JP2000136929A - マイクロ傾斜センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来のマイクロ傾斜センサの欠点を取り除
く。 【解決手段】 加速度受信装置（１ａ，１ｃ）が次のよ
うに、すなわち、それが、回転運動によって作用する遠
心力によって、かつ重力加速度によりばね装置（３ａ〜
３ｄ，１２１ａ〜１２１ｄ，１２２ａ〜１２２ｄ）のば
ね緊縮力に抗して作用する力によって、センサ軸線（Ａ
−Ａ′）に沿って変位可能であるように、構成されてい
る。更に、加速度受信装置（１ａ，１ｃ）の変位を把握
して、鉛直線に対するセンサ軸線（Ａ−Ａ′）の傾斜角
を調べるための評価装置が設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、マイクロ傾斜セン
サに関する。

【０００２】本発明は任意のマイクロ傾斜センサに適用
可能ではあるが、本発明並びに本発明の根底をなす問題
は、ケイ素表面のマイクロマシンのテクノロジーで製作
可能なマイクロ傾斜センサに関して説明する。

【０００３】

【従来の技術】一般に傾斜センサは消費財工業及び建設
業、例えば自動調整型水準器、自動調整型構築用レー
ザ、構造物の監視（橋の曲がり、構築物の傾斜など）の
ためのゼロ点が安定した重力加速度センサあるいは一般
に警報技術、例えば船、乗用車、鉄道あるいは航空機の
ような車両において、広範囲に使用することができる。

【０００４】現在の技術状態では、容量性のコーム構造
体を有するマイクロ傾斜センサが公知である。しかしこ
のマイクロ傾斜センサはその静的な配向を重力場におい
て把握することができず、単にその位置の変化を重力場
において測定することしかできない。しかもこの変化
は、それがある時間内に行われる場合にしか、把握する
ことができない。ゆっくりとした変化は、従来のセンサ
自体の作業点ドリフトから簡単には区別することができ
ない。

【０００５】要するに、上述の公知のものの欠点とし
て、例えば材料疲労に基づく支持ビームの曲げの場合の
極端にゆっくりとした変化は、例えば温度によるゼロ点
ドリフトから区別することができないという事実が明ら
かになった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題はこのよ
うな従来のものの欠点を取り除くことである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に、本発明の構成によれば、マイクロ傾斜センサが、基
板と、基板上に第１のばね装置によって弾性的に取り付
けられているリング体と、リング体を駆動してリング軸
線を中心として回転運動させるためのリング体と結合さ
れた駆動装置と、第２のばね装置を介してリング体に取
り付けられている加速度受信装置とを有し、その際加速
度受信装置は次のように、すなわち、それが、回転運動
によって作用する遠心力によって、かつ重力加速度によ
り両方のばね装置のばね緊縮力に抗して作用する力によ
って、リング軸線を通って延びるセンサ軸線に沿って変
位可能であるように、構成されており、更に、加速度受
信装置の変位を把握して、鉛直線に対するセンサ軸線の
傾斜角を調べるための評価装置を有しているようにし
た。

【０００８】

【発明の効果】この構成要件を具備したマイクロ傾斜セ
ンサは、その固有の配向を重力場内で測定することがで
き、その場合評価のために安定してゼロ位置にあるとい
う利点を有している。

【０００９】

【発明の実施の形態】本発明の根底をなす思想は、傾斜
センサの感度方向が常に重力場に対して相対的に公知の
時間関数で回転運動例えば回転振動によって変化せしめ
られるということに存している。ドリフトによって作業
点が変化すると、出力信号の振幅が変化するけれども、
傾斜に関する情報は加速度受信部の出力信号の振幅内に
ではなしに、リング体の運動に対する出力信号の位相関
係内にあるので、この情報はドリフトによって影響を受
けることはない。

【００１０】したがってこのセンサは、例えばエレベー
タ内で重力加速度が変化した場合に、間違った測定値を
表示することもない。もちろんセンサは、センサの回転
運動の軸線に対して回転軸線が平行である円形軌道上で
動かされる場合には、間違った測定値を生ぜしめる。し
たがって主たる用途は最初に述べた分野にある。

【００１１】従属請求項には本発明の有利な実施の形態
が記載されている。

【００１２】本発明の有利な１実施形態では、制御装置
が設けられており、この制御装置は、それが変位を常に
ゼロにするように、構成されており、その際鉛直線に対
するセンサ軸線の傾斜角を制御信号から調べることがで
きる。

【００１３】別の有利な１実施形態では、リング体の外
周に、半径方向で外方に向いた延長ビームが設けられて
いて、駆動装置がコンデンサ板コーム構造体によって形
成されており、これらのコンデンサ板コーム構造体は、
基板上に錨着された不動のコンデンサ板と、延長ビーム
に取り付けられた可動のコンデンサ板とを有している。

【００１４】別の有利な１実施形態では、リング体が円
形のリング体であり、この円形のリング体は複数の、有
利には４つの、互いに９０°ずらされているビームばね
を介して、リング軸線において基板上に設けられている
保持柱に取り付けられている。

【００１５】別の有利な１実施形態では、加速度受信装
置が、それぞれ第２のばね装置を介してリング体に取り
付けられている少なくとも１対の互いに向き合っている
加速度受信部を有しており、その際各対の互いに向き合
っている加速度受信部は次のように、すなわち、それら
の加速度受信部が、回転運動により作用する遠心力によ
って、かつ重力加速度により両方のばね装置のばね緊縮
力に抗して作用する力によって、リング軸線を通って延
び両方の加速度受信部を結合しているセンサ軸線に沿っ
て、連結されて変位可能であるように、構成されてい
る。

【００１６】別の有利な１実施形態では、加速度受信部
が、それぞれｕ形の複式ばねを介して接線方向で円形リ
ング体に保持されているフレーム，有利にはｕ形フレー
ム、を有しており、これらのフレーム内にコンデンサ板
コーム構造体が形成されており、このコンデンサ板コー
ム構造体は、基板上に錨着された不動のコンデンサ板
と、フレームに取り付けられた可動のコンデンサ板とを
有している。

【００１７】別の有利な１実施形態では、リング体が円
形のリング体であり、この円形のリング体は複数の、有
利には４つの、互いに９０°ずらされているビームばね
を介して、基板上に設けられている保持柱に取り付けら
れており、その際保持柱はそれぞれ９０°ずつ互いにず
らされて、ビームばねの延長に設けられている。

【００１８】別の有利な１実施形態では、加速度受信装
置がリング体の中央に配置された加速度受信部を有して
おり、この加速度受信部はセンサ軸線の方向に延びるビ
ームを有しており、このビームは、その端部からそれに
対して垂直に延びる４つのビームばねを介して、リング
体の内周に取り付けられており、かつこの加速度受信部
はコンデンサ板コーム構造体を有しており、このコンデ
ンサ板コーム構造体は基板上に錨着された不動のコンデ
ンサ板と、ビームに取り付けられた可動のコンデンサ板
とを有している。

【００１９】

【実施例】本発明の実施例は、図面に示されており、以
下において詳細に説明する。図面においては同じ符号が
同じか又は機能が同じ要素を示している。

【００２０】図１において、符号Ａ−Ａ′はセンサ軸線
を示し、符号１ａ〜１ｄは加速度受信部を示し、符号２
はリング体を示し、符号４は保持柱を示し、符号３ａ〜
３ｄはビームばねを示し、符号２００ａ〜２００ｄは延
長ビームを示し、符号５ａ〜５ｄはコーム駆動装置を示
し、符号５１ａ〜５１ｄ，５２ａ〜５２ｄは錨着部を示
し、符号６１ａ〜６１ｄ，６２ａ〜６２ｄはコンデンサ
板コーム構造体を示し、符号１２１ａ〜１２１ｄ，１２
２ａ〜１２２ｄはｕ形ばねビームを示し、符号１１ａ〜
１１ｄはｕ形フレームを示し、符号１１１ａ〜１１１
ｄ，１１２ａ〜１１２ｄ，１１３ａ〜１１３ｄは可動の
コンデンサ板を示し、符号Ｆ１〜Ｆ６は不動のコンデン
サ板を示す。

【００２１】公知のマイクロ傾斜センサと同じテクノロ
ジーで製作することのできる第１実施例によるマイクロ
傾斜センサは、基板（図示せず）を有しており、この基
板上にビームばね３ａ〜３ｄによって円形のリング体２
が弾性的に取り付けられていて、このリング体は回転運
動を、それも時計のテンプ輪と同じような回転運動を行
うことができる。それぞれ互いに９０°だけずらされて
いる４つのビームばね３ａ〜３ｄは中央のリング軸線の
ところで基板上に設けられている保持柱４に取り付けら
れている。

【００２２】リング体２には、リング体２をリング軸線
を中心として回転運動するように駆動するための、コン
デンサ板コーム構造体６１ａ〜６１ｄ，６２ａ〜６２ｄ
を有する４つのコーム駆動装置５ａ〜５ｄの形の駆動装
置が結合されている。特に、リング体２の外周に、半径
方向で外方に向いている延長ビーム２００ａ〜２００ｄ
が設けられており、これらの延長ビームは、それに取り
付けられた可動のコンデンサ板を有している。基板上に
は、錨着部５１ａ〜５１ｄ，５２ａ〜５２ｄに錨着され
た不動のコンデンサ板が設けられている。

【００２３】４つの別個の加速度受信部１ａ〜１ｄは接
線方向でリング体２に配置されていて、１対ずつ向き合
って、センサ軸線Ａ−Ａ′に沿ってかつそれに対して垂
直に延びる軸線に沿って、設けられている。これらの加
速度受信部１ａ〜１ｄはこの実施例ではそれぞれ、剛性
のｕ形フレーム１１ａ〜１１ｄから成っており、このｕ
形フレームは柔らかいｕ形ばねビーム１２１ａ〜１２１
ｄ，１２２ａ〜１２２ｄによってリング体２に結合され
ている。それぞれのｕ形フレーム１１ａ〜１１ｄ内には
円弧形のコンデンサ板１１１ａ〜１１１ｄ，１１２ａ〜
１１２ｄ，１１３ａ〜１１３ｄが取り付けられていて、
リング体２、所属のｕ形ばねビーム１２１ａ〜１２１
ｄ，１２２ａ〜１２２ｄ及び所属のｕ形フレーム１１ａ
〜１１ｄと一緒に可動である。

【００２４】この場合、コンデンサ板１１１ａ〜１１１
ｄ，１１２ａ〜１１２ｄ，１１３ａ〜１１３ｄ及び不動
の対向電極（不動のコンデンサ板）の円弧形の形状によ
って、ごくわずかな遠心力を有する純粋な回転運動は何
らの加速度信号も生ぜしめない。

【００２５】これらの可動のコンデンサ板と向き合っ
て、不動の対向電極（コンデンサ板）Ｆ１〜Ｆ６が基板
上に対をなして設けられている。図面を見やすくするた
めに、この符号Ｆ１〜Ｆ６は単に加速度受信部１ｂにお
いてだけ記されている。これらの対向電極Ｆ１〜Ｆ６は
コンデンサ板１１１ａ〜１１１ｄ，１１２ａ〜１１２
ｄ，１１３ａ〜１１３ｄとともに、加速度若しくは力の
測定のための差容量を形成する。

【００２６】この加速度受信部の感度方向は半径方向、
つまりセンサ中心点若しくはリング中心点の方向であ
る。

【００２７】リング体は傾斜測定のために、その中心点
を中心として有利には数度の比較的にわずかな振幅の回
転運動を励起される。このために、リング体２と固く結
合されている静電コーム駆動装置５ａ〜５ｄが役立つ。
懸架部（錨着部）に取り付けられている不動のコンデン
サ板が交番に電圧を印加されると、センサ構造体全体の
前述の回転運動が生ぜしめられる。これの基礎となる力
のメカニズムは公知であり、電界の力によって生ぜしめ
られるコンデンサの表面増大に基づくものである。

【００２８】回転運動の際に、加速度受信部１ａ〜１ｄ
に半径方向加速度が生じ、この半径方向加速度は内在し
ている不均衡に基づいて互いに相殺せず、加速度受信部
１ａ〜１ｄによって測定される。

【００２９】ところで傾斜センサが、図３に示すよう
に、センサ軸線が鉛直線Ｖに対して角度α（水平線Ｈに
対して９０°−α）の状態で、重力場内に入れられる
と、半径方向加速度に対して付加的に、なお重力加速度
が加わり、それも、センサ軸線Ａ−Ａ′に対して平行な
成分m・g・cos α（加速度受信部１ａ及び１ｃに作用す
る）及びセンサ軸線Ａ−Ａ′に対して垂直な成分m・g・
sin α（加速度受信部１b及び１dに作用する）として加
わる。

【００３０】回転運動に基づく半径方向加速度はすべて
の加速度受信部１ａ〜１ｄに対して回転点若しくはリン
グ中心点から離れる方向に作用するのに対し、重力加速
度は同じ向きに作用する。

【００３１】したがって半径方向加速度は、リング中心
点に関して互いに逆向きに取り付けられている２つの加
速度受信部１ａ，１ｃ若しくは１b，１dの加速度信号を
減算することによって、消去することができる。

【００３２】その結果は、リング体２の有利には正弦波
形の角速度で変調された２倍の重力加速度に比例する測
定信号である。この測定信号は、両方のセンサが地球中
心点に対して正確に鉛直に向けられている場合に、換言
すればα＝0である場合に、まさに最大である。

【００３３】このことは詳細には次のように導き出すこ
とができる：鉛直線に対して角度αの加速度受信部によ
って、角度ψの変調で測定される加速度aは、次式によ
って与えられる： a＝g・cos(ψ＋α)＋a_R ψ＝ψ₀cos(ωt) 時間の関数としてのセンサ振動角度 ω_S＝ψ₀ωcos(ωt) 回転振動の角速度 a_R＝rω_S ² 半径方向加速度 a_R＝rψ₀ ²ω²［(1/2)＋(1/2)cos(2ωt)］ a₁＝g・(cosψcosα−sinψsinα)＋a_R a₂＝−g・(cosψcosα−sinψsinα)＋a_R この場合加速度 a₁ 及び a₂ はリング中心点に関して互
いに向かい合っている２つの加速度受信部の信号であ
る。

【００３４】電子的な信号処理装置における復調は以下
に説明するようにして行われる。

【００３５】電子的な差形成によって半径方向加速度が
消去される：a₁−a₂＝2g・(cosψcosα−sinψsinα)続
いて行われる同期復調においてこの差信号にセンサ信号
の時間関数が乗ぜられる： y＝2g・(cosψcosα−sinψsinα)・cosψ y＝2g・［［(1/2)＋(1/2)cos(2ψ)］cosα−(1/2)sin(2
ψ)sinα］ y＝g・［［1＋cos(2ψ)］cosα−sin(2ψ)sinα］ y＝g・［cosα＋cos(2ψ)cosα−sin(2ψ)sinα］ y＝g・［cosα＋(1/2)［cos(2ψ−α)＋cos(2ψ＋α)］
−(1/2)［cos(2ψ−α)−cos(2ψ＋α)］］ y＝g・［cosα＋cos(2ψ＋α)］ 積yの結果は、コンスタントな項 cosαと、回転振動の
２倍の周波数で生じる正弦形の項 cos(2ψ＋α)とを有
している。今や、ローパスフィルタを介して、角度情報
だけを含んでいるコンスタントな項を取り出すことがで
きる。

【００３６】したがって傾斜センサは単に２つの加速度
受信部１ａ，１ｃだけで運転して、数値修正を行うか、
あるいは４つの加速度受信部１ａ，１ｃ及び１ｂ，１ｄ
で運転して、重力場内で配置されている傾斜センサが傾
倒せしめられた角度αを得るために周波数変調及び位相
変調の復調を行うことができる。

【００３７】生ぜしめられる、不都合な、しかしシステ
ムに内在する半径方向加速度は、センサ中心点に関して
互いに向き合っている２つの加速度受信部の信号減算に
よってほぼ消去することができるけれども、しかしなが
ら有利には加速度受信部の間隔はセンサ中心点に直ぐ接
しておかれる。なぜなら半径方向加速度は半径に逆比例
するからである。同様に回転運動の周波数も有利には低
く選ばれる。なぜなら半径方向加速度は角速度の二乗に
比例するからである。適当に寸法決めすると、これらの
半径方向加速度はマイクロ構造のために重力加速度の範
囲内にあり、したがって同じ大きさであり、個々の加速
度受信部の過制御を生じることはない。

【００３８】図２は本発明の第２実施例としてのマイク
ロ傾斜センサを示す。

【００３９】図２においては、既に述べた符号に対して
付加的に、符号５ａ′〜５ｄ′コーム駆動装置；５１
ａ′〜５１ｄ′，５２ａ′〜５２ｄ′錨着部；６１ａ′
〜６１ｄ′，６２ａ′〜６２ｄ′コンデンサ板コーム構
造体；３ａ′〜３ｄ′ビームばね；４ａ〜４ｄ保持柱；
１３ａ′〜１３ｄ′ビームばね；１１１ａ′〜１１１
ｄ′，１１２ａ′〜１１２ｄ′，１１３ａ′〜１１３
ｄ′可動のコンデンサ板；Ｆ１′〜Ｆ３′不動のコンデ
ンサ板及びＳ１〜Ｓ４錨着部が記入されている。

【００４０】この第２実施例においては、リング体２は
やはり円形のリング体であるが、それぞれ互いに９０°
だけずらされている４つのビームばね３ａ′〜３ｄ′を
介して、それぞれ基板に設けられている保持柱４ａ〜４
ｄに取り付けられており、その際保持柱４ａ〜４ｄはそ
れぞれ互いに９０°だけずらされて４つのビームばね３
ａ′〜３ｄ′の延長上に設けられている。

【００４１】この場合加速度受信装置はリング体２の中
心部に配置された４つの加速度受信部１ａ，１ｂ，１
ｃ，１ｄを有していて、この加速度受信装置はセンサ軸
線Ａ−Ａ′の方向に延びるビーム１′を備えており、こ
のビームはそれに対して垂直にその端部から延びる４つ
のビームばね１３ａ′〜１３ｄ′を介してリング体２の
内周に取り付けられている。

【００４２】所属のそれぞれのコンデンサ板コーム構造
体は基板上に錨着された不動のコンデンサ板Ｆ１′〜Ｆ
３′と、ビーム１′に取り付けられた可動のコンデンサ
板１１１ａ′〜１１１ｄ′，１１２ａ′〜１１２ｄ′，
１１３ａ′〜１１３ｄ′とを有しており、これらのコン
デンサ板はそれぞれ円弧形に形成されている。

【００４３】円形リング体の駆動はやはり既に述べたコ
ーム駆動装置５ａ′〜５ｄ′を介して行われる。コーム
駆動装置５ａ′〜５ｄ′は寸法が異なるだけで、第１実
施例のコーム駆動装置５ａ〜５ｄと同じように構成され
ている。

【００４４】この第２実施例の利点は、支障となる半径
方向加速度が現れないことである。それは、加速度受信
部が中央に配置されているからである。

【００４５】もちろんこの傾斜センサはその個々の加速
度受信部を、周知技術の電子的位置制御装置によってや
はりそのゼロ位置に保たなければならない。そうでない
と、加速度に基づくサイズモ系の重心点の変位によって
センサ中心点から外され、半径方向加速度が再び生ずる
からである。

【００４６】この電子的な制御装置は例えば次のように
働くことができる。すなわち、コーム構造体が位置決定
のためにも、また運動の修正のためにも役立つようにす
る。この場合変位の測定は制御の短い中断内で行われ
る。なぜならコーム構造体の種々の制御を必要とするか
らである。

【００４７】加速度受信部の感度方向は図示の構造では
センサ軸線Ａ−Ａ′に沿っている。これによってこのセ
ンサエレメントはやはりこの方向で取り付けて、重力場
内で配向された測定を行い得るようにしなければならな
い。これに対して図１に示したセンサエレメントは図平
面内でどのような角度でも取り付けることができる。

【００４８】以上、本発明は有利な実施例によって説明
したが、本発明はこれに限定されるものではなく、種々
の形式で変化させることができる。

【００４９】特に駆動装置はコーム型駆動装置に限定さ
れるものではなく、電磁的な駆動装置であってもよく、
あるいはバイメタル効果の意味での局所的な加熱に基づ
くものであってもよい。

【００５０】またリング体は多角形の対称的形状を有す
ることもできる。

【００５１】評価は数値調整によって、あるいは差測定
法によって行うことができる。

【００５２】傾斜センサの製作形式もケイ素表面のマイ
クロマシンのテクノロジーに限定されるものではなく、
その都度の必要性及び使用分野に応じて任意に適合させ
ることができる。

【００５３】本発明によるセンサは一次元の傾倒を測定
することができる。多次元の傾倒を測定するためには複
数のこのようなセンサを適当に組み合わせることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例としてのマイクロ傾斜セン
サを示した図である。

【図２】本発明の第２実施例としてのマイクロ傾斜セン
サを示した図である。

【図３】本発明による傾斜測定法を説明するための概略
図である。

【符号の説明】

１′ ビーム、 １ａ〜１ｄ，１ａ′〜１ｄ′ 加速度
受信部、 ２ リング体、 ３ａ〜３ｄ，３ａ′〜３
ｄ′ ビームばね、 ４，４ａ〜４ｄ 保持柱、５ａ〜
５ｄ，５ａ′〜５ｄ′ コーム駆動装置、 １１ａ〜１
１ｄ ｕ形フレーム， １３ａ′〜１３ｄ′ ビームば
ね、 ５１ａ〜５１ｄ，５１ａ′〜５１ｄ′，５２ａ〜
５２ｄ，５２ａ′〜５２ｄ′ 錨着部、懸架部、 ６１
ａ〜６１ｄ，６１ａ′〜６１ｄ′，６２ａ〜６２ｄ，６
２ａ′〜６２ｄ′ コンデンサ板コーム構造体、 １１
１ａ〜１１１ｄ，１１１ａ′〜１１１ｄ′，１１２ａ〜
１１２ｄ，１１２ａ′〜１１２ｄ′，１１３ａ〜１１３
ｄ，１１３ａ′〜１１３ｄ′ 可動のコンデンサ板、
１２１ａ〜１２１ｄ，１２２ａ〜１２２ｄ ｕ形ばねビ
ーム， ２００ａ〜２００ｄ 延長ビーム、 Ａ−Ａ′
センサ軸線、 Ｆ１〜Ｆ６，Ｆ１′〜Ｆ３′ 不動の
コンデンサ板、対向電極、 Ｓ１〜Ｓ４ 錨着部、 Ｖ
鉛直線、 α 角度、 ψ 角度

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板と、基板上に第１のばね装置（３ａ
   〜３ｄ；３ａ′〜３ｄ′）によって弾性的に取り付けら
   れているリング体（２）と、リング体（２）を駆動して
   リング軸線を中心として回転運動させるためのリング体
   （２）と結合された駆動装置（５ａ〜５ｄ；５ａ′〜５
   ｄ′）と、第２のばね装置（１２１ａ〜１２１ｄ，１２
   ２ａ〜１２２ｄ；１３ａ′〜１３ｄ′）を介してリング
   体（２）に取り付けられている加速度受信装置（１ａ，
   １ｃ；１ｂ，１ｄ；１ａ′，１ｃ′；１ｂ′，１ｄ′）
   とを有し、その際加速度受信装置（１ａ，１ｃ；１ｂ，
   １ｄ；１ａ′，１ｃ′；１ｂ′，１ｄ′）は次のよう
   に、すなわち、それが、回転運動によって作用する遠心
   力によって、かつ重力加速度により両方のばね装置のば
   ね緊縮力に抗して作用する力によって、リング軸線を通
   って延びるセンサ軸線（Ａ−Ａ′）に沿って変位可能で
   あるように、構成されており、更に、加速度受信装置
   （１ａ，１ｃ；１ｂ，１ｄ；１ａ′，１ｃ′；１ｂ′，
   １ｄ′）の変位を把握して、鉛直線（Ｖ）に対するセン
   サ軸線（Ａ−Ａ′）の傾斜角（α）を調べるための評価
   装置を有している、マイクロ傾斜センサ。
2. 【請求項２】 制御装置が設けられており、この制御装
   置は、それが変位を常にゼロに制御するように、構成さ
   れており、その際鉛直線（Ｖ）に対するセンサ軸線（Ａ
   −Ａ′）の傾斜角（α）を制御信号から調べることがで
   きることを特徴とする、請求項１記載のマイクロ傾斜セ
   ンサ。
3. 【請求項３】 リング体（２）の外周に、半径方向で外
   方に向いた延長ビーム（２００ａ〜２００ｄ）が設けら
   れていて、駆動装置（５ａ〜５ｄ；５ａ′〜５ｄ′）が
   コンデンサ板コーム構造体（６１ａ〜６１ｄ，６２ａ〜
   ６２ｄ；６１ａ′〜６１ｄ′，６２ａ′〜６２ｄ′）に
   よって形成されており、これらのコンデンサ板コーム構
   造体は、基板上に錨着された不動のコンデンサ板と、延
   長ビーム（２００ａ〜２００ｄ）に取り付けられた可動
   のコンデンサ板とを有していることを特徴とする、請求
   項１又は２記載のマイクロ傾斜センサ。
4. 【請求項４】 リング体（２）が円形のリング体であ
   り、この円形のリング体は複数の、有利には４つの、互
   いに９０°ずらされているビームばね（３ａ〜３ｄ）を
   介して、リング軸線において基板上に設けられている保
   持柱（４）に取り付けられていることを特徴とする、請
   求項１から３までのいずれか１項記載のマイクロ傾斜セ
   ンサ。
5. 【請求項５】 加速度受信装置が、それぞれ第２のばね
   装置（１２１ａ〜１２１ｄ，１２２ａ〜１２２ｄ；１３
   ａ′〜１３ｄ′）を介してリング体（２）に取り付けら
   れている少なくとも１対の互いに向き合っている加速度
   受信部（１ａ，１ｃ；１ｂ，１ｄ）を有しており、その
   際各対の互いに向き合っている加速度受信部（１ａ，１
   ｃ；１ｂ，１ｄ）は次のように、すなわち、それらの加
   速度受信部が、回転運動により作用する遠心力によっ
   て、かつ重力加速度により両方のばね装置のばね緊縮力
   に抗して作用する力によって、リング軸線を通って延び
   両方の加速度受信部を結合しているセンサ軸線（Ａ−
   Ａ′）に沿って、連結されて変位可能であるように、構
   成されていることを特徴とする、請求項１から４までの
   いずれか１項記載のマイクロ傾斜センサ。
6. 【請求項６】 加速度受信部（１ａ，１ｃ）が、それぞ
   れｕ形の複式ばね（１２１ａ，１２２ａ；１２１ｃ，１
   ２２ｃ）を介して接線方向で円形リング体（２）に保持
   されているフレーム（１１ａ，１１ｃ），有利にはｕ形
   フレーム、を有しており、これらのフレーム内にコンデ
   ンサ板コーム構造体が形成されており、このコンデンサ
   板コーム構造体は、基板上に錨着された不動のコンデン
   サ板（Ｆ１〜Ｆ６）と、フレーム（１１ａ，１１ｃ）に
   取り付けられた可動のコンデンサ板（１１１ａ，１１２
   ａ，１１３ａ；１１１ｃ，１１２ｃ，１１３ｃ）とを有
   していることを特徴とする、請求項５記載のマイクロ傾
   斜センサ。
7. 【請求項７】 リング体（２）が円形のリング体であ
   り、この円形のリング体は複数の、有利には４つの、互
   いに９０°ずらされているビームばね（３ａ′〜３
   ｄ′）を介して、基板上に設けられている保持柱（４ａ
   〜４ｄ）に取り付けられており、その際保持柱（４ａ〜
   ４ｄ）はそれぞれ９０°ずつ互いにずらされて、ビーム
   ばね（３ａ′〜３ｄ′）の延長に設けられていることを
   特徴とする、請求項１から３までのいずれか１項記載の
   マイクロ傾斜センサ。
8. 【請求項８】 加速度受信装置がリング体（２）の中央
   に配置された加速度受信部を有しており、この加速度受
   信部はセンサ軸線（Ａ−Ａ′）の方向に延びるビーム
   （１′）を有しており、このビームは、その端部からそ
   れに対して垂直に延びる４つのビームばね（１３ａ′〜
   １３ｄ′）を介して、リング体（２）の内周に取り付け
   られており、かつこの加速度受信部はコンデンサ板コー
   ム構造体（１ａ′〜１ｄ′）を有しており、このコンデ
   ンサ板コーム構造体は基板上に錨着された不動のコンデ
   ンサ板（Ｆ１′〜Ｆ３′）と、ビーム（１′）に取り付
   けられた可動のコンデンサ板（１１１ａ′〜１１１
   ｄ′，１１２ａ′〜１１２ｄ′，１１３ａ′〜１１３
   ｄ′）とを有していることを特徴とする、請求項７載の
   マイクロ傾斜センサ。