JP3425538B2 - 回転カップ式薄膜塗布装置 - Google Patents
回転カップ式薄膜塗布装置Info
- Publication number
- JP3425538B2 JP3425538B2 JP12562299A JP12562299A JP3425538B2 JP 3425538 B2 JP3425538 B2 JP 3425538B2 JP 12562299 A JP12562299 A JP 12562299A JP 12562299 A JP12562299 A JP 12562299A JP 3425538 B2 JP3425538 B2 JP 3425538B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hood
- cup
- rotary cup
- thin film
- type thin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Nozzles (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、回転カップの内部
空間に装填された基板上に薬液を塗布する回転カップ式
薄膜塗布装置に係り、特に回転カップ式薄膜塗布装置で
用いられる薬液の選択性を向上させるのに有効な技術に
関するものである。
空間に装填された基板上に薬液を塗布する回転カップ式
薄膜塗布装置に係り、特に回転カップ式薄膜塗布装置で
用いられる薬液の選択性を向上させるのに有効な技術に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の回転カップ式薄膜塗布装
置は、回転カップに上部カップを覆い外部とは遮断した
密閉の閉鎖空間を形成し、その環境下で基板を回転さ
せ、遠心力により薬液を塗布するものが一般的であっ
た。
置は、回転カップに上部カップを覆い外部とは遮断した
密閉の閉鎖空間を形成し、その環境下で基板を回転さ
せ、遠心力により薬液を塗布するものが一般的であっ
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来のこの種の回転カ
ップ式薄膜塗布装置は、カップの回転により閉鎖空間が
減圧されることから風の影響がなくなり、角基板の隅ま
できれいな塗布ができることや、高粘度薬液の塗布が容
易であるとか、表１に示す数々の長所を有している。
ップ式薄膜塗布装置は、カップの回転により閉鎖空間が
減圧されることから風の影響がなくなり、角基板の隅ま
できれいな塗布ができることや、高粘度薬液の塗布が容
易であるとか、表１に示す数々の長所を有している。
【表１】
【０００４】しかしながら、上述のように長所が数多い
回転カップ式薄膜塗布装置であっても、低粘度、低揮発
性といった性質の薬液を塗布する場合、塗布膜に風紋が
生じるなどにより、塗布膜の面内均一性が他の薬液と比
べて劣ることがある。そのため、限られた薬液に対して
のみ、回転カップによる塗布が有効であった。
回転カップ式薄膜塗布装置であっても、低粘度、低揮発
性といった性質の薬液を塗布する場合、塗布膜に風紋が
生じるなどにより、塗布膜の面内均一性が他の薬液と比
べて劣ることがある。そのため、限られた薬液に対して
のみ、回転カップによる塗布が有効であった。
【０００５】本発明は、上記問題を解消するもので、塗
布薬液の性質によって、塗布膜の面内均一性が崩れる現
象を解消し、広範囲の薬液を高精度に塗布することがで
きる回転カップ式薄膜塗布装置を提供することを目的と
する。
布薬液の性質によって、塗布膜の面内均一性が崩れる現
象を解消し、広範囲の薬液を高精度に塗布することがで
きる回転カップ式薄膜塗布装置を提供することを目的と
する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１記載の発明は、軸受体に支持された垂直線の
軸線回りに回転可能に支持され、かつ、外周壁部に薬液
排出孔が設けられた回転カップと、上記回転カップの外
周壁部を囲繞し、かつ、上記薬液排出孔に対応した環状
の薬液回収通路を有するケ−シングとを備え、前記回転
カップの内部空間に装填された基板上に薬液を塗布する
回転カップ式薄膜塗布装置において、前記回転カップ
に、その回転で発生する遠心力を利用して、その回転カ
ップの内部空間に外部の気体を流入させる機構とを備
え、回転カップは、その内部空間が密閉状態又は亜密閉
状態とされ、回転カップの上部フ−ドが多重構造とさ
れ、該上部フ−ドにより単一又は複数のチャンバ構造を
形成しているものである。
に請求項１記載の発明は、軸受体に支持された垂直線の
軸線回りに回転可能に支持され、かつ、外周壁部に薬液
排出孔が設けられた回転カップと、上記回転カップの外
周壁部を囲繞し、かつ、上記薬液排出孔に対応した環状
の薬液回収通路を有するケ−シングとを備え、前記回転
カップの内部空間に装填された基板上に薬液を塗布する
回転カップ式薄膜塗布装置において、前記回転カップ
に、その回転で発生する遠心力を利用して、その回転カ
ップの内部空間に外部の気体を流入させる機構とを備
え、回転カップは、その内部空間が密閉状態又は亜密閉
状態とされ、回転カップの上部フ−ドが多重構造とさ
れ、該上部フ−ドにより単一又は複数のチャンバ構造を
形成しているものである。
【０００７】上記構成において、回転している回転カッ
プ内が遠心力でもって減圧され、そのため、回転カップ
内に外部の気体を流入させる機構を通して、気体を流入
させる。この気流を制御することにより、低粘度、低揮
発性といった性質の薬液を塗布した場合においても、回
転カップ内を密閉閉鎖空間とした場合に比べて、風紋が
生じにくくなり、基板面の全体を均一に塗布することが
できる。
プ内が遠心力でもって減圧され、そのため、回転カップ
内に外部の気体を流入させる機構を通して、気体を流入
させる。この気流を制御することにより、低粘度、低揮
発性といった性質の薬液を塗布した場合においても、回
転カップ内を密閉閉鎖空間とした場合に比べて、風紋が
生じにくくなり、基板面の全体を均一に塗布することが
できる。
【０００８】
【０００９】さらには、密閉状態又は亜密閉状態の内部
空間に、多重構造とされ、チャンバ構造を形成した回転
カップの上部フ−ドを通して気体が流入される。その際
の気流の乱れが生じることが抑制される。そのような気
流があることにより低粘度、低揮発性といった性質の薬
液を塗布する際にも基板面の全体を均一に塗布すること
ができる。
空間に、多重構造とされ、チャンバ構造を形成した回転
カップの上部フ−ドを通して気体が流入される。その際
の気流の乱れが生じることが抑制される。そのような気
流があることにより低粘度、低揮発性といった性質の薬
液を塗布する際にも基板面の全体を均一に塗布すること
ができる。
【００１０】また、請求項２記載の発明は、請求項１記
載の回転カップ式薄膜塗布装置において、前記回転カッ
プは、その内部空間が密閉状態又は亜密閉状態とされ、
回転カップの上部フ−ドの一部又は全部が多孔部材から
なるものである。
載の回転カップ式薄膜塗布装置において、前記回転カッ
プは、その内部空間が密閉状態又は亜密閉状態とされ、
回転カップの上部フ−ドの一部又は全部が多孔部材から
なるものである。
【００１１】上記構成において、上部フ−ドの多孔部材
を通して空気が流入し、その際の気流に乱れが生じるこ
とが抑制される。そのため、上記と同等の作用が得られ
る。
を通して空気が流入し、その際の気流に乱れが生じるこ
とが抑制される。そのため、上記と同等の作用が得られ
る。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。図１、図２において、回
転カップ式薄膜塗布装置１は、円盤状の回転カップ２、
この回転カップ２の上面を覆うフード３、上記回転カッ
プ２が嵌装されるケーシング４、フード３の着脱を行う
フード着脱機構５、回転カップ２を回転させるカップ回
転機構６、および回転カップ２を昇降させる昇降機構７
とから構成されている。
いて図面を参照して説明する。図１、図２において、回
転カップ式薄膜塗布装置１は、円盤状の回転カップ２、
この回転カップ２の上面を覆うフード３、上記回転カッ
プ２が嵌装されるケーシング４、フード３の着脱を行う
フード着脱機構５、回転カップ２を回転させるカップ回
転機構６、および回転カップ２を昇降させる昇降機構７
とから構成されている。
【００１３】回転カップ２は、中径軸部２１と、環状皿
部２２とから構成されている。環状皿部２２の上面は、
上記中径軸部２１の上面と面一、あるいはわずかに低い
面一状になるように寸法設定されており、この面一の面
に塗膜形成を施す基板Ｂが中径軸部２１の中心軸に一致
して載置されるようになっている。上記環状皿部２２の
外周縁部には上方に突出した環状堰部２２ａが設けられ
ており、環状堰部２２ａでフード３を受けるようになっ
ている。フード３が装着された状態でこの環状堰部２２
ａによって囲まれた部分に基板載置空間Ｓが形成され
る。
部２２とから構成されている。環状皿部２２の上面は、
上記中径軸部２１の上面と面一、あるいはわずかに低い
面一状になるように寸法設定されており、この面一の面
に塗膜形成を施す基板Ｂが中径軸部２１の中心軸に一致
して載置されるようになっている。上記環状皿部２２の
外周縁部には上方に突出した環状堰部２２ａが設けられ
ており、環状堰部２２ａでフード３を受けるようになっ
ている。フード３が装着された状態でこの環状堰部２２
ａによって囲まれた部分に基板載置空間Ｓが形成され
る。
【００１４】環状堰部２２ａの下部の周面には基板載置
空間Ｓから外方に向かって斜め下方に傾斜した小径の排
出孔２０１が所定間隔で複数個穿設されており、この排
出孔２０１を介して基板載置空間Ｓ内の余分な塗布剤を
外部に排出するようになっている。
空間Ｓから外方に向かって斜め下方に傾斜した小径の排
出孔２０１が所定間隔で複数個穿設されており、この排
出孔２０１を介して基板載置空間Ｓ内の余分な塗布剤を
外部に排出するようになっている。
【００１５】中径軸部２１の下部には同心の回転軸２３
が垂直線の軸線回りに回転可能に支持されている。中径
軸部２１および回転軸２３の軸心部分にはそれらを貫通
した吸気通路２３ａが形成されており、不図示の真空ポ
ンプを作動することによって回転軸２３の下端部に接続
されたチューブ２３ｂを介して基板Ｂを中径軸部２１に
吸引するようになっている。
が垂直線の軸線回りに回転可能に支持されている。中径
軸部２１および回転軸２３の軸心部分にはそれらを貫通
した吸気通路２３ａが形成されており、不図示の真空ポ
ンプを作動することによって回転軸２３の下端部に接続
されたチューブ２３ｂを介して基板Ｂを中径軸部２１に
吸引するようになっている。
【００１６】回転カップ２は、中径軸部２１の小径部が
筒状の大径軸部２４の筒孔に嵌め込まれた状態で大径軸
部２４に固定されている。この大径軸部２４の上部には
フランジ部が形成され、このフランジ部は上記回転カッ
プ２の環状皿部２２が固定されている。
筒状の大径軸部２４の筒孔に嵌め込まれた状態で大径軸
部２４に固定されている。この大径軸部２４の上部には
フランジ部が形成され、このフランジ部は上記回転カッ
プ２の環状皿部２２が固定されている。
【００１７】大径軸部２４の下部は、支持架台Ｐに穿設
された装着孔Ｐ１に嵌め込まれ、外周面にフランジ２５
ａを有する支持筒体２５に、ベアリング２６を介して嵌
装されている。従って、回転カップ２は、支持架台Ｐに
対して回転軸２３の軸心回りに回転可能になっている。
された装着孔Ｐ１に嵌め込まれ、外周面にフランジ２５
ａを有する支持筒体２５に、ベアリング２６を介して嵌
装されている。従って、回転カップ２は、支持架台Ｐに
対して回転軸２３の軸心回りに回転可能になっている。
【００１８】上記フード３は、フード本体３１、このフ
ード本体３１の中心部が上方に突出した円柱状の把持部
３２、およびフード本体３１の外周縁部が上方に膨出し
た膨出縁部３３から構成されている。この膨出縁部３３
は上記環状堰部２２ａに対応して設けられたもので、膨
出縁部３３の底面部が環状堰部２２ａの上面部に当接す
ることによって回転カップ２を閉止するようになってい
る。上記把持部３２の頂部には後述するフード着脱機構
５による着脱動作を可能にすべくその下の胴部３２ａよ
りも径の大きい鍔部３２ｂが形成されている。
ード本体３１の中心部が上方に突出した円柱状の把持部
３２、およびフード本体３１の外周縁部が上方に膨出し
た膨出縁部３３から構成されている。この膨出縁部３３
は上記環状堰部２２ａに対応して設けられたもので、膨
出縁部３３の底面部が環状堰部２２ａの上面部に当接す
ることによって回転カップ２を閉止するようになってい
る。上記把持部３２の頂部には後述するフード着脱機構
５による着脱動作を可能にすべくその下の胴部３２ａよ
りも径の大きい鍔部３２ｂが形成されている。
【００１９】フード本体３１は、図３に示されているよ
うに、円柱状の把持部３２が形成されたフード上部構成
部材３１０と、膨出縁部３３をなすフード下部構成部材
３１２と、フード上部構成部材３１０とフード下部構成
部材３１２との間に設けられたフード中間部構成部材３
１１とからなる多重構造とされ、複数のチャンバ３１
３，３１４が形成され、かつ、フード上部構成部材３１
０、フード中間部構成部材３１１およびフード下部構成
部材３１２のそれぞれには、回転カップ２とフード３の
回転で発生する遠心力を利用して、その回転カップ２の
内部空間すなわち基板載置空間Ｓに外部の気体を流入さ
せる複数の孔３１５，３１６および３１７が所定の位置
に形成されている。
うに、円柱状の把持部３２が形成されたフード上部構成
部材３１０と、膨出縁部３３をなすフード下部構成部材
３１２と、フード上部構成部材３１０とフード下部構成
部材３１２との間に設けられたフード中間部構成部材３
１１とからなる多重構造とされ、複数のチャンバ３１
３，３１４が形成され、かつ、フード上部構成部材３１
０、フード中間部構成部材３１１およびフード下部構成
部材３１２のそれぞれには、回転カップ２とフード３の
回転で発生する遠心力を利用して、その回転カップ２の
内部空間すなわち基板載置空間Ｓに外部の気体を流入さ
せる複数の孔３１５，３１６および３１７が所定の位置
に形成されている。
【００２０】なお、フード上部構成部材３１０の孔３１
５の形成された位置とフード中間部構成部材３１１の孔
３１６の形成された位置およびフード下部構成部材３１
２の孔３１７の形成された位置はすべて異ならせてい
る。
５の形成された位置とフード中間部構成部材３１１の孔
３１６の形成された位置およびフード下部構成部材３１
２の孔３１７の形成された位置はすべて異ならせてい
る。
【００２１】上記ケーシング４は環状体を有し、大径軸
部２４が嵌め込まれた状態でフランジ２５ａに支持固定
され、その上部は回転カップ２を囲繞している。ケーシ
ング４の内部には液を回収するための環状の回収通路４
０１が形成されており、この回収通路４０１の上部に環
状の排出用帯孔４１が設けられ、この排出用帯孔４１の
開口は上記環状堰部２２ａに穿設された排出孔２０１に
対向して設けられている。従って、回転カップ２の基板
載置空間Ｓから排出された不要物はこの排出用帯孔４１
を介して回収通路４０１内に導入される。回収通路４０
１の周方向一部には下方に向かって垂直孔４２が設けら
れ、回収通路４０１に溜まった不要物はこの垂直孔４２
から外部に排出されるようになっている。
部２４が嵌め込まれた状態でフランジ２５ａに支持固定
され、その上部は回転カップ２を囲繞している。ケーシ
ング４の内部には液を回収するための環状の回収通路４
０１が形成されており、この回収通路４０１の上部に環
状の排出用帯孔４１が設けられ、この排出用帯孔４１の
開口は上記環状堰部２２ａに穿設された排出孔２０１に
対向して設けられている。従って、回転カップ２の基板
載置空間Ｓから排出された不要物はこの排出用帯孔４１
を介して回収通路４０１内に導入される。回収通路４０
１の周方向一部には下方に向かって垂直孔４２が設けら
れ、回収通路４０１に溜まった不要物はこの垂直孔４２
から外部に排出されるようになっている。
【００２２】また、回転カップ式薄膜塗布装置１には、
フード３を回転カップ２に対して着脱するために、フー
ド着脱機構５が設けられている。このフード着脱機構５
は、ケーシング４に囲繞され、フード３を閉止する蓋体
５１、水平腕が蓋体５１に固定されたＬ字アーム５２、
およびこのＬ字アーム５２を上下動させるシリンダ５３
から構成されている。このシリンダロッド５４の上端部
がＬ字アーム５２の垂直腕に固定されている。
フード３を回転カップ２に対して着脱するために、フー
ド着脱機構５が設けられている。このフード着脱機構５
は、ケーシング４に囲繞され、フード３を閉止する蓋体
５１、水平腕が蓋体５１に固定されたＬ字アーム５２、
およびこのＬ字アーム５２を上下動させるシリンダ５３
から構成されている。このシリンダロッド５４の上端部
がＬ字アーム５２の垂直腕に固定されている。
【００２３】蓋体５１の中央部には把持部３２の胴部３
２ａの外径より大径でかつ鍔部３２ｂよりも小径の嵌入
孔５１ａが設けられ、また蓋体５１の中央部には鍔部３
２ｂを内部に収容する伏せ腕部５１ｂが設けられてい
る。シリンダ５３により蓋体５１を上方に引き上げる
と、上記嵌入孔５１ａの縁部が鍔部３２ｂに係合して、
フード３も上方に引き上げられる。
２ａの外径より大径でかつ鍔部３２ｂよりも小径の嵌入
孔５１ａが設けられ、また蓋体５１の中央部には鍔部３
２ｂを内部に収容する伏せ腕部５１ｂが設けられてい
る。シリンダ５３により蓋体５１を上方に引き上げる
と、上記嵌入孔５１ａの縁部が鍔部３２ｂに係合して、
フード３も上方に引き上げられる。
【００２４】また、上記回転カップ２を回転軸２３の軸
心回りに回転させるために、支持架台Ｐの下部にはカッ
プ回転機構６が設けられている。このカップ回転機構６
は、駆動モータ６１、この駆動モータ６１の駆動軸に共
回りするように設けられた駆動プーリ６２、大径軸部２
４およびボールスプライン６３ａと共回りするように設
けられた従動プーリ６３および駆動プーリ６２と従動プ
ーリ６３との間に張設されたベルト６４から構成されて
いる。
心回りに回転させるために、支持架台Ｐの下部にはカッ
プ回転機構６が設けられている。このカップ回転機構６
は、駆動モータ６１、この駆動モータ６１の駆動軸に共
回りするように設けられた駆動プーリ６２、大径軸部２
４およびボールスプライン６３ａと共回りするように設
けられた従動プーリ６３および駆動プーリ６２と従動プ
ーリ６３との間に張設されたベルト６４から構成されて
いる。
【００２５】回転軸２３の外周面にはスプラインが形成
されており、このスプラインに噛合するボールスプライ
ン６３ａが大径軸部２４の筒孔の下部に噛入固定されて
いる。上記従動プーリ６３は大径軸部２４およびボール
スプライン６３ａと共回りするように固定されている。
従って、上記駆動モータ６１の回転力は駆動プーリ６
２、ベルト６４および従動プーリ６３を介して大径軸部
２４およびボールスプライン６３ａに伝達され、また、
上記ボールスプライン６３ａを介して回転軸２３に伝達
され、中径軸部２１および環状皿部２２からなる回転カ
ップ２が回転するようになっている。
されており、このスプラインに噛合するボールスプライ
ン６３ａが大径軸部２４の筒孔の下部に噛入固定されて
いる。上記従動プーリ６３は大径軸部２４およびボール
スプライン６３ａと共回りするように固定されている。
従って、上記駆動モータ６１の回転力は駆動プーリ６
２、ベルト６４および従動プーリ６３を介して大径軸部
２４およびボールスプライン６３ａに伝達され、また、
上記ボールスプライン６３ａを介して回転軸２３に伝達
され、中径軸部２１および環状皿部２２からなる回転カ
ップ２が回転するようになっている。
【００２６】また、回転軸２３の下部には昇降機構７が
設けられている。この昇降機構７は、回転軸２３の下端
部近傍に縦置き状態で設けられた第二シリンダ７１、こ
の第二シリンダ７１のシリンダロッド７２の上端部に結
合された昇降ブロック７３およびこの昇降ブロック７３
の上下動をガイドするための上下方向に延びたガイドレ
ール７４から構成されている。
設けられている。この昇降機構７は、回転軸２３の下端
部近傍に縦置き状態で設けられた第二シリンダ７１、こ
の第二シリンダ７１のシリンダロッド７２の上端部に結
合された昇降ブロック７３およびこの昇降ブロック７３
の上下動をガイドするための上下方向に延びたガイドレ
ール７４から構成されている。
【００２７】上記昇降ブロック７３は、ベアリング７３
ａを介して回転軸２３の下部に結合されており、第二シ
リンダ７１を作動させてシリンダロッド７２を上下動さ
せることにより回転軸２３を上下動させるようになって
いる。回転軸２３が第二シリンダ７１の作動によって上
昇させられると、その頂部に設けられた回転カップ２の
中径軸部２１と大径軸部２４との結合状態が解除され、
中径軸部２１のみが環状皿部２２に対して上方に移動
し、基板Ｂの載置や取り上げ動作が容易に行い得るよう
になる。
ａを介して回転軸２３の下部に結合されており、第二シ
リンダ７１を作動させてシリンダロッド７２を上下動さ
せることにより回転軸２３を上下動させるようになって
いる。回転軸２３が第二シリンダ７１の作動によって上
昇させられると、その頂部に設けられた回転カップ２の
中径軸部２１と大径軸部２４との結合状態が解除され、
中径軸部２１のみが環状皿部２２に対して上方に移動
し、基板Ｂの載置や取り上げ動作が容易に行い得るよう
になる。
【００２８】上記のように構成された回転カップ式薄膜
塗布装置１において、回転カップ２ともどもフード３を
回転させ、回転中の回転カップ２内と静止している外気
との間に圧力差が生じ、回転カップ２の内部空間に外部
の気体が流入し、流入された気体が低粘度、低揮発性と
いった性質の薬液を押圧しつつ遠心力の作用により基板
上面上を移動させることのよって基板上面全体を均一に
塗布することができる。なお、従来の回転カップ式薄膜
塗布装置１のフードを図５に示す。フード３´のフード
本体３１は本実施形態のように多重構成ではなく、外部
の気体を導入させる機構は設けられていない。この従来
のフード３´を用いた場合には、回転カップ２の内部空
間は密閉空間となり、内部に気流が生じない。そのため
塗布しようとする薬液の性質によっては均一な塗布がで
きないものがある。
塗布装置１において、回転カップ２ともどもフード３を
回転させ、回転中の回転カップ２内と静止している外気
との間に圧力差が生じ、回転カップ２の内部空間に外部
の気体が流入し、流入された気体が低粘度、低揮発性と
いった性質の薬液を押圧しつつ遠心力の作用により基板
上面上を移動させることのよって基板上面全体を均一に
塗布することができる。なお、従来の回転カップ式薄膜
塗布装置１のフードを図５に示す。フード３´のフード
本体３１は本実施形態のように多重構成ではなく、外部
の気体を導入させる機構は設けられていない。この従来
のフード３´を用いた場合には、回転カップ２の内部空
間は密閉空間となり、内部に気流が生じない。そのため
塗布しようとする薬液の性質によっては均一な塗布がで
きないものがある。
【００２９】本発明の他の実施例としてのフード本体３
１は、図４に示されるように、円柱状の把持部３２が形
成されたフード上部構成部材３１０と、膨出縁部３３を
なすフード下部構成部材３１２からなり、フード上部構
成部材３１０とフード下部構成部材３１２との間に垂直
部材３１８で小室状の複数のチャンバ３１９が形成さ
れ、かつ、フード上部構成部材３１０、フード中間部構
成部材３１１およびフード下部構成部材３１２のそれぞ
れには、回転カップ２とフード３の回転で発生する遠心
力を利用して、その回転カップの内部空間に外部の気体
を流入させる複数の孔３１５，３２０が所定の位置に形
成される。
１は、図４に示されるように、円柱状の把持部３２が形
成されたフード上部構成部材３１０と、膨出縁部３３を
なすフード下部構成部材３１２からなり、フード上部構
成部材３１０とフード下部構成部材３１２との間に垂直
部材３１８で小室状の複数のチャンバ３１９が形成さ
れ、かつ、フード上部構成部材３１０、フード中間部構
成部材３１１およびフード下部構成部材３１２のそれぞ
れには、回転カップ２とフード３の回転で発生する遠心
力を利用して、その回転カップの内部空間に外部の気体
を流入させる複数の孔３１５，３２０が所定の位置に形
成される。
【００３０】フード上部構成部材３１０に形成された孔
３１５とフード下部構成部材３１２に形成された孔３２
０とは互いに孔中心が一致した状態とされ、それらの間
に小室状の複数のチャンバ３１９が形成されている。
３１５とフード下部構成部材３１２に形成された孔３２
０とは互いに孔中心が一致した状態とされ、それらの間
に小室状の複数のチャンバ３１９が形成されている。
【００３１】フード本体３１は、上記の例の他に図示し
ないが、フード上部の全部または一部がセラミック材の
ような多数の細かな空隙を有する多孔部材から構成する
ことができる。この構成において、その空隙を流入した
きめ細かな気体の流入で、流入時の気体の乱流を抑制し
つつ、流入された気体が低粘度、低揮発性といった性質
の薬液を押圧しつつ遠心力の作用により基板上面全体に
均一に拡げ、均一な塗布膜を形成することができる。
ないが、フード上部の全部または一部がセラミック材の
ような多数の細かな空隙を有する多孔部材から構成する
ことができる。この構成において、その空隙を流入した
きめ細かな気体の流入で、流入時の気体の乱流を抑制し
つつ、流入された気体が低粘度、低揮発性といった性質
の薬液を押圧しつつ遠心力の作用により基板上面全体に
均一に拡げ、均一な塗布膜を形成することができる。
【００３２】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、回転カッ
プ密閉内部空間に外部の気体が流入し、この気流の存在
により、基板上に塗布される薬液が低粘度、低揮発性と
いった性質のものであっても、基板面全体に均一に拡が
り、均一な塗布膜が形成される。従って、広範囲の薬液
について高精度に塗布することができる。
プ密閉内部空間に外部の気体が流入し、この気流の存在
により、基板上に塗布される薬液が低粘度、低揮発性と
いった性質のものであっても、基板面全体に均一に拡が
り、均一な塗布膜が形成される。従って、広範囲の薬液
について高精度に塗布することができる。
【図１】本発明の一実施形態による回転カップ式薄膜塗
布装置の一部切欠き斜視図である。
布装置の一部切欠き斜視図である。
【図２】図１のＡ―Ａ線断面図である。
【図３】本発明のフード全体の一例を示す断面図であ
る。
る。
【図４】本発明のフード全体の他例を示す断面図であ
る。
る。
【図５】従来のフードの例を示す断面図である。
１ 回転カップ式薄膜塗布装置
２ 回転カップ
３ フード
４ ケーシング
３１０ フード上部構成部材
３１１ フード中間部構成部材
３１２ フード下部構成部材
３１３ チャンバ
３１４ チャンバ
３１５ 孔
３１６ 孔
３１７ 孔
３１９ チャンバ
３２０ 孔
Ｂ 基板
Ｓ 基板載置空間（内部空間）
Claims (2)
- 【請求項１】 軸受体に支持された垂直線の軸線回りに
回転可能に支持され、かつ、外周壁部に薬液排出孔が設
けられた回転カップと、上記回転カップの外周壁部を囲
繞し、かつ、上記薬液排出孔に対応した環状の薬液回収
通路を有するケ−シングとを備え、前記回転カップの内
部空間に装填された基板上に薬液を塗布する回転カップ
式薄膜塗布装置において、 前記回転カップに、その回転で発生する遠心力を利用し
て、その回転カップの内部空間に外部の気体を導入させ
る機構を備え、 前記回転カップは、その内部空間が密閉状態又は亜密閉
状態とされ、回転カップの上部フ−ドが多重構造とさ
れ、該上部フ−ドが単一又は複数のチャンバ構造を形成
している ことを特徴とする回転カップ式薄膜塗布装置。 - 【請求項２】 前記回転カップは、その内部空間が密閉
状態又は亜密閉状態とされ、回転カップの上部フ−ドの
一部又は全部が多孔部材からなることを特徴とする請求
項１記載の回転カップ式薄膜塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12562299A JP3425538B2 (ja) | 1999-05-06 | 1999-05-06 | 回転カップ式薄膜塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12562299A JP3425538B2 (ja) | 1999-05-06 | 1999-05-06 | 回転カップ式薄膜塗布装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000317353A JP2000317353A (ja) | 2000-11-21 |
| JP3425538B2 true JP3425538B2 (ja) | 2003-07-14 |
Family
ID=14914634
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12562299A Expired - Fee Related JP3425538B2 (ja) | 1999-05-06 | 1999-05-06 | 回転カップ式薄膜塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3425538B2 (ja) |
-
1999
- 1999-05-06 JP JP12562299A patent/JP3425538B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000317353A (ja) | 2000-11-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7661385B2 (en) | Device for spin-coating substrates | |
| CN108428644A (zh) | 基板处理装置 | |
| JP3425538B2 (ja) | 回転カップ式薄膜塗布装置 | |
| JP4895984B2 (ja) | 塗布処理装置 | |
| JP2977440B2 (ja) | 吸引チャック式基板回転処理装置 | |
| JP2000140505A (ja) | 脱気装置及び脱気方法 | |
| JPS584926A (ja) | 回転塗布装置 | |
| JP2756639B2 (ja) | 回転カップ式処理装置 | |
| JP2995262B2 (ja) | 回転カップ式薬液処理装置 | |
| JP3189113B2 (ja) | 処理装置及び処理方法 | |
| JPS59217329A (ja) | スピンナ装置 | |
| JP3569477B2 (ja) | 回転カップ式薬液塗布装置 | |
| JPH0461955A (ja) | 回転式塗布装置 | |
| KR20050050818A (ko) | 스핀 코팅 방법 및 그에 적합한 장치 | |
| JPH081067A (ja) | 回転カップ式薬液処理装置の洗浄構造 | |
| JP2001276714A (ja) | スピン処理装置 | |
| JP2995263B2 (ja) | 回転式薬液処理装置のシール構造 | |
| JP2009043838A (ja) | 薬液塗布装置 | |
| JPH03129826A (ja) | レジスト膜形成装置 | |
| JP2708340B2 (ja) | 回転式塗布装置 | |
| JP3378141B2 (ja) | 基板回転処理装置 | |
| JP3086446B2 (ja) | 回転式塗布装置および回転式塗布方法 | |
| JP4025414B2 (ja) | スピン処理装置 | |
| JP5285881B2 (ja) | 塗布装置 | |
| JP2012061387A (ja) | スピンコータ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030401 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080502 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090502 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100502 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100502 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110502 Year of fee payment: 8 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |