の撓み
に依存する。所望の0.1%の読取り精度を得るために、
流管の捩れは、流量計の種々の部分の動作温度の差から
生ずる軸方向の応力を含む他の要因の影響を受けるので
なく、ただ発生したコリオリ力にだけ依存することが必
要である。図1の流量計に関して、ケース端部109を外
側からの力が流管104に影響しない程度に極端に硬くす
るのが通常の実施形態である。この手法は流管104を外
側からの力から分離できるけれども、ケース端部の硬い
ことによりケース壁部101およびケース壁部109を含むケ
ース102と流管104との間の動作温度の差に関する問題が
生ずる。この温度差で流管104における高い軸方向の応
力が生じ得る。流管104内の物質がケースの温度より十
分に高い温度であれば、流管は硬いケース端部109を含
むケース102より膨張しようとする。硬いケース端部に
より流管104が膨張しようとするのが禁止され、流管104
を圧縮する軸方向の力が生ずる。この温度差で流管104
が図7に示されるように撓むことがある。これにより流
管104が永久的に変形してコリオリ力の検出精度を損ず
ることがある。図7において、流管104の壁部110は図1
の流管壁部110の通常の捩れていない状態を示してい
る。点線は110aは外側壁部101およびケース端部109を含
むケース102の温度よりかなり高い温度の流管104から生
ずる流管壁部110の撓み変形した状態を示している。ケ
ース端部109の厚さは流管壁部110が軸方向に膨張しよう
とするのに抗し、その際に壁部110が点線110aで示され
る撓み変形した位置となる。
ケースが流管より膨張しようとする。その際にケースが
膨張することにより流管を軸方向に引き述ばして流管を
硬くしようとする。この温度差が十分であれば、軸方向
の張力で流管104がケース109から引き裂かれ流量計が使
用できなきなることがある。前述のことから、流管の熱
膨張や圧縮に耐えるように大きいケース端部を含む大き
いケースの材料を用いようとする従来技術は十分なもの
ではなく、温度差が極端なある場合には流管自体の破
損、あるいは流管に取付けられたセンサーによって生ず
る入力情報の精度の永久的な損失となり得る。
2内に配置された1本だけの流管104を有する流量計200
からなり、ケース102はフランジ208により配管211およ
び212に連結されたフランジ103に部材207によって各ケ
ース端部において連結されたケース端部膜202および209
と壁部101とを有するものである。流管104は図1の流管
104と同様な壁部110を有し、壁部110は壁部107を有する
円筒形のバランス棒116に取り囲まれている。バランス
棒の壁部の各端部は1対の膜108および218によって流管
104の壁部110に取付けられている。駆動部D1とセンサー
S1およびS2はバランス棒116の壁部107と流管104の壁部1
10との間の空間115に配置されている。
例のものがケース102の各端部にケース102を流管104に
連結する1対の膜202および209を有することである。膜
202および209は図1の1つだけの硬いケース端部109に
比べて比較的薄く軸方向に柔軟性がある。熱的変化によ
る流管104の長さの変化のため柔軟性のある膜209および
202が撓んで流管104にかかる軸方向の応力を最小にす
る。
る。この軸方向の変化流管の部材207により配管211およ
び212に連結されたフランジ103および208に伝えられ
る。配管211および212は部材308および307によって支持
され、流管104の長さの変化に応じて撓む図3のエルボ
ー部材313および314を設けてもよい。エルボー313およ
び314はこの流管104の長さの変化を吸収し、それが部材
305および300を介して配管216および217に伝わるのを防
止する。フランジ304、303は図2のフランジ208、103に
対比される。エルボー313および314はまた配管の長さの
変化が図3のケース101内の流管104に軸方向の応力を加
えるのを防止する。
内に収容された2重の直管型流量計400からなるもので
ある。図4のケース102は、円筒形の壁部101、ケース10
2の右側端部における1対の膜209、202、ケース102の左
側端部における厚く硬いケース端部109、硬い左側のケ
ース端部と右側のケース端部における膜209および292を
通り抜ける分岐管406からフランジ103に延びる部材407
を有する点で図2のケース102と同様である。
とこれを取り囲むバランス管116でなく1対の流管404お
よび405を有する点で図2のものと異なっている。駆動
部Dをなす磁石とコイルとの組合せが駆動部Dに供給信
号に応答して流管404および405を相互に位相がずれるよ
うに振動させる。センサーS1およびS2は2本の流管の変
位とコリオリ加速度を検出する。
ている。動作時に流管の左側部分407に流入する流体物
質が分岐管406にあたって流体物質が流管404と405との
間で分割される。物質が流管405および404の右側端部に
近づくと、物質は406において一体化し全体の流れがフ
ランジ103に連結された右側の流管部材407に入る。
成されているので、熱的変化に応じて相互に軸方向に一
様に膨脹し、収縮する。流管の軸方向の膨脹・収縮は左
側端部の部材109の抵抗を受けるが、柔軟性のある部材2
09および202に伝わる。これにより流管にそれほど応力
を加えずに流管404および405の長さの変化を適合させら
れる。膜209および202は柔軟性があるので、図8に示さ
れるように流管が膨張すると外方に屈撓する。流管404
および405が温度の低下により収縮すると部材202および
209はまたその柔軟性によって内方に屈撓できる。
るが、その理由は図5および図6を参照して最もよく説
明される。図5は1枚だけの膜209を有するケース102を
示している。図6はケース102の左側端部において1対
の膜209および202を有している。図6の二重の端側の膜
は流管104が配管にかかる外側の曲げ荷重によって生ず
る曲げモーメントから保護する。このような荷重は配管
の振動や配管支持部の不整合により通常生じ得るもので
ある。図5において、力Fが管部材207にかかると1枚
だけの膜209が膜209の面がなす平面を中心とする流管10
4の枢動に応じて上側部分で外方に、下側部分で内方に
屈撓することがわかる。外側からの力による流管104の
この変位は、流管104を永久的に変形させ、流管104内の
物質の流量を決定するために用いられるコリオリ力への
応答を変化させることがあるので、望ましくない。
からの力から保護するためのケース102の左側端部にお
ける1対のケース部材202および209を有している。対を
なす膜202および209は流管104が図5における流管104の
ように膜を中心として枢動しないようにするのに十分な
距離だけ相互に間隔をおいている。膜202および209は軸
方向に柔軟性があるが、流管104が図6で下方あるいは
上方に移動しないようにするのに十分な平面横方向の強
度を有する。この動きを防止するのは、流管104に膜と
の接合部において曲げモーメントに抗するだけの十分な
力を加えることによってなされる。
5の軸方向の膨張の結果として外方に撓んだ状態で示さ
れている右側ケース端部の膜209および202を除いて、図
4同様である。図8はさらに回路結線802、803および80
4を介して制御回路801に接続されたセンサーS1およびS2
と駆動部Dを示している。制御801は駆動部Dが流管404
および405を相互に位相をずらして振動させるように信
号を結線804を介して供給する。制御回路は流管404およ
び405を通る物質の流れから生ずるコリオリ振動によ
り、また駆動部Dによって生による振動で生起する流管
404および405の振動を表すセンサーS1およびS2の出力信
号を結線802および803を介して受け取る。
たストレーンゲージ806を示している。制御回路801は流
管の部材809が受ける軸方向の応力を示す信号を結線805
を介して受け取る。ストレーンゲージ806はそれが受け
る軸方向の応力によって抵抗が変化する素子である。ス
トレーンゲージ806は流管809に固着されている。ストレ
ーンゲージ806によって与えられる応力の情報は非常に
高い精度の出力情報を必要とする流量計用の制御回路80
1によって用いられる。
センサー808が示されている。温度センサー808は結線に
よって制御回路801に接続され、流管404の温度に関する
情報を制御回路801に伝える。制御回路801はセンサー80
8から温度情報を、素子806からストレーンゲージ情報を
受け取り、体積流量および質量流量を含む流量計によっ
て生ずる出力情報の精度を補正するためにこの情報を用
いる。流管の温度により流管の硬さを決定することにな
る弾性係数が変化する。より硬い流管は硬くない流管よ
り撓みにくいので、流管の硬さによりまた流量計の感度
が変化することになる。ストレーンゲージ情報はまた制
御回路801により流量計の出力情報の精度を補正し改善
するために用いられる。ストレーンゲージ情報は流管が
張力を受ける程度を示す。流管にかかる張力が大きいほ
ど、それだけ硬くなり感度が低下する。逆に張力が小さ
いほど、撓みやすく感度が高くなる。
よって得られる精度よりも流量計によって出力される情
報の精度を高めるため従来知られている手法で温度ゲー
ジ808およびストレーンゲージ806によって与えられる情
報を用いる。
のあるケース102の1枚だけの膜209を表している。流管
によって力が加えられないときの温度勾配に応じた振舞
いを示すために中心部分を通る流管がない状態で示され
ている。流管の壁部101の近くの周縁部分より中心部分9
04での比較的高い温度のために生ずる膜の応力により膜
は図9に点線901および902で示されるように内方か外方
のいずれかに屈撓する。これと対照的に、膜209の中心
部分904が周縁部分より温度が低ければ、膜は平坦なま
まであり、ドラムヘッドのように張られている。温度勾
配でのこの非線形的な振舞いのために、熱膨張による流
管端部の変位が温度勾配による膜の好ましい変位に一致
しない場合に、小さいけれども予測できない流管の応力
が生じ得る。例えば流管がケースより温度が低いとき
に、流管が収縮し、また膜は平坦なままでいようとす
る。このため流管にわずかな応力が生じて、測定される
流量における小さい誤差を伴うことになる。
の非線形な振舞いの問題の解決策を示している。図10の
この実施例は流管104の壁部110に連結されたあらかじめ
屈撓している膜1002とともに周囲のケース102およびケ
ース端部101を有する流管104からなる。温度勾配のない
膜の通常の位置はケース102に対して外方に永久的に屈
撓した状態で実線1002によって表されている。この外方
に屈撓した形状により図9の実施例の予測できない非線
形的振舞いがなくなる。正の温度勾配(流管がケースよ
り温度が高い)により1002hで示されるように中心部分
がより外方に屈撓し、また負の温度勾配により屈撓の量
が1002cの位置まで小さくなる。与えられた温度勾配で
の中心部の変位の量は最初の(温度勾配のない)屈撓の
量によって決定される。最初の屈撓が小さければ動きが
比較的大きく、また最初の屈撓の量が大きければ温度勾
配による動きはより小さくなる。最初の屈撓の最適な量
は膜の中心部分がケースに対して流管端部の変位と同じ
量だけ変位するようなものである。例えば流管とケース
との間の200゜の温度差で流管がケースより長さが0.036
だけ増大すれば、膜の最初の屈撓はケースと流管との間
の200゜の温度勾配で膜の中心部分が0.36だけ変位する
ようなものである。流管104は図10に示されるように流
管内の物質の温度変化に応じて軸方向に収縮あるいは膨
張できる。同時に膜は、流管がケースより温度が高けれ
ば外方への屈撓を増大させ、また流管がケースより温度
が低ければ外方への屈撓を減少させることによって、温
度勾配に応ずる。図10は適当に設定すれば膜の移動が流
管の膨張差にちょうど適合することを示している。この
設定で流管は熱応力を受けない。流体の温度を速く変化
させても流管に応力を生じない。流管の温度が200゜だ
け急激に上昇すると、ケース端側部材にわたる温度勾配
は流管の温度と同じ速さで上昇し、流管と同じ割合で膨
張する。ケースは加熱が始まると長さの差を減少させる
ように膨張する。しかしながらケースを温度上昇させる
と、端部にわたる温度勾配が減少し、端部の膨張が適切
に減少する。
おいて1対のケース端部膜1101および1102を有するが、
図10の実施例のものは1つだけのケース端部膜を有する
ということ以外は、本発明の図10と同様な実施例を示
す。図11では対をなす膜1101および1102は永久的に外方
に屈撓し、図10の実施例についての説明に関連して論じ
た利点を与える。しかしながら対をなす膜1101および11
02は外部から引き起こされた曲げモーメントに応じて流
管104が枢動するのを防止し、流量計ケース102の各端部
における1対のケース端側部材を有する図6の実施例に
関連して詳細に論じたのと同じ理由でこれらの動きから
流管を絶縁するのがよい。
3に示されるような配管系に連結されてもよく、この場
合流管104の軸方向の長さの変化が図3の流量計がフラ
ンジ103によって連結される配管の直角をなす部材313お
よび314によって吸収されよう。
く、発明の思想の範囲内において他の変形変更を含むも
のであることが理解されよう。
であれば矩形、三角形、あるいは不規則な形状としても
よい。ケースは球体からなるものでもよい。
Claims (18)
- 【請求項1】第1の端部および第2の端部を有する円筒
形のケース(102)と、 上記ケース内にその縦方向の軸にほぼ平行に配置された
1本の実質的に直線状の流管手段(104)と、 上記ケースおよび上記流管手段に取付けられた円板上の
膜手段であって、該膜手段は実質的に横方向の寸法が厚
さよりも大きく且つ軸方向の柔軟性が上記流管手段の上
記ケースに対する熱的変化に応答した長さの増減を該流
管手段に永久的変形を生ぜしめることなく可能ならしめ
る少なくとも一の膜(202)と、 からなり、 上記流管手段は上記ケースの内部から軸方向に上記膜を
通り上記ケースの外側で物質供給部または物質受容部に
接続される末端部(103)に至る流管部分の直径がほぼ
一定であること、および、上記円板状の膜手段は上記ケ
ースの少なくとも一方の端部を画成すると共に該膜手段
の外周縁は上記ケースの内壁部分に取り付け内周縁は上
記直径がほぼ一定である流管部分の外面に取付けてなる
こと、 を特徴とする流量計。 - 【請求項2】上記膜手段が上記ケースの上記第1の端部
をなす第1の膜(202)と上記ケースの上記第2の端部
をなす第2の膜とからなることを特徴とする請求の範囲
1に記載の流量計。 - 【請求項3】上記膜手段が上記ケースの上記第1の端部
を画成する第1の膜(202)からなり、さらに上記ケー
スの上記第2の端部を画成する硬く柔軟性のない部材
(109)を含むことを特徴とする請求の範囲1に記載の
流量計。 - 【請求項4】上記膜手段が上記ケースの上記第1の端部
における第1の対をなす間隔をおいた膜(202、209)と
上記ケースの上記第2の端部における第2の対をなす間
隔をおいた膜とからなり、 上記各対をなす間隔を置いた膜は、上記流管手段が連結
されている配管に外部からかかる曲げ負荷により上記膜
と上記流管手段との接続部のまわりに枢動するのを防止
することを特徴とする請求の範囲1に記載の流量計。 - 【請求項5】上記膜手段は、上記流管手段の熱的変化か
ら生ずる上記流管手段の長さの増加および減少にほぼ等
しい量だけ上記ケースに対して軸方向および軸方向外方
に屈撓可能となるのに十分なだけの軸方向の柔軟性を有
することを特徴とする請求の範囲1に記載の流量計。 - 【請求項6】上記膜手段は、上記ケースに対する上記流
管手段の熱的変化から生ずる上記流管手段の長さ変化か
ら上記ケース長さの変化を差し引いたものにほぼ等しい
量だけ上記ケースに対して軸方向に屈撓可能となるのに
十分なだけの軸方向の柔軟性を有することを特徴とする
請求の範囲1に記載の流量計。 - 【請求項7】上記膜(1002)は、その凸状の側部を上記
流管手段の縦軸方向に上記ケースから外方に向いた永久
的に屈撓した面を有することを特徴とする請求の範囲1
に記載の流量計。 - 【請求項8】上記膜(1002)は、上記ケースに近接した
上記膜の部分の温度より高い温度を有する上記流管手段
に近接した上記膜に応じて曲率の増大する外方に屈撓し
た凸状の状態となり、 上記膜が上記ケースに近接した上記膜の部分より低い温
度を有する上流管手段に近接した上記膜の部分に応じて
曲率の減少する外方に屈撓した凸状の状態となる ことを特徴とする請求の範囲7に記載の流量計。 - 【請求項9】流量計が所定の温度範囲内で動作するとき
に流管手段の降伏応力を超えるだけの十分な上記流管手
段の縦方向の熱的膨張に対する抵抗を与えないように、
上記膜手段が直径に比較して十分に薄くなっていること
を特徴とする請求の範囲1に記載の流量計。 - 【請求項10】上記膜手段は、その横方向の寸法に対し
て十分に薄くなっていて、その周縁部より中心部分で温
度が高くなることによって、上記流管手段が熱的変化を
受けて長さが変化すると上記流管手段に連結されている
ときに上記膜手段の中心部分が軸方向に変位する量に実
質的に等しい量だけ、上記膜手段が上記流管手段に連結
されていないときに軸方向に変位するようにしたことを
特徴とする請求の範囲1に記載の流量計。 - 【請求項11】上記流管手段が単一の流管(104)から
なる流量計であって、該流量計が、 上記流管手段に実質的に平行に配置されたバランス棒
(107)と、 該バランス棒の端部を上記流管に連結するバランス棒膜
手段(108、218)と、 上記流管が上記バランス棒膜手段を貫通するように取り
付けられ、 上記バランス棒膜手段が上記バランス棒に対する上記流
管における熱的変化に応じて上記流管が永久的変化をせ
ずに長さが変化できるようにするのに十分な軸方向の柔
軟性を有すること、 を特徴とする請求の範囲1に記載の流量計。 - 【請求項12】上記バランス棒が円筒形で上記流管を取
り囲むことを特徴とする請求の範囲11に記載の流量計。 - 【請求項13】上記流管手段が単一の流管からなること
を特徴とする請求の範囲1に記載の流量計。 - 【請求項14】上記単一の流管が上記流管に実質的に平
行に配置されたバランス棒に取付けられていることを特
徴とする請求の範囲13に記載の流量計。 - 【請求項15】上記流管手段が1対の平行な流管(40
4、405)からなることを特徴とする請求の範囲1に記載
の流量計。 - 【請求項16】上記ケースが円筒形であり、 上記円板状の膜手段が実質的に平坦な面を有し、 上記外周縁部分は上記円板状の膜手段の周囲部分からな
ることを特徴とする請求の範囲1に記載の流量計。 - 【請求項17】駆動信号を発生させるための制御回路
(801)と、 該駆動信号の発生に応じて上記流管手段を振動させるよ
うに上記流管手段に連結された駆動部(D)と、 上記流管手段の振動を表すセンサー出力信号を発生させ
るための上記流管手段に取付けられたセンサー手段(S
1、S2)と、 上記制御回路(801)に上記センサー出力信号を供給す
るための手段(802、803)と、 上記流管手段の温度を表す出力信号を発生させるための
上記流管手段に取付けられた温度検出器(808)と、 上記制御回路に上記温度検出器の出力信号を供給するた
めの手段(807)と、 上記流管手段の軸方向の応力を表す出力情報を発生させ
るための上記流管手段に取付けられたストレーンゲージ
(806)と、 上記制御回路に上記応力の情報を供給するための手段
(805)と、 をさらに含み、 上記制御回路が流量計における物質の流れに関する第1
の精度の出力情報を発生させるように上記センサー手段
の出力信号の受取りに応答し、 上記制御回路が流量計における物質の流れに関する上記
第1の精度より高い精度の出力情報を発生させるように
上記センサー手段の出力信号とともに上記温度の情報お
よび応力の情報を受取りに応答する ようにしたことを特徴とする請求の範囲第1に記載の流
量計。 - 【請求項18】円板状の膜手段の外周縁を第1の端部お
よび第2の端部を有するケースに取付けて該膜手段が該
ケースの少なくとも一方の端部を画成する段階と、ほぼ
直線状の流管手段を上記ケースの縦軸方向にほぼ平行に
該ケース内に位置決めして上記流管手段の直径がほぼ一
定の部分が上記ケース内部から軸方向に延びて上記膜手
段を通り上記ケースの外の末端部(103)に至るように
配置する段階と、 上記膜手段の内周縁部を上記流管手段の上記直径がほぼ
一定な流管部分の外面に取付ける段階と、 上記膜手段がその厚さより実質的に大きい横方向の寸法
を有し上記ケースに対する上記流管の熱的変化に応じて
永久的な変形をせずに上記流管手段が長さを増大および
減少させられるだけの十分な軸方向の柔軟性を有する少
なくとも1つの膜からなること、 を特徴とする流量計の製造方法。
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