KR101470717B1 - 코리올리 유량계, 코리올리 유량계의 제조방법 및 조정방법 - Google Patents

코리올리 유량계, 코리올리 유량계의 제조방법 및 조정방법 Download PDF

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Abstract

코리올리 유량계의 서브조립체는 하나의 단일 조각의 탄성 폴리머 재료로 제조된다. 서브조립체는 2개의 유동 감지 부재와 이 2개의 유동 감지 부재에 일체로 연결되는 베이스를 구비한다. 2개의 유동 감지 부재는 직선 부분을 구비하고, 서로 실질적으로 유사하고 평행하다. 유동 통로는 2개의 유동 감지 부재의 직선 부분들을 따라서 천공되며, 천공된 입구들은 탄성 폴리머 재료를 이용하여 밀봉된다. 온도 센서는 유동 감지 부재의 온도를 측정하고 측정된 온도를 측정 전자기기에 전송하도록 유동 감지 부재에 부착된다. 측정 전자기기는 온도를 측정하는 코리올리 유량계를 통하여 흐르는 유체의 조정된 유량을 결정한다.

Description

코리올리 유량계, 코리올리 유량계의 제조방법 및 조정방법{METHODS OF MANUFACTURING AND TEMPERATURE CALIBRATING A CORIOLIS MASS FLOW RATE SENSOR}
이 출원은 알랜 엠. 영, 지안렌 린, 및 클라우스 더블유. 너드센에 의하여, 2010년 2월 12일 출원된 "코리올리 질량유량 센서의 제조방법 및 온도 조정방법"에 관한 미국 가출원 제61/304,228호의 우선권을 주장하는 것으로서, 이 미국 가출원의 내용은 그 전체로서 이 출원에 병합된다.
본 발명은 일반적으로 코리올리(Coriolis) 효과에 기반한 질량유량(mass flow rate)과 밀도 측정장치에 관한 것으로서, 특히 탄성 폴리머 물질(예를 들어, 퍼플르오르알콕시 공중합체(PFA-perfluoroalkoxy copolymer))로 만들어진 개선된 코리올리 유량율 센서의 제조 및 조정 방법에 관한 것이다.
코리올리 질량유량계는 파이프라인을 통해 흐르는 유체의 질량유량(다른 특성을 포함하여)을 측정하는데 사용되는 것이 잘 알려져 있다. 통상적인 코리올리 유량계는 센서를 통하여 흐르는 유체 질량유량의 표지로서 코리올리 유도 편향(또는 튜브 상의 편향 효과들)의 측정을 허용하는 제어된 방식으로 진동하는 하나 또는 두 개의 튜브들의 다양한 형태들을 이용한다. 미국 특허공보 7,127,815 B2호(2컬럼 5~25행)에 기재된 바와 같이, 종래기술의 코리올리 유량계 대부분은 유동 감지 부재로서 금속 유동 튜브들을 이용하는 것과 관련되어 있지만, 종래기술은 금속 대신 플라스틱도 사용될 수 있음을 제안하고 있다. 상기 '815호 특허에는 "유량계가 플라스틱으로 만들어질 수 있다는 단순한 주장은 플라스틱이 금속을 대체할 수 있다는 추상적 관념에 지나지 않는다. 이는 어떻게 작동 조건의 유용한 범위를 넘어서 정확한 정보를 생성할 수 있도록 플라스틱 유량계가 제조될 수 있는지는 제시하지 않는다"라고 기재되어 있다. 이와 유사한 기재는 미국 특허공보 6,776,053 B2호(1컬럼 58~68행 및 2 컬럼 1~10행)에서도 찾아볼 수 있다.
상기 '815호 특허 및 '053호 특허는 시아노아크릴레이트(cyanoacrylate) 접착제를 사용하여 금속 베이스에 부착되는 적어도 하나의 PFA 튜브를 구비하는 코리올리 유량계의 제조방법을 개시하고 있다. 코리올리 유량계의 성공적인 작동에 대한 기본 조건은, 유동 감지 부재(예를 들어, 상기 '815호 및 '053호 특허에서의 튜브)가, 진동 감지 부재를 위하여 고정적이고 안정적이며 변하지 않는 경계 조건이 구축되는 방식으로, 단부 금속 베이스(또는 매니폴드)에 고정적으로 부착되어야 한다는 점이다. 예를 들어, 상기 '053호 특허의 청구항 1항(14컬럼, 65~67행)에는 "…상기 유동 튜브 장치의 단부들은 상기 단부들에서 고정점을 형성하도록 상기 베이스에 결합된다…"고 기재되어 있다. 그러나, 상기 '815호 및 '053호 특허의 단점은 통상 작동 조건하에서 금속 베이스에 대한 튜브 결합의 무결성이 반드시 단단하고 불변하지는 않는다는 것이다. 오히려, 시간이 지나면서 튜브의 연속적인 진동이 접합 조인트의 균열 또는 다른 품질 저하를 유발할 수 있다. 아울러, 서로 다른 구성의 재료들(예를 들어, 튜브, 시아노아크릴레이트 접착제 및 금속 베이스) 사이의 차별적인 열 팽창/수축이 금속 베이스에 대한 튜브의 결합의 완전성을 손상시켜 장치의 성능을 손상하는 정도의 제어되지 않는 진동 특성으로 귀결되는 불안정한 경계 조건을 발생시킨다.
'815 특허 및 '053 특허는 제조방법(즉, 압출 성형)에 의하여 PFA 튜브는 본질적으로 유량계를 제조하기에 앞서서 제거되어야 하는 굴곡 또는 만곡을 가지는 특성이 있다고 설명하고 있다(예를 들어, '815 특허의 3 컬럼 42~55행 참조). '815 특허 및 '053 특허에 따르면, 이러한 문제는 PFA 튜브를 유량계를 제조하기에 앞서 똑바로 펴지도록 어닐링 처리함으로써 완화할 수 있다('815 특허의 3 컬럼 30~41행 참조).
시아노아크릴레이트 접착제를 PFA 튜브에 용이하게 고착시키기 위하여, 상기 튜브는 에칭('815 특허에 언급된 처리)되어야 하며, 이러한 에칭에는 글리콜 디에테르(glycol diether)가 채워진 가열된 수조 내에 PFA 튜브들을 침전 및 서서히 교반하는 것이 필요하다. 그러나, 이와 같은 어닐링 및 에칭 처리들은 비용을 증가시키고 유량계의 제조를 복잡하게 하며, 필연적으로 유량계 제조에 적합한 튜브를 안정적으로 생산할 수 없게 한다.
미국 특허 6,450,042 B1호, 미국 특허 6,904,667 B2호 및 미국 특허 공개 20020139199 A1호는 코리올리 유량계를 사출 성형을 통하여 제조하고, 대략 47℃의 용융점을 가지는 비스무트, 납, 주석, 카드뮴, 인듐을 포함하는 저융점 가용성 금속 합금으로부터 만들어진 코어 금형으로부터 유동 경로를 형성하는 방법을 개시하고 있다. '042 특허는 "…작업자 및 픽 오프(pick off), 그리고 사안의 가능한 예외들을 제외하고, 유량계 전체는 사출 성형에 의해 형성된다(강조 추가)"고 주장하고 있다. 그러나, 이러한 제조방법은 현저한 문제점과 한계들을 가지고 있다. 사출 성형 공정에서, 5000 psi 이상의 압력 하에 350℃를 넘는 온도의 뜨거운 플라스틱이 금형 내부로 사출된다. 얇은 벽 또는 작은 직경(예를 들어, 4mm 직경; 2mm 미만의 벽 두께)의 유동 통로를 제조할 때, 이러한 용융 온도 및 압력은 비교적 좁은(그리고 가요성인) 가용성 금속 코어(그 표면이 녹을 수 있는)를 왜곡시키기 쉬워 장치를 쓸 수 없게 만드는 정도의 유동 통로의 변형과 오염을 발생시킨다. 반도체, 약품, 바이오 약품(또는 다른 중요한 고순도 공정의 응용들)에서는, 아무리 미소량이더라도 금속성 오염을 피하는 것이 중요하다. 그러나, 고형 코어(예로서, 스테인리스 스틸)와 달리, 비교적 무른 가용성 코어는 금속 원자들을 섞고 사출되는 플라스틱 내에 영구적으로 파묻히게 하는 사출 성형 공정 과정에서 부분적으로 녹거나 침식될 수 있어서, 유동 통로를 오염시켜 장치를 고순도 응용에 부적합하게 한다.
플라스틱 사출 성형 공정에서, 성형품들은 동일한 두께를 가지는 것이 바람직하며, 그렇지 않으면 성형 부품이 정확하게 형성되기 어렵다. '042 특허를 참조하면, 이러한 요구는 여기서 설명한 코리올리 유량계의 모든 구조적 부품들, 즉 튜브 벽, "브레이스 바(brace bar)", 입구 및 출구 플랜지, 매니폴드 벽 등이 동일한 두께를 가지야 한다는 것을 의미한다. 그러나, 유량계 전체를 사출 성형에 의해 제조하면 유량계의 성능에 대한 불리한 작용 및/또는 제한을 가져오는 구조적 및/또는 동역학적인 설계 제한들 또는 손상을 초래하게 된다.
튜브 재료의 "탄성계수"(영률에 비례하는)는 온도에 따라 변화하며 코리올리 유량계의 정확도에 영향을 끼친다. 유량 측정의 정확성을 유지하기 위하여, 코리올리 유량계는 유체 및/또는 주위 온도가 유체 감지 부재의 온도를 변화시키기 때문에 온도 보상을 필요로 한다. 온도에 대한 영률 데이터는 종래의 코리올리 유량계의 구성에 사용되는 대부분의 금속 합금들(예로서, 스테인리스 스틸 또는 티타늄)을 위한 N.I.S.T.(또는 다른 기술 문헌들)로부터 얻을 수 있다. 그러나, 탄성 폴리머를 위한 비교할만한 데이터(예로서, 온도에 대한 탄성계수)는 일반적으로 입수하기 어렵고 아주 적은 온도들에 대해서만 공개되어 있다. 따라서, 코리올리 유량계를 제조하기 위한 플라스틱 사용을 제안하고 설명하고 있으며, 또한 유량 감지 부재의 온도 감지 수단을 언급하고 있는(예로서, '815 특허의 4 컬럼, 59~67행 참조) 종래 기술은, 어느 주어진 탄성 폴리머 재료를 위한 작동 온도의 범위를 넘어서 어떻게 효과적인 온도 보상을 할 것인가에 대하여 설명하지 못하고 있다. 틀림없이, 이러한 온도 보상 없이, 유량계는 응용에 사용되기 어렵고 센서 온도가 측정 온도와 실질적으로 달라진다.
본 발명의 일 측면은, 탄성 폴리머 재료로부터, 기계적 조인트 또는 접착제 없이 동일한 재료의 적절한 부착 베이스(또는 매니폴드)에 일체로 연결되는 유동 감지 부재(들)를 구비하는 코리올리 유량계를 제조하는 방법을 제공함으로써, 진동하는 감지 부재를 위하여 단단하고 고정된 경계 조건을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 측면은, 배관을 사용하지 않는 유동 감지 부재를 적용하여 탄성 폴리머 재료로부터 코리올리 유량계를 제조하는 방법을 제공함으로써, 어닐링 및 에칭과 같은 추가적인 제조 공정을 필요로 하지 않아 유량계 제조 공정을 단순화시키는 것이다.
본 발명의 다른 측면은, 탄성 폴리머 재료로부터 코리올리 유량계를 제조하고, 유동 통로를 영구적으로 오염시킬 수 있는 저융점의 가용성 금속 합금을 사용하지 않고 유동 감지 부재(그리고 그 내부에 유동 통로)를 형성하는 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 측면은, 상대적으로 얇은 벽 및/또는 상대적으로 작은 직경의 유동 통로를 그 내부에 가지는 유동 감지 부재의 제조를 가능하게 하는 탄성 폴리머 재료로부터 코리올리 유량계를 제조하는 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 측면은, 유량계의 유용한 작동 온도 범위에서의 유량 감지 부재의 스프링 상수의 정확한 온도 보상을 가능하게 하는, 임의의 탄성 재료(금속 또는 플라스틱)로 제조된 코리올리 유량계를 조정하는 방법을 제공하는 것이다.
요컨대, 본 발명의 일 실시예는, 2개의 실질적으로 동일한 부재이며 각 부재는 일체로 연결되는 지지부로부터 연장된 네모난 U자 형상(또는 직선형 부분들로 이루어질 수 있는 다른 가능한 형상들 중 삼각형)을 가지는 유동 감지 부재를 적용한 구조물을 포함한다. 유체는 수압식 직렬(또는 병렬) 방식으로 적절한 외부 유체 배관을 경유하여 유동 감지 부재의 각 부재를 통하여 흐른다. 유동 감지 부재들의 "다리"들은 원형, 타원형, 직사각형, 육각형 또는 8각형 단면을 가질 수 있다. 구조물은 탄성 폴리머 재료의 하나의 단일 조각으로부터 제조된다. 제조 공정은 전체 구조물을 폴리머 재료의 단일 조각으로부터 CNC(컴퓨터 수치 제어) 가공하는 것과 2차 가공으로서 유동 통로를 천공 작업하는 것을 포함한다. 대안으로서, 구조물은 사출성형에 의해 제조될 수도 있으며, 이 경우 유동 통로들은 금형 내에 마련된 고형 코어 및/또는 부품이 금형으로부터 제거된 이후의 2차 천공작업의 조합에 의하여 형성된다. 이러한 제조방법은 2차 (사출 이후) 가공 후의 유량계의 완전한 기능(즉, 역동적인 응답성)을 가져 온다. 외부 구멍(코어링 또는 드릴링에 의한)들은 적절한 2차 공정(예로서, 용접)에 의하여 채워진다.
본 발명의 위와 같은 그리고 다른 목적 및 장점들은 도면에 도시되어 있는 다양한 실시예들에 대한 이하의 상세한 설명을 통하여 당업자들에게 명확해질 것이다.
도 1은 내부 유동 통로를 가지지 아니하며 탄성 폴리머 재료로 제조되는 코리올리 유량 센서 서브조립체가 일부 제작된 상태를 나타낸 도면.
도 2는 천공에 의해 형성되는 내부 유동 통로를 구비하며 탄성 폴리머 재료로 제조되는 코리올리 유량 센서 서브조립체가 일부 제작된 상태를 나타낸 도면.
도 3은 내부 유동 통로를 위한 밀봉된 천공 구멍을 구비하며 탄성 폴리머 재료로 제조되는 코리올리 유량 센서 서브조립체가 일부 제작된 상태를 나타낸 도면.
도 4는 여자 마그네트 코일 조립체 및 동작 센싱 마그네트/코일 조립체들을 구비하는 코리올리 유량 센서가 일부 조립된 상태를 나타낸 도면.
도 5는 탄성 폴리머 재료에 의해 제조되는 코리올리 유량 센서가 일부 조립되고 측정 전자기기에 연결된 상태로 나타낸 도면.
도 6은 PFA로 제조된 코리올리 유량 센서로부터 얻어진 온도 대 진동수 데이터를 나타낸 그래프.
도 7은 탄성 폴리머 재료에 결합된 온도 감지 수단을 나타낸 도면.
도 8은 유량 감지 부재들의 추가 실시예들을 나타낸 도면.
도면과 이하의 설명은 단지 예시를 위하여 특정 실시예들을 설명하고 있다. 통상의 기술자라면 이하의 설명으로부터 본 발명의 원리를 벗어나지 않고 여기에 기술된 구조 및 방법들에 대한 대안적 실시예들이 적용될 수 있음을 바로 인식할 수 있을 것이다. 참조는 첨부된 도면에 개시된 몇몇 실시예, 예들에 대하여 이루어질 것이다. 유사한 또는 비슷한 참조 부호들이 도면에서 사용될 것이고 이들은 유사한 또는 비슷한 기능들을 나타낸다.
도 1은 탄성 폴리머 재료의 단일 블록으로부터 CNC 가공된, 일 실시예에 따른 폴리머 재료의 고형 조각(110)을 도시한다. 서브조립체(110)의 유동 감지 부재는 2개의 네모난 U자형 조립체(120, 130)로 이루어진다. 그러나, 서브조립체(110)는 유체가 그 구조를 통하여 흐르게 하는 유동 통로를 구비하고 있지 않다. 서브조립체(110)는 사출 성형에 의해서도 형성될 수 있지만, CNC 가공 방식과 마찬가지로, 유동 통로를 제공하지는 않는다. 위 구조(110)가 제조되는 방법(즉, CNC 가공 또는 사출 성형)의 특성상, 각각의 U자형은 "격판"(175, 180 및 185, 190)(U자형 구조(120, 130)의 진동을 위한 경계 조건을 형성하는)에 일체로 연결되며, 이어서 지지부(155)에 일체로 연결된다. 중요한 것은, 서브조립체(110)가 기계적 조인트들, 접착제 없이 또는 금속 지지부를 사용하지 않고 하나의 고형 부품으로 제조된다는 점이다.
도 2는 일 실시예에 따른 각 U자형의 "단부"의 중심선을 따라 완전히 끝과 끝의 측면에 천공된 유동 통로(240, 260)를 구비하는 서브조립체(210)을 도시한다. 마찬가지로, 유동 통로(245, 250, 265, 270)들이 각 U자형의 측부 다리들의 중심선을 따라 그리고 지지부(255)의 최후미 단부(미도시)까지 완전히 관통하도록 천공되어 있다. 아울러, 일 실시예에 따르면, 각 U자형을 통과하는 유동 통로들의 완전한 형성을 위하여, 천공된 구멍들은 도 3에 도시된 것처럼 밀봉되는데, U자형의 단부의 각 구멍들은 유동 통로(340, 345, 350 및 360, 365, 370)의 천공된 입구에 플라스틱을 용접하거나 용융함으로써 밀봉된다. 일 실시예에 따르면, 밀봉 또는 용접 작업을 하는 동안 유동 통로의 막힘을 방지하기 위하여, 구멍을 밀봉하기 전에 라운드형 팁(rounded tip)을 가지는 맨드릴(madrel)이 각 통로의 길이를 따라 삽입되어, 플라스틱이 맨드릴의 라운드형 팁에 대응하여 매끈한 표면을 형성하면서 용융되게 하고, 이로써 유동 통로의 내부 막힘을 방지한다. 블록(355)에는 배관 연결구(미도시)들이 형성되어 유체가 수압식으로 직렬 또는 병렬로 각 U자형을 통하여 흐르게 한다.
유량 감지 부재는 도 1 및 2에 도시된 네모난 U자형으로 제한되지 않으며, 직선형 부분들로부터 조립될 수 있는 다른 형상을 가질 수 있다. 도 8은 유량 감지 부재들의 4개의 예시적 형상들: 삼각형((A) 및 (E) 형태), 정사각형((B) 형태), 사다리꼴((C) 형태) 및 직선형((D) 형태)을 도시하고 있다.
도 4는 지지 블록(455)에 일체로 부착된 한 쌍의 감지 부재(420, 430)들을 구비하는 일 실시예에 따른 코리올리 유량계의 서브조립체(410)를 도시하고 있다. 유체는 블록(455)의 후방에 유입되어 수압식으로 직렬 또는 병렬(즉, 분할 유동) 방식으로 각 유동 감지 부재(420, 430)를 통하여 동일한 방향으로 흘러간다. 유동 감지 부재(420, 430)들은 격판(475, 480, 485, 490)들을 통과하여 지지 블록(455)까지 연장된다. 지지 블록(455), 유동 감지 부재(420, 430) 및 격판(475, 480, 485, 490)들은 탄성 폴리머 재료의 하나의 단일 조각으로부터 제조됨으로써 서로 일체로 연결된다.
도 4는 각각 유동 감지 부재(420, 430)에 고정적으로 부착되며 소리굽쇠의 가지와 같이 역위상의 진동을 일으키는 영구 자석(492) 및 코일(494)로 이루어진 자석 및 코일 "드라이버"를 도시하고 있다. 도 5는 드라이버 코일(510)이 측정 전자기기(522)로부터 경로(524)를 통하여 수신되는 신호에 의하여 작동되는 것을 도시하고 있다. 진동하는 유동 튜브들을 통한 물질의 유동은, 유동 감지 부재(520, 530)의 반대측에 배치된 자석/코일 유도 "픽오프(pick-off)"들(또는 "속도 센서들")에 의하여 감지되는 코리올리 힘을 발생시킨다. 이러한 센서들은 유동 유도 코리올리 힘으로 인하여 유동 감지 부재(520, 530)의 측부 다리들에 발생하는 움직임에 반응하는 신호들을 발생시킨다. 이러한 자석/코일 유도 센서들의 출력 신호들은 경로(526, 528)를 통하여 측정 전자기기(522)로 보내지며, 측정 전자기기(522)는 이러한 신호들을 처리하고 유체 물질의 유량을 나타내는 출력 정보를 경로(529)를 통해 전송한다.
유동 감지 부재(520, 530)들의 고유 진동수에서의 역위상 진동은 소리굽쇠의 가지들의 진동과 유사하며 감쇠 2차 시스템으로서 모델화될 수 있다. 감쇠를 무시하면, 부재(520, 530)들이 역위상으로 진동하는 여기(excitation)(또는 "드라이브") 모드에서의 공명 진동수는 아래와 같이 수학식과 같이 표현할 수 있다.
Figure 112012073181546-pct00001
위 식에서 고유 회전 진동수 Wd=2πfd이고, fd=초당 회전수에서의 고유 진동수이며, m=m부재+m유체이고, 스프링 상수 kd는 "드라이브" 또는 여기 모드에서의 물질의 탄성계수에 비례한다. m부재 및 m유체라는 용어는 각각 부재(520 또는 530)의 유효 질량과 그에 수용되는 유체의 질량을 의미한다. 금속 합금(예로서, 316L 스테인리스 스틸)의 경우, 탄성계수 및 그의 온도에 따른 변화량은 잘 알려져 있다. 그러나, 탄성 폴리머의 경우에는 그렇지 않다. 진동하는 감지 부재들을 가지는 탄성 폴리머 재료의 스프링 상수의 온도 변화를 위한 적절한 보상이 필요한 스프링 상수 k의 변화량은 알려져 있지 않다. 특히, 보상이 요구되는 탄성계수는 꼬임(비틀림) 또는 코리올리 모드(kc)에 대응한다. 그러나, 수학식 (1)로부터 아래와 같은 식을 얻을 수 있다.
Figure 112012073181546-pct00002
그리고, 꼬임(비틀림) 또는 "코리올리" 응답 모드는 아래와 같은 식으로 나타낼 수 있다.
Figure 112012073181546-pct00003
여기서, kc는 탄성 폴리머의 전단계수이며, 아래 식과 같이 레임 상수(Lame constant) μ에 의하여 kd와 관계가 있다.
Figure 112012073181546-pct00004
따라서, 도 6에 도시된 바와 같이, 온도에 따른 wd 2의 변화를 측정하면 주어진 온도 범위에서의 재료의 전단계수(즉, 재료의 대응 탄성계수 또는 코리올리 모드)의 변화에 비례하는 양을 측정할 수 있다. 이러한 고찰은 탄성 폴리머뿐만 아니라 금속, 세라믹 및 유리 재료를 포함하는 임의의 탄성 재료에도 적용될 수 있다
도 7에 도시된 바와 같이, 일 실시예에 따르면, 온도 감지 수단(742)이 폴리머 재료에 결합되어 폴리머 재료의 온도를 경로(744)를 통하여 측정 전자기기(722)로 전달한다. 측정 전자기기(722)는 온도에 대한 wd 2에 비례하는 정보를 포함하고 있으며, 이에 의하여 측정 전자기기는 장치를 통하여 흐르는 유체의 유량에 대한 측정 신호와 관련된 비례 인자인 온도(다른 인자들과 함께)를 가지고 재료의 탄성계수(또는 동등하게 재료의 전단계수)의 변화량을 적절하게 계산할 수 있다.
코리올리 유량계는 유체가 흐르지 않는 경우에도 유량 표시를 나타낸다. 이러한 표시를 "제로 플로우 오프셋(zero flow offset)" 또는 "Z.F.O."라고 부른다. Z.F.O.의 하나의 요인은 마치 유체가 장치를 통하여 흐르고 있는 것처럼 U자 구조들을 서로 뒤틀리게 하는 구조 및/또는 질량의 좌우 불균형이다. 도 4는 2개의 조절 나사(495, 496)를 도시하고 있으며, 이 조절 나사들은 Z.F.O.의 크기를 최소화하기 위하여 요구되는 센서의 응답 모드에서의 각각의 유동 감지 부재(420, 430)의 센서 관성 모멘트를 간단한 스크류 드라이버 조작에 의하여 독립적으로 수동 조정할 수 있게 한다.
2개의 U자 구조의 질량 또는 구조적 불균형은 진동 구조물의 Q 팩터가 저하되게 할 수 있고(즉, 부재 420 및 430으로 이루어진 튜닝 포크 구조가 균형을 이루지 못하게 함), 그로 인해 허용할 수 있는 레벨 내에서 센서 측정 감도를 유지하도록 측정 전자기기로 하여금 진동의 충분한 진폭을 유지할 수 있는 더 많은 에너지를 전송하게 한다. 2개의 U자형 구조물(420, 430)들 사이의 불균형을 조정하기 위하여, 일 실시예에서는 튜닝 포크의 가지 밸런싱과 유사하게 센서의 감지 부재(420, 430)들의 양호한 균형을 잡기 위한 간단한 조정 수단으로서 추(또는 너트)(497, 498)가 부착되는 나사붙이 로드가 부가된다.

Claims (19)

  1. 탄성 폴리머 재료로부터 코리올리 유량계를 제조하는 방법으로서,
    탄성폴리머 재료로부터 코리올리 유량계의 서브조립체 구조물을 제조하되, 상기 서브조립체 구조물은 베이스에 일체로 연결되는 하나 이상의 유동 감지 부재를 포함하고, 하나 이상의 유동 감지 부재는 각각 하나 이상의 직선 부분들을 포함하도록 제조하는 단계;
    상기 하나 이상의 직선 부분들을 따라 외부 구멍들을 구비하는 유동 통로들을 제조하는 단계; 및
    상기 유동 통로들의 교차 지점에서의 상기 외부 구멍들의 하나 이상을 밀봉하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 코리올리 유량계의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 유동 통로들의 교차 지점에서의 상기 외부 구멍들을 밀봉하는 단계는,
    상기 유동 통로들의 외부 구멍에 탄성 폴리머 재료를 용접하거나 용융시키는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 코리올리 유량계의 제조방법.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 유동 통로들의 교차 지점에서의 상기 외부 구멍들을 밀봉하는 단계는,
    유동 통로의 내부 막힘을 방지하기 위하여, 라운드형 팁을 가지는 맨드릴을 유동 통로의 외부 구멍을 밀봉하기 전에 유동 통로의 길이를 따라 삽입함으로써, 탄성 폴리머 재료가 상기 맨드릴의 라운드형 팁에 대응하는 평탄한 표면을 형성하도록 하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 코리올리 유량계의 제조방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 서브조립체 구조물을 제조하는 단계는,
    하나의 단일 조각의 탄성 폴리머 재료로부터 서브조립체 구조물을 CNC(컴퓨터 수치 제어) 가공하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 코리올리 유량계의 제조방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 서브조립체 구조물을 제조하는 단계는,
    탄성 폴리머 재료를 이용하여 서브조립체 구조물을 사출성형하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 코리올리 유량계의 제조방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 하나 이상의 유동 감지 부재의 직선 부분을 따라 상기 유동 통로들을 제조하는 것은, 상기 하나 이상의 유동 감지 부재의 직선 부분을 따라 상기 유동 통로들을 천공 가공하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 코리올리 유량계의 제조방법.
  7. 코리올리 유량계를 통하여 유체가 흐르게 하기 위한 구멍들을 구비한 베이스;
    각각 하나 이상의 직선 부분들과 상기 직선 부분들을 따라 제조되는 유체가 유동하기 위한 유동 통로를 구비하는 2개의 유동 감지 부재들;
    상기 2개의 유동 감지 부재들에 각각 고정적으로 부착되며, 코리올리 유량계를 통과하는 유체의 유동에 의해 유도되는 코리올리 힘에 의하여 상기 2개의 유동 감지 부재들에 의해 생성되는 상대적 동작에 대응하는 신호를 생성하는 2개의 동작 센서들; 및
    상기 2개의 동작 센서들에 소통 가능하게 연결되며, 상기 신호를 수신하고 코리올리 유량계를 통하여 흐르는 유체의 유량을 나타내는 출력 정보를 생성하는 측정 전자기기를 포함하며,
    상기 2개의 유동 감지 부재들은 상기 베이스에 일체로 연결되며, 상기 2개의 유동 감지 부재들과 베이스는 탄성 폴리머 재료로 제조되는 것을 특징으로 하는 코리올리 유량계.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 2개의 유동 감지 부재들은 각각 네모난 U자형 부재를 포함하며, 각 U자형 부재는 상기 베이스에 평행한 직선형 단부와, 상기 단부를 상기 베이스에 일체로 연결시키는 2 개의 직선형 측부 다리들을 포함하는 것을 특징으로 하는 코리올리 유량계.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 2개의 유동 감지 부재들의 진동을 위한 경계 조건을 설정하는 하나 이상의 격판을 더 포함하며,
    상기 2개의 유동 감지 부재들은 상기 베이스 및 상기 하나 이상의 격판에 일체로 연결되며, 상기 2개의 유동 감지 부재들, 베이스, 하나 이상의 격판은 모두 하나의 단일 조각의 탄성 폴리머로부터 제조되는 것을 특징으로 하는 코리올리 유량계.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 2개의 유동 감지 부재들은 동일하며 서로 평행한 것을 특징으로 하는 코리올리 유량계.
  11. 제7항에 있어서,
    상기 2개의 동작 센서들은 상기 2개의 유동 감지 부재들 중 하나에 고정적으로 부착되는 자석과, 다른 하나의 유동 감지 부재에 고정적으로 부착되는 코일을 포함하는 것을 특징으로 하는 코리올리 유량계.
  12. 제7항에 있어서,
    상기 측정 전자기기에 소통 가능하게 연결되어 2개의 유동 감지 부재들의 온도를 측정하고 그 온도를 측정 전자기기로 전송하는 온도 센서를 더 포함하며,
    상기 측정 전자기기는 출력 정보를 생성할 때 온도를 계산하는 것을 특징으로 하는 코리올리 유량계.
  13. 제7항에 있어서,
    상기 2개의 유동 감지 부재들 각각은 제로 플로우 오프셋의 크기를 최소화 하기 위한 유동 감지 부재의 관성 모멘트의 독립적인 수동 조정을 가능하게 하는 부품을 포함하는 것을 특징으로 하는 코리올리 유량계.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 부품은 나사를 포함하는 것을 특징으로 하는 코리올리 유량계.
  15. 제7항에 있어서,
    상기 2개의 유동 감지 부재들 각각은, 2개의 유동 감지 부재들의 균형을 위한 독립적인 수동 조정이 가능하도록 추가 부착되는 나사붙이 로드를 포함하는 것을 특징으로 하는 코리올리 유량계.
  16. 탄성 재료로부터 제조된 코리올리 유량계의 조정 방법으로서,
    2개의 유동 감지 부재들 상의 유동 통로를 통하여 흐르는 유체에 의해 유도되는 코리올리 힘에 의하여 코리올리 유량계의 상기 2개의 유동 감지 부재들에서 생성되는 상대적인 움직임을 측정하는 단계;
    상기 2개의 유동 감지 부재들의 온도를 측정하는 단계; 및
    탄성 재료에 기초하여 유체의 조정된 유량을 결정하는 단계를 포함하며,
    상기 유체의 조정된 유량을 결정하는 단계는,
    온도에 기초하여 탄성 재료의 탄성 계수에 비례하는 인자를 결정하는 단계와,
    상기 인자 및 2개의 유동 감지 부재들에서 생성되는 상대적인 움직임에 기초하여 조정된 유량을 결정하는 단계와,
    상기 2개의 유동 감지 부재들의 온도와, 상기 2개의 유동 감지 부재들에서 생성되는 상대적 움직임을 결정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 코리올리 유량계의 조정 방법.
  17. 삭제
  18. 제16항에 있어서,
    상기 2개의 유동 감지 부재들에서 생성되는 상대적인 움직임을 측정하는 단계는, 상기 2개의 유동 감지 부재들에서의 유동 통로를 통한 유체의 흐름에 의해 유도되는 코리올리 힘에 의하여 상기 2개의 유동 감지 부재들에서 생성되는 상대적인 움직임의 공명 진동수를 측정하는 것을 더 포함하며,
    상기 유체의 조정된 유량을 결정하는 단계는, 탄성 재료, 상기 2개의 유동 감지 부재들의 온도, 및 상기 공명 진동수에 기초하여 상기 유체의 조정된 유량을 결정하는 것을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 코리올리 유량계의 조정 방법.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 유체의 조정된 유량을 결정하는 단계는,
    온도에 대한 공명 진동수 제곱의 비율을 측정하는 인자를 결정하는 단계와,
    상기 비율을 측정하는 인자와 상기 2개의 유동 감지 부재들에서 생성되는 상대적인 움직임에 기초하여 조정된 유량을 결정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 코리올리 유량계의 조정 방법.
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Families Citing this family (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102011117282A1 (de) * 2011-08-16 2013-02-21 Krohne Ag Coriolis-Massedurchflussmessgerät
KR20160045763A (ko) 2013-08-22 2016-04-27 말레마 엔지니어링 코퍼레이션 고분자 재료로부터 코리올리 질량 유량율 센서를 제조하는 방법
US20150128720A1 (en) * 2013-11-12 2015-05-14 Newport Controls System and method for monitoring state operation using flow regulator feedback control
CN108474678B (zh) * 2015-11-24 2020-08-07 骏马流量传感器公司 一体式科里奥利质量流量计
NL2016092B1 (en) * 2016-01-14 2017-07-24 Berkin Bv Coriolis flowsensor.
CN106052777A (zh) * 2016-07-13 2016-10-26 华祥（中国）高纤有限公司 一种生产化学纤维用流量计
RU2662035C1 (ru) * 2017-09-13 2018-07-23 Общество с ограниченной ответственностью "Компания Штрай" Расходомер и способ его изготовления
WO2020206030A1 (en) * 2019-04-02 2020-10-08 Malema Engineering Corporation Polymer-based coriolis mass flow sensor fabricate through casting
DE102019134609A1 (de) 2019-12-16 2021-06-17 Endress+Hauser Flowtec Ag Verfahren zur Herstellung einer Messrohranordnung eines Coriolis- Durchflussmessgerätes
DE102019134604A1 (de) 2019-12-16 2021-06-17 Endress+Hauser Flowtec Ag Messrohranordnung und Trägereinheit eines Messgerätes zum Erfassen eines Massedurchflusses, einer Viskosität, einer Dichte und/oder einer davon abgeleiteten Größe eines fließfähigen Mediums
DE102019135303B4 (de) 2019-12-19 2024-03-14 Endress + Hauser Flowtec Ag Messaufnehmer eines Messgerätes zum Erfassen eines Massedurchflusses, einer Viskosität, einer Dichte und/oder einer davon abgeleiteten Größe eines fließfähigen Mediums
CN111015120B (zh) * 2019-12-26 2021-04-23 安为机电设备制造(上海)有限公司 一种压差式流量计的生产方法
US11619532B2 (en) 2020-04-10 2023-04-04 Malema Engineering Corporation Replaceable, gamma sterilizable Coriolis flow sensors
DE102020112154A1 (de) 2020-05-05 2021-11-11 Endress+Hauser Flowtec Ag Verfahren zur Inbetriebnahme eines Coriolis-Durchflussmessgerätes
DE102020114518A1 (de) 2020-05-29 2021-12-02 Endress+Hauser Flowtec Ag Messaufnehmer eines Coriolis-Durchflussmessgerätes und Coriolis-Durchflussmessgerät
DE102020114519A1 (de) 2020-05-29 2021-12-02 Endress+Hauser Flowtec Ag Messgerät
DE102020121681A1 (de) 2020-08-18 2022-02-24 Endress+Hauser Flowtec Ag Coriolis-Durchflussmessgerät
DE102020127356A1 (de) 2020-10-16 2022-04-21 Endress + Hauser Flowtec Ag Modulares Messgerät
DE102020131452A1 (de) 2020-11-27 2022-06-02 Endress+Hauser Flowtec Ag Coriolis-Durchflussmessgerät
DE102020131563A1 (de) 2020-11-27 2022-06-02 Endress+Hauser Flowtec Ag Messaufnehmer eines Messgerätes und Messgerät
DE102020132686A1 (de) 2020-12-08 2022-06-09 Endress+Hauser Flowtec Ag Messrohrmodul zum Einsatz in einem Coriolis-Durchflussmessgerät und Coriolis-Durchflussmessgerät
DE102020132685A1 (de) 2020-12-08 2022-06-09 Endress+Hauser Flowtec Ag Prozessüberwachungsvorrichtung
DE102020132986A1 (de) 2020-12-10 2022-06-15 Endress+Hauser Flowtec Ag Modulares Coriolis-Durchflussmessgerät
DE102020133614A1 (de) 2020-12-15 2022-06-15 Endress + Hauser Flowtec Ag Modulares Coriolis-Durchflussmessgerät
DE102020133566A1 (de) 2020-12-15 2022-06-15 Endress+Hauser Flowtec Ag Modulares Coriolis-Durchflussmessgerät
DE102020133851A1 (de) 2020-12-16 2022-06-23 Endress+Hauser Flowtec Ag Prozessüberwachungsvorrichtung
DE102021105397A1 (de) 2021-03-05 2022-09-08 Endress+Hauser Flowtec Ag Modulares Messgerät zum Ermitteln einer Dichte eines Messmediums
DE102022113872A1 (de) 2022-06-01 2023-12-07 Endress+Hauser Flowtec Ag Modulares Coriolis-Durchflussmessgerät
DE102022114149A1 (de) 2022-06-03 2023-12-14 Endress+Hauser Flowtec Ag Modulares coriolis-durchflussmessgerät
DE102022114147A1 (de) 2022-06-03 2023-12-14 Endress+Hauser Flowtec Ag Verfahren zum kontaktlosen Ermitteln einer Kondensatbildung

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5373634A (en) * 1993-09-14 1994-12-20 Corning Incorporate Method of forming alternating-flow heat exchangers
US6450042B1 (en) * 2000-03-02 2002-09-17 Micro Motion, Inc. Apparatus for and a method of fabricating a coriolis flowmeter formed primarily of plastic

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA1230473A (en) * 1985-11-21 1987-12-22 Arthur Harrison Method of manufacturing injection molding manifold with plugs
JPH08247816A (ja) * 1995-03-09 1996-09-27 Fuji Electric Co Ltd 質量流量計
US5892159A (en) * 1997-10-17 1999-04-06 Smith; James Everett Mass flow rate meter
US6662120B2 (en) * 2001-06-19 2003-12-09 Endress + Hauser Flowtec Ag Excitation circuits for coriolis mass flowmeters
CA2428495C (en) * 2001-09-21 2007-07-10 Oval Corporation Arcuate-tube-type coriolis flow meter and method for determining shape of the same
US6776053B2 (en) 2001-11-26 2004-08-17 Emerson Electric, Inc. Flowmeter for the precision measurement of an ultra-pure material flow
US7127815B2 (en) 2001-11-26 2006-10-31 Emerson Electric Co. Method of manufacturing a Coriolis flowmeter
US7419418B2 (en) * 2003-08-26 2008-09-02 Ormond, Llc CNC abrasive fluid-jet milling
US7350421B2 (en) * 2004-12-13 2008-04-01 Endress + Hauser Flowtec Ag Vibratory measurement transducer
WO2010103076A1 (de) * 2009-03-11 2010-09-16 Endress+Hauser Flowtec Ag MEßAUFNEHMER VOM VIBRATIONSTYP SOWIE IN-LINE-MEßGERÄT MIT EINEM SOLCHEN MEßAUFNEHMER

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5373634A (en) * 1993-09-14 1994-12-20 Corning Incorporate Method of forming alternating-flow heat exchangers
US6450042B1 (en) * 2000-03-02 2002-09-17 Micro Motion, Inc. Apparatus for and a method of fabricating a coriolis flowmeter formed primarily of plastic

Also Published As

Publication number Publication date
EP2534453A4 (en) 2015-06-24
US8887578B2 (en) 2014-11-18
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WO2011099989A1 (en) 2011-08-18
US20110197650A1 (en) 2011-08-18
US8404076B2 (en) 2013-03-26
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EP2534453A1 (en) 2012-12-19
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