JP3398574B2 - インクジェットヘッドの作製方法 - Google Patents
インクジェットヘッドの作製方法Info
- Publication number
- JP3398574B2 JP3398574B2 JP20688597A JP20688597A JP3398574B2 JP 3398574 B2 JP3398574 B2 JP 3398574B2 JP 20688597 A JP20688597 A JP 20688597A JP 20688597 A JP20688597 A JP 20688597A JP 3398574 B2 JP3398574 B2 JP 3398574B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- groove
- manufacturing
- inkjet head
- firing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットプ
リンタに適用されるヘッドの作製方法に関し、更に詳し
くは、高精度の印刷を可能にするために圧電素子を利用
した、小型、軽量なインクジェットヘッドを作製する方
法に関する。
リンタに適用されるヘッドの作製方法に関し、更に詳し
くは、高精度の印刷を可能にするために圧電素子を利用
した、小型、軽量なインクジェットヘッドを作製する方
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、圧電体を用いてインクジェットプ
リンタのヘッドを構成する場合には、図１に概括的に示
すような方法を用いてヘッドを構成していた。即ち、圧
電体２１の内部に薄い膜状の電極２２を多層に形成す
る。一方、これらの電極２２と対応する位置に多数のス
リット状の圧力室２３を有するＮｉ等から成る圧力室板
２４を作製し、この圧力室板２４と圧電体２１とを接着
して圧電板ユニット２５を形成し、更にこれを４組接合
してユニット接合体２６とする。これらのユニット接合
体２６のノズル側にノズル板２７（例えば、ＳＵＳで構
成されている）を接合すると共に、ヘッドホルダ２８に
組み付け、ユニット接合体２６のインク連通路２９をヘ
ッドホルダ２８に接続する。一方、このヘッドホルダ２
８と一体をなすインク容器ホルダ３０にインク容器３１
を組み付け、更に電極２２に接続されるフレキシブル配
線板３２を取り付ける。
リンタのヘッドを構成する場合には、図１に概括的に示
すような方法を用いてヘッドを構成していた。即ち、圧
電体２１の内部に薄い膜状の電極２２を多層に形成す
る。一方、これらの電極２２と対応する位置に多数のス
リット状の圧力室２３を有するＮｉ等から成る圧力室板
２４を作製し、この圧力室板２４と圧電体２１とを接着
して圧電板ユニット２５を形成し、更にこれを４組接合
してユニット接合体２６とする。これらのユニット接合
体２６のノズル側にノズル板２７（例えば、ＳＵＳで構
成されている）を接合すると共に、ヘッドホルダ２８に
組み付け、ユニット接合体２６のインク連通路２９をヘ
ッドホルダ２８に接続する。一方、このヘッドホルダ２
８と一体をなすインク容器ホルダ３０にインク容器３１
を組み付け、更に電極２２に接続されるフレキシブル配
線板３２を取り付ける。
【０００３】図２は従来（比較例）のインクジェットヘ
ッドの圧電体を形成する方法を示す。（ａ）において、
圧電セラミックグリーンシート１に薄い帯状の電極２を
多層に積層する。電極２は厚みの方向に所定間隔で複数
枚配列されると共に、横方向にも平行に所定間隔おきに
配列される。この状態で圧電体１を焼成し、焼成後、
（ｂ）に示すようにダイシングソーないしスライサを用
いて溝加工を施し、複数の平行なスリット４を形成す
る。これにより、電極２が積層された活性部ないし駆動
部５と電極２が存在しない支柱（不活性部）６が形成さ
れ、これらの駆動部５と支柱６はスリット４を挟んで交
互に配列され、かつ底部において基部１’と結合されて
いる。
ッドの圧電体を形成する方法を示す。（ａ）において、
圧電セラミックグリーンシート１に薄い帯状の電極２を
多層に積層する。電極２は厚みの方向に所定間隔で複数
枚配列されると共に、横方向にも平行に所定間隔おきに
配列される。この状態で圧電体１を焼成し、焼成後、
（ｂ）に示すようにダイシングソーないしスライサを用
いて溝加工を施し、複数の平行なスリット４を形成す
る。これにより、電極２が積層された活性部ないし駆動
部５と電極２が存在しない支柱（不活性部）６が形成さ
れ、これらの駆動部５と支柱６はスリット４を挟んで交
互に配列され、かつ底部において基部１’と結合されて
いる。
【０００４】次に、（ｃ）に示すように、圧力室８を有
する圧力室板７が圧電体１に接着される。この場合にお
いて、各圧力室８のフレキシブルな壁８’が駆動部５に
対応するように接着される。次に、（ｄ）に示すよう
に、ノズル９が各圧力室８に対応するようにノズル板
９’が圧電体１に接合される。電極２により圧電体１の
駆動部５に電圧が印加されることにより、活性部である
駆動部５が圧力室８を駆動し、圧力室の収縮時にノズル
９からインクを噴霧し、圧力室の膨張時にインクを圧力
室８内に流入させる。
する圧力室板７が圧電体１に接着される。この場合にお
いて、各圧力室８のフレキシブルな壁８’が駆動部５に
対応するように接着される。次に、（ｄ）に示すよう
に、ノズル９が各圧力室８に対応するようにノズル板
９’が圧電体１に接合される。電極２により圧電体１の
駆動部５に電圧が印加されることにより、活性部である
駆動部５が圧力室８を駆動し、圧力室の収縮時にノズル
９からインクを噴霧し、圧力室の膨張時にインクを圧力
室８内に流入させる。
【０００５】このように、従来は、駆動部５と支柱６と
の間に溝（スリット）４を設け、駆動部５間の相互干渉
（クロストーク）を防止している。また、不活性部であ
る支柱６の部分や圧電体１の基部１’による駆動部５の
拘束を開放し、駆動部５の変位量の拡大を図っている。
の間に溝（スリット）４を設け、駆動部５間の相互干渉
（クロストーク）を防止している。また、不活性部であ
る支柱６の部分や圧電体１の基部１’による駆動部５の
拘束を開放し、駆動部５の変位量の拡大を図っている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
インクジェットヘッドの作製方法によると、スリット４
を設けたその幅分、ヘッドの構造として不要な領域が増
え、緻密なピッチで駆動領域が形成できない、という問
題がある。そのため、ヘッドが大型化して、高精彩な印
字を得るためには、部品点数が多くなり、安価にヘッド
を作製できないこととなってしまう。このように、高精
度なヘッドを作製するためには、スリットのような不要
な領域を用いない構造の圧電体が要求されることとな
る。
インクジェットヘッドの作製方法によると、スリット４
を設けたその幅分、ヘッドの構造として不要な領域が増
え、緻密なピッチで駆動領域が形成できない、という問
題がある。そのため、ヘッドが大型化して、高精彩な印
字を得るためには、部品点数が多くなり、安価にヘッド
を作製できないこととなってしまう。このように、高精
度なヘッドを作製するためには、スリットのような不要
な領域を用いない構造の圧電体が要求されることとな
る。
【０００７】したがって、本発明の課題は、圧電体を用
いたインクジェットプリンタのヘッドにおいて、小型、
高精彩化を図ることができる圧電素子を用いたインクジ
ェットヘッドの作製方法を提供することにある。
いたインクジェットプリンタのヘッドにおいて、小型、
高精彩化を図ることができる圧電素子を用いたインクジ
ェットヘッドの作製方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明によると、焼成前
の圧電素子に溝加工を施す工程と、該溝の内面に剥離剤
を塗布する工程と、該溝に圧電素子と同一の組成をもっ
たスラリーから成る充填剤を充填しかつ乾燥する工程
と、前記圧電素子を該充填剤と共に焼成する工程と、を
含み、前記溝間の圧電素子の部分を駆動部とし、前記充
填剤の部分を支柱として構成することを特徴とするイン
クジェットヘッドの作製方法が提供される。
の圧電素子に溝加工を施す工程と、該溝の内面に剥離剤
を塗布する工程と、該溝に圧電素子と同一の組成をもっ
たスラリーから成る充填剤を充填しかつ乾燥する工程
と、前記圧電素子を該充填剤と共に焼成する工程と、を
含み、前記溝間の圧電素子の部分を駆動部とし、前記充
填剤の部分を支柱として構成することを特徴とするイン
クジェットヘッドの作製方法が提供される。
【０００９】溝加工によって分離される圧電素子の部
分、即ち溝間の部分が駆動部（活性部）となり、溝の底
部で圧電素子が繋がった部分が基部（不活性部）とな
る。焼成後に得られる充填剤は圧電素子の基部と一体化
されており、この充填剤の部分が支柱（不活性部）とな
る。活性部である駆動部と不活性部である支柱とは、焼
成後においても剥離剤により分離されているので、駆動
部は支柱から独立して作動することができ、且つ駆動部
と支柱との間には無駄の隙間がなく、極めて隣接してい
るので、高密度に駆動部を配列することができる。
分、即ち溝間の部分が駆動部（活性部）となり、溝の底
部で圧電素子が繋がった部分が基部（不活性部）とな
る。焼成後に得られる充填剤は圧電素子の基部と一体化
されており、この充填剤の部分が支柱（不活性部）とな
る。活性部である駆動部と不活性部である支柱とは、焼
成後においても剥離剤により分離されているので、駆動
部は支柱から独立して作動することができ、且つ駆動部
と支柱との間には無駄の隙間がなく、極めて隣接してい
るので、高密度に駆動部を配列することができる。
【００１０】前記溝は複数平行に設けられることを特徴
とする。したがって、駆動部と支柱は交互に複数連続的
に配置される。圧電素子の内部に電極層が厚さ方向に多
層に積層されており、前記溝加工により該電極層が切断
されることを特徴とする。これにより、各駆動部毎に電
極が、独立した状態となるように分断される。圧電素子
の溝加工を施す面に保護膜を形成した後、前記溝加工を
行うことを特徴とする。保護膜により、焼成前の圧電素
子であっても、安定して正確に溝加工を行うことができ
る。
とする。したがって、駆動部と支柱は交互に複数連続的
に配置される。圧電素子の内部に電極層が厚さ方向に多
層に積層されており、前記溝加工により該電極層が切断
されることを特徴とする。これにより、各駆動部毎に電
極が、独立した状態となるように分断される。圧電素子
の溝加工を施す面に保護膜を形成した後、前記溝加工を
行うことを特徴とする。保護膜により、焼成前の圧電素
子であっても、安定して正確に溝加工を行うことができ
る。
【００１１】充填剤は圧電素子と同一の組成をもったス
ラリーからなることを特徴とする。したがって、充填剤
の支柱部分と圧電素子の基部とは同質でより強固に一体
化される。前記溝加工はダイシングソーないしスライサ
を用いて行われ、断面形状が矩形で所定の溝幅を有する
溝が形成されることを特徴とする。
ラリーからなることを特徴とする。したがって、充填剤
の支柱部分と圧電素子の基部とは同質でより強固に一体
化される。前記溝加工はダイシングソーないしスライサ
を用いて行われ、断面形状が矩形で所定の溝幅を有する
溝が形成されることを特徴とする。
【００１２】前記溝加工は断面がＶ字形の突条を有する
パンチャーを用いて行われ、断面形状がＶ字形の溝が形
成されることを特徴とする。
パンチャーを用いて行われ、断面形状がＶ字形の溝が形
成されることを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】次に本発明の実施形態について説
明する。図３は本発明の実施例１に係るインクジェット
ヘッドの作製方法を示すものである。まず、表１に示す
ような原料粉末、バインダー、可塑剤、分散媒を右欄に
示す重量比率で含む組成のスラリーを作製し、ドクター
ブレード法でグリーンシート（図示せず）の成形を行っ
た。
明する。図３は本発明の実施例１に係るインクジェット
ヘッドの作製方法を示すものである。まず、表１に示す
ような原料粉末、バインダー、可塑剤、分散媒を右欄に
示す重量比率で含む組成のスラリーを作製し、ドクター
ブレード法でグリーンシート（図示せず）の成形を行っ
た。
【００１４】
【表１】
【００１５】グリーンシートの乾燥後、キャリアテープ
（図示せず）から剥離し、グリーンシートに電極１２と
なる市販のＡｇ−Ｐｄペーストを印刷した。ペーストの
乾燥後、グリーンシートを６０℃、１０Ｍｐａ、５分の
条件で複数枚積層し、図３（ａ）に示すような積層体１
０を作製した。この積層体１０では、電極１２は厚みの
方向に所定間隔で複数枚配列されるが、図２の従来例の
ように帯状ではなく、平面状に繋がった電極層として形
成される。積層圧電体１０の上面（圧電体の基部接合
面）には図３（ａ）に示すように試料保護用のマイラー
フィルム１１をコーテングにより被覆した。
（図示せず）から剥離し、グリーンシートに電極１２と
なる市販のＡｇ−Ｐｄペーストを印刷した。ペーストの
乾燥後、グリーンシートを６０℃、１０Ｍｐａ、５分の
条件で複数枚積層し、図３（ａ）に示すような積層体１
０を作製した。この積層体１０では、電極１２は厚みの
方向に所定間隔で複数枚配列されるが、図２の従来例の
ように帯状ではなく、平面状に繋がった電極層として形
成される。積層圧電体１０の上面（圧電体の基部接合
面）には図３（ａ）に示すように試料保護用のマイラー
フィルム１１をコーテングにより被覆した。
【００１６】次に、圧電体１０の焼成前の状態で、ダイ
シングソーないしスライサ３を用いてマイラーフィルム
１１の側から溝加工を施し、複数の平行なスリット４を
形成した（図３（ｂ））。スリット４は、幅１００μ
ｍ、深さ４００μｍ、切断ピッチ２００μｍであった。
スリット４に相当する部分の電極１２は切断され、電極
１２が積層された活性部ないし駆動部５が複数平行に並
んだ状態で形成される。
シングソーないしスライサ３を用いてマイラーフィルム
１１の側から溝加工を施し、複数の平行なスリット４を
形成した（図３（ｂ））。スリット４は、幅１００μ
ｍ、深さ４００μｍ、切断ピッチ２００μｍであった。
スリット４に相当する部分の電極１２は切断され、電極
１２が積層された活性部ないし駆動部５が複数平行に並
んだ状態で形成される。
【００１７】次に、各スリット４の内面、即ちスリット
４の底面及び両壁面にバインダペースト等の剥離剤１４
を塗布し（図３（ｃ））、各スリット４内に、上記表１
で示す圧電体１０と同じ組成をもったスラリー１５を流
し込み（図３（ｄ））、乾燥させた。スラリーの乾燥
後、マイラーフィルム１１を剥がし（図３（ｅ））、上
記表１で示す圧電体１０と同じ組成をもったセラミック
グリーンシートを積み重ね、６０℃、５０Ｍｐａ、２０
分の条件で積層した（図３（ｆ））。
４の底面及び両壁面にバインダペースト等の剥離剤１４
を塗布し（図３（ｃ））、各スリット４内に、上記表１
で示す圧電体１０と同じ組成をもったスラリー１５を流
し込み（図３（ｄ））、乾燥させた。スラリーの乾燥
後、マイラーフィルム１１を剥がし（図３（ｅ））、上
記表１で示す圧電体１０と同じ組成をもったセラミック
グリーンシートを積み重ね、６０℃、５０Ｍｐａ、２０
分の条件で積層した（図３（ｆ））。
【００１８】積層後、大気中で１０００℃、１０時間の
焼成をおこなった（図３（ｇ））。圧電体１の焼成後、
圧電体を研磨して、駆動部５と充填剤６の部分が圧電体
の表面に露出するようされた、インクジェットプリンタ
ヘッド用の圧電素子とした（図３（ｈ））。なお、図５
に焼成後の実施例１の試料形状を断面図で示す。ここ
で、図３の（ｇ）と（ｈ）は上下の位置が互いに逆の関
係となっていることに留意する必要がある。
焼成をおこなった（図３（ｇ））。圧電体１の焼成後、
圧電体を研磨して、駆動部５と充填剤６の部分が圧電体
の表面に露出するようされた、インクジェットプリンタ
ヘッド用の圧電素子とした（図３（ｈ））。なお、図５
に焼成後の実施例１の試料形状を断面図で示す。ここ
で、図３の（ｇ）と（ｈ）は上下の位置が互いに逆の関
係となっていることに留意する必要がある。
【００１９】次に、圧力室８を有する圧力室板７が圧電
体１０に接着される。この場合において、各圧力室８の
フレキシブルな壁８’が駆動部５に対応するように接着
される。図４は本発明の実施例２に係るインクジェット
ヘッドの作製方法を示すものである。実施例１の場合と
同様に、表１に示すような原料粉末、バインダ、可塑
剤、分散剤を右欄に示す重量比率で含む組成のスラリー
を作製し、ドクターブレード法でグリーンシート（図示
せず）の成形を行った。
体１０に接着される。この場合において、各圧力室８の
フレキシブルな壁８’が駆動部５に対応するように接着
される。図４は本発明の実施例２に係るインクジェット
ヘッドの作製方法を示すものである。実施例１の場合と
同様に、表１に示すような原料粉末、バインダ、可塑
剤、分散剤を右欄に示す重量比率で含む組成のスラリー
を作製し、ドクターブレード法でグリーンシート（図示
せず）の成形を行った。
【００２０】グリーンシートの乾燥後、キャリアテープ
（図示せず）から剥離し、グリーンシートに電極１２と
なる市販のＡｇ−Ｐｄペーストを印刷した。ペーストの
乾燥後、グリーンシートを６０℃、１０Ｍｐａ、５分の
条件で複数枚積層し、図４（ａ）に示すような積層体１
０を作製した。積層圧電体１０の上面（圧電体の基部接
合面）には、実施例１と同様に、試料保護用のマイラー
フィルム１１をコーテングにより被覆した。
（図示せず）から剥離し、グリーンシートに電極１２と
なる市販のＡｇ−Ｐｄペーストを印刷した。ペーストの
乾燥後、グリーンシートを６０℃、１０Ｍｐａ、５分の
条件で複数枚積層し、図４（ａ）に示すような積層体１
０を作製した。積層圧電体１０の上面（圧電体の基部接
合面）には、実施例１と同様に、試料保護用のマイラー
フィルム１１をコーテングにより被覆した。
【００２１】次に、圧電体１０の焼成前の状態で、図４
（ｂ）に示すようなＶ字状の平行な突条を有するパンチ
ャー１３を用いてマイラーフィルム１１の側から、幅１
００μｍ、深さ４００μｍ、ピッチ２００μｍのＶ字溝
１４を形成した（図４（ｃ））。次に、各Ｖ字溝１４の
内面にバインダペースト等の剥離剤１４を塗布し（図４
（ｄ））、各Ｖ字溝１４内に、上記表１で示す圧電体と
同じ組成をもったスラリー１５を流し込み、乾燥させ
た。スラリーの乾燥後、マイラーフィルム１１を剥がし
（図４（ｅ））、上記表１で示す圧電体と同じ組成をも
ったセラミックグリーンシートを積み重ね、６０℃、５
０Ｍｐａ、２０分の条件で積層した（図４（ｆ））。
（ｂ）に示すようなＶ字状の平行な突条を有するパンチ
ャー１３を用いてマイラーフィルム１１の側から、幅１
００μｍ、深さ４００μｍ、ピッチ２００μｍのＶ字溝
１４を形成した（図４（ｃ））。次に、各Ｖ字溝１４の
内面にバインダペースト等の剥離剤１４を塗布し（図４
（ｄ））、各Ｖ字溝１４内に、上記表１で示す圧電体と
同じ組成をもったスラリー１５を流し込み、乾燥させ
た。スラリーの乾燥後、マイラーフィルム１１を剥がし
（図４（ｅ））、上記表１で示す圧電体と同じ組成をも
ったセラミックグリーンシートを積み重ね、６０℃、５
０Ｍｐａ、２０分の条件で積層した（図４（ｆ））。
【００２２】積層後、大気中で１０００℃、１０時間の
焼成をおこなった（図４（ｇ））。焼成後、圧電体を研
磨して、駆動部５と充填剤６の部分が圧電体の表面に露
出するようされた、インクジェットプリンタヘッド用の
圧電素子とした（図４（ｈ））。なお、図５に焼成後の
実施例２の試料形状を断面図で示す。ここで、図３の
（ｇ）と（ｈ）は上下の位置が互いに逆の関係となって
いることに留意する必要がある。
焼成をおこなった（図４（ｇ））。焼成後、圧電体を研
磨して、駆動部５と充填剤６の部分が圧電体の表面に露
出するようされた、インクジェットプリンタヘッド用の
圧電素子とした（図４（ｈ））。なお、図５に焼成後の
実施例２の試料形状を断面図で示す。ここで、図３の
（ｇ）と（ｈ）は上下の位置が互いに逆の関係となって
いることに留意する必要がある。
【００２３】圧力室板７の接合は、実施例１と同様に行
うことができる。次に上記実施例１及び２と比較のため
に、図２で示した従来例と同様の方法で圧電体を作製し
た。即ち、表１に示すような組成のスラリーを作製し、
ドクターブレード法でグリーンシートの成形を行った。
グリーンシートの乾燥後、□９０ｍｍに打ち抜き、市販
のＡｇ−Ｐｄペーストを印刷した。ペーストの乾燥後、
グリーンシートを複数枚積層し、一軸加工プレスで６０
℃、５０Ｍｐａ、４０分の条件で加圧を行った。積層
後、大気中で１１００℃、１０時間の焼成をおこなっ
た。焼成後、ダイシングソーで、幅３０μｍ、深さ４０
０μｍ（支柱部，ピッチ１００μｍ；駆動部，ピッチ１
３０μｍ）の溝を形成した。なお、図５に焼成後の比較
例の試料形状を断面図で示す。
うことができる。次に上記実施例１及び２と比較のため
に、図２で示した従来例と同様の方法で圧電体を作製し
た。即ち、表１に示すような組成のスラリーを作製し、
ドクターブレード法でグリーンシートの成形を行った。
グリーンシートの乾燥後、□９０ｍｍに打ち抜き、市販
のＡｇ−Ｐｄペーストを印刷した。ペーストの乾燥後、
グリーンシートを複数枚積層し、一軸加工プレスで６０
℃、５０Ｍｐａ、４０分の条件で加圧を行った。積層
後、大気中で１１００℃、１０時間の焼成をおこなっ
た。焼成後、ダイシングソーで、幅３０μｍ、深さ４０
０μｍ（支柱部，ピッチ１００μｍ；駆動部，ピッチ１
３０μｍ）の溝を形成した。なお、図５に焼成後の比較
例の試料形状を断面図で示す。
【００２４】以上、添付図面を参照して本発明の実施例
について詳細に説明したが、本発明は上記の実施例に限
定されるものではなく、本発明の精神ないし範囲内にお
いて種々の形態、変形、修正等が可能であることに留意
すべきである。
について詳細に説明したが、本発明は上記の実施例に限
定されるものではなく、本発明の精神ないし範囲内にお
いて種々の形態、変形、修正等が可能であることに留意
すべきである。
【００２５】
【発明の効果】以上に説明したような、本発明によれ
ば、スリットの不要領域が無いため、高密度にヘッドを
形成することができ、高採化及び階調制御等の変換率が
高くなる。また、個別に形成された駆動層間が支柱とな
るため、高密度な実装が可能になる。更に、支柱部に電
極等の破壊要因が無くなり、支柱と基部が一体化するた
め信頼性が高くなる。なお、図（６）に比較例と実施例
１とを対比した図を示すが、比較例では溝幅が３０μ
ｍ、溝の深さ６００μｍ、搭載効率（１ピッチに対する
駆動部及び支柱の面積割合）が７５％、駆動面積率（１
ピッチに対する駆動部の面積割合）が４５％であったの
に対し、実施例１では溝幅が３μｍ、溝の深さを任意の
寸法とすることが出来、搭載効率は９８．５％、駆動面
積率は５８．５％であり、実施例の場合の高密度化の実
現可能性が理解される。
ば、スリットの不要領域が無いため、高密度にヘッドを
形成することができ、高採化及び階調制御等の変換率が
高くなる。また、個別に形成された駆動層間が支柱とな
るため、高密度な実装が可能になる。更に、支柱部に電
極等の破壊要因が無くなり、支柱と基部が一体化するた
め信頼性が高くなる。なお、図（６）に比較例と実施例
１とを対比した図を示すが、比較例では溝幅が３０μ
ｍ、溝の深さ６００μｍ、搭載効率（１ピッチに対する
駆動部及び支柱の面積割合）が７５％、駆動面積率（１
ピッチに対する駆動部の面積割合）が４５％であったの
に対し、実施例１では溝幅が３μｍ、溝の深さを任意の
寸法とすることが出来、搭載効率は９８．５％、駆動面
積率は５８．５％であり、実施例の場合の高密度化の実
現可能性が理解される。
【図面の簡単な説明】
【図１】圧電体を用いてインクジェットプリンタ用のヘ
ッドを構成する場合の概略図である。
ッドを構成する場合の概略図である。
【図２】従来例（比較例）のインクジェットヘッド用圧
電素子の作製方法を示す。
電素子の作製方法を示す。
【図３】実施例１に係るインクジェットヘッド用圧電素
子の作製方法を示す。
子の作製方法を示す。
【図４】実施例２に係るインクジェットヘッド用圧電素
子の作製方法を示す。
子の作製方法を示す。
【図５】比較例と実施例１及び２の圧電素子の断面形状
を示す。
を示す。
【図６】比較例と実施例１とを対比した説明図である。
１…圧電セラミック
２…電極
３…スライサー
４…スリット
５…駆動部
６…支柱
７…インク流路板
８…インク流路
９…ノズル板
１０…積層体
１１…マイラーフィルム（シールド膜）
１２…電極印刷パターン
１３…パンチャー
１４…剥離剤
１５…支柱充填剤
１６…基部層
１７…基部
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平11−34343（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−345856（ＪＰ，Ａ)
特開 平３−288648（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−252920（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−279631（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−187848（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B41J 2/16
B41J 2/045
B41J 2/055
H01L 41/09
Claims (4)
- 【請求項１】 焼成前の圧電素子に溝加工を施す工程
と、 該溝の内面に剥離剤を塗布する工程と、 該溝に圧電素子と同一の組成をもったスラリーから成る
充填剤を充填しかつ乾燥する工程と、 前記圧電素子を該充填剤と共に焼成する工程と、 を含み、前記溝間の圧電素子の部分を駆動部とし、前記
充填剤の部分を支柱として構成することを特徴とするイ
ンクジェットヘッドの作製方法。 - 【請求項２】 前記溝は複数平行に設けられることを特
徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドの作製
方法。 - 【請求項３】 圧電素子の内部に電極層が厚さ方向に所
定間隔で多層に積層されており、前記溝加工により該電
極層が切断されることを特徴とする請求項１又は２に記
載のインクジェットヘッドの作製方法。 - 【請求項４】 圧電素子の溝加工を施す面に保護膜を形
成した後、前記溝加工を行うことを特徴とする請求項１
〜３のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの作
製方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20688597A JP3398574B2 (ja) | 1997-07-31 | 1997-07-31 | インクジェットヘッドの作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20688597A JP3398574B2 (ja) | 1997-07-31 | 1997-07-31 | インクジェットヘッドの作製方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1148487A JPH1148487A (ja) | 1999-02-23 |
| JP3398574B2 true JP3398574B2 (ja) | 2003-04-21 |
Family
ID=16530670
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20688597A Expired - Fee Related JP3398574B2 (ja) | 1997-07-31 | 1997-07-31 | インクジェットヘッドの作製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3398574B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4847039B2 (ja) * | 2004-05-28 | 2011-12-28 | 日本碍子株式会社 | 圧電／電歪構造体及び圧電／電歪構造体の製造方法 |
-
1997
- 1997-07-31 JP JP20688597A patent/JP3398574B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1148487A (ja) | 1999-02-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1770798B1 (en) | Piezoelectric actuator, method of manufacturing the same and inkjet recording head | |
| JP3106026B2 (ja) | 圧電／電歪アクチュエータ | |
| KR960703731A (ko) | 액적 데포지션 장치 및 그 제조방법(droplet deposition apparatus and method of manufacture) | |
| EP0936684A1 (en) | Piezoelectric actuator having an array of drive columns | |
| US5945773A (en) | Piezoelectric actuator for ink-jet printer and method of manufacturing the same | |
| JP3398574B2 (ja) | インクジェットヘッドの作製方法 | |
| JPS634959A (ja) | セラミツクインクジエツトヘツドとその製造方法 | |
| JP4193684B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JP3185434B2 (ja) | インクジェット式印字ヘッド | |
| JP4277477B2 (ja) | 液体噴射ヘッド | |
| JP2004336981A (ja) | 圧電アクチュエータおよびインクジェット記録ヘッド | |
| US7073895B2 (en) | Ink-jet printhead and method for producing the same | |
| JP3006111B2 (ja) | パルス滴付着装置用圧電アクチュエータ素子の製造方法 | |
| JP3156411B2 (ja) | インクジェット式印字ヘッド及びその製造方法 | |
| JP3821255B2 (ja) | インクジェットヘッド用圧電素子の作製方法 | |
| JPS62135377A (ja) | インクジエツトヘツドおよびその製造方法 | |
| JPS62101455A (ja) | インクジエツトヘツドとその製造方法 | |
| JPH023311A (ja) | インクジェットヘッドおよびその製造方法 | |
| JP4534532B2 (ja) | ノズルプレートの製造方法 | |
| JPS6322988B2 (ja) | ||
| JPH10250072A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP2637830B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
| JP3232632B2 (ja) | インクジェット式印字ヘッド | |
| JP2006093476A (ja) | セル駆動型圧電アクチュエータ及びその製造方法 | |
| JP2002118303A (ja) | 圧電アクチュエータ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030107 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080214 Year of fee payment: 5 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080214 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090214 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100214 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100214 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110214 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120214 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120214 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130214 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |