JP3412672B2 - 半導体装置、およびこの半導体装置の製造方法 - Google Patents

半導体装置、およびこの半導体装置の製造方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本願発明は、強誘電体メモリ
チップと他の半導体チップとを電気的に導通させた半導
体装置、およびこの半導体装置の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】近年においては、誘電率の高い強誘電体
の自発分極を利用した不揮発性メモリ、すなわち強誘電
体メモリ(フェロエレクトリック・ランダム・アクセス
・メモリ、以下「FRAM」という)の開発が盛んに行
われている。このFRAMは、通常のCMOSトランジ
スタ層の上部にプレーナ型強誘電体キャパシタが形成さ
れた構造となっており、分極方向を反転させることによ
って極めて高速かつ低電圧で情報の書き換えが可能なメ
モリである。
【0003】ところが、FRAMに使用されている強誘
電体は、温度を高くすると、ある温度(キューリー温
度)以上で強誘電性を失って常誘電性への転移が起こ
り、自発分極しなくなってしまう。一般的に、FRAM
に使用されている強誘電体のキューリー温度は、170
〜180℃であり、これを有するFRAMが強誘電体の
キューリー温度以上に加熱されれば、動作が不安定とな
り、場合によっては動作しなくなってしまう。すなわ
ち、FRAMは、熱に弱いといった欠点を有する。
【0004】ところで周知のように、FRAMに限ら
ず、半導体チップは、外部との電気的導通を図るべくリ
ードフレームの内部リード、あるいは基板上の回路パタ
ーンなどとの間が、たとえば金属ワイヤを用いて電気的
な接続が図られている。このような金属ワイヤを用いた
電気的な接続は、熱圧着ボンディングあるいは超音波ボ
ンディングなどの方法によって行われている。
【0005】熱圧着ボンディングは、ヒータなどによっ
て比較的高温(400℃程度)にボンディング対象物を
予め加熱しておき、金属ワイヤをボンディング対象部位
に強く圧し付けることにより行われるが、ボンディング
対象物を400℃程度に加熱しなければならないため、
熱に弱い半導体チップをボンディング対象物とする場合
には不向きである。一方、超音波ボンディングは、ボン
ディング対象物を加熱せずに、金属ワイヤをボンディン
グ対象部位に圧し付けた状態で超音波を付与することに
より行われるが、あまり大きな超音波を付与すると金属
ワイヤが切断されてしまうといった欠点を有する。
【0006】このため、熱圧着ボンディングおよび超音
波ボンディングのそれぞれ欠点を補うべく、比較的低温
(200℃程度)にボンディング対象物を加熱してお
き、金属ワイヤをボンディング対象部位に圧し付けた状
態であまり大きくない超音波を付与する方法、すなわち
サーモソニックボンディング(熱超音波ボンディング)
が良く採用されている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、熱超音
波ボンディングは、半導体チップの加熱温度が200℃
程度であるため、一般的な半導体チップのワイヤボンデ
ィングには好適に採用しうるが、上述したFRAMのよ
うに、170〜180℃で動作が不安定になる極めて熱
に弱い半導体チップのワイヤボンディングには不向きで
ある。
【0008】また、通常、半導体チップの表面には、ワ
イヤボンディング用のボンディングパッドがアルミニウ
ムなどによって形成されているが、アルミニウムが酸化
して酸化膜を形成し易いすいため、形成された酸化膜に
よってボンディングパッドとボンディングワイヤとの間
の接合性が悪いといった不具合が生じていた。この不具
合は、ワイヤボンディング時の温度が高くなればなるほ
ど顕著に現れる。このような不具合を解消するために
は、形成された酸化膜を除去するために、ボンディング
部位に付与する超音波振動を大きくしなければならず、
この場合には、上述したように金属ワイヤが切断されて
しまうといった事態が生じかねない。
【0009】本願発明は、上記した事情のもとで考え出
されたものであって、強誘電体メモリチップの特性を損
なうことなく、この強誘電体メモリチップと所望の接続
対象物との電気的導通を図れるようにすることをその課
題としている。
【0010】
【発明の開示】上記の課題を解決するため、本願発明で
は、次の技術的手段を講じている。
【0011】すなわち、本願発明の第1の側面によれ
ば、強誘電体メモリチップと半導体チップとの間の電気
的導通が図られた半導体装置であって、上記半導体チッ
プは、電極パッドに金製のバンプ端子が形成されてお
り、上記強誘電体メモリチップは、電極パッドに金製バ
ンプが形成されているとともに、この金製バンプが上記
半導体チップのバンプ端子に対して、熱超音波ボンディ
ングの手法を利用して形成された金製部材を介して接続
されていることを特徴とする、半導体装置が提供され
る。
【0012】上記構成の半導体装置では、強誘電体メモ
リチップの電極パッド上に金製バンプが形成され、半導
体チップの電極パッド上に金製のバンプ端子が形成され
ているため、金製バンプやバンプ端子によって電極パッ
ドが覆われて保護された恰好とされ、電極パッドが酸化
されてしまうことが回避されている。また、上記金製バ
ンプやバンプ端子は、金によって形成されているため、
従来のアルミニウムの電極パッドなどと比較すれば、そ
の表面に酸化膜が形成されるようなことは起こりにくい
といった利点を有する。そして、本願発明では、上記強
誘電体メモリチップの金製バンプと上記半導体チップ
金製のバンプ端子との電気的導通を図るための部材が金
製であるため、上記金製部材の表面も酸化されにくいの
はいうまでもない。このため、上記金製バンプやバンプ
端子と上記金製部材との間は、酸化膜が形成されにくい
ものどうしの接続であるため、これらの接続に際して酸
化膜を除去するために接続すべき部位に大きなエネルギ
を付与する必要はない。
【0013】上記金製部材として金線ワイヤを採用する
ことができるが、この場合には、上記強誘電体メモリチ
ップと上記半導体チップとの間の接続は、いわゆる熱超
音波ボンディングによって行われる。上述したように、
熱超音波ボンディングは、ヒータなどによって所定の温
度にボンディング対象物を予め加熱しておき、金線ワイ
ヤをボンディング対象部位に強く圧し付ける同時に、超
音波を付与することにより行われる。従来では、接続対
象物を、たとえば200℃程度まで加熱する必要があ
り、これによりアルミニウムなどの電極パッドの酸化が
一段と進行してしまっていたために、金線ワイヤと電極
パッドとの間の接続性を高めるべくアルミニウム酸化膜
を除去する必要があった。このため、金線ワイヤと電極
パッドとの間の接続部位に、酸化膜を除去してクリア面
を露出させた状態で接続するために比較的大きな超音波
を付与しなければならず金線ワイヤが切断されてしまう
おそれがあった。
【0014】本願発明では、上述したように、上記電極
パッドの表面を保護するようにして金製バンプが形成さ
れているので、ボンディング時に上記強誘電体メモリチ
ップを加熱した場合であっても上記電極パッドが酸化さ
れるような事態は起こりにくい。しかも、上記強誘電体
メモリチップや半導体チップにおける上記金線ワイヤが
ボンディングされる部位は、酸化されにくい金製であ
り、上記金線ワイヤも酸化されにくいものであるため、
ボンディングに際して酸化膜を除去するといったことを
あまり考慮する必要はないため、上記金製バンプやバン
プ端子と上記金線ワイヤと接続に際して付与するエネル
ギを低減させることができる。さらに、接続される部位
がそれぞれ同種の金属(金と金)であるため、従来の異
種金属の接続(たとえば金とアルミニウム)に比べて小
さなエネルギ付与によって上記金製バンプやバンプ端子
と上記金線ワイヤと接続することができる一方、接続部
が金−金接続であるため良好な接続状態を維持すること
ができる。
【0015】このように、本願発明では、小さなエネル
ギの付与によって上記金製バンプと上記金線ワイヤとを
接続することができるため、上記強誘電体メモリチップ
と外部との電気的導通を図るべく行われる金線ワイヤを
用いた熱超音波ボンディングが、上記強誘電体メモリチ
ップを加熱する温度を、たとえば100℃程度とし、し
かも従来よりも小さな熱超音波の付与によって遂行する
ことができるようになる。したがって、本願発明では、
たとえ170〜180℃程度で動作が不安定になる熱に
弱い強誘電体メモリチップであっても、その特性を損な
うことなく、しかもボンディングワイヤが切断される懸
念もなく金線を用いたワイヤボンディングによって上記
強誘電体メモリチップと外部との電気的導通を図ること
ができる。
【0016】なお、接続対象物たる半導体チップは、強
誘電体メモリチップであってもよいし、その他の種類の
半導体チップであってもよく、適宜選択される。
【0017】好ましい実施の形態においてはまた、対向
状とされた上記強誘電体メモリチップの金製バンプと上
半導体チップのバンプ端子との間に、上記金製部材が
介在させられている。
【0018】上記構成の半導体装置においても、上記金
製部材と上記強誘電体メモリチップの金製バンプや上記
半導体チップのバンプ端子との間の接続に関しては、上
述した効果を享受することができる。すなわち、互いの
接続部位が金であるため、それぞれが酸化膜が形成され
にくい上に、同種の金属どうしの接続であるため、接続
に際して必要とされるエネルギが小さくてよいといった
利点を有する。
【0019】このような半導体装置においては、たとえ
ば上記金製部材として、上記強誘電体メモリチップの金
製バンプまたは上記半導体チップのバンプ端子から突出
形成された圧縮変形可能なスタッドバンプを採用するこ
とができる。
【0020】上記スタッドバンプを介して上記金属バン
プと上記バンプ端子とを接続する場合には、たとえば上
半導体チップのバンプ端子を強誘電体メモリチップの
金製バンプ上に形成されたスタッドバンプに圧し付ける
ことにより行われる。このとき、上記スタッドバンプが
圧縮変形可能とされているために、上記スタッドバンプ
が圧縮変形することにより、上記強誘電体メモリチップ
やこれの接続対象物に必要以上に荷重が加えられてしま
うことが回避されている。すなわち、上記強誘電体メモ
リチップの金製バンプと上記半導体チップのバンプ端子
との間に介在するスタッドバンプによって外的に加えら
れた荷重が吸収されることによって上記強誘電体メモリ
チップやこれの接続対象物たる半導体チップが損傷して
しまうことが回避されている。もちろん、上記スタッド
バンプは、上記強誘電体メモリチップと上記半導体チッ
を接続する場合だけではなく、これらが接続された状
態においても外的に加えられた荷重を吸収して上記強誘
電体メモリチップやこれの接続対象物たる半導体チップ
が損傷してしまうことを回避することができる。
【0021】なお、上記スタッドバンプとしては、先端
部が尖った形状とされて、特に先端部が圧縮変形可能と
されたもの、あるいは所定の部位が脆弱状とされて圧縮
変形可能とされたものなどが採用される。たとえば、上
記スタッドバンプの先端部が尖った形状のスタッドバン
プは、ワイヤボンディング工程のファーストボンディン
グと略同様な操作などによって形成することもできる
(この点についての詳細は後述する)。このため、半導
体装置の製造工程においてワイヤボンディング工程を必
要とする場合には、同じ工程において上記スタッドバン
プを形成することができ、製造工程を簡略化することが
できる。また、本願発明に係る半導体装置を製造する際
におけるワイヤボンディング工程は、100℃程度の加
熱によって行えるのも上述の通りであり、上記スタッド
バンプも100℃程度の加熱によって形成することがで
きるため、上記スタッドバンプを形成する工程において
上記強誘電体メモリチップが熱によってその特性が劣化
してしまうこともない。
【0022】好ましい実施の形態においてはさらに、上
記強誘電体メモリチップの金製バンプ形成面と、上記
導体チップの端子バンプ形成面とは、樹脂製の接着剤に
よって接合されている。
【0023】ところで、上記強誘電体メモリチップに限
らず、半導体チップにおいては、端子形成面(金製バン
プ形成面)と回路素子が形成された面が一致している場
合が多い。このような場合には、上記強誘電体メモリチ
ップの金製バンプ形成面と上記半導体チップの端子バン
プ形成面とを樹脂製の接着剤によって機械的に接合すれ
ば、これらが接合された状態においては、上記樹脂製接
着剤によって回路素子が保護されることとなる。たとえ
ば、上記接続対象物が半導体チップである、いわゆるチ
ップ・オン・チップ方式の接合の場合に、双方の半導体
チップの端子形成面に回路素子が形成されているような
ときには、これらの半導体チップのそれぞれの回路素子
が上記樹脂製接着剤によって保護されていることにな
る。
【0024】上述したように、上記スタッドバンプは、
たとえばワイヤボンディング工程のファーストボンディ
ングと略同様な操作によって形成することができ、ま
た、本願発明に係る半導体装置を製造する際におけるワ
イヤボンディング工程は、100℃程度において行える
のも上述の通りである。すなわち、ワイヤボンディング
工程に引き続いて行われる上記強誘電体メモリチップと
上記半導体チップとの間の電気的接続および機械的接合
を、上記強誘電体メモリチップをワイヤボンディング工
程と同様に100℃程度に加熱して行うとすれば、機械
的接合を図るために使用される上記樹脂製接着剤として
は、100℃程度で硬化する接着剤、たとえばエポキシ
系またはフェノール系の樹脂を用いるのが好ましい。す
なわち、ワイヤボンディング工程が行われる温度で硬化
する樹脂製接着剤を使用すれば、接着剤を用いた上記強
誘電体メモリチップと上記半導体チップとの間の機械的
な接合を図るために、さらにワイヤボンディング工程が
行われる温度以上に加熱するなどする必要がなく、ま
た、加熱炉に搬入して加熱せずともワイヤボンディング
工程時の熱を利用して機械的な接合を図れるといった利
点が得られる。
【0025】本願発明の第の側面によれば、強誘電体
メモリチップと半導体チップとの間の電気的導通が図ら
れた半導体装置の製造方法であって、上記強誘電体メモ
リチップの所定部位に金製バンプを形成する工程と、上
半導体チップの所定部位に金製のバンプ端子を形成す
る工程と、上記強誘電体メモリチップの金製バンプまた
は上記半導体チップのバンプ端子に圧縮変形可能なスタ
ッドバンプを金により突出形成するスタッドバンプ形成
工程と、上記金製バンプと上記バンプ端子とを対向状と
するとともに、上記強誘電体メモリチップの金製バンプ
と上記半導体チップのバンプ端子との間に上記スタッド
バンプを介在させる工程と、を含み、かつスタッドバン
プ形成工程は、熱超音波ボンディングの手法を利用して
行うことを特徴とする、半導体装置の製造方法が提供さ
れる。
【0026】上記強誘電体メモリチップや上記半導体チ
ップに金製のバンプを形成する工程は、たとえば電気メ
ッキなどの手段を施すことによって上記電極パッド上に
金メッキ層を形成することにより行われる。具体的に
は、たとえばシリコン基板などに所望の回路素子が一体
的に造り込まれたウエハの表面に、上記電極パッドが臨
むような状態でフォトレジスト層を形成し、このウエハ
を電解液に漬け込んでウエハを陰極として通電して上記
電極パッド上に金メッキ層を形成することにより行われ
る。もちろん、上記電極パッド上に金メッキが形成され
た後には、フォトレジスト層が剥離処理などされて金メ
ッキされた部位が金製バンプとされ、上記ウエハが分画
されて金製のバンプが形成された強誘電体メモリチップ
半導体チップとしての半導体チップが得られる。
【0027】このような電気メッキ工程は、各電極間が
通電されて電解液の温度が上昇したとしても、たいてい
の場合は電解液温度が100℃以下であり、また、上記
ウエハが電解液に漬け込まれて大気に触れない状態で行
われるので、たとえ上記電極パッドが酸化されやすいア
ルミニウムで形成されている場合であっても、さほど上
記電極パッドに酸化膜が形成されることを懸念する必要
はない。このようにして形成された金製のバンプは、上
記電極パッドの表面に酸化膜があまり形成されていない
状態で形成されているために上記電極パッドと良好に接
続された状態とされている。
【0028】上記スタッドバンプを上記電極パッド上に
突出形成する工程は、たとえば金線を用いたワイヤボン
ディング工程の、いわゆるファーストボンディングと略
同様な操作によって行うことができる。具体的には、た
とえば以下のようにして行われる。まず、キャピラリと
呼ばれる治具内に挿通された金線ワイヤの先端部を、上
記キャピラリの先端部から突出させておき、金線ワイヤ
の先端部を水素炎などによって加熱溶融させて溶融状態
の金ボールを形成する。ついで、上記キャピラリを移動
させて上記電極パッドに上記金ボールを圧し付けて固着
する。このとき、上記金線ワイヤが完全に固化していな
い状態、あるいは固化した状態で、上記キャピラリを上
動させることによって金線ワイヤを引きちぎることによ
り上記スタッドバンプが上記電極パッド上に形成され
る。
【0029】このように、上記スタッドバンプは、ワイ
ヤボンディング工程のファーストボンディングと略同様
な操作によって形成することができるため、半導体装置
を製造する際にワイヤボンディング工程が必要な場合に
は、上記スタッドバンプを形成する工程を別途設けるま
でもなく、ワイヤボンディング工程と同じ工程において
上記スタッドバンプを形成することができる。なお、上
記金線ワイヤは、上記キャピラリの上動によらず、外力
によって切断してもよいのはいうまでもなく、また、上
記金ボールを圧し付ける際に上記キャピラリを介して
音波振動が付与される。もちろん、上記スタッドバンプ
の形成方法は、上記した方法には限定されず、熱超音波
ボンディングの手法を利用している限りは、その他の方
法であってもよい。
【0030】好ましい実施の形態においては、上記強誘
電体メモリチップの金製バンプと上記半導体チップのバ
ンプ端子との間に上記スタッドバンプを介在させる工程
は、上記強誘電体メモリチップの金製バンプ形成面また
は上記半導体チップの端子形成面のいずれかに樹脂製の
接着剤が塗布または貼着された状態で行われ、また、上
記樹脂製の接着剤としては、エポキシ系の樹脂接着剤ま
たはフェノール系の樹脂接着剤を使用するのが好まし
い。
【0031】すなわち、上記強誘電体メモリチップの金
製バンプ形成面、あるいは上記半導体チップの端子形成
面に、液状樹脂または固体シート状樹脂を塗布または貼
着した状態で、上記強誘電体メモリチップの金製バンプ
と上記半導体チップのバンプ端子との間に上記スタッド
バンプを介在させれば、上記樹脂接着剤も上記強誘電体
メモリチップの金製バンプ形成面と上記半導体チップ
端子形成面との間に介在させられることとなる。
【0032】上述したように、半導体装置の製造工程に
おいてワイヤボンディング工程が必要とされる場合に
は、このワイヤボンディング工程は上記強誘電体メモリ
チップや半導体チップを100℃程度に加熱すれば行う
ことができ、上記スタッドバンプも100℃程度の加熱
によって行うことができる。このため、100℃程度の
熱によって硬化するエポキシ系の樹脂接着剤またはフェ
ノール系の樹脂製接着剤などを使用すれば、上記強誘電
体メモリチップと上記半導体チップと機械的接合が上記
ワイヤボンディング工程や上記スタッドバンプ形成工程
と同じ工程および同じ加熱状態によって行うことができ
る。すなわち、上記強誘電体メモリチップと上記半導体
チップと機械的接合を図るために、加熱炉に搬入すると
いった操作を不要とし、また、ワイヤボンディング工程
時の加熱を利用して上記強誘電体メモリチップと上記
導体チップと機械的接合を図ることができる。もちろ
ん、上記強誘電体メモリチップと上記半導体チップと機
械的接合を100℃程度で図ることができるため、この
接合工程において熱に弱い上記強誘電体メモリチップの
特性が劣化してしまうこともない。
【0033】本願発明の第の側面によれば、強誘電体
メモリチップと半導体チップとの間の電気的導通が図ら
れた半導体装置の製造方法であって、上記強誘電体メモ
リチップの所定部位に金製バンプを形成する工程と、上
半導体チップの所定部位に金製のバンプ端子を形成す
る工程と、上記金製バンプ上記半導体チップのバンプ
端子との間を金線ワイヤにより接続する金線ワイヤ接続
工程と、を含み、かつ上記金線ワイヤ接続工程は、熱超
音波ボンディングの手法を利用して行うことを特徴とす
る、半導体装置の製造方法が提供される。
【0034】上記製造方法においても、金製バンプを形
成する工程は、上述した第の側面に記載された方法と
同様な方法によって行うことができる。また、上記金線
ワイヤ接続工程は、周知の熱超音波ワイヤボンディング
の手法によって行うことができる。
【0035】特に、本願発明では、金製バンプに金線ワ
イヤをボンディングするようになされているので、上述
したように、超音波を付与することを条件に100℃程
度の加熱によって行うことができる。このため、上記製
造方法においても上記強誘電体メモリチップがその特性
が劣化してしまうことなく半導体装置を製造することが
できる。
【0036】なお、接続対象物たる半導体チップは、強
誘電体メモリチップであってもよいし、その他の種類の
半導体チップであってもよく、適宜選択される。
【0037】本願発明のその他の特徴および利点は、添
付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より
明らかとなろう。
【0038】
【発明の実施の形態】以下、本願発明の好ましい実施の
形態を、図面を参照して具体的に説明する。
【0039】図1は、本願発明に係る半導体装置の一例
を表す透視斜視図であり、図2は、図1のII−II線に沿
う断面図である。
【0040】図1および図2に示すように、上記半導体
装置1は、ポリイミド樹脂製などのフィルム基板2と、
このフィルム基板2上に実装される強誘電体メモリチッ
プ(フェロエレクトリック・ランダム・アクセス・メモ
リ・チップ、以下「FRAMチップ」という)3と、こ
のFRAMチップ3と電気的な導通が図られた半導体チ
ップ4とを備えて大略構成されている。
【0041】図1および図2に良く表れているように、
上記フィルム基板2の両端部には、それぞれ4つの貫通
孔20aが形成されており、これらの貫通孔20aの形
成部位に対応して端子20が計8個形成されている。こ
れらの各端子20は、上記フィルム基板2の上面に形成
された薄状端子部22と上記フィルム基板2の下面に形
成されたボール状端子部21とを有しており、もちろん
上記薄状端子部22と上記ボール状端子部21とは上記
貫通孔20aを介して電気的に導通している。なお、上
記薄状端子部22は、たとえば銅などによって形成され
ており、上記ボール状端子部21は、たとえばハンダな
どによって形成されている。
【0042】上記FRAMチップ3は、誘電率の高い強
誘電体の自発分極を利用した不揮発性メモリチップであ
り、図2に良く表れているように、その主面3aの両側
部には、それぞれ第1電極パッド30および第2電極パ
ッド31が、たとえばアルミニウムなどによって形成さ
れている。もちろん、これらの各電極パッド30,31
は、上記FRAMチップ3に一体的に形成された図示し
ない回路素子と電気的に導通している。上記第1および
第2電極パッド30,31上には、金メッキを施すなど
して第1金製バンプ30aおよび第2金製バンプ31a
が上記主面3aから突出してそれぞれ形成されている。
上記各第2金製バンプ31a上には、圧縮変形可能なス
タッドバンプ7が金により形成されている。このスタッ
ドバンプとしては、少なくとも所定の部位が脆弱状とさ
れて圧縮変形可能とされたものが採用される。なお、上
記FRAMチップ3は、たとえば樹脂製の接着剤60に
よって上記フィルム基板2と接合されている。
【0043】図1および図2に良く表れているように、
上記フィルム基板2の端子20と上記FRAMチップ3
の第1金製バンプ30aとは、金製部材としての金線ワ
イヤ50を介して接続されて電気的な導通が図られてい
る。上記端子20と上記第1金製バンプ30aとの金線
ワイヤ5による接続は、たとえば周知の熱超音波ワイヤ
ボンディングによって行われる。この熱超音波ボンディ
ングは、ヒータなどによって所定の温度に上記FRAM
チップ3およびフィルム基板2を予め加熱しておき、金
線ワイヤ5を上記FRAMチップ3の第1金製バンプ3
0aあるいは上記フィルム基板2の薄状端子部22に強
く圧し付ける同時に、超音波を付与することにより行わ
れる。
【0044】上述したように、従来では、ワイヤボンデ
ィング対象物を、たとえば200℃程度まで加熱する必
要があり、これによりアルミニウムなどによって形成さ
れた第1電極パッド30の酸化が一段と進行してしまっ
ていたために、金線ワイヤ5と第1電極パッド30との
間の接続性を高めるべくアルミニウム酸化膜を除去する
必要があった。このため、金線ワイヤ5と第1電極パッ
ド30との間の接続部位に、酸化膜を除去してクリア面
を露出させた状態で接続するために比較的大きな超音波
を付与しなければならず金線ワイヤ5が切断されてしま
うおそれがあった。
【0045】本実施形態の上記FRAMチップ3と上記
フィルム基板2との電気的接続構造では、上記第1電極
パッド30の表面に保護するようにして第1金製バンプ
30aが形成されているので、ボンディング時に上記F
RAMチップ3を加熱した場合であっても上記第1電極
パッド30が酸化されるような事態は起こりにくい。し
かも、上記第1金製バンプ30aは、酸化されにくい金
製であり、上記金線ワイヤ5も酸化されにくいものであ
るため、ボンディングに際して酸化膜を除去するといっ
たことをあまり考慮する必要はないため、上記第1金製
バンプ30aと上記金線ワイヤ5との接続に際して付与
すべきエネルギを低減させることができる。さらに、接
続される部位がそれぞれ同種の金属(金と金)であるた
め、従来の異種金属の接続(たとえば金とアルミニウ
ム)に比べて小さなエネルギ付与によって上記第1金製
バンプ30aと上記金線ワイヤ5と接続することができ
る一方、接続部が金−金接続であるため良好な接続状態
と維持することができるといった利点を有する。
【0046】図2に良く表れているように、上記半導体
チップ4は、その主面4aの両端部の上記FRAMチッ
プ3の第2金製バンプ31aに対応した部位にそれぞれ
電極パッド40が形成されており、これらの各電極パッ
ド40上には、上記主面4aから突出して金製のバンプ
端子40aが形成されている。対向状とされた上記FR
AMチップ3の第2金製バンプ31aと上記半導体チッ
プ4の金製のバンプ端子40aとの間には、上記スタッ
ドバンプ7が介在させられており、上記第2金製バンプ
31aと上記金製のバンプ端子40aとが上記スタッド
バンプ7を介して電気的に導通されている。もちろん、
上記各電極パッド40は、上記半導体チップ4に一体的
に形成された図示しない回路素子と電気的に導通してい
る。なお、上記半導体チップ4としては、たとえば上記
したFRAMチップ3を採用することができ、また、そ
の他の半導体チップであってもよく、適宜選択すればよ
い。
【0047】上記FRAMチップ3と上記半導体チップ
4との電気的導通構造では、上記第2電極パッド31上
に第2金製バンプ31aが形成されているため、この第
2金製バンプ31aによって第2電極パッド31が覆わ
れて保護された恰好とされ、上記第1電極パッド30と
同様に、上記第2電極パッド31が酸化されてしまうこ
とが回避されている。また、上記第2金製バンプ31a
も上記第1金製バンプ30aと同様に金によって形成さ
れているため、従来のアルミニウムの電極パッドなどと
比較すれば、その表面に酸化膜が形成されるようなこと
は起こりにくいといった利点を有する。そして、上記ス
タッドバンプ7も金製であるため、このスタッドバンプ
7の表面も酸化されにくいのはいうまでもない。このた
め、上記第2金製バンプ31aとスタッドバンプ7との
間は、酸化膜が形成されにくいものどうしの接続である
ため、これらの接続に際して酸化膜を除去するために接
続すべき部位に大きなエネルギを付与する必要はない。
【0048】このように、本実施形態では、小さなエネ
ルギの付与によって上記第1金製バンプ30aと上記金
線ワイヤ5とを、上記第2金製バンプ31aと上記スタ
ッドバンプ7とを接続することができるため、上記FR
AMチップ3と上記フィルム基板2、あるいは上記半導
体チップ4との電気的導通を図る際に上記FRAMチッ
プ3やフィルム基板2を加熱するとしても、その温度
を、たとえば100℃程度とし、しかも従来よりも小さ
な熱超音波の付与によって遂行することが可能となる。
したがって、本実施形態では、たとえ170〜180℃
程度で動作が不安定になる熱に弱いFRAMチップ3で
あっても、その特性を損なうことなく、しかも金線ワイ
ヤ5が切断される懸念もなく上記強誘電体メモリチップ
と上記フィルム基板2、あるいは上記半導体チップ4と
の電気的導通を図ることができる。
【0049】上記FRAMチップ3と上記半導体チップ
4との間の電気的な接続は、スタッドバンプ7を介して
行われているのは上述の通りであるが、図2に良く表れ
ているように、上記FRAMチップ3と上記半導体チッ
プ4との機械的な接合は、たとえば樹脂製などの接着剤
6を用いて行われる。この接着剤6としては、たとえば
エポキシ樹脂やフェノール樹脂などを採用することがで
きる。
【0050】ところで、上記FRAMチップ3に限ら
ず、半導体チップにおいては、端子形成面3a,4aと
回路素子が形成された面が一致している場合が多い。こ
のような場合には、上記FRAMチップ3の第2金製バ
ンプ形成面(主面)3aと上記半導体チップ4の端子形
成面(主面)4aとを樹脂製の接着剤6によって接合す
れば、これらが接合された状態においては、上記樹脂製
接着剤6によって回路素子が保護されることとなる。
【0051】図1および図2に良く表れている、FRA
Mチップ3、半導体チップ4、フィルム基板、および金
線ワイヤ5は、エポキシなどの樹脂によってパッケージ
ングされている。すなわち、これらの部材は、たとえば
金型成形などによって形成された樹脂パッケージ61に
よって覆われて保護されているとともに、取り扱い上の
便宜が図られている。
【0052】なお、上記半導体チップ4の各電極パッド
40上に金製のバンプ端子40aを形成するか否かは選
択的事項であり、必ずしも金製のバンプ端子40aを形
成する必要はないが、各電極パッド40の酸化防止とい
った観点から金製のバンプ端子40aを形成することが
望ましい。
【0053】次に、図1および図2に示した半導体装置
1の製造方法の一例を、図3ないし図8を参照しつつ簡
単に説明する。
【0054】上記半導体装置1の製造方法は、上記FR
AMチップ3の所定部位に第1および第2金製バンプ3
0a,31aを形成する工程と、上記フィルム基板2と
なるべき長尺帯状樹脂フィルム2Aの所定部位に薄状端
子部22を形成する工程と、上記FRAMチップ3と上
記フィルム2Aの薄状端子部22との間を金線ワイヤ5
によって接続する工程と、上記FRAMチップ3の第2
金製バンプ31a上に圧縮変形可能なスタッドバンプ7
を突出形成する工程と、上記FRAMチップ3の金製バ
ンプ形成面(主面)3aに樹脂製の接着剤6を塗布する
工程と、上記FRAMチップ3の第2金製バンプ31a
と上記半導体チップ4の金製のバンプ端子40aとを対
向状とするとともに、上記第2金製バンプ31aと上記
金製のバンプ端子40aとの間に上記スタッドバンプ7
を介在させる工程と、上記FRAMチップ3と上記半導
体チップ4との間の機械的に接合する工程と、上記樹脂
フィルム2Aから半導体装置1を分離する工程と、を含
んでいる。
【0055】図示しないが、上記FRAMチップ3の第
1および第2電極パッド30,31に第1および第2金
製バンプ30a,31aを形成する工程は、たとえば電
気メッキなどの手段によって行われる。具体的には、た
とえばシリコン基板などに所望の回路素子が複数個一体
的に造り込まれたウエハの表面に、上記各電極パッド3
0,31が臨むような状態でフォトレジスト層を形成
し、このウエハを電解液に漬け込んでウエハを陰極とし
て通電して上記各電極パッド30,31上に金メッキを
形成することにより行われる。もちろん、上記電極パッ
ド上に金メッキが形成された後には、フォトレジスト層
が剥離処理などされて金メッキされた部位が第1および
第2金製バンプ30a,31aとされ、ウエハを分画す
ることによって第1および第2金製バンプ30a,31
aが形成されたFRAMチップ3が得られる。なお、上
記半導体チップ4に金製のバンプ端子40aを形成する
工程も同様にして行われる。
【0056】このような電気メッキ工程は、各電極間が
通電されて電解液の温度が上昇したとしても、たいてい
の場合は電解液温度が100℃以下であり、また、上記
ウエハが電解液に漬け込まれて大気に触れない状態で行
われるので、たとえ上記各電極パッド30,31が酸化
されやすいアルミニウムで形成されている場合であって
も、さほど上記各電極パッド30,31に酸化膜が形成
されることを懸念する必要はない。このようにして形成
された上記各金製バンプ30a,31aは、上記各電極
パッド30,31の表面に酸化膜があまり形成されてい
ない状態で形成されているために上記各電極パッド3
0,31と良好に接続された状態とされている。
【0057】上記長尺帯状樹脂フィルム2Aに薄状端子
部22を形成する工程は、上記樹脂フィルム2Aの表面
の貫通孔20aに対応した部位に、たとえばスパッタリ
ング、蒸着、あるいはCVDなどの手段によって銅など
の被膜を形成した後に、エッチング処理を施すことによ
って行われる。このようにして上記薄状端子部22が形
成された上記フィルム2A上には、上記第1および第2
金製バンプ30a,31aが形成された面(主面)3a
が上部に臨むようにしてFRAMチップ3が実装されて
図3の状態とされる。具体的には、上記FRAMチップ
3の実装は、上記FRAMチップ3の一面、あるいは上
記フィルム2Aの一面に、液状またはシート状の樹脂製
接着剤60を塗布または貼着した状態で上記FRAMチ
ップ3を上記フィルム2A上に載置することにより行わ
れる。
【0058】このときに使用される樹脂接着剤60とし
ては、たとえばエポキシ樹脂やフェノール樹脂などの熱
硬化性樹脂が挙げられるが、後述するように、上記FR
AMチップ3と上記半導体チップ4とが樹脂接着剤6を
用いて機械的に接合されるため、この工程において使用
される樹脂接着剤6と同様のもの、たとえば同じ温度で
硬化する樹脂製接着剤60を用いるのが好ましい。この
場合には、上記FRAMチップ3を上記フィルム2A上
に実装する工程において加熱して樹脂接着剤60を硬化
させるのではなく、上記FRAMチップ3を仮実装した
状態で所定の工程を行い、樹脂接着剤6を硬化させるこ
とにより行われる上記FRAMチップ3と上記半導体チ
ップ4とを機械的に接合する工程において、この工程に
用いられる樹脂接着剤6と同時に硬化させれば製造効率
が良くなる。
【0059】上記FRAMチップ3と上記フィルム2A
の端子20との間を金線ワイヤ5によって接続する工程
は、たとえば100℃程度に加熱された支持台9上に上
記フィルム2Aを載置した状態で行われるが、この工程
は、図4に示すファーストボンディングと、図5に示す
セカンドボンディングとからなる。もちろん、このとき
上記FRAMチップ3および上記フィルム2Aも加熱さ
れて100℃程度の温度に達する。図4に良く表れてい
るように、上記ファーストボンディングは、以下のよう
にして行われる。すなわち、キャピラリ8と呼ばれる治
具内に挿通された金線ワイヤ50の先端部を、上記キャ
ピラリ8の先端部80から突出させておき、金線ワイヤ
50の先端部を水素炎などによって加熱溶融させて溶融
状態の金ボール50aを形成し、上記キャピラリ8を移
動させて上記第1金製バンプ30aに上記金ボール50
aを圧し付けて固着することにより行われる。もちろ
ん、上記金ボール50aを圧し付ける際に、固着すべき
部位に超音波振動を供給してもよい。図5に良く表れて
いるように、上記ファーストボンディングに引き続いて
行われる上記セカンドボンディングは、上記金線ワイヤ
50を引き出しつつ上記フィルム2Aの薄状端子部22
の位置まで移動させ、上記キャピラリ8の先端部によっ
て上記薄状端子部22の上面に金線ワイヤ50を圧し付
けながら超音波振動を供給することにより行われる。上
記金線ワイヤ50が圧着された場合には、上記キャピラ
リ8をスライド移動させて上記金線ワイヤ50を圧し切
って、ワイヤボンディング工程が終了する。
【0060】図6に示すように、上記スタッドバンプ7
を上記第2金製バンプ31a上に突出形成する工程は、
たとえば上述した金線ワイヤ50を用いたワイヤボンデ
ィング工程のファーストボンディングと略同様な操作に
よって行うことができる。すなわち、上記フィルム2A
を載置した状態で、キャピラリ8の先端部80から突出
した金線ワイヤ50の先端部を加熱溶融させて形成され
た溶融状態の金ボール50aを、上記第2金製バンプ3
1a上に圧し付け、上記金ボール50aが完全に固化し
ていない状態、あるいは固化した状態で、上記キャピラ
リ8を上動させることによって金線ワイヤ50を引きち
ぎることにより行われる。このようにして形成されたス
タッドバンプ7は、先端部が尖った形状とされて先端部
が圧縮変形可能とされている。
【0061】このように、上記スタッドバンプ7は、ワ
イヤボンディング工程のファーストボンディングと略同
様な操作によって形成することができるため、半導体装
置1を製造する際に、上述のようにワイヤボンディング
工程が必要な場合には、上記スタッドバンプ7を形成す
る工程を別途設けるまでもなく、ワイヤボンディング工
程を同じ工程において上記スタッドバンプ7を形成する
ことができる。なお、上記金線ワイヤ50は、上記キャ
ピラリ8の上動によらず、外力によって切断してもよい
のはいうまでもなく、また、上記金ボール50aを圧し
付ける際に上記キャピラリ8を介して超音波振動を付与
してもよい。もちろん、上記スタッドバンプ7の形成方
法は、上記した方法には限定されず、その他の方法であ
ってもよい。
【0062】図7に示すように、上記FRAMチップ3
の金製バンプ形成面(主面)3aに樹脂製の接着剤6を
塗布する工程は、引き続いて支持台9に載置され、上記
FRAMチップ3などが加熱された状態で行われる。こ
の工程において使用される上記樹脂接着剤6としては、
たとえば100℃で硬化するエポキシ樹脂やフェノール
樹脂などが好適である。上記樹脂接着剤6は、たとえば
液状とされて上記第1および第2金製バンプ30a,3
1aを覆うようにして上記FRAMチップ3の金製バン
プ形成面(主面)3aに塗布される。もちろん、固体シ
ート状とされた樹脂接着剤6を用いてこの工程を行って
もよいのはいうまでもない。
【0063】図8に示すように、上記FRAMチップ3
の第2金製バンプ31aと上記半導体チップ4の金製の
バンプ端子40aとを対向状とするとともに、上記第2
金製バンプ31aと上記金製のバンプ端子40aとの間
に上記スタッドバンプ7を介在させる工程も、支持台9
に載置された状態で行われる。この工程は、上記半導体
チップ4を上記FRAMチップ3に圧し付けることによ
り行われるが、このとき、上記半導体チップ4は上記ス
タッドバンプ7によって上記FRAMチップ3上に仮支
持されるとともに、上記第2金製バンプ31aと上記金
製のバンプ端子40aとの間の電気な導通が図られる。
【0064】上記スタッドバンプ7は圧縮変形可能とさ
れているので、上記半導体チップ4を上記FRAMチッ
プ3に圧し付けた場合には、上記スタッドバンプ7が圧
縮変形することにより、上記強FRAMチップ3および
上記半導体チップ4に必要以上に荷重が加えられてしま
うことが回避されている。すなわち、上記第2金製バン
プ31aと上記半導体チップ4の金製のバンプ端子40
aとの間に介在するスタッドバンプ7によって外的荷重
が吸収され、上記FRAMチップ3や半導体チップ4が
損傷してしまうことが回避されている。また、上記FR
AMチップ3の金製バンプ形成面(主面)3aには液状
あるいは固体シート状とされた樹脂接着剤6が塗布また
は貼着されているので、上記半導体チップ4が上記FR
AMチップ3上に仮支持された状態では、上記FRAM
チップ3と上記半導体チップ4との間に樹脂接着剤6が
介在させられている。
【0065】図示しないが、上記FRAMチップ3と上
記半導体チップ4との間の機械的に接合する工程は、上
記FRAMチップ3と上記半導体チップ4との間に介在
させられた上記樹脂接着剤6を硬化させることにより行
われる。この工程も、上記支持台9上に載置された状態
で行われるので、上記支持台9から加えられる熱によっ
て上記樹脂接着剤6を硬化させることができる。すなわ
ち、この工程は、上記樹脂接着剤6を硬化させるため
に、加熱炉などに搬入して加熱する必要がないので、こ
のことにより製造工程を簡略化することできる。
【0066】続いて、たとえばエポキシ樹脂などを用い
たトランスファ成形などによって上記FRAMチップ
3、半導体チップ4、および金線ワイヤ5を覆うようし
て樹脂パッケージ61を形成した後に、上記フィルム2
Aの裏面に、上記貫通孔20aを介して上記薄状端子部
22と導通するハンダ端子部21を形成し、上記樹脂フ
ィルム2Aから半導体装置1を分離することにより、図
1および図2に示すような半導体装置1を得ることがで
きる。
【0067】このように、上記した半導体装置1の製造
方法は、上記樹脂フィルム2Aへの上記FRAMチップ
3の載置、上記樹脂フィルム2Aと上記FRAMチップ
3とのワイヤボンディング、上記FRAMチップ3と上
記半導体装置1との電気的接続および機械的接合は、上
記支持台9に載置され、しかも100℃程度に加熱され
た状態で行われるので、熱に弱い上記FRAMチップ3
を使用する場合であっても、その特性を損なうことなく
半導体装置1を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本願発明に係る半導体装置の一例を表す透視斜
視図である。
【図2】図1のII−II線に沿う断面図である。
【図3】長尺帯状のフィルムにFRAMチップが実装さ
れた状態を表す斜視図である。
【図4】ワイヤボンディング工程のファーストボンディ
ングを表す図である。
【図5】ワイヤボンディング工程のセカンドボンディン
グを表す図である。
【図6】上記FRAMチップの電極パッド上にスタッド
バンプを形成している状態の図である。
【図7】上記FRAMチップの電極パッド形成面に液状
樹脂接着剤を塗布した状態を表す図である。
【図8】上記FRAMチップ上に半導体チップを接合し
ている状態の図である。
【符号の説明】
1 半導体装置 2 フィルム基板 3 FRAMチップ(強誘電体メモリチップ) 3a 金製バンプ形成面(FRAMチップの) 4 半導体チップ(接続対象物としての) 4a 端子形成面(半導体チップの) 5 金線ワイヤ 6 液状樹脂接着剤 7 スタッドバンプ 30 第1電極パッド(第1金製バンプが形成される) 30a 第1金製バンプ 31 第2電極パッド(第2金製バンプが形成される) 31a 第2金製バンプ 40 電極パッド(半導体チップの) 40a 金製のバンプ端子(半導体チップの)

Claims (12)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 強誘電体メモリチップと半導体チップと
    の間の電気的導通が図られた半導体装置であって、 上記半導体チップは、電極パッドに金製のバンプ端子が
    形成されており、 上記強誘電体メモリチップは、電極パッドに金製バンプ
    が形成されているとともに、この金製バンプが上記半導
    体チップのバンプ端子に対して、熱超音波ボンディング
    の手法を利用して形成された金製部材を介して接続され
    ていることを特徴とする、半導体装置。
  2. 【請求項2】 上記半導体チップは、強誘電体メモリチ
    ップである、請求項1に記載の半導体装置
  3. 【請求項3】 上記金製部材は、金線ワイヤである、請
    求項1または2に記載の半導体装置
  4. 【請求項4】 対向状とされた上記強誘電体メモリチッ
    プの金製バンプと上記半導体チップのバンプ端子との間
    に、上記金製部材が介在させられている、請求項1また
    は2に記載の半導体装置
  5. 【請求項5】 上記金製部材は、上記強誘電体メモリチ
    ップの金製バンプまたは上記半導体チップのバンプ端子
    から突出形成された圧縮変形可能なスタッドバンプであ
    る、請求項4に記載の半導体装置
  6. 【請求項6】 上記強誘電体メモリチップの金製バンプ
    形成面と、上記半導体チップの端子形成面とは、樹脂製
    の接着剤によって接合されている、請求項4または5に
    記載の半導体装置
  7. 【請求項7】 上記樹脂製の接着剤は、エポキシ系また
    はフェノール系の樹脂である、請求項6に記載の半導体
    装置
  8. 【請求項8】 強誘電体メモリチップと半導体チップ
    の間の電気的導通が図られた半導体装置の製造方法であ
    って、 上記強誘電体メモリチップの所定部位に金製バンプを形
    成する工程と、 上記半導体チップの所定部位に金製のバンプ端子を形成
    する工程と、 上記強誘電体メモリチップの金製バンプまたは上記半導
    体チップのバンプ端子に圧縮変形可能なスタッドバンプ
    を金により突出形成するスタッドバンプ形成工程と、 上記金製バンプと上記バンプ端子とを対向状とするとと
    もに、上記強誘電体メモリチップの金製バンプと上記
    導体チップのバンプ端子との間に上記スタッドバンプを
    介在させる工程と、 を含み、かつ、 上記スタッドバンプ形成工程は、熱超音波ボンディング
    の手法を利用して行う ことを特徴とする、半導体装置の
    製造方法。
  9. 【請求項9】 上記金製バンプと上記バンプ端子との間
    に上記スタッドバンプを介在させる工程は、上記強誘電
    体メモリチップの金製バンプ形成面または上記接続対象
    物の端子形成面のいずれかに樹脂製の接着剤が塗布また
    は貼着された状態で行われる、請求項に記載の半導体
    装置の製造方法。
  10. 【請求項10】 上記樹脂製の接着剤としては、エポキ
    シ系の樹脂接着剤またはフェノール系の樹脂接着剤が使
    用される、請求項に記載の半導体装置の製造方法。
  11. 【請求項11】 強誘電体メモリチップと半導体チップ
    との間の電気的導通が図られた半導体装置の製造方法で
    あって、 上記強誘電体メモリチップの所定部位に金製バンプを形
    成する工程と、 上記半導体チップの所定部位に金製のバンプ端子を形成
    する工程と、 上記金製バンプ上記半導体チップのバンプ端子との間
    金線ワイヤにより接続する金線ワイヤ接続工程と、 を含み、かつ、 上記金線ワイヤ接続工程は、熱超音波ボンディングの手
    法を利用して行う ことを特徴とする、半導体装置の製造
    方法。
  12. 【請求項12】 上記半導体チップは、強誘電体メモリ
    チップである、請求項ないし11のいずれかに記載の
    半導体装置の製造方法。
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