JP3401834B2 - 誘電体材料 - Google Patents
誘電体材料Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、ペロブスカイト系構
造を有する高誘電率の誘電体材料に関する。 【0002】 【従来の技術】高誘電率を示す誘電体材料は、チップ部
品、各種フィルター、コンデンサー等の電子部品に有用
なものとなっている。 【0003】誘電体材料としては、誘電率が高く、かつ
広い温度領域で誘電率の温度による変化ができるだけ小
さいという平坦な温度特性を有することが望まれる。そ
こで、従来より、種々の誘電体材料について、誘電率と
温度との関係が測定されている。例えば、ペロブスカイ
ト系構造を有する誘電体材料としては、Pb(In1/2
Ta1/2 )O3 が、図9に示したような、誘電率εr ´
と温度との関係及び誘電損失tanδと温度との関係を
有すること、また、Pb(In1/2 Nb1/2 )O3 が、
図10に示したような、誘電率εr ´と温度との関係及
び誘電損失tanδと温度との関係を有することが報告
されている(Jpn.J.Appl.Phys.,Vo
l31,ppL574−575(1992))。 【0004】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、誘電体
材料に高い誘電率と平坦な温度特性を同時に実現するこ
とは非常に困難である。例えば、図9に示したPb(I
n1/2 Ta1/2 )O3 及び図10に示したPb(In
1/2 Nb1/2 )O3 のいずれのペロブスカイト系構造を
有する誘電体材料においても、層転移点が0℃近傍にあ
るために、室温近傍の常用温度領域では誘電率が温度に
よって大きく変化し、良好な温度特性を有しているとは
いえない。 【0005】また、このようなペロブスカイト系構造を
有する誘電体材料を製造するためには、その原料粉末
を、例えば数秒間で1000℃以上に加熱するという急
速な昇温速度で焼結することが必要とされる。そのた
め、特殊な焼結炉を使用しなければ製造できないという
問題もある。 【0006】この発明は以上のような従来技術の課題を
解決しようとするものであり、室温近傍の常用温度領域
において高い誘電率と平坦な温度特性とを同時に実現す
るペロブスカイト系構造の誘電体材料を得ること、また
そのような誘電体材料を通常の焼結炉を使用し、100
0℃以下程度の低温焼結で製造できるようにすることを
目的とする。 【0007】 【課題を解決するための手段】この発明者は、ペロブス
カイト系構造の誘電体材料であるPb(In1/2 Ta
1/2 )O3 あるいはPb(In1/2 Nb1/2 )O3 のP
bの一部をBaで置き換えることにより、常用温度領域
において高い誘電率と平坦な温度特性とを有する新規な
ペロブスカイト系構造の誘電体材料が得られ、しかもそ
のような誘電体材料は、低温焼結により容易に製造でき
ることを見出し、この発明を完成させるに至った。 【0008】即ち、この発明は、次式 (Pb1-x Bax )(In1/2 M1/2 )O3-y (1) (式中、MはTa又はNbであり、0<x<1、y≧0
である)で表されるペロブスカイト系誘電体材料を提供
する。 【0009】このように、この発明の誘電体材料は、P
b(In1/2 Ta1/2 )O3 あるいはPb(In1/2 N
b1/2 )O3 のPbの一部をBaで置き換えた構造を有
することを特徴としている。BaではなくCaやSrで
置き換えても、ペロブスカイト系構造の焼結体を得るこ
とはできない。 【0010】また、Pbの一部をBaで置き換える割合
に関し、式(1)中のxは0より大きく1未満とし、好
ましくは0.05以上0.7以下とする。この範囲でB
aを導入することにより、容易にペロブスカイト系構造
の焼結体を得ることができる。この場合、さらにxを
0.5以下とすると、誘電率を大きく向上させることが
でき、誘電率の温度特性を平坦にできるのでより好まし
い。なお、式(1)中、酸素の割合を規定しているyは
焼結体の格子欠損等に基づく数値である。 【0011】この発明の誘電体材料の製造方法として
は、Pb以外の成分をあらかじめ焼成してBa−In−
M−Ox(式中、MはTa又はNbである)なる酸化物
を合成し、その後PbO、Pb3O4、PbO2等の鉛
酸化物を加え、常法により混合し、成形し、焼結するこ
とにより容易に得ることができる。この焼結時の昇温速
度は速い方が好ましいが、急速焼結法のように200℃
/秒程度の急速な昇温速度で加熱することは必要ない。 【0012】 【作用】この発明の誘電体材料は、ペロブスカイト系構
造の誘電体材料であるPb(In1/2 Ta1/2 )O3 あ
るいはPb(In1/2 Nb1/2 )O3 のPbの一部をB
aで置き換えた構造を有している。このため、常用温度
領域において高い誘電率と平坦な温度特性とを兼ね備え
たものとなり、誘電材料として有用なものとなる。しか
も、この発明の誘電体材料は、低温焼結により容易に製
造できるものとなる。 【0013】 【実施例】以下、この発明を実施例に基づいて具体的に
説明する。 【0014】実施例1 純度99.9%以上のIn2O3、Ta2O5及びBa
CO3の粉末を用意し、これらをInTaO4、Ba2
InTaO6に対応する組成でそれぞれ秤量し、水を混
合溶媒としてボールミルで混合処理し、その後、溶媒を
蒸発除去した。 【0015】次ぎに、500Kg/cm2の圧力で加圧
成形し、1200℃で24時間焼成した。そして焼成物
を粉砕し、InTaO4及びBa−In−Ta−Oの粉
末を得た。 【0016】これらの粉末とBaCO3とPbOとを原
料粉末とし、(Pb1-x Bax )(In1/2 Ta1/2 )
O3-y において、x=0.15となるように秤量し、水
を混合溶媒としてボールミルで混合処理し、その後溶媒
を蒸発除去し、1000Kg/cm2の圧力で加圧成形
し、本焼成した。この場合、本焼成の条件は、焼結温度
1000℃、焼結時間5分、昇降温速度9000℃/
時、空気雰囲気とした。その結果、収縮率19%、焼結
密度8.58g/cm3の焼結体が得られた。また、得
られた焼結体について、X線回折パターン(Cu Kα
線使用)を測定した。その結果を図1に示す。 【0017】実施例2 実施例1と同様にして焼成した原料粉末を、(Pb1-x
Bax )(In1/2 Ta1/2 )O3-y において、x=
0.30となるように秤量した以外は実施例1と同様に
して本焼成した。その結果、収縮率20%、焼結密度
7.68g/cm3の焼結体が得られた。また、得られ
た焼結体について、実施例1と同様にしてX線回折パタ
ーンを測定した。その結果を図1に示す。 【0018】実施例3 実施例1と同様にして焼成した原料粉末を、(Pb1-x
Bax )(In1/2 Ta1/2 )O3-y において、x=
0.50となるように秤量した以外は実施例1と同様に
して本焼成した。その結果、収縮率10%、焼結密度
5.05g/cm3の焼結体が得られた。また、得られ
た焼結体について、実施例1と同様にしてX線回折パタ
ーンを測定した。その結果を図1に示す。 【0019】比較例1 実施例1と同様にして焼成した原料粉末を、(Pb1-x
Bax )(In1/2 Ta1/2 )O3-y において、x=
0.0となるように秤量した以外は実施例1と同様にし
て本焼成した。その結果、収縮率8%、焼結密度6.1
8g/cm3の焼結体が得られた。また、得られた焼結
体について、実施例1と同様にしてX線回折パターンを
測定した。その結果を図1に示す。 【0020】[(Pb1-x Bax )(In1/2 T
a1/2 )O3-y のBa量と結晶構造との関係]図1か
ら、(Pb1-x Bax )(In1/2 Ta1/2 )O3-y の
組成の焼結体は、Ba量に関して、xの値が0.0、
0.15、0.30、0.50と増加するにつれて格子
定数がa=4.109A、4.1161A、4.129
5A、4.1324Aと増大し、Baが結晶格子に取り
込まれていることがわかる。 【0021】また、xの値が0.15〜0.5である実
施例の焼結体のX線回折パターンには、ペロブスカイト
型もしくは近似的にペトブスカイトとみなせる特有のパ
ターンが見られ、これらの焼結体がペロブスカイト系構
造を有していることが確認できた。 【0022】[(Pb1-x Bax )(In1/2 T
a1/2 )O3-y の誘電率の温度依存性]実施例1及び実
施例2で得た焼結体について、それぞれ誘電率(100
KHz)の温度依存性を求めた。結果を図2及び図3に
示す。 【0023】図2及び図3に示した結果と、前述した図
9の従来のBaを含まない誘電体材料(Pb(In1/2
Ta1/2 )O3 )の結果とを比較することにより、実施
例の焼結体によれば、室温近傍の温度領域において平坦
な温度特性を得られることがわかる。また、このことを
明らかにするために、図2、図3及び図9において誘電
率がピークを示す温度(Tm'')をそれぞれ読取り、そ
の温度Tm''をxの値に対してプロットし、図4に示し
た。図4から、PbをBaで置き換えた実施例の焼結体
は、誘電率がピークを示す温度(Tm'')が下がってい
ることが明らかである。一般に、誘電率がピークを示す
温度(Tm'')が下ると、その温度Tm''よりも高温度
領域にある温度特性の平坦な領域が広がって温度特性が
向上することから、図4の結果からも、実施例の焼結体
は温度特性が向上していることがわかる。 【0024】実施例4 純度99.9%以上のIn2O3、Nb2O5及びBa
CO3の粉末を用意し、これらをInNbO4、Ba2
InNbO6に対応する組成でそれぞれ秤量し、水を混
合溶媒としてボールミルで混合処理し、その後、溶媒を
蒸発除去した。 【0025】次ぎに、実施例1と同様にして加圧成形
し、焼成し、焼成物を粉砕して、InNbO4及びBa
−In−Nb−Oの粉末を得た。 【0026】次ぎにこれらの粉末とBaCO3とPbO
とを原料粉末とし、(Pb1-x Bax )(In1/2 Nb
1/2 )O3-y において、x=0.15となるように秤量
し、実施例1と同様にして原料粉末をボールミルで混合
処理し、加圧成形し、本焼成した。この場合、本焼成の
条件は、焼結温度900℃、焼結時間120分、昇降温
速度9000℃/時、空気雰囲気とした。その結果、収
縮率19%、焼結密度7.68g/cm3の焼結体が得
られた。また、得られた焼結体について、実施例1と同
様にしてX線回折パターンを測定した。その結果を図5
に示す。 【0027】実施例5 実施例4と同様にして焼成した原料粉末を、(Pb1-x
Bax )(In1/2 Nb1/2 )O3-y において、x=
0.30となるように秤量した以外は実施例4と同様に
して本焼成した。その結果、収縮率20%、焼結密度
7.68g/cm3の焼結体が得られた。また、得られ
た焼結体について、実施例1と同様にしてX線回折パタ
ーンを測定した。その結果を図5に示す。 【0028】実施例6 実施例4と同様にして焼成した原料粉末を、(Pb1-x
Bax )(In1/2 Nb1/2 )O3-y において、x=
0.50となるように秤量した以外は実施例4と同様に
して本焼成した。その結果、収縮率18%、焼結密度
6.54g/cm3の焼結体が得られた。また、得られ
た焼結体について、実施例1と同様にしてX線回折パタ
ーンを測定した。その結果を図5に示す。 【0029】比較例2 実施例4と同様にして焼成した原料粉末を、(Pb1-x
Bax )(In1/2 Nb1/2 )O3-y において、x=
0.0となるように秤量した以外は実施例4と同様にし
て本焼成した(焼結時間55分)。その結果、収縮率1
5%、焼結密度8.13g/cm3の焼結体が得られ
た。また、得られた焼結体について、実施例1と同様に
してX線回折パターンを測定した。その結果を図5に示
す。 【0030】[(Pb1-x Bax )(In1/2 N
b1/2 )O3-y のBa量と結晶構造との関係]図5か
ら、(Pb1-x Bax )(In1/2 Nb1/2 )O3-y の
組成の焼結体は、Ba量に関して、xの値が0.0、
0.15、0.30、0.50と増加するにつれて格子
定数がa=4.117A、4.1237A、4.129
2A、4.1350Aと増大し、Baが結晶格子に取り
込まれていることがわかる。 【0031】また、xの値が0.15〜0.5である実
施例の焼結体のX線回折パターンには、ペロブスカイト
型もしくは近似的にペトブスカイトとみなせる特有のパ
ターンが見られ、これらの焼結体がペロブスカイト系構
造を有していることが確認できた。 【0032】[(Pb1-x Bax )(In1/2 N
b1/2 )O3-y の誘電率の温度依存性]実施例4及び実
施例5で得た焼結体について、それぞれ誘電率(100
KHz)の温度依存性を求めた。結果を図6及び図7に
示す。 【0033】図6及び図7に示した結果と、前述した図
10の従来のBaを含まない誘電体材料(Pb(In
1/2 Nb1/2 )O3 )の結果とを比較することにより、
実施例の焼結体によれば、室温近傍の温度領域において
平坦な温度特性を得られることがわかる。また、このこ
とを明らかにするために、図6、図7及び図10におい
て誘電率がピークを示す温度(Tm'')をそれぞれ読取
り、その温度Tm''をxの値に対してプロットし、図8
に示した。図8から、PbをBaで置き換えた実施例の
焼結体は、誘電率がピークを示す温度(Tm'')が下が
っていることが明らかである。したがって、図8の結果
からも実施例の焼結体は温度特性が向上していることが
わかる。 【0034】 【発明の効果】この発明の誘電体材料によれば、室温近
傍の常用温度領域において高い誘電率と平坦な温度特性
とを同時に実現するペロブスカイト系構造の誘電体材料
を、通常の焼結炉を使用して1000℃以下程度の低温
焼結により製造することが可能となる。
造を有する高誘電率の誘電体材料に関する。 【0002】 【従来の技術】高誘電率を示す誘電体材料は、チップ部
品、各種フィルター、コンデンサー等の電子部品に有用
なものとなっている。 【0003】誘電体材料としては、誘電率が高く、かつ
広い温度領域で誘電率の温度による変化ができるだけ小
さいという平坦な温度特性を有することが望まれる。そ
こで、従来より、種々の誘電体材料について、誘電率と
温度との関係が測定されている。例えば、ペロブスカイ
ト系構造を有する誘電体材料としては、Pb(In1/2
Ta1/2 )O3 が、図9に示したような、誘電率εr ´
と温度との関係及び誘電損失tanδと温度との関係を
有すること、また、Pb(In1/2 Nb1/2 )O3 が、
図10に示したような、誘電率εr ´と温度との関係及
び誘電損失tanδと温度との関係を有することが報告
されている(Jpn.J.Appl.Phys.,Vo
l31,ppL574−575(1992))。 【0004】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、誘電体
材料に高い誘電率と平坦な温度特性を同時に実現するこ
とは非常に困難である。例えば、図9に示したPb(I
n1/2 Ta1/2 )O3 及び図10に示したPb(In
1/2 Nb1/2 )O3 のいずれのペロブスカイト系構造を
有する誘電体材料においても、層転移点が0℃近傍にあ
るために、室温近傍の常用温度領域では誘電率が温度に
よって大きく変化し、良好な温度特性を有しているとは
いえない。 【0005】また、このようなペロブスカイト系構造を
有する誘電体材料を製造するためには、その原料粉末
を、例えば数秒間で1000℃以上に加熱するという急
速な昇温速度で焼結することが必要とされる。そのた
め、特殊な焼結炉を使用しなければ製造できないという
問題もある。 【0006】この発明は以上のような従来技術の課題を
解決しようとするものであり、室温近傍の常用温度領域
において高い誘電率と平坦な温度特性とを同時に実現す
るペロブスカイト系構造の誘電体材料を得ること、また
そのような誘電体材料を通常の焼結炉を使用し、100
0℃以下程度の低温焼結で製造できるようにすることを
目的とする。 【0007】 【課題を解決するための手段】この発明者は、ペロブス
カイト系構造の誘電体材料であるPb(In1/2 Ta
1/2 )O3 あるいはPb(In1/2 Nb1/2 )O3 のP
bの一部をBaで置き換えることにより、常用温度領域
において高い誘電率と平坦な温度特性とを有する新規な
ペロブスカイト系構造の誘電体材料が得られ、しかもそ
のような誘電体材料は、低温焼結により容易に製造でき
ることを見出し、この発明を完成させるに至った。 【0008】即ち、この発明は、次式 (Pb1-x Bax )(In1/2 M1/2 )O3-y (1) (式中、MはTa又はNbであり、0<x<1、y≧0
である)で表されるペロブスカイト系誘電体材料を提供
する。 【0009】このように、この発明の誘電体材料は、P
b(In1/2 Ta1/2 )O3 あるいはPb(In1/2 N
b1/2 )O3 のPbの一部をBaで置き換えた構造を有
することを特徴としている。BaではなくCaやSrで
置き換えても、ペロブスカイト系構造の焼結体を得るこ
とはできない。 【0010】また、Pbの一部をBaで置き換える割合
に関し、式(1)中のxは0より大きく1未満とし、好
ましくは0.05以上0.7以下とする。この範囲でB
aを導入することにより、容易にペロブスカイト系構造
の焼結体を得ることができる。この場合、さらにxを
0.5以下とすると、誘電率を大きく向上させることが
でき、誘電率の温度特性を平坦にできるのでより好まし
い。なお、式(1)中、酸素の割合を規定しているyは
焼結体の格子欠損等に基づく数値である。 【0011】この発明の誘電体材料の製造方法として
は、Pb以外の成分をあらかじめ焼成してBa−In−
M−Ox(式中、MはTa又はNbである)なる酸化物
を合成し、その後PbO、Pb3O4、PbO2等の鉛
酸化物を加え、常法により混合し、成形し、焼結するこ
とにより容易に得ることができる。この焼結時の昇温速
度は速い方が好ましいが、急速焼結法のように200℃
/秒程度の急速な昇温速度で加熱することは必要ない。 【0012】 【作用】この発明の誘電体材料は、ペロブスカイト系構
造の誘電体材料であるPb(In1/2 Ta1/2 )O3 あ
るいはPb(In1/2 Nb1/2 )O3 のPbの一部をB
aで置き換えた構造を有している。このため、常用温度
領域において高い誘電率と平坦な温度特性とを兼ね備え
たものとなり、誘電材料として有用なものとなる。しか
も、この発明の誘電体材料は、低温焼結により容易に製
造できるものとなる。 【0013】 【実施例】以下、この発明を実施例に基づいて具体的に
説明する。 【0014】実施例1 純度99.9%以上のIn2O3、Ta2O5及びBa
CO3の粉末を用意し、これらをInTaO4、Ba2
InTaO6に対応する組成でそれぞれ秤量し、水を混
合溶媒としてボールミルで混合処理し、その後、溶媒を
蒸発除去した。 【0015】次ぎに、500Kg/cm2の圧力で加圧
成形し、1200℃で24時間焼成した。そして焼成物
を粉砕し、InTaO4及びBa−In−Ta−Oの粉
末を得た。 【0016】これらの粉末とBaCO3とPbOとを原
料粉末とし、(Pb1-x Bax )(In1/2 Ta1/2 )
O3-y において、x=0.15となるように秤量し、水
を混合溶媒としてボールミルで混合処理し、その後溶媒
を蒸発除去し、1000Kg/cm2の圧力で加圧成形
し、本焼成した。この場合、本焼成の条件は、焼結温度
1000℃、焼結時間5分、昇降温速度9000℃/
時、空気雰囲気とした。その結果、収縮率19%、焼結
密度8.58g/cm3の焼結体が得られた。また、得
られた焼結体について、X線回折パターン(Cu Kα
線使用)を測定した。その結果を図1に示す。 【0017】実施例2 実施例1と同様にして焼成した原料粉末を、(Pb1-x
Bax )(In1/2 Ta1/2 )O3-y において、x=
0.30となるように秤量した以外は実施例1と同様に
して本焼成した。その結果、収縮率20%、焼結密度
7.68g/cm3の焼結体が得られた。また、得られ
た焼結体について、実施例1と同様にしてX線回折パタ
ーンを測定した。その結果を図1に示す。 【0018】実施例3 実施例1と同様にして焼成した原料粉末を、(Pb1-x
Bax )(In1/2 Ta1/2 )O3-y において、x=
0.50となるように秤量した以外は実施例1と同様に
して本焼成した。その結果、収縮率10%、焼結密度
5.05g/cm3の焼結体が得られた。また、得られ
た焼結体について、実施例1と同様にしてX線回折パタ
ーンを測定した。その結果を図1に示す。 【0019】比較例1 実施例1と同様にして焼成した原料粉末を、(Pb1-x
Bax )(In1/2 Ta1/2 )O3-y において、x=
0.0となるように秤量した以外は実施例1と同様にし
て本焼成した。その結果、収縮率8%、焼結密度6.1
8g/cm3の焼結体が得られた。また、得られた焼結
体について、実施例1と同様にしてX線回折パターンを
測定した。その結果を図1に示す。 【0020】[(Pb1-x Bax )(In1/2 T
a1/2 )O3-y のBa量と結晶構造との関係]図1か
ら、(Pb1-x Bax )(In1/2 Ta1/2 )O3-y の
組成の焼結体は、Ba量に関して、xの値が0.0、
0.15、0.30、0.50と増加するにつれて格子
定数がa=4.109A、4.1161A、4.129
5A、4.1324Aと増大し、Baが結晶格子に取り
込まれていることがわかる。 【0021】また、xの値が0.15〜0.5である実
施例の焼結体のX線回折パターンには、ペロブスカイト
型もしくは近似的にペトブスカイトとみなせる特有のパ
ターンが見られ、これらの焼結体がペロブスカイト系構
造を有していることが確認できた。 【0022】[(Pb1-x Bax )(In1/2 T
a1/2 )O3-y の誘電率の温度依存性]実施例1及び実
施例2で得た焼結体について、それぞれ誘電率(100
KHz)の温度依存性を求めた。結果を図2及び図3に
示す。 【0023】図2及び図3に示した結果と、前述した図
9の従来のBaを含まない誘電体材料(Pb(In1/2
Ta1/2 )O3 )の結果とを比較することにより、実施
例の焼結体によれば、室温近傍の温度領域において平坦
な温度特性を得られることがわかる。また、このことを
明らかにするために、図2、図3及び図9において誘電
率がピークを示す温度(Tm'')をそれぞれ読取り、そ
の温度Tm''をxの値に対してプロットし、図4に示し
た。図4から、PbをBaで置き換えた実施例の焼結体
は、誘電率がピークを示す温度(Tm'')が下がってい
ることが明らかである。一般に、誘電率がピークを示す
温度(Tm'')が下ると、その温度Tm''よりも高温度
領域にある温度特性の平坦な領域が広がって温度特性が
向上することから、図4の結果からも、実施例の焼結体
は温度特性が向上していることがわかる。 【0024】実施例4 純度99.9%以上のIn2O3、Nb2O5及びBa
CO3の粉末を用意し、これらをInNbO4、Ba2
InNbO6に対応する組成でそれぞれ秤量し、水を混
合溶媒としてボールミルで混合処理し、その後、溶媒を
蒸発除去した。 【0025】次ぎに、実施例1と同様にして加圧成形
し、焼成し、焼成物を粉砕して、InNbO4及びBa
−In−Nb−Oの粉末を得た。 【0026】次ぎにこれらの粉末とBaCO3とPbO
とを原料粉末とし、(Pb1-x Bax )(In1/2 Nb
1/2 )O3-y において、x=0.15となるように秤量
し、実施例1と同様にして原料粉末をボールミルで混合
処理し、加圧成形し、本焼成した。この場合、本焼成の
条件は、焼結温度900℃、焼結時間120分、昇降温
速度9000℃/時、空気雰囲気とした。その結果、収
縮率19%、焼結密度7.68g/cm3の焼結体が得
られた。また、得られた焼結体について、実施例1と同
様にしてX線回折パターンを測定した。その結果を図5
に示す。 【0027】実施例5 実施例4と同様にして焼成した原料粉末を、(Pb1-x
Bax )(In1/2 Nb1/2 )O3-y において、x=
0.30となるように秤量した以外は実施例4と同様に
して本焼成した。その結果、収縮率20%、焼結密度
7.68g/cm3の焼結体が得られた。また、得られ
た焼結体について、実施例1と同様にしてX線回折パタ
ーンを測定した。その結果を図5に示す。 【0028】実施例6 実施例4と同様にして焼成した原料粉末を、(Pb1-x
Bax )(In1/2 Nb1/2 )O3-y において、x=
0.50となるように秤量した以外は実施例4と同様に
して本焼成した。その結果、収縮率18%、焼結密度
6.54g/cm3の焼結体が得られた。また、得られ
た焼結体について、実施例1と同様にしてX線回折パタ
ーンを測定した。その結果を図5に示す。 【0029】比較例2 実施例4と同様にして焼成した原料粉末を、(Pb1-x
Bax )(In1/2 Nb1/2 )O3-y において、x=
0.0となるように秤量した以外は実施例4と同様にし
て本焼成した(焼結時間55分)。その結果、収縮率1
5%、焼結密度8.13g/cm3の焼結体が得られ
た。また、得られた焼結体について、実施例1と同様に
してX線回折パターンを測定した。その結果を図5に示
す。 【0030】[(Pb1-x Bax )(In1/2 N
b1/2 )O3-y のBa量と結晶構造との関係]図5か
ら、(Pb1-x Bax )(In1/2 Nb1/2 )O3-y の
組成の焼結体は、Ba量に関して、xの値が0.0、
0.15、0.30、0.50と増加するにつれて格子
定数がa=4.117A、4.1237A、4.129
2A、4.1350Aと増大し、Baが結晶格子に取り
込まれていることがわかる。 【0031】また、xの値が0.15〜0.5である実
施例の焼結体のX線回折パターンには、ペロブスカイト
型もしくは近似的にペトブスカイトとみなせる特有のパ
ターンが見られ、これらの焼結体がペロブスカイト系構
造を有していることが確認できた。 【0032】[(Pb1-x Bax )(In1/2 N
b1/2 )O3-y の誘電率の温度依存性]実施例4及び実
施例5で得た焼結体について、それぞれ誘電率(100
KHz)の温度依存性を求めた。結果を図6及び図7に
示す。 【0033】図6及び図7に示した結果と、前述した図
10の従来のBaを含まない誘電体材料(Pb(In
1/2 Nb1/2 )O3 )の結果とを比較することにより、
実施例の焼結体によれば、室温近傍の温度領域において
平坦な温度特性を得られることがわかる。また、このこ
とを明らかにするために、図6、図7及び図10におい
て誘電率がピークを示す温度(Tm'')をそれぞれ読取
り、その温度Tm''をxの値に対してプロットし、図8
に示した。図8から、PbをBaで置き換えた実施例の
焼結体は、誘電率がピークを示す温度(Tm'')が下が
っていることが明らかである。したがって、図8の結果
からも実施例の焼結体は温度特性が向上していることが
わかる。 【0034】 【発明の効果】この発明の誘電体材料によれば、室温近
傍の常用温度領域において高い誘電率と平坦な温度特性
とを同時に実現するペロブスカイト系構造の誘電体材料
を、通常の焼結炉を使用して1000℃以下程度の低温
焼結により製造することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(Pb1-x Bax )(In1/2 Ta1/2 )O
3-y の誘電体材料のX線回折パターンである。 【図2】実施例の温度と誘電率の関係図である。 【図3】実施例の温度と誘電率の関係図である。 【図4】(Pb1-x Bax )(In1/2 Ta1/2 )O
3-y の誘電体材料のxの値と誘電率がピークを示す温度
(Tm'')との関係図である。 【図5】(Pb1-x Bax )(In1/2 Nb1/2 )O
3-y の誘電体材料のX線回折パターンである。 【図6】実施例の温度と誘電率の関係図である。 【図7】実施例の温度と誘電率の関係図である。 【図8】(Pb1-x Bax )(In1/2 Nb1/2 )O
3-y の誘電体材料のxの値と誘電率がピークを示す温度
(Tm'')との関係図である。 【図9】従来の誘電体材料(Pb(In1/2 Ta1/2 )
O3 )の誘電率の温度依存性及び誘電損失の温度依存性
を示す関係図である。 【図10】従来の誘電体材料(Pb(In1/2 N
b1/2 )O3 )の誘電率の温度依存性及び誘電損失の温
度依存性を示す関係図である。
3-y の誘電体材料のX線回折パターンである。 【図2】実施例の温度と誘電率の関係図である。 【図3】実施例の温度と誘電率の関係図である。 【図4】(Pb1-x Bax )(In1/2 Ta1/2 )O
3-y の誘電体材料のxの値と誘電率がピークを示す温度
(Tm'')との関係図である。 【図5】(Pb1-x Bax )(In1/2 Nb1/2 )O
3-y の誘電体材料のX線回折パターンである。 【図6】実施例の温度と誘電率の関係図である。 【図7】実施例の温度と誘電率の関係図である。 【図8】(Pb1-x Bax )(In1/2 Nb1/2 )O
3-y の誘電体材料のxの値と誘電率がピークを示す温度
(Tm'')との関係図である。 【図9】従来の誘電体材料(Pb(In1/2 Ta1/2 )
O3 )の誘電率の温度依存性及び誘電損失の温度依存性
を示す関係図である。 【図10】従来の誘電体材料(Pb(In1/2 N
b1/2 )O3 )の誘電率の温度依存性及び誘電損失の温
度依存性を示す関係図である。
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フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名)
C01G 35/00
C01G 33/00
C04B 35/495
CA(STN)
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項1】 次式 (Pb1-x Bax )(In1/2 M1/2 )O3-y (1) (式中、MはTa又はNbであり、0<x<1、y≧0
である)で表されるペロブスカイト系誘電体材料。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12544793A JP3401834B2 (ja) | 1993-04-27 | 1993-04-27 | 誘電体材料 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12544793A JP3401834B2 (ja) | 1993-04-27 | 1993-04-27 | 誘電体材料 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06305733A JPH06305733A (ja) | 1994-11-01 |
JP3401834B2 true JP3401834B2 (ja) | 2003-04-28 |
Family
ID=14910315
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12544793A Expired - Fee Related JP3401834B2 (ja) | 1993-04-27 | 1993-04-27 | 誘電体材料 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3401834B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AU2003262231A1 (en) * | 2003-03-31 | 2004-10-25 | Council Of Scientific And Industrial Research | Mg2mm' 06+x, ( m=y, rare earth metal, and m'=sn, sb, zr, hf, and ta) compounds and a method for the production of the same |
-
1993
- 1993-04-27 JP JP12544793A patent/JP3401834B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH06305733A (ja) | 1994-11-01 |
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