JP3409954B2 - エネルギー分散形ｘ線検出装置 - Google Patents
エネルギー分散形ｘ線検出装置Info
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- JP3409954B2 JP3409954B2 JP30094495A JP30094495A JP3409954B2 JP 3409954 B2 JP3409954 B2 JP 3409954B2 JP 30094495 A JP30094495 A JP 30094495A JP 30094495 A JP30094495 A JP 30094495A JP 3409954 B2 JP3409954 B2 JP 3409954B2
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- ray
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、エネルギー分散形
Ｘ線分析装置、特にインレンズ形の対物レンズや磁界漏
洩形の対物レンズなどを搭載した高分解能走査電子顕微
鏡に装着しても、装置の持つ分解能に影響を与えずに、
高感度にＸ線を検出し、しかも高精度Ｘ線分析を行うの
に適したエネルギー分散形Ｘ線分析装置に関する。
Ｘ線分析装置、特にインレンズ形の対物レンズや磁界漏
洩形の対物レンズなどを搭載した高分解能走査電子顕微
鏡に装着しても、装置の持つ分解能に影響を与えずに、
高感度にＸ線を検出し、しかも高精度Ｘ線分析を行うの
に適したエネルギー分散形Ｘ線分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】シリコン半導体検出器等のエネルギー分
散Ｘ線検出器を用いるエネルギー分散形Ｘ線分析装置
（ＥＤＸ）において高精度なＸ線分析を行うには、試料
からのＸ線を高感度に検出するとともに、一次電子線に
より試料から付随的に発生する散乱電子（反射電子）を
除去する必要がある。この散乱電子は、Ｘ線スペクトル
におけるバックグラウンドノイズとなり、定量分析精度
等に影響を与える。
散Ｘ線検出器を用いるエネルギー分散形Ｘ線分析装置
（ＥＤＸ）において高精度なＸ線分析を行うには、試料
からのＸ線を高感度に検出するとともに、一次電子線に
より試料から付随的に発生する散乱電子（反射電子）を
除去する必要がある。この散乱電子は、Ｘ線スペクトル
におけるバックグラウンドノイズとなり、定量分析精度
等に影響を与える。
【０００３】図３に示すように、従来のＥＤＸの検出装
置は、試料７からＸ線１４と共にＸ線検出器としてのＥ
ＤＸ素子１２に飛び込んでくる散乱電子を除去するため
に、エレクトロントラップとしてＥＤＸ素子１２の先端
にリング状の永久磁石１７を設け、この磁石で発生する
磁界により散乱電子１０の軌道を曲げることで、散乱電
子がＥＤＸ素子に入り込むのを防いでいた。
置は、試料７からＸ線１４と共にＸ線検出器としてのＥ
ＤＸ素子１２に飛び込んでくる散乱電子を除去するため
に、エレクトロントラップとしてＥＤＸ素子１２の先端
にリング状の永久磁石１７を設け、この磁石で発生する
磁界により散乱電子１０の軌道を曲げることで、散乱電
子がＥＤＸ素子に入り込むのを防いでいた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】試料の高分解能観察を
行うために、試料を対物レンズ磁界中に配置する方式
（インレンズ方式や磁場漏洩方式）の走査電子顕微鏡が
しばしば用いられるが、このような走査電子顕微鏡では
試料が対物レンズ磁界中に配置されるため、Ｘ線検出器
先端部にエレクトロントラップとして永久磁石を有する
ＥＤＸ検出装置を試料付近に近づけると、Ｘ線検出器先
端部の永久磁石から発生する磁界で対物レンズの磁界が
乱され、高分解能観察できないという問題点があった。
そのため、このような高分解能電子顕微鏡では、ＥＤＸ
検出装置を試料に近づけることができず高感度なＸ線分
析と高分解能観察を両立することができなかった。
行うために、試料を対物レンズ磁界中に配置する方式
（インレンズ方式や磁場漏洩方式）の走査電子顕微鏡が
しばしば用いられるが、このような走査電子顕微鏡では
試料が対物レンズ磁界中に配置されるため、Ｘ線検出器
先端部にエレクトロントラップとして永久磁石を有する
ＥＤＸ検出装置を試料付近に近づけると、Ｘ線検出器先
端部の永久磁石から発生する磁界で対物レンズの磁界が
乱され、高分解能観察できないという問題点があった。
そのため、このような高分解能電子顕微鏡では、ＥＤＸ
検出装置を試料に近づけることができず高感度なＸ線分
析と高分解能観察を両立することができなかった。
【０００５】本発明の目的は上述した従来技術の欠点を
なくし、インレンズ形対物レンズや漏洩磁場形対物レン
ズを保有する走査電子顕微鏡と組み合わせても、走査電
子顕微鏡のレンズ性能（分解能）を損なうことなく高感
度なＸ線分析ができるエネルギー分散形Ｘ線分析装置を
提供することにある。
なくし、インレンズ形対物レンズや漏洩磁場形対物レン
ズを保有する走査電子顕微鏡と組み合わせても、走査電
子顕微鏡のレンズ性能（分解能）を損なうことなく高感
度なＸ線分析ができるエネルギー分散形Ｘ線分析装置を
提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明ではＸ線検出器先端部に対物レンズの磁界に
影響を与えないアルミニウム等の非磁性材で構成した筒
状コリメータを装着したＥＤＸ検出装置を用い、コリメ
ータの一部または全部を対物レンズ磁界中に配置して、
対物レンズ磁界で散乱電子の軌道を曲げて散乱電子がＸ
線検出器に入り込むのを防止した。
め、本発明ではＸ線検出器先端部に対物レンズの磁界に
影響を与えないアルミニウム等の非磁性材で構成した筒
状コリメータを装着したＥＤＸ検出装置を用い、コリメ
ータの一部または全部を対物レンズ磁界中に配置して、
対物レンズ磁界で散乱電子の軌道を曲げて散乱電子がＸ
線検出器に入り込むのを防止した。
【０００７】また、コリメータのＸ線通過孔の内壁に凹
凸構造を設けることで、仮に対物レンズ磁界で曲げられ
た散乱電子がコリメータのＸ線通過孔の内壁に衝突して
も、その衝突散乱電子で発生した電子がＸ線検出部に進
行しないようにした。凹凸構造は例えばコリメータ内面
にネジを切ることによって形成することができ、あるい
は表面を粗面にすることによって形成してもよい。凹凸
高さは０.１mm 程度で充分である。
凸構造を設けることで、仮に対物レンズ磁界で曲げられ
た散乱電子がコリメータのＸ線通過孔の内壁に衝突して
も、その衝突散乱電子で発生した電子がＸ線検出部に進
行しないようにした。凹凸構造は例えばコリメータ内面
にネジを切ることによって形成することができ、あるい
は表面を粗面にすることによって形成してもよい。凹凸
高さは０.１mm 程度で充分である。
【０００８】さらに、散乱電子がコリメータのＸ線通過
孔に衝突したときに発生する電子を少なくするために、
コリメータのＸ線通過孔の内壁に電子の発生が少ない材
料（例えば、カーボンなど）を塗布するか、あるいは、
コリメータ自身をアルミニウム等の電子の発生が少ない
材質で構成する。
孔に衝突したときに発生する電子を少なくするために、
コリメータのＸ線通過孔の内壁に電子の発生が少ない材
料（例えば、カーボンなど）を塗布するか、あるいは、
コリメータ自身をアルミニウム等の電子の発生が少ない
材質で構成する。
【０００９】さらに、散乱電子のＥＤＸ素子に対する侵
入をできるだけ避けるために、コリメータのＸ線の入口
をＸ線の出口、即ちＥＤＸ素子が配置されている側に比
して狭くした。
入をできるだけ避けるために、コリメータのＸ線の入口
をＸ線の出口、即ちＥＤＸ素子が配置されている側に比
して狭くした。
【００１０】以上のような構成とすると、電子線照射に
よって試料から発生した散乱電子は、対物レンズ磁界で
その軌道を曲げられ、ＥＤＸ検出器に入り込むのを妨げ
られる。仮に対物レンズ磁界で曲げられた散乱電子がコ
リメータのＸ線通過孔の内壁に衝突したとしても、コリ
メータのＸ線通過孔の内壁は、散乱電子の衝突による２
次的な電子の発生が少ない材質で構成されているため、
散乱電子の衝突によりＸ線通過孔から発生する２次的な
電子の数は、衝突を繰り返すたびに減衰する。さらに、
コリメータのＸ線通過孔の内壁は凹凸構造を有している
ため、Ｘ線通過孔内壁に衝突した散乱電子が２次的な電
子を発生したとしても、それらはＸ線通過孔内壁の凹凸
構造に遮られてＸ線検出器に進入しない。
よって試料から発生した散乱電子は、対物レンズ磁界で
その軌道を曲げられ、ＥＤＸ検出器に入り込むのを妨げ
られる。仮に対物レンズ磁界で曲げられた散乱電子がコ
リメータのＸ線通過孔の内壁に衝突したとしても、コリ
メータのＸ線通過孔の内壁は、散乱電子の衝突による２
次的な電子の発生が少ない材質で構成されているため、
散乱電子の衝突によりＸ線通過孔から発生する２次的な
電子の数は、衝突を繰り返すたびに減衰する。さらに、
コリメータのＸ線通過孔の内壁は凹凸構造を有している
ため、Ｘ線通過孔内壁に衝突した散乱電子が２次的な電
子を発生したとしても、それらはＸ線通過孔内壁の凹凸
構造に遮られてＸ線検出器に進入しない。
【００１１】一方、試料から発生したＸ線は、対物レン
ズの磁界があっても直進するため、ＥＤＸ検出器で検出
される。このように、本発明によれば、試料が対物レン
ズ磁界中に配置されるような走査電子顕微鏡に装着して
も、走査電子顕微鏡の分解能に影響を与えずに高感度に
Ｘ線分析を行うことができる。
ズの磁界があっても直進するため、ＥＤＸ検出器で検出
される。このように、本発明によれば、試料が対物レン
ズ磁界中に配置されるような走査電子顕微鏡に装着して
も、走査電子顕微鏡の分解能に影響を与えずに高感度に
Ｘ線分析を行うことができる。
【００１２】また、コリメータのＸ線の入り口を狭くす
ることによって、散乱電子を侵入しづらくすることが可
能となる。この構成は、単にコリメータの内径を狭い筒
状とするのに対して、ＥＤＸ素子を大きくとれるのでＸ
線の検出効率の向上にもなる。更に、対物レンズに邪魔
されること無く対物レンズが発する漏洩磁場中にコリメ
ータを配置するのにも適した形状である。
ることによって、散乱電子を侵入しづらくすることが可
能となる。この構成は、単にコリメータの内径を狭い筒
状とするのに対して、ＥＤＸ素子を大きくとれるのでＸ
線の検出効率の向上にもなる。更に、対物レンズに邪魔
されること無く対物レンズが発する漏洩磁場中にコリメ
ータを配置するのにも適した形状である。
【００１３】更に、コリメータをＸ線の透過率が少ない
材料で構成することで、Ｘ線がコリメータ外壁に照射さ
れることによって励起され発生する２次的なＸ線の発生
を防ぐことができる。またコリメータに対する反射電子
の衝突によって励起され且つ発生するＸ線の発生を防ぐ
こともできる。本願発明のようにコリメータを先鋭化す
るとコリメータ外壁に反射電子が多く当るようになるの
で有効な構成といえる。
材料で構成することで、Ｘ線がコリメータ外壁に照射さ
れることによって励起され発生する２次的なＸ線の発生
を防ぐことができる。またコリメータに対する反射電子
の衝突によって励起され且つ発生するＸ線の発生を防ぐ
こともできる。本願発明のようにコリメータを先鋭化す
るとコリメータ外壁に反射電子が多く当るようになるの
で有効な構成といえる。
【００１４】
【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施例の概略断
面図である。陰極１と第一陽極２に印加される電圧Ｖ１
により陰極１から放射された一次電子線４は、第二陽極
３に印加される電圧Ｖacc に加速されて後段のレンズ系
に進行する。この一次電子線４は、レンズ制御電源１５
で制御された集束レンズ５と対物レンズ６により試料７
に微小スポットとして集束され、二段の偏向コイル８で
試料上を２次元的に走査される。偏向コイル８の走査信
号は、観察倍率に応じて偏向制御装置１６により制御さ
れる。対物レンズ６の対物レンズ磁界９は試料側に発生
し、試料７は対物レンズ磁界中に配置される。
面図である。陰極１と第一陽極２に印加される電圧Ｖ１
により陰極１から放射された一次電子線４は、第二陽極
３に印加される電圧Ｖacc に加速されて後段のレンズ系
に進行する。この一次電子線４は、レンズ制御電源１５
で制御された集束レンズ５と対物レンズ６により試料７
に微小スポットとして集束され、二段の偏向コイル８で
試料上を２次元的に走査される。偏向コイル８の走査信
号は、観察倍率に応じて偏向制御装置１６により制御さ
れる。対物レンズ６の対物レンズ磁界９は試料側に発生
し、試料７は対物レンズ磁界中に配置される。
【００１５】ＥＤＸ検出装置１１は、検出器素子１２と
その前方に配置されたコリメータ１３を備える。コリメ
ータ１３は例えば非磁性体であるアルミニウムで構成さ
れた筒状体であり、内面に高さ約０.１mm のネジが切っ
てある。ＥＤＸ検出装置１１は、そのコリメータ１３が
対物レンズ６の対物レンズ磁界９中に位置するように配
置される。
その前方に配置されたコリメータ１３を備える。コリメ
ータ１３は例えば非磁性体であるアルミニウムで構成さ
れた筒状体であり、内面に高さ約０.１mm のネジが切っ
てある。ＥＤＸ検出装置１１は、そのコリメータ１３が
対物レンズ６の対物レンズ磁界９中に位置するように配
置される。
【００１６】試料７から発生したＸ線１４は、コリメー
タ１３のＸ線通過孔を通過し、EDX検出装置１１内の検
出器素子１２で検出される。一方、試料７から発生した
散乱電子１０は、図２に示すように対物レンズ６の対物
レンズ磁界９でその軌道が曲がり、コリメータ１３のＸ
線通過孔を通過できずにその内壁に衝突する。内壁に衝
突した散乱電子は、内壁の衝突面で２次的な電子を発生
するが内壁に凹凸構造があるために、検出器素子１２へ
進行することができない。また、内壁表面は、散乱電子
１０の衝突による２次的な電子が発生しにくい材質にな
っているため、前記凹凸構造との相乗効果で、散乱電子
１０が検出器素子１２へ進入する確率は非常に小さくな
る。
タ１３のＸ線通過孔を通過し、EDX検出装置１１内の検
出器素子１２で検出される。一方、試料７から発生した
散乱電子１０は、図２に示すように対物レンズ６の対物
レンズ磁界９でその軌道が曲がり、コリメータ１３のＸ
線通過孔を通過できずにその内壁に衝突する。内壁に衝
突した散乱電子は、内壁の衝突面で２次的な電子を発生
するが内壁に凹凸構造があるために、検出器素子１２へ
進行することができない。また、内壁表面は、散乱電子
１０の衝突による２次的な電子が発生しにくい材質にな
っているため、前記凹凸構造との相乗効果で、散乱電子
１０が検出器素子１２へ進入する確率は非常に小さくな
る。
【００１７】更に、コリメータ１３をＸ線の透過率が少
ない材料、例えばタンタルやタングステンで構成するこ
とで、Ｘ線がコリメータ１３外壁に照射されることによ
って励起され発生する２次的なＸ線の発生を防ぐことが
できる。またコリメータ１３に対する反射電子の衝突に
よって励起され且つ発生するＸ線の発生を防ぐこともで
きる。特に本願発明のようにコリメータ１３を先鋭化す
るとコリメータ外壁に反射電子が多く当るようになるの
で有効な構成といえる。
ない材料、例えばタンタルやタングステンで構成するこ
とで、Ｘ線がコリメータ１３外壁に照射されることによ
って励起され発生する２次的なＸ線の発生を防ぐことが
できる。またコリメータ１３に対する反射電子の衝突に
よって励起され且つ発生するＸ線の発生を防ぐこともで
きる。特に本願発明のようにコリメータ１３を先鋭化す
るとコリメータ外壁に反射電子が多く当るようになるの
で有効な構成といえる。
【００１８】本願発明では図４に示す通りコリメータ１
３を試料に向かって先鋭化しているので、対物レンズ２
０に阻まれることなく、容易に対物レンズ２０の漏洩磁
場中までコリメータ１３を近付けることができる。ま
た、先鋭化することにより、Ｘ線の入口がＸ線の出口に
比して狭くなる。即ち反射電子の侵入を低減することが
できる。この構成要件は単に筒状のコリメータの内径を
狭め、細い筒を形成するのとは以下の点で異なる。
３を試料に向かって先鋭化しているので、対物レンズ２
０に阻まれることなく、容易に対物レンズ２０の漏洩磁
場中までコリメータ１３を近付けることができる。ま
た、先鋭化することにより、Ｘ線の入口がＸ線の出口に
比して狭くなる。即ち反射電子の侵入を低減することが
できる。この構成要件は単に筒状のコリメータの内径を
狭め、細い筒を形成するのとは以下の点で異なる。
【００１９】即ち、先鋭化することでコリメータ１３の
入口を狭くできるだけではなく、検出器素子１２の大き
さを大きくとれるという効果がある。一般的に試料７に
一次電子線４を照射して得られるＸ線は、試料の一次電
子線の照射点を中心として放射状に発散している。つま
り単にコリメータの内径全体を狭めることで、本願発明
のコリメータ１３と同じ入口径を得ようとすると、コリ
メータ入口からEDX素子間でコリメータ内壁に衝突する
Ｘ線の分だけ本願発明に対し検出効率が落ちる。
入口を狭くできるだけではなく、検出器素子１２の大き
さを大きくとれるという効果がある。一般的に試料７に
一次電子線４を照射して得られるＸ線は、試料の一次電
子線の照射点を中心として放射状に発散している。つま
り単にコリメータの内径全体を狭めることで、本願発明
のコリメータ１３と同じ入口径を得ようとすると、コリ
メータ入口からEDX素子間でコリメータ内壁に衝突する
Ｘ線の分だけ本願発明に対し検出効率が落ちる。
【００２０】以上コリメータを先鋭化することで、容易
に対物レンズの漏洩磁場中にコリメータを配置できるよ
うになり、且つコリメータに対する反射電子の侵入を低
減することができる。
に対物レンズの漏洩磁場中にコリメータを配置できるよ
うになり、且つコリメータに対する反射電子の侵入を低
減することができる。
【００２１】尚、コリメータ１３は反射電子の侵入防止
効率と、Ｘ線の検出効率を考慮した場合、試料７の一次
電子線の照射点と検出器素子１２の端部を結ぶ直線に沿
ってコリメータ１３の内壁を形成すれば、検出器素子１
２の検出効率を最大にし、且つその検出効率を維持しつ
つ反射電子の侵入を最小限に抑えることのできるコリメ
ータ１３を提供することができる。
効率と、Ｘ線の検出効率を考慮した場合、試料７の一次
電子線の照射点と検出器素子１２の端部を結ぶ直線に沿
ってコリメータ１３の内壁を形成すれば、検出器素子１
２の検出効率を最大にし、且つその検出効率を維持しつ
つ反射電子の侵入を最小限に抑えることのできるコリメ
ータ１３を提供することができる。
【００２２】ここではＥＤＸ検出装置１１を磁界漏洩形
の対物レンズを搭載した走査電子顕微鏡に装着した例に
ついて説明したが、インレンズ形の対物レンズを搭載し
た走査電子顕微鏡に装着しても同様の効果を奏すること
ができる。
の対物レンズを搭載した走査電子顕微鏡に装着した例に
ついて説明したが、インレンズ形の対物レンズを搭載し
た走査電子顕微鏡に装着しても同様の効果を奏すること
ができる。
【００２３】
【発明の効果】本発明によれば、対物レンズの磁界に影
響を与えずに試料から発生した散乱電子を除去して効率
良くＸ線が検出できるので、対物レンズ磁界中に試料を
配置する高分解能走査電子顕微鏡と組み合わせたＸ線分
析において、走査電子顕微鏡の分解能を損ねずに高感度
なＸ線分析ができる効果がある。
響を与えずに試料から発生した散乱電子を除去して効率
良くＸ線が検出できるので、対物レンズ磁界中に試料を
配置する高分解能走査電子顕微鏡と組み合わせたＸ線分
析において、走査電子顕微鏡の分解能を損ねずに高感度
なＸ線分析ができる効果がある。
【図１】本発明の一実施例の概略断面図。
【図２】コリメータ部の概略断面図。
【図３】従来のＥＤＸ検出装置の概略構成図。
【図４】本発明のコリメータの配置図。
１…陰極、２…第一陽極、３…第二陽極、４…一次電子
線、５…集束レンズ、６，２０…対物レンズ、７…試
料、８…偏向コイル、９…対物レンズ磁界、１０…散乱
電子、１１…ＥＤＸ検出装置、１２…検出器素子、１３
…コリメータ、１４…Ｘ線、１５…レンズ制御電源、１
６…偏向制御装置、１７…永久磁石。
線、５…集束レンズ、６，２０…対物レンズ、７…試
料、８…偏向コイル、９…対物レンズ磁界、１０…散乱
電子、１１…ＥＤＸ検出装置、１２…検出器素子、１３
…コリメータ、１４…Ｘ線、１５…レンズ制御電源、１
６…偏向制御装置、１７…永久磁石。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 鈴木 直正
茨城県ひたちなか市大字市毛882番地
株式会社 日立製作所 計測器事業部内
(56)参考文献 特開 昭60−74250（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−251027（ＪＰ，Ａ)
実開 昭58−173161（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01J 37/141
H01J 37/244
H01J 37/252
H01J 37/28
Claims (4)
- 【請求項１】電子線発生手段と、電子線収束レンズと、
磁界形対物レンズと、エネルギー分散形Ｘ線検出器とを
備え、電子線照射により前記磁界形対物レンズの漏洩磁
場中に配置された試料から発せられるＸ線を前記エネル
ギー分散形Ｘ線検出器で検出するエネルギー分散形Ｘ線
分析装置において、 前記エネルギー分散形Ｘ線検出器と試料との間に非磁性
材料製のコリメータを設け、当該コリメータはその内壁
に凹凸構造を有すると共に、少なくとも前記コリメータ
の一部は前記磁界形対物レンズより試料側の漏洩磁場中
に配置されることを特徴とするエネルギー分散形Ｘ線分
析装置。 - 【請求項２】請求項１において、前記コリメータは試料
に向かって先鋭化することを特徴とするエネルギー分散
形Ｘ線分析装置。 - 【請求項３】請求項１において、前記コリメータは電子
照射による２次的な電子の発生が少ない材料からなるこ
とを特徴とするエネルギー分散形Ｘ線検出装置。 - 【請求項４】請求項１において、前記コリメータはＸ線
の透過率が少ない材料からなることを特徴とするエネル
ギー分散形Ｘ線検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30094495A JP3409954B2 (ja) | 1994-11-25 | 1995-11-20 | エネルギー分散形ｘ線検出装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6-291506 | 1994-11-25 | ||
| JP29150694 | 1994-11-25 | ||
| JP30094495A JP3409954B2 (ja) | 1994-11-25 | 1995-11-20 | エネルギー分散形ｘ線検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08212963A JPH08212963A (ja) | 1996-08-20 |
| JP3409954B2 true JP3409954B2 (ja) | 2003-05-26 |
Family
ID=26558570
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30094495A Expired - Fee Related JP3409954B2 (ja) | 1994-11-25 | 1995-11-20 | エネルギー分散形ｘ線検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3409954B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5045999B2 (ja) * | 2006-03-30 | 2012-10-10 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | 蛍光ｘ線分析装置 |
| DE102009026946B4 (de) | 2009-06-15 | 2012-03-08 | Bruker Nano Gmbh | Störungsarmer Sensorkopf für einen Strahlungsdetektor sowie diesen störungsarmen Sensorkopf enthaltender Strahlungsdetektor |
| US9697984B2 (en) * | 2015-10-28 | 2017-07-04 | Thermo Electron Scientific Instruments Llc | Charged particle filter |
-
1995
- 1995-11-20 JP JP30094495A patent/JP3409954B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08212963A (ja) | 1996-08-20 |
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