JP3407475B2 - 交流式イオナイザ - Google Patents
交流式イオナイザInfo
- Publication number
- JP3407475B2 JP3407475B2 JP12581495A JP12581495A JP3407475B2 JP 3407475 B2 JP3407475 B2 JP 3407475B2 JP 12581495 A JP12581495 A JP 12581495A JP 12581495 A JP12581495 A JP 12581495A JP 3407475 B2 JP3407475 B2 JP 3407475B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- positive
- ion
- negative
- ions
- discharge needle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Electrostatic Separation (AREA)
- Emergency Alarm Devices (AREA)
- Elimination Of Static Electricity (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、放電針に交流の高電圧
を印加して正負のイオンを発生させる交流式イオナイザ
に関し、詳しくは、半導体や液晶の製造工程などにおい
て、素子の除電や塵芥の帯電防止のために使用される交
流式イオナイザに関する。
を印加して正負のイオンを発生させる交流式イオナイザ
に関し、詳しくは、半導体や液晶の製造工程などにおい
て、素子の除電や塵芥の帯電防止のために使用される交
流式イオナイザに関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来、
この種のイオナイザとしては、上記交流式の他に、直流
高電圧の極性を反転させて放電針に印加することにより
正負のイオンを発生させる直流式イオナイザが知られて
いる。
この種のイオナイザとしては、上記交流式の他に、直流
高電圧の極性を反転させて放電針に印加することにより
正負のイオンを発生させる直流式イオナイザが知られて
いる。
【０００３】一般に、イオナイザでは正負イオンの量を
バランス良く発生させることが一つの重要な課題となっ
ている。このため、上記直流式イオナイザでは、放電針
の近傍にイオンセンサを配置し、このセンサに誘起され
る正負の電圧を検出して放電針への印加電圧を制御する
ことにより、正負イオン量のアンバランスを是正してい
る。
バランス良く発生させることが一つの重要な課題となっ
ている。このため、上記直流式イオナイザでは、放電針
の近傍にイオンセンサを配置し、このセンサに誘起され
る正負の電圧を検出して放電針への印加電圧を制御する
ことにより、正負イオン量のアンバランスを是正してい
る。
【０００４】ここで、直流式イオナイザのうち、ある種
のものは、イオンセンサが単一となっている。このた
め、センサが存在する位置では正負イオン量のバランス
がとれていても、放電針から発生したイオンが空気中を
移動していく過程で湿度などの条件により正負イオンの
減少率が微妙に変化し、その結果、例えば放電針から３
０ｃｍ離れた測定点では正負イオン量にアンバランスが
生じることがあった。
のものは、イオンセンサが単一となっている。このた
め、センサが存在する位置では正負イオン量のバランス
がとれていても、放電針から発生したイオンが空気中を
移動していく過程で湿度などの条件により正負イオンの
減少率が微妙に変化し、その結果、例えば放電針から３
０ｃｍ離れた測定点では正負イオン量にアンバランスが
生じることがあった。
【０００５】また、放電針は汚れ等により発生イオン量
が低下するので定期的にクリーニングする必要がある
が、従来の直流式イオナイザではクリーニング時期の適
切な判定が十分とは言えなかった。更に、直流式イオナ
イザでは、高湿度の雰囲気において正負の放電針間で高
圧リークを起こすおそれもあった。
が低下するので定期的にクリーニングする必要がある
が、従来の直流式イオナイザではクリーニング時期の適
切な判定が十分とは言えなかった。更に、直流式イオナ
イザでは、高湿度の雰囲気において正負の放電針間で高
圧リークを起こすおそれもあった。
【０００６】本発明は上述した種々の課題を解決するた
めになされたもので、その目的とするところは、正負イ
オン量のバランス制御を一層高精度に行うとともにバラ
ンス状態の表示・警報機能を高め、クリーニング時期の
正確な判定や警報出力、高圧リークの解消等を可能にし
た交流式イオナイザを提供することにある。
めになされたもので、その目的とするところは、正負イ
オン量のバランス制御を一層高精度に行うとともにバラ
ンス状態の表示・警報機能を高め、クリーニング時期の
正確な判定や警報出力、高圧リークの解消等を可能にし
た交流式イオナイザを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は、交流の高電圧を発生する高圧発生部と、
前記高電圧が印加されて正負のイオンを発生する放電針
と、前記イオンによる正負の誘起電圧を検出するイオン
センサと、前記誘起電圧の正負のアンバランスを是正す
るように高圧発生部を制御するイオンバランス制御部と
を備えた交流式イオナイザにおいて、イオンの移動経路
に順次配置されて正負の誘起電圧を検出する各々第１な
いし第３のイオンセンサと、第１、第２のイオンセンサ
の誘起電圧が入力される第１の差動増幅器、及び、第
２、第３のイオンセンサの誘起電圧が入力される第２の
差動増幅器からなる差動増幅部と、第１及び第２の差動
増幅器の出力を加算して前記イオンバランス制御部に入
力する手段と、第１及び第２の差動増幅器の出力の加算
結果から検出した正負イオン量のアンバランス状態を視
覚的に表示させる手段と、第１及び第２の差動増幅器の
出力の加算結果とアンバランス警報基準値とを比較して
正負イオン量のアンバランス状態が一定時間継続した場
合にアンバランス警報を発生する手段と、第１または第
２の差動増幅器の出力とクリーニング警報基準値とを比
較して放電針に対するクリーニング警報を発生する手段
とを備えたものである。
め、本発明は、交流の高電圧を発生する高圧発生部と、
前記高電圧が印加されて正負のイオンを発生する放電針
と、前記イオンによる正負の誘起電圧を検出するイオン
センサと、前記誘起電圧の正負のアンバランスを是正す
るように高圧発生部を制御するイオンバランス制御部と
を備えた交流式イオナイザにおいて、イオンの移動経路
に順次配置されて正負の誘起電圧を検出する各々第１な
いし第３のイオンセンサと、第１、第２のイオンセンサ
の誘起電圧が入力される第１の差動増幅器、及び、第
２、第３のイオンセンサの誘起電圧が入力される第２の
差動増幅器からなる差動増幅部と、第１及び第２の差動
増幅器の出力を加算して前記イオンバランス制御部に入
力する手段と、第１及び第２の差動増幅器の出力の加算
結果から検出した正負イオン量のアンバランス状態を視
覚的に表示させる手段と、第１及び第２の差動増幅器の
出力の加算結果とアンバランス警報基準値とを比較して
正負イオン量のアンバランス状態が一定時間継続した場
合にアンバランス警報を発生する手段と、第１または第
２の差動増幅器の出力とクリーニング警報基準値とを比
較して放電針に対するクリーニング警報を発生する手段
とを備えたものである。
【０００８】また、本発明においては、放電針から発生
したイオンを送風により強制的に移動させるファンを備
えることにより、いわゆるイオン送風機を実現すること
ができる。
したイオンを送風により強制的に移動させるファンを備
えることにより、いわゆるイオン送風機を実現すること
ができる。
【０００９】
【作用】本発明において、空気中の湿度変化等により正
イオンと負イオンの減少率に差が生じて各イオンセンサ
に誘起される電圧の正負のバランスが崩れると、第１、
第２の差動増幅器の出力の加算結果である電圧の振幅に
も正負のアンバランスが発生する。イオンバランス制御
部はこのアンバランスに応じてオフセット電圧を制御す
ることにより高圧発生部の出力電圧の正負の振幅を制御
し、上記アンバランスを是正する方向の交流電圧を放電
針に印加する。これにより、放電針から発生する正負イ
オン量のアンバランスが解消される。
イオンと負イオンの減少率に差が生じて各イオンセンサ
に誘起される電圧の正負のバランスが崩れると、第１、
第２の差動増幅器の出力の加算結果である電圧の振幅に
も正負のアンバランスが発生する。イオンバランス制御
部はこのアンバランスに応じてオフセット電圧を制御す
ることにより高圧発生部の出力電圧の正負の振幅を制御
し、上記アンバランスを是正する方向の交流電圧を放電
針に印加する。これにより、放電針から発生する正負イ
オン量のアンバランスが解消される。
【００１０】第１、第２の差動増幅器の出力の加算結果
は放電針から発生する正負イオン量のバランスに対応し
ているため、上記加算結果に基づいてバーグラフ等の表
示器を表示させ、正負イオン量のバランス状態（アンバ
ランス状態）を視角的に表示する。
は放電針から発生する正負イオン量のバランスに対応し
ているため、上記加算結果に基づいてバーグラフ等の表
示器を表示させ、正負イオン量のバランス状態（アンバ
ランス状態）を視角的に表示する。
【００１１】また、上記アンバランス状態が一定時間継
続したときにはアンバランス警報を出力し、更に、イオ
ンセンサにおける誘起電圧の減少から放電針の汚れを検
出したときにはクリーニング警報を出力する。これらの
アンバランス警報及びクリーニング警報によりＬＥＤラ
ンプ等の表示器を点灯し、あるいは各警報を上位システ
ムに伝送して注意を促す。
続したときにはアンバランス警報を出力し、更に、イオ
ンセンサにおける誘起電圧の減少から放電針の汚れを検
出したときにはクリーニング警報を出力する。これらの
アンバランス警報及びクリーニング警報によりＬＥＤラ
ンプ等の表示器を点灯し、あるいは各警報を上位システ
ムに伝送して注意を促す。
【００１２】
【実施例】以下、図に沿って本発明の実施例を説明す
る。図１は実施例の回路構成を示しており、１０は交流
の高電圧を発生させる高圧発生部である。この高圧発生
部１０は、一次巻線が商用電源に接続され、二次巻線が
放電針２０に接続されたトランス１１と、前記二次巻線
と共通電位点との間に接続されたコンデンサ等からなる
電圧制御部１２とから構成されている。電圧制御部１２
は、高圧発生部１０の前段の増幅器Ａ3の出力に応じて
トランス１１の二次巻線側の電位を変化させ、結果的に
放電針２０に印加する交流電圧の正負の振幅を制御して
いる。
る。図１は実施例の回路構成を示しており、１０は交流
の高電圧を発生させる高圧発生部である。この高圧発生
部１０は、一次巻線が商用電源に接続され、二次巻線が
放電針２０に接続されたトランス１１と、前記二次巻線
と共通電位点との間に接続されたコンデンサ等からなる
電圧制御部１２とから構成されている。電圧制御部１２
は、高圧発生部１０の前段の増幅器Ａ3の出力に応じて
トランス１１の二次巻線側の電位を変化させ、結果的に
放電針２０に印加する交流電圧の正負の振幅を制御して
いる。
【００１３】トランス１１の二次巻線に接続された複数
の放電針２０の前方には、導電体からなる棒状のイオン
センサ３１，３２，３３が、放電針２０からの正負イオ
ンの移動方向に沿って平行かつ等間隔に配置されてい
る。なお、放電針２０は消耗時に個々に交換可能となっ
ている。第１、第２のイオンセンサ３１，３２は差動増
幅部４０内の第１の差動増幅器Ａ1の各入力端子にそれ
ぞれ接続され、第２、第３のイオンセンサ３２，３３は
第２の差動増幅器Ａ2の各入力端子にそれぞれ接続され
ている。
の放電針２０の前方には、導電体からなる棒状のイオン
センサ３１，３２，３３が、放電針２０からの正負イオ
ンの移動方向に沿って平行かつ等間隔に配置されてい
る。なお、放電針２０は消耗時に個々に交換可能となっ
ている。第１、第２のイオンセンサ３１，３２は差動増
幅部４０内の第１の差動増幅器Ａ1の各入力端子にそれ
ぞれ接続され、第２、第３のイオンセンサ３２，３３は
第２の差動増幅器Ａ2の各入力端子にそれぞれ接続され
ている。
【００１４】差動増幅部４０は、正負イオンにより誘起
された第１、第２のイオンセンサ３１，３２の電圧差
と、第２、第３のイオンセンサ３２，３３の電圧差とを
検出する。上記電圧差の和（イオンバランス情報を含ん
だ交流電圧）が入力されるイオンバランス制御部５０で
は、その入力電圧に応じてオフセット電圧を調整し、増
幅器Ａ3を介して前記高圧発生部１０の出力電圧の振幅
を正側または負側に変化させるように動作する。
された第１、第２のイオンセンサ３１，３２の電圧差
と、第２、第３のイオンセンサ３２，３３の電圧差とを
検出する。上記電圧差の和（イオンバランス情報を含ん
だ交流電圧）が入力されるイオンバランス制御部５０で
は、その入力電圧に応じてオフセット電圧を調整し、増
幅器Ａ3を介して前記高圧発生部１０の出力電圧の振幅
を正側または負側に変化させるように動作する。
【００１５】同時に、第１、第２の差動増幅器Ａ1，Ａ2
の出力電圧の和は、イオンバランス状態を表示するバー
グラフ７１の点灯範囲を決定するためのバーグラフワイ
ド調整ボリュームＲを介して、比較増幅器Ａ4の一方の
入力端子に加えられている。この比較増幅器Ａ4の他方
の入力端子には、バーグラフの中心（０Ｖに相当する位
置）に対応する電圧がバーグラフセンター基準値として
加えられる。
の出力電圧の和は、イオンバランス状態を表示するバー
グラフ７１の点灯範囲を決定するためのバーグラフワイ
ド調整ボリュームＲを介して、比較増幅器Ａ4の一方の
入力端子に加えられている。この比較増幅器Ａ4の他方
の入力端子には、バーグラフの中心（０Ｖに相当する位
置）に対応する電圧がバーグラフセンター基準値として
加えられる。
【００１６】比較増幅器Ａ4の出力は表示制御部６０に
加えられており、上述した第１、第２の差動増幅器
Ａ1，Ａ2の出力電圧の和に基づいてバーグラフ７１を点
灯制御する。バーグラフ７１は、その中心を０Ｖすなわ
ちバランスがとれている状態とし、中心から正負両方向
にＬＥＤアレイを直線上に配置して構成される。バーグ
ラフ７１の正側及び負側の点灯範囲は放電針２０からの
イオン発生量に比例させてあり、点灯範囲が正負両方向
で等しければイオンバランスがとれていると判断する。
また、点灯範囲が正負で異なっていれば、点灯範囲が広
い方の極性のイオンが多く、狭い方の極性のイオンが少
ないために正負イオン量がアンバランスであると判断す
る。
加えられており、上述した第１、第２の差動増幅器
Ａ1，Ａ2の出力電圧の和に基づいてバーグラフ７１を点
灯制御する。バーグラフ７１は、その中心を０Ｖすなわ
ちバランスがとれている状態とし、中心から正負両方向
にＬＥＤアレイを直線上に配置して構成される。バーグ
ラフ７１の正側及び負側の点灯範囲は放電針２０からの
イオン発生量に比例させてあり、点灯範囲が正負両方向
で等しければイオンバランスがとれていると判断する。
また、点灯範囲が正負で異なっていれば、点灯範囲が広
い方の極性のイオンが多く、狭い方の極性のイオンが少
ないために正負イオン量がアンバランスであると判断す
る。
【００１７】ここで、バーグラフ７１は、電圧のアンバ
ランスが±１０Ｖを超えると両端の各１個のＬＥＤのみ
が点灯し、いわゆるスケールオーバーの状態であること
を表示可能となっている。
ランスが±１０Ｖを超えると両端の各１個のＬＥＤのみ
が点灯し、いわゆるスケールオーバーの状態であること
を表示可能となっている。
【００１８】比較増幅器Ａ4の出力は比較器ＣＰ1にも加
えられており、比較増幅器Ａ4の出力がアンバランス警
報基準値（例えば±１０Ｖ）を超えた状態が一定期間
（例えば１５秒）継続した場合にアンバランス警報を出
力して表示制御部６０を介しＬＥＤランプ７２を連続的
に点灯させ、正負イオン量がアンバランスであることを
警報表示する。一方、第２の差動増幅器Ａ2の出力は増
幅器Ａ5を介して比較器ＣＰ2に加えられている。この比
較器ＣＰ2は、第２、第３のイオンセンサ３２，３３の
誘起電圧差を増幅した値をクリーニング警報基準値と比
較してクリーニング警報を出力し、放電針２０のクリー
ニングが必要であることを認識させるものである。
えられており、比較増幅器Ａ4の出力がアンバランス警
報基準値（例えば±１０Ｖ）を超えた状態が一定期間
（例えば１５秒）継続した場合にアンバランス警報を出
力して表示制御部６０を介しＬＥＤランプ７２を連続的
に点灯させ、正負イオン量がアンバランスであることを
警報表示する。一方、第２の差動増幅器Ａ2の出力は増
幅器Ａ5を介して比較器ＣＰ2に加えられている。この比
較器ＣＰ2は、第２、第３のイオンセンサ３２，３３の
誘起電圧差を増幅した値をクリーニング警報基準値と比
較してクリーニング警報を出力し、放電針２０のクリー
ニングが必要であることを認識させるものである。
【００１９】すなわち、放電針２０が汚れてくると第２
の差動増幅器Ａ2の出力電圧も減少するので、これを増
幅して比較器ＣＰ2で基準値と比較することにより、ク
リーニングの必要性を判定することとした。比較器ＣＰ
2の出力は表示制御部６０に加えられており、クリーニ
ングが必要と判断された場合に前記ＬＥＤランプ７２を
点滅させる。ここで、クリーニング警報は第１の差動増
幅器Ａ1の出力に基づいて得ることもできる。
の差動増幅器Ａ2の出力電圧も減少するので、これを増
幅して比較器ＣＰ2で基準値と比較することにより、ク
リーニングの必要性を判定することとした。比較器ＣＰ
2の出力は表示制御部６０に加えられており、クリーニ
ングが必要と判断された場合に前記ＬＥＤランプ７２を
点滅させる。ここで、クリーニング警報は第１の差動増
幅器Ａ1の出力に基づいて得ることもできる。
【００２０】なお、クリーニングを要するほど放電針２
０が汚れている場合には、比較増幅器Ａ4の出力電圧も
減少し、表示制御部６０によって制御させるバーグラフ
７１の点灯範囲も減少する。また、図示されていない
が、正負イオン量のアンバランス警報及びクリーニング
警報は、例えば監視制御室などに設けられた上位の制御
装置、コンピュータ等のシステムに伝送しても良い。
０が汚れている場合には、比較増幅器Ａ4の出力電圧も
減少し、表示制御部６０によって制御させるバーグラフ
７１の点灯範囲も減少する。また、図示されていない
が、正負イオン量のアンバランス警報及びクリーニング
警報は、例えば監視制御室などに設けられた上位の制御
装置、コンピュータ等のシステムに伝送しても良い。
【００２１】図２は、この実施例のイオナイザの外観を
示しており、７１ａ，７１ｂはイオンバランス状態表示
用のバーグラフ、７２ａ，７２ｂは前記アンバランス警
報及びクリーニング警報により点灯する表示用のＬＥＤ
ランプである。本実施例ではバーグラフ及びＬＥＤラン
プの組を装置本体８１の表裏に設けることにより、装置
の前後方向からイオンバランス状態及び警報表示を確認
できるようになっている。
示しており、７１ａ，７１ｂはイオンバランス状態表示
用のバーグラフ、７２ａ，７２ｂは前記アンバランス警
報及びクリーニング警報により点灯する表示用のＬＥＤ
ランプである。本実施例ではバーグラフ及びＬＥＤラン
プの組を装置本体８１の表裏に設けることにより、装置
の前後方向からイオンバランス状態及び警報表示を確認
できるようになっている。
【００２２】また、図２において、８２は支持台、８３
は固定ダイアルであり、この固定ダイアル８３を緩めた
状態で装置本体８１を所望の仰角にセットし、次いで固
定ダイアル８３を締め付けて装置本体８１を固定するも
のである。更に、装置本体８１の裏面にはコネクタ８５
が設けられ、前述した上位のシステムへアンバランス警
報及びクリーニング警報を伝送するケーブルが接続可能
である。
は固定ダイアルであり、この固定ダイアル８３を緩めた
状態で装置本体８１を所望の仰角にセットし、次いで固
定ダイアル８３を締め付けて装置本体８１を固定するも
のである。更に、装置本体８１の裏面にはコネクタ８５
が設けられ、前述した上位のシステムへアンバランス警
報及びクリーニング警報を伝送するケーブルが接続可能
である。
【００２３】加えて、図２（ａ）に示すごとく、装置本
体８１の正面には放電針２０の前方を開口させた窓８６
が設けられている。そして、装置本体８１の内部で放電
針２０の後方には、風量調節が可能な送風用のファン８
４が配置されており、放電針２０から発生したイオンを
効率良く前方へ送ることが可能となっている。本発明
は、このようにいわゆるイオン送風機としてではなく、
送風用のファンを用いないエアパージ式のイオナイザと
して実現することもできる。
体８１の正面には放電針２０の前方を開口させた窓８６
が設けられている。そして、装置本体８１の内部で放電
針２０の後方には、風量調節が可能な送風用のファン８
４が配置されており、放電針２０から発生したイオンを
効率良く前方へ送ることが可能となっている。本発明
は、このようにいわゆるイオン送風機としてではなく、
送風用のファンを用いないエアパージ式のイオナイザと
して実現することもできる。
【００２４】なお、このイオナイザでは、運転に先立
ち、装置本体８１の前方３０ｃｍに置いた帯電モニタ
（図示せず）により正負の電圧がバランスするように、
イオンバランス制御部５０のオフセット電圧を調整して
いる。
ち、装置本体８１の前方３０ｃｍに置いた帯電モニタ
（図示せず）により正負の電圧がバランスするように、
イオンバランス制御部５０のオフセット電圧を調整して
いる。
【００２５】
【発明の効果】以上のように本発明においては、放電針
の前方に複数のイオンセンサを配置して移動中の正負イ
オンの減少率を検出しているため、正負イオン量のアン
バランスを高精度に認識することができ、イオンバラン
ス制御部及び高圧発生部の制御動作によって上記アンバ
ランスを自動的に是正することができる。
の前方に複数のイオンセンサを配置して移動中の正負イ
オンの減少率を検出しているため、正負イオン量のアン
バランスを高精度に認識することができ、イオンバラン
ス制御部及び高圧発生部の制御動作によって上記アンバ
ランスを自動的に是正することができる。
【００２６】また、正負イオンのバランス状態やアンバ
ランス警報、更にはクリーニング警報等を視角的に表示
することで、使用者はイオナイザの状態を一目瞭然に認
識でき、適切かつ迅速な対応をとることができる。更
に、高湿度の雰囲気においても、直流式のように放電針
の相互間で高圧リークを起こす心配がない。
ランス警報、更にはクリーニング警報等を視角的に表示
することで、使用者はイオナイザの状態を一目瞭然に認
識でき、適切かつ迅速な対応をとることができる。更
に、高湿度の雰囲気においても、直流式のように放電針
の相互間で高圧リークを起こす心配がない。
【図１】本発明の実施例を示す回路構成図である。
【図２】本発明の実施例を示す外観図である。
【符号の説明】
１０ 高圧発生部
１１ トランス
１２ 電圧制御部
２０ 放電針
３１，３２，３３ イオンセンサ
４０ 差動増幅部
５０ イオンバランス制御部
６０ 表示制御部
７１，７１ａ，７１ｂ バーグラフ
７２，７２ａ，７２ｂ ＬＥＤランプ
８１ 装置本体
８２ 支持台
８３ 固定ダイアル
８４ ファン
８５ コネクタ
８６ 窓
Ａ1，Ａ2，Ａ3，Ａ4，Ａ5 増幅器
ＣＰ1，ＣＰ2 比較器
Ｒ バーグラフワイド調整ボリューム
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H05F 3/04
H01T 15/00
H01T 23/00
Claims (2)
- 【請求項１】 交流の高電圧を発生する高圧発生部と、
前記高電圧が印加されて正負のイオンを発生する放電針
と、前記イオンによる正負の誘起電圧を検出するイオン
センサと、前記誘起電圧の正負のアンバランスを是正す
るように高圧発生部を制御するイオンバランス制御部と
を備えた交流式イオナイザにおいて、 イオンの移動経路に順次配置されて各々正負の誘起電圧
を検出する第１ないし第３のイオンセンサと、 第１、第２のイオンセンサの誘起電圧が入力される第１
の差動増幅器、及び、第２、第３のイオンセンサの誘起
電圧が入力される第２の差動増幅器からなる差動増幅部
と、 第１、第２の差動増幅器の出力を加算して前記イオンバ
ランス制御部に入力する手段と、 第１、第２の差動増幅器の出力の加算結果から検出した
正負イオン量のバランス状態を視覚的に表示させる手段
と、 第１及び第２の差動増幅器の出力の加算結果とアンバラ
ンス警報基準値とを比較して正負イオン量のアンバラン
ス状態が一定時間継続した場合にアンバランス警報を発
生する手段と、 第１または第２の差動増幅器の出力とクリーニング警報
基準値とを比較して放電針に対するクリーニング警報を
発生する手段と、 を備えたことを特徴とする交流式イオナイザ。 - 【請求項２】 請求項１記載の交流式イオナイザにおい
て、 放電針から発生したイオンを送風により強制的に移動さ
せるファンを備えたことを特徴とする交流式イオナイ
ザ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12581495A JP3407475B2 (ja) | 1995-04-26 | 1995-04-26 | 交流式イオナイザ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12581495A JP3407475B2 (ja) | 1995-04-26 | 1995-04-26 | 交流式イオナイザ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08298197A JPH08298197A (ja) | 1996-11-12 |
| JP3407475B2 true JP3407475B2 (ja) | 2003-05-19 |
Family
ID=14919600
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12581495A Expired - Lifetime JP3407475B2 (ja) | 1995-04-26 | 1995-04-26 | 交流式イオナイザ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3407475B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8861166B2 (en) | 1998-09-18 | 2014-10-14 | Illinois Tool Works, Inc. | Low voltage modular room ionization system |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6785114B2 (en) * | 2001-03-29 | 2004-08-31 | Illinois Tool Works Inc. | Foraminous filter for use in air ionizer |
| JP4184213B2 (ja) * | 2003-09-25 | 2008-11-19 | 修二 高石 | イオン発生量制御方法及びイオナイザー |
| JP2006024528A (ja) * | 2004-07-09 | 2006-01-26 | Vessel Industrial Co Ltd | 静電気除去装置 |
| JP2007114177A (ja) * | 2005-09-21 | 2007-05-10 | Sharp Corp | イオン検出装置及びイオン発生装置 |
| JP2007123166A (ja) * | 2005-10-31 | 2007-05-17 | Omron Corp | 直流式イオナイザ |
| JP2010078392A (ja) * | 2008-09-25 | 2010-04-08 | Hugle Electronics Inc | イオン濃度測定回路及びイオン電流センサ |
| FI123025B (fi) * | 2011-01-12 | 2012-10-15 | Aavi Technologies Oy | Laite ja menetelmä ilman puhdistamiseksi ei-toivotuista ainesosista ja niiden eliminoimiseksi |
| JP5731879B2 (ja) | 2011-04-08 | 2015-06-10 | 株式会社キーエンス | 除電装置及び除電制御方法 |
| JP5276691B2 (ja) * | 2011-04-22 | 2013-08-28 | 株式会社キーエンス | 除電装置 |
| TWI652869B (zh) * | 2014-03-19 | 2019-03-01 | 美商伊利諾工具工程公司 | 自動平衡的微脈衝離子化吹風器 |
| CN104998757A (zh) * | 2015-08-10 | 2015-10-28 | 深圳市普瑞艾尔科技有限公司 | 空气净化电离装置及其控制方法 |
-
1995
- 1995-04-26 JP JP12581495A patent/JP3407475B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8861166B2 (en) | 1998-09-18 | 2014-10-14 | Illinois Tool Works, Inc. | Low voltage modular room ionization system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08298197A (ja) | 1996-11-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3407475B2 (ja) | 交流式イオナイザ | |
| US6252233B1 (en) | Instantaneous balance control scheme for ionizer | |
| US7391599B2 (en) | Low voltage modular room ionization system | |
| US5719526A (en) | Internal load monitor for amplifier | |
| KR20080071123A (ko) | 직류식 이오나이저 | |
| US9404945B2 (en) | Ionization monitoring device | |
| TW200836593A (en) | Static elimination apparatus | |
| JPH02267880A (ja) | イオン化エアー送風機 | |
| US8681470B2 (en) | Active ionization control with interleaved sampling and neutralization | |
| JP4819222B2 (ja) | 自己バランス型イオン化装置のモニタ装置 | |
| JP6512604B2 (ja) | 電圧検出センサおよび測定装置 | |
| KR20110042491A (ko) | 휴대용 직류접지검출장치 및 직류접지검출방법 | |
| JPH10300803A (ja) | 帯電物の表面電位検出装置および該検出装置を用いた 除電装置 | |
| JPH08255668A (ja) | イオン生成装置 | |
| KR100306079B1 (ko) | 전극봉을이용한수위검지방법및장치 | |
| JP2002372569A (ja) | 電圧監視回路および電圧監視回路が内蔵されたｉｃ試験装置 | |
| JPH0668398U (ja) | 除電装置における放電監視装置 | |
| JPS62185476A (ja) | 表示装置 | |
| JP2017032517A (ja) | 電圧検出センサおよび測定装置 | |
| KR20170041214A (ko) | 폐루프 피드백 및 인터리빙된 샘플링에 의한 활성 이온화 제어 | |
| KR20010004334A (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널 장치 | |
| JPH11153641A (ja) | 半導体デバイス試験装置 | |
| JP3117459U (ja) | イオンセンサ及びそれを用いたイオナイザ制御装置並びにイオン量監視装置 | |
| JP3355070B2 (ja) | 電気音響装置の極性検査装置 | |
| JPH08122380A (ja) | 表面電位測定器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030225 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090314 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120314 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130314 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140314 Year of fee payment: 11 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |