JP3399586B2 - 角度および角加速度の一体型検出装置 - Google Patents
角度および角加速度の一体型検出装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はモータ軸などの回転体の
回転角度および無限回転角度範囲に渡る角加速度の検出
を非接触状態で行う検出装置に関するものである。
回転角度および無限回転角度範囲に渡る角加速度の検出
を非接触状態で行う検出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】回転体の制御用パラメータとしては、一
般に角度と加速度が採用されている。これらの双方の情
報を得るために、例えばロータリーエンコーダが使用さ
れている。すなわち、ロータリーエンコーダから回転体
の角度を示すＡ相およびＢ相のパルス信号を得ると共
に、これらの出力を微分処理することによって角加速度
を得ている。別の検出機構としては、角度検出器とは別
個に、液体ロータ型角加速度計、渦電流式の角加速度計
等の角加速度検出器を取付けることにより、回転体の角
度および角加速度を検出するようにしている。
般に角度と加速度が採用されている。これらの双方の情
報を得るために、例えばロータリーエンコーダが使用さ
れている。すなわち、ロータリーエンコーダから回転体
の角度を示すＡ相およびＢ相のパルス信号を得ると共
に、これらの出力を微分処理することによって角加速度
を得ている。別の検出機構としては、角度検出器とは別
個に、液体ロータ型角加速度計、渦電流式の角加速度計
等の角加速度検出器を取付けることにより、回転体の角
度および角加速度を検出するようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、角度検
出信号を微分処理することによって角加速度を得る形式
のものでは、その検出精度とノイズが問題となってい
る。また、双方の検出器を別個に設ける形式のもので
は、それらを設置するためのスペースが問題となってい
る。
出信号を微分処理することによって角加速度を得る形式
のものでは、その検出精度とノイズが問題となってい
る。また、双方の検出器を別個に設ける形式のもので
は、それらを設置するためのスペースが問題となってい
る。
【０００４】本発明の課題は、精度よく、しかもスペー
スが少なくて済むコンパクトな構成の角度および角加速
度検出用の一体型検出装置を提案することにある。
スが少なくて済むコンパクトな構成の角度および角加速
度検出用の一体型検出装置を提案することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の一体型検出装置
は、回転体に対して２枚のスリット付き円盤（第１およ
び第２の円盤）を対峙させた状態で同軸状態に固定し、
検出手段として、例えば、各円盤のスリットを挟んだ状
態に配置した発光素子および半導体位置検出器から構成
した半導体位置検出装置を用いて、回転体の回転角およ
び角加速度を検出するようにしている。本発明では、第
１の円盤には、同心状に円周方向に向かう第１および第
２のスリット列を形成し、他方の第２の円盤には、第１
のスリット列に対峙する状態に第３のスリット列を形成
してある。また、第２の円盤は、スリット列形成部分の
半径方向の内側あるいは外側に環状の重り部分を形成
し、これらの重なり部分およびスリット列に対して半径
方向の内側には、円周方向に弾性変形可能なばね部分を
形成した構成としてある。したがって、回転体が回転す
ると、回転体の回転速度の変化に応じて、第２の円盤の
重り部分の慣性力によって、ばね部分が円周方向に僅か
に弾性変形する。この結果、このばね部分の外周側に形
成されている第３のスリット列も同様に円周方向に僅か
に移動するので、第１の円盤の第１のスリット列との間
に相対回転が発生する。ここに、第１のスリット列およ
び第３のスリット列は、これらの間の相対移動に応じ
て、これらの交差位置が変動するように形成されてい
る。したがって、この交差位置の変動を、角加速度検出
用の検出手段によって検出することにより、回転体の角
加速度が検出される。また、第１の円盤に形成した第２
のスリット列の通過を、角度検出用の検出手段によって
検出することにより、回転体の回転角度位置が検出され
る。
は、回転体に対して２枚のスリット付き円盤（第１およ
び第２の円盤）を対峙させた状態で同軸状態に固定し、
検出手段として、例えば、各円盤のスリットを挟んだ状
態に配置した発光素子および半導体位置検出器から構成
した半導体位置検出装置を用いて、回転体の回転角およ
び角加速度を検出するようにしている。本発明では、第
１の円盤には、同心状に円周方向に向かう第１および第
２のスリット列を形成し、他方の第２の円盤には、第１
のスリット列に対峙する状態に第３のスリット列を形成
してある。また、第２の円盤は、スリット列形成部分の
半径方向の内側あるいは外側に環状の重り部分を形成
し、これらの重なり部分およびスリット列に対して半径
方向の内側には、円周方向に弾性変形可能なばね部分を
形成した構成としてある。したがって、回転体が回転す
ると、回転体の回転速度の変化に応じて、第２の円盤の
重り部分の慣性力によって、ばね部分が円周方向に僅か
に弾性変形する。この結果、このばね部分の外周側に形
成されている第３のスリット列も同様に円周方向に僅か
に移動するので、第１の円盤の第１のスリット列との間
に相対回転が発生する。ここに、第１のスリット列およ
び第３のスリット列は、これらの間の相対移動に応じ
て、これらの交差位置が変動するように形成されてい
る。したがって、この交差位置の変動を、角加速度検出
用の検出手段によって検出することにより、回転体の角
加速度が検出される。また、第１の円盤に形成した第２
のスリット列の通過を、角度検出用の検出手段によって
検出することにより、回転体の回転角度位置が検出され
る。
【０００６】本発明においては、角度および角加速の検
出のために、同一の部材である円盤に形成したスリット
列を利用している。このように双方の検出機構の構成部
材を共用しているので、検出機構がコンパクトになる。
また、微分処理を行うことなく角加速度が検出できる。
出のために、同一の部材である円盤に形成したスリット
列を利用している。このように双方の検出機構の構成部
材を共用しているので、検出機構がコンパクトになる。
また、微分処理を行うことなく角加速度が検出できる。
【０００７】ここで、円盤等の偏心等に伴う誤差を解消
するためには、角加速度検出用の検出手段を、円盤円周
方向の複数の個所に設置し、これらの出力に基づき誤差
を補償することが好ましい。
するためには、角加速度検出用の検出手段を、円盤円周
方向の複数の個所に設置し、これらの出力に基づき誤差
を補償することが好ましい。
【０００８】次に、本願の別の発明においては、次の構
成によって、同一の検出機構により角度および角加速度
を検出するようにしている。すなわち、回転体に対して
一体回転するように第１および第２の円盤を取り付ける
と共に、第１の円盤には第１のスリット列を形成し、第
２の円盤には前記第１のスリット列に対峙した位置にお
いて円周方向に向けて形成されていると共に、前記第１
のスリット列を構成しているスリットに対して一定の角
度で交差する方向に延びているスリットから構成されて
いる第２のスリット列を形成する。第２の円盤は、スリ
ット形成位置よりも半径方向の内側および外側の少なく
とも一方の側に形成された環状の重り部分と、重り部分
および第２のスリット列の形成位置よりも半径方向の内
側に形成されていると共に円周方向に向けて弾性変形可
能なばね部分から構成する。さらに、前記第１および第
２のスリット列を通過した光を検出するために、円盤円
周方向の異なる位置に、少なくとも２個の検出手段を配
置する。
成によって、同一の検出機構により角度および角加速度
を検出するようにしている。すなわち、回転体に対して
一体回転するように第１および第２の円盤を取り付ける
と共に、第１の円盤には第１のスリット列を形成し、第
２の円盤には前記第１のスリット列に対峙した位置にお
いて円周方向に向けて形成されていると共に、前記第１
のスリット列を構成しているスリットに対して一定の角
度で交差する方向に延びているスリットから構成されて
いる第２のスリット列を形成する。第２の円盤は、スリ
ット形成位置よりも半径方向の内側および外側の少なく
とも一方の側に形成された環状の重り部分と、重り部分
および第２のスリット列の形成位置よりも半径方向の内
側に形成されていると共に円周方向に向けて弾性変形可
能なばね部分から構成する。さらに、前記第１および第
２のスリット列を通過した光を検出するために、円盤円
周方向の異なる位置に、少なくとも２個の検出手段を配
置する。
【０００９】ここに、第１および第２のスリット列は、
第１の円盤に対する第２の円盤の相対的な移動量に応じ
て、これらのスリット列を通過する光の通過位置が変動
する状態に形成する。また、これらのスリット列の回転
に伴って、これらを通過して前記検出手段により受光さ
れる光の通過面積が周期的に変動するように形成する。
検出手段のそれぞれは、第１および第２のスリット列を
両側から挟む状態に配置された発光素子および半導体位
置検出器と、この半導体位置検出器の受光量を一定に保
持するように、発光素子の発光量を制御するフィードバ
ック制御部と、このフィードバック制御部から出力され
る発光素子の駆動信号に基づき回転体の回転角度検出用
のパルス信号を生成するパルス信号出力部とを有する構
成にする。
第１の円盤に対する第２の円盤の相対的な移動量に応じ
て、これらのスリット列を通過する光の通過位置が変動
する状態に形成する。また、これらのスリット列の回転
に伴って、これらを通過して前記検出手段により受光さ
れる光の通過面積が周期的に変動するように形成する。
検出手段のそれぞれは、第１および第２のスリット列を
両側から挟む状態に配置された発光素子および半導体位
置検出器と、この半導体位置検出器の受光量を一定に保
持するように、発光素子の発光量を制御するフィードバ
ック制御部と、このフィードバック制御部から出力され
る発光素子の駆動信号に基づき回転体の回転角度検出用
のパルス信号を生成するパルス信号出力部とを有する構
成にする。
【００１０】この構成の検出装置では、各検出手段にお
けるそれぞれのパルス信号出力に基づき回転体の回転角
度位置の検出が行われる。すなわち、一般的に使用され
ているロータリーエンコーダの場合と同様に、一方のパ
ルス信号出力と他方のパルス信号出力の間の位相差に基
づき回転角度の検出が行われる。また、それぞれの半導
体位置検出器の出力に基づき回転体の角加速度の検出が
行われる。
けるそれぞれのパルス信号出力に基づき回転体の回転角
度位置の検出が行われる。すなわち、一般的に使用され
ているロータリーエンコーダの場合と同様に、一方のパ
ルス信号出力と他方のパルス信号出力の間の位相差に基
づき回転角度の検出が行われる。また、それぞれの半導
体位置検出器の出力に基づき回転体の角加速度の検出が
行われる。
【００１１】
【実施例】以下に、図面を参照して本発明の実施例を説
明する。
明する。
【００１２】第１の実施例
図１には、第１の実施例である角度および角加速度の一
体型検出装置の縦断面を示してある。本例の検出装置１
は薄い円筒状のハウジング２を有し、このハウジング２
の中央を、ベアリング３を介して、測定対象の回転軸４
が回転自在に貫通している。ハウジング２内に位置する
回転軸４の外周には、２枚の円盤５、６が対峙した状態
で固定されている。一方の円盤５は剛性円盤であり、そ
の外周側には、円周方向に向けて第１および第２のスリ
ット列５１、５２が同心状態に形成されている。他方の
円盤６は後述する構造の弾性円盤であり、円盤５よりも
一回り小さく、その外周側における第１のスリット列に
対峙した位置には、円周方向に向けて第３のスリット列
６１が形成されている。
体型検出装置の縦断面を示してある。本例の検出装置１
は薄い円筒状のハウジング２を有し、このハウジング２
の中央を、ベアリング３を介して、測定対象の回転軸４
が回転自在に貫通している。ハウジング２内に位置する
回転軸４の外周には、２枚の円盤５、６が対峙した状態
で固定されている。一方の円盤５は剛性円盤であり、そ
の外周側には、円周方向に向けて第１および第２のスリ
ット列５１、５２が同心状態に形成されている。他方の
円盤６は後述する構造の弾性円盤であり、円盤５よりも
一回り小さく、その外周側における第１のスリット列に
対峙した位置には、円周方向に向けて第３のスリット列
６１が形成されている。
【００１３】図１および図２から分かるように、第１お
よび第２の円盤のスリット形成位置を両側から挟む状態
に、３組の光学式センサ７、８、９が配置されている。
これらのセンサのうち、センサ７、８は角加速度検出用
のものであり、本例では半導体位置検出装置を採用して
いる。これらの検出部は、発光ダイオード７１、８１
と、半導体位置検出器７２、８２から構成されており、
これらは第１および第３のスリット列５１、６１を挟む
状態に取付けられている。また、これらの検出部は１８
０度離れた位置に配置されている。残りのセンサ９は角
度検出用のものであり、発光素子９１と受光素子９２と
が、第２のスリット列５２を挟む状態に配置されてい
る。本例では、このセンサ９は、センサ７の半径方向の
外側に配置されている。
よび第２の円盤のスリット形成位置を両側から挟む状態
に、３組の光学式センサ７、８、９が配置されている。
これらのセンサのうち、センサ７、８は角加速度検出用
のものであり、本例では半導体位置検出装置を採用して
いる。これらの検出部は、発光ダイオード７１、８１
と、半導体位置検出器７２、８２から構成されており、
これらは第１および第３のスリット列５１、６１を挟む
状態に取付けられている。また、これらの検出部は１８
０度離れた位置に配置されている。残りのセンサ９は角
度検出用のものであり、発光素子９１と受光素子９２と
が、第２のスリット列５２を挟む状態に配置されてい
る。本例では、このセンサ９は、センサ７の半径方向の
外側に配置されている。
【００１４】図３には剛性円盤５の形状を示してある。
この円盤５の外周側には、同心状態に、第１および第２
のスリット列５１、５２が形成されている。第１のスリ
ット列５１は角加速度検出用のものである。これに対し
て、第２のスリット列５２は角度検出用のものであり、
一般的に利用されているロータリエンコーダにおいて採
用されるスリット群と同様なスリット群から構成されて
いる。
この円盤５の外周側には、同心状態に、第１および第２
のスリット列５１、５２が形成されている。第１のスリ
ット列５１は角加速度検出用のものである。これに対し
て、第２のスリット列５２は角度検出用のものであり、
一般的に利用されているロータリエンコーダにおいて採
用されるスリット群と同様なスリット群から構成されて
いる。
【００１５】図４には弾性円盤６の形状を示してある。
円盤６は、外側の環状部分６２と、回転体取付け用のボ
スを形成している内側の環状部分６３と、これらの間を
繋ぐ半径方向に延びる３本のリブ６４、６５、６６から
構成されている。外側の環状部分６２に第３のスリット
列６１が形成されている。３本のリブ６４、６５、６６
は円盤円周方向に弾性変形が可能なばね部分である。こ
のばねの特性は、その厚さ、幅、本数によって調整する
ことができる。このように、円盤６においては、外側の
環状部分６２が３本のばね状のリブによって支持されて
いるので、回転に伴なって発生する環状部分６２の慣性
力によって、この環状部分６２は円周方向に弾性移動す
る。このように、外側の環状部分６２はリブの部分を弾
性変形させるための重り部分として機能する。
円盤６は、外側の環状部分６２と、回転体取付け用のボ
スを形成している内側の環状部分６３と、これらの間を
繋ぐ半径方向に延びる３本のリブ６４、６５、６６から
構成されている。外側の環状部分６２に第３のスリット
列６１が形成されている。３本のリブ６４、６５、６６
は円盤円周方向に弾性変形が可能なばね部分である。こ
のばねの特性は、その厚さ、幅、本数によって調整する
ことができる。このように、円盤６においては、外側の
環状部分６２が３本のばね状のリブによって支持されて
いるので、回転に伴なって発生する環状部分６２の慣性
力によって、この環状部分６２は円周方向に弾性移動す
る。このように、外側の環状部分６２はリブの部分を弾
性変形させるための重り部分として機能する。
【００１６】次に、円盤５、６に形成されている第１お
よび第３のスリット列５１、６１について説明する。剛
性円盤５の側に形成した第１のスリット列５１は、一定
のピッチで形成された半径方向に延びるスリットから構
成されている。これに対して、弾性円盤６の側に形成し
たスリット列６１は、一のピッチではあるが、半径方向
に対して一定の角度だけ傾斜した方向に延びるスリット
から構成されている。
よび第３のスリット列５１、６１について説明する。剛
性円盤５の側に形成した第１のスリット列５１は、一定
のピッチで形成された半径方向に延びるスリットから構
成されている。これに対して、弾性円盤６の側に形成し
たスリット列６１は、一のピッチではあるが、半径方向
に対して一定の角度だけ傾斜した方向に延びるスリット
から構成されている。
【００１７】図５には、これらのスリット列５１、６１
を円周方向から直線方向に展開した状態で示してある。
この図において点線で示すスリット群が剛性円盤５の側
に形成されたスリット列５１を表し、実線で示すものが
弾性６の側に形成したスリット列６１である。また、想
像線で囲った範囲が、センサ７の半導体位置検出器７２
の検出領域である。スリット列５１のスリット５１ａは
一定のピッチｐで形成されており、他方のスリット列６
１のスリット６１ａは、スリット５１ａに対して一定の
角度だけ傾斜している。これらのスリット５１ａと６１
ａの交差あるいは重なり部分Ａが光通過部分を区画形成
している。双方のスリット５１ａ、６１ａが横方向に相
対的に移動すると、この交差部分Ａが全体として垂直方
向に向けて移動する。この移動位置が半導体位置検出器
７２の側において検出される。なお、他方のセンサ８に
おいても同様に移動位置が検出される。
を円周方向から直線方向に展開した状態で示してある。
この図において点線で示すスリット群が剛性円盤５の側
に形成されたスリット列５１を表し、実線で示すものが
弾性６の側に形成したスリット列６１である。また、想
像線で囲った範囲が、センサ７の半導体位置検出器７２
の検出領域である。スリット列５１のスリット５１ａは
一定のピッチｐで形成されており、他方のスリット列６
１のスリット６１ａは、スリット５１ａに対して一定の
角度だけ傾斜している。これらのスリット５１ａと６１
ａの交差あるいは重なり部分Ａが光通過部分を区画形成
している。双方のスリット５１ａ、６１ａが横方向に相
対的に移動すると、この交差部分Ａが全体として垂直方
向に向けて移動する。この移動位置が半導体位置検出器
７２の側において検出される。なお、他方のセンサ８に
おいても同様に移動位置が検出される。
【００１８】図６には、角加速度検出装置７の制御系を
示してある。発光ダイオード７１からの平行光が、スリ
ット５１ａ、６１ａの交差部分を通過して半導体位置検
出器７２の検出面７２ａに照射すると、その照射位置に
応じた比率に配分された光電流出力ｉ１、ｉ２がこの検
出器７２の両端から出力される。本例においては、フィ
ードバック制御回路７３を用いて出力ｉ１とｉ２の和が
一定値になるように、発光ダイオード７１の光量を制御
している。したがって、検出器７２の一方の検出出力ｉ
１から、交差部分Ａの移動位置を測定することができ
る。なお、他方のセンサ８の制御系も同一であるので、
その説明は省略する。
示してある。発光ダイオード７１からの平行光が、スリ
ット５１ａ、６１ａの交差部分を通過して半導体位置検
出器７２の検出面７２ａに照射すると、その照射位置に
応じた比率に配分された光電流出力ｉ１、ｉ２がこの検
出器７２の両端から出力される。本例においては、フィ
ードバック制御回路７３を用いて出力ｉ１とｉ２の和が
一定値になるように、発光ダイオード７１の光量を制御
している。したがって、検出器７２の一方の検出出力ｉ
１から、交差部分Ａの移動位置を測定することができ
る。なお、他方のセンサ８の制御系も同一であるので、
その説明は省略する。
【００１９】一方、角度検出用のセンサ９によって検出
される剛性円盤５の第２のスリット列５２は、従来のロ
ータリーエンコーダにおいて使用されているスリット群
と同様であり、センサ９から得られるパルス出力に基づ
き従来と同様にして回転体４の角度の検出を行うことが
できるようになっている。
される剛性円盤５の第２のスリット列５２は、従来のロ
ータリーエンコーダにおいて使用されているスリット群
と同様であり、センサ９から得られるパルス出力に基づ
き従来と同様にして回転体４の角度の検出を行うことが
できるようになっている。
【００２０】このように構成した本実施例の検出装置１
において、回転軸４の回転角度位置は、剛性円盤５に形
成された第２のスリット列５２の移動をセンサ９により
検出することによって、従来のロータリエンコーダと同
様に行われる。また、回転軸４の角加速度の検出は、次
のように行われる。回転軸４が回転を開始し、あるいは
回転速度が変化した場合には、弾性円盤６の側のスリッ
ト列６１が他方の剛性円盤５の側のスリット列５１に対
して円周方向にずれる。すなわち、弾性円盤６に形成し
た環状部分６２の慣性力によって、そのリブ（ばね部
分）６４、６５、６６が円周方向に弾性変形するので、
スリット列６１もそれに伴って円周方向にずれる。この
結果、スリット列６１とスリット列５１の間に形成され
る交差部分Ａ（光通過部分）は、半径方向にずれる。こ
のために、各センサ７、８の半導体位置検出器７２、８
２の側における受光位置（透過光の重心位置）が移動す
る。この移動に伴い、この検出器７２、８２の出力が変
化する。よって、この検出器出力から、回転軸４に発生
した角加速度を測定することができる。
において、回転軸４の回転角度位置は、剛性円盤５に形
成された第２のスリット列５２の移動をセンサ９により
検出することによって、従来のロータリエンコーダと同
様に行われる。また、回転軸４の角加速度の検出は、次
のように行われる。回転軸４が回転を開始し、あるいは
回転速度が変化した場合には、弾性円盤６の側のスリッ
ト列６１が他方の剛性円盤５の側のスリット列５１に対
して円周方向にずれる。すなわち、弾性円盤６に形成し
た環状部分６２の慣性力によって、そのリブ（ばね部
分）６４、６５、６６が円周方向に弾性変形するので、
スリット列６１もそれに伴って円周方向にずれる。この
結果、スリット列６１とスリット列５１の間に形成され
る交差部分Ａ（光通過部分）は、半径方向にずれる。こ
のために、各センサ７、８の半導体位置検出器７２、８
２の側における受光位置（透過光の重心位置）が移動す
る。この移動に伴い、この検出器７２、８２の出力が変
化する。よって、この検出器出力から、回転軸４に発生
した角加速度を測定することができる。
【００２１】ここで、参考のために、本例の検出装置１
の角加速度検出機構の設計方法の例を説明する。まず、
与えられた最大角加速度δｍ（ｒａｄ／ｓ2 ）に対する
最大の角変位φｍ（ｒａｄ）とする。検出装置の慣性モ
ーメントをＪ、弾性円盤６のばね部分のばね定数をｋと
おくと、加速度によって発生するトルクは Ｔｍ＝δｍ・Ｊ であり、ばね部分の変位による発生トルクは Ｔｍ＝φｍ・ｋ である。静止状態、あるいは定常回転状態では双方のト
ルクが等しいので、 δｍ・Ｊ＝φｍ・ｋ になる。この等式からＪとｋの比が求まる。 ｋ／Ｊ＝δｍ／φｍ ここに、この比（ｋ／Ｊ）は機械的固有周波数の２乗に
比例する。 ｋ／Ｊ＝ωn 2 一例として、最大の角加速度として、１０ｍｓｅｃで０
ｒｐｍから３０００ｒｐｍとなる加速度を考える。この
場合には、 δｍ＝（ω１−ω０）／Δｔ ＝〔（３０００−１）／０．０１〕・２π／６０ ＝３１４１６（ｒａｄ／ｓ2 ） 最大の角度変位を１分とすると φｍ＝（１／６０）・（π／１８０）＝２．９１×１０
-4（ｒａｄ） となる。したがって、ｋとＪの比は ｋ／Ｊ＝δｍ／φｍ＝３１４１６／（２．９１×１
０-4）＝１．０８×１０8 （１／ｓ2 ） となり、また、固有振動数は ωn ＝（ｋ／Ｊ）1/2 ＝１０３９２（ｒａｄ／ｓ）＝１６５４Ｈｚ となる。
の角加速度検出機構の設計方法の例を説明する。まず、
与えられた最大角加速度δｍ（ｒａｄ／ｓ2 ）に対する
最大の角変位φｍ（ｒａｄ）とする。検出装置の慣性モ
ーメントをＪ、弾性円盤６のばね部分のばね定数をｋと
おくと、加速度によって発生するトルクは Ｔｍ＝δｍ・Ｊ であり、ばね部分の変位による発生トルクは Ｔｍ＝φｍ・ｋ である。静止状態、あるいは定常回転状態では双方のト
ルクが等しいので、 δｍ・Ｊ＝φｍ・ｋ になる。この等式からＪとｋの比が求まる。 ｋ／Ｊ＝δｍ／φｍ ここに、この比（ｋ／Ｊ）は機械的固有周波数の２乗に
比例する。 ｋ／Ｊ＝ωn 2 一例として、最大の角加速度として、１０ｍｓｅｃで０
ｒｐｍから３０００ｒｐｍとなる加速度を考える。この
場合には、 δｍ＝（ω１−ω０）／Δｔ ＝〔（３０００−１）／０．０１〕・２π／６０ ＝３１４１６（ｒａｄ／ｓ2 ） 最大の角度変位を１分とすると φｍ＝（１／６０）・（π／１８０）＝２．９１×１０
-4（ｒａｄ） となる。したがって、ｋとＪの比は ｋ／Ｊ＝δｍ／φｍ＝３１４１６／（２．９１×１
０-4）＝１．０８×１０8 （１／ｓ2 ） となり、また、固有振動数は ωn ＝（ｋ／Ｊ）1/2 ＝１０３９２（ｒａｄ／ｓ）＝１６５４Ｈｚ となる。
【００２２】このように、検出装置の必要なバンド幅
を、最大の角加速度と最大の角度変位量により設定でき
る。また、得られた比ｋ／Ｊを満たすように、これら慣
性モーメントＪおよびばね定数ｋの値を設定すればよ
い。
を、最大の角加速度と最大の角度変位量により設定でき
る。また、得られた比ｋ／Ｊを満たすように、これら慣
性モーメントＪおよびばね定数ｋの値を設定すればよ
い。
【００２３】なお、本例においては、弾性円盤６に３本
のリブ６４、６５、６６を形成してあるが、このリブ
は、一定の角度間隔で２本あるいは４本以上形成しても
よい。このばねの本数は必要とされる弾性係数に応じて
決定される。通常は３本乃至１２本程度の本数に設定さ
れる。
のリブ６４、６５、６６を形成してあるが、このリブ
は、一定の角度間隔で２本あるいは４本以上形成しても
よい。このばねの本数は必要とされる弾性係数に応じて
決定される。通常は３本乃至１２本程度の本数に設定さ
れる。
【００２４】（スリットについて）本例においては、剛
性円盤の側に半径方向に延びるスリット群を形成し、他
方の弾性円盤６の側にこれと交差するように傾斜された
スリット群を形成しているが、この逆に、弾性円盤６の
側に半径方向に延びるスリット群を形成し、剛性円盤５
の側に傾斜したスリット群を形成してもよい。
性円盤の側に半径方向に延びるスリット群を形成し、他
方の弾性円盤６の側にこれと交差するように傾斜された
スリット群を形成しているが、この逆に、弾性円盤６の
側に半径方向に延びるスリット群を形成し、剛性円盤５
の側に傾斜したスリット群を形成してもよい。
【００２５】また、スリット列５１、６１を構成してい
る各スリットを、双方が半径方向に対して逆向きに同一
の傾斜角度だけ傾斜させたものとすることもできる。こ
の場合、これらのスリットにより形成される光通過部分
（交差部分）は菱形になる。この場合、双方のスリット
が相対移動すると、この交差部分を通過する光の重心位
置は円周方向に向けて移動する。このように、双方のス
リットを逆向きに傾斜させると、その交差部分を通過す
る光の重心位置が半径方向に移動しないという利点が得
られる。
る各スリットを、双方が半径方向に対して逆向きに同一
の傾斜角度だけ傾斜させたものとすることもできる。こ
の場合、これらのスリットにより形成される光通過部分
（交差部分）は菱形になる。この場合、双方のスリット
が相対移動すると、この交差部分を通過する光の重心位
置は円周方向に向けて移動する。このように、双方のス
リットを逆向きに傾斜させると、その交差部分を通過す
る光の重心位置が半径方向に移動しないという利点が得
られる。
【００２６】一方、本例では、各スリット５１ａ、６１
ａの形状は、一定の幅を有する直線状のものである。こ
の代わりに、アルキメデスの螺旋曲線にすることができ
る。この曲線状のスリットの中心線の半径ｒ（φ）は次
の式で表される。 ｒ（φ）＝（Ｒ２−Ｒ１）φ／α ＋ Ｒ１ ここに、Ｒ２：スリットの外側の半径 Ｒ１：スリットの内側の半径 φ ：角度 α ：ピッチ角度 ｒ（φ）：スリットの形状を規定する中心線の半径
ａの形状は、一定の幅を有する直線状のものである。こ
の代わりに、アルキメデスの螺旋曲線にすることができ
る。この曲線状のスリットの中心線の半径ｒ（φ）は次
の式で表される。 ｒ（φ）＝（Ｒ２−Ｒ１）φ／α ＋ Ｒ１ ここに、Ｒ２：スリットの外側の半径 Ｒ１：スリットの内側の半径 φ ：角度 α ：ピッチ角度 ｒ（φ）：スリットの形状を規定する中心線の半径
【００２７】この曲線形状を採用した場合には、検出器
の感度を、円盤の角度ずれに影響されることなく一定に
保持することができる。
の感度を、円盤の角度ずれに影響されることなく一定に
保持することができる。
【００２８】（弾性円盤について）本例においては、重
り部分の付いた弾性円盤６は一定の肉厚さのものを使用
している。この代わりに、重り部分のみを厚肉の部分と
して形成してもよい。
り部分の付いた弾性円盤６は一定の肉厚さのものを使用
している。この代わりに、重り部分のみを厚肉の部分と
して形成してもよい。
【００２９】また、本例では、弾性円盤６を同一部材か
ら形成しているが、異なる部材から構成することもでき
る。例えば、スリット列の形成部分をガラス製等の環状
板から形成し、この環状板の側面に対して同心状態に金
属製の環状板を固着した複合構造のものとしてもよい。
このようにすると、細かなスリットを精度良く形成しや
すいガラス素材を用いて、スリット部分を形成できるの
で、検出精度を上げることができる。しかも、重りおよ
びばね部分には金属素材を用いているので、このような
重りおよびばね部分を容易に形成することができる。な
お、スリット部分の素材としては、ガラス以外に、セラ
ミックス、プラスチック素材等を用いることができる。
また、金属素材としては、アルニミウム、鉄、ステンレ
ススチール、ニッケル等を用いることができる。さら
に、この部分も、プラスチック製あるいはセラミックス
製とすることもできる。異なる素材の組み合わせにおい
ては、それらの間の熱膨張率の差を考慮する必要があ
る。
ら形成しているが、異なる部材から構成することもでき
る。例えば、スリット列の形成部分をガラス製等の環状
板から形成し、この環状板の側面に対して同心状態に金
属製の環状板を固着した複合構造のものとしてもよい。
このようにすると、細かなスリットを精度良く形成しや
すいガラス素材を用いて、スリット部分を形成できるの
で、検出精度を上げることができる。しかも、重りおよ
びばね部分には金属素材を用いているので、このような
重りおよびばね部分を容易に形成することができる。な
お、スリット部分の素材としては、ガラス以外に、セラ
ミックス、プラスチック素材等を用いることができる。
また、金属素材としては、アルニミウム、鉄、ステンレ
ススチール、ニッケル等を用いることができる。さら
に、この部分も、プラスチック製あるいはセラミックス
製とすることもできる。異なる素材の組み合わせにおい
ては、それらの間の熱膨張率の差を考慮する必要があ
る。
【００３０】（センサの配置について）本例において
は、角加速度検出用のセンサ７、８を円周方向に１８０
度ずれた位置に配置してある。このため、これらのセン
サの出力に基づき、円盤の取付け誤差、スリット列の偏
心誤差等に起因した検出誤差を補償することができる。
このようなおそれがそれほど問題にならない場合には、
角加速度検出用のセンサといて１個のセンサを用いても
よい。
は、角加速度検出用のセンサ７、８を円周方向に１８０
度ずれた位置に配置してある。このため、これらのセン
サの出力に基づき、円盤の取付け誤差、スリット列の偏
心誤差等に起因した検出誤差を補償することができる。
このようなおそれがそれほど問題にならない場合には、
角加速度検出用のセンサといて１個のセンサを用いても
よい。
【００３１】また、本例では、角加速度検出用のセンサ
７と、角度検出用のセンサ９とを周方向の同一位置に配
置してある。しかし、これらのセンサ間の干渉が問題と
なる場合には、これらのセンサ７、９を周方向に向けて
所定の角度だけずらした位置に配置すればよい。例え
ば、図７に示すように、１８０度間隔で２個のセンサ
７、８を配置し、これらの間の角度位置の所に、センサ
９を配置すればよい。
７と、角度検出用のセンサ９とを周方向の同一位置に配
置してある。しかし、これらのセンサ間の干渉が問題と
なる場合には、これらのセンサ７、９を周方向に向けて
所定の角度だけずらした位置に配置すればよい。例え
ば、図７に示すように、１８０度間隔で２個のセンサ
７、８を配置し、これらの間の角度位置の所に、センサ
９を配置すればよい。
【００３２】第２の実施例
図８には、本発明の別の実施例に係る角度および加速度
の一体型検出装置を示してある。本例の検出装置２０に
おいてもハウジング２２を貫通して回転軸２４が延び、
その回転軸２４には２枚の円盤２５、２６が固着されて
いる。一方の円盤２５は剛性円盤であり、他方の円盤２
６は弾性円盤である。これらの円盤２５、２６の外周側
には、円周方向に向けてそれぞれ第１および第２のスリ
ット列２５１、２６１が形成されている。また、これら
の第１および第２のスリット列２５１、２６１を挟み、
２組みのセンサ２７および２８が取付けられている。こ
れらのセンサ２７、２８は、半導体位置検出装置であ
り、その検出部は、発光ダイオード２７１、２８１と、
半導体位置検出器２７２、２８２から構成されている。
これらの検出装置は、例えば１８０度ずれた位置に取付
けられている。
の一体型検出装置を示してある。本例の検出装置２０に
おいてもハウジング２２を貫通して回転軸２４が延び、
その回転軸２４には２枚の円盤２５、２６が固着されて
いる。一方の円盤２５は剛性円盤であり、他方の円盤２
６は弾性円盤である。これらの円盤２５、２６の外周側
には、円周方向に向けてそれぞれ第１および第２のスリ
ット列２５１、２６１が形成されている。また、これら
の第１および第２のスリット列２５１、２６１を挟み、
２組みのセンサ２７および２８が取付けられている。こ
れらのセンサ２７、２８は、半導体位置検出装置であ
り、その検出部は、発光ダイオード２７１、２８１と、
半導体位置検出器２７２、２８２から構成されている。
これらの検出装置は、例えば１８０度ずれた位置に取付
けられている。
【００３３】図９および図１０から分かるように、弾性
円盤２６は、外周側の環状部分２６２と、内周側の環状
部分２６３と、これらの間を繋いでいる４本のリブ２６
４から構成されている。外周側の環状部分２６２におい
ては、その外周側の部分に第２のスリット列２６１が形
成されており、これよりも内側の部分には円周方向に延
びる厚肉の重り部分２６５が形成されている。リブ２６
４は円周方向への弾性変形が可能なばね部分である。
円盤２６は、外周側の環状部分２６２と、内周側の環状
部分２６３と、これらの間を繋いでいる４本のリブ２６
４から構成されている。外周側の環状部分２６２におい
ては、その外周側の部分に第２のスリット列２６１が形
成されており、これよりも内側の部分には円周方向に延
びる厚肉の重り部分２６５が形成されている。リブ２６
４は円周方向への弾性変形が可能なばね部分である。
【００３４】本例における第１および第２のスリット列
２５１、２６１は、第１の実施例におけるスリット列５
１、６１と同一の関係にある（図５参照）。すなわち、
一方のスリット２５１ａは半径方向に延びるスリットで
あり、他方のスリット２６１はこれに対して一定の角度
だけ傾斜したスリットである。これらのスリット列が相
対的に移動すると、これらのスリットの交差位置が半径
方向に移動する。この移動に基づき回転軸の角加速度を
検出できる。また、スリット列が回転軸と共に回転する
ことにより、センサ２７、２８の半導体位置検出器２７
２、２８２の検出領域上において形成されるスリット交
差位置の個数（光通過面積）が周期的に変動する。本例
では、この周期的に変化する半導体位置検出器２７２、
２８２での受光量に基づき回転軸の角度を検出してい
る。
２５１、２６１は、第１の実施例におけるスリット列５
１、６１と同一の関係にある（図５参照）。すなわち、
一方のスリット２５１ａは半径方向に延びるスリットで
あり、他方のスリット２６１はこれに対して一定の角度
だけ傾斜したスリットである。これらのスリット列が相
対的に移動すると、これらのスリットの交差位置が半径
方向に移動する。この移動に基づき回転軸の角加速度を
検出できる。また、スリット列が回転軸と共に回転する
ことにより、センサ２７、２８の半導体位置検出器２７
２、２８２の検出領域上において形成されるスリット交
差位置の個数（光通過面積）が周期的に変動する。本例
では、この周期的に変化する半導体位置検出器２７２、
２８２での受光量に基づき回転軸の角度を検出してい
る。
【００３５】図１１には、本例の検出装置の制御系を示
してある。双方のセンサ２７、２８の制御系は同一であ
るので、一方のセンサ２７の側の構成を説明する。発光
ダイオード２７１からの平行光が、スリット２５１ａ、
２６１ａの重なり部分を通過して半導体位置検出器２７
２の検出面２７２ａに照射する。その照射位置に応じた
比率に配分された光電流出力ｉ１、ｉ２がこの検出器２
７２の両端から出力される。本例においては、フィード
バック制御回路２７３を用いて出力ｉ１とｉ２の和が一
定値になるように、発光ダイオード７１の光量を制御し
ている。したがって、検出器２７２の一方の検出出力ｉ
１から、スリットの交差部分の移動位置を測定すること
ができる。すなわち、回転軸２４の角加速度を検出する
ことができる。
してある。双方のセンサ２７、２８の制御系は同一であ
るので、一方のセンサ２７の側の構成を説明する。発光
ダイオード２７１からの平行光が、スリット２５１ａ、
２６１ａの重なり部分を通過して半導体位置検出器２７
２の検出面２７２ａに照射する。その照射位置に応じた
比率に配分された光電流出力ｉ１、ｉ２がこの検出器２
７２の両端から出力される。本例においては、フィード
バック制御回路２７３を用いて出力ｉ１とｉ２の和が一
定値になるように、発光ダイオード７１の光量を制御し
ている。したがって、検出器２７２の一方の検出出力ｉ
１から、スリットの交差部分の移動位置を測定すること
ができる。すなわち、回転軸２４の角加速度を検出する
ことができる。
【００３６】ここに、半導体位置検出器２７２での受光
量は、スリット列２５１、２６１の回転に伴い周期的に
変動する。したがって、本例においては、周期的に変動
するフィードバック制御回路２７３の制御出力２７３Ｓ
を、信号変換器２７４に取り込み、ここでパルス信号を
生成している。このパルス信号を、従来から使用されて
いるロータリーエンコーダのＡ相出力として利用してい
る。同様に、他方のセンサ２８の側の制御系におけるフ
ィードバック制御回路２８３からの制御出力２８３Ｓ
を、同様に信号変換器２８４に取り込み、ここでパルス
信号を生成している。このパルス信号を、従来から使用
されているロータリーエンコーダのＢ相出力として利用
する。なお、本例においては、このように双方のセンサ
からの出力を、Ａ相およびＢ相出力として利用している
ので、これらの出力の位相差が９０度となるように、セ
ンサ２７、２８の設置位置、スリット列２５１、２６１
のピッチ等を設定してある。
量は、スリット列２５１、２６１の回転に伴い周期的に
変動する。したがって、本例においては、周期的に変動
するフィードバック制御回路２７３の制御出力２７３Ｓ
を、信号変換器２７４に取り込み、ここでパルス信号を
生成している。このパルス信号を、従来から使用されて
いるロータリーエンコーダのＡ相出力として利用してい
る。同様に、他方のセンサ２８の側の制御系におけるフ
ィードバック制御回路２８３からの制御出力２８３Ｓ
を、同様に信号変換器２８４に取り込み、ここでパルス
信号を生成している。このパルス信号を、従来から使用
されているロータリーエンコーダのＢ相出力として利用
する。なお、本例においては、このように双方のセンサ
からの出力を、Ａ相およびＢ相出力として利用している
ので、これらの出力の位相差が９０度となるように、セ
ンサ２７、２８の設置位置、スリット列２５１、２６１
のピッチ等を設定してある。
【００３７】このように構成した本例においては、２組
みのセンサ２７、２８の出力に基づき回転軸の角加速度
を測定できる。また、それらのフィードバック制御信号
に基づき、Ａ相およびＢ相出力を生成するようにしてい
るので、これらから回転軸の角度も、従来のロータリエ
ンコーダにおける場合と同様に、測定することができ
る。
みのセンサ２７、２８の出力に基づき回転軸の角加速度
を測定できる。また、それらのフィードバック制御信号
に基づき、Ａ相およびＢ相出力を生成するようにしてい
るので、これらから回転軸の角度も、従来のロータリエ
ンコーダにおける場合と同様に、測定することができ
る。
【００３８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の検出装置
においては、剛性円盤と弾性円盤にそれぞれスリット列
を形成し、これらのスリットの相対移動を半導体位置検
出装置等の光学式センサを用いて検出して回転体の角加
速度を測定すると共に、剛性円盤の側に形成したスリッ
ト列を検出することにより、従来のロータリーエンコー
ダと同様にして回転体の角度を測定するようにしてい
る。したがって、回転体の角度および角加速度をコンパ
クトな構成で測定することができる。また、従来のよう
にロータリエンコーダから得られる出力を微分処理して
角加速度を算出する必要もない。
においては、剛性円盤と弾性円盤にそれぞれスリット列
を形成し、これらのスリットの相対移動を半導体位置検
出装置等の光学式センサを用いて検出して回転体の角加
速度を測定すると共に、剛性円盤の側に形成したスリッ
ト列を検出することにより、従来のロータリーエンコー
ダと同様にして回転体の角度を測定するようにしてい
る。したがって、回転体の角度および角加速度をコンパ
クトな構成で測定することができる。また、従来のよう
にロータリエンコーダから得られる出力を微分処理して
角加速度を算出する必要もない。
【００３９】また、本発明においては、半導体位置検出
装置における受光量を一定に保持するためのフィードバ
ック制御系からの出力を利用して、従来のロータリーエ
ンコーダからのＡ相およびＢ相出力に対応する出力を得
るようにしている。したがって、角度検出機構および角
加速度検出機構の双方を配置することなく、回転体の角
度および角加速度をコンパクトな構成により測定するこ
とができる。
装置における受光量を一定に保持するためのフィードバ
ック制御系からの出力を利用して、従来のロータリーエ
ンコーダからのＡ相およびＢ相出力に対応する出力を得
るようにしている。したがって、角度検出機構および角
加速度検出機構の双方を配置することなく、回転体の角
度および角加速度をコンパクトな構成により測定するこ
とができる。
【図１】本発明の第１の実施例である検出装置を示す縦
断面図である。
断面図である。
【図２】図１の装置におけるセンサの配置関係を示す説
明図である。
明図である。
【図３】図１の装置の剛性円盤の形状を示す平面図であ
る。
る。
【図４】図１の装置の弾性円盤の形状を示す平面図であ
る。
る。
【図５】図１の装置における双方の円盤に形成された第
１および第２のスリット列の関係を示す説明図である。
１および第２のスリット列の関係を示す説明図である。
【図６】図１の装置におけるセンサの制御系を示す概略
ブロック図である。
ブロック図である。
【図７】図１の装置におけるセンサの配置関係の別の例
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図８】本発明の第２の実施例である検出装置を示す縦
断面図である。
断面図である。
【図９】図８の装置の弾性円盤を示す断面図である。
【図１０】図８の装置の弾性円盤を示す平面図である。
【図１１】図８の装置のセンサの制御系を示す概略ブロ
ック図である。
ック図である。
１、２０・・・検出装置
２、２２・・・ハウジング
４、２４・・・回転軸
５、２５・・・剛性円盤
５１、２５１・・・第１のスリット列
５２、２６１・・・第２のスリット列
６、２６・・・弾性円盤
６１・・・第３のスリット列
７、８・・・角加速度検出用のセンサ
９・・・角度検出用のセンサ
２７、２８・・・センサ
２７３、２８３・・・フィードバック制御回路
２７４、２８４・・・信号変換器
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平３−255367（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01B 11/26
G01B 21/22
G01D 5/245
G01P 3/486
G01P 15/03
Claims (4)
- 【請求項１】 回転体に対して一体回転するように同軸
状態に固定した第１の円盤と、この第１の円盤に対峙し
た状態で回転体に対して一体回転するように同軸状態に
固定した第２の円盤と、前記第１の円盤において同心状
態に所定の間隔で形成された第１および第２のスリット
列と、前記第２の円盤における前記第１のスリット列に
対峙した位置において円周方向に向けて形成されている
と共に、前記第１のスリット列に対して一定の角度で交
差する方向に延びている第３のスリット列と、前記第２
の円盤において前記第３のスリット列の形成位置よりも
半径方向の内側および外側の少なくとも一方の側に形成
された環状の重り部分と、前記第２の円盤において前記
重り部分および第３のスリット列の形成位置よりも半径
方向の内側に形成されていると共に円周方向に向けて弾
性変形可能なばね部分と、前記回転体の回転に伴って発
生する前記第１のスリット列に対する前記第３のスリッ
ト列の交差位置の変化を検出する角加速度検出用の検出
手段と、前記第２のスリット列の移動を検出する角度検
出用の検出手段とを有することを特徴とする角度および
角加速度の一体型検出装置。 - 【請求項２】 請求項１において、少なくとも前記角加
速度検出用の検出手段は、前記第１および第３のスリッ
ト列を両側から挟む状態に配置された発光素子および半
導体位置検出器を備え、前記第１のスリット列および前
記第３のスリット列を通過する通過光の重心位置の移動
を検出するようになっていることを特徴とする角度およ
び角加速度の一体型検出装置。 - 【請求項３】 請求項１または２において、前記の角加
速度検出用の検出手段は、円盤円周方向の複数の個所に
設置されていることを特徴とする角度および角加速度の
一体型検出装置。 - 【請求項４】 回転体に対して一体回転するように同軸
状態に固定した第１の円盤と、この第１の円盤に対峙し
た状態で回転体に対して一体回転するように同軸状態に
固定した第２の円盤と、前記第１の円盤において円周方
向に向けて形成されている第１のスリット列と、前記第
２の円盤における前記第１のスリット列に対峙した位置
において円周方向に向けて形成されていると共に、前記
第１のスリット列を構成しているスリットに対して一定
の角度で交差する方向に延びて いるスリットから構成さ
れている第２のスリット列と、前記第２の円盤において
前記第２のスリット列の形成位置よりも半径方向の内側
および外側の少なくとも一方の側に形成された環状の重
り部分と、前記第２の円盤において前記重り部分および
第２のスリット列の形成位置よりも半径方向の内側に形
成されていると共に円周方向に向けて弾性変形可能なば
ね部分と、前記第１および第２のスリット列を通過した
光を検出するために、円盤円周方向の異なる位置に配置
した少なくとも２個の検出手段とを有し、 前記第１および第２のスリット列は、前記第１の円盤に
対する第２の円盤の相対的な移動量に応じて、これらの
スリット列を通過する光の通過位置が変動する状態に形
成されており、また、これらのスリット列の回転に伴っ
て、これらを通過して前記検出手段により受光される光
の通過面積が周期的に変動するように形成されており、 前記検出手段のそれぞれは、前記第１および第２のスリ
ット列を両側から挟む状態に配置された発光素子および
半導体位置検出器と、前記半導体位置検出器の受光量を
一定に保持するように、前記発光素子の発光量を制御す
るフィードバック制御部と、このフィードバック制御部
から出力される前記発光素子の駆動信号に基づき前記回
転体の回転角度検出用のパルス信号を生成するパルス信
号出力部とを有し、 これらの検出手段におけるそれぞれのパルス信号出力に
基づき前記回転体の回転角度位置の検出を行い、それぞ
れの半導体位置検出器の出力に基づき前記回転体の角加
速度の検出を行うようになっていることを特徴とする角
度および角加速度の一体型検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14868593A JP3399586B2 (ja) | 1993-05-27 | 1993-05-27 | 角度および角加速度の一体型検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14868593A JP3399586B2 (ja) | 1993-05-27 | 1993-05-27 | 角度および角加速度の一体型検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06337212A JPH06337212A (ja) | 1994-12-06 |
| JP3399586B2 true JP3399586B2 (ja) | 2003-04-21 |
Family
ID=15458314
Family Applications (1)
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1993
- 1993-05-27 JP JP14868593A patent/JP3399586B2/ja not_active Expired - Fee Related
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