JP3426678B2

JP3426678B2 - セラミック発熱体

Info

Publication number: JP3426678B2
Application number: JP00934694A
Authority: JP
Inventors: 浩昭大山
Original assignee: Kyocera Corp
Current assignee: Kyocera Corp
Priority date: 1994-01-31
Filing date: 1994-01-31
Publication date: 2003-07-14
Anticipated expiration: 2018-07-14
Also published as: JPH07220859A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は１０００℃以上の高温用
のセラミック発熱体に関し、とりわけディーゼルエンジ
ンの始動時やアイドリング時に副燃焼室内を急速に予熱
する自己飽和型グロープラグをはじめ、液体や気体の各
種加熱器、および石油やガス等を用いた各種暖房器や瞬
間湯沸器等の加熱点火用ヒーターに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来よりディーゼルエンジンの始動促進
に用いられるグロープラグや各種加熱器や暖房器、瞬間
湯沸器等の加熱用及び点火用ヒーターとして、耐熱金属
製のシース内にニッケル（Ｎｉ）−クロム（Ｃｒ）等を
主体とする高融点金属線から成る発熱抵抗体を耐熱絶縁
粉末とともに充填埋設したシーズヒーターが使用されて
いた。

【０００３】しかしながら、前記シーズヒーターは、耐
熱金属製のシース内に充填された耐熱絶縁粉末を介して
発熱抵抗体の熱を伝えるために熱伝導が悪く、短時間の
急速昇温が困難であり、その上、耐摩耗性や耐熱性、耐
食性等、耐久性に劣る上、確実な着火という安全性に不
安があるという問題があった。

【０００４】そこで、短時間の急速昇温が可能で、耐摩
耗性や耐熱性、耐食性等、耐久性に優れた発熱体とし
て、無機導電材から成る発熱抵抗体を熱伝導性が良好な
電気絶縁性セラミック焼結体中に埋設一体化したセラミ
ック発熱体が、内燃機関のグロープラグをはじめ、前述
の各種加熱点火用ヒーターとして広く利用されるように
なってきた。

【０００５】しかしながら、前記セラミック発熱体は、
電気絶縁性セラミック焼結体の熱伝導性が良好なために
発熱抵抗体の埋設状態が加熱領域の温度分布に大きく影
響し、所定の温度域を所定の位置に均一に得難く、その
上、電気絶縁性セラミック焼結体と発熱抵抗体との熱膨
張差からセラミック発熱体自体にクラックを発生し、断
線を生じ易いという問題があった。

【０００６】そこで前記問題を解消するものとして、図
４に示すように高強度で耐酸化性に優れた電気絶縁性セ
ラミック焼結体１６中に、位置や寸法を特定した高融点
金属から成る発熱抵抗体１５を埋設したセラミックヒー
タ１７が提案されている（実開平２−２０２９３号公
報、実開平５−３１１９１号公報参照）。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】前記セラミックヒータ
１７では、発熱部の温度分布は設計値に近くなり、電気
絶縁性セラミック焼結体１６と発熱抵抗体１５の熱膨張
差によるクラック発生も軽減されるようにはなってい
る。

【０００８】しかしながら、前記セラミックヒータ１７
を１０００℃以上の高温用のセラミック発熱体として使
用した場合、例えばディーゼルエンジンのグロープラグ
では、確実な着火と始動性を損なわないようにするため
に最高発熱部を先端より５ｍｍ以内に設計する先端発熱
を採用することから、始動時に先端部近傍で赤熱した最
高発熱部のセラミック発熱体表面に、急激に発熱温度よ
り極めて低い温度の液体燃料が直接接触することがあ
り、一方、その他の加熱点火用ヒーターの稼働時にも、
温度の低い液体や気体等の各種媒体や燃料が、発熱して
赤熱した加熱点火用ヒーター先端部近傍の最高発熱部に
直接接触することがある。

【０００９】そのような場合の温度差は９５０℃を越え
る場合があり、しかもその温度差は先端部の最高発熱部
付近に局所的に生じることが多いことから、稼働中に前
記温度差による熱衝撃がセラミック発熱体に加わり、該
セラミック発熱体にクラックを生じて発熱抵抗体自体が
断線する恐れがあり、耐久性に不安が残る上、確実な着
火という安全性と信頼性に劣るという課題があった。

【００１０】

【発明の目的】本発明は前記欠点に鑑み開発されたもの
で、その目的は、先端発熱と急速昇温特性を維持しなが
ら、稼働中に低温度の液体や気体の燃料、あるいは加熱
媒体等が急激にセラミック発熱体の最高発熱部付近に直
接接触して局部的に極めて大きな温度差を生じるような
熱衝撃を受けた場合でも、セラミック発熱体にクラック
を発生して発熱抵抗体自体が断線したりすることがな
く、長時間の連続稼働時の加熱冷却の繰り返しに耐える
高強度かつ耐摩耗性や耐熱性、耐食性等、耐久性と信頼
性に優れたセラミック発熱体を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明のセラミック発熱
体は、電気絶縁性セラミック焼結体中に、例えばスクリ
ーン印刷方法等で形成した２層以上の無機導電材から成
る発熱抵抗体層と、該発熱抵抗体層に接続した高融点金
属の線材から成るリード部と、該リード部に接続する無
機導電材から成る層状の電極取り出し層を、それぞれ電
気絶縁性セラミック焼結体中に埋設して一体化し、少な
くとも最高発熱部の前記発熱抵抗体層表面の最外周が、
電気絶縁性セラミック焼結体の外径に対し１１〜２４％
の距離ｌだけ該電気絶縁性セラミック焼結体の表面より
内側に、かつ発熱抵抗体層の先端が電気絶縁性セラミッ
ク焼結体の先端から０．５〜１．３ｍｍ内側に位置し、
少なくとも最高発熱部から先端側の断面形状が円形を成
すように構成したものであり、少なくとも前記電気絶縁
性セラミック焼結体の最高発熱部が１０００℃以上の温
度差の熱衝撃抵抗を有するか、あるいはその表面粗さが
０．４〜３．０μｍＲ_ｍａｘであることがより望まし
いものである。また、本発明のセラミック発熱体は、発
熱抵抗体層の厚さが、少なくとも最高発熱部で２．３〜
１５０μｍであることが望ましく、さらに８〜５３μｍ
であることがより望ましいものである。

【００１２】

【作用】本発明のセラミック発熱体によれば、電気絶縁
性セラミック焼結体中に、無機導電材の発熱抵抗体層
と、該発熱抵抗体層に接続したリード部と、該リード部
に接続した電極取り出し層を埋設し、少なくとも最高発
熱部の前記発熱抵抗体層の最外周が、電気絶縁性セラミ
ック焼結体の外径に対し１１〜２４％の距離ｌだけ該電
気絶縁性セラミック焼結体の表面より内側に、かつ発熱
抵抗体層の先端が電気絶縁性セラミック焼結体の先端か
ら０．５〜１．３ｍｍ内側に位置するようにするととも
に、少なくとも最高発熱部から先端側の断面形状を円形
とし、より望ましくは前記セラミック発熱体の少なくと
も最高発熱部が１０００℃以上の温度差の熱衝撃抵抗を
有するか、もしくは０．４〜３．０μｍＲ_ｍａｘの表
面粗さを有することから、電気絶縁性セラミック焼結体
の強度が維持されるとともに、良好な熱伝導性から発熱
抵抗体層を囲む電気絶縁性セラミック焼結体が熱衝撃を
緩和するように作用するものである。

【００１３】

【実施例】以下、本発明のセラミック発熱体を図面に基
づき説明する。図１は本発明のセラミック発熱体の一実
施例を示す斜視図であり、図２は本発明のセラミック発
熱体の最高発熱部における横断面を示す図である。

【００１４】図１及び図２において、１は電気絶縁性セ
ラミック焼結体２中に、層状の無機導電材から成る発熱
抵抗体層３と、発熱抵抗体層３に接続したリード部４、
５と、リード部４、５に接続した電極取り出し層６、７
を埋設したセラミック発熱体である。

【００１５】セラミック発熱体１は、略Ｕ字状を成した
少なくとも最高発熱部８に該当する発熱抵抗体層３の最
外周９が、電気絶縁性セラミック焼結体２の外径１０に
対して１１〜２４％の距離ｌだけ、かつ発熱抵抗体層３
の先端が電気絶縁性セラミック焼結体２の先端から０．
５〜１．３ｍｍの距離だけそれぞれ電気絶縁性セラミッ
ク焼結体２の表面より内側に埋設されている。

【００１６】そして、略Ｕ字状の層状の無機導電材から
成る発熱抵抗体層３の各端部に、発熱抵抗体層３より低
抵抗のほぼ同幅の発熱抵抗体層１１を積層するととも
に、発熱抵抗体層１１の端部を発熱抵抗体層３の幅より
狭く形成して発熱抵抗体層３の各端部より突出させ、突
出した発熱抵抗体層１１を介してタングステン（Ｗ）の
線材から成るリード部４、５を接続する。

【００１７】次いで、リード部４、５の他端に無機導電
材から成る層状の複数個に分割した電極取り出し層６、
７をそれぞれ接続するように形成して埋設し、電極取り
出し層６、７の一部をセラミック焼結体２の外周面に露
出させるとともに、発熱抵抗体層３側の電気絶縁性セラ
ミック焼結体２の先端が略球面で、少なくとも発熱抵抗
体層３を埋設したセラミック焼結体２の断面が円形を成
すように構成されている。

【００１８】尚、前記発熱抵抗体層３は、電気絶縁性セ
ラミック焼結体２中に発熱抵抗体層と電気絶縁性セラミ
ック層を交互に積層して発熱抵抗体層を２層以上に形成
しても良い。

【００１９】前記少なくとも最高発熱部８に該当する発
熱抵抗体層３の最外周９の位置が、少なくとも最高発熱
部８に該当する電気絶縁性セラミック焼結体２の外径１
０に対して１１〜２５％の距離ｌに、かつ発熱抵抗体層
３の先端が電気絶縁性セラミック焼結体２の先端から
０．３〜１．５ｍｍの距離に位置する場合には、先端発
熱とすることができるとともに、急速昇温特性を損なう
ことなく９５０℃以上の温度差の大きな熱衝撃抵抗を有
するが、冷熱サイクルの高付加耐久試験での耐久性の点
を考慮すると前記最外周９の位置は１１〜２４％で前記
発熱抵抗体層３の先端の位置は０．５〜１．３ｍｍが良
く、とりわけ抵抗変化率も考慮すると前記最外周９の位
置は１６〜１９％で前記発熱抵抗体層３の先端の位置は
０．８〜１．２ｍｍが最も望ましくなる。

【００２０】一方、前記少なくとも最高発熱部８に該当
する電気絶縁性セラミック焼結体２の表面粗さの値は、
小さければ小さい程、望ましくなるが、研磨加工コスト
の点からは前記表面粗さは０．４〜３．０μm Ｒ_maxが
望ましく、強度を考慮すると０．６〜１．８μm Ｒ_max
が良く、更に熱衝撃抵抗の点を加味すると０．８〜１．
５μm Ｒ_maxが最も望ましい。

【００２１】また、電極取り出し層６、７の無機導電材
の導通抵抗は、発熱抵抗体層３より１００〜１６０Ω程
度低く設定することが必要であり、更に電極取り出し層
６、７は複数に分割することが望ましく、その他、電極
取り出し層６、７は発熱抵抗体層３と同層数設けても良
いが、スルーホール等で電気的に接続して単一層で形成
しても良い。

【００２２】図３は本発明のセラミック発熱体をディー
ゼルエンジンの始動促進に用いる自己飽和型グロープラ
グに適用した一実施例を示す要部断面図である。

【００２３】図３では電気絶縁性セラミック焼結体２中
に、２層から成る無機導電材の発熱抵抗体層３と、発熱
抵抗体層３の各端部に接続したリード部４、５と、各リ
ード部４、５に接続した複数に分割された電極取り出し
層６、７を埋設した断面形状が円形を成すセラミック発
熱体１に、筒状金具１２を外嵌めし、セラミック発熱体
１の側面を研磨して露出させた電極取り出し層６とろう
接して一方の電極端子とし、セラミック発熱体１の一端
に露出させた電極取り出し層７と電極取り出し金具１３
を接続して他方の電極端子としてそれぞれ導出し、取付
金具１４に組付けて電気的に接続するとともに正負の電
極を互いに絶縁した自己飽和型グロープラグが構成され
ている。

【００２４】本発明のセラミック発熱体の電気絶縁性セ
ラミック焼結体としては、高温での耐酸化性や強度に優
れた窒化珪素（Ｓｉ₃Ｎ₄）を主成分とする窒化珪素質
焼結体やサイアロンが好適である。

【００２５】また、無機導電材から成る発熱抵抗体層あ
るいは層状の電極取り出し層の主成分は、タングステン
（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、レニウム（Ｒｅ）等の高
融点金属やタングステン−レニウム（Ｗ−Ｒｅ）等の合
金の他、例えばタングステンカーバイド（ＷＣ）、窒化
チタン（ＴｉＮ）や硼化ジルコニウム（ＺｒＢ₂）等の
第４ａ族、第５ａ族、第６ａ族の炭化物または窒化物等
があり、とりわけタングステンカーバイド（ＷＣ）が設
計のし易さ及び耐久性の点で最も好ましい。

【００２６】更に、電気絶縁性セラミック焼結体が、窒
化珪素（Ｓｉ₃Ｎ₄）を主成分とする窒化珪素質焼結体
の場合には、発熱抵抗体層あるいは電極取り出し層はタ
ングステンカーバイド（ＷＣ）を主成分とし、電気絶縁
性セラミック焼結体の主成分である窒化珪素（Ｓｉ₃Ｎ
₄）粉末を適宜添加混合したものが熱膨張の点から好適
である。

【００２７】即ち、前記無機導電材から成る発熱抵抗体
層を、例えばスクリーン印刷法等で形成する場合には、
熱膨張率を考慮すると炭化タングステン（ＷＣ）が６５
〜９５重量％、窒化珪素（Ｓｉ₃Ｎ₄）が５〜３５重量
％の組成から成るものが良く、とりわけ炭化タングステ
ン（ＷＣ）が７５〜９０重量％、窒化珪素（Ｓｉ
₃Ｎ ₄）が１０〜２５重量％の組成が高温用のセラミッ
ク発熱体としての熱膨張率の点からは最も好ましい。

【００２８】更に、製造時に前記発熱抵抗体層が断線し
たりしないようにするためには、前記発熱抵抗体層の厚
さは少なくとも最高発熱部で２．３〜１５０μm が良
く、とりわけ焼結一体化する際に発熱抵抗体層にクラッ
ク等の不都合を発生しないようにするためには、前記発
熱抵抗体層の厚さは少なくとも最高発熱部で８〜５３μ
m の範囲が望ましい。

【００２９】一方、リード部には、高融点金属としてタ
ングステン（Ｗ）やモリブデン（Ｍｏ）、レニウム（Ｒ
ｅ）等の他に、タングステン−レニウム（Ｗ−Ｒｅ）等
の合金が挙げられるが、比抵抗が低く、焼成一体化して
も特性が変化し難いタングステン（Ｗ）から成る線材が
好適であり、その抵抗値は８０〜１２０Ω程度が、また
線径はセラミック発熱体外径に対して６〜１５％程度の
ものが望ましい。

【００３０】本発明のセラミック発熱体を評価するにあ
たり、先ず、高純度の窒化珪素（Ｓｉ₃Ｎ₄）粉末に、
焼結助剤としてイットリア（Ｙ₂Ｏ₃）や希土類元素の
酸化物を添加混合して調製した造粒体を使用し、プレス
成形法等、周知の成形法により平板状の窒化珪素を主成
分とするセラミック成形体を作製する。

【００３１】次に、タングステンカーバイド（ＷＣ）と
窒化珪素（Ｓｉ₃Ｎ₄）の各微粉末を所定量混合した原
料粉末に溶媒を加えてペーストを調製し、スクリーン印
刷法により設計抵抗値に基づき、各種寸法の略Ｕ字形状
のパターンと略Ｕ字形状のパターンの端部に重ねて幅を
狭くした突出部を有するパターンをそれぞれセラミック
成形体表面に順次形成し、セラミック成形体の側面から
前記パターンの最外周までの距離を種々設定した。

【００３２】一方、電極取り出し層は、８５重量％のタ
ングステンカーバイド（ＷＣ）と１５重量％の窒化珪素
（Ｓｉ₃Ｎ₄）の各微粉末から成るペーストを使用して
前記セラミック成形体の発熱抵抗体層と反対側の端部表
面に、それぞれ前記同様にして幅約０．７ｍｍ、厚さ約
７０μm のパターンを４個、セラミック成形体の側面ま
で平行に所定の配置で形成した。

【００３３】尚、前記発熱抵抗体及び電極取り出し層を
形成するペーストには、窒化硼素（ＢＮ）を適宜添加し
て電気絶縁性セラミック焼結体との熱膨張を調整するこ
とができる。

【００３４】次に、発熱抵抗体層と電極取り出し層を同
一面上にそれぞれ印刷形成したセラミック成形体と、他
のセラミック成形体との間に、リード部として直径０．
２５ｍｍのタングステン（Ｗ）線を、略Ｕ字状の層状の
無機導電材から成る発熱抵抗体層に重ねて形成した低抵
抗の発熱抵抗体層を介して、前記略Ｕ字状に形成した発
熱抵抗体層と電極取り出し層にそれぞれ接続するように
挟み込み、更に、その上に前記同様のタングステン
（Ｗ）線を、発熱抵抗体層と電極取り出し層を印刷形成
しないもう一つのセラミック成形体で挟み込み、炭素
（Ｃ）を含む還元性の雰囲気下、１７５０℃の温度で１
時間、加圧焼成した。

【００３５】かくして得られた２層の発熱抵抗体層を有
するセラミック焼結体の周囲を研磨し、発熱抵抗体層側
の先端を略球面とするとともに断面円形に加工し、埋設
した各電極取り出し層の端面を円柱側面に露出させ、直
径約３．５ｍｍ、長さ約５４ｍｍのセラミック発熱体を
作製した。

【００３６】次に前記セラミック発熱体の少なくとも電
極取り出し層の露出部に、メタライズ法やメッキ法等に
よりニッケル（Ｎｉ）等の金属被膜を形成した後、セラ
ミック発熱体の側面に露出した一方の電極取り出し層と
接続するように筒状金具を外嵌めし、還元性の雰囲気中
で銀ろうにて接合して負電極とし、他方の電極取り出し
層に、線材またはキャップ状の金具より成る電極取り出
し金具を前記同様に銀ろうにて接合して正電極として接
続し、正負の電極を導出した評価用のセラミック発熱体
を作製した。

【００３７】次いで、前記評価用のセラミック発熱体を
使用し、１１〜２４Ｖの直流電圧を印加して飽和温度に
達した後、放射温度計にて非接触で筒状金具から露出し
たセラミック発熱体の先端からの表面温度分布を測定
し、最高発熱部の位置を特定した後、前記評価用のセラ
ミック発熱体をＸ線透過撮影し、撮影フィルムを投影機
で拡大して最高発熱部に該当する位置の発熱抵抗体層の
最外周から電気絶縁性セラミック焼結体表面までの寸法
を測定し、電気絶縁性セラミック焼結体の外径に対する
距離ｌを算出した。

【００３８】また、前記同様にしてＸ線透過撮影フィル
ムからセラミック発熱体の先端から埋設した発熱抵抗体
層の先端迄の距離Ｌを測定して設計値を確認した。

【００３９】一方、前記評価用セラミック発熱体の少な
くとも最高発熱部を含む側面を長手方向にＪＩＳ−Ｂ０
６０１の規格に準じて表面粗さをＲ_maxで計測した。

【００４０】以上の結果に基づき、前記評価用セラミッ
ク発熱体に１１〜２４Ｖの直流電圧を印加して発熱さ
せ、最高発熱部の温度を非接触で計測しながら、設定温
度に到達したのを確認後、溶融した半田浴中に筒状金具
から露出したセラミック発熱体を３回浸漬して最高発熱
部と半田浴との温度差の熱衝撃を加えた後、クラックの
有無を実体顕微鏡で目視検査するとともに、蛍光浸透探
傷法で検出し、クラックを発生しない温度差で熱衝撃抵
抗を評価した。

【００４１】また、前記評価用のセラミック発熱体の一
部を使用して１１Ｖの直流電圧を印加し、通電してから
８００℃の温度に到達するまでの時間を求めて急速昇温
特性を評価した。更に、前記評価用のセラミック発熱体
に１１〜２４Ｖの直流電圧を５分間通電した後、通電を
停止して２分間圧搾空気を吹きつけ強制冷却する工程を
１サイクルとする高負荷耐久試験を、１００００サイク
ルまで実施し、試験前後で測定したセラミック発熱体の
抵抗値が、耐久試験後に２０％以上変化したものを不良
と判定し、耐久性を評価した。以上の結果を表１に示
す。

【００４２】

【表１】

【００４３】尚、前記評価用セラミック発熱体を組み込
んだ自己飽和型グロープラグを，４気筒のディーゼルエ
ンジンの台上試験装置に取り付け、燃料噴射角度を変え
て露出したセラミック発熱体に燃料が直接接触するよう
にし、該ディーゼルエンジンを最高回転数、全負荷の条
件で１００時間運転する耐久試験を行ったが、正常に稼
働していることが確認でき、試験後に非破壊検査を実施
したところ、本発明に係るセラミック発熱体を使用した
自己飽和型グロープラグには、いずれもクラック等の異
常は認められなかった。

【００４４】また、加熱点火用ヒーターとして本発明の
セラミック発熱体を使用した場合にも、熱衝撃でクラッ
クを発生したりすることはなく、確実に着火して安全性
が確保できていることを確認した。

【００４５】

【発明の効果】叙上の如く、本発明のセラミック発熱体
は、電気絶縁性セラミック焼結体中に、２層以上の無機
導電材の発熱抵抗体層と、該発熱抵抗体層に接続したリ
ード部と、該リード部に接続した電極取り出し層を埋設
し、少なくとも最高発熱部に該当する前記発熱抵抗体層
の最外周が、電気絶縁性セラミック焼結体の外径に対し
１１〜２４％の距離だけ、かつ発熱抵抗体層の先端が電
気絶縁性セラミック焼結体の先端から０．５〜１．３ｍ
ｍの距離だけ電気絶縁性セラミック焼結体の表面より内
側に位置し、少なくとも最高発熱部から先端側の断面形
状を円形としたことから、先端発熱を維持しながら急速
昇温特性を損なうことなく、稼働中にセラミック発熱体
が極めて大きな温度差を生じるような熱衝撃を受けて
も、セラミック発熱体にクラックを発生したりせず、長
時間の連続稼働時の熱履歴に耐え、確実に着火して安全
性を確保できる耐久性と信頼性に優れたディーゼルエン
ジン用の自己飽和型グロープラグをはじめ、各種加熱点
火用ヒーターとして最適なセラミック発熱体を得ること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るセラミック発熱体の一実施例を示
す断面図である。

【図２】本発明に係るセラミック発熱体の最高発熱部に
おける横断面を示す図である。

【図３】本発明に係るセラミック発熱体をディーゼルエ
ンジンの始動促進に用いる自己飽和型グロープラグに適
用した一実施例を示す要部断面図である。

【図４】従来のセラミックヒータをディーゼルエンジン
のグロープラグに適用した要部を示す断面図である。

【符号の説明】

１セラミック発熱体２電気絶縁性セラミック焼結体３発熱抵抗体層４、５リード部６、７電極取り出し層８最高発熱部９最外周１０外径

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】電気絶縁性セラミック焼結体中に、２層以
上から成る無機導電材の発熱抵抗体層と、該発熱抵抗体
層に接続したリード部と、該リード部に接続した電極取
り出し層を埋設し、前記無機導電材の発熱抵抗体層を埋
設した前記電気絶縁性セラミック焼結体の、少なくとも
最高発熱部から先端側の断面形状を円形とし、前記最高
発熱部の発熱抵抗体層の最外周は、前記電気絶縁性セラ
ミック焼結体の外径に対し１１〜２４％の距離ｌだけ前
記電気絶縁性セラミック焼結体の表面より内側に、かつ
前記発熱抵抗体層の先端が前記電気絶縁性セラミック焼
結体の先端から０．５〜１．３ｍｍ内側に位置し、前記
無機導電材の発熱抵抗体層を埋設した電気絶縁性セラミ
ック焼結体は、少なくとも最高発熱部の表面粗さが、
０．４〜３．０μｍＲ _ｍａｘであり、かつ１０００℃
以上の熱衝撃抵抗を有することを特徴とするセラミック
発熱体。
【請求項２】前記発熱抵抗体層の厚さが、少なくとも最
高発熱部で２．３〜１５０μｍであることを特徴とする
請求項１記載のセラミック発熱体。
【請求項３】前記発熱抵抗体層の厚さが、少なくとも最
高発熱部で８〜５３μｍであることを特徴とする請求項
１記載のセラミック発熱体。